CN112540511A - 载置台装置、光刻装置以及物品制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品制造方法。[课题]提供对微动载置台的定位的高精度化有利的载置台装置。[解决方法]载置台装置具有：粗动载置台；微动载置台；电磁致动器，配置于所述粗动载置台与所述微动载置台之间，在沿着所述粗动载置台的表面的方向上对所述微动载置台提供推力；以及控制部，控制所述电磁致动器，所述控制部根据所述粗动载置台的驱动开始位置，决定所述电磁致动器的控制参数。

Description

载置台装置、光刻装置以及物品制造方法
技术领域
本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品制造方法。
背景技术
在半导体设备等物品的制造中使用的光刻装置具有保持原版或基板而移动的载置台装置。该技术领域中的载置台装置可以具有：粗动载置台，通过粗动线性马达进行大冲程的驱动；以及微动载置台，在粗动载置台上通过微动线性马达进行微细的定位。要求光刻装置的载置台装置大冲程、高速并且高精度地进行定位。作为追求这样的性能的载置台装置，有还具备用于使微动载置台以高加速度追随粗动载置台的电磁致动器的装置(例如专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2019-121656号公报
发明内容
然而，为了提高吞吐量，载置台的移动速度的高速化的要求逐年提高。因此，无法与粗动载置台的高速化对应地提高微动载置台的定位精度的问题变得显著。
本发明的目的在于例如提供对微动载置台的定位的高精度化有利的载置台装置。
根据本发明的第1侧面，提供一种载置台装置，其特征在于，具有：粗动载置台；微动载置台；电磁致动器，配置于所述粗动载置台与所述微动载置台之间，在沿着所述粗动载置台的表面的方向上，对所述微动载置台提供推力；以及控制部，控制所述电磁致动器，所述控制部根据所述粗动载置台的驱动开始位置来决定所述电磁致动器的控制参数。
根据本发明的第2侧面，提供一种光刻装置，其特征在于，具有上述第1侧面所涉及的载置台装置以及搭载于所述载置台装置的原版保持部，将由所述原版保持部保持的原版的图案转印到基板。
根据本发明的第3侧面，提供一种光刻装置，其特征在于，具有上述第1侧面所涉及的的载置台装置以及搭载于所述载置台装置的基板保持部，将原版的图案转印到由所述基板保持部保持的基板。
根据本发明的第4侧面，提供一种物品制造方法，其特征在于，具有使用上述第2侧面或第3侧面所涉及的光刻装置在基板形成图案的工序、以及对形成有所述图案的基板进行加工的工序，根据加工后的所述基板来制造物品。
根据本发明，例如能够提供对微动载置台的定位的高精度化有利的载置台装置。
附图说明
图1是示出曝光装置的结构的图。
图2是示出原版载置台(载置台装置)的结构的图。
图3是粗动载置台的控制方框图。
图4是示出粗动线性马达的结构的图。
图5是示出电磁致动器的结构的图。
图6是一个例子中的微动载置台的控制方框图。
图7是示出调整增益G的方法的流程图。
图8是说明粗动载置台的动子的驱动位置和推力常数的关系的图。
图9是示出与驱动开始位置相对的微动载置台的等速区间中的偏差的平均值的图形。
图10是制作增益表的方法的流程图。
图11是说明根据推力常数的周期计算驱动开始位置的方法的图。
图12是微动载置台的控制方框图。
图13是说明根据推力常数的微分值计算驱动开始位置的方法的图。
具体实施方式
以下参照附图详细说明实施方式。此外，以下的实施方式不限定权利要求书所涉及的发明。在实施方式中记载了多个特征，但并非所有这些多个特征都是发明所必须的，另外，多个特征也可以任意地组合。而且，在附图中，对同一或同样的结构附加相同的参照编号，省略重复的说明。
本发明的载置台装置可适用于在基板上形成原版的图案的光刻装置。光刻装置例如可以是曝光装置、压印(imprint)装置、带电粒子束描绘装置等中的任意装置。曝光装置通过经由原版对供给到基板上的光致抗蚀剂进行曝光，在该光致抗蚀剂上形成与原版的图案对应的潜像。压印装置通过在使模(原版)与供给到基板上的压印材料接触的状态下使压印材料硬化，在基板上形成图案。带电粒子束描绘装置通过利用带电粒子束在供给到基板上的光致抗蚀剂上描绘图案，在该光致抗蚀剂上形成潜像。以下，为了提供具体例，说明将本发明的载置台装置适用于作为光刻装置之一的曝光装置的例子。另外，以下说明将本发明的载置台装置适用于曝光装置的原版载置台的例子，但还可以将本发明的载置台装置同样地适用于基板载置台。
图1是示出本实施方式所涉及的曝光装置100的结构的概略图。在本说明书以及附图中，在将水平面作为XY平面的XYZ坐标系中示出方向。将XYZ坐标系中的分别与X轴、Y轴、Z轴平行的方向称为X方向、Y方向、Z方向。一般地，以使基板W的表面成为与水平面(XY平面)平行的方式处置基板W。
曝光装置100例如是用步进掠描(step-and-scan)方式将原版R(投影掩模)的图案曝光(转印)到基板W上的扫描型曝光装置。在步进掠描方式中，一边使原版R和基板W相对地扫描(掠描)一边进行1次拍摄(shot)的曝光，在1次拍摄的曝光结束后，通过基板的步进移动来进行向下一个拍摄区域的移动。
照明***101对从未图示的光源发出的光进行调整而对原版R进行照明。原版R例如由石英玻璃构成，在此形成应转印到基板W上的图案(例如电路图案)。原版载置台110搭载保持原版R的原版保持部110a而能够在X、Y、Z各方向上移动。投影光学***111以预定的倍率(例如1/4倍)将通过原版R后的光投影到基板W上。基板W是例如由单结晶硅构成的基板，预先在其表面上涂敷了抗蚀剂(感光剂)。基板载置台104搭载保持基板W的卡盘(chuck)105(基板保持部)而能够在X、Y、Z各方向上移动。在曝光装置100中，上述照明***101及投影光学***111构成在经由卡盘105保持于基板载置台104的基板W上形成原版R的图案的形成部。
控制装置106由例如包括CPU及存储器的计算机构成，与曝光装置100的各构成元素连接，可以依照程序总括进行各构成元素的动作。此外，控制装置106既可以在与曝光装置100的其他部分共同的框体内构成，也可以与曝光装置100的其他部分独立地构成。
图2是示出原版载置台110(载置台装置)的结构的图。原版载置台110具有粗动载置台11以及在粗动载置台11上移动的微动载置台21。
粗动载置台11可以由粗动线性马达13驱动。粗动线性马达13包括左右两侧的粗动线性马达13a、13b。粗动线性马达13a包括动子31a和定子32a，粗动线性马达13b包括动子31b和定子32b。定子32a、32b被支撑于未图示的载置台定盘，动子31a、31b以通过与定子32a、32b的电磁作用与粗动载置台11一起在Y方向上驱动的方式结合。
微动载置台21可以由配置在粗动载置台11与微动载置台21之间的微动线性马达驱动。微动线性马达可以包括：微动X线性马达51，在X方向上产生驱动力；微动Y线性马达52，在Y方向上产生驱动力；以及微动Z线性马达53，在Z方向上产生驱动力。微动X线性马达51包括配置于微动载置台21的X方向的两端的微动X线性马达51a、51b。微动Y线性马达52包括配置于微动载置台21的Y方向的两端的微动Y线性马达52a、52b。另外，微动Z线性马达53包括配置于微动载置台21的四角的微动Z线性马达53a、53b、53c、53d。通过针对每个轴独立的控制***在6个轴(X、Y、Z以及绕各轴的旋转方向)上对这些微动线性马达进行定位控制。
另外，在粗动载置台11与微动载置台21之间，配置有通过电磁铁的作用在作为沿着粗动载置台11的表面的方向的Y方向上对微动载置台21提供推力的电磁致动器41。电磁致动器41包括夹着微动载置台21的中央部而配置于Y方向的部位的电磁致动器41a、41b。
图3是粗动载置台11的控制方框图。由激光干涉仪、编码器等位置检测器(未图示)检测粗动载置台11的位置，将输入的粗动载置台11的位置指令值和检测位置的偏差输入到控制器101。例如，基于PID控制***的控制器101根据输入的偏差来生成用于对粗动线性马达11提供推力的指令值，并将该指令值输出给电流驱动器102。电流驱动器102将与输入的指令值对应的电流提供给粗动线性马达13。粗动线性马达13通过适宜地在线圈中流过电流而在Y方向上产生驱动力，驱动粗动载置台11。这样，粗动载置台11的位置被反馈控制。
图4是示出粗动线性马达13a的结构的图。粗动线性马达13b的结构也与粗动线性马达13a的结构相同，所以省略粗动线性马达13b的结构的说明。在图4中，动子31a具有：磁铁组件62，包括由多个永久磁铁构成的磁铁群；以及动子板63，用于保持该磁铁组件62而安装到载置台面。磁铁组件62包括磁极的朝向是Z方向的多个主极磁铁62a以及磁极的朝向是Y方向的多个补极磁铁62b。多个主极磁铁62a和多个补极磁铁62b在Y方向上交替地排列。在此，多个主极磁铁62a的磁极方向交替地成为相反朝向(±Z方向)，同样地，多个补极磁铁62b的磁极方向也交替地成为相反朝向(±Y方向)。
定子32a包括由强磁性体制成的磁轭65以及在磁轭65中在Y方向上等间隔地排列的多个线圈61。准备2个这样的结构的定子32a，2个定子32a以使线圈61彼此面对的方式在Z方向上分离地配置，在该2个定子32a之间配置有动子31a。
图5是示出电磁致动器41a、41b的结构的图。电磁致动器41a包括起到电磁铁的作用的E芯82a以及作为磁性材料的I芯81a。在图5的例子中，以使E芯82a和I芯81a在Y方向上面对的方式，将E芯82a安装到粗动载置台11的上凸部的侧壁，将I芯81a安装到微动载置台21的下凸部的侧壁。
此外，E芯82a和I芯81a的位置关系也可以相逆，也可以将E芯82a安装到微动载置台21，将I芯81a安装到粗动载置台11。这样，电磁致动器41a具有配置于粗动载置台11及微动载置台21中的一方的作为电磁铁的E芯82a，以及配置于粗动载置台11及微动载置台21中的另一方的作为磁性体的I芯81a。
在E芯82a上卷绕有线圈83a，通过在该线圈83a中流过电流而产生磁通，在E芯82a和I芯81a中产生磁极。由在E芯82a与I芯81a之间产生的磁力所致的吸引力成为电磁致动器41a的推力。
在E芯82a上还卷绕有磁通检测线圈84a。在磁通检测线圈84a中，磁通的时间变化量作为感应电压而产生，通过对其进行积分，能够检测在电磁致动器41a中产生的磁通。利用电磁致动器41a的推力与磁通的平方成比例，可以计算电磁致动器41a的推力。
电磁致动器41b的结构也与电磁致动器41a相同。即，电磁致动器41b包括起到电磁铁的作用的E芯82b以及作为磁性材料的I芯81b。以使E芯82b和I芯81b在Y方向上面对的方式，将E芯82b安装到粗动载置台11的上凸部的侧壁，将I芯81b安装到微动载置台21的下凸部的侧壁。
此外，E芯82b和I芯81b的位置关系也可以相逆，即，也可以将E芯82b安装到微动载置台21，将I芯81b安装到粗动载置台11。这样，电磁致动器41b具有配置于粗动载置台11及微动载置台21中的一方的作为电磁铁的E芯82b，以及配置于粗动载置台11及微动载置台21中的另一方的作为磁性体的I芯81b。
在E芯82b上卷绕有线圈83b，通过在该线圈83b中流过电流而产生磁通，在E芯82b和I芯81b中产生磁极。由在E芯82b与I芯81b之间产生的磁力所致的吸引力成为电磁致动器41b的推力。
在E芯82b上还卷绕有磁通检测线圈84b。在磁通检测线圈84b中，磁通的时间变化量作为感应电压而产生，通过对其进行积分，能够检测在电磁致动器41b中产生的磁通。利用电磁致动器41b的推力与磁通的平方成比例，可以计算电磁致动器41b的推力。
图6的(a)是一个例子中的微动载置台21的控制方框图。
由激光干涉仪、编码器等位置检测器(未示图)检测微动载置台21的位置，将输入的微动载置台21的位置指令值和检测位置的偏差E输入到控制器201。例如，基于PID控制***的控制器201根据输入的偏差E来生成用于对微动线性马达51、52、53提供推力的指令值，并将该指令值输出给电流驱动器202。电流驱动器202将与输入的指令值对应的电流提供给微动线性马达51、52、53。微动线性马达51、52、53通过被提供的电流产生驱动力，驱动微动载置台21。这样，微动载置台21的位置被反馈控制。
此时，从电磁致动器控制部301输出的电磁致动器41的推力F在微动载置台21的加减速时供给到微动载置台21。在磁通运算器302中，使用电磁致动器41的推力F与磁通的平方成比例来计算磁通指令值M并输入到电磁致动器控制部301。在电磁致动器41的推力F发生了变化的状态(具有误差的状态)下在Y方向上驱动微动载置台21的情况下，微动Y线性马达52a、52b对电磁致动器41的推力变化量进行补偿。微动载置台21通过微动线性马达51、52、53控制X、Y、Z方向的nm级的精密的位置，电磁致动器41被用于施加加减速所需的推力。由此，能够以高加速度使微动载置台21追随粗动载置台11，并且在曝光时进行nm级的高精度的定位。
图6的(b)是电磁致动器控制部301的控制方框图。在图6的(b)中，电磁致动器控制部301包括反馈电磁致动器41的感应电压而驱动电磁致动器41的反馈控制***。
从电磁致动器41产生的感应电压由磁通检测线圈84(84a或84b)检测，通过将其值输入到积分器401而得到磁通的检测结果。在加法器402中，计算作为磁通指令值M和检测到的磁通的差分的磁通误差。该磁通误差成为对电磁致动器41施加驱动电压的电压驱动器404的指令值。在此，控制器403将对作为该指令值的磁通误差乘以增益G而得到的值送到电压驱动器404。电压驱动器404将与输入的值对应的电压施加到电磁致动器41的线圈83(83a或83b)。由此，通过在线圈83中流过电流，产生推力F。利用电磁致动器41的推力F与磁通的平方成比例，通过控制磁通，等价地控制推力。
增益G是针对作为电压驱动器404的指令值的磁通误差的增益。更具体地，增益G是为了减少由于电磁致动器41的装配误差、零件的波动等导致微动载置台21的偏差E变大而使用的系数(控制参数)。因此，在实际使用载置台装置之前，需要预先决定增益G。
图7示出增益G的调整过程的流程图。
在S11中，进行通常的初始化动作。通过初始化动作，完成位置测量器的初始化、粗动载置台11及微动载置台21的原点设置。由此，位置伺服***发挥功能，能够一边使微动载置台21追随一边将粗动载置台11驱动到任意的位置。
在S12中，决定粗动载置台11的驱动开始位置P(掠描开始位置)及驱动冲程长S。这些参数可以根据使用载置台装置的条件而决定。驱动开始位置P及驱动冲程长S的集合为1组。驱动开始位置例如可以是与视角对应的扫描驱动的初始位置。
在S13中，决定电磁致动器41的增益G。决定如在粗动载置台11已驱动时微动载置台21能够不与粗动载置台11发生干扰而追随的电磁致动器41的推力F，增益G的初始值被设定为控制器403能够输出该决定的推力F的值。在第2次以后，以该初始值为基准，在预先决定的范围内调节增益G的值，决定为最佳的值。此外，调节幅度是任意的。
在S14中，从在S12中决定的驱动开始位置P开始将粗动载置台11驱动驱动冲程长S。该驱动也可以进行多次。
在S15中，计算评价值。粗动载置台11的驱动速度能够分成加速区间、等速区间、减速区间。例如，在希望减小粗动载置台11成为等速区间的期间的偏差E的情况下，使用等速区间的偏差来决定评价值。在该情况下，等速区间的偏差的平均值、积分值或者最大值等统计值可以成为评价值。在S14中，在多次连续驱动粗动载置台11的情况下，也可以将此时得到的所有偏差的平均值、积分值或者最大值等统计值设为评价值。
在S16中，采用评价值成为最小时的增益G。通过改变增益G而反复进行S14～S15，将所得到的评价值成为最小时的增益G嵌入到图6所示的微动载置台的控制框。
然而，在使用依照图7的过程调整后的增益G驱动载置台装置时，存在等速区间中的微动载置台21的偏差E取决于粗动载置台11的驱动开始位置而变大的倾向。其原因为，偏差E受到粗动线性马达13具有的推力常数的波动的影响。推力常数是指在对粗动线性马达13流过单位电流(例如1[A])时产生的推力，是表示推力的效率的值。因此，在将粗动线性马达13的推力常数设为K[N/A]时，流过I[A]电流时的粗动线性马达13的推力LF[N]成为
LF＝K×I…(1)。
推力常数在理想上与定子和动子的相对位置无关而是恒定的。然而，在实际的线性马达中，由于磁铁、线圈的位置偏移等，推力常数K根据动子相对定子的位置而发生波动，所以在线性马达中流过恒定的电流时产生的推力根据动子的位置而存在不均。这样的推力常数的变动(波动)被称为“推力脉动(ripple)”。
该推力常数的倾向能够通过如以下的测量得到。在使粗动线性马达13的动子31以速度v[m/s]动作时，由于磁铁和线圈的相互作用，产生感应电压Ve[V]。推力常数K能够根据该速度v和感应电压Ve通过下式求出。
K＝Ve/v…(2)
在粗动载置台11的粗动线性马达13中，仅对2个动子31a、31b中的一方的动子流过电流而驱动。此时，测定通过另一方的动子(磁铁)和定子(线圈)的相互作用产生的感应电压。由此，能够求出不包含施加到粗动载置台11的任何干扰力的纯粹的推力常数K。
在粗动线性马达13中，为了测定动子31的可移动区间的推力常数K，遍及整个可移动区间(用图8的(a)的箭头表示的区间)驱动动子31。但是，如图8的(b)所示，在可移动区间的两端，动子31必须停止，所以可移动区间由两端部分处的加减速区间92和中间部分处的等速区间91构成。由此，可移动区间中的动子31的速度分布图成为如图8的(b)中的虚线图形所示的分布。作为遍及整个可移动区间驱动动子31的结果，得到如图8的(c)所示的与驱动位置对应的推力常数71。在等速区间91中，能够维持感应电压的SN比变大的驱动速度，所以能够求出正确的推力常数71，可知该推力常数71具有与多个线圈的排列节距(pitch)对应的周期性。
在驱动粗动载置台11时，受到推力常数71的波动的影响，粗动载置台11的位置偏差也发生波动。因此，由于电磁致动器41的增益G是恒定的，所以追随粗动载置台11的微动载置台21受到粗动载置台11的位置偏差的波动的影响。
图9是示出与粗动载置台11的驱动开始位置P相对的微动载置台21的等速区间中的偏差的平均值的图形。此外，驱动冲程长设为恒定。在图9的第1例子中，将驱动开始位置P设为13mm而调整增益G。在该情况下，在使粗动载置台的驱动开始位置P变化至9～17mm而驱动时产生的偏差的平均值存在随着远离已调整增益G的驱动开始位置(13mm)而变大的倾向。图9的第2例子是针对每个驱动开始位置调整增益G并在与该增益G对应的驱动开始位置处进行驱动的情况。在该情况下，偏差的平均值表示3～4nm左右大致恒定的值。即，可知增益G取决于调整时的驱动开始位置。因此，针对每个设想的驱动开始位置调整增益G可以说对定位精度的提高起到作用。然而，在设想的所有驱动开始位置处花费大量时间来调整增益G，不具实用性。
因此，在本实施方式中，根据推力常数71的波动，决定进行增益G的调整的限定的数量的驱动开始位置，针对每个决定的位置求出增益G，制作增益表。图10示出增益表的制作过程的流程图。
在S21中，进行通常的初始化动作。其内容与S11相同。在S22中，计算粗动载置台11的驱动开始位置群。如图11所示，粗动线性马达13的推力常数71的波动具有与多个线圈61的排列周期对应的周期性。定义成为用分割数N分割推力常数71的周期SR而得到的常数C＝SR/N的倍数的位置群。在此，在将m设为推力常数71的各周期的周期编号、将n设为各周期的分割位置(n＝1～N)、将驱动开始位置群设为P(m，n)时，驱动开始位置群P(m，n)用下式表示。
P(m，n)＝(m×N+n)×C
而且，将m＝MS时的位置群：
P1＝(MS×N+1)×C，
P2＝(MS×N+2)×C，
…，
PN＝(MS+1)×N×C、
(其中为方便起见设为P(Ms，n)＝Pn)
设为粗动载置台11的驱动开始位置群。依照后面的过程，针对这些驱动开始位置中的每个驱动开始位置调整增益G。
在S23中，决定粗动载置台11的驱动开始位置Pn以及驱动冲程长S。从在S22中求出的N个驱动开始位置中依次选择1个位置。驱动冲程长S根据使用载置台装置的条件而决定。驱动冲程长S也可以不基于驱动开始位置Pn而是恒定值。
在S24中，决定电磁致动器41的增益G。增益G的决定方法可以与S13相同。
在S25中，从在S23中决定的驱动开始位置Pn开始将粗动载置台11驱动驱动冲程长S。该驱动也可以进行多次。
在S26中，计算评价值。该评价值的计算方法可以与S15相同。
在S27中，将评价值成为最小时的增益G登记在增益表中。通过改变增益G而反复进行S25～S26，将得到的评价值成为最小时的增益G登记到增益表Gn。在登记时，将驱动开始位置Pn的系数n和增益G关联起来。这样，在增益表G中，记述有推力常数的波动的周期中的驱动开始位置与作为控制参数的增益之间的预先得到的对应关系。
对于在S22中决定的所有驱动开始位置Pn(n＝1～N)，通过反复进行S24～S27，制作增益表Gn501并嵌入到图12所示的微动载置台21的控制块。
图12是实施方式中的微动载置台21的控制方框图。根据该控制方框图，根据粗动载置台的驱动开始位置，决定作为电磁致动器的控制参数的增益G。在图12中，代替图6的增益G，构成增益表Gn501和增益决定器502。此外，增益决定器502的功能可以包含于电磁致动器控制部301(控制部)。
在实际使用时，将粗动载置台11的驱动开始位置P’输入到增益决定器502。增益决定器502求出满足条件m×n×C<P’≤m×(n+1)×C(m是整数、C是在S22中计算的常数)的系数n。之后，增益决定器502参照增益表Gn501，求出与系数n对应的增益G，将其输入到电磁致动器41的控制器403。此外，切换增益G的定时例如是电磁致动器41不输出推力的时候。
依照图10所示的过程，使用以使等速区间的微动载置台21的偏差的平均值变小的方式调整后的增益表Gn501，根据粗动载置台11的驱动开始位置P’，进行电磁致动器41的增益G的切换。由此，增益决定器502(控制部)能够根据针对动子相对定子的位置的推力常数的波动，决定与驱动开始位置对应的作为控制参数的增益G。因此，能够不基于粗动载置台11的驱动开始位置P’而改善等速区间的微动载置台21的偏差的平均值。实际上，能够得到与图9所示的针对每个驱动开始位置进行了调整时相同程度的结果。另外，通过根据推力常数的周期求出增益G的调整位置，能够缩短调整增益G的时间。
在S22中，如图11所示根据推力常数71的周期计算粗动载置台11的驱动开始位置群，但也可以如图13所示将在推力常数71的1个周期期间微分值成为零的位置设为驱动开始位置群。推力常数的微分值为零的位置是推力常数可能成为极大或极小的位置，粗动载置台11的位置偏差易于大幅变化，所以相比于如上所述等间隔地进行分割的情况，有时能够改善微动载置台21的偏差。
在上述实施方式中，针对离散的驱动开始位置群求出增益G，但如果在时间上有富余，则也可以针对每个驱动开始位置调整增益G。如果希望减小驱动后(停止后)的偏差，则也可以针对每个驱动结束位置调整增益G。
以上，为了简化说明，说明如图2所示的具有在Y方向上驱动的粗动载置台11的载置台装置。然而，本发明还能够适用于具有仅在X方向上驱动的粗动载置台或者在X方向及Y方向上驱动的粗动载置台的载置台装置。在该情况下，需要以在X方向上驱动粗动载置台时使微动载置台追随的方式在X方向上设置图5所示的电磁致动器。
<物品制造方法的实施方式>
本发明的实施方式中的物品制造方法例如适合于制造半导体设备等微型设备、具有微细构造的元件等物品。本实施方式的物品制造方法包括使用上述光刻装置(曝光装置、压印装置、描绘装置等)在基板上形成原版的图案的工序，以及对在上述工序中形成了图案的基板进行加工的工序。而且，上述制造方法包括其他公知的工序(氧化、成膜、蒸镀、掺杂、平坦化、蚀刻、抗蚀剂剥离、切割、键合、封装等)。本实施方式的物品制造方法相比于以往的方法，在物品的性能、质量、生产率、生产成本中的至少1个方面更有利。
(其他实施方式)
本发明也能够通过以下处理来实现：将实现上述实施方式的1个以上的功能的程序经由网络或存储介质供给到***或装置，该***或装置的计算机中的1个以上的处理器读出并执执行程序。另外，也能够通过实现1个以上的功能的电路(例如ASIC)实现。
其它实施例
本发明的实施例还可以通过如下的方法来实现，即，通过网络或者各种存储介质将执行上述实施例的功能的软件(程序)提供给***或装置，该***或装置的计算机或是中央处理单元(CPU)、微处理单元(MPU)读出并执行程序的方法。
发明不限制于上述实施方式，能够不脱离发明的精神及范围而进行各种变更及变形。因此，为了公开发明的范围添附权利要求。

Claims (11)

1.一种载置台装置，其特征在于，具有：
粗动载置台；
微动载置台；
电磁致动器，配置于所述粗动载置台与所述微动载置台之间，在沿着所述粗动载置台的表面的方向上对所述微动载置台提供推力；以及
控制部，控制所述电磁致动器，
所述控制部根据所述粗动载置台的驱动开始位置，决定所述电磁致动器的控制参数。
2.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
具有驱动所述粗动载置台的粗动线性马达，
所述粗动线性马达包括定子和动子，
所述控制部根据表示在对所述粗动线性马达提供单位电流时产生的推力的推力常数的针对所述动子相对所述定子的位置的波动，决定与所述驱动开始位置对应的所述控制参数。
3.根据权利要求2所述的载置台装置，其特征在于，
所述控制部根据所述驱动开始位置与所述控制参数之间的预先得到的对应关系，决定所述控制参数。
4.根据权利要求3所述的载置台装置，其特征在于，
所述定子包括在所述方向上排列的多个线圈，
所述推力常数的波动具有与所述多个线圈的排列周期对应的周期，
所述对应关系是所述周期中的所述驱动开始位置与所述控制参数之间的预先得到的对应关系。
5.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
所述载置台装置具有驱动所述微动载置台的微动线性马达，
所述控制部被构成为包括反馈所述电磁致动器的感应电压而驱动所述电磁致动器的反馈控制***，除了所述微动线性马达的驱动力以外，还将所述电磁致动器的推力施加给所述微动载置台，
所述控制部包括对所述电磁致动器施加驱动电压的电压驱动器，
所述控制参数是针对所述电压驱动器的指令值的增益。
6.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，
所述电磁致动器包括：
作为电磁铁的E芯，配置于所述粗动载置台及所述微动载置台中的一方；以及
作为磁性材料的I芯，以与所述E芯在所述方向上面对的方式配置于所述粗动载置台及所述微动载置台中的另一方。
7.一种光刻装置，其特征在于，具有：
权利要求1所述的载置台装置；以及
搭载于所述载置台装置的原版保持部，
将由所述原版保持部保持的原版的图案转印到基板。
8.一种光刻装置，其特征在于，具有：
权利要求1所述的载置台装置；以及
搭载于所述载置台装置的基板保持部，
将原版的图案转印到由所述基板保持部保持的基板。
9.根据权利要求7所述的光刻装置，其特征在于，
所述光刻装置是一边扫描所述原版及所述基板一边对所述基板进行曝光的曝光装置。
10.根据权利要求8所述的光刻装置，其特征在于，
所述光刻装置是一边扫描所述原版及所述基板一边对所述基板进行曝光的曝光装置。
11.一种物品制造方法，其特征在于，具有：
使用权利要求7至10中的任意一项所述的光刻装置在基板上形成图案的工序；以及
对形成有所述图案的基板进行加工的工序，
根据加工后的所述基板制造物品。
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