CN112964978A - 一种半导体集成电路测试设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及集成电路生产加工技术领域，且公开了一种半导体集成电路测试设备，包括工作台，工作台顶部中心位置处固定安装有测试台，测试台顶部设置有探针板,工作台顶部设置有升降机构,升降机构包括升降台。该半导体集成电路测试设备，本发明通过在升降台的外壁对转动环进行往一个方向上的转动，实现通过四组运动杆和四组联动杆带动定位框在升降台中部的镂空处进行不停的上下往复运动，则实现定位框带动其腔内限位的电路板上下往复运动，当定位框运动到到升降台的最下方时，此时电路板则与探针板顶部的探针进行了挤压接触，则实现了电路板与探针板上的探针进行了精准的上下对接，本发明提高了对半导体集成电路板的定位测试效率。

Description

一种半导体集成电路测试设备

技术领域

本发明涉及集成电路生产加工技术领域，具体为一种半导体集成电路测试设备。

背景技术

半导体集成电路测试是对集成电路或模块进行检测，通过测量对于集成电路的输出回应和预期输出比较，以确定或评估集成电路元器件功能和性能的过程，是验证设计、监控生产、保证质量、分析失效以及指导应用的重要手段。

现有技术的半导体集成电路检测设备一般是将电路板人工手动式的***到测试基座上来进行测试，人为手动式的插接，不可能保证每次插接的准去性，因此需要重复甚至多次的进行插接尝试才能够实现电路板的电信号连接各种，不仅容易对测试的电路板造成不可恢复的伤害，而且插接孔的摩擦还可能会影响正常的信号传输，导致测试数据的不准确。因此，针对以上的问题，亟需提出一种半导体集成电路测试设备。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体集成电路测试设备。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体集成电路测试设备，包括工作台，工作台底部设置有支撑腿，工作台顶部中心位置处固定安装有测试台，测试台顶部设置有探针板,探针板底部与测试台顶部之间固定安装有弹簧，工作台顶部设置有升降机构,升降机构包括升降台，升降台为中部镂空的圆盘形，且升降台的镂空处为正方形，升降台的底部固定连接有四个支撑杆，且四个支撑杆的底端均固定安装在工作台的顶部，探针板位于升降台镂空处下方的中心位置处，升降台的环形外壁活动安装有转动环，转动环为环形，且转动环的外壁开设有齿槽，升降台顶部固定安装有四组呈环形阵列分布的固定块，固定块为圆柱体，四组固定块腔内均活动安装有转动杆，转动杆的两端分别活动贯穿固定块，转动杆远离升降台腔内的一侧固定安装有齿轮，且齿轮与转动环上齿槽相互啮合，四个转动杆靠近升降台腔内的一端均固定安装有运动杆，且运动杆与转动杆呈上下相互垂直的状态，四个运动杆远离转动杆的一端设置有连接杆，连接杆远离转动杆的一端设置有联动杆，四个联动杆远离转动杆的一端共同设置有定位机构,定位机构包括定位框和定位板，定位框为中部镂空的空心矩形框体，定位板的数量为两个，两个定位板设置在定位框腔内的内壁上，四个联动杆的一端分别设置在定位框的四个壁面的底部上。

优选的，所述运动杆远离转动杆的一端和联动杆靠近运动杆的一端均固定安装有连接块A，连接杆活动安装在两个连接块A内，且两个连接块A相互贴合，联动杆远离转动杆的一端固定连接有连接块B，连接块B设置在定位框底部的壁面上，连接块B与定位框壁面之间活动安装有连接轴杆，连接块B可以通过连接轴杆进行转动。

优选的，两个所述定位板的左右两端均固定安装有固定安装有行程杆，定位框左右两侧的内壁均开设有与行程杆位置相互对应的行程槽，行程杆设置在行程槽内，且行程杆远离定位板的一端均从对应的行程槽的腔内伸出，行程杆位于行程槽腔内的上下两端均固定安装有定位杆，行程槽腔内上下两侧内壁均开设有与定位杆相互卡合的定位槽。

优选的，所述定位框的左右两侧外壁中部均互动安装有轴杆，轴杆远离定位框的一侧壁面顶端固定安装有定位盘，定位盘外壁的前后两侧均开设有限位槽，限位槽为弧形，限位槽呈顺时针往定位盘圆心位置处一侧进行弧形弯曲的状态，两个限位槽腔内均活动卡合有限位块，限位块的两端均从限位槽腔内伸出，且限位块的伸出两端均固定安装有限位板，两个限位板靠近行程杆的一端共同固定连接有限位杆，限位杆呈U字形状，且限位杆与行程杆呈垂直的状态。

优选的，所述定位框腔内左右两侧壁面上均固定安装有三组伸缩杆，且每侧的三个伸缩杆远离定位框内壁的一侧均通过固定连接有夹板B，伸缩杆的外壁套接有支撑弹簧。

优选的，两个所述夹板B的前后壁面与靠近一侧的定位板之间均设置有联动绳，定位框左右两侧内壁与靠近定位板的一侧均固定安装有导向滑轮，联动绳一端固定连接在夹板B靠近定位板的一侧壁面上，联动绳活动缠绕经过导向滑轮，且联动绳的另一端固定连接定位板靠近夹板B的一侧壁面上。

优选的，两个所述定位板相互靠近的一侧壁面中部均固定安装有U字形状的夹板A，夹板A的内壁中部均固定安装有缓冲垫A。

优选的，两个所述夹板B相互靠近的一侧壁面上均固定安装有缓冲垫B。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种半导体集成电路测试设备，具备以下有益效果：

1、该半导体集成电路测试设备，本发明通过在升降台的外壁对转动环进行往一个方向上的转动，实现通过四组运动杆和四组联动杆带动定位框在升降台中部的镂空处进行不停的上下往复运动，则实现定位框带动其腔内限位的电路板上下往复运动，当定位框运动到到升降台的最下方时，此时被限位在两组定位板和两组夹板B之间的电路板则与探针板顶部的探针进行了挤压接触，则实现了电路板与探针板上的探针进行了精准的上下对接，则此时电路板与探针板实现了电信号连接，则实现了对半导体集成电路板的定位测试，当测试完成后，再次转动转动环，则实现将电路板自动取出分离，本发明提高了对半导体集成电路板的定位测试效率，降低了人工手动安装电路板测试的难度，并且提高了对电路板定位测试的精准度，具有较强的实用性和创造性。

2、该半导体集成电路测试设备，通过设置定位机构，实现同步转动两组定位盘，定位盘的转动通过限位杆能够控制对应两侧两组行程杆之间相对距离，则就相应的实现了能够控制两组定位板之间相互靠近的距离，最终时了通过同步的转动两组定位盘，实现了两组相互靠近的定位板对电路板的前后两端进行了精准的限位夹紧，提高了本发明对电路板进行测试时的定位效率，同时提高了电路板定位的精准度。

3、该半导体集成电路测试设备，通过设置伸缩杆、支撑弹簧和夹板B，在支撑弹簧的弹力支撑作用下，使得夹板B对缓冲垫B产生挤压力，则使得两组相互靠近的缓冲垫B对电路板的左右两端进行夹紧，进一步提高了测试电路板的定位安装效率，使得电路板的四个边都能够被限位和固定住，保证了电路板定位后测试的效率。

4、该半导体集成电路测试设备，通过设置导向滑轮和联动绳，实现了当两组定位板相互靠近对电路板进行夹紧时，定位板的靠近使得联动绳对夹板B的拉扯程度缓慢的撤销，使得左右两组相互靠近的夹板B对电路板的左右两端同步进行了限位和固定，通过联动绳将夹板B与定位板进行了同步的联动，提高了对测试时对电路板的定位效率，具有较强的实用性和创造性。

5、该半导体集成电路测试设备，通过设置缓冲垫B、夹板A和缓冲垫A，提高了对定位中电路板的保护作用，减少电路板外边与夹板B和定位板壁面之间的硬性挤压接触作用，从而减少电路板的摩擦程度，则提高了电路板测试的保护效果。

附图说明

图1为本发明正面剖视图；

图2为本发明图1中A处放大图；

图3为本发明图1中B处放大图；

图4为本发明定位框俯面剖视图；

图5为本发明图4中C处放大图；

图6为本发明定位盘结构示意图；

图7为本发明定位框立体图。

图中：1、工作台；11、测试台；12、探针板；2、升降机构；21、升降台；22、支撑杆；23、转动环；24、固定块；25、齿轮；26、转动杆；27、运动杆；28、连接杆；29、联动杆；3、定位机构；31、定位框；32、定位板；33、行程杆；34、行程槽；35、定位杆；36、定位槽；37、定位盘；38、轴杆；39、限位杆；4、连接块A；41、连接块B；42、连接轴杆；5、限位槽；51、限位块；52、限位板；6、夹板A；61、缓冲垫A；62、夹板B；63、缓冲垫B；64、伸缩杆；65、支撑弹簧；66、联动绳；67、导向滑轮。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-7，本发明提供了一种技术方案：一种半导体集成电路测试设备，包括工作台1，工作台1底部设置有支撑腿，工作台1顶部中心位置处固定安装有测试台11，测试台11顶部设置有探针板12,探针板12底部与测试台11顶部之间固定安装有弹簧，探针板12的底部通过导线电信号连接有控制器和测试机，探针板12、控制器和测试机均为现有技术，在此不做赘述，工作台1顶部设置有升降机构2,升降机构2包括升降台21，升降台21为中部镂空的圆盘形，且升降台21的镂空处为正方形，升降台21的底部固定连接有四个支撑杆22，且四个支撑杆22的底端均固定安装在工作台1的顶部，探针板12位于升降台21镂空处下方的中心位置处，升降台21的环形外壁活动安装有转动环23，转动环23为环形，且转动环23的外壁开设有齿槽，升降台21顶部固定安装有四组呈环形阵列分布的固定块24，固定块24为圆柱体，四组固定块24腔内均活动安装有转动杆26，转动杆26的两端分别活动贯穿固定块24，转动杆26远离升降台21腔内的一侧固定安装有齿轮25，且齿轮25与转动环23上齿槽相互啮合，四个转动杆26靠近升降台21腔内的一端均固定安装有运动杆27，且运动杆27与转动杆26呈上下相互垂直的状态，四个运动杆27远离转动杆26的一端设置有连接杆28，连接杆28远离转动杆26的一端设置有联动杆29，四个联动杆29远离转动杆26的一端共同设置有定位机构3,定位机构3包括定位框31和定位板32，定位框31为中部镂空的空心矩形框体，定位板32的数量为两个，两个定位板32设置在定位框31腔内的内壁上，四个联动杆29的一端分别设置在定位框31的四个壁面的底部上，运动杆27远离转动杆26的一端和联动杆29靠近运动杆27的一端均固定安装有连接块A4，连接杆28活动安装在两个连接块A4内，且两个连接块A4相互贴合，联动杆29远离转动杆26的一端固定连接有连接块B41，连接块B41设置在定位框31底部的壁面上，连接块B41与定位框31壁面之间活动安装有连接轴杆42，连接块B41可以通过连接轴杆42进行转动，两个定位板32的左右两端均固定安装有固定安装有行程杆33，定位框31左右两侧的内壁均开设有与行程杆33位置相互对应的行程槽34，行程杆33设置在行程槽34内，且行程杆33远离定位板32的一端均从对应的行程槽34的腔内伸出，行程杆33位于行程槽34腔内的上下两端均固定安装有定位杆35，行程槽34腔内上下两侧内壁均开设有与定位杆35相互卡合的定位槽36，定位框31的左右两侧外壁中部均互动安装有轴杆38，轴杆38远离定位框31的一侧壁面顶端固定安装有定位盘37，定位盘37外壁的前后两侧均开设有限位槽5，限位槽5为弧形，限位槽5呈顺时针往定位盘37圆心位置处一侧进行弧形弯曲的状态，两个限位槽5腔内均活动卡合有限位块51，限位块51的两端均从限位槽5腔内伸出，且限位块51的伸出两端均固定安装有限位板52，两个限位板52靠近行程杆33的一端共同固定连接有限位杆39，限位杆39呈U字形状，且限位杆39与行程杆33呈垂直的状态，两个定位板32相互靠近的一侧壁面中部均固定安装有U字形状的夹板A6，夹板A6的内壁中部均固定安装有缓冲垫A61，定位框31腔内左右两侧壁面上均固定安装有三组伸缩杆64，且每侧的三个伸缩杆64远离定位框31内壁的一侧均通过固定连接有夹板B62，两个夹板B62相互靠近的一侧壁面上均固定安装有缓冲垫B63，伸缩杆64的外壁套接有支撑弹簧65，两个夹板B62的前后壁面与靠近一侧的定位板32之间均设置有联动绳66，定位框31左右两侧内壁与靠近定位板32的一侧均固定安装有导向滑轮67，联动绳66一端固定连接在夹板B62靠近定位板32的一侧壁面上，联动绳66活动缠绕经过导向滑轮67，且联动绳66的另一端固定连接定位板32靠近夹板B62的一侧壁面上，联动绳66的具体安装位置如图5所示。

在使用时，通过同步转动两组定位盘37，定位盘37转动时带动两侧的限位杆39进行伸展或者收缩运动，限位块51限位卡合在限位槽5的腔内，则限位块51顺着限位槽5的方向进行运动，则实现限位杆39往靠近定位盘37圆心位置处的一侧进行运动或者限位杆39往远离定位盘37圆心位置处的一侧进行运动，则实现了调节两组限位杆39在定位盘37上相对的伸展长度，则就相应的实现同步转动两组定位盘37，则可以实现同步调节对应一侧两组行程杆33之间相互靠近的距离，行程杆33通过定位杆35进行滑动，定位杆35在定位槽36内进行滑动，则最终实现同步转动两组定位盘37，可以调节两组定位板32相互靠近的距离，将测试的电路板限位卡合在两组夹板A6的前后内壁之间，缓冲垫A61起到对电路板的保护作用，然后同步的转动两组定位盘37，两组相互靠近的定位板32带动夹板A6和缓冲垫A61对之间的电路板进行夹紧，通过设置伸缩杆64、支撑弹簧65和夹板B62，正常情况下，在支撑弹簧65的弹力支撑作用下，使得夹板B62对缓冲垫B63产生挤压力，则使得两组相互靠近的缓冲垫B63对电路板的左右两端进行夹紧，最终实现将需要测试的电路板紧固限位在两组夹板B62和两组定位板32之间。

通过设置定位机构3，实现同步转动两组定位盘37，定位盘37的转动通过限位杆39能够控制对应两侧两组行程杆33之间相对距离，则就相应的实现了能够控制两组定位板32之间相互靠近的距离，最终时了通过同步的转动两组定位盘37，实现了两组相互靠近的定位板32对电路板的前后两端进行了精准的限位夹紧，提高了本发明对电路板进行测试时的定位效率，同时提高了电路板定位的精准度，通过设置伸缩杆64、支撑弹簧65和夹板B62，在支撑弹簧65的弹力支撑作用下，使得夹板B62对缓冲垫B63产生挤压力，则使得两组相互靠近的缓冲垫B63对电路板的左右两端进行夹紧，进一步提高了测试电路板的定位安装效率，使得电路板的四个边都能够被限位和固定住，保证了电路板定位后测试的效率，通过设置导向滑轮67和联动绳66，实现了当两组定位板32相互靠近对电路板进行夹紧时，定位板32的靠近使得联动绳66对夹板B62的拉扯程度缓慢的撤销，使得左右两组相互靠近的夹板B62对电路板的左右两端同步进行了限位和固定，通过联动绳66将夹板B62与定位板32进行了同步的联动，提高了对测试时对电路板的定位效率，具有较强的实用性和创造性，通过设置缓冲垫B63、夹板A6和缓冲垫A61，提高了对定位中电路板的保护作用，减少电路板外边与夹板B62和定位板32壁面之间的硬性挤压接触作用，从而减少电路板的摩擦程度，则提高了电路板测试的保护效果，电路板在两组夹板B62和两组定位板32的同步夹紧后，在升降台21的外壁上转动转动环23,转动环23转动带动齿轮25进行转动，齿轮25转动带动运动杆27进行转动，则实现了此时四组运动杆27进行同步的转动，四组运动杆27通过连接块A4带动联动杆29在升降台21的腔内进行上下运动，同时四组联动杆29则会通过各自的连接块B41和连接轴杆42带动定位框31进行上下运动，当定位框31被四组联动杆29带动穿过升降台21的中部漏出处时，定位框31则带动其腔内限位的电路板往下运动，当定位框31运动到到升降台21的最下方时，此时被限位在两组定位板32和两组夹板B62之间的电路板则与探针板12顶部的探针进行了挤压接触，则实现了电路板与探针板12上的探针进行了精准的上下对接，则此时电路板与探针板12实现了电信号连接，则实现了对半导体集成电路板的测试，本发明通过在升降台21的外壁对转动环23进行往一个方向上的转动，实现通过四组运动杆27和四组联动杆29带动定位框31在升降台21中部的镂空处进行不停的上下往复运动，则实现定位框31带动其腔内限位的电路板上下往复运动，当定位框31运动到到升降台21的最下方时，此时被限位在两组定位板32和两组夹板B62之间的电路板则与探针板12顶部的探针进行了挤压接触，则实现了电路板与探针板12上的探针进行了精准的上下对接，则此时电路板与探针板12实现了电信号连接，则实现了对半导体集成电路板的定位测试，当测试完成后，再次转动转动环23，则实现将电路板自动取出分离，本发明提高了对半导体集成电路板的定位测试效率，降低了人工手动安装电路板测试的难度，并且提高了对电路板定位测试的精准度，具有较强的实用性和创造性。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种半导体集成电路测试设备，包括工作台(1)，工作台(1)底部设置有支撑腿，其特征在于：所述工作台(1)顶部中心位置处固定安装有测试台(11)，测试台(11)顶部设置有探针板(12),探针板(12)底部与测试台(11)顶部之间固定安装有弹簧，工作台(1)顶部设置有升降机构(2),升降机构(2)包括升降台(21)，升降台(21)为中部镂空的圆盘形，且升降台(21)的镂空处为正方形，升降台(21)的底部固定连接有四个支撑杆(22)，且四个支撑杆(22)的底端均固定安装在工作台(1)的顶部，探针板(12)位于升降台(21)镂空处下方的中心位置处，升降台(21)的环形外壁活动安装有转动环(23)，转动环(23)为环形，且转动环(23)的外壁开设有齿槽，升降台(21)顶部固定安装有四组呈环形阵列分布的固定块(24)，固定块(24)为圆柱体，四组固定块(24)腔内均活动安装有转动杆(26)，转动杆(26)的两端分别活动贯穿固定块(24)，转动杆(26)远离升降台(21)腔内的一侧固定安装有齿轮(25)，且齿轮(25)与转动环(23)上齿槽相互啮合，四个转动杆(26)靠近升降台(21)腔内的一端均固定安装有运动杆(27)，且运动杆(27)与转动杆(26)呈上下相互垂直的状态，四个运动杆(27)远离转动杆(26)的一端设置有连接杆(28)，连接杆(28)远离转动杆(26)的一端设置有联动杆(29)，四个联动杆(29)远离转动杆(26)的一端共同设置有定位机构(3),定位机构(3)包括定位框(31)和定位板(32)，定位框(31)为中部镂空的空心矩形框体，定位板(32)的数量为两个，两个定位板(32)设置在定位框(31)腔内的内壁上，四个联动杆(29)的一端分别设置在定位框(31)的四个壁面的底部上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路测试设备，其特征在于：所述运动杆(27)远离转动杆(26)的一端和联动杆(29)靠近运动杆(27)的一端均固定安装有连接块A(4)，连接杆(28)活动安装在两个连接块A(4)内，且两个连接块A(4)相互贴合，联动杆(29)远离转动杆(26)的一端固定连接有连接块B(41)，连接块B(41)设置在定位框(31)底部的壁面上，连接块B(41)与定位框(31)壁面之间活动安装有连接轴杆(42)，连接块B(41)可以通过连接轴杆(42)进行转动。

3.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路测试设备，其特征在于：两个所述定位板(32)的左右两端均固定安装有固定安装有行程杆(33)，定位框(31)左右两侧的内壁均开设有与行程杆(33)位置相互对应的行程槽(34)，行程杆(33)设置在行程槽(34)内，且行程杆(33)远离定位板(32)的一端均从对应的行程槽(34)的腔内伸出，行程杆(33)位于行程槽(34)腔内的上下两端均固定安装有定位杆(35)，行程槽(34)腔内上下两侧内壁均开设有与定位杆(35)相互卡合的定位槽(36)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路测试设备，其特征在于：所述定位框(31)的左右两侧外壁中部均互动安装有轴杆(38)，轴杆(38)远离定位框(31)的一侧壁面顶端固定安装有定位盘(37)，定位盘(37)外壁的前后两侧均开设有限位槽(5)，限位槽(5)为弧形，限位槽(5)呈顺时针往定位盘(37)圆心位置处一侧进行弧形弯曲的状态，两个限位槽(5)腔内均活动卡合有限位块(51)，限位块(51)的两端均从限位槽(5)腔内伸出，且限位块(51)的伸出两端均固定安装有限位板(52)，两个限位板(52)靠近行程杆(33)的一端共同固定连接有限位杆(39)，限位杆(39)呈U字形状，且限位杆(39)与行程杆(33)呈垂直的状态。

5.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路测试设备，其特征在于：所述定位框(31)腔内左右两侧壁面上均固定安装有三组伸缩杆(64)，且每侧的三个伸缩杆(64)远离定位框(31)内壁的一侧均通过固定连接有夹板B(62)，伸缩杆(64)的外壁套接有支撑弹簧(65)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路测试设备，其特征在于：两个所述夹板B(62)的前后壁面与靠近一侧的定位板(32)之间均设置有联动绳(66)，定位框(31)左右两侧内壁与靠近定位板(32)的一侧均固定安装有导向滑轮(67)，联动绳(66)一端固定连接在夹板B(62)靠近定位板(32)的一侧壁面上，联动绳(66)活动缠绕经过导向滑轮(67)，且联动绳(66)的另一端固定连接定位板(32)靠近夹板B(62)的一侧壁面上。

7.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路测试设备，其特征在于：两个所述定位板(32)相互靠近的一侧壁面中部均固定安装有U字形状的夹板A(6)，夹板A(6)的内壁中部均固定安装有缓冲垫A(61)。

8.根据权利要求5所述的一种半导体集成电路测试设备，其特征在于：两个所述夹板B(62)相互靠近的一侧壁面上均固定安装有缓冲垫B(63)。

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