JP2006138808A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固定側ベース3と可動側ベース2の一方のベースに基板検査用治具7を、かつ他方のベースに基板押え治具5をそれぞれ装着し、前記可動側ベース2を昇降させる基板検査装置において、基板検査用治具7と基板押え治具5との間に引き出し構造の基板保持ユニット12を配置し、この基板保持ユニット12を可動側ベース2に追従昇降させるように構成したものである。
【選択図】 図1
Description
図1はこの発明の実施の形態1による基板検査装置を示す概略的な側面図、図2は図1中の引き出し式基板保持ユニットを示す平面図、図3は図2の要部を示す拡大斜視図である。
図1に示す基板検査装置は、装置本体(基板検査用プレス機の機台)1の上下に配置された可動側ベース2と固定側ベース3とを備えている。前記可動側ベース2は、前記装置本体1の上部に設置されたプレスシリンダ4のピストンロッド4a下端に連結されて当該プレスシリンダ4の伸縮作動で昇降駆動されるようになっている。そして、前記可動側ベース2の下面には、基板押え用の複数のサポート6を有する基板押え治具5が着脱可能に装着されている。一方、前記装置本体1の下部に配置された固定側ベース3上には、複数のプローブピン8と位置決めピン9を有する基板検査用治具7が着脱可能に装着されている。なお、前記プローブピン8および位置決めピン9はそれぞれ上昇方向の付勢力を有して伸縮可能となっており、また、前記位置決めピン9は尖鋭テーパ状の頭部(以下、テーパ頭部という)9aを有している。
回路基板30をセット前の基板検査装置において、基板押え治具5が装着された可動側ベース2は図1に示すように上昇開離位置に保持されているため、基板保持ユニット12の引き出し用レール13はガイドロッド10aのストッパ10b上に当接して基板押え治具5と基板検査用治具7との間の中立位置に独立保持された状態となっている。この状態において、基板保持枠14を前方に引き出し、この基板保持枠14に回路基板30を嵌め込みセットする。そのセットに際しては、前記基板保持枠14上の基板挟持機構16における基板位置調整バー17および可動ストッパ18を前記回路基板30のサイズに応じた位置にスライド調整してそれぞれの調整ネジ20,22で固定しておく。この状態において、前記基板保持枠14と基板位置調整バー17の基板支持段部14c,17a上に回路基板30を載置することで、前記基板保持枠14に回路基板30を嵌め込みセットする。
図5はこの発明の実施の形態2による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、図1〜図4と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
前記実施の形態1では、基板押え治具5が装着された上側のベース2をプレスシリンダ4で昇降駆動される可動側ベースとし、基板検査用治具7が装着された下側のベース3を固定側ベースとしたが、この実施の形態2では、前記実施の形態1とは逆に上側のベース2を固定側ベースとして下側のベース3を可動側ベースとし、その下側の可動側ベース3をプレスシリンダ4で昇降駆動するように構成したもので、その他の構成は前記実施の形態1と同じである。このような構成とした実施の形態2の場合も前記実施の形態1と同様の作用効果が得られる。
図6はこの発明の実施の形態3による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、図1〜図4と同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施の形態3では、前記実施の形態1,2による基板検査装置を制御器23によって全自動化する構成としたものである。すなわち、この実施の形態3による基板検査装置は、その自動化のために、基板保持ユニット12の引き出し用レール13に取り付けられたモータ24と、このモータ24の回転出力を基板保持枠14のスライド駆動力に変換して当該基板保持枠14に伝達する動力伝達機構(図示せず)と、前記基板保持枠14に設けられて回路基板30の有無を検知する基板検知センサ25と、基板保持枠14の収納端側に配置されて当該基板保持枠14が所定の収納位置に収納されたか否かを検知する基板保持枠検知センサ26と、プレスシリンダ4の作動媒体供給系統に設けられた電磁バルブ27とを備え、前記制御器23が前記基板検知センサ25および基板保持枠検知センサ26からの入力信号に基づいてプレスシリンダ4およびモータ24を自動制御する構成としたものである。
可動側ベース2が上昇開離位置に保持された図6の状態において、回路基板30がセットされていない基板保持枠14を基板押え治具5と基板検査用治具7との間の収納位置より外方に引き出すと、基板保持枠検知センサ26がOFFとなり、前記引き出し位置の基板保持枠14に回路基板30をセットすると、基板検知センサ25がONとなることにより、制御器23は前記基板保持枠検知センサ26からのOFF信号と前記基板検知センサ25からのON信号(基板セット信号)を入力する。それらの入力信号に基づいて前記制御器23はモータ24に基板保持枠14を収納する方向の起動信号を出力する。
図7はこの発明の実施の形態4による基板検査装置を示す概略的な側面図であり、図1〜図4と同一または相当部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この実施の形態4では、前記実施の形態1から前記実施の形態3におけるガイドロッド10aに代えて基板保持ユニット12を昇降駆動可能に支持するユニット支持シリンダ(レール昇降駆動手段)28を適用し、このユニット支持シリンダ28をプレスシリンダ4に関連作動させるように制御器23で自動制御するユニット支持手段として構成したものである。すなわち、可動側ベース2の基板押え治具5と固定側ベース3の基板検査用治具7との間に配置する基板保持ユニット12の引き出し用レール14の後端側を縦型のユニット支持シリンダ28のピストンロッド上端に片持ち支持させたものである。そして、前記ユニット支持シリンダ28の作動媒体供給系統に電磁バルブ29を設け、この電磁バルブ29と前記プレスシリンダ4系統の電磁バルブ27とを制御器23で関連制御するものである。
可動側ベース2が上昇開離位置に保持された図7の状態において、基板保持枠14を取手15で外方に引き出して当該基板保持枠14に前記実施の形態1の場合と同様に回路基板30を嵌め込みセットする。そのセット後に前記基板保持枠14を所定の収納位置まで押し込むと、制御器23からのバルブ制御信号でユニット支持シリンダ28の電磁バルブ29が切り換えられて前記ユニット支持シリンダ28が短縮作動する。これにより、基板保持ユニット12が下降し、基板保持枠14に保持された回路基板30の位置決め孔31が基板検査用治具7の位置決めピン9のテーパ頭部9aに嵌まり込む。この状態においても前記ユニット支持シリンダ28が短縮作動を継続して基板保持ユニット12が下降継続することにより、前記位置決めピン9によって回路基板30が基板保持枠14から浮き上がった状態に保持される。
Claims (6)
- 治具装着用の固定側ベースと可動側ベースを上下に備え、その一方のベースに複数のプローブピンおよび基板位置決めピンを有する基板検査用治具を、かつ他方のベースに基板押え治具をそれぞれ着脱可能に装着し、前記可動側ベースを前記固定側ベースとの相対方向に昇降させる基板検査装置において、前記固定側ベースと可動側ベースとの間に配置されて検査対象の回路基板が取り出し可能にセットされる引き出し構造の基板保持ユニットと、この基板保持ユニットを前記基板検査用治具と基板押え治具との間で前記可動側ベースに追従して昇降するように支持し、かつ前記可動側ベースの開離位置では前記基板検査用治具と基板押え治具から離れた中間位置に前記基板保持ユニットを保持するユニット支持手段とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
- 基板保持ユニットは、ユニット支持手段で支持されて固定側ベースと可動側ベースとの間に昇降可能に配置されて可動側ベースに追従昇降する左右一対の引き出し用レールと、これらの引き出し用レールにスライド可能に支持された基板保持枠とからなっていることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 基板保持枠には、これにセットされる回路基板のサイズに応じて当該回路基板の周縁部を前記基板保持枠との間で挟持する基板挟持機構が、平面X−Y方向へ移動可能に搭載されていることを特徴とする請求項2記載の基板検査装置。
- ユニット支持手段は、可動側ベースに一体的に設けられて基板保持枠の両側部を昇降可能にガイドする複数のガイドロッドと、これらのガイドロッドに設けられて可動側ベースの開離位置で前記引き出し用レールを当接支承して前記基板保持枠を基板検査用治具と基板押え治具との中間位置に保持するストッパとからなっていることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- ユニット支持手段は、引き出し用レールを支持して当該引き出し用レールを自動的に昇降駆動するレール昇降駆動手段からなっていることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 可動側ベースを昇降駆動するベース昇降駆動手段と、基板保持枠を収納位置と引き出し位置に駆動するモータと、それらベース昇降駆動手段とモータを自動制御する制御器とを備えていることを特徴とする請求項1から請求項5のうちのいずれか1項記載の基板検査装置。
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