CN112390429A - 加工液循环装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供加工液循环装置，防止停止状态的加工液循环装置的容器等中所积存的加工废液的杂菌繁殖。提供包含紫外线照射单元以及清洗单元的加工液循环装置。紫外线照射单元具有：紫外线灯；石英玻璃管，其形成围绕灯外侧且能够导入或排出气体的第1空间；以及框体，其形成围绕玻璃管外侧且能够导入或排出清水的第2空间。清洗单元具有：氧投入单元，其使氧进入至第1空间；第1配管，其将第2空间与清水容器连通；以及第2配管，其将紫外线照射单元与废液容器连通。将对进入至第1空间的氧照射紫外线而生成的臭氧混合至清水容器的清水而生成臭氧水，将该臭氧水导入至废液容器，在从废液容器至清水泵为止的通水路径中循环而进行清洗。

Description

加工液循环装置
技术领域
本发明涉及加工液循环装置，其向加工装置提供纯水等加工液。
背景技术
例如专利文献1或专利文献2所公开的加工液循环装置将从加工装置输送来的包含加工屑在内的加工废液积存于容器中，使利用泵从容器中汲上来的加工废液通过过滤器而将加工屑去除，从而生成去除了加工屑的清水。然后，加工液循环装置对所得到的清水照射紫外线而使清水中的有机物离子化，使清水通过离子交换树脂，从而使离子交换树脂吸附有机物离子和无机物离子，将清水再生为纯水。将该纯水送出至加工装置。
专利文献1：日本特开2009-190128号公报
专利文献2：日本特开2008-037695号公报
在去除了加工屑的清水中，直至即将从上述容器流动至照射紫外线的紫外线照射单元之前存在有机物。因此，在加工液循环装置停止时，杂菌会通过有机物而繁殖。当停止加工液循环装置的期间较长时，存在如下的问题：该杂菌更容易繁殖，无法通过紫外线照射而消灭杂菌，杀菌处理变得不充分。另外，当杂菌在容器的水中繁殖时，必须将该水废弃而从自来水精制纯水。从自来水精制纯水花费时间，因此产生使加工装置待机的问题。另外，还有希望将去除了加工屑的清水进行再利用而不废弃的要求。
发明内容
由此，本发明的目的在于提供加工液循环装置，在长期间停止加工液循环装置时即在长期间未向加工装置送出用于提供至加工装置的纯水时，能够防止积存于容器中以及将容器和过滤器等连通的配管中的加工废液或清水中的杂菌的繁殖。
根据本发明的一个方式，提供加工液循环装置，其中，该加工液循环装置包含：废液容器，其积存从对被加工物进行加工的加工装置排出的包含加工屑在内的加工废液；废液泵，其将加工废液从该废液容器汲上来；过滤器单元，其将利用该废液泵汲上来的加工废液的加工屑去除而精制清水；清水容器，其积存该清水；清水泵，其将清水从该清水容器汲上来；紫外线照射单元，其对该清水照射紫外线；离子交换树脂单元，其使照射了紫外线的该清水通过离子交换树脂而精制纯水；以及清洗单元，其对从该废液容器至该清水泵为止的通水路径进行清洗，该紫外线照射单元具有：紫外线灯；石英玻璃管，其形成围绕该紫外线灯的外侧的第1空间；框体，其形成围绕该石英玻璃管的外侧的第2空间；气体入口，其将气体导入至该第1空间；气体出口，其将气体从该第1空间排出；水入口，其将清水导入至该第2空间；以及水出口，其将清水从该第2空间排出，该清洗单元具有：氧投入单元，其使含氧气体进入至该第1空间；第1配管，其将该气体出口与该清水容器连通；以及第2配管，其将该水出口与该废液容器连通，将包含对进入至该第1空间的含氧气体照射紫外线而生成的臭氧在内的气体混合至该清水容器的清水中而生成臭氧水，将该臭氧水导入至该废液容器，从而按照该废液泵、该过滤器单元、该清水容器、该清水泵、该紫外线照射单元、该第2配管、该废液容器的顺序循环而进行清洗。
在本发明的一个方式中，有时该过滤器单元具有：过滤器，其构成为筒状，在中央具有投入加工废液的投入口，从侧面排出清水；托盘，其载置该过滤器；以及过滤器箱，其对该过滤器和该托盘进行收纳，该清洗单元还具有气体投入单元，该气体投入单元吸引该过滤器箱内的气体而投入至该第1空间，吸引该废液容器内的气体而投入至该第1空间，吸引该清水容器内的气体而投入至该第1空间。
在本发明的一个方式中，有时该加工液循环装置还包含将惰性气体投入至该第1空间的惰性气体投入单元，在从该紫外线照射单元向该离子交换树脂单元输送清水时，使惰性气体充满该第1空间。
根据本发明的一个方式的加工液循环装置，在长期间停止加工液循环装置时即在长期间未向加工装置送出用于提供至加工装置的纯水时，能够防止废液泵、过滤器单元、清水容器、清水泵、紫外线照射单元、第2配管、废液容器内的杂菌的繁殖。另外，由此在再次从加工液循环装置向加工装置送出纯水的情况下，能够不对加工液循环装置内的清水进行排水而进行再使用。
过滤器单元具有：过滤器，其构成为筒状，在中央具有投入加工废液的投入口，从侧面排出清水；托盘，其载置过滤器；以及过滤器箱，其对过滤器和托盘进行收纳，清洗单元还具有气体投入单元，气体投入单元吸引过滤器箱内的气体而投入至第1空间，吸引废液容器内的气体而投入至第1空间，清水容器内的气体而投入至第1空间，在该情况下，在使包含在第1空间内产生的臭氧在内的臭氧水在废液容器、过滤器单元以及清水容器中循环时，能够使在各部气化的臭氧再次聚集在第1空间内，能够防止臭氧从各部漏出到加工液循环装置的外部，例如能够消除作业者吸入臭氧的情况。
加工液循环装置还包含将惰性气体投入至第1空间的惰性气体投入单元，在从紫外线照射单元向离子交换树脂单元输送清水时(例如在从长期间未送出用于提供至加工装置的纯水的加工液循环装置再次向加工装置送出纯水时)，在使惰性气体充满第1空间的情况下，不使紫外线灯所发出的紫外线在第1空间内衰减，能够透过石英玻璃管而照射至第2空间内的清水。并且，利用未衰减的紫外线对第2空间内的清水进行充分地杀菌，使有机物分解而制成纯水，从而能够向加工装置送出高纯度的纯水。
附图说明
图1是示出加工液循环装置的构造的一例的示意性立体图。
图2是示出紫外线照射单元的构造以及使臭氧水循环的状态的紫外线照射单元、清洗单元、惰性气体投入单元、清水容器、清水泵以及废液容器的连通关系的一例的说明图。
图3是对从紫外线照射单元向离子交换树脂单元输送清水的情况进行说明的说明图。
标号说明
A：加工装置；1：加工液循环装置；20：废液容器；22：废液泵；23：加工废液流入管；24：过滤器单元导入管；241：第1过滤器单元导入管；241a：第1电磁阀；242：第2过滤器单元导入管；242a：第2电磁阀；249：压力计；3：过滤器单元；31：第1过滤器；311：筒体；312：投入口；32：第2过滤器；321：筒体；322：投入口；34：托盘；340：配管；35：过滤器箱；40：清水容器；42：清水泵；5：紫外线照射单元；50：紫外线灯；500：连接端子；59：电源；52：石英玻璃管；521：第1空间；54：框体；542：第2空间；541：底板；543：顶板；544：侧壁；55：气体入口；550：主配管；56：气体出口；57：水入口；58：水出口；6：离子交换树脂单元；61：第1离子交换单元；62：第2离子交换单元；7：清洗单元；70：氧投入单元；700：空气源；701：空气投入管；702：空气源开闭阀；71：第1配管；72：第2配管；72a：第2配管开闭阀；73：臭氧回收管路；730：排气孔；731：开闭阀；79：气体投入单元；794：吸引风扇；16：惰性气体投入单元；160：惰性气体源；161：气体投入管；162：气体源开闭阀；14：支承台；140：分隔板；17：精密过滤器；175：电阻率计；18：纯水温度调整单元。
具体实施方式
图1所示的加工装置A是在半导体器件的制造过程中使用的例如一边提供加工液(纯水)一边利用旋转的磨削磨具对被加工物(例如硅晶片等)进行磨削而薄化的磨削装置、或一边提供加工液一边使旋转的切削刀具切入至卡盘工作台所保持的被加工物而对被加工物进行切割的切削装置等。
在加工装置A上连接有本发明的加工液循环装置1。加工液循环装置1至少具有：废液容器20，其积存从一边提供加工液一边对被加工物进行加工的加工装置A排出的包含加工屑在内的加工废液；废液泵22，其将加工废液从废液容器20汲上来；过滤器单元3，其将利用废液泵22汲上来的加工废液的加工屑去除而精制清水；清水容器40，其积存清水；清水泵42，其将清水从清水容器40汲上来；紫外线照射单元5，其对清水照射紫外线；离子交换树脂单元6，其使照射了紫外线的清水通过离子交换树脂而精制纯水；以及清洗单元7，其对从废液容器20至清水泵42为止的通水路径进行清洗。
从加工装置A排出的包含加工屑(例如硅屑)在内的加工废液通过由金属配管或具有挠性的管等构成的加工废液流入管23而从加工装置A流入至废液容器20。
与废液容器20连接的废液泵22通过自身产生的负压而将废液容器20内的加工废液汲上来，并送出至连接有一端的过滤器单元导入管24。
过滤器单元导入管24的另一端侧与过滤器单元3连通。另外，例如在过滤器单元导入管24内配设有压力计249，通过压力计249能够监视废液泵22所送出的加工废液的量是否超过过滤器单元3的处理能力。
在本实施方式中，将利用废液泵22汲上来的加工废液所包含的加工屑去除而精制清水的过滤器单元3例如是由株式会社迪思科制造的商品名CC过滤器构成的单元。例如如图1所示，过滤器单元3具有第1过滤器31和第2过滤器32，在过滤器单元导入管24中流动的加工废液被导入至第1过滤器31或第2过滤器32。
筒状的第1过滤器31(第2过滤器32)例如具有：筒体311(筒体321)，其在侧面上具有多个未图示的开口；投入口312(投入口322)，其形成于筒体311(筒体321)的上表面中央，用于投入加工废液；以及未图示的筒状的滤纸，其配设于筒体311(筒体321)内。在第1过滤器31(第2过滤器32)中，从投入口312(投入口322)进入至筒状的滤纸内的加工废液在利用筒状的滤纸进行过滤之后，从筒体311(筒体321)的侧面的多个开口排出到外部。
这样构成的第1过滤器31和第2过滤器32在桶状的托盘34上并排而配设。通过第1过滤器31或第2过滤器32去除了加工屑的过滤完成的清水排出到托盘34上。在托盘34上的桶内连通有配管340的上游侧，配管340的下游侧与清水容器40连通。
第1过滤器31、第2过滤器32以及托盘34收纳于箱状的过滤器箱35内。过滤器箱35能够将气体封闭在内部。
如图1所示，过滤器单元导入管24的另一端侧分支，在第1过滤器31的投入口312连通有过滤器单元导入管24分支而成的第1过滤器单元导入管241，在第2过滤器32的投入口322连通有过滤器单元导入管24分支而成的第2过滤器单元导入管242。
在第1过滤器单元导入管241内配设有第1电磁阀241a。另外，在第2过滤器单元导入管242内配设有第2电磁阀242a。第1电磁阀241a(第2电磁阀242a)对第1过滤器单元导入管241(第2过滤器单元导入管242)与第1过滤器31(第2过滤器32)连通的状态和不连通的状态进行切换。
例如当仅利用第1过滤器31持续实施加工废液的处理时，在第1过滤器31的未图示的滤纸的内侧堆积加工屑，加工废液难以通过未图示的滤纸，从而作为过滤器的功能丧失。其结果是，压力计249测量到过滤器单元导入管24内的压力增高而超过允许值的情况。并且，进行使第1电磁阀241a为闭状态的控制，将第1过滤器单元导入管241与第1过滤器31的连通切断。另外，进行使第2电磁阀242a为开状态的控制，将第2过滤器单元导入管242与第2过滤器32连通。另外，当压力计249测量到过滤器单元导入管24内的压力增高而超过允许值的情况时，未图示的警报单元发送或画面显示出第1过滤器31的功能丧失而产生更换的需要来通知给作业者。
其结果是，通过废液泵22送出的加工废液流入至第2过滤器32，通过第2过滤器32而与第1过滤器31同样地进行处理。另外，第1过滤器31成为能够更换滤纸等的状态，因此作业者能够进行第1过滤器31的滤纸更换。即，在加工液循环装置1中，在更换第1过滤器31时，也通过第2过滤器32进行加工废液处理，因此无需使装置停止。
从托盘34经由配管340流下而贮存于清水容器40的清水通过图1所示的清水泵42汲上来，通过一端与清水泵42连接的紫外线照射单元导入管422而输送至紫外线照射单元5。
在图2中示出纵剖视构造的紫外线照射单元5具有：紫外线灯50；石英玻璃管52，其形成围绕紫外线灯50的外侧的第1空间521；框体54，其形成围绕石英玻璃管52的外侧的第2空间542；气体入口55，其将气体导入至第1空间521；气体出口56，其将气体从第1空间521排出；水入口57，其将清水导入至第2空间542；以及水出口58，其将清水从第2空间542排出。
紫外线灯50例如是将约185nm和约254nm的短波长作为主波长而高效地向侧方放射紫外线的低压汞灯，但不限于此。例如紫外线灯50呈沿上下方向(Z轴方向)延伸的柱状，例如在其上端和下端所安装的连接端子500上连接有电源59。
例如由SUS等构成的框体54形成为圆柱状，该框体54具有：底板541；与底板541对置的顶板543；以及将顶板543和底板541连结的侧壁544。
与一般的玻璃相比，石英玻璃管52具有非常高的纯度，良好地透过紫外线，该石英玻璃管52例如具有圆筒形状，其上端和下端固定于框体54的顶板543和底板541。在图2所示的例子中，在厚度方向上贯通顶板543而形成将气体导入至第1空间521的气体入口55，在厚度方向上贯通底板541而形成将气体从第1空间521排出的气体出口56。
在图2所示的例子中，在厚度方向上贯通顶板543而形成将清水导入至第2空间542的水入口57，在水入口57连接有紫外线照射单元导入管422的另一端。
在厚度方向上贯通底板541而形成将清水从第2空间542排出的水出口58。
清洗单元7对从图1、图2所示的废液容器20至清水泵42的通水路径进行清洗，该清洗单元7至少具有：氧投入单元70，其使含氧气体(空气)进入至第1空间521；第1配管71，其将气体出口56与清水容器40连通；以及第2配管72，其将紫外线照射单元5的水出口58与废液容器20连通。另外，本实施方式中的清洗单元7具有气体投入单元79，该气体投入单元79吸引过滤器单元3的过滤器箱35内的气体而投入至第1空间521，并且吸引废液容器20内的气体而投入至第1空间521，并且吸引清水容器40内的气体而投入至第1空间521。
如图2所示，在将气体导入至紫外线照射单元5的第1空间521的气体入口55中连接有主配管550。
氧投入单元70例如具有：压缩机或鼓风机等空气源(氧源)700；将主配管550与空气源700连通的空气投入管701；以及配设于空气投入管701内的空气源开闭阀702。
图1、图2所示的气体投入单元79例如具有：废液容器内气体吸引管790，其一端与废液容器20连通；箱内气体吸引管791，其一端与过滤器单元3的过滤器箱35连通；以及清水容器内气体吸引管792，其一端与清水容器40连通。并且，废液容器内气体吸引管790的另一端、箱内气体吸引管791的另一端以及清水容器内气体吸引管792的另一端经由吸引风扇794而分别与连接于气体入口55的主配管550连通。
在本实施方式中，将气体出口56与清水容器40连通的第1配管71例如如图1、图2所示那样还与清水泵42连通。另外，在第1配管71内配设有第1配管开闭阀711。
从第2配管72分支出与离子交换树脂单元6连接的离子交换导入管583。在离子交换导入管583内配设有导入管开闭阀583a，另外，在第2配管72中配设有第2配管开闭阀72a。
本实施方式的加工液循环装置1具有将惰性气体投入至图2所示的紫外线照射单元5的第1空间521的惰性气体投入单元16。惰性气体投入单元16例如具有：惰性气体源160，其储存有氮气；气体投入管161，其将主配管550与惰性气体源160连通；以及气体源开闭阀162，其配设于气体投入管161内。另外，惰性气体源160可以代替氮气而储存有氩气。
如图1所示，紫外线照射单元5例如以能够装卸的方式配设于图1所示的支承台14上。在该支承台14上按照沿Z轴方向延伸的方式竖立设置有分隔板140，紫外线照射单元5位于支承台14上的分隔板140的后侧(+Y方向侧)。另外，在支承台14上的分隔板140的后侧(+Y方向侧)，在紫外线照射单元5的旁边以能够装卸的方式配设有精密过滤器17。
本实施方式中的图1所示的离子交换树脂单元6例如具有第1离子交换单元61和第2离子交换单元62，第1离子交换单元61和第2离子交换单元62以能够装卸的方式排列配设于支承台14上的分隔板140的前侧(-Y方向侧)。
在紫外线照射单元5中进行基于紫外线照射的杀菌处理、有机物的离子化而从第2空间542(参照图2)通过水出口58排出的清水能够通过离子交换导入管583进行分流而导入至第1离子交换单元61和第2离子交换单元62。
例如在离子交换导入管583的分支的流路内分别配设有第一电磁开闭阀581和第二电磁开闭阀582。当第一电磁开闭阀581为开状态时，将利用紫外线进行了杀菌处理的清水导入至第1离子交换单元61，当第二电磁开闭阀582为开状态时，将利用紫外线进行了杀菌处理的清水导入至第2离子交换单元62。导入至第1离子交换单元61或第2离子交换单元62的清水进行离子交换而精制成纯水。例如在对第1离子交换单元61进行更换的情况下，将第一电磁开闭阀581关闭而能够暂时将清水仅导入至第2离子交换单元62。
有时在这样对清水进行离子交换而精制的纯水中混入有构成第1离子交换单元61和第2离子交换单元62的离子交换树脂的树脂屑等微细的物质。因此，使通过图1所示的第1离子交换单元61、第2离子交换单元62对清水进行离子交换而精制的纯水经由配管171而导入至精密过滤器17，通过该精密过滤器17而捕捉混入至纯水的离子交换树脂的树脂屑等微细的物质。
例如如图1所示，在上述配管171上配设有对从第1离子交换单元61和第2离子交换单元62向精密过滤器17送出的纯水的压力进行测量的压力计173，该压力计173在所测量的配管171内的压力达到规定的压力值以上时，判断为在精密过滤器17中堆积树脂屑等微细的物质而丧失作为过滤器的功能，并发送或显示出要更换精密过滤器17的警告。
另外，可以在上述配管171上配设用于对从第1离子交换单元61或第2离子交换单元62向精密过滤器17送出的纯水的电阻率进行检测的电阻率计175。
通过了上述精密过滤器17的纯水经由配管180而输送至纯水温度调整单元18。输送至纯水温度调整单元18的纯水在这里被调温成规定的温度，并提供至图1所示的加工装置A内的未图示的加工液提供单元。
以下，对下述情况下的加工液循环装置1的各结构的动作进行说明：在图1所示的加工液循环装置1中，当使装置长期间停止即长期间不送出用于提供至加工装置A的纯水时，防止在废液容器20、废液泵22、过滤器单元3、清水容器40、清水泵42、紫外线照射单元5以及将上述各结构连通的各种配管等中所积存的加工废液或清水中的杂菌的繁殖。
首先，如图2所示，在将空气源开闭阀702打开的状态下，空气源700将规定的量的空气(氧)提供至空气投入管701。该空气通过主配管550而从气体入口55流入至紫外线照射单元5的第1空间521。
另外，从电源59向紫外线灯50提供电力，从紫外线灯50同时对投入至第1空间521的包含氧的空气(气体)照射波长约为185nm的紫外线和波长约为254nm的紫外线。其结果是，进入至第1空间521的空气中的氧分子吸收波长约为185nm的紫外线，分解成氧原子。即，紫外线因含氧空气而衰减。另外，所生成的氧原子与周围的氧分子结合而生成臭氧。即，进入至第1空间521的空气具有基于所生成的臭氧(活性氧)的杀菌力。
在第1空间521内生成的臭氧(气体)从气体出口56排出，通过第1配管开闭阀711为打开状态的第1配管71而流入至清水容器40和/或清水泵42。并且，向积存于清水容器40和/或清水泵42内的清水混合臭氧，从而清水成为臭氧水。
在清水容器40和/或清水泵42中生成的臭氧水通过清水泵42汲上来，通过图1所示的紫外线照射单元导入管422而送出至紫外线照射单元5。并且，从图2所示的紫外线照射单元5的水入口57流入至第2空间542内。
流入至第2空间542内的臭氧水从水出口58排出，通过第2配管开闭阀72a打开的状态的第2配管72而流入至废液容器20。另外，从第2配管72分支的离子交换导入管583内的导入管开闭阀583a为关闭的状态，臭氧水不会流向离子交换树脂单元6。
由此，积存于废液容器20内的规定的量(例如约为60L)的加工废液通过臭氧水进行清洗。即，进行加工废液中所包含的杂菌的杀菌。然后，臭氧水通过废液泵22汲上来，进行废液泵22内的加工废液的清洗，并且一边进行管内的清洗一边在过滤器单元导入管24中流动。
在过滤器单元导入管24中流动的臭氧水流入至过滤器单元3的第1过滤器31和第2过滤器32，进一步通过两个过滤器而去除加工屑，流出到托盘34上。然后，臭氧水通过配管340而流入至清水容器40。由此，成为过滤器单元3通过臭氧水进行了杀菌清洗的状态。
另外，利用清水泵42从清水容器40汲上来的臭氧水从紫外线照射单元5的水入口57流入至第2空间542内而在与上述同样的路线中循环。
如上所述，本发明的加工液循环装置1包含紫外线照射单元5以及对从废液容器20至清水泵42的通水路径进行清洗的清洗单元7，紫外线照射单元5具有：紫外线灯50；石英玻璃管52，其形成围绕紫外线灯50的外侧的第1空间521；框体54，其形成围绕石英玻璃管52的外侧的第2空间542；气体入口55，其将气体导入至第1空间521；气体出口56，其将气体从第1空间521排出；水入口57，其将清水导入至第2空间542；以及水出口58，其将清水从第2空间542排出，清洗单元7具有：氧投入单元70，其使含氧气体进入至第1空间521；第1配管71，其将气体出口56和清水容器40连通；以及第2配管72，其将水出口58和废液容器20连通，将包含对进入至第1空间521的含氧气体照射紫外线而生成的臭氧在内的气体混合至清水容器40的清水中而生成臭氧水，将该臭氧水导入至废液容器20，从而对按照废液泵22、过滤器单元3、清水容器40、清水泵42、紫外线照射单元5、第2配管72、废液容器20的顺序循环而积存于各位置的加工废液或清水进行清洗(杀菌)，从而在长期间停止加工液循环装置1时即在长期间不从加工液循环装置1送出用于提供至加工装置A的纯水时，能够防止废液泵22、过滤器单元3、清水容器40、清水泵42、紫外线照射单元5、第2配管72、废液容器20内的杂菌的繁殖。另外，由此在再次从加工液循环装置1向加工装置A送出纯水的情况下，能够不对加工液循环装置1内的清水进行排水(废弃)而进行再利用。
本实施方式的加工液循环装置1的清洗单元7具有图1、图2所示的气体投入单元79，当开始上述加工液循环装置1内的臭氧水的循环时，气体投入单元79进行动作。
首先，向图1所示的废液容器20内导入臭氧水，从而一部分臭氧从废液容器20内的臭氧水气化，积存于废液容器20内的上方。气体投入单元79的吸引风扇794进行动作，经由废液容器内气体吸引管790而对在废液容器20内从臭氧水释放的臭氧进行吸引，另外，通过主配管550和气体入口55(参照图2)而将臭氧投入至紫外线照射单元5的第1空间521。
另外，向清水容器40导入臭氧水，从而一部分臭氧从清水容器40内的臭氧水气化，积存于清水容器40内的上方。通过吸引风扇794经由清水容器内气体吸引管792而对在清水容器40内从臭氧水释放的臭氧进行吸引，另外，通过主配管550和气体入口55而投入至紫外线照射单元5的第1空间521。
另外，向第1过滤器31或第2过滤器32导入臭氧水，从而从过滤器排出至托盘34的臭氧水中的臭氧一部分气化，积存于过滤器箱35内的上方。通过吸引风扇794经由箱内气体吸引管791而对在过滤器箱35内从臭氧水释放的臭氧进行吸引，另外，通过主配管550和气体入口55而将臭氧投入至紫外线照射单元5的第1空间521。
如上所述，本实施方式的加工液循环装置1具有气体投入单元79，从而在使包含产生在第1空间521内的臭氧在内的臭氧水在废液容器20、过滤器单元3以及清水容器40中循环时，能够将在各部发生了气化的臭氧再次聚集在第1空间521内，能够防止臭氧从该各部漏出到加工液循环装置1的外部，例如能够消除作业者吸入臭氧的情况。
以下，对在从图1、图3所示的紫外线照射单元5向离子交换树脂单元6输送清水时，即例如从如上述那样长期间未送出用于提供至加工装置A的纯水的加工液循环装置1再次向加工装置A送出纯水的情况进行说明。
首先，如图3所示，将清洗单元7的氧投入单元70的空气源开闭阀702关闭，停止对紫外线照射单元5的第1空间521的氧的投入。例如在框体54的底板541上形成有经由开闭阀731而与臭氧回收管路73连通的臭氧排气孔730，将该开闭阀731打开而将残留在第1空间521内的臭氧从臭氧排气孔730排气。另外，也可以不将臭氧从臭氧排气孔730排气至臭氧回收管路73而在氧的投入的停止后等待臭氧自行分解。
接着，在将该开闭阀731关闭之后，从惰性气体投入单元16的惰性气体源160将惰性气体(例如氮气)通过打开状态的气体源开闭阀162、气体投入管161、主配管550以及气体入口55而投入至紫外线照射单元5的第1空间521，使惰性气体充满第1空间521。另外，将第1配管开闭阀711关闭，从而惰性气体不会流向清水容器40侧。
从紫外线灯50同时照射波长约为185nm的紫外线和波长约为254nm的紫外线，两个波长的紫外线未因惰性气体而衰减，透过石英玻璃管52而到达第2空间542内的清水。并且，对该清水中的杂菌进行杀菌，另外，将清水中的有机物分解(离子化)。
另外，未向从图1、图3所示的清水容器40输送至紫外线照射单元5的第2空间542的清水中导入新的臭氧，因此残留在清水中的臭氧自行分解而消失。
另外，第2空间542内的清水从水出口58排出，通过导入管开闭阀583a打开的状态的离子交换导入管583内而流入至离子交换树脂单元6。另外，第2配管开闭阀72a关闭，清水不会流向废液容器20。
清水利用离子交换树脂单元6进行离子交换而成为纯水，进一步通过精密过滤器17而捕捉离子交换树脂的树脂屑等微细的物质之后，利用纯水温度调整单元18调整成规定的温度，提供至图1所示的加工装置A内的未图示的加工液提供单元。
本发明的加工液循环装置1具有将惰性气体投入至紫外线照射单元5的第1空间521的惰性气体投入单元16，在从紫外线照射单元5向离子交换树脂单元6输送清水时，即例如在从长期间未送出用于提供至加工装置A的纯水的加工液循环装置1再次向加工装置A送出纯水时，使惰性气体充满第1空间521，从而在第1空间521中没有氧，因此能够不使紫外线灯50所发出的紫外线的照射能量在第1空间521内衰减而透过石英玻璃管52照射至第2空间542内的清水。并且，利用未衰减的紫外线进行第2空间542内的清水的杂菌，另外使有机物分解而使有机物离子化，从而能够利用第1离子交换单元61、第2离子交换单元62吸附有机物离子，将所生成的高纯度的纯水送出至加工装置A。另外，在如上述那样再次从加工液循环装置1向加工装置A送出纯水的情况下，能够不对加工液循环装置1内的清水进行排水而进行再利用。
另外，本发明的加工液循环装置1并不限于上述实施方式，另外，对于附图所图示的各结构等，也不限于此，可以在能够发挥本发明的效果的范围内适当变更。

Claims (3)

1.一种加工液循环装置，其中，
该加工液循环装置包含：
废液容器，其积存从对被加工物进行加工的加工装置排出的包含加工屑在内的加工废液；
废液泵，其将加工废液从该废液容器汲上来；
过滤器单元，其将利用该废液泵汲上来的加工废液的加工屑去除而精制清水；
清水容器，其积存该清水；
清水泵，其将清水从该清水容器汲上来；
紫外线照射单元，其对该清水照射紫外线；
离子交换树脂单元，其使照射了紫外线的该清水通过离子交换树脂而精制纯水；以及
清洗单元，其对从该废液容器至该清水泵为止的通水路径进行清洗，
该紫外线照射单元具有：
紫外线灯；
石英玻璃管，其形成围绕该紫外线灯的外侧的第1空间；
框体，其形成围绕该石英玻璃管的外侧的第2空间；
气体入口，其将气体导入至该第1空间；
气体出口，其将气体从该第1空间排出；
水入口，其将清水导入至该第2空间；以及
水出口，其将清水从该第2空间排出，
该清洗单元具有：
氧投入单元，其使含氧气体进入至该第1空间；
第1配管，其将该气体出口与该清水容器连通；以及
第2配管，其将该水出口与该废液容器连通，
将包含对进入至该第1空间的含氧气体照射紫外线而生成的臭氧在内的气体混合至该清水容器的清水中而生成臭氧水，将该臭氧水导入至该废液容器，从而按照该废液泵、该过滤器单元、该清水容器、该清水泵、该紫外线照射单元、该第2配管、该废液容器的顺序循环而进行清洗。
2.根据权利要求1所述的加工液循环装置，其中，
该过滤器单元具有：
过滤器，其构成为筒状，在中央具有投入加工废液的投入口，从侧面排出清水；
托盘，其载置该过滤器；以及
过滤器箱，其对该过滤器和该托盘进行收纳，
该清洗单元还具有气体投入单元，该气体投入单元吸引该过滤器箱内的气体而投入至该第1空间，吸引该废液容器内的气体而投入至该第1空间，吸引该清水容器内的气体而投入至该第1空间。
3.根据权利要求1或2所述的加工液循环装置，其中，
该加工液循环装置还包含将惰性气体投入至该第1空间的惰性气体投入单元，
在从该紫外线照射单元向该离子交换树脂单元输送清水时，使惰性气体充满该第1空间。
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