CN109887873A - 一种高品质石英舟的生产加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种高品质石英舟的生产加工方法，属于半导体硅片载具技术领域，解决了传统石英舟生产工艺加工出的产品易形变、产品品质较差的问题。主要包括来料检、切割、加工中心加工、酸洗、纯水清洗、火加工、支承退火、酸洗、纯水清洗、封装发货等工序。本发明加工工艺生产出的产品品质高，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中产生的形变；拉绳式退火支承台结构设计使得本发明具有非常强的通用性；本发明改进成本低，退火支承台制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。
Description
技术领域
本发明属于半导体硅片载具技术领域，具体地说，尤其涉及一种操作简单、制造成本低、大幅度提高产品品质的高品质石英舟的生产加工方法。
背景技术
石英舟是一种半导体硅片承载工具，目前应用最为广泛有两个用途：1.太阳能电池片在制作过程中有一步很关键的步骤叫扩散，这个步骤中需要石英舟作为承载夹具在扩散炉固定硅太阳能电池片半成品；2.半导体硅片在制作过程中有多个工序步骤，从一道工序运输到下道工序需要石英舟承载半成品硅片，比如LED外延片生产过程中，需要多次硅片外观、产品性能检验，检验前、检验后的产品都需要石英舟承载。如说明书附图图1所示，常见的石英舟包括两侧板，以及固定在两侧板之间的两石英舟上槽棒和两石英舟下槽棒。传统石英舟的加工工艺包括以下加工流程：来料检→切割→加工中心加工→酸洗→纯水清洗→火加工→退火炉退火→酸洗→纯水清洗→封装发货。依照传统加工工艺生产出的产品品质较差，原因是在退火过程中，产品直接放置在石英架上由拉钩连同石英架推入退火炉内退火，退火结束后再由拉钩勾住石英架将产品拉出放置在石墨板上进行冷却。由于石英舟槽棒为长条状结构设计，其在高温退火过程中，容易发生形变，尤其在槽棒中心位置处，也就是在槽棒的重心位置处形变较为明显，严重影响产品的品质和企业口碑。而退火又是必不可少的工序，因为石英舟半成品在经过火加工工序后焊接处会产生应力，如果不去除应力，焊接处会发生断裂。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术存在的不足，提供了一种操作简单、制造成本低、大幅度提高产品品质的高品质石英舟的生产加工方法。
本发明是通过以下技术方案实现的：
一种高品质石英舟的生产加工方法，包括如下操作步骤：
a.来料检；
b.切割：将步骤a检验合格的石英棒按照规定尺寸要求进行切割；
c.加工中心加工；利用加工中心加工出石英棒的插片槽及石英舟的侧板；
d.酸洗：利用酸洗溶液洁净步骤c的产物；
e.纯水清洗：将步骤d的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
f.火加工：利用石英焊枪焊接步骤e的产物，将石英棒与侧板固接后，石英舟半成品成型；
g.支承退火：将步骤f的石英舟半成品推入退火炉内进行退火去应力，该石英舟半成品在炉内由退火支承台支承后放置在石英棉上，所述石英棉平铺于石英架上；退火结束后，将退火后的半成品拉出静置于石墨板上慢慢冷却；
h.酸洗：将步骤g中冷却后的产物放入酸洗溶液中进行清洗；
i.纯水清洗：将步骤h的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
j.封装发货：将步骤i中的产物进行出厂检验，将检验合格的产品封装发货。
优选地，所述退火的温度为1000-1150℃，退火时间为35-55min。
优选地，所述退火支承台包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架；
两所述耐高温支撑架上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔；在所述上槽棒拉绳通孔下方，两所述耐高温支撑架上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔；
所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳的两头，所述上槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟上槽棒的耐高温平板Ⅰ，所述上槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅰ紧贴石英舟上槽棒底端；
所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳的两头，所述下槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟下槽棒的耐高温平板Ⅱ，所述下槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅱ紧贴石英舟下槽棒底端。
优选地，所述耐高温支撑架的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述耐高温平板Ⅰ、所述耐高温平板Ⅱ的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述上槽棒耐高温拉绳和下槽棒耐高温拉绳均为耐高温陶瓷纤维绳。
优选地，所述耐高温平板Ⅰ底部开设有便于石英舟上槽棒耐高温拉绳承载的、截面呈圆弧状的凹槽；所述耐高温平板Ⅱ底部开设有便于石英舟下槽棒耐高温拉绳承载的、截面呈圆弧状的凹槽。凹槽的设计使得耐高温平板Ⅰ和耐高温平板Ⅱ稳固、不滑落。
优选地，所述步骤f中石英棒与侧板采用焊接定位治具进行预定位后再利用石英焊枪进行焊接。侧板与槽棒的组焊过程即为石英舟的火加工过程。传统侧板与槽棒的组焊方法为：先在侧板标记出各个槽棒的焊接位置，随后作业师傅根据标记的位置左手持组装部件，右手持石英焊枪，慢慢进行焊接。这种作业方式一方面对作业师傅的工作经验要求很高，另一方面定位精度受人为因素大，定位误差比较大，生产出的石英舟产品品质较差。
优选地，所述焊接定位治具包括石墨底座，所述石墨底座上设有与之固定连接的石墨侧板；所述石墨底座上还设有沿其上表体前后滑动的滑块Ⅰ和滑块Ⅱ，且所述滑块Ⅰ、滑块Ⅱ均分别与所述石墨侧板相垂直；所述滑块Ⅰ与所述滑块Ⅱ之间设有用于支承石英舟槽棒的槽棒定位支撑架；所述槽棒定位支撑架包括相对设置的两支承侧板，以及连接两所述支承侧板的连接梁，所述支承侧板包括用于支承石英舟上槽棒的一阶台阶和用于支承石英舟下槽棒的二阶台阶。定位精确度高，大幅度提高了石英舟产品品质；结构设计简单、制造容易、操作方便，大幅度提高火加工工序的加工效率；对组焊作业人员的经验要求低，企业无需花费精力培训作业人员，大幅度降低企业生产成本；制造成本低，实用性很强，应用广泛，该治具在石英舟加工技术领域同样具有重要意义。
优选地，所述一阶台阶、所述二阶台阶均设有防止槽棒径向窜动的限位凸起，所述限位凸起与所述支承侧板固定为一体。
优选地，所述石墨底座上设有两条相互平行的滑槽，所述滑块Ⅰ、所述滑块Ⅱ底部均设有沿所述滑槽滑动的滑块。
优选地，所述支承侧板两侧面顶部设有往外侧延伸的飞边，且所述飞边底部至所述支承侧板底部的距离等于所述石墨侧板的高度。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明加工工艺生产出的产品品质高，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中产生的形变；
2.拉绳式退火支承台结构设计使得本发明具有非常强的通用性，通过调节耐高温拉绳的松紧即可任意调节耐高温平板的高度，能够适用于所有规格尺寸的石英舟；
3.本发明改进成本低，退火支承台制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。
附图说明
图1是市面常见石英舟结构示意图；
图2是本发明退火支承台结构示意图；
图3是本发明退火支承台耐高温支撑架结构示意图；
图4是本发明石英架结构示意图；
图5是本发明焊接定位治具结构示意图；
图6是本发明焊接定位治具不含槽棒定位支撑架时结构示意图；
图7是本发明槽棒定位支撑架结构示意图；
图8是本发明槽棒定位支撑架侧视示意图。
图中：1.石英棉；2.石英架；3-1.耐高温支撑架；3-2.上槽棒拉绳通孔；3-3.下槽棒拉绳通孔；3-4.上槽棒耐高温拉绳；3-5.耐高温平板Ⅰ；3-6.下槽棒耐高温拉绳；3-7.耐高温平板Ⅱ；4-1.石墨底座；4-2.石墨侧板；4-3.滑块Ⅰ；4-4.滑块Ⅱ；4-5.支承侧板；4-6.连接梁；4-7.一阶台阶；4-8.二阶台阶；4-9.限位凸起；4-10.滑槽；4-11.飞边；5.石英舟上槽棒；6.石英舟下槽棒；7.侧板。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进一步说明：
一种高品质石英舟的生产加工方法，包括如下操作步骤：
a.来料检；
b.切割：将步骤a检验合格的石英棒按照规定尺寸要求进行切割；
c.加工中心加工；利用加工中心加工出石英棒的插片槽及石英舟的侧板7；
d.酸洗：利用酸洗溶液洁净步骤c的产物；
e.纯水清洗：将步骤d的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
f.火加工：利用石英焊枪焊接步骤e的产物，将石英棒与侧板7固接后，石英舟半成品成型；
g.支承退火：将步骤f的石英舟半成品推入退火炉内进行退火去应力，该石英舟半成品在炉内由退火支承台支承后放置在石英棉1上，所述石英棉1平铺于石英架2上；退火结束后，将退火后的半成品拉出静置于石墨板上慢慢冷却；
h.酸洗：将步骤g中冷却后的产物放入酸洗溶液中进行清洗；
i.纯水清洗：将步骤h的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
j.封装发货：将步骤i中的产物进行出厂检验，将检验合格的产品封装发货。
优选地，所述退火的温度为1000-1150℃，退火时间为35-55min。
优选地，所述退火支承台包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架3-1；
两所述耐高温支撑架3-1上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔3-2；在所述上槽棒拉绳通孔3-2下方，两所述耐高温支撑架3-1上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔3-3；
所述耐高温支撑架3-1上的其中一个上槽棒拉绳通孔3-2与另一个所述耐高温支撑架3-1上的其中一个上槽棒拉绳通孔3-2构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳3-4的两头，所述上槽棒耐高温拉绳3-4上设有用于支承所述石英舟上槽棒5的耐高温平板Ⅰ3-5，所述上槽棒耐高温拉绳3-4两头收紧将所述耐高温平板Ⅰ3-5紧贴石英舟上槽棒5底端；
所述耐高温支撑架3-1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3-3与另一个所述耐高温支撑架3-1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3-3构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳3-6的两头，所述下槽棒耐高温拉绳3-6上设有用于支承所述石英舟下槽棒6的耐高温平板Ⅱ3-7，所述下槽棒耐高温拉绳3-6两头收紧将所述耐高温平板Ⅱ3-7紧贴石英舟下槽棒6底端。
优选地，所述耐高温支撑架3-1的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述耐高温平板Ⅰ3-5、所述耐高温平板Ⅱ3-7的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述上槽棒耐高温拉绳3-4和下槽棒耐高温拉绳3-6均为耐高温陶瓷纤维绳。
优选地，所述耐高温平板Ⅰ3-5底部开设有便于石英舟上槽棒5耐高温拉绳3-4承载的、截面呈圆弧状的凹槽；所述耐高温平板Ⅱ3-7底部开设有便于石英舟下槽棒6耐高温拉绳3-6承载的、截面呈圆弧状的凹槽。
优选地，所述步骤f中石英棒与侧板7采用焊接定位治具进行预定位后再利用石英焊枪进行焊接。
优选地，所述焊接定位治具包括石墨底座4-1，所述石墨底座4-1上设有与之固定连接的石墨侧板4-2；所述石墨底座4-1上还设有沿其上表体前后滑动的滑块Ⅰ4-3和滑块Ⅱ4-4-4，且所述滑块Ⅰ4-3、滑块Ⅱ4-4-4均分别与所述石墨侧板4-2相垂直；所述滑块Ⅰ4-3与所述滑块Ⅱ4-4-4之间设有用于支承石英舟槽棒的槽棒定位支撑架；所述槽棒定位支撑架包括相对设置的两支承侧板4-5，以及连接两所述支承侧板4-5的连接梁4-6，所述支承侧板4-5包括用于支承石英舟上槽棒5的一阶台阶4-7和用于支承石英舟下槽棒6的二阶台阶4-8。
优选地，所述一阶台阶4-7、所述二阶台阶4-8均设有防止槽棒径向窜动的限位凸起4-9，所述限位凸起4-9与所述支承侧板4-5固定为一体。
优选地，所述石墨底座4-1上设有两条相互平行的滑槽4-10，所述滑块Ⅰ4-3、所述滑块Ⅱ4-4-4底部均设有沿所述滑槽4-10滑动的滑块。
优选地，所述支承侧板4-5两侧面顶部设有往外侧延伸的飞边4-11，且所述飞边4-11底部至所述支承侧板4-5底部的距离等于所述石墨侧板4-2的高度。
实施例1：
本实施例包括如下操作步骤：
a.来料检；
b.切割：将步骤a检验合格的石英棒按照规定尺寸要求进行切割；
c.加工中心加工；利用加工中心加工出石英棒的插片槽及石英舟的侧板7；
d.酸洗：利用酸洗溶液洁净步骤c的产物；
e.纯水清洗：将步骤d的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
f.火加工：利用石英焊枪焊接步骤e的产物，将石英棒与侧板7固接后，石英舟半成品成型；
g.支承退火：将步骤f的石英舟半成品推入退火炉内进行退火去应力，该石英舟半成品在炉内由退火支承台支承后放置在石英棉1上，石英棉1平铺于石英架2上；退火结束后，将退火后的半成品拉出静置于石墨板上慢慢冷却；如说明书附图图4所示，石英架2是由多个石英棒构成的网状结构，网状结构便于拉钩推拉。石英棉1铺设在石英架2上，石英棉在此处主要起缓冲、增加阻力作用，避免拉钩在推拉石英架2过程石英舟相对石英架2产生滑动而损坏产品。
h.酸洗：将步骤g中冷却后的产物放入酸洗溶液中进行清洗；
i.纯水清洗：将步骤h的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
j.封装发货：将步骤i中的产物进行出厂检验，将检验合格的产品封装发货。
本实施例的退火支承台包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架3-1；两耐高温支撑架3-1上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔3-2；在上槽棒拉绳通孔3-2下方，两耐高温支撑架3-1上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔3-3；耐高温支撑架3-1上的其中一个上槽棒拉绳通孔3-2与另一个耐高温支撑架3-1上的其中一个上槽棒拉绳通孔3-2构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳3-4的两头，上槽棒耐高温拉绳3-4上设有用于支承石英舟上槽棒5的耐高温平板Ⅰ3-5，上槽棒耐高温拉绳3-4两头收紧将耐高温平板Ⅰ3-5紧贴石英舟上槽棒5底端；耐高温支撑架3-1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3-3与另一个耐高温支撑架3-1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3-3构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳3-6的两头，下槽棒耐高温拉绳3-6上设有用于支承石英舟下槽棒6的耐高温平板Ⅱ3-7，下槽棒耐高温拉绳3-6两头收紧将耐高温平板Ⅱ3-7紧贴石英舟下槽棒6底端。
具体使用方法为：两耐高温支撑架3-1位置相对应的两个上槽棒拉绳通孔之间设有上槽棒耐高温拉绳3-4，上槽棒耐高温拉绳3-4一头穿过其中一个上槽棒拉绳通孔并打结固定，另一头穿过另外一个上槽棒拉绳通孔以备用；同理操作另外一对槽棒拉绳通孔。在两根上槽棒耐高温拉绳3-4上支承耐高温平板Ⅰ3-5，此时收紧两根上槽棒耐高温拉绳3-4直至耐高温平板Ⅰ3-5紧贴石英舟上槽棒5，收紧后将上槽棒耐高温拉绳3-4的另一头打结固定。以同样的方法将耐高温平板Ⅱ3-7紧贴在石英舟下槽棒6下方。耐高温平板Ⅰ3-5、耐高温平板Ⅱ3-7的支承，有效阻止了石英舟槽棒在退火过程发生形变的可能性。
本实施例加工工艺生产出的产品品质高，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中产生的形变；拉绳式退火支承台结构设计使得本实施例具有非常强的通用性，通过调节耐高温拉绳的松紧即可任意调节耐高温平板的高度，能够适用于所有规格尺寸的石英舟；本实施例改进成本低，退火支承台制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。
实施例2：
本实施例包括如下操作步骤：
a.来料检；
b.切割：将步骤a检验合格的石英棒按照规定尺寸要求进行切割；
c.加工中心加工；利用加工中心加工出石英棒的插片槽及石英舟的侧板7；
d.酸洗：利用酸洗溶液洁净步骤c的产物；
e.纯水清洗：将步骤d的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
f.火加工：利用石英焊枪焊接步骤e的产物，将石英棒与侧板7固接后，石英舟半成品成型；
g.支承退火：将步骤f的石英舟半成品推入退火炉内进行退火去应力，该石英舟半成品在炉内由退火支承台支承后放置在石英棉1上，石英棉1平铺于石英架2上；退火结束后，将退火后的半成品拉出静置于石墨板上慢慢冷却；如说明书附图图4所示，石英架2是由多个石英棒构成的网状结构，网状结构便于拉钩推拉。石英棉1铺设在石英架2上，石英棉在此处主要起缓冲、增加阻力作用，避免拉钩在推拉石英架2过程石英舟相对石英架2产生滑动而损坏产品；
h.酸洗：将步骤g中冷却后的产物放入酸洗溶液中进行清洗；
i.纯水清洗：将步骤h的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
j.封装发货：将步骤i中的产物进行出厂检验，将检验合格的产品封装发货。
本实施例的退火支承台包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架3-1；两耐高温支撑架3-1上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔3-2；在上槽棒拉绳通孔3-2下方，两耐高温支撑架3-1上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔3-3；耐高温支撑架3-1上的其中一个上槽棒拉绳通孔3-2与另一个耐高温支撑架3-1上的其中一个上槽棒拉绳通孔3-2构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳3-4的两头，上槽棒耐高温拉绳3-4上设有用于支承石英舟上槽棒5的耐高温平板Ⅰ3-5，上槽棒耐高温拉绳3-4两头收紧将耐高温平板Ⅰ3-5紧贴石英舟上槽棒5底端；耐高温支撑架3-1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3-3与另一个耐高温支撑架3-1上的其中一个下槽棒拉绳通孔3-3构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳3-6的两头，下槽棒耐高温拉绳3-6上设有用于支承石英舟下槽棒6的耐高温平板Ⅱ3-7，下槽棒耐高温拉绳3-6两头收紧将耐高温平板Ⅱ3-7紧贴石英舟下槽棒6底端。
具体使用方法为：两耐高温支撑架3-1位置相对应的两个上槽棒拉绳通孔之间设有上槽棒耐高温拉绳3-4，上槽棒耐高温拉绳3-4一头穿过其中一个上槽棒拉绳通孔并打结固定，另一头穿过另外一个上槽棒拉绳通孔以备用；同理操作另外一对槽棒拉绳通孔。在两根上槽棒耐高温拉绳3-4上支承耐高温平板Ⅰ3-5，此时收紧两根上槽棒耐高温拉绳3-4直至耐高温平板Ⅰ3-5紧贴石英舟上槽棒5，收紧后将上槽棒耐高温拉绳3-4的另一头打结固定。以同样的方法将耐高温平板Ⅱ3-7紧贴在石英舟下槽棒6下方。耐高温平板Ⅰ3-5、耐高温平板Ⅱ3-7的支承，有效阻止了石英舟槽棒在退火过程发生形变的可能性。
本实施例加工工艺生产出的产品品质高，槽棒由耐高温平板支承，有效防止槽棒在退火过程中产生的形变；拉绳式退火支承台结构设计使得本实施例具有非常强的通用性，通过调节耐高温拉绳的松紧即可任意调节耐高温平板的高度，能够适用于所有规格尺寸的石英舟；本实施例改进成本低，退火支承台制造成本低，操作使用方便快捷，实用性很强，应用广泛，在石英舟加工技术领域具有重要意义。
本实施例在步骤f中石英棒与侧板7采用焊接定位治具进行预定位后再利用石英焊枪进行焊接。
该焊接定位治具包括石墨底座4-1、与石墨底座4-1固定连接的石墨侧板4-2；石墨底座4-1上设有沿其上表体前后滑动的、且相对设置的滑块Ⅰ4-3和滑块Ⅱ4-4，滑块Ⅰ4-3、滑块Ⅱ4-4均分别与石墨侧板4-2相垂直；滑块Ⅰ4-3与滑块Ⅱ4-4之间设有用于支承石英舟槽棒的槽棒定位支撑架；槽棒定位支撑架包括相对设置的两支承侧板4-5，以及连接两支承侧板4-5的连接梁4-6，支承侧板4-5包括用于支承石英舟上槽棒5的一阶台阶4-7和用于支承石英舟下槽棒6的二阶台阶4-8。本实施例的石墨侧板4-2设置在石墨底座4-1上，支承侧板4-5两侧面顶部设有往外侧延伸的飞边4-11，且飞边4-11底部至支承侧板4-5底部的距离等于石墨侧板4-2的高度,飞边的设计能够使槽棒定位支撑架与石墨侧板4-2更好地贴合，也便于作业人员观察定位支撑架是否与石墨侧板内侧面贴合。石墨侧板4-2采用G字夹与石墨底座4-1可拆卸式紧固连接。本实施例一阶台阶、二阶台阶上均设有防止槽棒径向窜动的限位凸起4-9，限位凸起4-9与支承侧板固定为一体。夹紧支承侧板过程中，会触碰到槽棒，槽棒的位置会发生移动，需要不断调整，影响定位效率，限位凸起4-9的设计能够有效防止槽棒在径向方向上发生窜位，节省定位时间，提供作业人员工作效率。本实施例的石墨底座上设有两条相互平行的滑槽4-10，滑块Ⅰ、滑块Ⅱ底部均设有沿滑槽滑动的滑块，滑槽的设计不仅使本治具使用方便，也提高了整个治具的稳定性。
本实施例的具体使用方法为：先将滑块Ⅰ4-3、滑块Ⅱ4-4分别往外侧移动，空留出槽棒定位支撑架的位置，将定位支撑架的侧面紧贴石墨侧板4-2内侧面，随后将上槽棒、下槽棒依次放入一阶台阶和二阶台阶，并且在放置时上槽棒紧贴一阶台阶的角落，下槽棒紧贴二阶台阶的角落。放置好后，再在槽棒的末端与滑块之间***支承侧板4-5，支承侧板4-5内侧面紧贴石墨侧板4-2内侧面，慢慢往内侧方向推动滑块Ⅰ4-3和滑块Ⅱ4-4，直至两滑块将支承侧板和槽棒夹紧，起到对石英舟部件的定位作用，定位好后由作业人员对焊接处进行焊接。
本实施例定位精确度高，大幅度提高了石英舟产品品质；结构设计简单、制造容易、操作方便，大幅度提高火加工工序的加工效率；对组焊作业人员的经验要求低，企业无需花费精力培训作业人员，大幅度降低企业生产成本；制造成本低，实用性很强，应用广泛，该治具在石英舟加工技术领域同样具有重要意义。
综上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的范围，凡依本发明权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本发明的权利要求范围内。
Claims (10)
1.一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于，包括如下操作步骤：
a.来料检；
b.切割：将步骤a检验合格的石英棒按照规定尺寸要求进行切割；
c.加工中心加工；利用加工中心加工出石英棒的插片槽及石英舟的侧板；
d.酸洗：利用酸洗溶液洁净步骤c的产物；
e.纯水清洗：将步骤d的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
f.火加工：利用石英焊枪焊接步骤e的产物，将石英棒与侧板固接后，石英舟半成品成型；
g.支承退火：将步骤f的石英舟半成品推入退火炉内进行退火去应力，该石英舟半成品在炉内由退火支承台支承后放置在石英棉上，所述石英棉平铺于石英架上；退火结束后，将退火后的半成品拉出静置于石墨板上慢慢冷却；
h.酸洗：将步骤g中冷却后的产物放入酸洗溶液中进行清洗；
i.纯水清洗：将步骤h的产物放入纯水中进行清洗，清洗后自然晾干；
j.封装发货：将步骤i中的产物进行出厂检验，将检验合格的产品封装发货。
2.根据权利要求1所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述退火的温度为1000-1150℃，退火时间为35-55min。
3.根据权利要求1所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述退火支承台包括相对设置在石英舟两长侧面外侧的两个耐高温支撑架；
两所述耐高温支撑架上均设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的上槽棒拉绳通孔；在所述上槽棒拉绳通孔下方，两所述耐高温支撑架上还设有至少两个在同一水平线上的、间隔分布的下槽棒拉绳通孔；
所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个上槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接上槽棒耐高温拉绳的两头，所述上槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟上槽棒的耐高温平板Ⅰ，所述上槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅰ紧贴石英舟上槽棒底端；
所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔与另一个所述耐高温支撑架上的其中一个下槽棒拉绳通孔构成一对拉绳通孔，该一对拉绳通孔分别连接下槽棒耐高温拉绳的两头，所述下槽棒耐高温拉绳上设有用于支承所述石英舟下槽棒的耐高温平板Ⅱ，所述下槽棒耐高温拉绳两头收紧将所述耐高温平板Ⅱ紧贴石英舟下槽棒底端。
4.根据权利要求3所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述耐高温支撑架的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述耐高温平板Ⅰ、所述耐高温平板Ⅱ的材质为耐高温陶瓷纤维无机板；所述上槽棒耐高温拉绳和下槽棒耐高温拉绳均为耐高温陶瓷纤维绳。
5.根据权利要求3或4所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述耐高温平板Ⅰ底部开设有便于石英舟上槽棒耐高温拉绳承载的、截面呈圆弧状的凹槽；所述耐高温平板Ⅱ底部开设有便于石英舟下槽棒耐高温拉绳承载的、截面呈圆弧状的凹槽。
6.根据权利要求1所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述步骤f中石英棒与侧板采用焊接定位治具进行预定位后再利用石英焊枪进行焊接。
7.根据权利要求6所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述焊接定位治具包括石墨底座，所述石墨底座上设有与之固定连接的石墨侧板；所述石墨底座上还设有沿其上表体前后滑动的滑块Ⅰ和滑块Ⅱ，且所述滑块Ⅰ、滑块Ⅱ均分别与所述石墨侧板相垂直；所述滑块Ⅰ与所述滑块Ⅱ之间设有用于支承石英舟槽棒的槽棒定位支撑架；所述槽棒定位支撑架包括相对设置的两支承侧板，以及连接两所述支承侧板的连接梁，所述支承侧板包括用于支承石英舟上槽棒的一阶台阶和用于支承石英舟下槽棒的二阶台阶。
8.根据权利要求7所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述一阶台阶、所述二阶台阶均设有防止槽棒径向窜动的限位凸起，所述限位凸起与所述支承侧板固定为一体。
9.根据权利要求7所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述石墨底座上设有两条相互平行的滑槽，所述滑块Ⅰ、所述滑块Ⅱ底部均设有沿所述滑槽滑动的滑块。
10.根据权利要求7所述的一种高品质石英舟的生产加工方法，其特征在于：所述支承侧板两侧面顶部设有往外侧延伸的飞边，且所述飞边底部至所述支承侧板底部的距离等于所述石墨侧板的高度。
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