CN112747156B - 一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀 - Google Patents

一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，采用两级减压结构，实现压力的高精度输出。一级采用机械式减压阀，二级采用电气比例减压阀。一级减压阀采用逆向卸荷式的主体结构，平衡掉入口压力作用在活门上的气压力，从而降低气源压力波动的影响，针对上游压力高的问题，一级减压阀采用金属膜片式结构，提高抗压能力。二级减压阀采用电磁比例阀的主体形式，阀体采用逆向卸荷式结构，进一步降低入口压力的干扰，同时采用比例电磁铁的驱动元件，在保证流量的前提下，确保输出压力的稳定性。

Description

一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀
技术领域
本发明属于工业阀门设计领域，涉及一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀。
背景技术
目前燃料电池供气***多采用机械是调压阀门和气动调压两种方式，机械调压在使用过程中进行压力变化时需要操作人员手动调节，或者采用预订调节的方式，但是该方式对上下游的抗干扰能力较差。气动调压往往需要额外的辅助气源进行压力控制，***复杂，成本高，同时因为增加了额外的辅助气源***进行控制，导致其压力的响应速度必然会降低，***的可靠性也大幅度降低。
发明内容
本发明解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提出一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀。
本发明解决技术的方案是：
一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，包括一级减压阀和二级减压阀，一级减压阀包括调节杆、一级阀上盖、弹簧上顶板、主弹簧、弹簧下顶板、一级顶杆、金属膜片组件、一级活门组件、一级活门弹簧、一级下安装座、一级金属密封垫；二级减压阀包括比例电磁铁、波纹管组件、二级顶杆、二级导向阻尼块、转接支架、二级活门组件、二级活门弹簧、基体、二级金属密封垫、二级下安装座和一级阻尼孔板；
一级减压阀安装在基体右侧，二级减压阀安装在基体左侧
具体地，一级活门组件为逆向卸荷结构形式，内部轴向开有柱形台阶空腔，上部柱形直径小于下部柱形直径，一级活门弹簧安装在下部柱形空腔中，一级活门组件顶部设计有凸台，凸台开两处斜孔，两处斜孔与轴向柱形台阶空腔贯穿；一级活门组件外表面开有密封槽，密封槽上安装密封圈和密封挡板；
一级下安装座上开有盲孔，一级活门组件安装在所述盲孔中；一级下安装座安装在基体上，在一级下安装座和基体之间安装有一级金属密封垫；
一级阻尼孔板通过螺钉安装于基体右侧的上端止孔上，二者之间为间隙配合，安装到位后，一级阻尼孔板与一级活门组件上端面刚好接触；
一级顶杆***一级阻尼孔板的导向孔内，金属膜片组件安装在基体右侧的定位槽中，且位于一级阻尼孔板上方；
弹簧下顶板安装于金属膜片组件上，主弹簧安装于弹簧上顶板上侧，弹簧上顶板安装于主弹簧上侧，一级阀上盖通过螺钉安装于基体右侧上部，金属膜片组件位于一级阀上盖与基体之间，弹簧下顶板、主弹簧和弹簧上顶板均位于一级阀上盖内部；
调节杆与一级阀上盖通过螺纹连接，调节杆下端凸起与弹簧上顶板相接触；
二级活门组件为逆向卸荷结构形式，内部轴向开有柱形台阶空腔，上部柱形直径小于下部柱形直径，二级活门弹簧安装在下部柱形空腔中，二级活门组件外表面开有密封槽，密封槽上安装密封圈和密封挡板；二级活门组件顶端加工有V型孔；
二级下安装座上开有盲孔，二级活门组件安装在所述盲孔中；二级下安装座安装在基体上，在二级下安装座和基体之间安装有二级金属密封垫；
二级导向阻尼块通过螺钉安装于基体左侧的上端止孔中，二级导向阻尼块中的导向长度为导向孔内孔直径的5～10倍；
二级顶杆安装于二级导向阻尼块的导向孔内；二级顶杆下侧外形为锥形，下侧内部开有直径为r1的盲孔，在盲孔上顶端一侧开有直径为r2的盲孔，所述直径为r2的盲孔与直径为r1的盲孔贯穿；二级顶杆下方锥形外形与二级活门组件顶端的V型孔相接触；
波纹管组件包括波纹管、下支撑面和上固定面，其中波纹管位于中间，三者通过焊接方式连接；上固定面上加工有导向孔；
波纹管组件安装在基体上，且位于二级导向阻尼块上方；安装到位后，二级顶杆顶端***波纹管组件上固定面的导向孔中；
转接支架安装于基体左侧上方，比例电磁铁位于波纹管组件上方，且固定在基体上；
基体右侧入口、一级阀口和一级或门组件密封槽之间加工有高压腔；一级阀口、金属膜片组件和二级阀口之间加工有中压腔；基体右侧出口、二级阀口和二级或门组件之间加工有低压腔。
一级活门组件采用硫化橡胶的形式，将氟橡胶硫化在金属骨架上，内部轴向柱形台阶空腔的上部柱形直径为0.8～1.1mm，凸台处两处斜孔孔径为0.5～0.8mm。
一级下安装座盲孔内壁喷涂聚四氟，聚四氟厚度20～30um，喷涂后的一级下安装座盲孔与一级活门组件之间的配合采用小间隙配合，间隙控制在4um到8um之间。
在一级下安装座与一级金属密封垫相接触的环形区域中间设置有刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°；
基体与一级金属密封垫相接触的环形区域中间设置有“V型”密封水线，密封水线深度0.2，V型角角度为60°。
金属膜片组件采用铍青铜金属膜片，铍青铜膜片采用正弦波压纹形式，在铍青铜金属膜片上下表面分别焊接0.9mm厚紫铜密封垫，紫铜密封垫和铍青铜金属膜片之间的密封性优于1x10-9Pam3/s。
金属膜片组件安装于基体右侧的定位槽中时，金属膜片组件正弦波凸台方向朝下安装；
在金属膜片组件与基体相接触的面上，在基体上加工有2道刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°。
一级阀上盖与金属膜片组件相接触的环面上加工有2道刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°。
二级活门组件采用硫化橡胶的形式，将氟橡胶硫化在金属骨架上，内部轴向柱形台阶空腔的上部柱形直径为0.8～1.1mm。
二级下安装座盲孔内壁喷涂聚四氟，聚四氟厚度20～30um，喷涂后的二级下安装座盲孔与二级活门组件之间的配合采用小间隙配合，间隙控制在4um到8um之间。
二级下安装座和基体之间安装有二级金属密封垫，在二级下安装座与二级金属密封垫相接触的环形区域中间设置有刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60；
基体与二级金属密封垫相接触的环形区域中间有“V型”密封水线，密封水线深度0.2，V型角角度为60°。
本发明与现有技术相比的有益效果是：
本发明气体稳压减压组合阀，采用两级减压结构，实现压力的高精度输出。一级采用机械式减压阀，二级采用电气比例减压阀。
针对上游压力变化大的问题，一级减压阀采用逆向卸荷式的主体结构，平衡掉入口压力作用在活门组件上的气压力，从而降低气源压力波动的影响，针对上游压力高的问题，一级减压阀采用金属膜片式结构，提高抗压能力。
针对下游压力可调，精度高的问题，二级减压阀采用电磁比例阀的主体形式，阀体采用逆向卸荷式结构，进一步降低入口压力的干扰，同时采用比例电磁铁的驱动元件，在保证流量的前提下，确保输出压力的稳定性。针对输出精度高的问题，主要是采用压力闭环控制的方法，通过压力传感器采集出口压力，对比例电磁铁的输出力值进行调定，保证其输出压力的稳定性与输出精度。
本发明***简单，成本低，压力的响应速度块，有效提高了***的可靠性。
附图说明
图1为本发明气体稳压减压组合阀示意图；
图2为或门组件密封副表面喷涂PTFE润滑材料示意图；
图3为金属膜片组件示意图；
图4为波纹管组件示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步阐述。
本发明组成如图1所示，采用集成化设计，所有零件安装于基体上，形成高集成度的阀组。
一级活门组件8采用硫化橡胶的形式，将氟橡胶硫化在金属骨架上，一级活门组件8采用逆向卸荷结构形式，内部加工有柱形台阶式空腔，上端柱形空腔直径小于下端柱形空腔直径，且上端柱形空腔直径为0.8～1.1mm，并在一级活门组件顶部凸台处开两处斜孔，斜孔孔径为0.5～0.8mm，两处斜孔与轴向方向的柱形台阶式空腔相贯穿。
一级活门组件8在外表面开有密封槽，密封槽上安装密封圈和密封挡板，密封圈材料为氟橡胶，密封挡板材料为聚四氟乙烯。密封圈圈径选用φ1.8密封圈，此处密封槽深度1.5mm～1.55mm。
一级下安装座10为金属零件，内部加工有盲孔，为了降低一级下安装座10与一级活门组件8上安装的O型密封圈在运动过程中的摩擦力，在一级下安装座10盲孔内表面喷涂聚四氟，聚四氟厚度20～30um，要求喷涂后的一级下安装座10盲孔与一级活门组件8之间的配合采用小间隙配合，间隙控制在4um到8um之间。
一级活门组件8安装在一级下安装座10上的盲孔之中，二者之间安装有一级活门弹簧9，一级活门弹簧9位于一级或门组件柱形台阶式空腔的下柱形空腔中。一级下安装座10安装于基体19上，在一级下安装座10和基体19之间安装有一级金属密封垫11，一级金属密封垫11材料为紫铜，厚度1mm。在一级下安装座10与一级金属密封垫11相接触环形区域中间有刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°，基体19与一级金属密封垫11相接触环形区域中间有“V型”密封水线，密封水线深度0.2，V型角角度为60°，一级下安装座10与基体19之间采用6个M5的螺钉连接。
一级阻尼孔板22安装于基体19右侧的上端止孔上，二者之间为间隙配合，采用3个M3的沉头螺钉将一级阻尼孔板22与基体19固定在一起。要求一级阻尼孔板22安装后与一级活门组件8上端面刚好接触，确保一级活门组件8橡胶压痕深度控制在0.2～0.3mm之间。
一级顶杆6***一级阻尼孔板22的导向孔内，二者之间采用小间隙配合。
金属膜片组件7采用铍青铜金属膜片，膜片厚度0.18mm，铍青铜膜片采用正弦波压纹形式，增强其刚度，采用焊接的方式，在铍青铜膜片上下表面分别焊接0.9mm厚紫铜密封垫，要求二者之间的密封性优于1x10-9Pam3/s。如图3所示。
金属膜片组件7安装于基体19的右侧的定位槽中，二者之间采用小间隙配合，在金属膜片组件7与基体19相接触的面上，在基体19上加工有2道刀口密封副，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°，金属膜片正弦波凸台方向朝下安装。
弹簧下顶板5安装于金属膜片组件7上。
主弹簧4安装于弹簧上顶板3上侧。
弹簧上顶板3安装于主弹簧4上侧。
一级阀上盖2安装于基体19上侧，通过6个M5螺钉连接，金属膜片组件7安装在一级阀上盖2与基体19之间。调节杆1与一级阀上盖2通过螺纹连接，调节杆1下端凸起与弹簧上顶板3相接触。弹簧下顶板5、主弹簧4和弹簧上顶板3位于一级阀上盖2内部。
同样，一级阀上盖2与金属膜片组件7相接触的环面上加工有2道刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°。
二级活门组件17采用硫化橡胶的形式，将氟橡胶硫化在金属骨架上，二级活门组件17采用逆向卸荷结构形式，内部加工有柱形台阶式空腔，上端柱形空腔直径小于下端柱形空腔直径，且上端柱形空腔直径为0.8～1.1mm。二级活门组件17顶部加工有V型孔。
二级活门组件17在外表面开有密封槽，密封槽上安装密封圈，密封圈材料为氟橡胶。密封圈圈径选用φ1.8密封圈，此处密封槽深度1.5mm～1.55mm。
二级下安装座21为金属零件，为了降低二级下安装座21与二级活门组件17上安装的O型密封圈在运动过程中的摩擦力，在二级下安装座21上加工有盲孔，盲孔内表面喷涂聚四氟，聚四氟厚度20～30um，要求喷涂后的二级下安装座21盲孔与二级活门组件17之间的配合采用小间隙配合，间隙控制在4um到8um之间。
二级活门组件17安装在二级下安装座21上的盲孔之中，二者之间安装有二级活门弹簧18，二级活门弹簧18位于二级活门组件17柱形台阶式空腔的下端柱形空腔中。二级活门组件17安装于基体19上，在二级活门组件17和基体19安装有二级金属密封垫20，二级金属密封垫20材料为紫铜，厚度1mm。在二级活门组件17与二级金属密封垫20相接触环形区域中间有刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°，基体19与二级金属密封垫20相接触环形区域中间有“V型”密封水线，密封水线深度0.2，V型角角度为60°，二级下安装座17与基体19之间采用6个M5的螺钉连接。
二级导向阻尼块15安装于基体19左侧的上端止孔中，二者之间为间隙配合，二级导向阻尼块15中的导向长度为导向孔内孔直径的5～10倍。
二级顶杆14安装于二级导向阻尼块15中的导向孔内。二级顶杆14下侧开有φ0.8mm盲孔，下侧外形为锥形，孔深10mm，并在10mm位置处开有单侧的φ0.8mm盲孔与轴向φ0.8mm盲孔贯穿。二级顶杆14下方锥形外形与二级活门组件17的V型孔相接触。
波纹管组件13中间波纹管壁厚0.12mm，刚度2N/mm，通过焊接的方式，将波纹管，下支撑面，上固定面焊接在一起，焊接方式为激光焊，保证焊接密封漏率优于1x10-9Pam3/s.。
波纹管组件13与基体19连接在一起，确保波纹管组件13的上固定面的导向孔与二级顶杆14相适应。在波纹管组件13与基体19之间设有密封结构。
转接支架16安装于基体19左侧上方，用于连接比例电磁铁12和基体19。三者之间通过4个M5螺钉进行固定。
如图1所示，基体右侧入口、一级阀口和一级或门组件密封槽之间加工有高压腔；一级阀口、金属膜片组件7和二级阀口之间加工有中压腔；基体右侧出口、二级阀口和二级或门组件之间加工有低压腔。
本发明的工作原理如下：
一级阀内部流路：
气体进入高压腔，通过基体通路进入一级减压阀出气口，其中一级减压阀出气口与中压腔相通，同时将出口压力引至一级活门组件下腔，用于平衡一级活门组件上下两侧压力差。当出口侧压力增加后，金属膜片组件7受压向上移动，进而压缩主弹簧4向上运动，一级活门组件在一级活门弹簧9的作用下，推动一级顶杆向上移动，使阀的开口量减小，流速增加，压力下降，阀后压力减小；当出口侧压力下降时，金属膜片组件7在主弹簧4的推动下向下运动，推动一级顶杆压缩一级活门组件向下运动，使阀的开口量增大，流速减小，压降减小，阀后压力增大，从而保证阀后的出口压力始终保持相对稳定和较小的压力波动。
二级阀内部流路：
进入中压腔，通过基体的流路进入阀门出气口，其中阀口出气口与波纹管组件感压腔相通，同时将出口压力引致二级活门组件下端部，用于平衡二级活门组件上下两侧压力差。降低上游压力变化造成的出口压力波动。当出口侧压力增加后，波纹管组件受压向上移动，进而压缩比例电磁铁主轴向上运动，二级活门组件在二级活门弹簧的作用下，推动二级顶杆向上移动，使阀口的开度减小，流速增加，压力下降，阀后压力减小；当出口侧压力下降时，波纹管组件在比例电磁铁主轴的推动下向下运动，推动活门顶针压缩活门向下运动，使阀口的开度增大，流速减小，压降减小，阀后压力增大，从而保证阀后的出口压力始终保持相对稳定和较小的压力波动。
出口压力的电动调节通过比例电磁铁的输出力进行控制，通过控制比例电磁铁输入功率的变化，实现比例电磁铁输出力的变化。
本发明中，气体稳压减压组合阀由两级组成，一级阀内部活门组件采用平衡式活门结构，以及金属膜片的感压结构，活门密封采用氟橡胶F108进行硫化处理。二级阀门内部活门同样采用平衡式活门结构，活门密封采用氟橡胶F108进行硫化处理。感压结构采用焊接波纹管的感压结构。
活门结构处的密封采用O圈高压密封，与O圈接触的密封副表面喷涂PTFE润滑材料，降低活门动密封处的摩擦力，降低产品摩擦造成的动特性滞后。如图2所示。
金属膜片组件采用焊接式结构，主膜片为铍青铜材料，上下侧分别焊接紫铜垫，通过焊接和金属密封的形式，提高产品的外漏率。铍青铜膜片采用正弦波改性，改善其刚度特性。
波纹管组件采用焊接的形式，将波纹管，安装座，上盖焊接在一起，其中波纹管选用焊接波纹管(膜盒)的形式，具备较小的轴向刚度和较大的位移。有利益二级阀的阀口开度调节。如图4所示。
二级阀的压力调节通过比例电磁铁进行调节，实现比例电磁铁的在大位移变化下，电磁铁的输出力值波动范围在2N范围内，从而保证二级阀的输出压力的稳定性。
本发明气体稳压减压组合阀，采用两级减压结构，合理设计两级减压各自的减压比，实现压力的高精度输出。一级采用机械式减压阀，二级采用电气比例减压阀。
针对上游压力变化大的问题，一级减压阀采用逆向卸荷式的主体结构，平衡掉入口压力作用在活门上的气压力，从而降低气源压力波动的影响，针对上游压力高的问题，一级减压阀采用金属膜片式结构，提高抗压能力。
针对下游压力可调，精度高的问题，二级减压阀采用电磁比例阀的主体形式，阀体采用逆向卸荷式结构，进一步降低入口压力的干扰，同时采用比例电磁铁的驱动元件，在保证流量的前提下，确保输出压力的稳定性。针对输出精度高的问题，主要是采用压力闭环控制的方法，通过压力传感器采集出口压力，对比例电磁铁的输出力值进行调定，保证其输出压力的稳定性与输出精度。针对流量波动，采用焊接波纹管的感压元件，实现低的附加刚度和大的线性位移。
本发明解决了高精度供气***中的压力精度控制问题，可实现大压力，大范围内输入(0.4～8MPa)条件下，实现0.05～0.2MPa压力输出，且输出压力自主自适应可调，同时保证稳压精度±5KPa。实现稳压减压阀输出精度2.5％。解决现有减压稳压阀门无法实现自主自适应调节的问题，同时进一步提高现有减压稳压阀的输出精度，具备自动通断等功能。
本发明说明书中未详细描述的内容为本领域技术人员公知技术。

Claims (10)

1.一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：包括一级减压阀和二级减压阀，一级减压阀包括调节杆(1)、一级阀上盖(2)、弹簧上顶板(3)、主弹簧(4)、弹簧下顶板(5)、一级顶杆(6)、金属膜片组件(7)、一级活门组件(8)、一级活门弹簧(9)、一级下安装座(10)、一级金属密封垫(11)；二级减压阀包括比例电磁铁(12)、波纹管组件(13)、二级顶杆(14)、二级导向阻尼块(15)、转接支架(16)、二级活门组件(17)、二级活门弹簧(18)、基体(19)、二级金属密封垫(20)、二级下安装座(21)和一级阻尼孔板(22)；
一级减压阀安装在基体右侧，二级减压阀安装在基体左侧
具体地，一级活门组件(8)为逆向卸荷结构形式，内部轴向开有柱形台阶空腔，上部柱形直径小于下部柱形直径，一级活门弹簧(9)安装在下部柱形空腔中，一级活门组件(8)顶部设计有凸台，凸台开两处斜孔，两处斜孔与轴向柱形台阶空腔贯穿；一级活门组件(8)外表面开有密封槽，密封槽上安装密封圈和密封挡板；
一级下安装座(10)上开有盲孔，一级活门组件(8)安装在所述盲孔中；一级下安装座(10)安装在基体(19)上，在一级下安装座(10)和基体(19)之间安装有一级金属密封垫(11)；
一级阻尼孔板(22)通过螺钉安装于基体(19)右侧的上端止孔上，二者之间为间隙配合，安装到位后，一级阻尼孔板(22)与一级活门组件(8)上端面刚好接触；
一级顶杆(6)***一级阻尼孔板(22)的导向孔内，金属膜片组件(7)安装在基体右侧的定位槽中，且位于一级阻尼孔板(22)上方；
弹簧下顶板(5)安装于金属膜片组件(7)上，主弹簧(4)安装于弹簧下顶板(5)上侧，弹簧上顶板(3)安装于主弹簧(4)上侧，一级阀上盖(2)通过螺钉安装于基体(19)右侧上部，金属膜片组件(7)位于一级阀上盖(2)与基体(19)之间，弹簧下顶板(5)、主弹簧(4)和弹簧上顶板(3)均位于一级阀上盖(2)内部；
调节杆(1)与一级阀上盖(2)通过螺纹连接，调节杆(1)下端凸起与弹簧上顶板3相接触；
二级活门组件(17)为逆向卸荷结构形式，内部轴向开有柱形台阶空腔，上部柱形直径小于下部柱形直径，二级活门弹簧(18)安装在下部柱形空腔中，二级活门组件(17)外表面开有密封槽，密封槽上安装密封圈和密封挡板；二级活门组件(17)顶端加工有V型孔；
二级下安装座(21)上开有盲孔，二级活门组件(17)安装在所述盲孔中；二级下安装座(21)安装在基体(19)上，在二级下安装座(21)和基体(19)之间安装有二级金属密封垫(20)；
二级导向阻尼块(15)通过螺钉安装于基体(19)左侧的上端止孔中，二级导向阻尼块(15)中的导向长度为导向孔内孔直径的5～10倍；
二级顶杆(14)安装于二级导向阻尼块(15)的导向孔内；二级顶杆(14)下侧外形为锥形，下侧内部开有直径为r1的盲孔，在盲孔上顶端一侧开有直径为r2的盲孔，所述直径为r2的盲孔与直径为r1的盲孔贯穿；二级顶杆(14)下方锥形外形与二级活门组件(17)顶端的V型孔相接触；
波纹管组件(13)包括波纹管、下支撑面和上固定面，其中波纹管位于中间，三者通过焊接方式连接；上固定面上加工有导向孔；
波纹管组件(13)安装在基体(19)上，且位于二级导向阻尼块(15)上方；安装到位后，二级顶杆(14)顶端***波纹管组件(13)上固定面的导向孔中；
转接支架(16)安装于基体(19)左侧上方，比例电磁铁(12)位于波纹管组件(13)上方，且固定在基体(19)上；
基体右侧入口、一级阀口和一级活门组件密封槽之间加工有高压腔；一级阀口、金属膜片组件(7)和二级阀口之间加工有中压腔；基体右侧出口、二级阀口和二级活门组件之间加工有低压腔。
2.根据权利要求1所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：一级活门组件(8)采用硫化橡胶的形式，将氟橡胶硫化在金属骨架上，内部轴向柱形台阶空腔的上部柱形直径为0.8～1.1mm，凸台处两处斜孔孔径为0.5～0.8mm。
3.根据权利要求1所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：一级下安装座(10)盲孔内壁喷涂聚四氟，聚四氟厚度20～30um，喷涂后的一级下安装座盲孔与一级活门组件之间的配合采用小间隙配合，间隙控制在4um到8um之间。
4.根据权利要求1所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：在一级下安装座(10)与一级金属密封垫(11)相接触的环形区域中间设置有刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°；
基体(19)与一级金属密封垫(11)相接触的环形区域中间设置有“V型”密封水线，密封水线深度0.2，V型角角度为60°。
5.根据权利要求1所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：金属膜片组件(7)采用铍青铜金属膜片，铍青铜膜片采用正弦波压纹形式，在铍青铜金属膜片上下表面分别焊接0.9mm厚紫铜密封垫，紫铜密封垫和铍青铜金属膜片之间的密封性优于1x10-9Pam3/s。
6.根据权利要求5所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：金属膜片组件(7)安装于基体(19)右侧的定位槽中时，金属膜片组件(7)正弦波凸台方向朝下安装；
在金属膜片组件(7)与基体(19)相接触的面上，在基体(19)上加工有2道刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°。
7.根据权利要求1所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：一级阀上盖(2)与金属膜片组件(7)相接触的环面上加工有2道刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60°。
8.根据权利要求1所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：二级活门组件(17)采用硫化橡胶的形式，将氟橡胶硫化在金属骨架上，内部轴向柱形台阶空腔的上部柱形直径为0.8～1.1mm。
9.根据权利要求1所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：二级下安装座(21)盲孔内壁喷涂聚四氟，聚四氟厚度20～30um，喷涂后的二级下安装座盲孔与二级活门组件之间的配合采用小间隙配合，间隙控制在4um到8um之间。
10.根据权利要求1所述的一种高精度大减压比自动调压的气体稳压减压组合阀，其特征在于：二级下安装座(21)和基体(19)之间安装有二级金属密封垫(20)，在二级下安装座(21)与二级金属密封垫(20)相接触的环形区域中间设置有刀口密封环，刀口密封环高度0.15mm，刀口角度为60；
基体(19)与二级金属密封垫(20)相接触的环形区域中间有“V型”密封水线，密封水线深度0.2，V型角角度为60°。
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