CN113432839B - 一种微光像增强器图像质量综合测试***及测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种微光像增强器图像质量综合测试***及测试方法，***包括光源模块、电动靶板切换轮组件、1:1投影镜头、程控暗箱、电动变倍镜头、探测模块、三维移动滑台、三维移动机构、光源***暗箱、程控高照无影光源、自动扫码枪以及电源和控制器等。方法包括：像增强器内部疵点和复丝检测，像增强器阴极有效直径、分辨力和蛇形畸变检测，像增强器剪切畸变检测，像增强器阳极有效直径检测，像增强器阳极均匀性和背景检测以及进行标定。本发明将水平光路改为垂直光路，能够对图像质量综合性能参数进行自动测试，有利于使用机器人气指自动安装和取下像增强器，提高了像增强器的测试效率，具有操作方便、降低人工负荷及可靠性高等特点。

Description

一种微光像增强器图像质量综合测试***及测试方法

技术领域

本发明涉及像增强器测试领域，尤其涉及一种微光像增强器图像质量综合测试***及测试方法。

背景技术

像增强器是微光夜视设备的核心器件，能把微弱的光线增强到足够亮度以便于人眼观察。像增强器的图像质量是衡量像增强器在正常使用环境下成像清晰度的重要指标，是对像增强器图像疵病、输出图像均匀性、输出分辨力、有效直径、图像畸变等性能参数的一次性判定和评估，达到快速准确的评价微光像增强器输出图像的真实质量。

目前的像增强器图像质量测试中，将各个测试项目分离在不同的测试设备上，主要包括分辨力测试仪、均匀性测试仪和目视测试仪等测试设备，在目视测试仪上测试的内容包括疵点检测、复丝检测、畸变检测、有效直径检测、背景检测、损坏检测等项目。测试时需要像增强器在暗室环境下的规定精度的辐射图案下工作，通常各个测试工位的光学***水平布置，主要由光源和光学投影***、暗箱***、探测和计量***等组成。测试工位均是手工方式操作，主要是因为测试***不能满足自动控制的设计要求。

在传统的人工检测方法中，人工聚焦的清晰程度存在主观差异，在人眼观察和测量时也存在一定主观误差，并存在大量估读误差；由于人工操作在暗室内进行，操作、测试、记录等都不方便，操作时间长，测试效率低，易引入质量问题等等。

为提升像增强器的质量控制水平和生产管理水平，对测试过程实施自动化升级是很有必要的，逐步实现测试过程的连续性、标准化、自动化、数字化、信息化和智能化，达到提升产品质量、降低劳动强度、提高生产效率、增加经济效益的目的。

由于国内对微光像增强器测试设备的研发单位较少，一些高校研究机构也只愿意基于现有技术开发甚至只愿意做其中的一个部分，国外包括美国和波兰等像增强器测试设备提供商都在微光像增强器各个单项测试的基础上做了综合性能参数测试的便携式测试设备，将多参数测试融合在一台测试设备上，便于集中操作和***维护，但尚无自动化智能化测试设备。因此，十分有必要对图像质量的综合测试技术进行自动化智能化测试研究。并且像增强器图像质量测试时使用图像芯片采集输出图像，易于实现数字化、自动化和智能化测试。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的操作方法，提供一套高效、高可靠、易操作的自动测试***以满足微光像增强器的图像质量的综合测试以及标定的要求。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：

一种微光像增强器图像质量综合测试***，包括光源模块、电动靶板切换轮组件、1:1投影镜头、程控暗箱、电动变倍镜头、探测模块、三维移动滑台、三维移动机构、光源***暗箱、电气柜、程控高照无影光源、自动扫码枪、电动挡板、工控机、电源和控制器等。其中，光源模块由卤钨灯安装座、对中光阑、连接筒、电动快门、电动滤光片轮组件、电动光阑、带照度探测器的积分球、照度指示器组成。其中，探测模块由CCD相机、sCMOS相机、半透半反镜安装座组成。光源模块、电动靶板切换轮组件、1:1投影镜头、带有像增强器的程控暗箱、程控高照无影光源、电动变倍镜头、半透半反镜安装座、sCMOS相机的中心位于同一轴线上，通过三维移动滑台和三维移动机构调节对准像增强器的阳极面和阴极面并聚焦，CCD相机通过倾斜45°安装的半透半反镜耦合到轴线光路上同时成像。

光源模块固定在光路安装支架上，卤钨灯为色温2856K的标准A光源，通过对中光阑校准灯丝中心，连接筒和电动光阑组合调节色温2856K下的照度，电动快门可以切断光路；电动滤光片轮组件由滤光片电动切换轮和衰减滤光片组成，衰减滤光片有ND3、ND2、ND1.5、ND1、ND0.5等五组衰减倍率，另一个位置为无滤光片，即为空，使用时切换滤光片能获得所需照度；带照度探测器的积分球均匀输出照度，照度指示器能实时显示输出的照度值，主要用于校准色温2856K下的照度。

电动靶板切换轮组件包括靶板电动切换轮和五块靶板；五块靶板分别是复合靶板，剪切畸变0°、60°、120°等安装的三块靶板(也可以有其他的安装角度)，标定靶板。

1:1投影镜头用于将通过靶板的光耦合到像增强器的整个阴极面上。

程控暗箱用于为待测像增强器提供相对独立的照度环境，由程控暗箱上安装的步进电机的控制器控制暗箱的升降。

电动变倍镜头用于将像增强器输出的光信号耦合到探测模块的成像光电面，变倍是为了切换不同的图像采集区域。

探测模块根据不同的测试环节切换CCD相机和sCMOS相机，倾斜45°安装的半透半反镜将双相机耦合在一起。

三维移动滑台和三维移动机构的XY轴手动调节后固定，Z轴通过三维移动滑台和三维移动机构上安装的伺服电机控制器程控移动满足聚焦要求。

光源***暗箱为光源模块和1:1投影镜头提供暗箱环境。

电气柜用于安装电源和控制器。

电源和控制器用于为本发明的***提供可靠电源供应。

程控高照无影光源在像增强器的检测过程中提供高照度。

自动扫码枪用于扫描识别像增强器的管号，便于测试数据的记录。

电动挡板用于1:1投影镜头防尘。

工控机上的数据采集模块提供相应接口，传输和采集所有数据和控制信号。

利用本发明的上述测试***，本发明还提供一种微光像增强器图像质量综合测试方法，包括以下步骤：

(1)图像质量综合测试前，将卤钨灯预热30分钟以上，打开电动快门，移开电动挡板，中性衰减滤光片切换在无滤光片，使用照度指示器检测照度，调节卤钨灯电源的电流值，使照度为事先所规定的校准值；

(2)调节程控高照无影光源的灯电流，校准程控高照无影光源照度为2000lx左右；将带有像增强器的测试外壳通过机器人气指或人工放置到检测工位后，像增强器自动接通电源，程序控制将程控暗箱运行到闭合状态；

(3)靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的无靶板位置，打开电动快门，移开电动挡板，电动变倍镜头切换到1×，打开CCD相机；

(4)正常输出图像采集：监测CCD相机的输出图像，检查像增强器有无输出图像，移动三维移动滑台和三维移动机构的Z向程控驱动三维移动滑台和三维移动机构上的电机聚焦清晰图像，检查像增强器的输出图像有无闪烁，并监测像增强器的电流是否有变化，采集无闪烁的图像A；

(5)强光闪烁检测：打开程控高照无影光源，检查像增强器的输出图像有无闪烁，并监测像增强器的电流是否有变化，采集无闪烁的图像B；

(5)阳极表面成像采集：此时关闭像增强器电源，采集图像C；

(6)处理图像A、B、C，得到图像D,处理时以图像A为基础图像，在图像A的基础上处理出图像D，图像D＝图像A∩图像B∩图像C(此处“∩”代表图像像素的“与”或差集处理)，进行像增强器内部疵点和复丝检测；

(7)关闭程控高照无影光源，开启像增强器电源，靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的复合靶板位置，采集图像E，进行像增强器有效阴极直径、分辨力和蛇形畸变的检测；

(8)靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的剪切畸变靶板0°、60°、120°位置，采集图像F、图像G、图像H，进行剪切畸变检测；

(9)电动变倍镜头切换到小倍率，通过驱动其中所包含的程控驱动电机移动三维移动滑台和三维移动机构，在Z向移动直到聚焦呈清晰图像，打开程控高照无影光源，采集图像I，分析图像D和图像I，进行阳极有效直径测试；

(10)靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的无靶板位置，打开电动快门，移开电动挡板，电动变倍镜头切换到1×，关闭CCD相机，打开sCMOS相机，通过驱动其中所包含的程控驱动电机移动三维移动滑台和三维移动机构，在Z向移动直到聚焦呈清晰的输出图像，采集图像J，进行像增强器阳极均匀性检测；关闭电动快门，移回电动挡板，采集背景图像K，进行发射点、放电和背景不均匀测试；

(11)测试结束，关闭sCMOS相机。

进一步地，需要进行测量尺寸标定时，靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的标定靶板位置，打开电动快门，移开电动挡板，电动变倍镜头切换到1×，打开CCD相机；通过驱动其中所包含的程控驱动电机移动三维移动滑台和三维移动机构，在Z向移动直到聚焦呈清晰图像，采集图像L，进行标定操作。

与现有技术相比较，本发明的有益效果：

1、解决像增强器图像质量综合性能参数的自动测试需要；

2、将水平光路改为垂直光路，有利于使用机器人气指自动安装和取下像增强器，提高了像增强器的测试效率；

3、将多个性能参数测试集成在一台测试***上，操作方便，节约成本，可靠性高。

附图说明

图1：本发明的微光像增强器图像质量综合测试***结构示意图。

图2：本发明的微光像增强器图像质量综合测试***接线图。

图3：本发明的微光像增强器图像质量综合测试***光路图。

图4：本发明的像增强器图像质量综合测试复合靶板。

图5：本发明的像增强器图像质量综合测试剪切畸变靶板(30μm或50μm黑白线宽)。

图6：本发明的微光像增强器图像质量综合测试***标定靶板(1mm黑白正方形)。

图中：1-电气柜，2-带高性能数据采集卡的工控机，3-程控暗箱，4-程控高照无影光源，5-电动变倍镜头，6-CCD相机，7-sCMOS相机，8-半透半反镜安装座，9-三维移动滑台，10-自动扫码枪，11-带像增强器的测试外壳，12-电动挡板，13-1:1投影镜头，14-电动靶板切换轮组件，141-靶板电动切换轮，142-靶板，15-三维移动机构，16-带照度探测器的积分球，17-电动光阑，18-电动滤光片轮组件，181-滤光片电动切换轮，182-中性衰减滤光片，19-电动快门，20-连接筒，21-卤钨灯安装座，22-光路安装支架，23-光源模块，24-光源***暗箱，25-电源和控制器，26-数据采集模块，27-步进电机控制器，28-伺服电机控制器，29-照度指示器，30-CCD图像芯片，31-半透半反镜，32-sCMOS图像芯片，33-阴极光阑，34-对中光阑，35-卤钨灯。

具体实施方式

如图1和图2所示，本发明的微光像增强器图像质量综合测试***在具体实施时可以采用如前发明内容中所述的技术方案，此处不再赘述。

如图1所示，***所有光路中的非光学玻璃材料全部采用无反光的黑色材料或黑色亚光处理，尽量减少环境光对测试结果的影响。在校正前先进行卤钨灯35的色温校准，色温校准需在相应的色温测试仪器上进行，获得卤钨灯的色温为2856K下的电流值A。测试之前将卤钨灯35在色温2856K的电流值A下预热30分钟以上，打开电动快门19，移开电动挡板12，中性衰减滤光片182切换在无滤光片，使用照度指示器29检测照度，调节电动光阑17或手动可调光阑，使照度处在5×10^-2lx～5×10^-3lx之间的E，记录电动光阑17的位置或固定手动可调光阑；在A±30mA范围内，调节卤钨灯35电流，获得2856K下的光源照度值E。调节程控高照无影光源4的灯电流，校准程控高照无影光源4照度为2000lx左右。将带像增强器的测试外壳11通过机器人气指或人工放置到检测工位后，像增强器接通电源，程序控制将程控暗箱运行到闭合状态。

如图4所示，像增强器图像质量综合测试复合靶板上有四类刻线。第一类为中心有1mm正方形的垂直和水平标尺刻线；第二类为USAF1951分辨力测试图案，图案设置为中心一组，r＝7的圆周上均布4组；第三类为中心Ⅰ区、中间II区和边缘Ⅲ区的圆刻线，用于为像增强器的输出图像分区；第四类为从中心Ⅰ区的圆刻线上出发的与标尺刻线呈45°夹角的射线，用于像增强器的输出图像上蛇形畸变的检测。

如图5所示，本发明的像增强器图像质量综合测试剪切畸变靶板为30μm或50μm的黑白等宽线，所有等宽线平行排列，可以按等宽线的方向进行调节不同角度安装。

如图6所示，本发明的微光像增强器图像质量综合测试***标定靶板为边长1mm的正方形，正方向一黑一白交替设置，利于标定时图像边缘的提取。

现针对本发明的采用微光像增强器图像质量综合测试***的测试方法的实施举例说明。

实施例1

本发明的微光像增强器图像质量综合测试方法的步骤如下：

1、像增强器内部疵点和复丝检测

靶板电动切换轮141切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的无靶板位置，打开电动快门19，移开电动挡板12，电动变倍镜头5切换到1×，打开CCD相机6。

正常输出图像采集：监测CCD相机6的输出图像，检查像增强器有无输出图像，移动三维移动滑台9和三维移动机构15的Z向程控伺服电机聚焦清晰图像，检查像增强器的输出图像有无闪烁，并监测像增强器的电流是否有变化，采集无闪烁的输出图像A。

强光闪烁检测：打开程控高照无影光源4，检查像增强器的输出图像有无闪烁，并监测像增强器的电流是否有变化，采集无闪烁图像B。

阳极表面成像采集：在打开程控高照无影光源4时关闭像增强器的电源，采集图像C。

处理三张图像，得到图像D,处理时以图像A为基础图像，在图像A的基础上处理出图像D，图像D＝图像A∩图像B∩图像C(此处“∩”代表图像像素的“与”或差集处理)，然后进行像增强器内部疵点和复丝检测。

内部疵点(不包括阴极和阳极外表面的擦痕、划痕、麻点、破点、破边等)包括：动点、污点、亮点、反馈点、击穿点、漏气点、结构点、划痕。

疵点的判断：不规则边界的图案用等面积的圆形点换算；当两个点之间的距离小于最大一个点的尺寸时，两个点被视为一个点，该点的大小等于两个点大小与他们之间的距离之和；疵点为与周围区域亮度差异超过30％的疵病，包括亮疵病和暗/黑疵病。

复丝检测包括复丝边界和复丝图案，复丝噪声的检测阈值为复丝间亮度相差10％及以上，计算时以三个复丝来计算平均值。

2、像增强器阴极有效直径、分辨力和蛇形畸变检测

关闭程控高照无影光源4，开启像增强器电源，靶板电动切换轮141切换到安装在靶板电动切换轮141的六个孔位上的复合靶板位置，采集图像E，进行像增强器有效阴极直径、分辨力和蛇形畸变的检测。

内部疵点和复丝检测的位置和尺寸大小标记，标记时，以投影的靶板电动切换轮141上安装的复合靶板刻线中心为坐标原点，能确定像面上任一点的坐标，并在圆周方向以半径的大小分出Ⅰ区、II区和Ⅲ区，标注为疵点的直径Φ+离中心的距离r，不规则边界的图案按其轮廓标注为等面积的外径Φ+离中心的距离r或长a×宽b+离中心的距离r或面积(mm²)+离中心的距离r，并按各种管型的验收规定(各个区域的允许疵点数)进行判定。

有效阴极直径测量：读出投影的靶板电动切换轮141上安装的复合靶板上的刻度标尺在像增强器上的输出图像的最小尺寸为阴极有效直径，读取两个方向的直径取较小值。

分辨力检测：使用所投影的靶板电动切换轮141上安装的复合靶板上的USAF1951图案(图案为中心一组，r＝7的圆周上均布4组)成像在像增强器的输出面后，识别中心和r＝7上最佳输出靶板图像的最大组别数为像增强器的分辨力。

蛇形畸变检测：使用所投影的靶板电动切换轮141上安装的复合靶板上的十字靶板成像在像增强器的输出面后，检测输出图像上的十字线的弯曲最大偏移量为像增强器的蛇形畸变。

3、像增强器剪切畸变检测

靶板电动切换轮141上安装0°、60°、120°三个方向的剪切畸变靶板。靶板电动切切轮141分别切换安装在靶板电动切换轮141的六个孔位上的三个剪切畸变靶板0°、60°、120°位置后，分别采集图像F、图像G、图像H，进行剪切畸变检测。剪切畸变的测量即为剪切畸变靶板上直线偏离正常直线的最大距离值。

4、像增强器阳极有效直径检测

电动变倍镜头5切换到小倍率上，移动三维移动滑台9和三维移动机构15的Z向安装的程控伺服电机直到聚焦呈清晰图像，打开程控高照无影光源，采集图像I，分析图像D和图像I，进行阳极有效直径测试。阳极有效直径测量为测量阳极输出图像上与像增强器外壳同轴的最大同心圆直径。

5、像增强器阳极均匀性和背景检测

滤光片电动切换轮181切换到ND3滤光片，此时有5×10-⁵lx±25％的均匀光照射到像增强器阴极面，打开电动快门19，移开电动挡板12，电动变倍镜头5切换到1×，关闭CCD相机6，打开sCMOS相机7，移动三维移动滑台9和三维移动机构15的Z向安装的程控伺服电机直到聚焦呈清晰图像，采集图像J，进行像增强器阳极均匀性检测；关闭电动快门19，移回电动挡板12，采集背景图像K，进行发射点、放电和背景不均匀检测。

像增强器的阳极均匀性测试为在规定的整个荧光屏有效直径内输出亮度的最大值与最小值之比，亮度测量计算的直径为Φ0.1mm～Φ3.2mm可调。

发射点、放电和背景不均匀测试：检查存在热电子涨落的阳极输出荧光屏上的高于或等于背景闪烁噪声的放电和发射点，放电和发射点为持续发光的点和块；检查阳极输出荧光屏上局部亮度高于平均亮度30％的区域。

测试结束，关闭sCMOS相机7。

6、标定

标定过程为：需要进行测量尺寸标定时，靶板电动切换轮141切换到安装在靶板电动切换轮141的六个孔位上的标定靶板位置，打开电动快门19，移开电动挡板141，电动变倍镜头5切换到1×，打开CCD相机6；移动三维移动滑台9和三维移动机构15的Z向安装的程控伺服电机直到聚焦呈清晰图像，采集图像L，通过对1mm黑白正方形的测量进行标定操作。

实施例2

如图1-3所示的***中，电动变倍镜头5可用显微镜代替；三维移动滑台9的XY轴为手动调节固定，Z轴为通过程控驱动电机进行调节；三维移动机构15的XY轴为手动调节固定，Z轴为通过程控驱动电机进行调节；电动光阑17可用手动调节光阑代替。

Claims (10)

1.一种微光像增强器图像质量综合测试***，其特征在于，包括光源模块、电动靶板切换轮组件、1:1投影镜头、程控暗箱、电动变倍镜头、探测模块、三维移动滑台、三维移动机构、光源***暗箱、程控高照无影光源、自动扫码枪、电源和控制器；

所述光源模块由卤钨灯安装座、对中光阑、连接筒、电动快门、电动滤光片轮组件、电动光阑、带照度探测器的积分球、照度指示器组成；

所述探测模块由CCD相机、sCMOS相机、半透半反镜安装座组成；

所述光源模块、电动靶板切换轮组件、1:1投影镜头、带有像增强器的程控暗箱、程控高照无影光源、电动变倍镜头、半透半反镜安装座、sCMOS相机的中心位于同一轴线上，通过三维移动滑台和三维移动机构调节对准并聚焦，CCD相机通过倾斜45°安装的半透半反镜耦合到轴线光路上同时成像；

所述光源模块固定在光路安装支架上，卤钨灯为标准A光源，通过对中光阑校准灯丝中心，连接筒和电动光阑组合调节照度，电动快门切断光路；电动滤光片轮组件由滤光片电动切换轮和衰减滤光片组成；带照度探测器的积分球均匀输出照度，照度指示器能显示输出的照度值；

所述电动靶板切换轮组件包括靶板电动切换轮和靶板；所述靶板具体包括：复合靶板，剪切畸变靶板0°、60°和120°，以及标定靶板；

所述1:1投影镜头用于将通过靶板的光耦合到像增强器的整个阴极面上；

所述程控暗箱用于为待测像增强器提供相对独立的照度环境，由程控暗箱上安装的步进电机的控制器控制暗箱的升降；

所述电动变倍镜头用于将像增强器输出的光信号耦合到探测模块的成像光电面，用于切换不同的图像采集区域；

所述探测模块根据不同的测试环节切换CCD相机和sCMOS相机，倾斜45°安装的半透半反镜将双相机耦合在一起；

所述三维移动滑台和三维移动机构的XY轴手动调节后固定，Z轴通过三维移动滑台和三维移动机构上安装的伺服电机控制器程控移动满足聚焦要求；

所述光源***暗箱为光源模块和1:1投影镜头提供暗箱环境。

2.根据权利要求1所述的微光像增强器图像质量综合测试***，其特征在于：

所述衰减滤光片有ND3、ND2、ND1.5、ND1、ND0.5五组衰减倍率，切换滤光片获得所需照度。

3.根据权利要求2所述的微光像增强器图像质量综合测试***，其特征在于：

还包括用于安装电源和控制器的电气柜。

4.根据权利要求3所述的微光像增强器图像质量综合测试***，其特征在于：

所述程控高照无影光源在像增强器的检测过程中提供照度。

5.根据权利要求4所述的微光像增强器图像质量综合测试***，其特征在于：

还包括用于1:1投影镜头防尘的电动挡板。

6.根据权利要求5所述的微光像增强器图像质量综合测试***，其特征在于：

还包括工控机，该工控机中设置有数据采集模块，用于采集数据和传输控制信号。

7.一种微光像增强器图像质量综合测试方法，其特征在于，该方法采用如权利要求6所述的微光像增强器图像质量综合测试***，包括以下步骤：

(1)图像质量综合测试前，将卤钨灯预热，打开电动快门，移开电动挡板，中性衰减滤光片切换在无滤光片，使用照度指示器检测照度，调节卤钨灯电源的电流值，使照度为事先所规定的校准值；

(2)调节程控高照无影光源的灯电流，校准程控高照无影光源照度为2000lx；将带有像增强器的测试外壳放置到检测工位后，像增强器接通电源，程序控制将程控暗箱运行到闭合状态；

(3)靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的无靶板位置，打开电动快门，移开电动挡板，电动变倍镜头切换到1×，打开CCD相机；

(4)正常输出图像采集：监测CCD相机的输出图像，检查像增强器有无输出图像，通过驱动其中所包含的程控驱动电机移动三维移动滑台和三维移动机构，在Z向移动直到聚焦呈清晰图像，检查像增强器的输出图像有无闪烁，并监测像增强器的电流是否有变化，采集无闪烁的图像A；

(5)强光闪烁检测：打开程控高照无影光源，检查像增强器的输出图像有无闪烁，并监测像增强器的电流是否有变化，采集图像B；

(6)阳极表面成像采集：此时关闭像增强器电源，采集图像C；

(7)对图像A～C进行处理，进行像增强器内部疵点和复丝检测，处理得到图像D；

(8)关闭程控高照无影光源，开启像增强器电源，靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的复合靶板位置，采集图像E，进行像增强器有效阴极直径、分辨力和蛇形畸变的检测；

(9)靶板电动切换轮分别切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的剪切畸变靶板0°、60°、120°位置，采集图像F、图像G、图像H，进行剪切畸变检测；

(10)电动变倍镜头切换到小倍率，通过驱动其中所包含的程控驱动电机移动三维移动滑台和三维移动机构，在Z向移动直到聚焦呈清晰图像，打开程控高照无影光源，采集图像I，分析图像D和图像I，进行阳极有效直径测试；

(11)靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的无靶板位置，打开电动快门，移开电动挡板，电动变倍镜头切换到1×，关闭CCD相机，打开sCMOS相机，移动三维移动滑台和三维移动机构的Z向程控驱动三维移动滑台和三维移动机构上安装的电机聚焦清晰图像，采集图像J，进行像增强器阳极均匀性检测；关闭电动快门，移回电动挡板，采集背景图像K，进行发射点、放电和背景不均匀测试；监测背景图像检测图像是否有闪烁；

(12)测试结束，关闭sCMOS相机。

8.根据权利要求7所述的微光像增强器图像质量综合测试方法，其特征在于：

处理得到图像D是，以图像A为基础图像，所述图像D＝图像A∩图像B∩图像C。

9.根据权利要求7或8所述的微光像增强器图像质量综合测试方法，其特征在于，还包括进行测量尺寸标定，具体包括：

靶板电动切换轮切换到安装在靶板电动切换轮的六个孔位上的标定靶板位置，打开电动快门，移开电动挡板，电动变倍镜头切换到1×，打开CCD相机；通过驱动其中所包含的程控驱动电机移动三维移动滑台和三维移动机构，在Z向移动直到聚焦呈清晰图像，采集图像L，进行标定操作。

10.根据权利要求9所述的微光像增强器图像质量综合测试方法，其特征在于：

所述将带有像增强器的测试外壳放置到检测工位是通过机器人气指或人工放置。

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