CN112079120B - 一种晶圆储存盒卸料用压紧机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，包括机架，所述机架的顶板上安装有提升机构，提升机构的提升板处于机架的顶板的正上方，提升板的顶面固定有横向移动机构，横向移动机构的横向移动块的顶面固定有连接板，连接板的顶面上固定有延伸连接板，延伸连接板的端部顶面固定有压紧气缸，压紧气缸的推杆穿过延伸连接板的端部底面并固定有导向板，导向板的底面中部固定有压紧支撑柱，压紧支撑柱的底面固定有防护弹性块。本发明可以将放置在放料台上的晶圆储存盒压紧，方便输送小车的安装板提升与晶圆储存盒分离，无需人工辅助拆卸，其自动化程度高，效果好。

Description

一种晶圆储存盒卸料用压紧机构
技术领域
本发明涉及半导体制作技术领域，更具体的说涉及一种晶圆储存盒卸料用压紧机构。
背景技术
现有的半导体设备中，其需要将晶圆多个放置的密封的储存盒中，然后，需要用输送小车或人工输送，将其放置在放料台上，而人工输送放置一般效果差，人工劳动量大，采用输送小车输送，其在晶圆储存盒的顶部会设置固定装置，将晶圆储存盒固定进行输送，其输送到位后，会放置到放料台上，此时，固定装置需要拆卸，现有的固定装置一般采用球头柱塞等进行自动卡置，其拆卸时，需要将其从球头柱塞中拔出，其需要人工辅助操作，效果差，自动化程度有限。
发明内容
本发明的目的就是针对现有技术之不足，而提供一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，它可以将放置在放料台上的晶圆储存盒压紧，方便输送小车的安装板提升与晶圆储存盒分离，无需人工辅助拆卸，其自动化程度高，效果好。
本发明的技术解决措施如下：
一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，包括机架，所述机架的顶板上安装有提升机构，提升机构的提升板处于机架的顶板的正上方，提升板的顶面固定有横向移动机构，横向移动机构的横向移动块的顶面固定有连接板，连接板的顶面上固定有延伸连接板，延伸连接板的端部顶面固定有压紧气缸，压紧气缸的推杆穿过延伸连接板的端部底面并固定有导向板，导向板的底面中部固定有压紧支撑柱，压紧支撑柱的底面固定有防护弹性块；
所述晶圆储存盒的顶部设有卡置定位柱，卡置定位柱用于与晶圆储存盒上方的安装板进行配合定位，工作时通过防护弹性块压紧卡置定位柱，提升分离安装板。
所述提升机构包括提升电机，提升电机固定在机架的顶板的底面中部，提升电机的输出轴穿过机架的顶板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套，竖直螺杆螺接在竖直螺套中，竖直螺杆的顶端固定有提升板。
所述提升板的底面固定有多个竖直导向杆，竖直导向杆插套在机架的顶板上具有的导向通孔中，所有竖直导向杆的底端伸出导向通孔的底面并固定在同一个限位环形块的顶面上。
所述机架的顶板的顶面上固定有多个导向套，竖直导向杆插套在对应的导向套中。
所述横向移动机构包括固定在提升板的顶面的左部和右部的竖直板，横向移动螺杆的两端通过轴承铰接在两个竖直板上，其中一个竖直板的外侧壁上固定有移动电机，移动电机带动横向移动螺杆转动，横向移动块螺接在横向移动螺杆上。
两个竖直板之间的提升板的顶面上固定有导向条，横向移动块的底面固定有滑块，导向条插套在滑块的底面成型有的滑槽中。
所述导向板的顶面固定有多个上导向杆，上导向杆插套在延伸连接板上具有的上导向通孔中。
所述延伸连接板的顶面上固定有上导向套体，上导向杆插套在对应的上导向套体中。
本发明的有益效果在于：其可以将放置在放料台上的晶圆储存盒压紧，方便输送小车的安装板提升与晶圆储存盒分离，无需人工辅助拆卸，其自动化程度高，效果好。
附图说明
图1为本发明的局部剖视图；
图2为图1的局部放大图；
图3为本发明的压紧支撑柱与放料台上放置晶圆储存盒时压紧状态的局部结构示意图。
具体实施方式
实施例：见图1至3所示，一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，包括机架10，所述机架10的顶板上安装有提升机构20，提升机构20的提升板21处于机架10的顶板的正上方，提升板21的顶面固定有横向移动机构30，横向移动机构30的横向移动块31的顶面固定有连接板40，连接板40的顶面上固定有延伸连接板41，延伸连接板41的端部顶面固定有压紧气缸42，压紧气缸42的推杆穿过延伸连接板41的端部底面并固定有导向板43，导向板43的底面中部固定有压紧支撑柱44，压紧支撑柱44的底面固定有防护弹性块45。
所述晶圆储存盒100的顶部设有卡置定位柱101，卡置定位柱101用于与晶圆储存盒100上方的安装板200进行配合定位，工作时通过防护弹性块45压紧卡置定位柱101，提升分离安装板200。
进一步的说，所述提升机构20包括提升电机22，提升电机22固定在机架10的顶板的底面中部，提升电机22的输出轴穿过机架10的顶板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套23，竖直螺杆24螺接在竖直螺套23中，竖直螺杆24的顶端固定有提升板21。
进一步的说，所述提升板21的底面固定有多个竖直导向杆25，竖直导向杆25插套在机架10的顶板上具有的导向通孔11中，所有竖直导向杆25的底端伸出导向通孔11的底面并固定在同一个限位环形块26的顶面上。
进一步的说，所述机架10的顶板的顶面上固定有多个导向套12，竖直导向杆25插套在对应的导向套12中。
进一步的说，所述横向移动机构30包括固定在提升板21的顶面的左部和右部的竖直板32，横向移动螺杆33的两端通过轴承铰接在两个竖直板32上，其中一个竖直板32的外侧壁上固定有移动电机34，移动电机34的输出轴为花键轴，花键轴插套在横向移动螺杆33的一端具有的花键孔中，移动电机34带动横向移动螺杆33转动，横向移动块31螺接在横向移动螺杆33上。
进一步的说，两个竖直板32之间的提升板21的顶面上固定有导向条1，横向移动块31的底面固定有滑块35，导向条1插套在滑块35的底面成型有的滑槽中。
进一步的说，所述导向板43的顶面固定有多个上导向杆46，上导向杆46插套在延伸连接板41上具有的上导向通孔411中。
进一步的说，所述延伸连接板41的顶面上固定有上导向套体47，上导向杆46插套在对应的上导向套体47中。
本实施例在使用时，如图3所示，当晶圆储存盒100放置在放料台上后，通过提升电机22运行，可以实现提升板21的高低位置调节，保证压紧支撑柱44与晶圆储存盒100的顶部的卡置定位柱101之间的位置，然后，通过移动电机34运行，使得压紧支撑柱44移动至卡置定位柱101的顶面的正上方，然后，通过压紧气缸42的推杆推动，使得压紧支撑柱44下降，使得防护弹性块45压靠在卡置定位柱101的顶面上，此时，晶圆储存盒100的上方的安装板200其进行提升(其通过输送小车上的输送带卷绕收缩，将安装板200提升)，在提升时，由于防护弹性块45压靠在卡置定位柱101的顶面上，使得安装板200的底面中部固定有的定位套201一起提升，使得定位套201的内侧壁上固定有的球头柱塞300的钢球从卡置定位柱101的外侧壁上成型有的定位凹孔中移出，实现安装板200与晶圆储存盒100分离，然后，压紧气缸42的推杆回缩，同时，移动电机34运行，使得压紧支撑柱44横向移动回位，然后，输送小车上的输送带继续卷绕，将安装板200彻底提升回位，实现卸料，其自动化程度高，效果好。

Claims (8)

1.一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，包括机架(10)，其特征在于：所述机架(10)的顶板上安装有提升机构(20)，提升机构(20)的提升板(21)处于机架(10)的顶板的正上方，提升板(21)的顶面固定有横向移动机构(30)，横向移动机构(30)的横向移动块(31)的顶面固定有连接板(40)，连接板(40)的顶面上固定有延伸连接板(41)，延伸连接板(41)的端部顶面固定有压紧气缸(42)，压紧气缸(42)的推杆穿过延伸连接板(41)的端部底面并固定有导向板(43)，导向板(43)的底面中部固定有压紧支撑柱(44)，压紧支撑柱(44)的底面固定有防护弹性块(45)；
所述晶圆储存盒(100)的顶部设有卡置定位柱(101)，卡置定位柱(101)用于与晶圆储存盒(100)上方的安装板(200)进行配合定位，工作时通过防护弹性块(45)压紧卡置定位柱(101)，提升分离安装板(200)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，其特征在于：所述提升机构(20)包括提升电机(22)，提升电机(22)固定在机架(10)的顶板的底面中部，提升电机(22)的输出轴穿过机架(10)的顶板的顶面并通过联轴器连接有竖直螺套(23)，竖直螺杆(24)螺接在竖直螺套(23)中，竖直螺杆(24)的顶端固定有提升板(21)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，其特征在于：所述提升板(21)的底面固定有多个竖直导向杆(25)，竖直导向杆(25)插套在机架(10)的顶板上具有的导向通孔(11)中，所有竖直导向杆(25)的底端伸出导向通孔(11)的底面并固定在同一个限位环形块(26)的顶面上。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，其特征在于：所述机架(10)的顶板的顶面上固定有多个导向套(12)，竖直导向杆(25)插套在对应的导向套(12)中。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，其特征在于：所述横向移动机构(30)包括固定在提升板(21)的顶面的左部和右部的竖直板(32)，横向移动螺杆(33)的两端通过轴承铰接在两个竖直板(32)上，其中一个竖直板(32)的外侧壁上固定有移动电机(34)，移动电机(34)带动横向移动螺杆(33)转动，横向移动块(31)螺接在横向移动螺杆(33)上。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，其特征在于：两个竖直板(32)之间的提升板(21)的顶面上固定有导向条(1)，横向移动块(31)的底面固定有滑块(35)，导向条(1)插套在滑块(35)的底面成型有的滑槽中。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，其特征在于：所述导向板(43)的顶面固定有多个上导向杆(46)，上导向杆(46)插套在延伸连接板(41)上具有的上导向通孔(411)中。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆储存盒卸料用压紧机构，其特征在于：所述延伸连接板(41)的顶面上固定有上导向套体(47)，上导向杆(46)插套在对应的上导向套体(47)中。
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