CN112198414A - 电气检查装置以及保持单元 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题在于提供能够容易地提高检查对象基板的电气检查的效率的电气检查装置。本发明的一方式的电气检查装置具备：电气检查头(11)，其具有能够从检查对象基板(P)的法线方向接触该检查对象基板(P)的多个探针(11a)；切换单元(12)，其具有能够切换向多个探针(11a)的连接的电路；以及轴承(13)，其将电气检查头(11)以及切换单元(12)支承为能够绕与检查对象基板(P)的法线平行的轴旋转，电气检查头(11)与切换单元(12)以能够装卸的方式在检查对象基板(P)的法线方向直接连结。

Description

电气检查装置以及保持单元
技术领域
本发明涉及电气检查装置以及保持单元。
背景技术
在印刷基板等制造现场中，使用有使多个探针(电接触件)接触检查对象基板的测定点来检查检查对象基板的电特性的电气检查装置。
作为该电气检查装置，公知具备电气检查头和切换单元的装置，该电气检查头具有多个探针，该切换单元具有能够切换向多个探针的连接的电路。该电气检查装置以与检查对象基板的导电图案对应的方式利用切换单元切换向多个探针的电连接，从而能够高效地检查检查对象基板的电特性。
作为这种电气检查装置，也提出了具有保持部的装置，该保持部对具有多个探针的检查夹具和能够切换向多个探针的电连接的选出单元进行保持(参照日本特开2008－175595号公报)。该公报所记载的电气检查装置构成为所述保持部能够绕与检查对象基板的法线平行的旋转轴旋转。
专利文献1：日本特开2008－175595号公报
所述公报所记载的电气检查装置通过使所述保持部旋转，能够使所述检查夹具以及选出单元与保持部一体地旋转。
然而，该电气检查装置的所述选出单元在比所述检查夹具靠旋转轴的径向外侧被所述保持部保持。因此，该电气检查装置的所述选出单元的旋转所引起的惯性力矩变大，因此难以增大所述检查夹具的旋转速度。其结果，所述电气检查装置难以充分地提高电气检查效率。另外，所述电气检查装置由于所述选出单元在比所述检查夹具靠旋转轴的径向外侧被保持，因此在旋转所述选出单元时需要相对较大的避免干扰用的空间。而且，所述电气检查装置的所述选出单元的旋转所引起的惯性力矩容易变大，容易由于旋转而对各部施加负载。
发明内容
发明将要解决的课题
本发明的课题在于提供能够容易地提高检查对象基板的电气检查的效率的电气检查装置以及保持单元。
用于解决课题的手段
为了解决所述课题，本发明的一方式的电气检查装置具备：电气检查头，其具有能够从检查对象基板的法线方向接触该检查对象基板的多个探针；切换单元，其具有能够切换向所述多个探针的连接的电路；以及轴承，其将所述电气检查头以及切换单元支承为能够绕与所述法线平行的轴旋转，所述电气检查头与切换单元以能够装卸的方式在所述法线方向上直接连结。
也可以是，所述电气检查头以及切换单元在俯视时包含在所述轴承的内周缘内。
也可以是，所述切换单元以沿所述法线方向贯通所述轴承的状态配置。
也可以是，该电气检查装置具备壳体，该壳体具有筒状的主干部和底部，主干部具有与该所述法线平行的中心轴，该底部设于该主干部的所述检查对象基板侧的端部，所述底部具有供所述切换单元贯通的开口，所述轴承支承所述主干部的外周面的所述检查对象基板侧的端部。
也可以是，该电气检查装置还具备能够将所述电气检查头三维地定位的驱动机构。
本发明的其他一方式的保持单元具备：壳体，其能够将电气检查头和切换单元以在检查对象基板的法线方向上直接连结的状态进行保持，该电气检查头具有能够从所述法线方向接触检查对象基板的多个探针，该切换单元具有能够切换向所述多个探针的连接的电路；以及轴承，其将所述壳体支承为能够绕与所述法线平行的轴旋转。
发明效果
本发明的一方式的电气检查装置以及其他一方式的保持单元能够容易地提高检查对象基板的电气检查的效率。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的电气检查装置的主体的示意性的局部剖面立体图。
图2是图1的主体的局部剖面主视图。
图3是图1的主体的仰视图。
图4是表示能够驱动图1的主体的驱动机构的示意性的俯视图。
图5是表示图1的主体的检查头与切换单元的连接构造的示意性的剖面图。
图6是表示与图1的主体不同方式的主体的图2所对应的示意性的剖面图。
附图标记说明
1 主体
2 驱动机构
3 保持单元
11 电气检查头
11a 探针
11b 保持部
11c 端面
11d 对置面
11e 贯通孔
12 切换单元
12a 端面
12b 切换电路
12c 接触件
12d 弹簧
13、33 轴承
14、34 壳体
14a、34a 主干部
14b、34b 底部
14c、34c 盖部
14d、34d 支承部
14e 扩径部
14f 开口
14g 引导壁
14h 钩
15 框体
21 固定导轨
22 滑动件
23 可动导轨
24 第一移动体
25 第二移动体
25a 开口
P 检查对象基板
A 轴
具体实施方式
以下，适当地参照附图，详细说明本发明的实施方式。
[第一实施方式]
＜电气检查装置＞
如图1～图3所示，该电气检查装置具备：电气检查头11，其具有能够对检查对象基板P从与该检查对象基板P的法线方向接触的多个探针11a；切换单元12，其具有能够切换向多个探针11a的连接的电路(以下，也称作“切换电路”)；以及轴承13，其将电气检查头11以及切换单元12支承为能够绕与检查对象基板P的法线平行的轴旋转。另外，该电气检查装置具备保持电气检查头11以及切换单元12的壳体14。电气检查头11、切换单元12、轴承13以及壳体14构成该电气检查装置的主体1。另外，轴承13以及壳体14其自身构成作为本发明的一方式的保持单元3。而且，该电气检查装置如图4所示，具备能够将电气检查头11三维地定位的驱动机构2。除此之外，该电气检查装置具备使电气检查头11以及切换单元12绕轴承13的中心轴(以下，也简称作“轴A”)旋转的马达等驱动源(未图示)、能够测量检查对象基板P的导电图案的导通、绝缘、电阻、阻抗等的测量部(未图示)、以及能够固定轴承13的外圈的框体15。所述驱动源通过使壳体14旋转，使该壳体14所保持的电气检查头11以及切换单元12与壳体14一体地旋转。另外，该电气检查装置检查也可以还具备取得对象基板P的位置信息的图像处理设备(未图示)、基于由该图像处理设备取得的位置信息对驱动机构2进行驱动控制的控制器(未图示)、将检查对象基板P输送到与多个探针11a对置的位置的输送机构(未图示)等。
(检查对象基板)
检查对象基板P为板状或者片状。作为检查对象基板P，例如可列举印刷基板。作为该印刷基板，例如可列举可在薄膜状的基板之上形成多个功能部、且切出包含各功能部的部分而形成多个电子部件的基板。
(电气检查头)
电气检查头11具有多个探针11a和保持多个探针11a的保持部11b。保持部11b具有与检查对象基板P对置的底面。多个探针11a从该底面向检查对象基板P侧突出。多个探针11a被配置为能够与检查对象基板P的导电图案接触。多个探针11a例如以0.1mm前后到2mm以下左右的间距配置。作为多个探针11a的合计根数，例如能够设为2000根以上。
(切换单元)
切换单元12具有能够根据检查对象基板P的种类、检查项目切换多个探针11a与前述测量部的连接的切换电路(图1～图3中未图示)。切换单元12选择性地接通根据例如检查对象基板P的导电图案选定的一个或者多个探针11a与所述测量部的电连接。切换单元12例如按照该控制部的指示选择性地接通由包含计算机的控制部(未图示)选定的一个或者多个探针11a与所述测量部的电连接。
(壳体)
壳体14具有有着与检查对象基板P的法线平行的中心轴的筒状的主干部14a和设于主干部14a的检查对象基板P侧的端部的底部14b。另外，壳体14具有设于主干部14a的与检查对象基板P相反的一侧的端部的盖部14c、以及设于底部14b并将电气检查头11支承为能够装卸的支承部14d。另外，主干部14a、底部14b、盖部14c以及支承部14d可以是相互能够装卸，也可以不能装卸地一体形成。
主干部14a在检查对象基板P侧的端部具有扩径部14e。主干部14a优选的是圆筒状。主干部14a的中心轴与轴承13的轴A一致。主干部14a在其内部具有用于收容切换单元12的收容空间。
底部14b为板状，优选的是圆板状。底部14b封堵主干部14a的检查对象基板P侧的端部开口。底部14b与主干部14a的中心轴垂直地配置。底部14b具有供切换单元12贯通的开口14f。开口14f例如为具有对置的一对侧缘的矩形状。另外，壳体14也可以具有将切换单元12以贯通开口14f的状态固定的固定部(未图示)。
支承部14d具有安装于底部14b的底面(与检查对象基板P对置的一侧的面)的一对引导壁14g、以及安装于这些引导壁14g的底面并从该底面向检查对象基板P侧突出的一对钩14h。一对引导壁14g沿开口14f的所述一对侧缘向左右方向(与检查对象基板P的法线垂直的方向)延伸。一对引导壁14g将电气检查头11从两侧支承。一对钩14h构成为能够将电气检查头11从两侧夹住。一对钩14h构成为能够在夹住电气检查头11的状态下相对于引导壁14g沿主干部14a的中心轴向(即，检查对象基板P的法线方向)移动。
〔连接构造〕
以下，详细说明电气检查头11与切换单元12的连接构造。电气检查头11与切换单元12能够装卸地在检查对象基板P的法线方向上直接连结。
〈装卸机构〉
参照图1以及图2，对电气检查头11以及切换单元12的装卸机构进行说明。首先，切换单元12以贯通壳体14的底部14b的开口14f的状态固定于壳体14。在该固定状态下，切换单元12的与检查对象基板P对置的一侧的端面12a以从壳体14的底部14b向检查对象基板P侧突出的状态被保持。在所述固定状态下，切换单元12的端面12a与底部14b的底面平行。在所述固定状态下，切换单元12的比开口14f靠与检查对象基板P相反的一侧的部分位于壳体14的主干部14a内(前述的收容空间内)。
接下来，在前述切换单元12的固定状态下，利用一对钩14h夹住电气检查头11。电气检查头11在一对钩14h之间沿一对引导壁14g的长度方向(一对引导壁14g延伸的方向)滑动从而被一对钩14h夹住。而且，以夹住电气检查头11的状态使一对钩14h向切换单元12侧移动，从而将切换单元12的端面12a和电气检查头11的与切换单元12对置的一侧的端面11c(更详细地说是保持部11b的与切换单元12对置的一侧的端面11c)按压。由此，电气检查头11与切换单元12被连接。另外，在从切换单元12取下电气检查头11的情况下，使一对钩14h向与切换单元12相反的一侧移动、然后从一对钩14h抽出电气检查头11即可。该电气检查装置由于能够如此地从切换单元12容易地装卸电气检查头11，因此能够对应于检查对象基板P的种类等容易地更换电气检查头11。
〈电连接构造〉
接着，对电气检查头11以及切换单元12的电连接构造进行说明。该电气检查装置直接连结了电气检查头11与切换单元12。换言之，该电气检查装置通过电气检查头11与切换单元12被相互按压，从而同时将多个探针11a和能够切换向多个探针11a的电连接的切换电路电连接。
参照图5，详细说明电气检查头11以及切换单元12的电连接构造。如图5所示，电气检查头11具有从与切换单元12对置的端面11c向切换单元12侧突出的多个销11d。销11d以贯通设于端面11c的贯通孔11e的状态保持于保持部11b。销11d分别一对一地连接于探针11a。
另外，切换单元12具有与多个销11d在检查对象基板P的法线方向上一对一地对应的多个接触件12c、以及将该接触件12c向电气检查头11侧按压的弹簧12d。切换电路12b具有与多个销11d一对一地对应的触点。接触件12c在弹簧12d克服恢复力而被压缩的状态与切换电路12b的所述触点电连接。
该电气检查装置通过将切换单元12的端面12a和电气检查头11的端面11c按压，使得销11d按压接触件12c。由此，接触件12被压入切换电路12b侧，探针11a与切换电路12b电连接。该电气检查装置在弹簧12d与切换电路12b之间不具有柔性基板、线等电气布线。该电气检查装置通过以销11d按压接触件12c，能够容易地将电气检查头11与切换单元12在检查对象基板P的法线方向上直接连结。
另外，作为探针11a与切换电路12b的电连接构造，也能够采用例如在切换单元12的端面12a设置插头(未图示)、并将多个销11d嵌入该插头从而电连接的构成。
(轴承)
轴承13支承壳体14的主干部14a。轴承13的中心轴(轴A)与检查对象基板P的法线平行地配置。轴承13优选的是与检查对象基板P接近地设置。作为轴承13与检查对象基板P的距离的上限，优选的是180mm，更优选的是125mm，进一步优选的是100mm。通过使所述距离为所述上限以下，能够充分地减小轴承13的倾斜所引起的多个探针11a相对于检查对象基板P的测定点的位置偏移。由此，该电气检查装置能够充分地提高检查对象基板P的电气检查精度。另一方面，作为所述距离的下限，虽然不被特别限定，但例如出于抑制多个探针11a与检查对象基板P的不希望的接触的观点，能够设为10mm。另外，“轴承与检查对象基板的距离”的意思是轴承与检查对象基板的测定点的平均距离，例如指的是检查对象基板的法线方向上的轴承与任意的五个测定点的距离的平均值。
轴承13支承主干部14a的外周面。轴承13支承主干部14a的外周面的检查对象基板P侧的端部，更详细地说，支承主干部14a的扩径部14e的外周面。该电气检查装置由于轴承13支承主干部14a的检查对象基板P侧的端部，因此容易减小轴承13与检查对象基板P的距离。另外，该电气检查装置由于轴承13支承扩径部14e的外周面，因此容易增大轴承13的直径而高精度地调节绕轴A的旋转角度，易于相对于检查对象基板P高精度将多个探针11a定位。
轴承13的外圈固定于框体15。具体而言，轴承13的外圈利用多个螺丝固定于框体15。
如图1～图3所示，该电气检查装置的电气检查头11以及切换单元12在俯视时包含于轴承13的内周缘内。具体而言，切换单元12以在与检查对象基板P对置的端面12a侧嵌入开口14f的状态固定于壳体14。该电气检查装置的电气检查头11以及切换单元12在俯视时包含于轴承13的内周缘内，使得电气检查头11以及切换单元12的质量容易集中在主干部14a的中心轴附近。由此，该电气检查装置能够使电气检查头11以及切换单元12以较小的惯性力矩旋转，偏心变小且旋转稳定。其结果，能够迅速地将多个探针11a相对于检查对象基板P高精度定位。
切换单元12以沿检查对象基板P的法线方向贯通轴承13的状态配置。更详细地说，切换单元12以与检查对象基板P对置的端面12a侧贯通轴承13的内周缘内。该电气检查装置通过切换单元12贯通轴承13，容易使轴承13接近检查对象基板P。由此，该电气检查装置能够充分地提高电气检查精度。
(驱动机构)
作为驱动机构2，使用正交坐标型***。如图4所示，驱动机构2具有沿与Z轴(与图1中的轴A平行的轴)垂直的X轴方向延伸的固定导轨21、分别在一对固定导轨21上移动的一对滑动件22、在一对滑动件22之间沿与Z轴方向以及X轴方向垂直的Y轴方向架设的一对可动导轨23、能够在一对可动导轨23上移动的第一移动体24、以及连接于第一移动体24并具有供壳体14嵌入的开口25a第二移动体25。第二移动体25将壳体14保持为能够沿与Z轴平行的方向移动。该电气检查装置由于驱动机构2能够将电气检查头11三维地定位，因此能够容易地相对于希望的测定点将多个探针11a对位。
该电气检查装置能够利用驱动机构2进行电气检查头11的三维的定位，而且构成为能够利用前述的驱动源使电气检查头11绕轴A旋转。作为电气检查头11的绕轴A的旋转角度，虽然不被特别限定，优选的是超过360°。该电气检查装置由于电气检查头11与切换单元12在检查对象基板P的法线方向上直接连结，因此能够减小用于使电气检查头11以及切换单元12旋转的干扰避免用的空间。因此，该电气检查装置容易增大电气检查头11绕轴A的旋转角度。
＜优点＞
该电气检查装置由于电气检查头11以及切换单元12在检查对象基板P的法线方向上直接连结，因此能够使电气检查头11以及切换单元12以较小的惯性力矩旋转，能够迅速并且高精度将多个探针11a相对于检查对象基板P定位。因而，该电气检查装置能够容易地提高检查对象基板P的电气检查效率。另外，该电气检查装置能够使电气检查头11以及切换单元12以较小的惯性力矩旋转，因此能够减小该旋转所引起的各部的负载。而且，该电气检查装置由于电气检查头11以及切换单元12直接连结，因此能够提高电连接的可靠性，并且抑制部件数量的增加，能够实现装置的小型化。
＜保持单元＞
如图1以及图2所示，该保持单元3具备：壳体14，其能够将电气检查头11和切换单元12以在检查对象基板P的法线方向上直接连结的状态进行保持，该电气检查头11具有能够从该检查对象基板P的法线方向接触检查对象基板P的多个探针11a，该切换单元12具有能够切换向多个探针11a的连接的电路；以及轴承13，其将壳体14支承为能够绕与检查对象基板P的法线平行的轴A旋转。
＜优点＞
该保持单元3能够将电气检查头11以及切换单元12以沿检查对象基板P的法线方向直接连结的状态进行保持，因此能够使电气检查头11以及切换单元12以较小的惯性力矩旋转，能够迅速并且高精度将多个探针11a相对于检查对象基板P进行定位。因而，该保持单元3能够容易地提高检查对象基板P的电气检查效率。
[其他实施方式]
所述实施方式并不限定本发明的构成。因而，所述实施方式能够基于本说明书的记载以及技术常识省略、置换或者追加所述实施方式各部的构成要素，应解释为它们全部属于本发明的范围。
该电气检查装置例如如图6所示，也能够采用电气检查头11以及切换单元12在俯视时包含在轴承33的内周缘内的构成。图6的电气检查装置的壳体34具有：筒状的主干部34a，其具有与检查对象基板P的法线平行的中心轴；底部34b，其设于主干部34a的检查对象基板P侧的端部；盖部34c，其设于主干部34a的与检查对象基板P相反的一侧的端部；以及支承部34d，其设于底部34b，将电气检查头11支承为能够装卸。该电气检查装置在盖部34c的外表面配置有轴承33。该电气检查装置与图1的电气检查装置相同，通过电气检查头11以及切换单元12直接连结，能够提高电连接的可靠性。另外，该电气检查装置容易使电气检查头11以及切换单元12的质量集中在主干部34a的中心轴附近，能够使电气检查头11以及切换单元12以较小的惯性力矩旋转，偏心变小且旋转稳定。而且，该电气检查装置由于轴承33配置于盖部34c的外表面，因此容易实现装置的小型化。
所述切换单元也可以不必以沿检查对象基板的法线方向贯通轴承的状态配置。例如该电气检查装置也可以以电气检查头沿检查对象基板的法线方向贯通轴承的状态配置。根据该构成，容易减小轴承与检查对象基板的距离。另外，该电气检查装置如图6所示，也能够采用电气检查头11以及切换单元12都不贯通轴承33的构成。
所述壳体的具体构成并不限定于前述的实施方式的构成。例如所述主干部也可以不必在检查对象基板侧的端部具有扩径部。另外，所述壳体也可以构成为能够保持多个电气检查头以及/或者多个切换单元。例如，所述壳体也可以具有筒状的主干部和设于该主干部的检查对象基板侧的端部的底部，并在该底部形成有多个切换单元所贯通的多个开口。而且，也能够取代前述的壳体而使用将多个框架组合而得的框体。
所述驱动机构的具体构成并不限定于前述的实施方式的构成。例如作为所述驱动机构，也能够使用多关节机器人。
工业上的可利用性
如以上说明那样，本发明的一方式的电气检查装置适合使用于印刷基板的电气检查。

Claims (6)

1.一种电气检查装置，其特征在于，具备：
电气检查头，其具有能够从检查对象基板的法线方向接触该检查对象基板的多个探针；
切换单元，其具有能够切换向所述多个探针的连接的电路；以及
轴承，其将所述电气检查头以及切换单元支承为能够绕与所述法线平行的轴旋转；
所述电气检查头与切换单元以能够装卸的方式在所述法线方向上直接连结。
2.根据权利要求1所述的电气检查装置，其特征在于，
所述电气检查头以及切换单元在俯视时包含在所述轴承的内周缘内。
3.根据权利要求2所述的电气检查装置，其特征在于，
所述切换单元以沿所述法线方向贯通所述轴承的状态配置。
4.根据权利要求3所述的电气检查装置，其特征在于，
具备壳体，该壳体具有筒状的主干部和底部，主干部具有与该所述法线平行的中心轴，该底部设于该主干部的所述检查对象基板侧的端部，
所述底部具有供所述切换单元贯通的开口，
所述轴承支承所述主干部的外周面的所述检查对象基板侧的端部。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的电气检查装置，其特征在于，
还具备能够将所述电气检查头三维地定位的驱动机构。
6.一种保持单元，其特征在于，具备：
壳体，其能够将电气检查头和切换单元以在检查对象基板的法线方向上直接连结的状态进行保持，该电气检查头具有能够从所述法线方向接触检查对象基板的多个探针，该切换单元具有能够切换向所述多个探针的连接的电路；以及
轴承，其将所述壳体支承为能够绕与所述法线平行的轴旋转。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116316278B (zh) * 2023-05-22 2023-09-22 国网山东省电力公司诸城市供电公司 一种供电用的线路检修装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85107031A (zh) * 1985-09-20 1987-04-01 株式会社三丰制作所 坐标测量仪
JPH07312383A (ja) * 1994-05-17 1995-11-28 Tokyo Electron Ltd プローブ装置
JP2001074778A (ja) * 1999-09-08 2001-03-23 Micronics Japan Co Ltd 電気接続装置
US20030178988A1 (en) * 2002-03-22 2003-09-25 Electro Scientific Industries, Inc. Test probe alignment apparatus
JP2004104024A (ja) * 2002-09-12 2004-04-02 Ckd Corp 部品実装装置及び部品検査装置
CN101166953A (zh) * 2005-04-26 2008-04-23 瑞尼斯豪公司 探针的校准
JP2008175595A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Nidec-Read Corp 基板検査装置
WO2010053203A1 (ja) * 2008-11-05 2010-05-14 ヤマハファインテック株式会社 電気検査装置
CN102193061A (zh) * 2010-03-08 2011-09-21 雅马哈精密科技株式会社 电路基板的检查方法及检查装置
CN103713209A (zh) * 2012-09-28 2014-04-09 日本电产理德株式会社 基板检查装置和基板检查方法

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2630352B2 (ja) * 1988-04-25 1997-07-16 東京エレクトロン株式会社 基板の検査装置
JPH02243976A (ja) * 1989-03-17 1990-09-28 Nippon Seiko Kk 回路基板検査装置における接触子移動方法及びその装置
JPH0572283A (ja) * 1991-09-10 1993-03-23 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｉｃテスターの測定治具
JPH0827334B2 (ja) * 1992-11-13 1996-03-21 日東精工株式会社 基板検査装置
JPH0755885A (ja) * 1993-06-30 1995-03-03 Hitachi Ltd 電気回路基板の電気特性検査装置
JPH0915302A (ja) * 1995-06-30 1997-01-17 Olympus Optical Co Ltd 回路基板検査機の位置決め装置および位置決め方法
US6914423B2 (en) * 2000-09-05 2005-07-05 Cascade Microtech, Inc. Probe station
JP2002107411A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Ando Electric Co Ltd テストヘッドの支持台
JP2002107410A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Ando Electric Co Ltd Ｔａｂ用オートハンドラ
US7235964B2 (en) * 2003-03-31 2007-06-26 Intest Corporation Test head positioning system and method
GB0308550D0 (en) 2003-04-10 2003-05-21 Barker Colin Improvements to an automatic test machine
EP1729335B1 (en) * 2004-03-25 2019-07-17 Nabtesco Corporation Turning device for heavy object
JP5334355B2 (ja) 2005-05-27 2013-11-06 ヤマハファインテック株式会社 プリント基板の電気検査装置および電気検査方法
JP5451730B2 (ja) * 2005-11-15 2014-03-26 株式会社アドバンテスト プローブカード保持装置
JP5629545B2 (ja) * 2009-12-18 2014-11-19 株式会社日本マイクロニクス プローブカード及び検査装置
JP2013101017A (ja) 2011-11-08 2013-05-23 Nidec-Read Corp 基板検査装置
JP6327825B2 (ja) 2013-10-08 2018-05-23 日置電機株式会社 フレキシブル基板、フレキシブル基板アッセンブリ、及び基板検査装置
JP6273131B2 (ja) * 2013-11-27 2018-01-31 株式会社日本マイクロニクス 検査装置、及び検査方法
KR101754175B1 (ko) * 2014-12-27 2017-07-05 싱크-테크 시스템 코포레이션 업그레이드 기능을 구비한 테스트 기기
JP6041175B2 (ja) * 2015-03-30 2016-12-07 株式会社東京精密 プローバ
JP6520356B2 (ja) * 2015-04-28 2019-05-29 新東工業株式会社 検査装置および検査方法
JP6620990B2 (ja) * 2016-01-08 2019-12-18 株式会社東京精密 プローバ及びプローブコンタクト方法
TWI631352B (zh) * 2016-08-02 2018-08-01 旺矽科技股份有限公司 Measuring system
JP6854419B2 (ja) * 2016-09-07 2021-04-07 株式会社東京精密 プローバ

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85107031A (zh) * 1985-09-20 1987-04-01 株式会社三丰制作所 坐标测量仪
JPH07312383A (ja) * 1994-05-17 1995-11-28 Tokyo Electron Ltd プローブ装置
JP2001074778A (ja) * 1999-09-08 2001-03-23 Micronics Japan Co Ltd 電気接続装置
US20030178988A1 (en) * 2002-03-22 2003-09-25 Electro Scientific Industries, Inc. Test probe alignment apparatus
CN1639577A (zh) * 2002-03-22 2005-07-13 电子科学工业公司 测试探针对准设备
JP2004104024A (ja) * 2002-09-12 2004-04-02 Ckd Corp 部品実装装置及び部品検査装置
CN101166953A (zh) * 2005-04-26 2008-04-23 瑞尼斯豪公司 探针的校准
JP2008175595A (ja) * 2007-01-16 2008-07-31 Nidec-Read Corp 基板検査装置
WO2010053203A1 (ja) * 2008-11-05 2010-05-14 ヤマハファインテック株式会社 電気検査装置
CN102193061A (zh) * 2010-03-08 2011-09-21 雅马哈精密科技株式会社 电路基板的检查方法及检查装置
CN103713209A (zh) * 2012-09-28 2014-04-09 日本电产理德株式会社 基板检查装置和基板检查方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
MASANORI NOGUCHI: "Study on minute printed wiring board inspection system with a multi-function probe", 2009 35TH ANNUAL CONFERENCE OF IEEE INDUSTRIAL ELECTRONICS, 31 December 2009 (2009-12-31), pages 1929 - 1934 *
姜晓 等: "数据采集器电路板自动测试平台的设计与应用", 仪器仪表装置, 31 December 2017 (2017-12-31), pages 21 - 24 *

Also Published As

Publication number Publication date
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