CN113366411A - 用于显示和/或操作装置的模块、显示和/或操作装置、用于制造模块的方法和行进装置 - Google Patents
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- CN113366411A CN113366411A CN202080009548.6A CN202080009548A CN113366411A CN 113366411 A CN113366411 A CN 113366411A CN 202080009548 A CN202080009548 A CN 202080009548A CN 113366411 A CN113366411 A CN 113366411A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 29
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 9
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 8
- 238000013532 laser treatment Methods 0.000 claims description 2
- 230000003678 scratch resistant effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 230000003666 anti-fingerprint Effects 0.000 description 7
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 7
- 238000011161 development Methods 0.000 description 6
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 5
- 239000006116 anti-fingerprint coating Substances 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000006120 scratch resistant coating Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001415961 Gaviidae Species 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002042 Silver nanowire Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LUKDNTKUBVKBMZ-UHFFFAOYSA-N aluminum scandium Chemical compound [Al].[Sc] LUKDNTKUBVKBMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005660 hydrophilic surface Effects 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N sodium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [Na+].[O-][Nb](=O)=O UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
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- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60K—ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES; ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PLURAL DIVERSE PRIME-MOVERS IN VEHICLES; AUXILIARY DRIVES FOR VEHICLES; INSTRUMENTATION OR DASHBOARDS FOR VEHICLES; ARRANGEMENTS IN CONNECTION WITH COOLING, AIR INTAKE, GAS EXHAUST OR FUEL SUPPLY OF PROPULSION UNITS IN VEHICLES
- B60K35/00—Instruments specially adapted for vehicles; Arrangement of instruments in or on vehicles
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- B60K—ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES; ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PLURAL DIVERSE PRIME-MOVERS IN VEHICLES; AUXILIARY DRIVES FOR VEHICLES; INSTRUMENTATION OR DASHBOARDS FOR VEHICLES; ARRANGEMENTS IN CONNECTION WITH COOLING, AIR INTAKE, GAS EXHAUST OR FUEL SUPPLY OF PROPULSION UNITS IN VEHICLES
- B60K35/00—Instruments specially adapted for vehicles; Arrangement of instruments in or on vehicles
- B60K35/10—Input arrangements, i.e. from user to vehicle, associated with vehicle functions or specially adapted therefor
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- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60K—ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PROPULSION UNITS OR OF TRANSMISSIONS IN VEHICLES; ARRANGEMENT OR MOUNTING OF PLURAL DIVERSE PRIME-MOVERS IN VEHICLES; AUXILIARY DRIVES FOR VEHICLES; INSTRUMENTATION OR DASHBOARDS FOR VEHICLES; ARRANGEMENTS IN CONNECTION WITH COOLING, AIR INTAKE, GAS EXHAUST OR FUEL SUPPLY OF PROPULSION UNITS IN VEHICLES
- B60K35/00—Instruments specially adapted for vehicles; Arrangement of instruments in or on vehicles
- B60K35/20—Output arrangements, i.e. from vehicle to user, associated with vehicle functions or specially adapted therefor
- B60K35/25—Output arrangements, i.e. from vehicle to user, associated with vehicle functions or specially adapted therefor using haptic output
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- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B60K2360/00—Indexing scheme associated with groups B60K35/00 or B60K37/00 relating to details of instruments or dashboards
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- B60K2360/1438—Touch screens
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Abstract
本发明涉及一种用于显示和/或操作装置(10)的模块(1),该模块(1)包括:具有多个电极岛(3a、3b、3c)的第一矩阵的第一透明电极(3);具有第一和第二表面的透明压电层(2);第二透明电极(4);透明基板(12);和在透明压电层(2)上的具有至少一个第一印制导线(24a)的印制导线布置结构(25),其中,电极岛(3a、3b、3c)彼此电绝缘地设置在透明压电材料(2)的第一表面上,并且至少印制导线布置结构(25)的第一印制导线(24a)与至少一个电极岛(3a、3b、3c)电连接,并且至少第一印制导线(24a)和/或至少一个电极岛(3a、3b、3c)具有最大粗糙深度为4μm的粗糙表面结构。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于显示和/或操作装置的模块、一种用于制造模块的方法、一种显示器装置和一种行进装置。
背景技术
目前,显示器装置对用户的触觉反馈可尤其是通过用户触摸时借助压电致动器的振动或经由显示器或表面借助磁体或电动马达的运动来实现。但具有通常不透明的机械耦合元件的压电致动器必须设置在显示器的边缘区域中,因为否则压电致动器和机械耦合元件会限制看向显示器的视线。
US 2012/0313874 A1和US 2012/0313766 A1公开了安装在显示器装置的边缘处的压电致动器。该压电致动器在两侧完全涂覆有连续电极。当识别到物体、如手指触摸显示器时,会向电极施加电压。由此,压电致动器通过压电效应激发而振动,并且接触显示器装置的物体经历触觉反馈。但该触觉反馈同时发生在整个显示器上。因此,不能单独激发显示器的局部区域以获得触觉反馈。由于压电致动器设置在显示器的边缘区域中,在此也需要附加的机械耦合元件。
此外,无论设计如何,已知的触摸表面、尤其是触摸显示器都具有抗反射表面涂层。但触摸传感器***、触觉执行器、抗光泽、抗指纹和抗反射涂层必须使用不同的技术来实现。触摸传感器***、触觉执行器、抗光泽涂层、抗指纹涂层和抗反射涂层的同时技术实现必须通过异质的制造步骤并使用不同的材料进行。因此,如此制造的触摸表面的***特性在安装空间和触觉效果方面受到限制。此外,增加了***和开发成本以及不利的质量特性。
发明内容
因此,本发明的任务是在具有良好抗反射、抗光泽和抗指纹特性的显示和/或操作装置上允许位置选择性的触觉反馈,同时降低制造和材料费用,并减轻上述现有技术的缺点。
根据本发明,所述任务通过独立权利要求解决。
根据第一方面,本发明涉及一种用于显示和/或操作装置(如用于显示器装置)的模块。“模块”在此理解为尤其是可设置在显示和/或操作装置的示出图形显示内容和/或允许与图形显示内容直接互动的区域上的构件、如触摸屏。此外,“显示装置”也可包括装饰表面。模块尤其是可粘合到显示和/或操作装置的这种区域上。模块在此通过下文描述的特征是透明的。“透明”在此尤其是理解为无色透明、如窗玻璃的透明。但在此使用的术语透明至少要求显示和/或操作装置的显示器的图形显示内容必须是观察者通过模块可识别或可见的。
模块包括涂覆有第二透明电极的透明基板。第二透明电极材料又在其另一侧上涂覆有透明压电材料的第二表面。因此,第二电极“夹心地”设置在基板和透明压电材料之间。此外,透明压电材料的第一表面涂覆有第一透明电极。例如透明压电层的第一表面和第二表面平行延伸。换言之,所述电极设置在透明压电层的彼此相对置的各表面上。第一透明电极在此包括电极岛的第一矩阵。换言之,在透明压电材料上存在透明电极层,其包括二维图案、即电极岛的第一矩阵。电极岛在此应理解为第一矩阵的彼此隔离的组成部件(它们尤其是彼此间隔开地设置)。由电极岛形成的矩阵可设计成“V”和/或“W”的形式和/或“棋盘图案”的形式或十字的形式。在此尤为重要的是,电极岛彼此间隔开。每个电极岛在此可与一个电压源连接。因此,电极岛可理解为第一电极的透明材料(如氧化铟锡)的分离的层,它们不相互接触并且作为二维图案分布地设置在透明压电层的第一表面上。这些层可设计成多边形的、尤其是矩形的以及椭圆形的。例如电极岛可与第二表面的边缘间隔开地设置。也就是说,电极岛不接触第一表面的边缘。此外,根据本发明的模块包括具有至少一个第一印制导线的印制导线布置结构。例如印制导线布置结构可包括5到200个印制导线。在此至少第一印制导线与至少一个电极岛电连接。在此电极岛可通过包括至少一个第一印制导线的印制导线布置结构借助电极焊盘供电,该电极焊盘设置在第一表面之外并且具有通向电压源的路径。因此,通过在第一和第二电极之间(在所述第一和第二电极之间设有透明压电材料)施加电压,可通过压电效应激发压电材料的运动、尤其是振动,这又将透明基板置于振动。在电极岛与第一表面的边缘间隔开的情况下,由此可通过透明基板的振动在模块的任何位置上引起触觉反馈。因此,对于例如用其手指触摸模块表面的用户,可在该表面的任何位置上引起触觉反馈。通过根据手指位置改变整个板的振动可实现位置选择性。此外,通过对电极岛的有针对性的操控,可通过透明基板的位置选择性的振动引起与其它表面区域无关的位置选择性的触觉反馈。
至少第一印制导线和/或电极岛之一在此具有最大粗糙深度为4μm的粗糙表面结构。“最大粗糙深度”是表面的总测量距离内的最深槽和最高峰之间的垂直差(参见定义:http://www.technisches-zeichnen.net/technisches-zeichnen/diverses/rauheitswerte.php)。定义粗糙深度的槽和峰在此可形成有序的、尤其是蛾眼表面形式的表面结构或无序的表面结构。通过表面结构的粗糙度尤其是可实现反射光的散射或甚至通过减小折射率差异降低反射强度。因此,反射强度降低。从而可获得具有抗光泽或抗反射特性的涂层。此外,粗糙表面结构具有如下效果:较少地吸附例如来自接触表面的手指的异物。这尤其是可从表面上的指纹的减少看出。
第一和/或第二电极例如可具有石墨烯和/或氧化铟锡(ITO)和/或银纳米线和/或碳纳米管(CNT)和/或导电聚合物和/或铝掺杂ZnO和/或氮掺杂类金刚石碳和/或碳纳米线。
层厚度在此并不关键。层厚度应仅设计为使得可实现上面提到的不平度。
作为用于压电层的透明压电材料尤其是使用锆钛酸铅(Pb(ZrxTi1-x)O3)和/或钛酸铅(PbTiO3)和/或钛酸钡(BaTiO3)和/或铌酸钠(NaNbO3)和/或铌酸钾(KNbO3)和/或锂掺杂铌酸钾钠(K,Na)1-xLixNbO3和/或氮化铝钪(AIScN)。用于压电层的压电材料的层厚度尤其是150至1500nm。如果层厚度较小,则可能会无法向压电层施加足够高的电压,而如果层厚度过大,则可能会出现在机械层应力和透明降低方面的问题。
电极岛尤其是可具有20μm至500μm的边长和/或直径。如果边长和/或直径较小,则可能会出现对有利于布线的空间的不利损失。
因此,用于显示和/或操作装置的模块可安装在显示和/或操作装置的示出图形显示内容和/或将其提供用于交互的部件(即显示器)上。例如自由侧面、即基板的未涂层侧面可直接施加到显示和/或操作装置的显示器上。因此,通过在空间上直接邻接地设置透明电极与压电材料可省去附加的机械耦合接口,这使得模块可更简单且成本更低地制造。此外,通过将第一矩阵的至少一个电极岛与第一表面的边缘间隔开,透明模块上的每个任何位置都可位置选择性地通过压电材料的激发用于触觉反馈。此外,通过根据本发明的透明模块可减少图形显示内容的变形,这例如会出现在已知的非透明的压电致动器中。
电极岛和印制导线将触觉执行器、抗光泽涂层、抗指纹涂层和抗反射涂层结合为集成附件。由于省去了附加构件,可改善模块性能,因为与已知的解决方案相比可最大限度地减少安装空间来实现触觉反馈、抗光泽效果和抗指纹效果以及抗反射涂层。由此通过减少离散构件或附加层的数量来降低开发和***成本并提高质量特性。“抗光泽表面”尤其是理解为具有较弱定向的漫反射的散射表面。“抗反射”尤其是理解为通过吸收光来降低反射的光强度。
从属权利要求示出本发明的有利扩展方案。
在根据本发明的模块的一种有利扩展方案中,透明压电层的第一表面和第二表面彼此平行。换言之,第一电极和第二电极安装在透明压电层的彼此相对置的各侧面上。以此方式可理想地实现触觉反馈。
根据本发明的模块的另一种有利扩展方案,至少一个电极岛与第一表面的边缘间隔开地设置。在此电极岛可任意设置在压电层的中心和/或象限上。此外,两个或更多个电极岛可与第一表面的边缘间隔开地设置。特别有利的是,所有电极岛都与边缘间隔开地设置。在此与边缘间隔开的电极可具有将电极岛与电极焊盘连接的导线,该导线可设置在透明压电层的边缘上或透明压电层之外。通过将电极岛与第一表面的边缘间隔开地设置,可在模块的任何位置上位置选择性地产生触觉反馈。
在根据本发明的模块的另一种有利实施方式中,至少一个电极岛具有其自身的、独立的、通往电压源的电压路径。换言之,第一矩阵的电极岛中的至少一个电极岛具有自身的且独立的电路路径,其构造用于将该电极岛与一个电压源电连接。这例如可以是与上述电极焊盘连接的印制导线。该电路路径例如还包括晶体管和/或开关和/或继电器,其独立于其余电极岛的开关路径闭合通向电压源的电流路径。因此,可对根据本发明的模块的一个小区域进行单独且独立地选择性地操控。此外,至少两个并且尤其是所有电极岛也可分别具有自身的且独立的、通往自身的独立的电压源的电路路径。
在另一种有利的实施方式中,电极岛具有椭圆形和/或多边形、尤其是四边形形状。椭圆形形状例如还可包括圆形。此外,也可想到点状电极岛。例如在岛具有四边形形状的情况下,也可形成第一矩阵的片状结构。
根据另一种扩展方案,第二透明电极包括具有多个电极岛的第二矩阵。为了避免重复,适用于具有第一矩阵的第一电极的所有特征、效果和优点在此也与具有第二矩阵的第二电极相关。与根据本发明的模块内的全涂层相比,尤其是可通过使用具有多个电极岛的第二矩阵降低层应力。
在一种优选实施方式中,第一矩阵和第二矩阵的电极岛相互重合地设置。以此方式可实现压电层的空间优化地激发。
在根据本发明的模块的一种有利扩展方案中,模块包括抗划伤涂层和/或疏水涂层。以此方式,电极岛或印制导线的使用寿命可显著增加。作为抗划伤涂层使用防划伤漆层。
在根据本发明的模块的一种有利实施方式中,电极岛和/或印制导线布置结构或印制导线布置结构的印制导线可具有规则表面结构,其最大粗糙深度为300至700nm、尤其是350至550nm,并且定义粗糙度的凸起之间的平均间距为150至300nm、尤其是200至300nm。间距尤其是指在凸起所在平面的所有方向上的径向距离。通过规则地设置,凸起可进一步减少反射强度。这种减少是基于折射率差异的减少,这也被称为“蛾眼效应”。
在另一种有利的扩展方案中,电极岛和/或印制导线布置结构的印制导线包括表面空腔。由此尤其是防止可在表面上形成油脂膜。因此,可改善抗指纹特性。例如表面空腔可具有4μm的最大粗糙深度。
下述根据本发明的方面包括根据本发明的装置的有利实施方式和扩展方案以及一般优点和分别与其相关联的相应技术效果。
根据第二方面,本发明涉及一种用于制造根据本发明第一方面的模块的方法。为此,首先用第二透明电极涂覆透明基板、如玻璃板和/或透明塑料。这例如可借助通过物理气相沉积、如通过溅射和/或汽化渗镀(例如包括氧化铟锡的溅射)的施加来进行。然后例如可通过干蚀刻方法或光刻方法对电极进行结构化。然后将透明压电材料(如锆钛酸铅和/或掺杂和/或未掺杂的氮化铝)沉积到第二透明电极上。这例如可通过传统的溅射方法进行。作为替代方案,例如传统的溶胶-凝胶方法也是可能的。在溶胶-凝胶方法的情况下,尤其是可进行进一步的干燥步骤。在下一步骤中,在透明压电材料的第一表面上用电极岛的第一矩阵涂覆透明压电材料,至少一个电极岛具有最大粗糙深度为4μm的粗糙表面结构。如上所述,涂层可通过溅射来进行。粗糙表面结构可通过干蚀刻和/或光刻(或者说光刻过程)和/或通过激光处理产生。产生粗糙表面结构的步骤尤其是可在涂层之后进行。优选地,粗糙表面结构包括蛾眼结构。印制导线、优选金属部件尤其是也使用物理气体沉积方法来施加。尤其是施加最大粗糙深度为4μm的印制导线。所使用的涂层技术在此相应于对基板涂层时的技术。涂层的结构化例如可通过光刻过程和/或干蚀刻过程进行。在此可想到物理过程(如通过氩离子轰击)和/或借助蚀刻掩模的化学过程、如用含氯气体蚀刻(尤其是在结构化AIN或ScAIN时)。也可借助激光技术进行结构化。因此,尤其是可定义印制导线或压电材料和尤其是电极岛的结构。因此,可在一种制造方法内制造具有触觉执行器、抗光泽、抗指纹和抗反射涂层的模块,而无需附加的生产步骤和生产材料。因此可降低生产成本,因为节省了材料以及方法步骤。
根据第三方面,本发明涉及一种包括根据第一方面的模块的显示和/或操作装置。模块在此作为透明模块设置在显示和/或操作装置的显示区域或显示器上。此外,显示和/或操作装置可包括评估单元、如CPU和/或微控制器。此外,显示和/或操作装置可包括传感器、如摄像机和/或接触传感器(如传感器玻璃)。此外,显示和/或操作装置可包括电压源。在此第一和第二透明电极、尤其是第一和/或第二矩阵的电极岛可与该电压源连接。评估单元构造用于通过控制开关和/或晶体管和/或继电器来闭合具有两个透明电极和电压源的电路并因此确保将电位施加到透明电极上,以激发压电材料。因此,评估单元也可将电位施加到各个电极岛上,以便在相应电极岛的位置上激发透明压电层并因此在透明模块的任意位置上引起触觉反馈。运动传感器和/或摄像机也可与评估单元连接。如果物体例如通过接触模块的表面而被传感器识别,则评估单元可构造用于通过相应电连电极来在该位置处施加电位。
根据第四方面,本发明涉及一种包括根据第三方面的显示和/或操作装置的行进装置。在此显示和/或操作装置固定地安装在行进装置中,而非设计为便携式设备。行进装置在本发明的意义中例如是汽车、尤其是轿车和/或货车和/或飞机和/或轮船和/或摩托车。
附图说明
本发明的其它细节、特征和优点从下述说明和附图给出。附图如下:
图1a示出根据本发明的模块的一种实施方式;
图1b示出根据本发明的显示和/或操作装置的一种实施方式;
图2示出根据本发明的模块的一种实施方式;
图3示出根据本发明的行进装置的一种实施方式;
图4示出根据本发明的方法的一种实施方式的流程图;
图5a示出在根据本发明的电极岛的一种实施方式上的反射期间散射的微观图示;
图5b示出在根据本发明的电极岛的一种实施方式上的反射期间散射的宏观图示;
图6示出根据本发明的模块的一种实施方式;
图7示出根据本发明的具有疏水涂层的模块的一种实施方式的横截面图;和
图8a示出在根据本发明的具有有序表面结构的电极岛的一种实施方式上的反射强度降低的图示,
图8b示出根据本发明的电极岛的一种实施方式的有序表面结构的微观图示;
图9a示出根据本发明的电极岛的抗指纹效果的技术实现可能性的概图;和
图9b示出根据本发明的电极岛的一种实施方式的抗指纹效果的宏观图示。
具体实施方式
图1a示出根据本发明的模块1的一种实施方式。在此,第一透明电极3的第一矩阵的电极岛3a、3b、3c设置成“W形”。通过导线5和第一电极焊盘6和设置在其上的电路可独立且分开地分别将电压施加到电极岛3a、3b、3c上。此外,透明压电层2(如AlScN)涂覆有例如具有氧化铟锡的电极岛3a、3b、3c。此外,圆形虚线示出第二透明电极4,其例如具有氧化铟锡。第二透明电极4可与第二电极焊盘7连接或电连,第二电极焊盘也可想象地设置在压电材料2下方并且仅出于说明目的示出。此外,第二透明电极4(在透明压电材料2下方)设置在透明基板12、如玻璃上。
图1b示出根据本发明的显示和/或操作装置10的一种实施方式。在此示出根据本发明的模块1的横截面A-A。除了根据本发明的模块1之外,在此还示出用于显示显示内容并且用于用户交互的显示器9和传感器11、尤其是传感器玻璃。通过传感器11例如可检测想要通过触摸与显示器9的内容交互的用户的手指23。在这通过传感器11识别出之后,在相应的电极岛3a、3b、3c和第二透明电极4之间施加随时间变化的电压。由此,在一个或多个特定的第一电极岛3a上产生透明压电层2的振动,从而使透明基板12振动。由此,用户在其手指23的位置处体验到振动或触觉反馈。
图2示出根据本发明的模块1的一种实施方式,以说明电极岛3a、3b、3c的独立且分开的开关路径。在此第二透明电极4和电极岛3a、3b、3c可选择性地与电压源13连接。此外,由电极岛3a、3b、3c和第二透明电极4形成的每个电极对可具有单独的电压源。通过闭合开关S1、S2、S3之一可分开地操控电极岛3a、3b、3c之一。如果仅应将电压施加到第一电极岛3a,则可闭合第一开关S1。如果应对第一和第三电极岛3a、3c执行此操作,则可闭合第一和第三开关S1、S3等。通过评估单元8可控制开关S1、S2、S3的闭合和打开。
图3示出包括根据本发明的显示和/或操作装置10的根据本发明的行进装置20(以汽车的形式)的一种实施方式。可借助传感器11、如电容传感器识别用户对模块1的触摸。通过评估单元8可在电极岛3a、3b、3c的一个位置处激发振动。
图4示出根据本发明的用于制造用于显示和/或操作装置10的模块1的方法的一种实施方式的流程图。在第一步骤100中,通过物理气体沉积过程用第二透明电极4、如氧化铟锡涂覆透明基板12。在第二步骤200中,对第二透明电极4进行结构化。在第三步骤300中,例如通过溅射和/或溶胶-凝胶方法用透明压电材料(如AlScN或PZT)涂覆第二透明电极4。接着,在第四步骤400中,在溶胶-凝胶方法的情况下进行干燥。在第五步骤500中,通过物理气体沉积(例如用氧化铟锡和金属、如用于印制导线24a-24e的银)对透明压电层2进行涂层,以便在透明压电层2上形成具有电极岛3a、3b、3c的矩阵、即第一透明电极3。在第六步骤600中,对矩阵和印制导线24a-24e进行结构化,以获得根据本发明的模块1。在此通过干蚀刻过程和/或光刻过程在电极岛3a、3b、3c和印制导线24a-24上产生粗糙表面结构,粗糙表面结构具有最大粗糙深度为1μm的无序的粗糙表面结构。此外,也可产生具有高度为500nm的凸起的有序结构,这些凸起在径向方向上彼此之间的平均间距为250nm。这样的结构也被称为“蛾眼结构”。
图5a示出由第一电极岛3a的粗糙表面结构产生的光散射的微观图示。照射到粗糙表面上的光线——其通过指向表面的箭头表示——在第一电极岛3a的表面上通过其粗糙度发生散射。这种散射通过远离电极岛3a表面的箭头表示。表面在此具有无序的粗糙结构,在其中最大粗糙深度例如是2μm。
图5b示出通过图5a的微观结构产生的抗光泽效果的宏观图示。左侧的第一电极岛3a具有如图5a所示的表面结构。左侧的第一光泽G1被散射显著削弱。通过分界线T与左侧电极岛隔开的右侧的第二电极岛3b不具有根据本发明的粗糙表面结构,因此其第二光泽G2比第一光泽G1更强。
图6示出根据本发明的模块1的一种实施方式。该模块包括电极岛3a至3c、透明压电层2以及具有第一至第五印制导线24a至24e的印制导线布置结构。在此电极岛3a至3c等与印制导线24a至24e连接。
图7示出根据本发明的模块1的横截面图。在此电极岛3a、3b和印制导线24a至24e附加地覆盖有疏水涂层26。
图8a示出反射强度通过电极岛3的表面的降低,该电极岛的表面尤其是具有500nm的凸起。这些凸起之间在径向方向上的平均间距尤其是为250nm,这导致有序的蛾眼结构。这种蛾眼结构通过减少折射率差异来降低反射光线的强度,反射光线通过远离表面的箭头表示。这也被称为“蛾眼效应”。结果是由此可实现抗反射效果。
图8b示出在对图8a的描述中提到的表面或蛾眼结构的TEM照片。
图9a示出根据本发明的抗指纹涂层的实现可能性。该图中的第一电极岛3a涂有具有低表面能的疏水物质26。以此方式,在用极性液体、如水润湿的情况下,可理想地实现180°润湿角的润湿。相反,第二电极岛3b包括具有高表面能的涂层,由此导致0°润湿角。第三电极岛3c除最大粗糙深度例如为3μm的表面结构化之外还具有空腔。以此方式,可例如基于指纹产生的油脂膜会更难以吸附在表面上。由此产生抗指纹涂层。此外,如对于第四电极岛3d所示,疏水涂层26和根据本发明的粗糙表面结构的特性可相互组合。
图9b示出第四电极岛3d和第二电极岛3b上的第一指纹F1和第二指纹F2的比较。第四电极岛3d具有疏水涂层和根据本发明的粗糙表面结构。第二电极岛3b仅具有亲水表面涂层。通过比较分界线T左右两侧的指纹F1、F2可以清楚地看出,第四电极岛3d上的指纹T1不如第二电极岛3b上的指纹T2清晰可见。此外,第一水滴W1的润湿角明显大于第二水滴W2的润湿角。
为了更好地理解,借助一种应用示例来解释本发明。在透明基板上通过溅射沉积来沉积ITO。随后通过光刻和干蚀刻进行结构化。然后将ScAIN溅射沉积到现有层上并且随后通过光刻和干蚀刻进行结构化。在下一步骤中,通过溅射沉积来沉积ITO并且随后通过光刻和干蚀刻进行结构化。最后,用一层钝化层(例如通过低压化学气相沉积(LPCVD)和/或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和/或溅射)对表面进行整表面地涂覆,然后在两个电极与操控装置电接触的位置上通过光刻和干蚀刻打开钝化层。
附图标记列表
1 模块
2 透明压电层
3 第一透明电极
3a 第一电极岛
3b 第二电极岛
3c 第三电极岛
3d 第四电极岛
4 第二透明电极
5 导线
6 第一电极焊盘
7 第二电极焊盘
8 评估单元
9 显示器
10 显示和/或操作装置
11 传感器
12 透明基板
13 电压源
20 行进装置
23 手指
24a 第一印制导线
24b 第二印制导线
24c 第三印制导线
24d 第四印制导线
24e 第五印制导线
25 印制导线布置结构
26 疏水涂层
A-A 横截面
S1 第一开关
S2 第二开关
S3 第三开关
100-600 方法步骤
F1 第一指纹
F2 第二指纹
G1 第一光泽
G2 第二光泽
T 分界线
W1 第一水滴
W2 第二水滴
λ 波长
Claims (11)
1.用于显示和/或操作装置(10)的模块(1),该模块(1)包括:
-第一透明电极(3),该第一透明电极具有包括多个电极岛(3a、3b、3c)的第一矩阵;
-具有第一表面和第二表面的透明压电层(2);
-第二透明电极(4);
-透明基板(12);和
-在透明压电层(2)上的具有至少一个第一印制导线(24a)的印制导线布置结构(25),
其中,
透明基板(12)涂覆有第二透明电极(4)并且第二透明电极(4)设置在该透明基板和透明压电层(2)之间,并且
所述第一表面涂覆有第一透明电极(3)并且所述第二表面涂覆有第二透明电极(4);并且所述电极岛(3a、3b、3c)彼此电绝缘地设置在透明压电材料(2)的第一表面上,至少印制导线布置结构(25)的第一印制导线(24a)与所述电极岛(3a、3b、3c)中的至少一个电极岛电连接,并且至少第一印制导线(24a)和/或所述电极岛(3a、3b、3c)中的至少一个电极岛具有最大粗糙深度为4μm的粗糙表面结构。
2.根据权利要求1所述的模块(1),其中,该模块还包括在第一透明电极(3)上的抗划伤涂层和/或疏水涂层(26)。
3.根据权利要求1或2所述的模块(1),其中,所述电极岛(3a、3b、3c)和/或印制导线布置结构(25)具有规则表面结构,该规则表面结构的最大粗糙深度为150nm至300nm,并且定义粗糙度的凸起之间的平均间距为300nm至700nm。
4.根据前述权利要求中任一项所述的模块(1),其中,所述电极岛(3a、3b、3c)和/或印制导线布置结构(25)包括表面空腔。
5.根据前述权利要求中任一项所述的模块(1),其中,所述表面空腔具有至少4μm的深度。
6.用于制造根据权利要求1至5中任一项所述的模块(1)的方法,该方法包括下述步骤:
-用第二透明电极(4)涂覆(100)透明基板(12)的第二表面;
-用透明压电层(2)涂覆(300)第二电极(4);并且
-用第一透明电极(3)涂覆(500)透明压电层(2)的第一表面,所述第一透明电极的形式为包括彼此电绝缘设置的电极岛(3a、3b、3c)的第一矩阵,其中,至少第一印制导线(24a)和/或所述电极岛(3a、3b、3c)中的至少一个电极岛具有最大粗糙深度为4μm的粗糙表面结构。
7.根据权利要求6所述的方法,其中,该方法还包括如下步骤:结构化(600)、尤其是干蚀刻和/或光刻和/或通过激光处理,以用于产生粗糙表面结构。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,在涂覆(500)步骤之后进行用于产生粗糙表面结构的结构化(600)。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的方法,其中,所述粗糙表面结构包括蛾眼结构。
10.显示和/或操作装置(10),包括根据权利要求1至5中任一项所述的模块(1),其中,所述模块(1)作为透明模块设置在该显示和/或操作装置(10)的显示器(9)上。
11.行进装置(20),包括根据权利要求10所述的显示和/或操作装置(10),其中,该显示和/或操作装置(10)固定地安装在行进装置(20)中。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102019101765.3A DE102019101765A1 (de) | 2019-01-24 | 2019-01-24 | Modul für eine Anzeige- und/oder Bedienvorrichtung, Anzeige- und/oder Bedienvorrichtung, Verfahren zur Herstellung eines Moduls und Fortbewegungsmittel |
DE102019101765.3 | 2019-01-24 | ||
PCT/DE2020/100031 WO2020151782A1 (de) | 2019-01-24 | 2020-01-17 | Modul für eine anzeige- und/oder bedienvorrichtung, anzeige- und/oder bedienvorrichtung, verfahren zur herstellung eines moduls und fortbewegungsmittel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113366411A true CN113366411A (zh) | 2021-09-07 |
Family
ID=69467283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202080009548.6A Pending CN113366411A (zh) | 2019-01-24 | 2020-01-17 | 用于显示和/或操作装置的模块、显示和/或操作装置、用于制造模块的方法和行进装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11531415B2 (zh) |
CN (1) | CN113366411A (zh) |
DE (1) | DE102019101765A1 (zh) |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220100297A1 (en) | 2022-03-31 |
WO2020151782A1 (de) | 2020-07-30 |
DE102019101765A1 (de) | 2020-07-30 |
US11531415B2 (en) | 2022-12-20 |
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PB01 | Publication | ||
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