CN112631079A - 照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质 - Google Patents

照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质 Download PDF

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CN112631079A CN201910950346.0A CN201910950346A CN112631079A CN 112631079 A CN112631079 A CN 112631079A CN 201910950346 A CN201910950346 A CN 201910950346A CN 112631079 A CN112631079 A CN 112631079A
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Abstract

本申请涉及一种照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质。其中，照明条件自动校正的方法通过检测曝光机台的服务器上存储的校正记录文件；若待执行的照明条件设定对应的校正记录文件缺失，则根据缺失的校正记录文件的类型，进行相应的照明条件校正，并将照明条件校正得到的结果文件保存为缺失的校正记录文件的，实现自动对各个照明条件设定进行校正和确认。基于此，能够减少设备工程师进无尘室的次数，减少借机、人为操作等造成的时间损失，提高生产效率；同时，保存的照明条件设定对应的校正记录文件，可方便工艺工程师确认相关晶圆层的照明条件是否满足要求，以便执行后续的制程。

Description

照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质
技术领域
本申请涉及半导体曝光技术领域，特别是涉及一种照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质。
背景技术
晶圆的曝光制程中，当某个层应用新的照明条件设定(illumination setting)时，由于工艺要求，该照明条件设定的曝光缝隙均匀度(slit uniformity)需要满足一定的标准。因此，需要对该照明条件设定进行照明条件***校正(Fine optimization)，并确认曝光缝隙均匀度和照明条件形状是否满足标准。
在实现过程中，发明人发现传统技术中至少存在如下问题：晶圆的曝光制程涉及多个层，关联了多个照明条件设定；传统技术需要设备工程师手动操作来对各个照明条件设定的曝光缝隙均匀度进行校正和确认，导致生产效率低。
发明内容
基于此，有必要针对传统技术中，校正和确认晶圆的各个曝光缝隙均匀度的过程会导致生产效率低的问题，提供一种照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质。
为了实现上述目的，一方面，本申请实施例提供了一种照明条件自动校正的方法，包括：
检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件。
若校正记录文件缺失，则根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为校正记录文件。
其中，校正记录文件包括照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；照明条件校正包括照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。
在其中一个实施例中，根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为对应的校正记录文件的步骤包括：
当缺失的校正记录文件包括照明条件***校正文件时，进行照明条件***校正，再进行曝光缝隙均匀度检测，根据照明条件***校正得到的结果更新照明条件设定，并将照明条件***校正得到的结果存储为照明条件***校正文件，将曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为曝光缝隙均匀度检测文件。
当缺失的校正记录文件仅为曝光缝隙均匀度检测文件时，进行曝光缝隙均匀度检测，将曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为曝光缝隙均匀度检测文件。
在其中一个实施例中，根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为对应的校正记录文件的步骤之后，还包括：
在完成照明条件校正时，更新并保存照明条件设定对应的机器常数。
在其中一个实施例中，检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件的步骤之前，还包括：
获取曝光机台待曝光的产品、工艺步骤以及关联的照明条件设定。
检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件的步骤之后，还包括：
在检查到服务器保存有照明条件设定对应的所有校正记录文件时，根据照明条件设定进行曝光处理。
在其中一个实施例中，根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为校正记录文件的步骤包括：
检测照明条件校正得到的曝光缝隙均匀度检测文件是否满足预设标准：若是，则确定已完成照明条件校正；若否，则删除曝光缝隙均匀度检测文件以及曝光缝隙均匀度检测文件对应的照明条件***校正文件，并重新进行照明条件校正。
在其中一个实施例中，照明条件自动校正的方法还包括：
根据接收到的删除指令，从服务器中删除对应的校正记录文件，以重新进行相应的照明条件校正，得到新的校正记录文件。
在其中一个实施例中，照明条件自动校正的方法还包括：
提供自动校正功能的配置参数接口；配置参数包括是否自动进行照明条件***校正文件检测，以及是否自动进行曝光缝隙均匀度检测文件检测。
通过配置参数接口接收配置指令。
另一方面，本申请实施例还提供了一种照明条件自动校正的装置，包括：
校正记录文件检测模块，用于检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件。
照明检测模块，用于若校正记录文件缺失，则根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为校正记录文件。
其中，校正记录文件包括照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；照明条件校正包括照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。
在其中一个实施例中，提供了一种设备，包括曝光机台；曝光机台用于实现如上述的照明条件自动校正的方法。
在其中一个实施例中，提供了一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如上述的照明条件自动校正的方法。
上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点和有益效果：
在检查到曝光机台服务器缺失照明条件设定对应的校正记录文件时，针对缺失的校正记录文件进行相应的照明条件校正，进而更新对应的照明条件设定并将照明条件校正得到的结果文件存储为校正记录文件，实现自动对各个照明条件设定进行校正和确认。基于此，能够减少设备工程师进无尘室(fab)的次数，减少借机/人为操作等造成的时间损失，提高生产效率；同时，保存的照明条件设定对应的校正记录文件，可方便工艺工程师确认相关晶圆层的照明条件是否满足要求，以便执行后续的制程。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为一个实施例中照明条件自动校正的方法的第一示意性流程图；
图2为一个实施例中照明条件自动校正的方法的第二示意性流程图；
图3为一个实施例中照明条件自动校正的方法的第三示意性流程图；
图4为一个实施例中照明条件自动校正的方法的第四示意性流程图；
图5为一个实施例中照明条件自动校正的方法的界面示意图；
图6为一个实施例中照明条件自动校正的方法的第五示意性流程图；
图7为一个实施例中照明条件自动校正的装置的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的首选实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本申请实施例提供一种自动检测和自动校正程序的方法，可应用于晶圆制程的曝光机台中。具体地，当检测到机台没有照明条件设定的相关记录时，会自动进行曝光缝隙均匀度检测或者照明条件***校正，产生并保存相应的结果文件。
在一个实施例中，提供了一种照明条件自动校正的方法，如图1所示，包括：
步骤S110，检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件。
步骤S120，若校正记录文件缺失，则根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为校正记录文件。
其中，校正记录文件包括照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；照明条件校正包括照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。
具体而言，曝光机台在对待曝光的晶圆进行曝光之前，可获取该晶圆或该批次的晶圆所涉及到的照明条件设定，即待执行的照明条件设定；其中，照明条件设定用于指示曝光机台执行对应照明动作，以完成相应晶圆层的曝光。可选地，待执行的照明条件设定可为一个批次的晶圆涉及的所有照明条件设定，也可为一个晶圆涉及的所有照明条件设定，还可为晶圆其中一层所涉及的照明条件设定，此处不做具体限制。应该注意的是，照明条件设定可预存在曝光机台中，也可由工程师实时设置得到；为提高机台执行照明条件设定的精度和可靠性，可对照明条件设定进行照明、曝光均匀度等的校正和确认，并可生成对应的校正记录文件，以便相关数据的查阅和存储。本申请实施例可在曝光机台的服务器上增加存储校正记录文件的存储区域或数据库，同时，各个校正记录文件可采用照明条件设定进行区分；即，各晶圆层有对应的照明条件设定，同时，机台服务器可存储各照明条件设定对应的校正记录文件。将校正记录文件存储在机台的服务器中，便于文件的规范管理、查询以及远程操控。
本申请实施例可在执行一批晶圆的曝光制程前，检查机台服务器是否有该批次晶圆对应的照明条件设定的校正记录文件；同时，本申请实施例也可在执行一个晶圆的曝光制程前，检查机台是否有该晶圆对应的照明条件设定的校正记录文件；进一步地，本申请实施例还可在执行一个晶圆层的曝光制程前，检查机台是否有该晶圆层对应的照明条件设定的校正记录文件。此外，本申请实施例还可在配置完照明条件设定后，检查机台是否有该照明条件设定对应的校正记录文件。示例性地，服务器可设于曝光机台内，机台可直接检查服务器上的文件；同时，曝光机台也可外接服务器，该服务器可设于无尘室内或控制室等，机台可发送检查指令给该服务器，指示服务器进行相应的校正记录文件检查并反馈检查结果给机台，进而根据检查结果确定是否进行照明条件校正。
校正记录文件用于保存对应的照明条件设定的检查结果；具体地，校正记录文件至少包括照明条件***校正文件和/或曝光缝隙均匀度检测文件。其中，照明条件***校正文件由照明条件***校正检测得到；曝光缝隙均匀度检测文件由曝光缝隙均匀度检测得到。本申请实施例在检查到待执行的照明条件设定对应的校正记录文件不完整时，根据缺失的校正文件记录的类型，自动执行相应的照明条件校正，以得到该校正文件记录，进而可确认完成该照明条件设定的自动校正。也就是说，检查到机台服务器缺失任一个校正记录文件时，即会自动进行相应的检测，以完成照明条件的校正。应该注意的是，校正记录文件还可包括其他检测结果文件，例如照明条件形状检测文件等；相应地，照明条件校正可包括其他检测手段，例如照明条件形状检测等。进一步地，服务器可针对校正记录文件设置对应的数据库，用于存储照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件。
可选地，照明条件校正包括以下检测中的任意一种或任意组合：照明条件***校正、曝光缝隙均匀度检测和照明条件形状检测。其中，曝光缝隙均匀度检测和照明条件形状检测用于确认照明条件***校正的效果；同时，照明条件形状检测可作为中间检测步骤，不生成对应的结果文件。因此，在一个示例中，若照明条件设定缺失照明条件***校正文件，则需执行照明条件***校正，并在完成照明条件***校正后，执行曝光缝隙均匀度检测和照明条件形状检测，以完成照明条件的自动校正。在另一个示例中，若照明条件设定缺失曝光缝隙均匀度检测文件，则可仅执行曝光缝隙均匀度检测，以完成照明条件的自动校正；此外，也可完整执行照明条件***校正、曝光缝隙均匀度检测和照明条件形状检测，并将检测得到的结果文件作为新的校正记录文件、覆盖原有的校正记录文件，以自动完成照明条件的重新校正。应该注意的是，缺失的校正记录文件所要求的照明条件校正可根据实际需求进行设置，此处不做具体限制；同时，照明条件校正中的检测手段可根据实际的校正需求进行增加。
需要说明的是，本申请实施例可由曝光机台内部的处理模块来执行，也可由控制曝光机台的外部计算机设备来执行，此处不做具体限制。进一步地，照明条件校正可由机台内部处理模块控制执行，也可由外部计算机设备发送相应的校正指令给曝光机台来指示执行。照明条件***校正、曝光缝隙均匀度检测和照明条件形状检测等检测手段可采用现有技术来实现，此处不做具体限定。
一般地，一个晶圆涉及十几层甚至是上百层的曝光，曝光机台针对每个层均设有对应的照明条件设定。针对一个批次的晶圆，本申请实施例可自动检查各个照明条件设定是否有对应的校正记录文件，并在检查到缺失某个校正记录文件时，执行相应的照明条件校正，更新对应的照明条件设定，并将检测的结果文件保存为该校正记录文件。基于此，本申请实施例能够自动对各个照明条件设定进行校正和确认，减少设备工程师进无尘室的次数，且减少借机或人为操作等造成的时间损失，提高生产效率；同时，保存的照明条件设定对应的校正记录文件，可方便工艺工程师随时确认相关晶圆层的照明条件是否满足要求，以便执行后续的制程。
在一个实施例中，如图2所示，根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为对应的校正记录文件的步骤包括：
步骤S122，当缺失的校正记录文件包括照明条件***校正文件时，进行照明条件***校正，再进行曝光缝隙均匀度检测，根据照明条件***校正得到的结果更新照明条件设定，并将照明条件***校正得到的结果存储为照明条件***校正文件，将曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为曝光缝隙均匀度检测文件。
具体而言，检查照明条件设定对应的校正记录文件，若该校正记录文件缺失照明条件***校正文件，则针对该照明条件设定进行照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测，并将照明条件***校正得到的结果文件和曝光缝隙均匀度检测得到的结果文件、保存为该照明条件设定对应的校正记录文件。应该注意的是，若照明条件设定对应的校正记录文件包括曝光缝隙均匀度检测文件、但缺失照明条件***校正文件，则将曝光缝隙均匀度检测得到的结果文件作为新的文件，覆盖原有的曝光缝隙均匀度检测文件，以完成完整的曝光均匀度校正。
本申请实施例在检查到照明条件设定缺失对应的照明条件***校正文件时，能够自动执行照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测等检测，并将检测得到结果文件作为新的校正记录文件进行保存，进而自动完成该照明条件设定的校正，减少手动操作带来的时间成本，并避免手动检测的疏漏和错误，提高生产效率和检测可靠性。
在一个实施例中，如图2所示，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为对应的校正记录文件的步骤包括：
步骤S124，当缺失的校正记录文件仅为曝光缝隙均匀度检测文件时，进行曝光缝隙均匀度检测，将曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为曝光缝隙均匀度检测文件。
具体而言，检查照明条件设定对应的校正记录文件，若该校正记录文件仅缺失曝光缝隙均匀度检测文件，则针对该照明条件设定进行曝光缝隙均匀度检测，保存曝光缝隙均匀度检测得到的结果文件为该照明条件设定对应的曝光缝隙均匀度检测文件。应该注意的是，若照明条件设定对应的校正记录文件包括照明条件***校正文件、但缺失曝光缝隙均匀度检测文件，则可默认完成了照明条件***校正，仅执行后续的曝光缝隙均匀度检测即可完成完整的照明条件校正。在一个示例中，当缺失的校正记录文件仅为曝光缝隙均匀度检测文件时，可依次进行曝光缝隙均匀度检测和照明条件形状检测，并将曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为曝光缝隙均匀度检测文件。
本申请实施例在检查到照明条件设定缺失对应的曝光缝隙均匀度检测文件时，能够自动执行曝光缝隙均匀度检测等检测，并保存检测得到结果文件为新的曝光缝隙均匀度检测文件，进而自动完成该照明条件设定的校正，减少手动操作带来的时间成本，并避免手动检测的疏漏和错误，提高生产效率和检测可靠性。
在一个实施例中，如图2所示，根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为对应的校正记录文件的步骤之后，还包括：
步骤S130，在完成照明条件校正时，更新并保存照明条件设定对应的机器常数。
具体而言，在完成照明条件设定的照明条件校正、确认完成曝光均匀度校正后，机台需要更新并保存对该照明条件设定正确运行时的机器常数，以便在下一次采用该照明条件设定进行曝光时，做出相应的动作校正，保证曝光均匀度。
需要说明的是，机器常数(machine constant)用于指示机台执行相应的校正动作，以保证对应的照明条件设定在执行照明条件校正后的曝光效果；具体地，机器常数可包括动作数据和执行参数等，此处不做具体限定。本申请实施例在进行照明条件校正后，保存对应的机器常数，机台在执行照明条件设定时，可直接采用该机器常数来满足曝光均匀度，提高曝光的可靠性及生产效率。
在一个实施例中，如图3所示，检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件的步骤之前，还包括：
步骤S106，获取曝光机台待曝光的产品、工艺步骤以及关联的照明条件设定。
具体而言，机台执行曝光制程前，先获取待曝光的产品、工艺步骤以及关联的照明条件设定，进而可根据该照明条件设定进行曝光。而本申请实施例可在进行曝光前，检查机台的服务器是否保存该照明条件设定对应的校正记录文件：若服务器保存了照明条件设定对应的所有校正记录文件，则确认完成该照明条件设定的曝光均匀度校正，可进入曝光制程；若否，则要根据缺失的校正记录文件执行相应的照明条件校正，以完成曝光均匀度校正。
基于此，本申请实施例可在进行曝光之前，获取待执行的照明条件设定，并检查机台服务器是否存储该照明条件设定对应的所有校正记录文件，进而控制机台自动进行照明条件的相关校正及参数检测，提高晶圆的生产效率和曝光制程的良率。
在一个实施例中，将照明条件校正得到的结果存储为对应的校正记录文件的步骤包括：
将照明条件校正得到的结果文件保存为缺失的校正记录文件并存储到服务器中。
具体而言，机台针对缺失的校正记录文件执行照明条件校正后，可将检测得到的结果文件作为新的校正记录文件并保存在机台的服务器中。基于此，机台能够自动地检查校正记录文件，同时，工程师也能够随时通过服务器查阅校正记录文件，以确认照明是否顺利进行。
在一个实施例中，如图4所示，检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件的步骤之后，还包括：
步骤S126，在检查到服务器保存有照明条件设定对应的所有校正记录文件时，根据照明条件设定进行曝光处理。
具体而言，若曝光机台的服务器保存了待执行的照明条件设定对应的所有校正记录文件，则可确认该照明条件设定已完成校正，能够进一步根据该照明条件设定对晶圆进行曝光处理。本申请实施例在确认待曝光晶圆的照明条件设定具备对应的校正记录文件时，即可进一步执行曝光制程。
在一个实施例中，根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为校正记录文件的步骤包括：
检测照明条件校正得到的曝光缝隙均匀度检测文件是否满足预设标准：若是，则确定已完成照明条件校正；若否，则删除曝光缝隙均匀度检测文件以及曝光缝隙均匀度检测文件对应的照明条件***校正文件，并重新进行照明条件校正。
具体而言，机台通过照明条件校正得到曝光缝隙均匀度检测文件时，可检测该曝光缝隙均匀度检测文件是否符合预设标准。其中，预设标准可为取值范围或门限值等，此处不做具体限定。在一个示例中，检测到曝光缝隙均匀度曲线落入预设的范围中，则可确定该曝光缝隙均匀度检测文件是符合预设标准；在另一个示例中，检测到曝光缝隙均匀度小于预设的门限值，则可确定该曝光缝隙均匀度检测文件不符合预设标准。
进一步地，在曝光缝隙均匀度检测文件满足预设标准时，确定完成该照明条件的校正。在曝光缝隙均匀度检测文件不满足预设标准时，删除该照明设定条件对应的曝光缝隙均匀度检测文件和照明条件***校正文件，并重新对该照明设定条件对应进行照明条件校正。基于此，本申请实施例可在机台中设置预设标准，以自动检测曝光缝隙均匀度检测文件是否符合要求，进一步提高照明条件校正的可靠性。
在一个实施例中，如图4所示，照明条件自动校正的方法还包括：
步骤S140，根据接收到的删除指令，从服务器中删除对应的校正记录文件，以重新进行相应的照明条件校正，得到新的校正记录文件。
具体而言，本申请实施例可随时接收外部传输的删除指令，并根据删除指令删除服务器中对应的校正记录文件；进而在机台待执行的照明条件设定涉及到被删除的校正记录文件时，重新执行相应的照明条件校正，并保持新的校正记录文件到服务器中。基于此，便于工程师的随时检测、更新曝光均匀度自动校正结果。
示例性地，工程师可随时查看、确认校正记录文件是否满足要求；若不满足，则可从服务器删除对应的校正记录文件，以使曝光***在检查到缺失校正记录文件时，执行相应的照明条件校正，以达到要求。在一个示例中，当机台有照明条件***校正文件，且工程师删掉曝光缝隙均匀度检测文件，则在该层下次曝光前，可只执行曝光缝隙均匀度检测，不做照明条件***校正；当删除的是照明条件***校正文件，则在该层下次曝光前，执行照明条件***校正、曝光缝隙均匀度检测和照明条件形状检测(pupil measurement)。其中，照明条件形状检测和曝光缝隙均匀度检测可用于检测和确认该照明条件是否合理，确认照明条件***校正的效果。应该注意的是，照明条件形状检测无需生成对应的结果文件。
在一个实施例中，服务器设有用于保存校正记录文件的数据库。
具体而言，服务器可设有数据库，该数据库用于保存各校正记录文件。可选地，可包括用于存储各照明条件***校正文件的第一数据库，以及用于存储各曝光缝隙均匀度检测文件的第二数据库。其中，各照明条件***校正文件可采用对应的照明条件设定进行区分；同理，各曝光缝隙均匀度检测文件也可采用对应的照明条件设定进行区分。
示例性地，在曝光机台的服务器增加以照明条件设定进行区分的2个数据库，分别用于存储照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件。当机台运行一个批次的晶圆制程时，机台自动检查该批次所用的照明条件设定是否有相应的校正记录文件；若没有，则机台在该批次晶圆曝光之前，自动启动对应的照明条件校正程序，且自动保存检测结果和相应的机器常数。
在一个实施例中，如图5所示，照明条件自动校正的方法还包括：
步骤S102，提供自动校正功能的配置参数接口；配置参数包括是否自动进行照明条件***校正文件检测，以及是否自动进行曝光缝隙均匀度检测文件检测。
步骤S104，通过配置参数接口接收配置指令。
具体而言，可提供配置参数接口，以接收外部指令，确认是否执行曝光均匀度的自动校正功能。其中，配置参数可至少包括两个选项，一个用于确认是否自动进行照明条件***校正文件检测，另一个用于确认是否自动进行曝光缝隙均匀度检测文件检测。配置参数接口用于接收配置指令；配置指令用于指示是否自动进行照明条件***校正文件检测，和/或，是否自动进行曝光缝隙均匀度检测文件检测。
示例性地，可在曝光机台上显示曝光数据选项界面；曝光数据选项界面中设有均匀度提高程序的子选项。均匀度提高程序的子选项包括照明条件***校正选项和曝光缝隙均匀度检测选项；其中，照明条件***校正选项用于指示是否自动进行照明条件***校正文件检测；曝光缝隙均匀度检测选项用于指示是否自动进行曝光缝隙均匀度检测文件检测。
示例性地，可在曝光数据选项栏加入均匀度提高程序子选项，并在该子选项中加入照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测两个功能项，且利用选择勾选的方式决定功能是否打开；当两项都勾选时，则可执行进一步的规则。
在一个实施例中，曝光机台的服务器上添加了照明条件***校正文件夹和曝光缝隙均匀度检测文件夹，用于储存机台动作的记录文件，其中，文件夹中的记录文件可以照明条件设定进行区分。同时，机台的曝光数据选项栏设置里增加了均匀度提高程序子选项，该选项下面包含照明条件***校正/曝光缝隙均匀度检测子选项；照明条件***校正对应的勾选功能为校正/是否需要；曝光缝隙均匀度检测对应的勾选功能为检测/是否需要。
如图6所示，在以上两项都勾选的情况下，当第一次执行照明条件设定时，***检查到服务器的数据库内没有相关校正记录文件，则进行照明条件***校正、照明条件形状检测和曝光缝隙均匀度检测，并且保存相应的机器常数和得到的校正记录文件，进而继续该批次晶圆的曝光。当工程师想确认某个层的曝光缝隙均匀度检测数据是否满足规格时，仅需要删除机台服务器保存的曝光缝隙均匀度检测文件，则在下一次执行对应的照明条件设定前，会自动进行曝光缝隙均匀度检测；若重新执行的曝光缝隙均匀度检测结果仍不满足规格，可删除照明条件***校正文件，则在下一次执行对应的照明条件设定前，会自动进行照明条件***校正、照明条件形状检测和曝光缝隙均匀度检测。需要说明的是，本申请实施例可基于制程方案(recipe)实现，适用于每个晶圆规则。
应该理解的是，虽然图1至6的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图1至6中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些子步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
在一个实施例中，提供了一种照明条件自动校正的装置，如图7所示，包括：
校正记录文件检查模块，用于检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件。
照明检测模块，用于
若校正记录文件缺失，则根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为校正记录文件；
其中，校正记录文件包括照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；照明条件校正包括照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。
关于照明条件自动校正的装置的具体限定可以参见上文中对于照明条件自动校正的方法的限定，在此不再赘述。需要说明的是，本申请实施例中对模块的划分是示意性的，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式。上述照明条件自动校正的装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。
在一个实施例中，提供了一种设备，包括曝光机台；曝光机台用于实现以下步骤：
检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件。
若校正记录文件缺失，则根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为校正记录文件。
其中，校正记录文件包括照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；照明条件校正包括照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。
在一个实施例中，设备还包括连接曝光机台的服务器；该服务器可用于存储照明条件设定、校正记录文件和机器常数等。
进一步地，服务器可设有用于存储校正记录文件的数据库。
关于设备的具体限定可以参见上文中对于照明条件自动校正的方法的限定，在此不再赘述。
在一个实施例中，提供了一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现以下步骤：
检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件。
若校正记录文件缺失，则根据缺失的校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据照明条件校正得到的结果更新对应的照明条件设定，并将照明条件校正得到的结果存储为校正记录文件。
其中，校正记录文件包括照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；照明条件校正包括照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。
关于存储介质的具体限定可以参见上文中对于照明条件自动校正的方法的限定，在此不再赘述。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM以多种形式可得，诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus)直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种照明条件自动校正的方法，其特征在于，包括：
检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件；
若所述校正记录文件缺失，则根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为所述校正记录文件；
其中，所述校正记录文件包括照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；所述照明条件校正包括照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。
2.根据权利要求1所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，所述根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为对应的所述校正记录文件的步骤包括：
当缺失的所述校正记录文件包括所述照明条件***校正文件时，进行所述照明条件***校正，再进行所述曝光缝隙均匀度检测，根据所述照明条件***校正得到的结果更新所述照明条件设定，并将所述照明条件***校正得到的结果存储为所述照明条件***校正文件，将所述曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为所述曝光缝隙均匀度检测文件；
当缺失的所述校正记录文件仅为所述曝光缝隙均匀度检测文件时，进行所述曝光缝隙均匀度检测，将所述曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为所述曝光缝隙均匀度检测文件。
3.根据权利要求1所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，所述根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为对应的所述校正记录文件的步骤之后，还包括：
在完成所述照明条件校正时，更新并保存所述照明条件设定对应的机器常数。
4.根据权利要求1所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，所述检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件的步骤之前，还包括：
获取所述曝光机台待曝光的产品、工艺步骤以及关联的所述照明条件设定；
所述检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件的步骤之后，还包括：
在检查到所述服务器保存有所述照明条件设定对应的所有校正记录文件时，根据所述照明条件设定进行曝光处理。
5.根据权利要求4所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，所述根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为所述校正记录文件的步骤包括：
检测所述照明条件校正得到的所述曝光缝隙均匀度检测文件是否满足预设标准：若是，则确定已完成所述照明条件校正；若否，则删除所述曝光缝隙均匀度检测文件以及所述曝光缝隙均匀度检测文件对应的照明条件***校正文件，并重新进行所述照明条件校正。
6.根据权利要求1所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，还包括：
根据接收到的删除指令，从所述服务器中删除对应的所述校正记录文件，以重新进行相应的照明条件校正，得到新的校正记录文件。
7.根据权利要求1至6任一项所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，还包括：
提供自动校正功能的配置参数接口；所述配置参数包括是否自动进行照明条件***校正文件检测，以及是否自动进行曝光缝隙均匀度检测文件检测；
通过所述配置参数接口接收配置指令。
8.一种照明条件自动校正的装置，其特征在于，包括：
校正记录文件检测模块，用于检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件；
照明检测模块，用于若所述校正记录文件缺失，则根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为所述校正记录文件；
其中，所述校正记录文件包括照明条件***校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；所述照明条件校正包括照明条件***校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。
9.一种设备，其特征在于，包括曝光机台；所述曝光机台用于实现如权利要求1至7任意一项所述的照明条件自动校正的方法。
10.一种计算机存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任意一项所述的照明条件自动校正的方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN101923293A (zh) * 2009-05-29 2010-12-22 Asml控股股份有限公司 用于照射均匀性校正和均匀性漂移补偿的光刻设备和方法
CN103617170A (zh) * 2013-10-23 2014-03-05 上海华力微电子有限公司 曝光机文件自动检查***

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