CN111660468B - 热塑性树脂原版的制作方法、金属模具的制作方法、模具的制作方法及图案片材的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在能够防止液体流动的凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法及图案片材的制造方法。具有凹状图案(205)的模具(200)的制作方法包括：原版准备工序，准备原版(10)，该原版(10)具有配置有突起状图案(14)的平台(11)；树脂板准备工序，准备具有凹阶梯部(23)的热塑性树脂板(20)，该凹阶梯部(23)具有等于或小于突起状图案(14)及平台(11)的总体积的容积；及树脂原版制作工序，其制作热塑性树脂原版(26)，并包括：定位工序，将原版(10)的突起状图案(14)和凹阶梯部(23)的中心位置进行定位；及凹状图案形成工序，将经过加热的原版(10)的突起状图案(14)及平台(11)按压于凹阶梯部(23)之后进行冷却，并分离原版(10)和热塑性树脂板(20)，由此将突起状图案(14)的倒置形状的凹状图案(25)形成于热塑性树脂板(20)。

Description

热塑性树脂原版的制作方法、金属模具的制作方法、模具的制 作方法及图案片材的制造方法
技术领域
本发明涉及一种在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法及图案片材的制造方法，尤其涉及一种通过形状转印用于制造图案片材的模具的制作方法及使用了该模具的图案片材的制造方法。
背景技术
近年来，作为能够无疼痛感地将胰岛素(Insulin)及疫苗(Vaccines)及hGH(humanGrowthHormone：人类生长激素)等药剂注入到皮肤内新剂型，已知有一种微针阵列(Micro-NeedleArray)。微针阵列含有药剂，并将具有生物可降解性的微针(也称作微细针或微小针)排列成阵列状。通过将该微针阵列粘贴于皮肤上，各微针刺入皮肤中，这些微针被吸收到皮肤内，能够将包含于各微针中的药剂注入到皮肤内。微针阵列也被称作经皮吸收片。
为了制作具有如上所述的微针阵列一样的微细的突起状图案的成型品，由具有微细的突起状图案的原版形成树脂性倒置形状的模具，由该模具进行制作成型品。要求提高具有这种微细图案的成型品的生产率，并提出了各种建议。
例如，在下述专利文献1中记载有：将具有微細突起图案的原版按压于热塑性树脂板上而转印突起状图案，由此制作具有倒置图案的热塑性树脂原版，进而，由热塑性树脂原版制作具有突起状图案的电铸金属模具，进而由电铸金属模具制作具有倒置图案的模具。在专利文献2中记载有一种设置有阶梯的模具及用于在模具中形成阶梯的原版，以防止当形成图案片材时构成图案片材的树脂溶液流到模具外部并超出目标场而流动。
并且，在专利文献3中记载有：通过将经过加热的具有突起状图案的原版按压于形成有凹坑的热塑性树脂片材而制作具有凹状图案的热塑性树脂片材，并制造由电铸金属模具制造图案片材的具有凹状图案的模具。在专利文献4中记载有：使用具有从原版内侧向外侧厚度逐渐增加的倾斜部的原版来制作模具，将相当于突起部的压入总体积的体积量的***部形成为倒锥形状。
专利文献1：日本特开2011-083993号公报
专利文献2：日本特开2015-231476号公报
专利文献3：国际公开第2017/056894号公报
专利文献4：日本特开2017-202242号公报
然而，在专利文献1至3中所记载的方法中，一边将模具的平面抵压于热塑性树脂板上，一边将模具的图案转印于热塑性树脂板上，因此在图案表面内，相当于模具的图案体积的树脂***。存在的问题是，在该树脂的***端部附有陡峭的阶梯，对随后的电铸金属模具制作、模具成型中造成不良影响。此外，在热塑性树脂原版的倒置图案周边设置凹进阶梯的情况下，在树脂的***端部与凹进阶梯之间形成间隙，该间隙也会对电铸金属模具制作、模具成型造成更大的不良影响。
并且，文献4记载有考虑到树脂的***部而制作模具，但是未公开关于当制造模具制作后的图案片材时的、制造在能够防止液态材料的流动的凹阶梯部中形成有凹状图案的模具的结构。
并且，若不考虑凹阶梯部的尺寸而在凹阶梯部的底面形成凹状图案，则树脂的***部形成于凹阶梯部内，因此具有凹状图案的凹阶梯部的形状不稳定，对随后的电铸金属模具制作、模具形成会造成不良影响。
发明内容
本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种在凹阶梯部内形成凹状图案时在凹阶梯部外部形成树脂的***部，并能够将电铸金属模具的制作及模具成型等随后的步骤的缺陷抑制为最小的在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法及图案片材的制造方法。
为了实现本发明的目的，本发明所涉及的在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法包括：原版准备工序，准备原版，该原版具有配置有由多个突起部构成的突起状图案的平台；树脂板准备工序，准备热塑性树脂板，所述热塑性树脂板在平坦面上形成有具有底面和壁面的凹阶梯部且凹阶梯部具有等于或小于突起状图案及平台的总体积的容积；及树脂原版制作工序，制作热塑性树脂原版，并包括：定位工序，使原版和热塑性树脂板相对移动，以将原版的突起状图案和凹阶梯部的中心位置进行定位；及凹状图案形成工序，在将经过加热的原版的突起状图案及平台按压于凹阶梯部的底面之后冷却原版，并分离原版和热塑性树脂板，由此将突起状图案的倒置形状的凹状图案形成于热塑性树脂板上。
为了实现本发明的目的，本发明所涉及的图案片材的制造方法包括：在上述所记载的凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法来制作在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的工序；将液态材料供给到模具的凹阶梯部，并将液态材料填充于模具的凹状图案中的工序；通过固化液态材料而设为具有突起状图案的图案片材的工序；及将图案片材从模具进行脱模的脱模工序。
发明效果
根据本发明，能够在防止液体流动的凹阶梯部中形成凹状图案，并将凹阶梯部设为等于小于突起状图案及平台的总体积的容积，因此当制作热塑性树脂原版时，能够将通过突起部及平台而压回的热塑性树脂板的树脂排出到凹阶梯部的外部。由此，能够将形成有凹状图案的凹阶梯部的底面平坦地形成。从而，能够将热塑性树脂原版制作后的金属模具的制作、模具的制作及使用了模具的图案片材的制造中的步骤的不良抑制为最小限度。
附图说明
图1是表示原版的一例的立体图。
图2是热塑性树脂板的立体图。
图3是表示热塑性树脂原版的制作方法的工序图。
图4是表示热塑性树脂原版的制作方法的工序图。
图5是表示热塑性树脂原版的制作方法的工序图。
图6是表示热塑性树脂原版的制作方法的工序图。
图7是表示热塑性树脂原版的制作方法的工序图。
图8是表示热塑性树脂原版的制作方法的工序图。
图9是表示热塑性树脂原版的制作方法的工序图。
图10是表示热塑性树脂原版的制作方法的工序图。
图11是表示原版的另一例的立体图。
图12是在将原版安装于原版台上的状态下表示具有贯穿孔的结构体的截面图。
图13是在将原版安装于原版台上的状态下表示具有贯穿孔的另一结构体的截面图。
图14是表示基于电铸处理的金属模具的制作方法的工序图。
图15是表示基于电铸处理的金属模具的制作方法的工序图。
图16是表示基于电铸处理的金属模具的制作方法的工序图。
图17是表示基于电铸处理的金属模具的制作方法的工序图。
图18是电铸金属模具的立体图。
图19是表示模具的制作方法的工序图。
图20是表示模具的制作方法的工序图。
图21是表示图案片材的制造方法的工序图。
图22是表示图案片材的制造方法的工序图。
图23是表示图案片材的制造方法的工序图。
图24是表示图案片材的制造方法的工序图。
图25是图案片材的立体图。
具体实施方式
以下，按照附图对本发明所涉及的在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法及图案片材的制造方法进行说明。由以下优选实施方式来说明本发明。在不脱离本发明的范围的情况下，可以通过多种方式来进行变更。从而，本发明的范围内的所有变更包括在专利申请范围内。
在此，图中用同一符号表示的部分为具有相同的功能的相同的要件。并且，本说明书中使用“～”来表示数值范围的情况下，用“～”表示的上限、下限的数值也包括在数值范围内。
＜模具的制作方法＞
参考附图对本发明的实施方式进行说明。在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法包括：原版准备工序，准备原版，该原版具有配置有由多个突起部构成的突起状图案的平台；树脂板准备工序，准备热塑性树脂板，所述热塑性树脂板在平坦面上形成有具有底面和壁面的凹阶梯部且凹阶梯部具有等于或小于突起状图案及平台的总体积的容积；及树脂原版制作工序，制作热塑性树脂原版，并包括：定位工序，使原版和热塑性树脂板相对移动，以将原版的突起状图案和凹阶梯部的中心位置进行定位；及凹状图案形成工序，在将经过加热的原版的突起状图案及平台按压于凹阶梯部的底面之后冷却原版，并分离原版和热塑性树脂板，由此将突起状图案的倒置形状的凹状图案形成于热塑性树脂板上。
在原版准备工序中，准备原版。如图1所示，原版10具有平台11、在平台11的一个主表面12上形成的多个突起部13、在平台11的与主表面12的相反的一侧设置的基板15。在俯视图中，基板15与平台11重叠配置，并具有比平台11的面积更宽的面积。突起部13在远离主表面12的方向上，由锥台部13B和锥形针部13A构成。在锥台部13B中包括角锥台、圆锥台等。另外，在锥台部13B与针部13A之间，还可以包括另一个锥台部。
突起状图案14通过在主表面12上配置多个突起部13而构成。主表面12相当于配置有突起状图案14的表面。原版10的突起状图案14具备具有欲制作的突起状图案的图案片材，例如与微针基本上相同的突起状图案。在实施方式中，通过将多个突起部13排列成圆形而构成突起状图案14。然而，突起部13的数量、突起部13的配置位置等并不受限定。通过将多个突起部13配置成矩阵状而能够构成突起状图案14。主表面12可以是完整的平面，也可以乍看是平面。
突起部13例如优选从原版10的主表面12设为0.1mm～2mm的高度。相邻的突起部13的间隔优选为0.3mm～2mm。突起部13的纵横比(突起部的高度/突起部的底面宽度)优选为1～5。
针部13A的高度与锥台部13B的高度之比(针部13A的高度/锥台部13B的高度)优选为1～10。锥台部13B的侧面和主表面12所成角度优选为10°～60°。平台11例如能够设为具有5mm～30mm的直径及0.2mm～2mm的高度的圆柱形状。然而，平台11的形状并不限定于圆柱形状，也可以是长方体形状。并且，基板15也能够在平台11的与主表面12相反的一侧的表面形成为一体，而不是设为与平台11分开的部件。该情况下，在平台11的体积中不包括基板15的体积。
具有突起状图案14的原版10例如通过使用金刚石车刀等切削工具等对成为原版10的金属基板进行机械加工而被制作。作为金属基板，能够使用不锈钢、铝合金、Ni等。
在树脂板准备工序中，准备热塑性树脂板。如图2所示，热塑性树脂板20具有对置的主表面(平坦面)21及主表面22，并且以具有恒定厚度的板形状构成。热塑性树脂板20能够设为例如具有1mm～6mm的厚度、具有150mm～300mm的直径的圆柱形状。热塑性树脂板20的形状并不限定于圆柱形状，在俯视图中，也能够设为矩形形状。
在热塑性树脂板20的主表面21上形成有多个凹阶梯部23。凹阶梯部23由底面23A和围绕底面23A的壁面23B构成。凹阶梯部23具有等于或小于突起状图案14及平台11的总体积的容积。然而，在俯视图中，在将凹阶梯部23的底面23A的面积设为与平台11的主表面12的面积相同或小于主表面12的面积的面积的情况下，将凹阶梯部23的壁面23B的高度(以下，也称为“凹阶梯部23的高度”)即从底面23A到主表面21的长度设为比从平台11的主表面12到基板15的长度(以下，也称为“平台11的高度”)短。在后述的凹状图案形成工序中，当将原版10的突起状图案14及平台11按压于凹阶梯部23的底面23A时，被按压并压回的树脂的量流到凹阶梯部23的外部，以与主表面21和原版10的基板15接触而扩展的高度量，将凹阶梯部23的高度设为比平台11的高度短。由此，能够将形成在平台11的主表面上的突起状图案14按压于凹阶梯部23的底面23A。从底面23A到主表面21的长度例如能够设为从平台11的高度(0.2mm～2mm)减去被压回的树脂量的高度(50μm)的长度。
并且，在俯视图中，凹阶梯部23的底面23A的形状优选为与平台11的主表面12相同的形状。将凹阶梯部23的形状设为与主表面12相同，并将凹阶梯部23的面积设为等于或小于主表面12的面积，由此在平台11的主表面12上能够按压凹阶梯部23的整个区域。并且，在将从底面23A到主表面21的长度设为与从平台11的主表面12到基板15的长度相同的情况下，通过将凹阶梯部23的面积增大被突起状图案14压回的树脂量，能够使所制造的热塑性树脂原版的主表面21平坦。
作为构成热塑性树脂板20的热塑性树脂，并不受特别限定。例如，能够适当地使用聚对苯二甲酸乙二酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、线性低密度聚乙烯(LLDPE：Linear Low Density Polyethylene)、液晶聚合物、聚乳酸等。热塑性树脂板20例如能够使用热塑性树脂并通过注射成型而制造。
如图3所示，热塑性树脂板20和石英基板30在主表面22侧由双面粘接膜31来粘接。石英基板30的与双面粘接膜31相反的一侧的表面安装于工作台32。工作台32具有在水平面内在彼此正交方向上移动的未图示的X轴驱动机构及Y轴驱动机构，能够在X方向及Y方向上移动。
在俯视图中，石英基板30例如优选为与热塑性树脂板20相同的形状且相同的面积。石英基板30作为用于维持热塑性树脂板20的刚性的加强部件而发挥功能。
具有突起状图案14的原版10安装于原版用工作台40上。原版用工作台40具有未图示的Z轴驱动机构，能够沿着Z轴方向移动。原版10被加热为使热塑性树脂板20软化程度的温度。加热由加热器(未图示)进行。根据构成热塑性树脂板20的热塑性树脂，原版10被加热为适当的温度。
原版10的突起状图案14和热塑性树脂板20的底面23A配置成彼此对置。
接着，对树脂原版制作工序进行说明。树脂原版制作工序包括定位工序和凹状图案形成工序。
在图4所示的定位工序中，原版10和热塑性树脂板20相对移动，并且原版10和凹阶梯部23的中心位置被定位。在实施方式的定位工序中，通过驱动未图示的X轴驱动机构及Y轴驱动机构，支撑热塑性树脂板20的工作台32移动，凹阶梯部23的中心位置和原版10被定位。在定位中，凹阶梯部23的中心位置和突起状图案14的中心位置被定位。
只要原版10和热塑性树脂板20能够相对移动，就可以使原版10及热塑性树脂板20中的任一个或两者移动。
由于凹阶梯部23的中心位置和原版10被定位，因此能够定位图25所示的图案片材300的突起状图案303和片材部301的中心位置。
接着，在图5所示的凹状图案形成工序中，经过加热的原版10的突起状图案14按压于热塑性树脂板20的底面23A。如图5所示，构成突起状图案14的多个突起部13按压于热塑性树脂板20的底面23A。
图5所示的原版10及热塑性树脂板20与平台11的主表面12和凹阶梯部23的面积及形状相同，平台11的高度比凹阶梯部23的高度低由突起状图案14压回的树脂的量。若将原版10按压于这种热塑性树脂板20上，则原版10的平台11按压凹阶梯部23的底面23A及壁面23B，凹阶梯部23被转印为平台11及突起状图案14的倒置形状。与通过按压原版10而形成的凹部24(参考图6)对应的树脂如图5所示流入到原版10的基板15及热塑性树脂板20的主表面21之间的间隙中。所流入的树脂在基板15与主表面21之间扩展。
在实施方式的按压中，通过驱动Z轴驱动机构，沿着Z方向并朝向底面23A移动原版10，突起状图案14按压于底面23A。只要能够将突起状图案14按压于底面23A，就可以使原版10及热塑性树脂板20中的任一方或两者沿Z方向移动。
经过加热的原版10的突起状图案14以预先确定的按压力及时间按压于凹阶梯部23的底面23A。通过按压经过加热的原版10的突起状图案14，将热塑性树脂板20的底面23A加热为软化温度以上。在使已按压的突起状图案14接触到热塑性树脂板20的底面23A的状态下冷却原版10，由此热塑性树脂板20冷却至软化温度以下。
如上所述，考虑到凹阶梯部23的高度和通过按压而被压回的树脂量的高度而设定平台11的高度。若平台11的高度变高且被压回的树脂与基板15不接触，则所制作的热塑性树脂原版的表面形状不稳定，因此不优选。并且，若平台11的主表面12与凹阶梯部23的底面23A不接触，则突起状图案14的突起部13不会稳定地转印于凹阶梯部23，因此不优选。当被压回的树脂为突起状图案14的体积量时，例如将平台11的高度设为比凹阶梯部的高度高50μm，由此能够形成具有良好的形状的凹状图案的凹阶梯部。
接着，在图6所示的凹状图案形成工序中，原版10和热塑性树脂板20被分离。在热塑性树脂板20的底面23A形成多个突起部13的倒置形状即多个凹部24。通过将多个凹部24配置于热塑性树脂板20的底面23A而形成凹状图案25。并且，在热塑性树脂板20的主表面21上，具有从凹阶梯部23连续形成的凸部27。凸部27的表面沿着原版10的基板15扩展，因此平坦地形成。并且，在凸部27的侧面中，凹阶梯部23侧的侧面被原版10的平台11按压，因此从凹阶梯部23的壁面23B连续形成。并且，反对侧的侧面当按压了原版时，被压回的树脂沿着原版10的基板15扩展，因此凸部27的表面侧相对于热塑性树脂板20的主表面21侧扩展。从而，凸部27以从热塑性树脂板20的主表面21向凸部27的表面扩展的倒锥结构构成。在实施方式的按压中，通过驱动Z轴驱动机构，使原版10沿着Z方向远离底面23A的方向移动，原版10和热塑性树脂板20被分离。
若在凹阶梯部23中形成凹状图案25，则在图7所示的定位工序中，原版10和热塑性树脂板20相对移动，原版10和未形成有凹状图案25的凹阶梯部23的中心位置被定位。与图4同样地，通过移动支撑热塑性树脂板20的工作台32，凹阶梯部23的中心位置和原版10被定位。
在图8所示的凹状图案形成工序中，与图5及图6同样地，经过加热的原版10的突起状图案14按压于热塑性树脂板20的底面23A。经过加热的原版10的突起状图案14以预先确定的按压力及时间按压于凹阶梯部23的底面23A。接着，在使已按压的突起状图案14接触到热塑性树脂板20的底面23A的状态下冷却原版10。通过分离原版10和热塑性树脂板20，在热塑性树脂板20的底面23A上形成多个突起部13的倒置形状即多个凹部24。直至在热塑性树脂板20的所有凹阶梯部23中形成凹状图案25为止，重复图4至图8所示的定位工序和凹状图案形成工序。通过在热塑性树脂板20的所有凹阶梯部23中形成凹状图案25，由热塑性树脂板20制作热塑性树脂原版26。
接着，在定位工序中，对计算原版10的错位量的方法及计算热塑性树脂板20的凹阶梯部23的中心位置的方法进行说明。
如图3所示，原版10安装于具有未图示的Z轴驱动机构的原版用工作台40上。将热塑性树脂板20和石英基板30贴合的层叠体安装于与原版10对置设置的具有未图示的X轴驱动机构及Y轴驱动机构的工作台32上。该状态下的X轴、Y轴及Z轴定义为X0、Y0及Z0。
参考图9对原版10的错位量的计算方法进行说明。使工作台32移动到预先确定的坐标(Xib，Yib)。由原版用工作台40在Z轴方向上将经过加热的原版10按压于热塑性树脂板20的凹阶梯部23的底面23A。接着，在冷却之后从热塑性树脂板20分离原版10，并由原版用工作台40使原版10返回到初始位置即Z0。在热塑性树脂板20的底面23A(Xib，Yib)上转印突起状图案14的倒置结构并形成凹状图案25。
构成图像处理***的摄像装置60配置于固定点(Xc，Yc，Zc)的位置。如图9所示，摄像装置60设置于摄像装置60的光轴与工作台32的设置面即设置石英基板30的面平行的位置。在摄像装置60的光轴上且在热塑性树脂板20与原版10之间设置反射镜61。另外，光源从与摄像装置60的光轴相同的方向照射。摄像装置60例如具备CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合装置)、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor：互补金属氧化物半导体)等成像元件。
由设置在固定点上的摄像装置60来检测形成于热塑性树脂板20(Xib,Yib)的位置的凹状图案25的中心(Xim、Yim)。作为原版10的错位量，能够计算出关于X方向的(Xib-Xim)和关于Y方向的(Yib-Yim)。
参考图10对计算热塑性树脂板20的凹阶梯部23的中心位置的方法进行说明。在将摄像装置60固定在固定点(Xc，Yc，Zc)上的状态下，通过工作台32在X方向及Y方向上移动热塑性树脂板20，并检测形成在热塑性树脂板20上的k个所有凹阶梯部23的中心位置的坐标(Xn，Yn)(其中，n＝1～k)。
在定位工序中，根据所计算出的凹阶梯部23的中心位置和原版10的错位量的结果，使工作台32移动到(X1-(Xib-Xim)，Y1-(Yib-Yim))。能够使n＝1的凹阶梯部23的中心位置与原版10的突起状图案14的中心位置一致。“一致”包括完全一致的情况及具有容许偏差的情况。由原版用工作台40使经过加热的原版10沿着Z方向移动。以恒定的按压力及时间将突起状图案14按压于凹阶梯部23的底面23A。在冷却原版10之后，从热塑性树脂板20分离原版10并返回到Z0位置。在形成于热塑性树脂板20的n＝1的凹阶梯部23的中心位置(X1，Y1)能够形成凹状图案25。关于其余的(k-1)个凹阶梯部23(n＝2～k)，也使工作台32移动到(Xn-(Xib-Xim)，Yn-(Yib-Yim))。与上述同样地，由原版用工作台40来按压经过加热的原版10。在冷却原版10之后，从热塑性树脂板20分离原版10并返回到Z0位置。通过重复定位工序和凹状图案形成工序，在k个凹阶梯部23的中心位置(Xn，Yn)能够形成突起状图案14的倒置结构即凹状图案25(其中，n＝1～k)。若结束一系列工序，则制作出在多个凹阶梯部23中形成有凹状图案25的热塑性树脂原版26。在实施方式的热塑性树脂原版26中，在图8中，凹状图案25的中心位置与凹阶梯部23的中心位置一致。
图11是表示原版的另一例的立体图。图11所示的原版310在具有基板315的贯穿孔317这一点上与图1所示的原版10不同。贯穿孔317在平台11的侧面与基板315接触的边缘部316，沿着平台11的侧面在平台11的高度方向上贯穿基板315而形成。通过设置贯穿孔317，能够使将原版10按压于凹阶梯部23时的凹阶梯部23内的空气从贯穿孔317逸出。通过使空气从贯穿孔317逸出，能够防止空气滞留在原版10与热塑性树脂板20的接触部分。从而，能够稳定地形成凹状图案形成后的凹阶梯部23的形状。另外，在图11所示的原版310中，设置在基板315上的贯穿孔317沿着平台11的侧面在整个圆周上形成，但是使用时安装于原版用工作台40上而使用，因此即使基板315通过贯穿孔317而分开也能够使用。
并且，图12是在将原版410安装于原版台440上的状态下表示具有贯穿孔417的结构体418的截面图。图12所示的原版410在平台11的侧面，在与主表面12相反的一侧的端部具有凸部419。通过由原版台440和保持部件420来夹持凸部419，原版410被安装于原版台440。能够由螺钉421来安装原版台440和保持部件420。在平台11的侧面和保持部件420的侧面形成贯穿孔417。并且，在图12的结构体418中，保持部件420的与原版台440相反的一侧的凸面422具有与图11所示的基板315相同的功能。
图13是在将原版510安装于原版台540上的状态下表示具有贯穿孔517的结构体518的截面图。图13所示的结构体518的原版台540具有在中央容纳原版510的一部分的凹部523。原版510的与主表面12相反的一侧经由阶梯部524以小于主表面12的直径的直径构成，以容纳于凹部523的内部。能够由螺钉521来安装原版台540和原版510。在图13中，在左右方向上，由设置在原版台540上的凸面522和原版510的阶梯部524形成贯穿孔517。并且，由凹部523的内周面和原版510的侧面来形成间隙，由此在高度方向上连续形成贯穿孔517。另外，在图13所示的结构体518中，形成在原版台540上的凸面522也具有与图11所示的基板315相同的功能。
接着，对使用热塑性树脂原版26并通过电铸处理而制作金属模具的金属模具制作工序进行说明，所述金属模具具有配置有突起状图案的凸阶梯部。如图14所示，准备在多个凹阶梯部23中形成有凹状图案25的热塑性树脂原版26。对热塑性树脂原版26进行导电处理。在导电处理中，通过蒸镀或溅射等，金属膜(例如镍)被制膜在构成热塑性树脂原版26的主表面21、构成凹阶梯部23的底面23A和壁面23B、构成凹状图案25的多个凹部24及凸部27。
如图15所示，经过导电处理的热塑性树脂原版26固定于使用于电铸处理中的阴极100上。阴极100至少具备轴101和阴极板102。在热塑性树脂原版26的主表面22与阴极板102对置的位置，热塑性树脂原版26固定于阴极板102上。
为了对被制膜于热塑性树脂原版26上的金属膜(未图示)供给来自阴极板102的电流，在热塑性树脂原版26的外周部设置导电环103。轴101和阴极板102由导电部件构成。在此，电铸处理是指通过电镀法在热塑性树脂原版26中析出金属的处理方法。
如图16所示，安装于阴极100上的热塑性树脂原版26浸渍于电铸液132中。对热塑性树脂原版26进行电铸处理的电铸装置130具备保持电铸液132的电铸槽134、接收从电铸槽134溢流的电铸液132A的排水槽136、填充有Ni颗粒138的钛金属外壳140。通过将安装有热塑性树脂原版26的阴极100浸渍于电铸液132中而作为电铸装置130发挥功能。作为电铸液132，例如能够使用将400g/L～800g/L的氨基磺酸镍、20g/L～50g/L的硼酸及表面活性剂(例如硫酸月桂酯钠)等必要的添加物进行了混合的溶液。电铸液132的温度优选为40～60℃。
在排水槽136上连接有排水配管142，在电铸槽134上连接有供给配管144。从电铸槽134溢流到排水槽136的电铸液132被排水配管142回收，被回收的电铸液132从供给配管144供给于电铸槽134。在保持于阴极100上的热塑性树脂原版26中，形成有凹状图案25的主表面21对位于与成为阳极的钛金属外壳140对置的位置。
将阴极100连接于负电极，将正电极连接于成为阳极的钛金属外壳140。一边使保持于阴极板102上的热塑性树脂原版26以轴101为中心以10rpm～150rpm的转速进行旋转，一边直流电压施加到阴极100与钛金属外壳140之间。溶解Ni颗粒138，使金属膜附着于安装在阴极100上的热塑性树脂原版26的主表面21、凹阶梯部23的底面23A和壁面23B及凹状图案25的内壁。
若由金属膜构成的基于电铸处理的金属模具150形成于热塑性树脂原版26，则如图17所示，安装有热塑性树脂原版26的阴极100从电铸槽134(未图示)被取出。接着，从热塑性树脂原版26剥离金属模具150。金属模具150具有对置的主表面152和主表面158。在截面图中，金属模具150具有平坦部153和凸阶梯部154。在凸阶梯部154的主表面152上形成多个突起部155，由多个突起部155构成突起状图案156。突起状图案156成为热塑性树脂原版26的凹状图案25的倒置形状。凸阶梯部154成为凹阶梯部23的倒置形状。并且，在平坦部153的主表面152上，形成与热塑性树脂原版26的凸部27对应的凹部159。
平坦部153与凸阶梯部154的位置关系是指，各自的主表面152不在同一平面上的状态。在凸阶梯部154的主表面158侧，设置具有恒定直径的圆筒形状的凹部157。另外，金属模具150例如具有150μm的厚度。厚度是主表面152与主表面158的距离。
图18是金属模具150的立体图。如图18所示，在实施方式中，通过在凸阶梯部154的主表面152上将多个突起部155排列成圆形而构成突起状图案156。由热塑性树脂原版26形成凸阶梯部154和突起状图案156，因此凸阶梯部154的中心位置与突起状图案156的中心位置一致。“一致”包括完全一致的情况及具有容许偏差的情况。
凸阶梯部154为具有恒定高度的圆柱的基座形状。凸阶梯部154的高度是热塑性树脂原版26的凹阶梯部的高度。凸阶梯部154的高度是凸阶梯部154的主表面152与平坦部153的主表面152(凹部159的底面)的距离。
突起部155在远离凸阶梯部154的主表面152的方向上，由锥台部155B和锥形针部155A构成。在锥台部155B中包括角锥台、圆锥台等。另外，在锥台部155B与针部155A之间，还可以包括另一个锥台部。
突起部155的高度例如在0.1mm～2mm的范围内，优选为0.3mm～1.5mm以下。突起部155的高度是从凸阶梯部154的主表面152到突起部155的前端的距离。
在电铸处理中，为了在热塑性树脂原版26上形成均匀厚度的金属膜，在俯视图中，金属模具150优选为圆形。金属模具150的直径优选为200mm～300mm。圆形并不限定于正圆，可以是大致圆形。
接着，对使用了金属模具150的模具的制作工序进行说明。准备成为模具材料的环氧树脂、硅酮树脂等热固性树脂。尤其，优选使用硅酮树脂。在硅酮树脂中，有一种溶液热固性硅酮材料、两种溶液混合固化硅酮材料、UV固化硅酮材料等。医疗用硅酮树脂可以适用将主剂和固化剂进行混合的两种溶液混合固化硅酮材料。例如，作为硅酮树脂，能够适用Nusil公司制MED-6015。
如图19所示，在模具制作工序中，金属模具150的平坦部153与设置台172的设置面对置配置，金属模具150固定于设置台172。由围堰部件174和设置台172来夹压金属模具150的端部。从金属模具150的凸阶梯部154侧滴加预先确定的量的树脂R。接着，例如，由PET(PolyEthylene Terephthalate：聚对苯二甲酸乙二酯)制片材180轻轻地按压树脂R。
接着，在使片材180接触到树脂R的状态下，放入经过加热为120℃的烘箱内并加热30分钟。使树脂R固化而制作模具。
如图20所示，从金属模具150分离模具200。由金属模具150的凸阶梯部154及多个突起部155构成的突起状图案156的倒置形状形成于模具200。
模具200具有对置的主表面201和主表面202。在主表面201侧形成凹阶梯部203。凹阶梯部203由底面203A和壁面203B构成。在凹阶梯部203的底面203A形成多个凹部204。并且，在主表面201侧，形成于金属模具150的凹部159对应的凸部206。通过将多个凹部204配置于凹阶梯部203的底面203A而构成凹状图案205。由金属模具150形成凹阶梯部203和凹状图案205，因此凹阶梯部203的中心位置和凹状图案205的中心位置一致。在“一致”中包括完全一致的情况及具有容许偏差的情况。
＜图案片材的制造方法＞
接着，对使用通过上述制作方法而制作的模具200来制造图案片材的方法进行说明。图21至图24是制造图案片材300的工序图。作为图案片材300，以微针阵列为例进行说明。
图21示出准备了模具200A的状态。以凹阶梯部203的单位来冲切通过上述模具的制作方法制造出的模具200，由此制作实施方式的模具200A。模具200A具有形成于凹阶梯部203中的凹状图案205。另外，在图21中，凸部206与主表面201的阶梯冲切成不包括在模具200A中，但是冲切模具200A的位置不受限定。在后述的聚合物溶解液的注入中，在凹阶梯部203的内部保持聚合物溶解液，因此凸部206与主表面201的阶梯不受影响而能够制造图案片材。
模具200A以凹阶梯部203开放的朝向设置于未图示的抽吸台上。模具200A从模具200A的主表面202侧以预先确定的表压被抽吸，并固定于抽吸台上。
图22是表示将液态材料即聚合物溶解液212供给到在模具200A的凹阶梯部203形成的凹状图案205的供给工序的图。
作为形成图案片材300的聚合物溶解液212的材料，优选使用水溶性材料。作为在图案片材300的制造中使用的聚合物溶解液212的树脂聚合物的原料，优选使用具有活体相容性的树脂。作为这种树脂，优选使用葡萄糖、麦芽糖、普鲁兰多糖、硫酸软骨素钠、透明质酸钠、羟乙基淀粉等糖类、明胶等蛋白质、聚乳酸、乳酸/甘醇酸共聚物等生物可降解性聚合物。使图案片材300从模具200A脱模时，能够使用基材(未图示)将图案片材300进行脱模，因此能够优选利用。浓度根据材料而不同，但优选设为在不包含药剂的聚合物溶解液212中包含10质量％～50质量％的树脂聚合物的浓度。并且，在聚合物溶解液212中使用的溶剂即使是除了热水以外的溶剂，只要具有挥发性即可，能够使用乙醇等醇等。而且，在聚合物溶解液212中，根据用途能够一同溶解用于供给到体内的药剂。作为包含药剂的聚合物溶解液212的聚合物浓度(在药剂本身为聚合物的情况下，去除药剂的聚合物的浓度)，优选包含0质量％～30质量％。
作为聚合物溶解液212的制备方法，在使用水溶性高分子(明胶等)的情况下，可以将水溶性粉体溶解于水中，在溶解之后添加药剂，也可以在溶解了药剂的液体中加入水溶性高分子的粉体进行溶解。在不易溶解于水的情况下，也可以加热而进行溶解。根据高分子材料的种类可适当地选择温度，但根据需要优选在约20～40℃的温度下进行加热。聚合物溶解液212的粘度在包含药剂的溶解液中优选为200mPa·s以下，更优选设为50mPa·s以下。在不包含药剂的溶解液中优选为2000mPa·s以下，更优选设为500mPa·s以下。通过适当地调整聚合物溶解液212的粘度，能够将聚合物溶解液212容易注入到模具200A的凹状图案205中。例如聚合物溶解液212的粘度能够用细管式粘度计、落球式粘度计、旋转式粘度计或振动式粘度计来进行测定。优选在将聚合物溶解液212供给到模具200A之前，由除气装置等除去聚合物溶解液212的气体。
聚合物溶解液212中所含有的药剂只要作为药剂发挥功能，则并无特别的限定。尤其，优选选自肽、蛋白质、核酸、多糖类、疫苗、属于水溶性低分子化合物的医药化合物或化妆品成分。
作为将聚合物溶解液212注入到模具200A的方法，例如能够举出使用了旋涂机的涂布。例如，聚合物溶解液212以在凹阶梯部203的内部且从模具200A的凸部206(参考图21)突出的方式被供给。实施方式的模具200A具有凹阶梯部203，因此能够保持聚合物溶解液212。在保持了聚合物溶解液212的状态下，模具200A从主表面202被抽吸，因此能够将聚合物溶解液212填充至构成凹状图案205的凹部204的凹部前端。
优选在凹部204的凹部前端形成贯穿孔。能够使凹部204的空气从贯穿孔逸出。从而，能够将聚合物溶解液212容易注入到模具200A的凹部204。并且，该工序优选在减压状态下进行。
图23是表示通过干燥并固化聚合物溶解液212而设为图案片材300的工序的图。例如，通过加热模具200A并对聚合物溶解液212进行吹风而能够干燥聚合物溶解液212。适当地设定图案片材300的含水量等。另外，通过干燥，若图案片材300的含水量变得过低，则不易进行剥离，因此优选残留维持弹性的状态的含水量。
图24是对将图案片材300从模具200A进行脱模的脱模工序进行说明的图。图案片材300具有片材部301和形成在片材部301上的多个突起部302。由多个突起部302构成突起状图案303。突起状图案303为模具200A的凹状图案205的倒置形状。在图案片材300中，突起状图案303的中心位置与片材部301的中心位置一致。“一致”包括完全一致的情况及具有容许偏差的情况。在图案片材300中，突起状图案303和片材部301的位置被正确地定位，因此例如当处理图案片材300时，能够避免突起状图案303受到损坏。
如此，在图案片材的制造中，在凹阶梯部203内保持聚合物溶解液212，因此将制作模具200的热塑性树脂原版26的凹阶梯部23设为原版10的转印形状，由此能够制造稳定的形状的图案片材。并且，能够不受形成在凹阶梯部203的外部的凸部206的影响而形成图案片材300。
图25是图案片材300的立体图。在图案片材300的片材部301上所形成的突起部302在远离片材部301的方向上，由锥台部302B和锥形针部302A构成。在锥台部302B中包括角锥台、圆锥台等。另外，在锥台部302B与针部302A之间，还可以包括另一个锥台部。
另外，在实施方式中，对于将聚合物溶解液212供给到形成有模具200A的凹状图案205的凹阶梯部203，并通过干燥而制作图案片材300的情况进行了说明，但是并不限定于此。
例如将包含药剂的聚合物溶解液212填充于模具200A的凹状图案205中进行干燥，之后，将不包含药剂的聚合物溶解液212供给到模具200A的凹状图案203中，并通过干燥能够制造双层结构的图案片材300。
并且，模具200A的使用有时设为首次仅限于1次的使用，优选设为一次性。在图案片材300用作医药品的情况下，考虑到所制造的图案片材300对活体的安全性而优选设为一次性。并且，通过设为一次性而无需清洗模具200A，因此能够降低由清洗所产生的成本。尤其，在图案片材300用作医药品的情况下，要求高的清洗性，因此清洗成本提高。
所制造的图案片材300的突起状图案303是指多个突起部302以规定的数量及位置排列成阵列状的状态。突起部302是指在前端侧呈锥形形状，包括锥体形状及多级锥体形状。多级锥体形状是指从底面向前端具有不同角度的侧面的锥体形状。
突起部302的高度在0.2mm～2mm的范围内，优选为0.3mm～1.5mm。
根据本发明的在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的制作方法，能够稳定地形成用于制作模具的热塑性树脂原版的凹状图案及形成有凹状图案的凹阶梯部的形状。从而，在随后的工序中，能够稳定地制作电铸金属模具及模具。并且，通过使用所制作出的模具来制造图案片材而能够容易进行操作，并能够制造稳定形状的图案片材。
＜其他＞
本发明的技术范围并不限定于上述实施方式中所记载的范围。各实施方式中的结构等在不脱离本发明的主旨的范围内，在各实施方式之间能够适当地进行组合。
实施例
以下，举出本发明的实施例，对本发明更具体地进行说明。另外，以下实施例中所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理顺序等，只要不脱离本发明的主旨就能够适当地进行变更。从而，本发明的范围不应该由以下所示的具体例被限定地解释。
＜实施例1＞
(原版)
在尺寸为6×4cm、厚度t为0.5cm的平滑的铝合金板的中央，形成有直径为高度为0.5mm的圆柱台。在圆柱台的中央，在下表面直径为/> 上表面直径为/>高度为0.2mm的圆锥台上，以间距为1mm的紧密填充且圆形排列的方式切削加工121根形成有直径为/>高度为0.9mm的圆锥的针状结构的突起部，并设为原版。
(热塑性树脂板)
在直径为厚度为0.3cm的平板上，以紧密填充排列的方式设置了24个直径为/>深度为0.45mm的凹进阶梯的LLDPE制板，并通过注射成型而制作。
(热塑性树脂板与石英基板的贴合)
在热塑性树脂板的与凹进阶梯形成面相反的一面，经由双面粘接膜贴合了厚度t0.2mm的石英基板。
(对位步骤)
将原版安装并固定于具有Z轴驱动的原版用工作台上。将热塑性树脂板与石英基板的贴合层叠体安装并固定于面对原版设置的具有X-Y轴驱动的工作台上。(此时的X轴、Y轴及Z轴分别为X0、Y0及Z0)。
(1)原版错位校正
使工作台移动到既定的Xib及Yib坐标，并将原版加热为120℃，以10N的力在Z轴方向上按压热塑性树脂板，在冷却之后从热塑性树脂板分离原版并返回到Z0。针状结构的突起部的倒置结构转印于热塑性树脂板的表面(Xib，Yib)。
在此，将摄像装置(Keyence Corporation制：图像处理***XG-7000)的CCD相机放到固定点(Xc，Yc，Zc)上，并检测出转印在热塑性树脂板的(Xib，Yib)位置上的针状结构的倒置结构的中心(Xim，Yim)。计算出原版的错位量为X方向(Xib-Xim)、Y方向(Yib-Yim)。
(2)凹进阶梯位置检测
在将CCD相机固定于(Xc，Yc，Zc)的状态下，移动热塑性树脂板的X及Y的位置，并检测出24个凹进阶梯的所有的中心位置坐标(Xn，Yn)(n＝1～24)。
(推压步骤)
将工作台移动到n＝1的凹进阶梯(X1-(Xib-Xim)，Y1-(Yib-Yim))，并将原版加热为117℃，以80N的力经保持时间t在Z轴方向上按压热塑性树脂板，在冷却之后从热塑性树脂板分离原版并返回到Z0。针状结构的倒置结构转印于热塑性树脂板的阶梯中心(X1，Y1)。此外，关于其余的23个(n＝2～24)的凹进阶梯(Xn-(Xib-Xim)，Yn-(Yib-Yim))，也同样地在Z轴方向上进行按压，在冷却之后从热塑性树脂板分离原版并重复返回到Z0的步骤，针状结构的倒置结构转印于24个所有的凹进阶梯中心。在凹阶梯部的周围，由通过按压原版而被压回的树脂形成有凸部。
(电铸金属模具制作)
(1)溅射步骤(导电处理)
对针状结构的倒置结构形成于凹进阶梯的中心的热塑性树脂板的表面实施镍溅射，在热塑性树脂板的表面及凹进阶梯及倒置结构内形成了Ni薄膜。
(2)电铸步骤
接着，对由Ni薄膜已实施导电处理的热塑性树脂板，通过电铸法在表面及凹进阶梯及倒置结构内部赋予Ni，形成成为热塑性树脂板表面的倒置形状的金属体。具体而言，将已实施导电处理的固定于托架上的热塑性树脂板设为阴极，将Ni颗粒保持在金属制外壳上并设为阳极，并同时浸渍于电铸液中，通过通电，在热塑性树脂板的表面形成Ni膜。
若从所形成的金属体剥离热塑性树脂板，则在表面形成有凸出阶梯，在凸出阶梯的中心形成有针状结构。将其设为电铸金属模具。
(模具制作)
准备以1：10的比率混合了硅酮树脂(Nusil公司制：MED-6015)的主剂和固化剂的溶液，并滴加于电铸金属模具的凸出阶梯的中心的针状结构，之后用PET片材从上方轻轻地按压的状态下形成了层。在加热为120℃的烘箱内加热30min电铸金属模具，并固化了硅酮树脂。若从电铸金属模具剥离已固化的硅酮树脂，则能够制作在电铸金属模具的凸出阶梯的中心所形成的针状结构倒置的、在凹进阶梯的中心具有针状结构的倒置结构的硅酮树脂制模具。用 的圆形刀片以针状结构的倒置结构成为中心的方式对模具进行冲切，制作出排除使用于对位中的贴剂的23个模具。
(图案片材制作)
(1)底液的制备
将羟丙基纤维素(NIPPON SODA CO.,LTD.制)溶解于水中，准备了在30％的水溶液中制备溶液的底液。在制备溶液之后，3kPa的减压环境下暴露4分钟，并进行了除气。
(2)底液的填充
以表面朝上的方式将模具设置水平的抽吸台上，从模具背面方向以表压为90kPa的抽吸压力进行减压，以将模具固定于抽吸台。将已除气的底液以底液从凹进阶梯的上表面稍微***方式滴加于形成在模具中的凹进阶梯内，静置几分钟之后，确认到底液填充到针状结构的倒置结构内。由形成于模具中的凹进阶梯来防止底液流动。
(3)底液的干燥
在温度为23℃、相对湿度为45％RH及风速为0.4m/s的环境下，在35℃的热板上设置模具静置1天，干燥了底液。已干燥的底液成为与模具的凹进阶梯接触状态的圆形片材。
(4)剥离
若从模具剥离圆形片材，则在与模具所接触的表面形成有模具结构倒置的针状结构，能够成型具有微细的突起状图案的平坦的图案片材。
符号说明
10、310、410、510-原版，11-平台，12-主表面，13-突起部，13A-针部，13B-锥台部，14-突起状图案，15、315-基板，20-热塑性树脂板，21-主表面，22-主表面，23-凹阶梯部，23A-底面，23B-壁面，24-凹部，25-凹状图案，26-热塑性树脂原版，27-凸部，30-石英基板，31-双面粘接膜，32-工作台，40、440、540-原版用工作台，60-摄像装置，61-反射镜，100-阴极，101-轴，102-阴极板，103-导电环，130-电铸装置，132-电铸液，132A-电铸液，134-电铸槽，136-排水槽，138-Ni颗粒，140-钛金属外壳，142-排水配管，144-供给配管，150-金属模具，152-主表面，153-平坦部，154-凸阶梯部，155-突起部，155A-针部，155B-锥台部，156-突起状图案，157-凹部，158-主表面，159-凹部，172-设置台，174-围堰部件，180-片材，200-模具，200A-模具，201-主表面，202-主表面，203-凹阶梯部，203A-底面，203B-壁面，204-凹部，205-凹状图案，206-凸部，212-聚合物溶解液，300-图案片材，301-片材部，302-突起部，302A-针部，302B-锥台部，303-突起状图案，316-边缘部，317、417、517-贯穿孔，418、518-结构体，419-凸部，420-保持部件，421、521-螺钉，422、522-凸面，523-凹部，524-阶梯部，R-树脂。

Claims (29)

1.一种热塑性树脂原版的制作方法，其是在具有凹状图案的模具的制作中所用的热塑性树脂原版的制作方法，包括：
准备原版的原版准备工序，该原版具有配置有由多个突起部构成的突起状图案的平台；
准备热塑性树脂板的树脂板准备工序，所述热塑性树脂板在平坦面上形成有具有底面和壁面的凹阶梯部，且所述凹阶梯部具有等于或小于所述突起状图案及所述平台的总体积的容积；及
制作热塑性树脂原版的树脂原版制作工序，其中包括：定位工序，使所述原版和所述热塑性树脂板相对移动，以将所述原版的突起状图案和所述凹阶梯部的中心位置进行定位；及凹状图案形成工序，在通过将经过加热的所述原版的突起状图案及所述平台按压于所述凹阶梯部的底面以及壁面上、以使得所述平台以及所述突起状图案的倒置形状转印到所述凹阶梯部上之后，冷却所述原版，并将所述原版与所述热塑性树脂板分离，由此将所述突起状图案的倒置形状的凹状图案形成于所述热塑性树脂板上。
2.根据权利要求1所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
所述原版在所述平台的与配置有所述突起状图案的表面相反的一侧，具备具有在俯视图中比所述平台更宽的面积的基板，
根据所述凹状图案形成工序，通过将所述平台按压于所述凹阶梯部的底面而被压回的树脂扩展到所述平坦面与所述基板的间隙中。
3.根据权利要求2所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
在所述热塑性树脂原版的所述平坦面上形成的凸部的表面从所述热塑性树脂原版的凹阶梯部的壁面连续，并且作为所述凸部的侧面的与凹阶梯部相反的一侧的侧面为从所述平坦面向所述凸部的表面扩展的倒锥结构。
4.根据权利要求2或3所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
在所述平台的侧面与所述基板接触的边缘部具有沿着所述平台的侧面贯穿所述基板的贯穿孔。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
在俯视图中，所述凹阶梯部的底面为与所述平台的配置有突起状图案的表面相同的形状，并且所述凹阶梯部的底面面积等于或小于所述平台的配置有突起状图案的表面的面积。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
所述凹阶梯部由多个构成，
在所述树脂原版制作工序中，通过重复所述定位工序和所述凹状图案形成工序来制作热塑性树脂原版。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
在所述定位工序中包括如下步骤：计算所述原版的错位量，并且计算所述热塑性树脂板的凹阶梯部的中心位置，根据所计算出的结果使所述热塑性树脂板和所述原版相对移动。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
所述原版的突起部在远离所述原版的平台的方向上具有锥台部和锥形针部。
9.一种金属模具的制作方法，其包括：
金属模具制作工序，使用权利要求1至8中任一项所述的热塑性树脂原版的制作方法而制作的热塑性树脂原版，并通过电铸处理来制作包括配置有突起状图案的凸阶梯部的金属模具。
10.一种模具的制作方法，其包括：
模具制作工序，使用由权利要求9所述的金属模具的制作方法制作的金属模具来制作所述金属模具的凸阶梯部及所述金属模具的突起状图案的倒置形状的模具。
11.根据权利要求10所述的模具的制作方法，其中，所述模具由硅酮树脂构成。
12.一种图案片材的制造方法，其包括：
通过权利要求10或11所述的模具的制作方法来制作在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的工序；
将液态材料供给到所述模具的凹阶梯部，并将所述液态材料填充于所述模具的凹状图案中的工序；
通过固化所述液态材料而制得具有突起状图案的图案片材的工序；及
将所述图案片材从所述模具脱模的脱模工序。
13.根据权利要求12所述的图案片材的制造方法，其中，
所述图案片材是微针阵列。
14.根据权利要求12或13所述的图案片材的制造方法，其中，
所述液态材料是聚合物溶解液。
15.根据权利要求14所述的图案片材的制造方法，其中，
所述聚合物溶解液包含水溶性材料。
16.一种热塑性树脂原版的制作方法，其是在具有凹状图案的模具的制作中所用的热塑性树脂原版的制作方法，包括：
准备原版的原版准备工序，该原版具有配置有由多个突起部构成的突起状图案的平台；
准备热塑性树脂板的树脂板准备工序，所述热塑性树脂板在平坦面上形成有具有底面和壁面的凹阶梯部，且所述凹阶梯部具有等于或小于所述突起状图案及所述平台的总体积的容积；及
制作热塑性树脂原版的树脂原版制作工序，其中包括：定位工序，使所述原版和所述热塑性树脂板相对移动，以将所述原版的突起状图案和所述凹阶梯部的中心位置进行定位；及凹状图案形成工序，在将经过加热的所述原版的突起状图案及所述平台按压于所述凹阶梯部的底面之后，冷却所述原版，并将所述原版与所述热塑性树脂板分离，由此将所述突起状图案的倒置形状的凹状图案形成于所述热塑性树脂板上，
所述原版在所述平台的与配置有所述突起状图案的表面相反的一侧，具备具有在俯视图中比所述平台更宽的面积的基板，
根据所述凹状图案形成工序，通过将所述平台按压于所述凹阶梯部的底面而被压回的树脂扩展到所述平坦面与所述基板的间隙中。
17.根据权利要求16所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
在所述热塑性树脂原版的所述平坦面上形成的凸部的表面从所述热塑性树脂原版的凹阶梯部的壁面连续，并且作为所述凸部的侧面的与凹阶梯部相反的一侧的侧面为从所述平坦面向所述凸部的表面扩展的倒锥结构。
18.根据权利要求16或17所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
在所述平台的侧面与所述基板接触的边缘部具有沿着所述平台的侧面贯穿所述基板的贯穿孔。
19.根据权利要求16或17所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
在俯视图中，所述凹阶梯部的底面为与所述平台的配置有突起状图案的表面相同的形状，并且所述凹阶梯部的底面面积等于或小于所述平台的配置有突起状图案的表面的面积。
20.根据权利要求16或17所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
所述凹阶梯部由多个构成，
在所述树脂原版制作工序中，通过重复所述定位工序和所述凹状图案形成工序来制作热塑性树脂原版。
21.根据权利要求16或17所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
在所述定位工序中包括如下步骤：计算所述原版的错位量，并且计算所述热塑性树脂板的凹阶梯部的中心位置，根据所计算出的结果使所述热塑性树脂板和所述原版相对移动。
22.根据权利要求16或17所述的热塑性树脂原版的制作方法，其中，
所述原版的突起部在远离所述原版的平台的方向上具有锥台部和锥形针部。
23.一种金属模具的制作方法，其包括：
金属模具制作工序，使用权利要求16至22中任一项所述的热塑性树脂原版的制作方法而制作的热塑性树脂原版，并通过电铸处理来制作包括配置有突起状图案的凸阶梯部的金属模具。
24.一种模具的制作方法，其包括：
模具制作工序，使用由权利要求23所述的金属模具的制作方法制作的金属模具来制作所述金属模具的凸阶梯部及所述金属模具的突起状图案的倒置形状的模具。
25.根据权利要求24所述的模具的制作方法，其中，所述模具由硅酮树脂构成。
26.一种图案片材的制造方法，其包括：
通过权利要求24或25所述的模具的制作方法来制作在凹阶梯部中具有凹状图案的模具的工序；
将液态材料供给到所述模具的凹阶梯部，并将所述液态材料填充于所述模具的凹状图案中的工序；
通过固化所述液态材料而制得具有突起状图案的图案片材的工序；及
将所述图案片材从所述模具脱模的脱模工序。
27.根据权利要求26所述的图案片材的制造方法，其中，
所述图案片材是微针阵列。
28.根据权利要求26或27所述的图案片材的制造方法，其中，
所述液态材料是聚合物溶解液。
29.根据权利要求28所述的图案片材的制造方法，其中，
所述聚合物溶解液包含水溶性材料。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6911196B2 (ja) * 2018-03-27 2021-07-28 富士フイルム株式会社 凹状台座パターンを有するモールドの作製方法及びパターンシートの製造方法
JP7038679B2 (ja) * 2019-03-05 2022-03-18 富士フイルム株式会社 熱可塑性樹脂原版の作製方法、金型の作製方法、モールドの作製方法及びパターンシートの製造方法
USD910843S1 (en) * 2020-05-14 2021-02-16 Gravity Holdings, LLC Triangular hypodermic needle array with evenly spaced needles
USD921194S1 (en) * 2020-05-14 2021-06-01 Gravity Holdings, LLC Triangular hypodermic needle array
USD910842S1 (en) * 2020-05-14 2021-02-16 Gravity Holdings, LLC Square shaped hypodermic needle array with evenly spaced needles
USD920506S1 (en) * 2020-05-14 2021-05-25 Gravity Holdings, LLC Rectangular hypodermic needle array
USD910841S1 (en) * 2020-05-14 2021-02-16 Gravity Holdings, LLC Circular hypodermic needle array with evenly spaced needles
USD910844S1 (en) * 2020-05-14 2021-02-16 Gravity Holdings, LLC Rectangular hypodermic needle array with evenly spaced needles
USD921193S1 (en) * 2020-05-14 2021-06-01 Gravity Holdings, LLC Circular hypodermic needle array
USD920505S1 (en) * 2020-05-14 2021-05-25 Gravity Holdings, LLC Square shaped hypodermic needle array

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011083993A (ja) * 2009-10-16 2011-04-28 Toshiba Mach Co Ltd 型の製造方法
JP2015231476A (ja) * 2014-06-10 2015-12-24 凸版印刷株式会社 針状体パッド
EP3108924A1 (en) * 2014-03-26 2016-12-28 Nissha Printing Co., Ltd. Packaging body for sheet with conical projections and method for manufacturing same
WO2017056893A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 富士フイルム株式会社 集合モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、及び電鋳金型を用いた第２モールドの作製方法
JP2017148429A (ja) * 2016-02-26 2017-08-31 富士フイルム株式会社 貫通孔を有するモールドの製造方法、および、突起状パターンを有するパターンシートの製造方法
CN107433263A (zh) * 2016-05-25 2017-12-05 山东新北洋信息技术股份有限公司 分拣单元及智能分拣设备
JP2017213171A (ja) * 2016-05-31 2017-12-07 富士フイルム株式会社 凹状パターンモールド、凹状パターンモールドの製造方法、および、パターンシートの製造方法
JP2018042678A (ja) * 2016-09-13 2018-03-22 富士フイルム株式会社 凹状パターンモールドおよびパターンシートの製造方法
CN107922183A (zh) * 2015-09-30 2018-04-17 富士胶片株式会社 铸模的制作方法、图案片材的制造方法、电铸模具的制作方法及使用了电铸模具的铸模的制作方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5770055B2 (ja) * 2010-09-29 2015-08-26 富士フイルム株式会社 針状アレイ経皮吸収シートの製造方法
JP6323975B2 (ja) * 2012-06-22 2018-05-16 凸版印刷株式会社 針状体の製造方法
JP6411395B2 (ja) * 2015-03-10 2018-10-24 富士フイルム株式会社 経皮吸収シートの製造方法
KR20180038511A (ko) * 2015-09-30 2018-04-16 후지필름 가부시키가이샤 패턴 시트의 제조 방법
JP6499598B2 (ja) * 2015-10-06 2019-04-10 富士フイルム株式会社 経皮吸収シートの製造方法
JP6571586B2 (ja) 2016-05-13 2019-09-04 富士フイルム株式会社 モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、及び電鋳金型を用いたモールドの作製方法
WO2019225288A1 (ja) * 2018-05-25 2019-11-28 富士フイルム株式会社 凹段差部に凹状パターンを有するモールドの作製方法及びパターンシートの製造方法
JP6985233B2 (ja) * 2018-10-15 2021-12-22 富士フイルム株式会社 針状突起を有する原版の製造方法、及びマイクロニードルアレイの製造方法
JP7038679B2 (ja) * 2019-03-05 2022-03-18 富士フイルム株式会社 熱可塑性樹脂原版の作製方法、金型の作製方法、モールドの作製方法及びパターンシートの製造方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011083993A (ja) * 2009-10-16 2011-04-28 Toshiba Mach Co Ltd 型の製造方法
EP3108924A1 (en) * 2014-03-26 2016-12-28 Nissha Printing Co., Ltd. Packaging body for sheet with conical projections and method for manufacturing same
JP2015231476A (ja) * 2014-06-10 2015-12-24 凸版印刷株式会社 針状体パッド
WO2017056893A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 富士フイルム株式会社 集合モールドの作製方法、パターンシートの製造方法、電鋳金型の作製方法、及び電鋳金型を用いた第２モールドの作製方法
CN107922183A (zh) * 2015-09-30 2018-04-17 富士胶片株式会社 铸模的制作方法、图案片材的制造方法、电铸模具的制作方法及使用了电铸模具的铸模的制作方法
EP3357862A1 (en) * 2015-09-30 2018-08-08 FUJIFILM Corporation Mould fabrication method, patterned sheet production method, electroformed mould fabrication method, and mould fabrication method using electroformed mould
JP2017148429A (ja) * 2016-02-26 2017-08-31 富士フイルム株式会社 貫通孔を有するモールドの製造方法、および、突起状パターンを有するパターンシートの製造方法
CN107433263A (zh) * 2016-05-25 2017-12-05 山东新北洋信息技术股份有限公司 分拣单元及智能分拣设备
JP2017213171A (ja) * 2016-05-31 2017-12-07 富士フイルム株式会社 凹状パターンモールド、凹状パターンモールドの製造方法、および、パターンシートの製造方法
JP2018042678A (ja) * 2016-09-13 2018-03-22 富士フイルム株式会社 凹状パターンモールドおよびパターンシートの製造方法

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