CN113290427A - 一种高纯镍蒸发料的处理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法包括对高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料；对所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料；对所述研磨后高纯镍蒸发料进行烘干，得到清洗后高纯镍蒸发料，从而有效去除高纯镍蒸发料表面的杂质和氧化层，提高高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，延长使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及半导体溅射蒸发料技术领域，尤其涉及一种高纯镍蒸发料的处理方法。
背景技术
随着科学技术和现代社会的发展，薄膜材料越来越广泛的应用于信息、新能源、电子、平板显示等领域，尤其是随着半导体工艺技术的发展，薄膜材料已经成为现代社会文明不可或缺的重要组成部分，而作为高质量薄膜形成所需要的溅射靶材的质量要求也越来越高，因此制备高质量要求的靶材制备技术变得非常重要。
镍作为一种常用的薄膜材料在几乎所有金属薄膜所应用到的领域均得到了最广泛的应用，在半导体、磁记录，平板显示等领域对薄膜的要求很高，进而对金属靶材也提出了更高的要求。比如要求镍具有很高的纯度，一般要求大于99.99％，而对组织要求晶粒均匀，平均晶粒度一般要求小于40um。这样能够保证得到均匀性非常好的高纯度薄膜，从而保证器件的性能。
但高纯镍的表面常常会存在杂质脏污和氧化层，现有技术中常采用异丙醇和纯水进行超声波清洗，或离心研磨机研磨，但清洗后高纯镍表面仍存在有氧化层和杂质脏污。
CN109930162A公开了一种回收溅射靶材的清洗方法，所述方法包括使用磨床将旧的溅射铝靶材面板和背板进行分离；将分离出的溅射铝靶材面板置于酸溶液的容器中，所述酸溶液的质量浓度为10～75％；溶解结束后，取出溅射铝靶材面板，再浸入氢氧化钠溶液，对靶材表面酸溶液进去中和处理；所述氢氧化钠溶液的质量浓度为10～20％；酸碱中和完成后，取出溅射铝靶材面板浸入纯水中；从纯水中取出，肉眼观察是否有残存附着物；附着物没有的情况下在温室内进行干燥，最终可获取干净的铝靶材，但未涉及高纯镍的清洗。
CN112267099A公开了一种靶材表面的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：将靶材表面进行流水清洗并擦拭，然后依次进行超声振动清洗、喷射清洗和吹扫干燥，得到清洗完成的靶材，但未涉及高纯镍的清洗。
CN101724818B公开了一种铜或铜合金溅射靶材的清洗方法，其具有至少两个清洗阶段，包括：第一清洗阶段，使用第一清洗剂溶液对铜或铜合金溅射靶材进行至少一次清洗；第二清洗阶段，使用第二清洗剂溶液对铜或铜合金溅射靶材进行至少一次清洗。所述清洗方法还可包括在所述第一清洗阶段前的预热工序、在所述第二清洗阶段后的蒸汽清洗阶段，但未涉及高纯镍的清洗。
因此，有必要开发一种操作简单，且清洗效果好的高纯镍蒸发料的清洗方法。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法通过依次进行多次的清洗和酸洗过程，与研磨过程相配合，从而有效去除高纯镍蒸发料表面的杂质和氧化层，提高高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，延长使用寿命。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法包括以下步骤：
(1)对高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料；
(2)对步骤(1)所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料；
(3)对步骤(2)所述研磨后高纯镍蒸发料进行烘干，得到清洗后高纯镍蒸发料。
本发明对高纯蒸发料进行预处理，随后研磨和进一步的清洗过程，以清洗、酸洗和研磨相配合的方式，从而有效去除高纯镍蒸发料表面的杂质和氧化层，提高高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，研磨粒可以重复利用，节约成本。
优选地，所述高纯镍蒸发料的纯度≥99.9wt％，例如可以是99.9wt％、99.91wt％、99.92wt％、99.93wt％、99.94wt％、99.95wt％、99.96wt％、99.97wt％、99.98wt％或99.99wt％等。
对于高纯镍一般是指纯度≥99.9wt％的镍材料。
优选地，所述高纯镍蒸发料的平均粒径为10～50mm，例如可以是10mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm或50mm等。
优选地，步骤(1)所述第一清洗包括在第一超声下依次在清洁剂和纯水中清洗。
优选地，所述清洁剂包括洗洁精。
本发明对洗洁精无特殊限制，可使用本领域技术人员所熟知的洗洁***类。
在清洁剂中进行清洗后进入纯水中清洗，能够增加鼓泡，有利于增加液体的流动，能够更加充分利用气泡的浮力带动蒸发料在液体中滚动，使蒸发料得到更充分的清洗。
优选地，所述第一超声的功率为200～300W，例如可以是200W、210W、220W、230W、240W、250W、260W、270W、280W、290W或300W等。
优选地，所述第一清洗中在清洁剂中清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述第一清洗中在纯水中清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述第一酸洗包括依次在硝酸溶液和纯水中清洗。
优选地，所述硝酸溶液的浓度为62～68wt％，例如可以是62wt％、63wt％、64wt％、65wt％、66wt％、67wt％或68wt％等。
优选地，所述第一酸洗中在硝酸溶液中清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述第一酸洗中在纯水中清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述第一酸洗中在纯水中清洗需在第二超声下进行。
优选地，所述第二超声的功率为200～300W，例如可以是200W、210W、220W、230W、240W、250W、260W、270W、280W、290W或300W等。
优选地，步骤(2)所述研磨包括在离心研磨机中进行。
本发明中进行研磨是为了去除高纯镍蒸发料表面的氧化层和杂质，能够提升高纯镍蒸发料的洁净度。
优选地，所述第二清洗包括在第三超声下依次在纯水和研磨液中清洗。
优选地，所述第三超声的功率为200～300W，例如可以是200W、210W、220W、230W、240W、250W、260W、270W、280W、290W或300W等。
优选地，所述第二清洗中在纯水中清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述第二清洗中在研磨液中清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述研磨液包括洗手液。
本发明对洗手液无特殊限制，可使用本领域技术人员所熟知的洗手液种类。
优选地，所述研磨液中洗手液和纯水的体积比1:(45～55)。
优选地，所述第三清洗包括在第四超声下在异丙醇中清洗。
优选地，所述第四超声的功率为200～300W，例如可以是200W、210W、220W、230W、240W、250W、260W、270W、280W、290W或300W等。
优选地，所述第三清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述第二酸洗包括依次在盐酸溶液和纯水中清洗。
优选地，所述盐酸溶液的浓度为38～42wt％，例如可以是38wt％、39wt％、40wt％、41wt％或42wt％等。
优选地，所述第二酸洗中在盐酸溶液中清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述第二酸洗中在纯水中清洗的时间为2～10min，例如可以是2min、3min、4min、5min、6min、7min、8min、9min或10min等。
优选地，所述第二酸洗中在纯水中清洗在第五超声下进行。
优选地，所述第五超声的功率为200～300W，例如可以是200W、210W、220W、230W、240W、250W、260W、270W、280W、290W或300W等。
优选地，步骤(3)所述烘干的温度为100～120℃，例如可以是100℃、102℃、104℃、106℃、108℃、110℃、112℃、114℃、116℃、118℃或120℃等。
优选地，所述烘干的时间为30～50min，例如可以是30min、32min、34min、36min、38min、40min、42min、44min、46min、48min或50min等。
作为本发明优选的技术方案，所述处理方法包括以下步骤：
(1)对平均粒径为10～50mm，纯度≥99.9wt％的高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料，其中第一清洗包括在功率为200～300W的第一超声下依次在清洁剂中清洗2～10min和纯水中清洗2～10min；第一酸洗包括依次在浓度为62～68wt％的硝酸溶液中清洗2～10min和纯水中清洗2～10min，第一酸洗中在纯水中清洗需在功率为200～300W的第二超声下进行；
(2)对步骤(1)所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行在离心研磨机中研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料，其中所述第二清洗包括在功率为200～300W的第三超声下依次在纯水中清洗2～10min和研磨液中清洗2～10min，其中研磨液中洗手液和纯水的体积比为1:(45～55)；所述第三清洗包括在功率为200～300W的第四超声下在异丙醇中清洗2～10min；第二酸洗包括依次在浓度为38～42wt％的盐酸溶液中清洗2～10min和纯水中清洗2～10min，第二酸洗中在纯水中清洗需在功率为200～300W的第五超声下进行；
(3)对步骤(2)所述研磨后高纯镍蒸发料进行100～120℃的烘干30～50min，得到清洗后高纯镍蒸发料。
与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：
(1)本发明提供的一种高纯镍蒸发料的处理方法，通过依次进行多次的清洗和酸洗过程，与研磨过程相配合，从而有效去除高纯镍蒸发料表面的杂质和氧化层，提高高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，延长使用寿命，清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命≥2014kW·h，在优选条件下，清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命≥2058kW·h；
(2)本发明提供的一种高纯镍蒸发料的处理方法，操作步骤简单，易于实施。
具体实施方式
为便于理解本发明，本发明列举实施例如下。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
一、实施例
实施例1
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法包括以下步骤：
(1)对平均粒径为30mm，纯度为99.9wt％的高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料，其中第一清洗包括在功率为250W的第一超声下依次在清洁剂中清洗6min和纯水中清洗6min；第一酸洗包括依次在浓度为65wt％的硝酸溶液中清洗6min和纯水中清洗6min，第一酸洗中在纯水中清洗需在功率为250W的第二超声下进行；
(2)对步骤(1)所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行在离心研磨机中研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料，其中所述第二清洗包括在功率为250W的第三超声下依次在纯水中清洗6min和研磨液中清洗6min，其中研磨液中洗手液和纯水的体积比为1:50；所述第三清洗包括在功率为250W的第四超声下在异丙醇中清洗6min；第二酸洗包括依次在浓度为40wt％的盐酸溶液中清洗6min和纯水中清洗6min，第二酸洗中在纯水中清洗需在功率为250W的第五超声下进行；
(3)对步骤(2)所述研磨后高纯镍蒸发料进行110℃的烘干40min，得到清洗后高纯镍蒸发料。
本实施例中洗手液的型号为斯麦尔工人洗手液。
实施例2
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法包括以下步骤：
(1)对平均粒径为10mm，纯度为99.99wt％的高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料，其中第一清洗包括在功率为200W的第一超声下依次在清洁剂中清洗2min和纯水中清洗2min；第一酸洗包括依次在浓度为62wt％的硝酸溶液中清洗10min和纯水中清洗10min，第一酸洗中在纯水中清洗需在功率为200W的第二超声下进行；
(2)对步骤(1)所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行在离心研磨机中研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料，其中所述第二清洗包括在功率为200W的第三超声下依次在纯水中清洗2min和研磨液中清洗2min，其中研磨液中洗手液和纯水的体积比为1:45；所述第三清洗包括在功率为200W的第四超声下在异丙醇中清洗10min；第二酸洗包括依次在浓度为38wt％的盐酸溶液中清洗2min和纯水中清洗2min，第二酸洗中在纯水中清洗需在功率为200W的第五超声下进行；
(3)对步骤(2)所述研磨后高纯镍蒸发料进行120℃的烘干30min，得到清洗后高纯镍蒸发料。
本实施例中洗手液的型号为斯麦尔工人洗手液。
实施例3
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法包括以下步骤：
(1)对平均粒径为50mm，纯度为99.9wt％的高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料，其中第一清洗包括在功率为300W的第一超声下依次在清洁剂中清洗10min和纯水中清洗10min；第一酸洗包括依次在浓度为68wt％的硝酸溶液中清洗2min和纯水中清洗2min，第一酸洗中在纯水中清洗需在功率为300W的第二超声下进行；
(2)对步骤(1)所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行在离心研磨机中研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料，其中所述第二清洗包括在功率为300W的第三超声下依次在纯水中清洗10min和研磨液中清洗10min，其中研磨液中洗手液和纯水的体积比为1:55；所述第三清洗包括在功率为300W的第四超声下在异丙醇中清洗2min；第二酸洗包括依次在浓度为42wt％的盐酸溶液中清洗10min和纯水中清洗10min，第二酸洗中在纯水中清洗需在功率为300W的第五超声下进行；
(3)对步骤(2)所述研磨后高纯镍蒸发料进行100℃的烘干50min，得到清洗后高纯镍蒸发料。
本实施例中洗手液的型号为斯麦尔工人洗手液。
实施例4
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于步骤(1)硝酸溶液的浓度为60wt％，其余均与实施例1相同。
实施例5
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于步骤(1)硝酸溶液的浓度为70wt％，其余均与实施例1相同。
实施例6
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于研磨液中洗手液和纯水的体积比为1:40，其余均与实施例1相同。
实施例7
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于研磨液中洗手液和纯水的体积比为1:50，其余均与实施例1相同。
实施例8
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于步骤(2)盐酸溶液的浓度为35wt％，其余均与实施例1相同。
实施例9
本实施例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于步骤(2)盐酸溶液的浓度为45wt％，其余均与实施例1相同。
二、对比例
对比例1
本对比例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于不进行第一清洗，其余均与实施例1相同。
对比例2
本对比例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于不进行第一酸洗，其余均与实施例1相同。
对比例3
本对比例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于不进行研磨，其余均与实施例1相同。
对比例4
本对比例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于不进行第二清洗，其余均与实施例1相同。
对比例5
本对比例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于不进行第三清洗，其余均与实施例1相同。
对比例6
本对比例提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法与实施例1的区别仅在于不进行第二酸洗，其余均与实施例1相同。
三、测试及结果
清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命的测试方法：将清洗后高纯镍蒸发料应用于半导体溅射镀膜过程中。
以上实施例和对比例的测试结果如表1所示。
表1
| 清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命(kW·h) | |
| 实施例1 | 2462 |
| 实施例2 | 2458 |
| 实施例3 | 2464 |
| 实施例4 | 2024 |
| 实施例5 | 2017 |
| 实施例6 | 2020 |
| 实施例7 | 2014 |
| 实施例8 | 2006 |
| 实施例9 | 2018 |
| 对比例1 | 1842 |
| 对比例2 | 1788 |
| 对比例3 | 1744 |
| 对比例4 | 1828 |
| 对比例5 | 1954 |
| 对比例6 | 1854 |
从表1可以看出以下几点：
(1)本发明提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法通过依次进行多次的清洗和酸洗过程，与研磨过程相配合，从而有效去除高纯镍蒸发料表面的杂质和氧化层，提高高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，延长使用寿命，具体而言，实施例1～7中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命≥2014kW·h，在优选条件下，清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命≥2058kW·h；
(2)结合实施例1和实施例4～5可知，实施例1步骤(1)硝酸溶液的浓度为65wt％，相较于实施例4～5步骤(1)硝酸溶液的浓度分别为60wt％和70wt％而言，实施例1中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命为2462kW·h，而实施例4～5中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命分别为2024kW·h和2017kW·h，由此表明，本发明将步骤(1)硝酸溶液的浓度控制在一定范围内，能够提升高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，进一步延长使用寿命；
(3)结合实施例1和实施例6～7可知，实施例1研磨液中洗手液和纯水的体积比为1:50，相较于实施例4～5研磨液中洗手液和纯水的体积比分别为1:40和1:50而言，实施例1中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命为2462kW·h，而实施例6～7中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命分别为2020kW·h和2014kW·h，由此表明，本发明将研磨液中洗手液和纯水的体积比控制在一定范围内，能够提升高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，进一步延长使用寿命；
(4)结合实施例1和实施例8～9可知，实施例1步骤(2)盐酸溶液的浓度为40wt％，相较于实施例8～9步骤(2)盐酸溶液的浓度分别为35wt％和45wt％而言，实施例1中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命为2462kW·h，而实施例8～9中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命分别为2006kW·h和2018kW·h，由此表明，本发明将步骤(2)盐酸溶液的浓度控制在一定范围内，能够提升高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，进一步延长使用寿命；
(5)结合实施例1和对比例1～6可知，实施例1中依次进行了第一清洗、第一酸洗、研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，相较于对比例1～6分别不进行第一清洗、第一酸洗、研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗而言，实施例1中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命为2462kW·h，而对比例1～6中清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命分别为1842kW·h、1788kW·h、1744kW·h、1828kW·h、1954kW·h和1854kW·h，由此表明，本发明对高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗、研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，能够提升高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，延长使用寿命。
综上所述，本发明提供一种高纯镍蒸发料的处理方法，所述处理方法有效去除高纯镍蒸发料表面的杂质和氧化层，提高高纯镍蒸发料表面的洁净度，有助于提高镀膜性能，延长使用寿命，清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命≥2014kW·h，在优选条件下，清洗后高纯镍蒸发料的使用寿命≥2058kW·h。
申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细工艺设备和工艺流程，但本发明并不局限于上述详细工艺设备和工艺流程，即不意味着本发明必须依赖上述详细工艺设备和工艺流程才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
Claims (10)
1.一种高纯镍蒸发料的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括以下步骤：
(1)对高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料；
(2)对步骤(1)所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料；
(3)对步骤(2)所述研磨后高纯镍蒸发料进行烘干，得到清洗后高纯镍蒸发料。
2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述高纯镍蒸发料的纯度≥99.9wt％；
优选地，所述高纯镍蒸发料的平均粒径为10～50mm。
3.根据权利要求1或2所述的处理方法，其特征在于，步骤(1)所述第一清洗包括在第一超声下依次在清洁剂和纯水中清洗；
优选地，所述清洁剂包括洗洁精；
优选地，所述第一超声的功率为200～300W；
优选地，所述第一清洗中在清洁剂中清洗的时间为2～10min；
优选地，所述第一清洗中在纯水中清洗的时间为2～10min。
4.根据权利要求1～3任一项所述的处理方法，其特征在于，所述第一酸洗包括依次在硝酸溶液和纯水中清洗；
优选地，所述硝酸溶液的浓度为62～68wt％；
优选地，所述第一酸洗中在硝酸溶液中清洗的时间为2～10min；
优选地，所述第一酸洗中在纯水中清洗的时间为2～10min；
优选地，所述第一酸洗中在纯水中清洗需在第二超声下进行；
优选地，所述第二超声的功率为200～300W。
5.根据权利要求1～4任一项所述的处理方法，其特征在于，步骤(2)所述研磨包括在离心研磨机中进行。
6.根据权利要求1～5任一项所述的处理方法，其特征在于，所述第二清洗包括在第三超声下依次在纯水和研磨液中清洗；
优选地，所述第三超声的功率为200～300W；
优选地，所述第二清洗中在纯水中清洗的时间为2～10min；
优选地，所述第二清洗中在研磨液中清洗的时间为2～10min；
优选地，所述研磨液包括洗手液；
优选地，所述研磨液中洗手液和纯水的体积比1:(45～55)。
7.根据权利要求1～6任一项所述的处理方法，其特征在于，所述第三清洗包括在第四超声下在异丙醇中清洗；
优选地，所述第四超声的功率为200～300W；
优选地，所述第三清洗的时间为2～10min。
8.根据权利要求1～7任一项所述的处理方法，其特征在于，所述第二酸洗包括依次在盐酸溶液和纯水中清洗；
优选地，所述盐酸溶液的浓度为38～42wt％；
优选地，所述第二酸洗中在盐酸溶液中清洗的时间为2～10min；
优选地，所述第二酸洗中在纯水中清洗的时间为2～10min；
优选地，所述第二酸洗中在纯水中清洗在第五超声下进行；
优选地，所述第五超声的功率为200～300W。
9.根据权利要求1～7任一项所述的处理方法，其特征在于，步骤(3)所述烘干的温度为100～120℃；
优选地，所述烘干的时间为30～50min。
10.根据权利要求1～7任一项所述的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括以下步骤：
(1)对平均粒径为10～50mm，纯度≥99.9wt％的高纯镍蒸发料依次进行第一清洗、第一酸洗，得到预处理后高纯镍蒸发料，其中第一清洗包括在功率为200～300W的第一超声下依次在清洁剂中清洗2～10min和纯水中清洗2～10min；第一酸洗包括依次在浓度为62～68wt％的硝酸溶液中清洗2～10min和纯水中清洗2～10min，第一酸洗中在纯水中清洗需在功率为200～300W的第二超声下进行；
(2)对步骤(1)所述预处理后高纯镍蒸发料依次进行在离心研磨机中研磨、第二清洗、第三清洗和第二酸洗，得到研磨后高纯镍蒸发料，其中所述第二清洗包括在功率为200～300W的第三超声下依次在纯水中清洗2～10min和研磨液中清洗2～10min，其中研磨液中洗手液和纯水的体积比为1:(45～55)；所述第三清洗包括在功率为200～300W的第四超声下在异丙醇中清洗2～10min；第二酸洗包括依次在浓度为38～42wt％的盐酸溶液中清洗2～10min和纯水中清洗2～10min，第二酸洗中在纯水中清洗需在功率为200～300W的第五超声下进行；
(3)对步骤(2)所述研磨后高纯镍蒸发料进行100～120℃的烘干30～50min，得到清洗后高纯镍蒸发料。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN113664472A (zh) * | 2021-08-25 | 2021-11-19 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种镍蒸发料的制备方法 |
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- 2021-05-24 CN CN202110565387.5A patent/CN113290427A/zh active Pending
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