CN111816612A - 显示面板的制作方法、显示面板母板 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显示面板的制作方法，包括：提供玻璃基板；在所述玻璃基板上制作凸起结构；在所述玻璃基板与所述凸起结构上制作柔性衬底，所述柔性衬底划分为弯折区与非弯折区，所述凸起结构的正投影落入所述柔性衬底的弯折区的正投影中；将所述柔性衬底与所述玻璃基板剥离；在所述剥离过程中，所述柔性衬底与所述凸起结构分离，所述柔性衬底的弯折区的厚度小于所述非弯折区的厚度。本发明实施例通过在玻璃基板和凸起结构上制作柔性衬底，使得柔性衬底的弯折区覆盖凸起结构，将柔性衬底与玻璃基板剥离的过程中，柔性衬底与凸起结构分离，柔性衬底的弯折区的厚度小于非弯折区的厚度，一定程度上提高了弯折区的耐弯折性能，提升了用户体验。

Description

显示面板的制作方法、显示面板母板
技术领域
本申请涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种显示面板的制作方法以及显示面板母板。
背景技术
近年来，随着显示技术的不断发展，显示面板制造技术也趋于成熟，现有的显示面板主要包括有机电致发光显示面板(Organic Light Emitting Diode，OLED)、液晶显示面板(Liquid Crystal Display，LCD)、电泳显示面板(Electrophoresis Display，EPD等)。当今，对于便携式设备(例如移动电话、平板电脑等)的公共需求不断增加。可折叠显示装置由于具有易携带、大尺寸屏幕等优势，而逐渐进入公众的视野中。
发明内容
为了克服上述技术背景中所提及的技术问题，本申请实施例提供一种显示面板的制作方法与显示面板母板。
第一方面，本发明提供一种显示面板的制作方法，包括：
提供玻璃基板；
在所述玻璃基板上制作凸起结构；
在所述玻璃基板与所述凸起结构上制作柔性衬底，所述柔性衬底划分为弯折区与非弯折区，所述凸起结构的正投影落入所述柔性衬底的弯折区的正投影中；
将所述柔性衬底与所述玻璃基板剥离；
在所述剥离过程中，所述柔性衬底与所述凸起结构分离，所述柔性衬底的弯折区的厚度小于所述非弯折区的厚度。
进一步地，所述在所述玻璃基板上制作凸起结构包括：
在所述玻璃基板上通过CVD工艺或者金属溅射工艺制作所述凸起结构。
进一步地，所述在所述玻璃基板与所述凸起结构上制作柔性衬底包括：
通过涂布工艺在所述玻璃基板与所述凸起结构上制作柔性衬底，且所述柔性衬底覆盖所述凸起结构远离所述玻璃基板的表面。
进一步地，所述凸起结构的厚度从其中心向边缘逐渐减小。
进一步地，所述凸起结构的厚度小于所述柔性衬底的厚度。
进一步地，所述凸起结构在所述玻璃基板上的正投影面积小于等于所述柔性衬底的弯折区在所述玻璃基板上的正投影面积。
进一步地，所述凸起结构的材质选自氧化硅、ITO、IGZO、Mo、Ti的至少一种。
进一步地，在制作所述柔性衬底之后，在将所述柔性衬底与所述玻璃基板剥离之前，还包括：
在所述柔性衬底上制备薄膜晶体管层与发光功能层。
进一步地，将所述柔性衬底与所述玻璃基板剥离包括：
对所述玻璃基板与所述柔性衬底施加激光照射，使所述柔性衬底从所述玻璃基板与所述凸起结构上剥离。
另一方面，本发明实施例提供一种显示面板母板，包括：
依次层叠设置的玻璃基板、凸起结构与柔性衬底；
所述柔性衬底划分为弯折区与非弯折区，所述柔性衬底的弯折区覆盖所述凸起结构，所述柔性衬底可从所述玻璃基板与所述凸起结构上剥离，以使所述柔性衬底的弯折区的厚度小于所述非弯折区的厚度。
本发明实施例通过在玻璃基板上制作凸起结构，在玻璃基板和凸起结构上制作柔性衬底，使得柔性衬底的弯折区覆盖凸起结构，将柔性衬底与玻璃基板剥离的过程中，柔性衬底与凸起结构分离，柔性衬底的弯折区的厚度小于非弯折区的厚度，一定程度上提高了弯折区的耐弯折性能，提升了用户体验。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为一实施例的显示面板的制作方法流程示意图。
图2为一实施例的显示面板母板的结构示意图。
图3为一实施例的显示面板母板的结构示意图。
图4为一实施例的显示面板的结构示意图。
附图标记说明：101-玻璃基板；102-凸起结构；103-柔性衬底；1031-柔性衬底的弯折区；1032-柔性衬底的非弯折区；104-薄膜晶体管层；105-发光功能层。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例中的特征可以相互结合。
发明人在制备显示面板的过程中发现，柔性衬底的弯折区由于经历多次弯折与展平的步骤，弯折区容易产生褶皱导致失效，影响用户体验。发明人注意到，可以将弯折区的结构进行改进，提升弯折区的耐弯折性能。
第一方面，本申请实施例提供一种显示面板的制作方法，具体地，请参考图1与图2。首先，提供玻璃基板101，在玻璃基板101上制作凸起结构102。在玻璃基板101与凸起结构102上制作柔性衬底103，柔性衬底103划分为弯折区1031与非弯折区1032，凸起结构102的正投影落入柔性衬底103的弯折区1031的正投影中。随后，将柔性衬底103与玻璃基板101剥离，在剥离过程中，柔性衬底103与凸起结构102分离，柔性衬底103的弯折区1031的厚度小于非弯折区1032的厚度。本发明实施例通过在玻璃基板101上制作凸起结构102，进一步在玻璃基板101和凸起结构102上制作柔性衬底103，使得柔性衬底103的弯折区1031覆盖凸起结构102，这样在将柔性衬底103与玻璃基板101剥离的过程中，柔性衬底103与凸起结构102分离，柔性衬底103的弯折区1031的厚度小于非弯折区1032的厚度，一定程度上提高了弯折区的耐弯折性能，提升了用户使用体验。
在本发明的一个具体的实施例中，在玻璃基板101上制作凸起结构102包括：在玻璃基板101上通过CVD工艺或者金属溅射工艺制作凸起结构102。具体地，可以通过化学气相沉积，将二氧化硅等金属材料沉积到玻璃基板上，在沉积的过程中，通过控制沉积的角度与速率，控制生成的凸起结构的形状。当然，也可以通过CVD工艺沉积一层薄膜，再经过黄光图形化和刻蚀工艺，通过控制刻蚀的速率与角度，控制生成的凸起结构的形状与尺寸。
另外，还可以通过磁控溅射工艺将金属材料Mo、Ti等沉积到玻璃基板上形成凸起结构；也可以先通过PVD(物理气相沉积)先在玻璃基板上溅射一层金属，再经过黄光图形化和刻蚀工艺，通过控制刻蚀的速率与角度，控制生成的凸起结构的形状与尺寸。
在本发明的一个具体的实施例中，在玻璃基板101与凸起结构102上制作柔性衬底103包括：通过涂布工艺在玻璃基板101与凸起结构102上制作柔性衬底103，且柔性衬底103覆盖凸起结构102远离玻璃基板101的表面。在这个实施例中，柔性衬底覆盖凸起结构的上表面，也就是说，柔性衬底的厚度比凸起结构的厚度要大。在后续将柔性衬底剥离的过程中，柔性衬底的弯折区不会发生断裂，保证了柔性衬底的支撑性能。
需要注意的是，柔性衬底103的材质可以选自聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚醚砜、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯的至少一种。以柔性衬底的材质为聚酰亚胺为例，柔性衬底103的制备工艺通常包括涂布步骤与固化步骤，涂布步骤包括：将聚酰胺酸、丁内酯GBL、乳酸乙酯EL分散到溶剂丙二醇甲醚PGME中，通过涂布机涂布到玻璃基板101上，形成可流动的聚酰胺酸膜层。固化步骤通常包括：对涂布形成的膜层进行远红外线加热，在200-250℃温度下加热1小时左右进行固化，以形成柔性衬底。
在本发明的一个具体的实施例中，请参照图2-图4，凸起结构102的厚度从其中心向边缘逐渐减小。柔性衬底的弯折区1031的中心是弯折过程中应力最大的区域，也是最容易发生断裂/裂纹的区域，将柔性衬底的弯折区1031的中心区域对应的凸起结构的厚度设置成最大的厚度，沿着中心向边缘逐渐减小，这样在剥离后，柔性衬底的弯折区1031的中心厚度是最小的，可以更好的缓冲弯折过程中产生的应力，提升耐弯折性能。
另外，凸起结构102的厚度要小于柔性衬底103的厚度。如果凸起结构102的厚度大于柔性衬底103的厚度，那么在玻璃基板102和凸起结构102上涂布柔性衬底103时，柔性衬底103就不能将凸起结构完全覆盖住，后续剥离柔性衬底时，柔性衬底的弯折区会发生断裂，影响衬底的支撑与弯折性能，进而影响显示面板的显示效果。如果凸起结构的厚度等于柔性衬底的厚度，那么柔性衬底的弯折区的中心区域的厚度与凸起结构的中心区域的厚度相等，那在后续剥离过程中，所剥离下来的柔性衬底的弯折区的中心区域的厚度为零，也就是说，剥离过程中，柔性衬底的弯折区的中心会发生断裂，进而对显示面板的显示效果造成影响。
需要注意的是，这里所说的凸起结构的厚度，指的是凸起结构最厚的区域的厚度，这里所说的柔性衬底的厚度，指的是柔性衬底的最后的区域的厚度。或者，这里所说的凸起结构的厚度，指的是凸起结构的平均厚度，这里所说的柔性衬底的厚度，指的是柔性衬底的平均厚度。
在本发明的一个实施例中，请参照图2-图4，凸起结构102在玻璃基板101上的正投影面积小于等于柔性衬底103的弯折区1031在玻璃基板101上的正投影面积。也就是说，凸起结构102只能分布在柔性衬底103的弯折区1031，如果分布在非弯折区，会影响显示面板的显示效果。
在本发明的一个实施例中，凸起结构102的材质选自二氧化硅、ITO、IGZO、Mo、Ti的至少一种。如果凸起结构102的材质为二氧化硅，可以通过CVD(化学气相沉积)的工艺来制作，具体地，可以通过化学气相沉积，将二氧化硅等金属材料沉积到玻璃基板上，在沉积的过程中，通过控制沉积的角度与速率，控制生成的凸起结构的形状。当然，也可以通过CVD工艺沉积一层薄膜，再经过黄光图形化和刻蚀工艺，通过控制刻蚀的速率与角度，控制生成的凸起结构的形状与尺寸。如果凸起结构102的材质为ITO、IGZO、Mo、Ti的至少一种，可以通过磁控溅射工艺将金属材料Mo、Ti等沉积到玻璃基板上形成凸起结构；也可以先通过PVD(物理气相沉积)先在玻璃基板上溅射一层金属，再经过黄光图形化和刻蚀工艺，通过控制刻蚀的速率与角度，控制生成的凸起结构的形状与尺寸。
需要注意的是，请参照图3与图4，在制作柔性衬底103之后，还包括，在柔性衬底103上制备薄膜晶体管层104和发光功能层105，然后在模组段工艺之前，再将柔性衬底103与玻璃基板101剥离。
另外，将柔性衬底与玻璃基板剥离的过程，包括：对玻璃基板101与柔性衬底103施加激光照射，使柔性衬底103从玻璃基板101与凸起结构102上剥离。可以采用准分子激光器，激光发生物质为稀有气体的卤化物(如XeCl)，光源为紫外光，波长范围为308nm左右、激光密度在0-400mj/cm2，可以提供瞬间达到300-500℃的高温。众所周知，玻璃基板为透明的，凸起结构的材质可选自二氧化硅、ITO、IGZO、Mo、Ti的至少一种，二氧化硅、ITO、IGZO、Mo和Ti这些材质也是透明的。当向柔性衬底与玻璃基板和凸起结构的表面施加激光照射时，紫外光可透过透明材质的玻璃基板和凸起结构，施加到柔性衬底的下表面。而柔性衬底对308nm波长的激光几乎可以全部吸收，吸收率＞99％，在激光瞬间高温的作用下，柔性衬底吸收激光后发生灰化，膜层的附着力降低，进而可以将柔性衬底与凸起结构和玻璃基板分离。玻璃基板和凸起结构几乎不吸收激光，不发生灰化，所以凸起结构与玻璃基板的接触面不会发生剥离。柔性衬底从玻璃基板上剥离后，柔性衬底的弯折区1031的厚度小于非弯折区1032的厚度，进而提升柔性衬底的耐弯折性能。
另一方面，本发明一实施例还提供了一种显示面板母板，请参照图2-图3，显示面板母板包括依次层叠设置的玻璃基板101、凸起结构102与柔性衬底103；柔性衬底103划分为弯折区1031与非弯折区1032，柔性衬底的弯折区1031覆盖凸起结构102，柔性衬底103可从玻璃基板101与凸起结构102上剥离，以使柔性衬底103的弯折区1031的厚度小于非弯折区1032的厚度。将柔性衬底从玻璃基板上剥离后，所形成的显示面板的结构示意图可参照图4，柔性衬底103的弯折区1031的厚度小于非弯折区1032的厚度，提升显示面板的耐弯折性能。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
以上对本申请实施例进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
提供玻璃基板；
在所述玻璃基板上制作凸起结构；
在所述玻璃基板与所述凸起结构上制作柔性衬底，所述柔性衬底划分为弯折区与非弯折区，所述凸起结构的正投影落入所述柔性衬底的弯折区的正投影中；
将所述柔性衬底与所述玻璃基板剥离；
在所述剥离过程中，所述柔性衬底与所述凸起结构分离，所述柔性衬底的弯折区的厚度小于所述非弯折区的厚度。
2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述在所述玻璃基板上制作凸起结构包括：
在所述玻璃基板上通过CVD工艺或者金属溅射工艺制作所述凸起结构。
3.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述在所述玻璃基板与所述凸起结构上制作柔性衬底包括：
通过涂布工艺在所述玻璃基板与所述凸起结构上制作柔性衬底，且所述柔性衬底覆盖所述凸起结构远离所述玻璃基板的表面。
4.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述凸起结构的厚度从其中心向边缘逐渐减小。
5.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述凸起结构的厚度小于所述柔性衬底的厚度。
6.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述凸起结构在所述玻璃基板上的正投影面积小于等于所述柔性衬底的弯折区在所述玻璃基板上的正投影面积。
7.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述凸起结构的材质选自氧化硅、ITO、IGZO、Mo、Ti的至少一种。
8.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，在制作所述柔性衬底之后，在将所述柔性衬底与所述玻璃基板剥离之前，还包括：
在所述柔性衬底上制备薄膜晶体管层与发光功能层。
9.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法，其特征在于，将所述柔性衬底与所述玻璃基板剥离包括：
对所述玻璃基板与所述柔性衬底施加激光照射，使所述柔性衬底从所述玻璃基板与所述凸起结构上剥离。
10.一种显示面板母板，其特征在于，包括：
依次层叠设置的玻璃基板、凸起结构与柔性衬底；
所述柔性衬底划分为弯折区与非弯折区，所述柔性衬底的弯折区覆盖所述凸起结构，所述柔性衬底可从所述玻璃基板与所述凸起结构上剥离，以使所述柔性衬底的弯折区的厚度小于所述非弯折区的厚度。
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