CN113330273B - 检查装置用移送机构、检查装置及利用其的对象物检查方法 - Google Patents

检查装置用移送机构、检查装置及利用其的对象物检查方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113330273B
CN113330273B CN202080010637.2A CN202080010637A CN113330273B CN 113330273 B CN113330273 B CN 113330273B CN 202080010637 A CN202080010637 A CN 202080010637A CN 113330273 B CN113330273 B CN 113330273B
Authority
CN
China
Prior art keywords
transfer
transfer object
lifting
inspection apparatus
stopper
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202080010637.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113330273A (zh
Inventor
姜明
黄钢照
郑忠珉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gaoying Technology Co ltd
Original Assignee
Gaoying Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gaoying Technology Co ltd filed Critical Gaoying Technology Co ltd
Publication of CN113330273A publication Critical patent/CN113330273A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113330273B publication Critical patent/CN113330273B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
    • G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H7/00—Gearings for conveying rotary motion by endless flexible members
    • F16H7/18—Means for guiding or supporting belts, ropes, or chains
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/167—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by projecting a pattern on the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/08—Testing mechanical properties
    • G01M11/081—Testing mechanical properties by using a contact-less detection method, i.e. with a camera
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08C—TRANSMISSION SYSTEMS FOR MEASURED VALUES, CONTROL OR SIMILAR SIGNALS
    • G08C17/00—Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link
    • G08C17/02—Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link using a radio link
    • G—PHYSICS
    • G12—INSTRUMENT DETAILS
    • G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G12B9/00—Housing or supporting of instruments or other apparatus
    • G12B9/08—Supports; Devices for carrying
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004—Supports
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N2021/95638—Inspecting patterns on the surface of objects for PCB's

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

本公开一个实施例的对象物检查装置用移送机构包括：上端卡接部，构成为能够与移送物的上侧面接触；支撑框架，所述上端卡接部固定在所述支撑框架；升降部，以能够沿上下方向移动的方式配置于所述支撑框架且包括支撑部，所述支撑部以能够支撑所述移送物的下侧面的方式构成；及升降驱动部，提供驱动力以使所述升降部能够沿上下方向移动。

Description

检查装置用移送机构、检查装置及利用其的对象物检查方法
技术领域
本公开涉及一种检查对象物的装置、用于移动对象物的检查装置用移送机构及检查对象物的方法。
背景技术
对于制造各种物品并直接流通或进行与其他物品的组装的情形，就执行对物品(对象物)的制造状态或组装状态的检查而言，是为了提高制品可靠性所必需的工序。以往物品的检查是由肉眼来进行检查的，但最近开发了利用检查装备来提高精密度、提高作业速度的技术。
对象物的种类、形态及大小可以多种多样。例如，印刷电路板(PCB：PrintedCircuit Board)等基板可以成为对象物。在基板上可以配置多个元件。销***装置可以将多个销***于在基板上形成的多个孔。通过***的销，基板可以与其他部件电连接。
发明内容
所要解决的技术问题
本公开的实施例提供一种高效检查对象物的装置及方法。
本公开的实施例提供一种在对象物配置于预先设置的准确位置的状态下，帮助准确地执行检查的装置及方法。
以往，对于利用手工操作更换对象物的对象物检查装置，存在操作者的安全性下降的问题。例如，夹具放到由伺服马达(servomotor)驱动的滚珠丝杆(ball screw)上并移送，从而夹具移动时，操作者由失误将手等碰到夹具时，存在如下问题，即存在操作者可能遭受致命伤害的隐患。本公开的实施例解决前述以往技术的问题。
解决问题的方案
本公开的一个侧面提供检查装置用移送机构的实施例。代表性实施例的移送机构包括：上端卡接部，构成为能够与移送物的上侧面接触，所述移送物包括检查对象物；支撑框架，所述上端卡接部固定在所述支撑框架；升降部，以能够沿上下方向移动的方式配置于所述支撑框架且包括支撑部，所述支撑部以能够支撑所述移送物的下侧面的方式构成；及升降驱动部，提供驱动力以使所述升降部能够沿上下方向移动。
在实施例中，所述支撑部构成为能够一边支撑所述移送物的下侧面一边使所述移送物沿前后方向移动。
在实施例中，所述升降部可以包括：移送皮带轮；及马达，提供使所述移送皮带轮旋转的驱动力。所述支撑部包括移送皮带，所述移送皮带缠绕于所述移送皮带轮且能够进行旋转并支撑所述移送物的下侧面。
在实施例中，所述升降部包括后端阻挡器，所述后端阻挡器构成为能够与所述移送物的后侧面接触，以用于设定所述移送物的向后方的最大移动位置。
在实施例中，所述移送部配置于所述支撑部的前方且构成为能够一边支撑所述移送物一边使所述移送物向后方移动。所述移送部构成为能够使所述移送物向后方移动，使得所述支撑部支撑所述移送物。
在实施例中，所述支撑部构成为能够使所述移送物向前方移动，使得所述移送部支撑所述移送物。
在实施例中，所述移送机构可以包括：第一移送部，配置于所述支撑部的前方，且构成为能够在支撑所述移送物的同时使所述移送物向后方移动；及第二移送部，配置于所述第一移送部的上方或下方并配置于所述支撑部的前方，且构成为能够在支撑所述移送物的同时使所述移送物向前方移动。所述第一移送部构成为能够使所述移送物向后方移动，使得所述支撑部支撑所述移送物。所述支撑部构成为能够使所述移送物向前方移动，使得所述第二移送部支撑所述移送物。
在实施例中，所述移送机构可以包括可变阻挡器，所述可变阻挡器构成为：如果所述可变阻挡器向阻挡方向移动则所述升降部向下侧方向移动时所述可变阻挡器与所述升降部的下侧面接触；而如果所述可变阻挡器向解除方向移动则所述升降部向下侧方向移动时所述可变阻挡器将不构成阻挡，所述阻挡方向为垂直于上下方向及前后方向的方向，所述解除方向为所述阻挡方向的相反方向。所述可变阻挡器构成为在所述升降部的下侧面与所述可变阻挡器接触的状态下，使所述第一移送部及所述第二移送部中配置于上侧的一方的上侧面与所述支撑部的上侧面位于同一高度。
在实施例中，所述移送机构可以构成为，如果所述升降部向上侧移动，则所述移送物的上侧面与所述上端卡接部接触，如果所述升降部向下侧移动，则所述移送物的上侧面从所述上端卡接部离开。
在实施例中，所述升降部可以包括侧面引导件，所述侧面引导件构成为能够与所述移送物的左侧面或右侧面接触。
在实施例中，所述上端卡接部构成为能够与作为所述移送物的左侧部及右侧部中的一个的一侧部的上侧面接触。所述支撑部构成为能够支撑所述移送物的所述一侧部的下侧面。所述侧面引导件构成为能够与所述移送物的特定侧端接触，所述特定侧端为以所述移送物的中心为基准配置有所述一侧部的那侧侧端。
在实施例中，所述上端卡接部包括多个下侧面，所述多个下侧面以在前后方向上形成多个缝隙的方式排列，且能够与所述移送物的上侧面接触。所述侧面引导件包括多个侧面引导凸起，所述多个侧面引导凸起向上侧突出以便能够***于所述多个缝隙，且构成为能够与所述移送物的左侧面或右侧面接触。
在实施例中，所述上端卡接部可以包括多个上端卡接凸起，所述多个上端卡接凸起向所述侧面引导件望向所述移送物的方向突出，并形成所述多个下侧面。
在实施例中，所述移送机构可以包括下端阻挡器，所述下端阻挡器构成为能够与所述升降部的下侧面接触，以用于设定所述升降部的向下侧的最大位置。
在实施例中，所述移送机构可以包括多个升降传感器，所述多个升降传感器固定于所述支撑框架且用于感知所述升降部的已设定的多个位置。所述升降部包括升降靶，当所述升降部位于所述多个位置中一个时，所述升降靶被所述多个升降传感器中的一个感知。
本公开的另一侧面提供包括一个以上所述移送机构的检查装置的实施例。
在实施例中，所述一个以上的移送机构包括：第一移送机构，用于支撑所述移送物的左侧部；及第二移送机构，用于支撑所述移送物的右侧部。
在实施例中，所述检查装置可以包括：框架引导件，引导所述第一移送机构及所述第二移送机构中的至少一个沿左右方向移动；及驱动部，所述驱动部提供以使所述至少一个移送机构沿左右方向移动的驱动力。
本公开的又一侧面提供利用包括所述移送机构的检查装置的对象物检查方法的实施例。代表性实施例的对象物检查方法包括：上升移动步骤，所述升降部上升，使所述移送物向上侧移动，从而所述移送物的上侧面与所述上端卡接部接触；检查步骤，检查所述对象物并判断是否不良；及下降移动步骤，所述升降部下降，使所述移送物向下侧移动，从而所述移送物的上侧面从所述上端卡接部离开。
在实施例中，所述检查方法可以包括：在所述上升移动步骤前，所述移送物借助于所述支撑部而向后方移动的后方移动步骤；在所述下降移动步骤后，所述移送物借助于所述支撑部而向前方移动的前方移动步骤。
发明效果
根据本公开的实施例，可以高效、准确地检查对象物。
根据本公开的实施例，可以在对象物准确配置于预先设置的位置的状态下执行检查，从而能够提高检查的可靠性。
根据本公开的实施例，可以便利地设置对象物相对于图像传感器的检查距离。
根据本公开的实施例，夹具被放到移送皮带(例如，传送带)上移送，即使操作者失手碰到夹具，在夹具与移送皮带之间发生滑动(slip)，可以防止发生安全事故。
附图说明
图1是本公开第一实施例的检查装置1的立体图。
图2是显示图1的壳体10内部结构的立体图。
图3及是图2的移送机构100A、100B及夹具J的立体图。
图4是显示对象物B安放于图3的移送机构100A、100B及夹具J的样子的立体图。
图5是图4的第一移送机构100A及第二移送机构100B之间间隔变更的状态的立体图。
图6是将图5的某一移送机构100A沿S1-S1’线截断的剖面图。
图7至图13是以图3的一对移送机构100A、100B之一100A为基准，显示一个周期(cycle)的检查过程中机构的动作的立体图。
图14是本公开第二实施例的检查装置1’的立体图。
图15是图14的移送机构100A’、100B’的立体图。
图16及图17是图15的某一移送机构100A’的立体图。
图18至图24是以图15的一对移送机构100A’、100B’之一100A’为基准，显示一个周期(cycle)的检查过程中的机构动作的立体图。
图25是本公开一个实施例的对象物检查方法的流程图。
具体实施方式
本发明的实施例是出于说明本发明技术思想的目的而示出的。本公开的权利范围不限定于以下提示的实施例或对这些实施例的具体说明。
本公开中使用的所有技术术语及科学术语，只要未另外定义，则具有本公开所属技术领域的普通技术人员一般理解的意义。本公开中使用的所有术语是出于更明确地说明本公开的目的而选择的，并非是为了限制本公开的权利范围而选择的。
本发明中使用的诸如“包括的”、“具备的”、“具有的”等表达，只要在包含相应表达的语句或文章中未另有提及，应理解为具有包括其他实施例的可能性的开放型术语(open-endedterms)。
本公开中记述的单数型的表达，只要未另外提及，可以包括复数型的意义，这也同样适用于权利要求书中记载的单数型的表达。
本发明中使用的“第一”、“第二”等表达，用于相互区分多个构成要素，并非限定相应构成要素的顺序或重要度。
本公开中使用的“基于～”字样的表达，用于记述包含相应表达的词汇或句子中记述的影响决定、判断的行为或动作的一个以上的因素，这种表达不排除对决定、判断的行为或动作造成影响的追加因素。
在本公开中，当提到某构成要素“连接于”、“衔接于”另一构成要素时，应理解为可以是所述某构成要素直接连接或衔接于所述另一构成要素，也可以是以新的另一构成要素为介质连接或衔接。
在本公开中使用的“前(F)”、“后(R)”、“左(Le)”、“右(Ri)”、“上(U)”、“下(D)”等表示方向的表达，根据图中显示的内容定义。关于各方向的表达用于说明以便自始至终可以更明确地理解本公开，根据将基准定在哪里也可以不同地定义各方向。
下面参照附图，说明本公开的实施例。在附图中，对相同或对应的构成要素，赋予相同的附图标记。另外，在以下实施例的说明中，可以省略重复记述相同或对应的构成要素。但是，即使省略关于构成要素的记述，也并不意味着这种构成要素不包括在某个实施例。
图1是本公开第一实施例的检查装置1的立体图。图2是显示图1的壳体10内部结构的立体图。参考图1及图2，检查装置1构成为能够检查对象物。检查装置1可以使移送物移动。
所述移送物包括检查对象物。所述移送物可以还包括夹具J。根据实施例，检查装置1既可以构成为借助于夹具J而使所述对象物移动，也可以构成为不需要夹具J便使所述对象物移动。在借助于夹具J而使所述对象物移动的检查装置1的实施例(例如，第一实施例)中，可以将夹具J及所述对象物称为“移送物”，在无需夹具J而使所述对象物移动的检查装置1的实施例(例如，第二实施例)中，可以将所述对象物称为“移送物”。
在本实施例中，检查装置1检查***于所述对象物的销是否***不良。此时，所述对象物可以为基板(substrate)。例如，所述不良可以因***所述对象物上的销的特性、销***装置的设置错误、销***装置的机械间隙、缺陷、对象物的不平坦性等而发生。
例如，外部的销***装置(图上未示出)在作为对象物的基板上执行***多个销的工序，***有多个销的基板(对象物)可以移送到检查装置1。检查装置1可以检查***于基板的多个销各自的***状态。检查装置1可以向基板照射图案光，接收从插在基板的多个销分别反射的图案光。检查装置1可以利用接收到的图案光，测量多个销各自的高度、***位置等，利用测量信息，能够检查多个销各自的***状态。检查装置1可以利用通过图案光测量的信息，迅速准确地检查***于所述对象物的多个销的***状态。在另一实施例中，检查装置1可以检查对象物的表面，或检查安装于对象物的元件的位置，或检查印刷于对象物的导电体的不良与否等。
在第一实施例中，能够在夹具J安放及分离所述对象物。例如，检查成套设备1、J，对于对象物的装载(loading)及卸载(unloading)等操作，可以是需要操作者的处理(handling)的手动(manual)生产线用装备。所述对象物为了接受检查而安放(装载)在夹具J，所述对象物接受检查后，可以从夹具J分离(卸载)。所述对象物可以被夹具J夹持。所述对象物可以从夹具J脱夹。
在第一实施例中，夹具J以能够引入及引出于检查装置1的方式构成。当所述对象物的种类或规格等变化时，可以将夹具J从检查装置1引出，并将能够安放变化后的对象物的其他种类的夹具引入至检查装置1。
检查装置1使所述移送物移动。检查装置1包括移送机构100。移送机构100包括用于使所述移送物移动的移送部110。所述移送物可以放到移送部110上。具体而言，夹具J放到移送部110上，所述对象物可以安放于夹具J。
在检查装置1中形成有供检查前的所述对象物引入的投入口。在检查装置1中形成有供检查后的所述对象物排出的排出口。在第一实施例中，所述投入口及所述排出口形成在同一位置上，但在另一实施例(例如，第二实施例)中，所述投入口及所述排出口可以形成在互不相同的位置上。夹具J可以通过所述投入口及/或所述排出口而引入于检查装置1或从检查装置1引出。
检查装置1可以包括形成外观的壳体10、输出各种信息的输出部20、输入各种信息的输入部30。检查装置1可以包括通信电路(图上未示出)、存储器(图上未示出)、光源(图上未示出)、图像传感器(图上未示出)及控制部(图上未示出)。检查装置1所包括的各构成要素可以彼此电连接而收发信号、数据等。
所述通信电路可以与外部电子装置或外部服务器进行通信。所述通信电路可以通过无线通信或有线通信与网络连接，从而与外部电子装置或外部服务器通信。作为另一示例，所述通信电路也可以以有线方式与外部电子装置连接而进行通信。
无线通信例如可以包括蜂窝通信(例：LTE(长期演进)、LTE-A(高级长期演进)、CDMA(code divisionmultiple access，码分多址)、WCDMA(wideband CDMA，宽带码分多址)、UMTS(universal mobile telecommunications system，通用移动通信***)、WiBro(Wireless Broadband，无线宽带)等)。另外，无线通信可以包括近距离无线通信(例：WiFi(wireless fidelity，无线保真)、LiFi(light fidelity，光保真)、蓝牙、低功率蓝牙(BLE)、无线个域网(Zigbee)、NFC(near field communication，近场通信)等)。
输出部20可以输出所述对象物的检查结果信息。当输出部20判断为所述对象物的检查结果不良时，可以输出关于不良部分的信息，以便操作者可以直接判断是否不良。所述关于不良部分的信息可以包括不良部分的二维图像、三维图像及/或不良部分的各种尺寸信息。
输出部20可以包括显示装置。在一个实施例中，所述显示装置可以包括液晶显示装置(LCD)、发光二极管(LED)显示装置、有机发光二极管(OLED)显示装置等。例如，所述显示装置可以向使用者显示各种内容(例：文本、图像、视频、图标及/或符号等)。所述显示装置可以包括触摸屏，例如，可以接收利用电子笔或使用者身体的一部分的触摸、手势、接近或悬停输入等。
输入部30包括用于使一个周期的对象物检查过程开始的开始输入部31。例如，开始输入部31可以包括按钮，但开始输入部31也可以以旋钮、键盘、鼠标、触摸屏等已知的多种方式中的某一种方式构成。输入部30可以还包括键盘32及鼠标33。
所述一个周期的对象物检查过程可以包括所述对象物装载(loading)过程、所述对象物移动及检查过程、所述对象物卸载(unloading)过程。所述一个周期的对象物检查过程在所述装载过程后还可以包括所述对象物被夹具J夹持的夹持过程。所述一个周期的对象物检查过程在所述装载过程前还可以包括所述对象物从夹具J脱夹的脱夹过程。对此的详细说明将在后面叙述。
所述控制部可以包括计算机等的处理器。例如，所述处理器可以包括CPU(中央处理器)、微控制器(MCU)等。所述控制部可以以通过输入部30输入的信息为基础使检查装置1运转。所述控制部可以以通过各种传感器检测的信息为基础使检查装置1运转。所述控制部可以以通过后述的图像传感器检测的信息为基础使检查装置1运转。所述控制部可以处理与所述对象物的检查相关的程序。所述控制部可以以输出所处理的各种信息的方式控制输出部20。所述控制部可以以后述的马达或气压汽缸等各种驱动部运转的方式进行控制。
在一个实施例中，所述光源可以向所述对象物照射图案光。所述光源可以向所述对象物整体照射图案光，或向所述对象物所包括的至少一个客体照射图案光。例如，所述至少一个客体可以为***于基板的销等。所述光源可以向***有多个销的基板照射图案光。
作为一个示例，所述光源可以包括格栅(图上未示出)、格栅移送装置(图上未示出)及投影镜头部(图上未示出)。所述格栅可以使所述光源照射的光变换成图案光。所述格栅为了产生相移的图案光，可以被诸如PZT(piezo actuator)的格栅移送机构移送。所述投影镜头部可以使通过格栅生成的图案光照射于所述对象物。
作为另一示例，所述光源可以包括DLP(Digital Light Processing：数字光处理)或LcoS(Liquid Crystal On Silicon：硅基液晶)。DLP或LcoS可以使从所述光源照射的光变换成图案光而照射于所述对象物。
所述图案光可以是为了测量所述对象物的三维形状而照射的具有规定或特定周期的图案光。所述光源可以照射花纹亮度呈正弦波形态的图案光、亮部分与暗部分反复显示的开-关(on-off)形态的图案光或亮度变化为三角形波形的三角波图案光等。不过，并非限定于此，所述光源可以照射亮度变化按规定或特定周期反复的多样形态的图案的光。
所述光源也可以向所述对象物照射第一波长的光、第二波长的光及第三波长的光。所述光源可以向所述对象物整体或所述对象物所包括的至少一个客体照射第一波长的光、第二波长的光及第三波长的光。
在一个实施例中，所述光源可以依次照射第一波长的光、第二波长的光及第三波长的光或同时照射至少两种光。例如，第一波长的光可以为红色光，第二波长的光可以为绿色光，第三波长的光可以为蓝色光。不过，并非限定于此，第一波长的光、第二波长的光及第三波长的光可以是具有互不相同的波长的光。
可以利用广为人知为所述图像传感器的多种图像传感器中的某一种。在一个实施例中，所述图像传感器可以接收从***于所述对象物的多个销分别反射的图案光。例如，所述图像传感器可以接收从***于所述对象物的多个销分别反射的图案光，可以利用所接收的图案光，生成多个销各自的图像(例如，三维图像)。
另外，所述图像传感器可以接收从***于所述对象物的多个销分别反射的第一波长的光、第二波长的光及第三波长的光。例如，当从所述光源向所述对象物照射第一波长的光、第二波长的光及第三波长的光时，所述图像传感器可以接收从***于所述对象物的多个销分别反射的第一波长的光、第二波长的光及第三波长的光，利用所接收的第一波长的光、第二波长的光及第三波长的光，生成多个销各自的图像(例如，二维图像)。所述图像传感器可以将生成的多个销各自的图像传递给所述控制部。另外，多个图像传感器可以从相同或不同的方向接收光。例如，所述图像传感器可以包括CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合元件)照相机、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor：互补金属氧化物半导体)照相机等，但并非限定于此。
所述存储器可以存储与检查装置1的至少一个其他构成要素相关的命令或数据。另外，所述存储器可以存储软件及/或程序。例如，所述存储器可以包括内置存储器或外置存储器。内置存储器可以包括易失性存储器(例：DRAM、SRAM或SDRAM等)、非易失性存储器(例：快闪存储器、硬盘驱动器或固态驱动器(SSD))中至少一种。外置存储器可以通过多种接口，与检查装置1在功能上或物理上连接。
所述存储器可以存储使得所述控制部工作的命令。例如，所述存储器可以存储使得所述控制部控制检查装置1的其他构成要素并与外部电子装置或服务器联动的命令。所述控制部可以基于所述存储器存储的命令，控制检查装置1的其他构成要素并与外部电子装置或服务器联动。另外，所述存储器中可以存储使得执行借助于各构成要素的运转的命令。
在一个实施例中，所述存储器可以存储表示针对***于所述对象物的多个销各自设置的基准高度和基准位置的销***基准信息。针对多个销各自设置的基准高度和基准位置，可以用于判断多个销各自的***不良。销***基准信息可以根据所述对象物的设计信息或使用者的输入而设置。
在一个实施例中，所述存储器可以存储与所述销***装置的销***工序相关的多个工序参数的信息及所述销***装置在对所述对象物执行的销***工序中使用的多个工序参数值的信息。多个工序参数的信息及多个工序参数值的信息可以从所述销***装置接收而存储于所述存储器，或根据使用者的输入而生成并存储于所述存储器。例如，所述多个工序参数相关信息可以包括分别通过多个工序参数而显示出是否会对销***的位置、销的弯曲、***的销的高度、***的销的销肩平坦度(coplanarity)、销***角度等造成影响的信息。
所述控制部可以驱动操作***或应用程序，来控制检查装置1的至少一个其他构成要素，可以执行各种数据处理及运算等。例如，所述控制部可以包括中央处理装置等，也可以以SoC(system on chip，芯片上的***)体现。
参考图2，检查装置1包括框架60。框架60支撑移送机构100。框架60支撑壳体10。框架60支撑图像传感器移动装置70。框架60还支撑直接配置于框架60或以其他构成作为介质而配置的各种部件。
检查装置1包括使所述图像传感器移动的图像传感器移动装置70。图像传感器移动装置70可以使所述图像传感器向前后方向、左右方向及/或上下方向移动。
图像传感器移动装置70包括向着固定于框架60的导轨61以能够向前后方向滑动(sliding)的方式构成的第一滑块71。图像传感器移动装置70包括提供使第一滑块71向前后方向移动的驱动力的马达等驱动部77。图像传感器移动装置70包括：固定于第一滑块71并向左右方向延伸的导轨74及沿着导轨74以能够向左右方向滑动(sliding)的方式构成的第二滑块75。图像传感器移动装置70包括提供使第二滑块75向左右方向移动的驱动力的马达等驱动部72。图像传感器移动装置70包括：固定于第二滑块75并向上下方向延伸的导轨78及沿着导轨78以能够向上下方向滑动(sliding)的方式构成的第三滑块79。图像传感器移动装置70包括提供使第三滑块79向上下方向移动的驱动力的马达等驱动部76。所述图像传感器可以固定于第三滑块79。所述图像传感器可以以向下侧方向感知光的方式配置。
图像传感器移动装置70可以包括从各个马达等驱动部向对应的滑块传递驱动力的驱动力传递部。所述驱动力传递部可以包括借助于马达而旋转的导螺杆(lead screw)等。例如，如果导螺杆73借助于马达72而旋转，则第二滑块75可以沿着导螺杆73向左右方向移动。借助于马达77及马达76而旋转的各个导螺杆可以以相同方式配备。不过，这只是滑块71、75、79借助于驱动部而运转的一个实施例，并非限定于此。
图3是图2的移送机构100A、100B及夹具J的立体图。图4是显示对象物B安放于图3的移送机构100A、100B及夹具J的状态的立体图。参考图3至图4，夹具J可以包括构成为能接触对象物B侧面(例如，后侧面)的引导壁J1。夹具J可以包括构成为能***于对象物B的槽或孔的引导销J2。夹具J可以包括构成为能接触对象物B下侧面的引导端J3。
夹具J可以包括夹持对象物B的一个以上夹持器(clamper)J10。所述一个以上的夹持器J10可以包括一对夹持器J10a、J10b。夹具J可以包括向夹持器J10的移动方向进行引导的夹持引导件(图中未示出)。夹具J可以包括提供使夹持器J10向规定的夹持方向加压的弹力的弹性构件(图中未示出)。夹具J可以包括构成为被移送机构100支撑的支撑体(supporter)J40。夹具J可以包括固定于支撑体J40的下侧罩J50。
夹持器J10能够向对象物B被夹具J夹持的夹持(clamping)方向移动。夹持器J10能够向作为夹持方向的相反方向的脱夹(un-clamping)方向移动。夹持器J10可以构成为能接触对象物B。夹持器J10可以构成为能够接触检查装置1，以便接受夹持器J10移动所需的驱动力。
参考图4，在本实施例中，对象物B为印刷电路板(PCB：Printed Circuit Board)等基板，但在另一实施例中，对象物可以为多种不同部件或制品。根据销的***方式，在基板上可以附着有连接器。检查装置1可以检查***于这种基板的销的***状态。例如，对象物B中一部分可以为检查的对象部分。
图5是图4的第一移送机构100A及第二移送机构100B之间间隔变更的状态的立体图。图6是将图5的某一移送机构100A沿S1-S1’线截断的剖面图。参考图3至图6，检查装置1包括支撑于框架60的移送机构100。检查装置1可以包括一个以上的移送机构100A、100B。一对移送机构100A、100B可以构成为用于支撑夹具J的左右两侧的端部。一对移送机构100A、100B可以包括支撑所述移送物的左侧部的第一移送机构100A及支撑所述移送物的右侧部的第二移送机构100B。一对移送机构100A、100B既可以整体上左右对称地构成，也可以一部分构成只配备于一对移送机构100A、100B中的某一个。下面对移送机构100的说明，可以理解为对一对移送机构100A、100B各自的说明。
移送机构100包括上端卡接部145，所述上端卡接部145构成为能够与移送物上侧面接触，所述移送物包括对象物B。移送机构100包括供上端卡接部145固定的支撑框架141。移送机构100包括能沿上下方向移动地配置于支撑框架141的升降部130。升降部130包括以能够支撑所述移送物的下侧面的方式构成的支撑部131。移送机构100包括提供驱动力而使升降部130沿上下方向移动的升降驱动部N1。移送机构100可以包括使所述移送物移动到支撑部131或从支撑部131移动的移送部110。
支撑框架141支撑上端卡接部145及升降驱动部N1。支撑框架141支撑移送部110。支撑框架141支撑皮带轮121、皮带122及马达M10。支撑框架141将支撑升降部130以能够沿上下方向移动地进行支撑。
支撑框架141被框架60支撑。支撑框架141可以为整体上在左右方向上具有厚度的板形状。支撑框架141可以整体上沿前后方向延伸形成。
移送机构100包括下端阻挡器142，下端阻挡器142构成为能接触升降部130的下侧面，以便设定设备升降部130向下侧的最大位置。下端阻挡器142可以固定于支撑框架141。升降部130向下侧移动时，升降部130可以接触下端阻挡器142。下端阻挡器142从上端卡接部145向下侧隔开间隔配置。
上端卡接部145构成为能够与作为所述移送物的左侧部及右侧部中的一个的一侧部的上侧面接触。支撑部131构成为能够支撑所述移送物的所述一侧部的下侧面。侧面引导件135构成为能够与所述移送物的以所述移送物的中心为基准配置有所述一侧部的那侧的侧端接触。在第一实施例中，上端卡接部145与所述移送物的一部分即夹具J的上侧面接触，支撑部131支撑夹具J的下侧面，侧面引导件135与夹具J的侧端接触。上端卡接部145可以固定于支撑框架141。
如果升降部130向上侧移动，则所述移送物的上侧面与上端卡接部145(参照图11)接触。如果升降部130向下侧移动，则所述移送物的上侧面从上端卡接部145离开(参考图12)。
上端卡接部145包括能与所述移送物的上侧面接触的下侧面145a。上端卡接部145可以包括相互隔开间隔排列的多个下侧面145a。多个下侧面145a可以以在前后方向上形成多个缝隙的方式排列。
上端卡接部145可以包括向侧方(左侧方向或右侧方向)突出的上端卡接凸起145。上端卡接凸起145可以从对应的移送机构(100A或100B)向所述移送物所配置的方向(右侧或左侧)突出。上端卡接凸起145可以向对应的侧面引导件135望向所述移送物的方向(右侧或左侧)突出。上端卡接凸起145形成下侧面145a。
上端卡接部145可以包括形成多个缝隙并沿前后方向相互隔开间隔配置的多个上端卡接凸起145。多个上端卡接凸起145形成多个下侧面145a。升降部130上升运动时，侧面引导件135的侧面引导件凸起135可以***于上端卡接部145的多个上端卡接凸起145之间的缝隙。当升降部130进行升降运动时，侧面引导件凸起135可以在多个上端卡接凸起145之间的缝隙进行升降运动。
移送机构100包括引导升降部130的上下方向移动的升降引导件146。升降引导件146可以为沿上下方向延伸的轨道形状。升降引导件146固定于支撑框架141的侧面。升降引导件146可以固定于支撑框架141望向所述移送物的方向的侧面。
移送机构100可以包括引导所述移送物的移动方向的移送引导件147。移送引导件147可以固定于支撑框架141的上端。移送引导件147可以包括具有与所述移送物的左侧端或右侧端相望的表面的侧端引导部(图中未示出)。移送引导件147可以包括具有与所述移送物的上侧面相望的表面的上端引导部(图中未示出)。所述上端引导部可以连接于所述侧端引导部的上端。
移送机构100可以包括固定于支撑框架141的辅助框架149。辅助框架149可以连接于支撑框架141的下端。辅助框架149可以向所述移送物的下侧隔开间隔配置。例如，可以在辅助框架149上配置有用于使夹具J的夹持器J10运转的气缸等夹持驱动部(图上未示出)。
升降部130支撑所述移送物并使之沿上下方向移动。升降部130包括构成为用于支撑所述移送物的支撑部131。支撑部131可以构成为在支撑所述移送物的下侧面的同时能够使所述移送物沿前后方向移动。在本实施例中，支撑部131可以以供所述移送物放置的移送皮带131形式形成，或在未图示的另一实施例中，支撑部131也可以以供所述移送物放置的板形式形成。
升降部130包括用于对通过移送部110而向后方移动的所述移送物进行支撑的支撑部131。支撑部131可以使所述移送物向前方移动，以使夹具J被移送部110支撑。
支撑部131可以包括用于支撑夹具J并并使其向后方或前方移动的移送皮带131。移送皮带131可以支撑所述移送物的下侧面。
升降部130可以包括向支撑部131提供驱动力的马达138。如果马达138旋转，则移送皮带131可以运转。升降部130包括用于使移送皮带131运转的皮带轮132、皮带及/或齿轮等，可以将马达138的旋转力传递给移送皮带131。例如，升降部130可以包括提供使移送皮带轮132和移送皮带轮132旋转的驱动力的马达138。移送皮带131构成为能缠绕于移送皮带轮132并旋转。在附图中，图示了向移送皮带131传递旋转力的多个皮带轮132的一个示例，但不限于此。
升降部130包括用于支撑支撑部131的升降主体133。升降主体133可以支撑多个皮带轮132及马达138。支撑部131可以与升降主体133一同上下移动。被支撑部131支撑的所述移送物可以与升降主体13一同上下移动。被升降主体133支撑的多个皮带轮132及马达138、侧面引导件135、后端阻挡器136、传感器137a、137b、137c及升降靶139可以与升降主体133一同上下移动。
升降主体133可以包括用于支撑移送皮带131的下侧面的皮带支撑部133a。皮带支撑部133a可以从支撑框架141向侧方突出且沿前后方向延伸。皮带支撑部133a可以向配置移送皮带131的方向突出。由此，可以使得移送皮带131不会因夹具J的负重而向下侧下垂。升降主体133可以包括沿着升降引导件146被移动引导的主体滑块133b。
升降部130包括构成为能接触所述移送物的侧面(左侧面或右侧面)的侧面引导件135。侧面引导件135引导所述移送物的左右方向的位置。
侧面引导件135包括向上侧突出的侧面引导件凸起135。侧面引导件135可以包括在前后方向彼此隔开间隔的多个侧面引导件135。多个侧面引导凸起135以能够***于多个上端卡接凸起145的所述多个缝隙的方式向上侧突出。在升降部130升降运动时，侧面引导件135的多个侧面引导凸起135可以***于多个上端卡接凸起145之间并沿上下方向移动。
侧面引导件凸起135以能够接触于所述移送物的左侧面或右侧面的方式构成。侧面引导件凸起135向望向所述移送物的方向形成引导面135a。引导面135a可以接触于所述移送物的侧端。
升降部130包括后端阻挡器136，所述后端阻挡器136构成为能接触所述移送物的后侧面，以便设定所述移送物的向后方的最大移动位置。后端阻挡器136可以固定于升降主体133。支撑部131使所述移送物向后侧移动时，所述移送物可以接触于后端阻挡器136。后端阻挡器136可以配置于支撑部131的后侧部。
升降部130包括当所述移送物横跨配置于移送部110与支撑部131的前后方向边界上时感知所述移送物的传感器137a。所述控制部可以以传感器137a的感知结果为基础，认知所述移送物是否横跨移送部110与升降部130之间。传感器137a可以配置于升降部130的前端部。
升降部130包括当所述移送物在支撑部131上配置于向后方的最大移动位置时感知所述移送物的传感器137c。传感器137c可以在所述移送物接触后端阻挡器136的状态下感知所述移送物。所述控制部可以以传感器137c的感知结果为基础，决定是否执行升降部130的升降动作。传感器137c可以配置于升降部130的后端部。
升降部130包括在所述移送物从前方向后方移动时，在所述移送物接触后端阻挡器136之前感知所述移送物的传感器137b。所述控制部可以以传感器137b的感知结果为基础，在所述移送物接触后端阻挡器136之前，使所述移送物向后方的移动速度减速。其中，通过减小移送皮带131的旋转速度，可以使夹具J向后方的移动速度减速。传感器137b可以配置于比传感器137c位置更靠前方侧的位置。
移送机构100可以包括固定于支撑框架141且用于感知升降部130的已设定的多个位置的多个升降传感器e1、e2。升降部130可以包括升降靶139，当升降部130位于所述设置的多个位置中的某一个时，所述升降靶139被多个升降传感器e1、e2中的某一个感知。在升降部130移动至预先设置的上限位置的状态下，升降传感器e2感知升降靶139，所述控制部可以识别为升降部130移动至预先设置的上限位置。在升降部130移动至预先设置的规定位置(位于比所述上限位置更下侧的位置)的状态下，升降传感器e1感知升降靶139，所述控制部可以识别为升降部130移动到预先设置的规定位置。所述规定位置可以设置为，移送部110的上侧面及支撑部131的上侧面位于同一水平，从而所述移送物能够从移送部110及支撑部131中的某一个移动到另一个的状态的位置。
移送部110以能够使所述移送部移动的方式构成。移送部110既可以包括移送皮带110，也可以包括移送所述移送物的滚珠丝杆等，还可以包括移送所述移送物的机器臂等。
移送部110可以配置于支撑部131的前方。移送部110构成为在支撑移送物的同时可以使之向后方移动。移送部110可以构成为在支撑移送物的同时可以使之向前方移动。移送部110构成为能够使所述移送物向后方移动，使得支撑部131能够支撑所述移送物。支撑部131构成为能够使所述移送物向前方移动，使得移送部110能够支撑所述移送物。
移送部110可以构成为使所述移送物能滑动(slip)地沿前后方向移动。移送部110可以支撑所述移送物。移送部110可以包括支撑所述移送物并向后方或前方移动的移送皮带110。可以借助于放置所述移送物的所述移送皮带与所述移送物之间的摩擦力而使所述移送物沿前后方向移动，当在所述移送物发生冲击等而施加超过静止摩擦力的负重时，所述移送物可以在所述移送皮带上打滑。具备用于使移送皮带110运转的皮带轮121、皮带122及/或齿轮等，因此可以将马达M10的旋转力传递给移送皮带110。在图中，图示了向移送皮带110传递旋转力的多个皮带轮121及皮带122的一个示例，但不限于此。
检查装置1包括固定于移送机构100的马达或气缸等驱动部M10、M5、N1。移送机构100可以包括从所述驱动部M10、M5、N1向分别对应的运转构成传递驱动力的例如皮带或皮带轮等的驱动力传递部。
马达M10向移送部110提供驱动力。如果马达M10旋转，则移送皮带110可以运转。马达M10由支撑框架141支撑。
宽度调节用马达M5提供驱动力，以便变更一对移送机构100A、100B的左右方向之间的间隔。宽度调节用马达M5由框架60支撑。
升降驱动部N1提供升降部130上下方向运动的驱动力。升降驱动部N1由支撑框架141支撑。例如，升降驱动部N1可以包括气压汽缸N1a和借助于气压汽缸N1a而在上下方向运动的缸杆N1b。升降靶139可以固定于所述缸杆N1b。
下面参考图4及图5，说明一对移送机构100A、100B的左右方向的宽度调节驱动机构。检查装置1包括引导一对移送机构100A、100B中的至少一个在左右方向移动的框架引导件90。框架引导件90可以固定于框架60。检查装置1包括提供驱动力以使一对移送机构100A、100B中的至少一个100B在左右方向移动的驱动部M5。驱动部M5可以为上述的宽度调节用马达M5。在本实施例中，第二移送机构100B以能够沿左右方向移动的方式构成，但不需要限定于此。
所述至少一个移送机构包括沿着框架引导件90滑动的滑块190。所述宽度调节驱动机构包括将驱动部M5的驱动力传递给所述至少一个移送机构的驱动力传递部，所述驱动力传递部包括皮带轮、皮带、齿轮及/或导螺杆等。作为一个示例，皮带181及皮带轮186借助于马达M5的旋转而旋转，导螺杆189借助于皮带轮186的旋转而旋转。如果导螺杆189旋转，则某一个移送机构100B随着导螺杆189在左右方向上移动。图4显示第二移送机构100B向右侧方向最大限度移动完毕的状态，图5显示第二移送机构100B向左侧方向Le移动的状态。
参考图5，检查装置1可以包括在夹具J配置于规定位置时感知夹具J的至少一个传感器Se12、Se13、Se14。所述至少一个传感器可以固定于移送机构100。可以具备多个传感器Se12、Se13、Se14。所述至少一个传感器配置于特定位置，当所述移送物配置于传感器的感知方向时，可以感知所述移送物。所述感知方向可以为上侧方向。
所述至少一个传感器包括当所述移送物在移送部110上配置于向前方的最大移动位置时感知所述移送物的传感器Se12。所述控制部可以以传感器Se12的感知结果为基础，决定是否执行针对对象物B的夹持及脱夹动作。传感器Se12可以配置于移送机构100的前端部。
检查装置1包括当所述移送物从后方向前方移动时，在所述移送物接触阻挡器St11之前感知所述移送物的传感器Se13。所述控制部可以以传感器Se13的感知结果为基础，在所述移送物接触阻挡器St11之前，使所述移送物向前方的移动速度减速。传感器Se13可以配置于比传感器Se12位置更靠后方侧的位置。
检查装置1包括当所述移送物接触阻挡器St12的前方部时感知所述移送物的传感器Se14。所述控制部可以以传感器Se14的感知结果为基础，认知所述移送物从移送部110移动到升降部130的准备已完成。传感器Se14可以配置于比阻挡器St12位置更靠前方侧的位置。
检查装置1包括限制所述移送物向前方的最大可移动位置的阻挡器St11。阻挡器St11构成为在所述移送物通过移送部110而向前方移动时能接触于所述移送物的前端。阻挡器St11被移送机构100支撑。阻挡器St11构成为能向规定方向G1、G2移动。在使阻挡器St11完成向解除方向G2的移动的状态下，可以将所述移送物从移送机构100引出或引入移送机构100。
检查装置1包括使阻挡器St11向阻挡方向G1及解除方向G2移动的阻挡器驱动部P11。在本实施例中，阻挡器驱动部P11包括气压汽缸。但阻挡器驱动部P11也可以包括马达等。
检查装置1包括构成为当所述移送物通过移送部110而向后方移动时能与夹具J后端接触的阻挡器St12。阻挡器St12构成为在所述移送物借助于移送皮带等的支撑部131而向前方移动时，能接触于所述移送物的前端。阻挡器St12可以配置于移送部110与支撑部131的前后方向边界。阻挡器St12被移送机构100支撑。阻挡器St12构成为能向规定方向G1、G2移动。在阻挡器St12完成向解除方向G2的移动的状态下，阻挡器St12从所述移送物的移动路径上向侧方脱离，夹具J可以不受阻挡器St12干涉而向前方或后方移动。
检查装置1包括使阻挡器St12向阻挡方向G1及解除方向G2移动的阻挡器驱动部P12。在本实施例中，阻挡器驱动部P12包括气压汽缸。但阻挡器驱动部P12也可以包括马达等。
图7至图13是以图3的一对移送机构100A、100B之一100A为基准，显示一个周期(cycle)的检查过程中的机构动作的立体图。在图10至图12中，图示了将一部分放大的立体图E1及从右侧方向观察一部分的立面图E2。下面参考图7至图13，说明对象物的检查方法及各步骤(参考图25)中的机构动作，则如下。检查方法及机构的动作可以被所述控制部所控制。对象物检查方法可以利用所述检查装置。
虽然依次说明了工艺步骤、方法步骤、算法等，但这些工艺、方法及算法可以以按任意适合的顺序运转的方式构成。换句话说，本公开的多种实施例中说明的工艺、方法及算法的步骤，不是必须按本公开中记述的顺序执行。另外，虽然一部分步骤以按非同时方式执行的情形来说明，但在其他实施例中，这种一部分步骤可以同时执行。另外，附图中描写的工艺示例，不意指所举例的工艺排除根据其的不同变化或修订，不意指所举例的工艺或其步骤中任意一个是本公开多样实施例中一个以上所必需的，且不意指举例的工艺是优选的。
参考图7，所述检查方法可以包括对象物B安放并固定于夹具J的装载步骤S1。在装载步骤S1，对象物B可以由操作者或借助于机械安放于夹具J。在装载步骤S1，夹持器J10可以向夹持方向H1移动，从而对象物B可以被夹具J夹持。如果所述控制部从开始输入部31接收到输入信号，则执行对象物夹持，继而可以进行如下过程。
参考图8至图10，所述检查方法可以包括使夹具J向后方R移动的后方移动步骤S2。在后方移动步骤S2，所述移送物可以借助于支撑部131而向后方移动。后方移动步骤S2在上升移动步骤S3前执行。参考图8，放到移送部110的所述移送物随着移送部110的运转而向后方R移动，卡接于阻挡器St12。参考图9，阻挡器St12向解除方向G2移动。参考图10，所述移送物向后方R移动并被放到支撑部131上。其中，夹具J会与后端阻挡器136接触。
参考图11，所述检查方法可以包括将夹具J向上侧U移动的上升移动步骤S3。在上升移动步骤S3，升降部130上升，从而所述移送物可以向上侧移动。在上升移动步骤S3，所述移送物的上侧面可以与上端卡接部145接触。在第一实施例中，升降部130上升，从而夹具J的上端会与上端卡接部145的下侧面接触。其中，侧面引导件135的多个侧面引导凸起135的上端可以***于多个上端卡接凸起145之间。
所述检查方法在上升移动步骤S3后，包括对对象物B进行检查并判断是否不良的检查步骤S4。在检查步骤S4，所述图像传感器可以检查对象物B。在检查步骤S4，所述图像传感器可以借助于图像传感器移动装置70而移动。检查步骤S4可以在所述移送物的上端接触于上端卡接部145的下侧面的状态下进行。
所述控制部可以基于所述图像传感器的感知信号来判断对象物B是否不良。所述控制部可以根据检查结果，控制输出部20输出规定信息。如果所述控制部基于所述图像传感器的感知信号而判断为不良，则会控制输出部20输出不良部分相关的信息，以便操作者可以直接判断是否不良。如果所述控制部基于所述图像传感器的感知信号而判断为正常，则可以进行下面的过程。
参考图12，所述检查方法在检查步骤S4后，包括将夹具J向下侧方向D移动的下降移动步骤S5。在下降移动步骤S5，升降部130下降，从而所述移送物会向下侧移动。在下降移动步骤S5，所述移送物的上侧面会从上端卡接部145离开。在下降移动步骤S5中，升降部130下降，使得支撑部131的上侧面与移送部110的上侧面位于同一水平(level)。其中，升降部130与下端阻挡器142接触。其中，侧面引导件135的多个侧面引导凸起135的上端可以从多个上端卡接凸起145之间脱出。
参考图13，所述检查方法可以包括使夹具J向前方F移动的前方移动步骤S6。在前方移动步骤S6，所述移送物可以借助于支撑部131而向前方移动。前方移动步骤S6在下降移动步骤S5后执行。在未图示的另一实施例中，检查方法也可以无需后方移动步骤S2及/或前方移动步骤S6地执行。
在前方移动步骤S6，所述移送物可以从支撑部131移动到移送部110。在前方移动步骤S6，所述移送物向前方移动，卡接于阻挡器St11。
所述检查方法在前方移动步骤S6后，可以包括对象物B从夹具J脱夹、分离的卸载步骤S7。在卸载步骤S7，在夹具J完成向前方的移动的状态下，夹持器J10会向脱夹方向H2移动。对象物B从夹具J脱夹后，对象物B可以由操作者或借助于机械而从夹具J分离。
下面，针对第二实施例的检查装置1’及移送物B，以与上述第一实施例的差异为重心进行说明。对于第二实施例，下面未说明的内容可以应用上述第一实施例的说明内容。
图14是本公开第二实施例的检查装置1’的立体图。参考图14，在第二实施例中，对象物B将成为移送物。在第二实施例中，可以不具备夹具J及所述夹持驱动部。在没有所述夹具的情况下也可将移送物B引入及引出于检查装置1’。具体而言，对象物B可以直接安放于移送部111、112、113。在第二实施例中，所述投入口及所述排出口可以沿上下方向隔开间隔设置。在本实施例中，在下侧部分形成所述投入口，在上侧部分形成所述排出口，但也可以是与之相反的情形，对此不需要限制。对象物B可以通过所述投入口及所述排出口而引入检查装置1’或从检查装置1’引出。
图15是图14的移送机构100A’、100B’的立体图。图16及图17是图15的某一移送机构100A’的立体图。参考图15至图17，检查装置1’包括支撑于框架60的移送机构100’。一对移送机构100A’、100B’可以构成为用于支撑对象物B的左右两侧的端部。下面对移送机构100’的说明，可以理解为对一对移送机构100A’、100B’各自的说明。
移送机构100’可以包括构成为使所述移送物沿前后方向移动的移送部110L、110H。移送部110L、110H可以包括彼此上下隔开间隔的下移送部110L和上移送部110H。例如，下移送部110L和上移送部110H可以分别包括移送皮带。在本实施例中，下移送部110L包括第一移送部111、112，上移送部110H包括第二移送部113。
移送机构100’包括配置于支撑部131的前方的移送部111、112、113。移送机构100’包括配置于支撑部131的前方的第一移送部111、112和第二移送部113。第一移送部111、112构成为可以在支撑所述移送物的同时使所述移送物向后方移动。第二移送部113构成为可以在支撑所述移送物的同时使所述移送物向前方移动。
第二移送部113配置于第一移送部111、112的上方或下方。在本实施例中，第二移送部113配置于第一移送部111、112的上方，但在另一实施例中，第二移送部113也可以配置于第一移送部111、112的下方。
第一移送部111、112构成为使所述移送物向后方移动，以便支撑部131支撑所述移送物。支撑部131构成为使所述移送物向前方移动，以便第二移送部113支撑所述移送物。
第一移送部111、112可以包括移送皮带111、112。第一移送部111、112可以包括在前后方向上排列的多个移送皮带111、112。第二移送部113可以包括移送皮带113。
在第二实施例中，上端卡接部145与所述移送物即对象物B的上侧面接触，支撑部131支撑对象物B的下侧面，侧面引导件135可以与对象物B的侧端接触。检查装置1’的下端阻挡器142’从可变阻挡器150向下侧隔开间隔配置。
检查装置1’包括向移送部11提供驱动力的马达M1和向移送部112提供驱动力的马达M2。检查装置1’包括向移送部113提供驱动力的马达M4。
移送机构100’可以包括固定于支撑框架141且用于感知升降部130的设置的多个位置的多个升降传感器e1’、e2、e3。升降部130可以包括升降靶139，当升降部130位于所述设置的多个位置中的某一个时，升降靶139被多个升降传感器e1’、e2、e3中的某一个感知。在升降部130移动至预先设置的上限位置的状态下，升降传感器e2感知升降靶139，所述控制部可以识别为升降部130移动至预先设置的上限位置。在升降部130移动至预先设置的下限位置的状态下，升降传感器e1’感知升降靶139，所述控制部可以识别为升降部130移动至预先设置的下限位置。在升降部130移动至预先设置的规定位置(位于所述上限位置与所述下限位置之间的位置)的状态下，升降传感器e3感知升降靶139，所述控制部可以识别为升降部130移动到预先设置的规定位置。所述规定位置可以设置为，移送部113的上侧面及支撑部131的上侧面位于同一水平，从而所述移送物可以从移送部113及支撑部131中的某一个移动到另一个的状态的位置。
移送机构100’包括用于设置升降部130的所述预先设置的规定位置的可变阻挡器150。可变阻挡器150可以向垂直于上下方向及前后方向的阻挡方向G1移动(参考图22)。可变阻挡器150可以向阻挡方向G1的相反方向即解除方向G2移动(参考图24)。可变阻挡器150构成为如果向阻挡方向G1移动则升降部130向下侧方向移动时就会与升降部130的下侧面接触。可变阻挡器150构成为如果向解除方向G2移动则升降部130向下侧方向移动时就不构成阻挡。可变阻挡器150构成为在升降部130的下侧面与可变阻挡器150接触的状态下，使得第一移送部111、112及第二移送部113中配置于上侧的一方113的上侧面与支撑部131的上侧面配置于同一高度。升降部130从上限位置向下侧移动时，升降部130可以与可变阻挡器150接触。检查装置1’包括提供驱动力以使可变阻挡器150移动的气压汽缸等驱动部P7。
在第二实施例中，皮带181及皮带轮185、186借助于马达M5的旋转而旋转，导螺杆188、189借助于皮带轮185、186的旋转而旋转。如果导螺杆188、189旋转，则某一个移送机构100B’随着导螺杆188、189字左右方向上移动。
检查装置1’可以包括在对象物B配置于规定位置时感知对象物B的至少一个传感器Se1、Se2、Se3、Se4、Se7、Se8。传感器Se1、Se2、Se3、Se4、Se7、Se8的感知方向可以为上侧方向。
检查装置1’包括在所述移送物在第一移送部111上配置于向前方的最大移动位置时感知所述移送物的传感器Se1。所述控制部可以以传感器Se1的感知结果为基础，决定是否执行所述移送物的后方移动动作。
检查装置1’包括当所述移送物接触阻挡器St1的前方部时感知所述移送物的传感器Se2。所述控制部可以以传感器Se2的感知结果为基础，认知所述移送物从第一移送部111移动到第一移送部112的准备已完成。
检查装置1’包括当所述移送物横跨配置于第一移送部111与第一移送部112的前后方向边界上时感知所述移送物的传感器Se3。所述控制部可以以传感器Se3的感知结果为基础，认知所述移送物是否横跨第一移送部111与第一移送部112之间。
检查装置1’包括当所述移送物接触阻挡器St2的前方部时感知所述移送物的传感器Se4。所述控制部可以以传感器Se4的感知结果为基础，认知所述移送物从第一移送部112移动到前后方向移送部(支撑部)的准备已完成。
检查装置1’包括当所述移送物横跨前后方向移送部(支撑部)与第二移送部113的前后方向边界配置时感知所述移送物的传感器Se7。所述控制部可以以传感器Se7的感知结果为基础，认知所述移送物是否横跨支撑部131与第二移送部113之间。
检查装置1'包括当所述移送物在第二移送部113上从后方向前方移动时，在所述移送物接触阻挡器St3之前感知所述移送物的传感器Se8。所述控制部可以以传感器Se8的感知结果为基础，在所述移送物接触阻挡器St3之前，使所述移送物向前方的移动速度减速。传感器Se8可以在所述移送物在第二移送部113上配置于向前方的最大移动位置时感知所述移送物。
检查装置1’包括限制所述移送物向前方的最大可移动位置的阻挡器St3。阻挡器St3构成为在所述移送物通过移送部113而向前方移动时能与所述移送物的前端接触。阻挡器St3被移送机构100’支撑。阻挡器St3可以借助于气压汽缸等阻挡器驱动部P3而向阻挡方向G1及解除方向G2移动。在使阻挡器St3完成向解除方向G2的移动的状态下，可以将所述移送物从移送机构100'引出。
检查装置1’包括配置于第一移送部111与第一移送部112的前后方向边界的阻挡器St1。所述移送物的后端可以与阻挡器St1的前部面接触。阻挡器St1可以借助于气压汽缸等阻挡器驱动部P1而向阻挡方向G1及解除方向G2移动。在阻挡器St1完成向解除方向G2的移动的状态下，阻挡器St1从所述移送物的移动路径向侧方脱离，所述移送物可以不受阻挡器St1干涉而向后方移动。
检查装置1’包括配置于第一移送部112与支撑部131的前后方向边界的阻挡器St2。所述移送物的后端可以与阻挡器St2的前部面接触。阻挡器St2可以借助于气压汽缸等阻挡器驱动部P2而向阻挡方向G1及解除方向G2移动。在阻挡器St2完成向解除方向G2的移动的状态下，阻挡器St2从所述移送物的移动路径向侧方脱离，所述移送物可以不受阻挡器St2干涉而向后方移动。
移送机构100’可以包括引导所述移送物的移动方向的移送引导件147a、147b。移送引导件147a、147b可以固定于支撑框架141的上端。
移送机构100’包括与第一移送部111对应的第一移送引导件147a。第一移送引导件147a可以包括引导对象物B安放于第一移送部111的倾斜面(图上未示出)。第一移送部111可以包括侧端引导部(图中未示出)，所述侧端引导部具有与所述移送物的左侧端或右侧端相望的表面。
移送机构100’可以包括与第二移送部113对应的第二移送引导件147b。第二移送引导件147b可以包括侧端引导部(图中未示出)，所述侧端引导部具有与所述移送物的左侧端或右侧端相望的表面。第二移送引导件147b可以包括上端引导部(图中未示出)，上端引导部具有与所述移送物的上侧面相望的表面。所述上端引导部可以连接于所述侧端引导部的上端。
图18至图24是以图15的一对移送机构100A’、100B’之一100A’为基准，显示一个周期(cycle)的检查过程中的机构动作的立体图。在图21、图22及图24中，图示了将一部分放大的立体图E1及从右侧方向观察一部分的立面图E2。另外，在图22及图24中，图示了从不同角度观察配置可变阻挡器150的一部分的立体图E3。下面参考图18至图24，说明对象物的检查方法及各步骤(参考图25)中的机构动作。对于第二实施例，以下未说明的内容可以应用上述第一实施例的说明内容。
参考图18，所述检查方法可以包括对象物B安放于移送机构100’的装载步骤S1。在装载步骤S1，对象物B可以由操作者或借助于机械而安放于移送机构100’。将对象物B安放于第一移送部111后，如果所述控制部从开始输入部31接收了输入信号，则可以进行如下过程。
参考图18至图20，所述检查方法可以包括使对象物B向后方R移动的后方移动步骤S2。参考图18，放到第一移送部111的所述移送物随着第一移送部111的运转而向后方R移动，并卡接于阻挡器St1。然后，阻挡器St1向解除方向G2移动。参考图19，从第一移送部111移到第一移送部112的所述移送物随着第一移送部112的运转而向后方R移动，并卡接于阻挡器St2。参考图20，阻挡器St2向解除方向G2移动前，升降部130完成向下限位置的移动，支撑部131与第一移送部112位于同一水平。然后，阻挡器St2向解除方向G2移动。所述移送物向后方R移动被放到支撑部131上。其中，对象物B接触后端阻挡器136。
参考图21，所述检查方法包括使对象物B向上侧U移动的上升移动步骤S3。在第二实施例，升降部130上升，从而对象物B的上端接触上端卡接部145的下侧面。然后，进行检查步骤S4。
参考图22，所述检查方法在检查步骤S4后，包括使对象物B向下侧方向D移动的下降移动步骤S5。在下降移动步骤S5，在使所述移送物向下侧移动前，可变阻挡器150向阻挡方向G1移动。在下降移动步骤S5，升降部130下降，使得支撑部131的上侧面与第二移送部113的上侧面位于同一水平(level)。升降部130向下侧移动与可变阻挡器150的上侧面接触。
参考图23，所述检查方法可以包括使对象物B向前方F移动的前方移动步骤S6。其中，所述移送物从支撑部131移动到第二移送部113。所述移送物向前方移动，卡接于阻挡器St1。在该状态下，阻挡器St1向解除方向G2移动，操作者可以将对象物B从移送机构100’引出。
参考图24，所述检查方法在对象物B从支撑部131移动到第二移送部113后，可以包括：使升降部130上升，以使升降部130与可变阻挡器150在上下方向上隔开间隔的步骤。所述检查方法在升降部130与可变阻挡器St150在上下方向上隔开间隔后，可以包括：使可变阻挡器150向解除方向G2移动的步骤。所述检查方法在可变阻挡器150向解除方向G2的移动完成后，可以包括：使升降部130下降而接触于下端阻挡器142’的步骤。其中，支撑部131的上侧面与第一移送部112的上侧面位于同一水平。
参考图25，所述检查方法可以包括将对象物B安放于夹具J或移送机构100’的装载步骤S1。所述检查方法可以包括所述移送物借助于支撑部131而向后方移动的后方移动步骤S2。所述检查方法包括：升降部130上升，以使所述移送物向上侧移动，从而所述移送物的上侧面与上端卡接部145接触的上升移动步骤S3。所述检查方法包括对对象物B进行检查并判断是否不良的检查步骤S4。所述检查方法包括：升降部130下降，以使所述移送物向下侧移动，从而所述移送物的上侧面从上端卡接部145离开的下降移动步骤S5。所述检查方法可以包括所述移送物借助于支撑部131而向前方移动的前方移动步骤S6。所述检查方法可以包括将对象物B从夹具J或移送机构100’分离的卸载步骤S7。
所述方法是通过特定实施例进行说明的，但所述方法也能够在计算机可读记录介质中，由计算机可读代码实现。计算机可读记录介质包括存储有可由计算机***读取的数据的所有种类的记录装置。作为计算机可读记录介质的示例，可以包括ROM(只读存储器)、RAM(随机存取存储器)、CD-ROM(只读光盘驱动器)、磁带、软盘、光数据存储装置等。另外，计算机可读记录介质分散于以网络连接的计算机***，以分散方式存储计算机可读代码并进行运行。而且，体现所述实施例所需的功能性(functional)程序、代码及代码片段，可以由本公开所属技术领域的程序员容易地推导。
以上借助于一部分实施例和附图图示的示例，说明了本公开的技术思想，但应了解，在不超出本公开所属技术领域的普通技术人员可以理解的本公开技术思想及范围的限度内，可以实现多样的置换、变形及变更。另外，这种置换、变形及变更应视为属于附带的权利要求书内。

Claims (18)

1.一种检查装置用移送机构，包括：
上端卡接部，构成为能够与移送物的上侧面接触，所述移送物包括检查对象物；
支撑框架，所述上端卡接部固定在所述支撑框架；
升降部，以能够沿上下方向移动的方式配置于所述支撑框架且包括支撑部，所述支撑部以能够支撑所述移送物的下侧面的方式构成；及
升降驱动部，提供驱动力以使所述升降部能够沿上下方向移动，
所述升降部还包括侧面引导件，所述侧面引导件构成为能够与所述移送物的左侧面或右侧面接触，
所述上端卡接部包括多个下侧面，所述多个下侧面以在前后方向上形成多个缝隙的方式排列，且能够与所述移送物的上侧面接触，
所述侧面引导件包括多个侧面引导凸起，所述多个侧面引导凸起向上侧突出以便能够***于所述多个缝隙，且构成为能够与所述移送物的左侧面或右侧面接触。
2.根据权利要求1所述的检查装置用移送机构，其中，
所述支撑部构成为能够一边支撑所述移送物的下侧面一边使所述移送物沿前后方向移动。
3.根据权利要求2所述的检查装置用移送机构，其中，
所述升降部包括：
移送皮带轮，及
马达，提供使所述移送皮带轮旋转的驱动力；
所述支撑部包括移送皮带，所述移送皮带缠绕于所述移送皮带轮且能够进行旋转并支撑所述移送物的下侧面。
4.根据权利要求2所述的检查装置用移送机构，其中，
所述升降部包括后端阻挡器，所述后端阻挡器构成为能够与所述移送物的后侧面接触，以用于设定所述移送物的向后方的最大移动位置。
5.根据权利要求2所述的检查装置用移送机构，其中，
包括移送部，所述移送部配置于所述支撑部的前方且构成为能够在支撑所述移送物的同时使所述移送物向后方移动，
所述移送部构成为能够使所述移送物向后方移动，使得所述支撑部支撑所述移送物。
6.根据权利要求5所述的检查装置用移送机构，其中，
所述支撑部构成为能够使所述移送物向前方移动，使得所述移送部支撑所述移送物。
7.根据权利要求2所述的检查装置用移送机构，其中，
包括：
第一移送部，配置于所述支撑部的前方，且构成为能够在支撑所述移送物的同时使所述移送物向后方移动，及
第二移送部，配置于所述第一移送部的上方或下方并配置于所述支撑部的前方，且构成为能够一边支撑所述移送物一边使所述移送物向前方移动；
所述第一移送部构成为能够使所述移送物向后方移动，使得所述支撑部支撑所述移送物，
所述支撑部构成为能够使所述移送物向前方移动，使得所述第二移送部支撑所述移送物。
8.根据权利要求7所述的检查装置用移送机构，其中，
包括可变阻挡器，所述可变阻挡器构成为：如果所述可变阻挡器向阻挡方向移动则所述升降部向下侧方向移动时所述可变阻挡器与所述升降部的下侧面接触；而如果所述可变阻挡器向解除方向移动则所述升降部向下侧方向移动时所述可变阻挡器将不构成阻挡，所述阻挡方向为垂直于上下方向及前后方向的方向，所述解除方向为所述阻挡方向的相反方向；
所述可变阻挡器构成为在所述升降部的下侧面与所述可变阻挡器接触的状态下，使所述第一移送部及所述第二移送部中配置于上侧的一方的上侧面与所述支撑部的上侧面位于同一高度。
9.根据权利要求1所述的检查装置用移送机构，其中，
如果所述升降部向上侧移动，则所述移送物的上侧面与所述上端卡接部接触，如果所述升降部向下侧移动，则所述移送物的上侧面从所述上端卡接部离开。
10.根据权利要求1所述的检查装置用移送机构，其中，
所述上端卡接部构成为能够与作为所述移送物的左侧部及右侧部中的一个的一侧部的上侧面接触，
所述支撑部构成为能够支撑所述移送物的所述一侧部的下侧面，
所述侧面引导件构成为能够与所述移送物的特定侧端接触，所述特定侧端为以所述移送物的中心为基准配置有所述一侧部的那侧侧端。
11.根据权利要求1所述的检查装置用移送机构，其中，
所述上端卡接部包括多个上端卡接凸起，所述多个上端卡接凸起向所述侧面引导件望向所述移送物的方向突出，并形成所述多个下侧面。
12.根据权利要求1所述的检查装置用移送机构，其中，
包括下端阻挡器，所述下端阻挡器构成为能够与所述升降部的下侧面接触，以用于设定所述升降部的向下侧的最大位置。
13.根据权利要求1所述的检查装置用移送机构，其中，
包括多个升降传感器，所述多个升降传感器固定于所述支撑框架且用于感知所述升降部的已设定的多个位置，
所述升降部包括升降靶，当所述升降部位于所述多个位置中一个时，所述升降靶被所述多个升降传感器中的一个感知。
14.一种检查装置，包括一个以上的权利要求1至13中任一项所述的移送机构。
15.根据权利要求14所述的检查装置，其中，
所述一个以上的移送机构包括：
第一移送机构，用于支撑所述移送物的左侧部；及
第二移送机构，用于支撑所述移送物的右侧部。
16.根据权利要求15所述的检查装置，其中，包括：
框架引导件，引导所述第一移送机构及所述第二移送机构中的至少一个沿左右方向移动；及
驱动部，所述驱动部提供以使所述至少一个移送机构沿左右方向移动的驱动力。
17.一种对象物检查方法，是利用包括权利要求1至13中任一项所述的移送机构的检查装置的对象物检查方法，包括：
上升移动步骤，所述升降部上升，使所述移送物向上侧移动，从而所述移送物的上侧面与所述上端卡接部接触；
检查步骤，检查所述对象物并判断是否不良；及
下降移动步骤，所述升降部下降，使所述移送物向下侧移动，从而所述移送物的上侧面从所述上端卡接部离开。
18.根据权利要求17所述的对象物检查方法，包括：
在所述上升移动步骤前，所述移送物借助于所述支撑部而向后方移动的后方移动步骤；及
在所述下降移动步骤后，所述移送物借助于所述支撑部而向前方移动的前方移动步骤。
CN202080010637.2A 2019-01-24 2020-01-22 检查装置用移送机构、检查装置及利用其的对象物检查方法 Active CN113330273B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2019-0009391 2019-01-24
KR20190009391 2019-01-24
PCT/KR2020/001074 WO2020153742A1 (ko) 2019-01-24 2020-01-22 검사 장치용 이송 기구, 검사 장치, 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113330273A CN113330273A (zh) 2021-08-31
CN113330273B true CN113330273B (zh) 2023-11-21

Family

ID=71735592

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202080010637.2A Active CN113330273B (zh) 2019-01-24 2020-01-22 检查装置用移送机构、检查装置及利用其的对象物检查方法
CN202080010629.8A Active CN113330272B (zh) 2019-01-24 2020-01-22 检查装置用夹具、检查装置、检查成套设备及利用其的对象物检查方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202080010629.8A Active CN113330272B (zh) 2019-01-24 2020-01-22 检查装置用夹具、检查装置、检查成套设备及利用其的对象物检查方法

Country Status (6)

Country Link
US (2) US11867747B2 (zh)
EP (2) EP3916340A4 (zh)
JP (2) JP7206401B2 (zh)
KR (2) KR102655029B1 (zh)
CN (2) CN113330273B (zh)
WO (2) WO2020153741A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102670188B1 (ko) * 2021-06-11 2024-05-29 주식회사 케이아이 Pba 자동 검사 장치
KR102671565B1 (ko) * 2021-11-04 2024-06-03 (주)글로벌엔지니어링 모터 검사 장치 및 그 제어방법
CN114590564B (zh) * 2022-05-11 2022-07-19 广东福能东方技术研发有限公司 一种pcb板检测装置及其检测方法

Citations (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10221058A (ja) * 1997-02-12 1998-08-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ガラス基板の異物検査装置
JP2001044693A (ja) * 1999-07-30 2001-02-16 Yamaha Motor Co Ltd 表面実装装置
CN1460834A (zh) * 2002-04-08 2003-12-10 Hoya株式会社 镜框形状检测装置
JP2004186681A (ja) * 2002-11-21 2004-07-02 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板の位置決め方法及びこの方法を用いた検査装置
CN1629061A (zh) * 2003-12-16 2005-06-22 株式会社大福 输送装置
JP3691146B2 (ja) * 1996-02-06 2005-08-31 東芝機械株式会社 Ｘｙステージ及び平板状の被検査物の検査方法
KR100582695B1 (ko) * 2002-11-21 2006-05-23 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 기판의 위치 결정 방법 및 이 방법을 이용한 검사 장치
JP2007311497A (ja) * 2006-05-17 2007-11-29 Fuji Mach Mfg Co Ltd プリント基板保持装置
CN101144920A (zh) * 2006-09-11 2008-03-19 奥林巴斯株式会社 基板检查装置
KR20090088736A (ko) * 2008-02-15 2009-08-20 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 이송장치
CN102963725A (zh) * 2011-08-31 2013-03-13 索尼公司 传送装置、处理装置、传送方法以及处理方法
KR20140097648A (ko) * 2013-01-28 2014-08-07 김기훈 화물 이송장치
CN104459425A (zh) * 2013-09-20 2015-03-25 日本电产理德股份有限公司 处理对象物搬送***及基板检测***
CN104505485A (zh) * 2014-10-23 2015-04-08 苏州三屹晨光工业设备有限公司 电池极耳自动检测机
KR20160048549A (ko) * 2014-10-24 2016-05-04 삼성전기주식회사 기판 검사 장치
CN105752635A (zh) * 2016-05-18 2016-07-13 广州超音速自动化科技股份有限公司 电路板输送流水线
CN205384112U (zh) * 2016-03-11 2016-07-13 河北工业大学 一种smt印刷钢网自动检测机
CN106443041A (zh) * 2016-09-29 2017-02-22 嘉兴御创电力科技有限公司 一种用于电路板的智能检测机
KR20170050580A (ko) * 2015-10-30 2017-05-11 주식회사 고영테크놀러지 물품 이송 장치 및 물품 검사 장치
JP2017207329A (ja) * 2016-05-17 2017-11-24 Juki株式会社 照明装置及び検査装置
CN107738919A (zh) * 2017-10-11 2018-02-27 李贺满 一种电子线路板自动化检测设备
CN107926150A (zh) * 2015-08-20 2018-04-17 富士机械制造株式会社 元件安装装置
CN207293648U (zh) * 2016-09-08 2018-05-01 株式会社东芝 供纸装置以及图像形成装置
CN108663011A (zh) * 2018-05-16 2018-10-16 广州隆控机电设备有限公司 一种轴承装配平面跳动检测装置
CN108698767A (zh) * 2016-03-07 2018-10-23 三菱电机株式会社 物品移送装置
CN208091375U (zh) * 2018-04-19 2018-11-13 广东莱亿机械科技有限公司 一种手机壳长宽和段差深度连续检测装置

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2758748B2 (ja) * 1991-10-15 1998-05-28 富山日本電気株式会社 電子回路基板における布線検査装置
JP3310026B2 (ja) 1992-09-28 2002-07-29 株式会社日立国際電気 フライトデータ記録方法及びボイス・フライト・データレコーダ
DE69435333D1 (de) 1993-04-21 2011-03-24 Omron Tateisi Electronics Co Vorrichtung zur visuellen kontrolle von platinen und deren verwendung zur kontrolle und korrektur von lötungen
JP2000338164A (ja) * 1999-05-28 2000-12-08 Nidec-Read Corp 基板検査装置
WO2004106953A1 (ja) 2003-05-30 2004-12-09 Advantest Corporation 電子部品試験装置
JP2006138808A (ja) 2004-11-15 2006-06-01 Mitsubishi Electric Corp 基板検査装置
KR200420972Y1 (ko) * 2006-04-25 2006-07-07 차봉열 간소화된 클램프 구조를 가진 인쇄회로기판 검사기
TWI347469B (en) 2007-04-27 2011-08-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Fixation device and method for controlling thereof
EP1995602B1 (en) * 2007-05-23 2013-08-14 RRo Holding B.V. Probe board, test fixture, method for making a probe board, and method for testing a printed circuit board
KR20090008736A (ko) 2007-07-18 2009-01-22 제일모직주식회사 아자보라페난스린 또는 옥사보라페난스린 유도체 및 이를이용한 유기전자소자
US20100210386A1 (en) * 2009-02-13 2010-08-19 Long Jr Thomas F Torque limiter arrangement for a horizontal grinder
JP5442366B2 (ja) * 2009-09-10 2014-03-12 日置電機株式会社 クランプ機構、基板固定装置および基板検査装置
CN201672910U (zh) 2010-05-31 2010-12-15 东莞市奥普特自动化科技有限公司 一种离线锡膏测厚仪
JP5498289B2 (ja) 2010-07-13 2014-05-21 富士通テレコムネットワークス株式会社 薄型二次電池用充放電試験装置のチャック機構
CN102621019A (zh) * 2011-01-30 2012-08-01 纬创资通股份有限公司 夹持治具及具有该夹持治具的摩擦测试装置和方法
CN202066796U (zh) * 2011-03-15 2011-12-07 上海赫立电子科技有限公司 自动夹板装置及包括该装置的自动光学检测装置
KR101952447B1 (ko) * 2011-09-21 2019-02-26 가부시키가이샤 니데크 안경테 형상 측정 장치
WO2015059747A1 (ja) * 2013-10-21 2015-04-30 富士機械製造株式会社 電子部品装着装置
KR101557783B1 (ko) * 2014-06-19 2015-10-07 주식회사 미르기술 컴팩트한 구성의 기판 비전검사장치
KR101682012B1 (ko) * 2015-08-25 2016-12-02 (주) 암시스 브레이크 디스크 액슬 어셈블리에서의 브레이크 디스크 검사장치
KR102396294B1 (ko) * 2015-10-16 2022-05-11 삼성디스플레이 주식회사 클램핑 장치
KR101743479B1 (ko) * 2015-12-29 2017-06-07 (주)진성이엔지 디스플레이 글라스 비전검사 공정방법
KR101614706B1 (ko) * 2016-02-02 2016-04-22 박희정 박판용접용 정밀 클램프 지그
TWI615342B (zh) 2017-03-21 2018-02-21 德律科技股份有限公司 電路板測試系統、電路板測試方法及電路板安裝裝置
CN207335610U (zh) * 2017-08-23 2018-05-08 昆山市亚明磊电子科技有限公司 一种检测pcb板平整度的夹具
CN109202778A (zh) * 2018-11-21 2019-01-15 阳普医疗（湖南）有限公司 自锁夹具

Patent Citations (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3691146B2 (ja) * 1996-02-06 2005-08-31 東芝機械株式会社 Ｘｙステージ及び平板状の被検査物の検査方法
JPH10221058A (ja) * 1997-02-12 1998-08-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ガラス基板の異物検査装置
JP2001044693A (ja) * 1999-07-30 2001-02-16 Yamaha Motor Co Ltd 表面実装装置
CN1460834A (zh) * 2002-04-08 2003-12-10 Hoya株式会社 镜框形状检测装置
JP2004186681A (ja) * 2002-11-21 2004-07-02 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板の位置決め方法及びこの方法を用いた検査装置
KR100582695B1 (ko) * 2002-11-21 2006-05-23 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 기판의 위치 결정 방법 및 이 방법을 이용한 검사 장치
CN1629061A (zh) * 2003-12-16 2005-06-22 株式会社大福 输送装置
JP2007311497A (ja) * 2006-05-17 2007-11-29 Fuji Mach Mfg Co Ltd プリント基板保持装置
CN101144920A (zh) * 2006-09-11 2008-03-19 奥林巴斯株式会社 基板检查装置
KR20090088736A (ko) * 2008-02-15 2009-08-20 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 이송장치
CN102963725A (zh) * 2011-08-31 2013-03-13 索尼公司 传送装置、处理装置、传送方法以及处理方法
JP2013051333A (ja) * 2011-08-31 2013-03-14 Sony Corp 搬送装置、処理装置、搬送方法及び処理方法
KR20140097648A (ko) * 2013-01-28 2014-08-07 김기훈 화물 이송장치
CN104459425A (zh) * 2013-09-20 2015-03-25 日本电产理德股份有限公司 处理对象物搬送***及基板检测***
CN104505485A (zh) * 2014-10-23 2015-04-08 苏州三屹晨光工业设备有限公司 电池极耳自动检测机
KR20160048549A (ko) * 2014-10-24 2016-05-04 삼성전기주식회사 기판 검사 장치
CN107926150A (zh) * 2015-08-20 2018-04-17 富士机械制造株式会社 元件安装装置
KR20170050580A (ko) * 2015-10-30 2017-05-11 주식회사 고영테크놀러지 물품 이송 장치 및 물품 검사 장치
CN108698767A (zh) * 2016-03-07 2018-10-23 三菱电机株式会社 物品移送装置
CN205384112U (zh) * 2016-03-11 2016-07-13 河北工业大学 一种smt印刷钢网自动检测机
JP2017207329A (ja) * 2016-05-17 2017-11-24 Juki株式会社 照明装置及び検査装置
CN105752635A (zh) * 2016-05-18 2016-07-13 广州超音速自动化科技股份有限公司 电路板输送流水线
CN207293648U (zh) * 2016-09-08 2018-05-01 株式会社东芝 供纸装置以及图像形成装置
CN106443041A (zh) * 2016-09-29 2017-02-22 嘉兴御创电力科技有限公司 一种用于电路板的智能检测机
CN107738919A (zh) * 2017-10-11 2018-02-27 李贺满 一种电子线路板自动化检测设备
CN208091375U (zh) * 2018-04-19 2018-11-13 广东莱亿机械科技有限公司 一种手机壳长宽和段差深度连续检测装置
CN108663011A (zh) * 2018-05-16 2018-10-16 广州隆控机电设备有限公司 一种轴承装配平面跳动检测装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020153741A1 (ko) 2020-07-30
CN113330272B (zh) 2023-11-28
JP2022518542A (ja) 2022-03-15
EP3916341A1 (en) 2021-12-01
CN113330272A (zh) 2021-08-31
US11867747B2 (en) 2024-01-09
JP7246497B2 (ja) 2023-03-27
KR20210099158A (ko) 2021-08-11
WO2020153742A1 (ko) 2020-07-30
EP3916341A4 (en) 2022-03-23
JP2022519482A (ja) 2022-03-24
KR102655029B1 (ko) 2024-04-08
CN113330273A (zh) 2021-08-31
KR20210099157A (ko) 2021-08-11
JP7206401B2 (ja) 2023-01-17
KR102649083B1 (ko) 2024-03-20
EP3916340A4 (en) 2022-03-23
EP3916340A1 (en) 2021-12-01
US20220091180A1 (en) 2022-03-24
US20220091179A1 (en) 2022-03-24
US11921151B2 (en) 2024-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113330273B (zh) 检查装置用移送机构、检查装置及利用其的对象物检查方法
CN108318799B (zh) 芯片烧录测试设备及方法
WO2017017718A1 (ja) 部品実装機および部品実装システム
KR20060019572A (ko) 반송장치, 전자부품 핸들링 장치 및 전자부품 핸들링장치에서의 반송방법
KR100802436B1 (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 접속장치
US6271657B1 (en) Test head positioner for semiconductor device testing apparatus
KR20090006308A (ko) 테스트 장치
TW201843095A (zh) 電子元件載具及其應用之作業分類設備
EP2587272A2 (en) Probe card handling carriage
KR20230101786A (ko) 운송 설비
CN105379446B (zh) 元件组装装置的向基板组装元件的方法及元件组装装置
CN212988284U (zh) 非接触式检测设备
TW201622050A (zh) 電子元件搬運單元及其應用之作業設備
KR20120063711A (ko) 칩 테스트용 프로브 장치 및 칩 테스트 방법
KR100940457B1 (ko) 에스에스디(ｓｓｄ) 테스트 핸들러의 푸싱장치
KR102316946B1 (ko) 스토커 및 이의 레티클 처리 방법
KR102104051B1 (ko) 소자핸들러
CN115840127B (zh) 一种线路板检测***和线路板检测方法
JP7510505B2 (ja) 部品実装装置
KR20050039509A (ko) 자동정렬수단이 구비된 반도체 웨이퍼 분석용 프로버 시스템
TW201901170A (zh) 電子元件測試系統
TW201902799A (zh) 電子元件載具裝置及其應用之作業分類設備
JP2009276122A (ja) 線材自動引張試験装置
KR100255183B1 (ko) Bga 반도체패키지용 솔더볼범핑시스템의 더블볼감지장치
TWM543995U (zh) 晶片燒錄測試設備

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant