CN111432910A - 激光放电腔室中用于灰尘捕获的非织造筛网 - Google Patents

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Abstract

一种用于从气体放电激光器中的气体中去除颗粒物的***包括一个或多个非织造筛网，尤其针对可制造性和特征集成而对该非织造筛网进行了优化。非织造筛网被配置用于精确引导气流以优化颗粒从气流中的分离并且提供足够的表面积以提高灰尘粘附力。

Description

激光放电腔室中用于灰尘捕获的非织造筛网
相关申请的交叉引用
本申请要求于2017年12月5日提交的美国申请62/594,768的优先权，其全部内容通过引用并入本文。
技术领域
本发明涉及用于在集成电路光刻制造工艺中曝光集成电路光致抗蚀剂的气体放电激光器，例如，用于产生光(例如，DUV光)源的气体放电激光器。
背景技术
众所周知，在气体放电激光器中，例如在***体中使用氟的气体放电激光器，例如KrF、ArF和F2气体放电激光器，由于氟与***体放电腔室内的金属成分的相互作用，存在产生金属氟化物形式的碎屑的倾向。这样的气体放电激光器可以特别地在选定的期望中心波长处或附近使用，例如，用于KrF气体放电激光器的波长为约248nm和用于ArF气体放电激光器的波长为约193nm。随着时间的流逝，这些碎片会积聚在各种表面上，诸如激光腔室的光学组件(例如，腔室窗口)的表面上，这会由于多种原因而导致输出功率降低，例如，激光不希望地反射离开光学器件和/或激光通过光学器件的传输被阻塞。这可能导致需要在不希望的升高的放电电压下操作激光器，从而导致激光器腔室寿命缩短。
另外，在某些情况下，尤其取决于通量水平和波长等，镀敷的碎屑会引起光学元件上的局部吸收很高，从而导致光学元件在例如高通量的DUV灯下比正常情况更早失效。夹带在流动气体中的灰尘形式的碎屑也会造成散射损失。这种现象会导致在气体放电激光器的电极之间的气体放电中生成的光子发生散射，以至于光子不能以如下的足够的量到达激光谐振腔中的反射镜，该足够的量使得在放电期间在激发的气体介质中产生足够的激光。这在粉尘含量足够高时可能足够重要，以使得在给定的一个或多个脉冲中根本不会发生激光发射。
这种现象的发生频率和可能性会随着在腔室的整个使用寿命内灰尘的累积而增加，该使用寿命例如以数十亿个脉冲为单位进行测量，并且最终可能导致该行业中所谓的老年综合症(“OAS”)或至少是造成该OAS的重要原因，OAS的发作通常需要更换腔室以维持所需要的输出激光脉冲能量(剂量)，并且还可能影响其他要求，诸如脉冲对脉冲参数稳定性要求。
以一种类型的金属成分为例，腔室内的电极在操作过程中会磨损，以生成金属氟化物(MF)灰尘。为了防止灰尘干扰腔室操作，目前采用了两种***。几层筛网安装在腔室的底部，以将颗粒从气流中分离出来。另外，较小的圆柱形腔室(金属氟化物捕获阱或MFT)附接到主腔室，该主腔室容纳附加筛网和静电除尘器。MFT具有来自腔室的输入端口和返回腔室的输出端口，使得腔室气体流出腔室、流动通过碎片收集器并且然后流回腔室。MFT例如在于1991年5月21日发布的题为“Compact Excimer Laser”的美国专利No.5,018,161、于1994年12月13日发布的题为“Excimer Laser Apparatus”的美国专利No.5,373,523和于2003年5月27日发布的题为“Gas Laser Device”的美国专利No.6,570,899中公开，其全部内容通过引用并入本文。灰尘捕获***的各个方面例如在于2009年4月29日发布的美国专利No.7,722,650和于2010年5月6日公开的美国专利申请公开No.2010/0107870中公开，这两个专利通过引用整体并入本文。
在常规***中，安装在MFT中和隔室底部的筛网是标准的黄铜织造网，其需要特殊的清洁度以符合高纯度应用要求。由于腔室的结构，在腔室寿命尽头时，这些筛网不容易清洗到足够的水平并且因此需要丢弃。另外，使用了几层来提供足够的收集能力，从而导致非常高的表面积和捕获污染物的潜力。在MFT中，这些筛网还用作沿着期望流动路径引导气体的流动屏障。随着筛网积聚灰尘，导流特性以及因此流路在腔室寿命期间以不可预测的方式改变。在制造工艺中，这些筛网的多层放置容易出错，并且可能会影响按预期方向引导流动的能力以及影响灰尘颗粒的积聚。
因此，需要能够提供一种有效地捕获灰尘的灰尘捕获***设计。
发明内容
以下给出了一个或多个实施例的简化概述，以便提供对实施例的基本理解。该概述不是所有预期实施例的详尽概述，并且并非旨在标识所有实施例的关键或重要元素，也不旨在界定任何或所有实施例的范围。其唯一目的是以简化的形式呈现一个或多个实施例的一些概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。
所提出的发明旨在将当前织造型筛网替换为具有定制的凸起结构特征的薄金属板，该凸起特征结构可以与孔图案相结合。当前，凸起的结构特征和孔可以通过诸如金属冲压或光蚀刻或化学蚀刻等制造技术来实现。使用这种制造技术的能力又提供了定制筛网图案的能力，以提供特定于给定应用表面积、空隙率和凸起特征。这样可以精确地引导气流，以优化颗粒从气流中的分离并且提供足够的表面积以粘附灰尘。其次，筛网结构允许使用如下制造方法：该制造方法允许作为图案化过程的一部分来集成安装和锁定特征(诸如闩锁)，而无需使用后续的生产后步骤。这些筛网可以用比可用于网状筛网的更广泛的合金来制成，从而可以在耐腐蚀性和颗粒吸引方面进行优化。如果需要，也可以更轻松地应用定制饰面。这是结构简单(减少折痕、结点)的结果，这也允许将这些零件冲洗到高清洁度标准。
因此，根据第一方面，公开了一种用于从气体放电激光器的放电腔室中的气体中去除颗粒物的***，该***包括与放电腔室流体连通的过滤器，该过滤器包括至少一个非织造筛网。过滤器可以位于放电腔室内，放电腔室可以具有底部，在这种情况下，过滤器可以位于放电腔室的底部附近。过滤器可以位于放电腔室外部，并且该***还可以包括将过滤器连接到放电腔室的内部的至少一个端口。至少一个非织造筛网可以具有多个凸起特征，并且还可以具有多个孔隙，凸起特征的尺寸和定位以及孔隙的尺寸和定位使得气体的围绕凸起特征越过筛网的一部分的速度可以被降低到气体中夹带的大量(例如，大部分)颗粒物的沉降速度以下。气体可以被引起在第一方向上流过至少一个非织造筛网的表面，并且该至少一个非织造筛网可以具有多个孔隙，这些孔隙具有相关联的凸起特征，用于每个孔隙的相关联的凸起特征被定位为使得当气体在第一方向上流动时，凸起特征在孔隙的上游。
气体可以被引起在第一方向上流过至少一个非织造筛网的表面，并且该至少一个非织造筛网具有多个基本矩形的孔隙，这些孔隙具有相关联的基本矩形的凸起特征，用于每个孔隙的相关联的凸起特征被定位为使得当气体在第一方向上流动时，凸起特征在孔隙的上游。孔隙的在第一方向上测量的长度可以在约1mm至约10mm的范围内。孔隙的横向于第一方向而测量的宽度可以在约1mm至约10mm的范围内。
气体可以被引起在第一方向上流过至少一个非织造筛网的表面，并且该至少一个非织造筛网可以具有多个基本矩形的孔隙，这些孔隙具有相关联的基本矩形的凸起特征，用于每个孔隙的相关联的凸起特征被定位为使得当气体在第一方向上流动时，凸起特征在孔隙的下游。
非织造筛网可以使用激光蚀刻技术、光刻技术、金属冲压技术、沉积技术、多孔金属板技术或这些技术的某种组合来制造。
根据另一方面，公开了一种从气体放电激光器的放电腔室中的气体中除去颗粒物的方法，该方法包括以下步骤：放置与放电腔室流体连通的过滤器，该过滤器至少包括一个非织造筛网，以及使气体流过过滤器。放置步骤可以包括将过滤器定位在放电腔室内。放电腔室可以具有底部，并且放置步骤可以包括将过滤器定位在放电腔室的底部附近。放置步骤可以包括将过滤器定位在放电腔室外部，并且使气体流过过滤器的步骤可以包括使气体流动通过将过滤器连接到放电腔室的内部的至少一个端口。
根据另一方面，公开了一种制造非织造筛网的方法，该方法包括使用光刻法来产生凸起特征的阵列或凸起特征和孔隙的阵列。
根据另一方面，公开了一种制造非织造筛网的方法，该方法包括使用金属冲压来产生筛网元件阵列，每个筛网元件包括限定邻近孔的凸起特征的第一结构。筛网元件还可以包括限定孔的第二结构。
本发明的其他实施例、特征和优点、以及各个实施例的结构和操作在下面参考附图来详细描述。
附图说明
并入本文中并且构成说明书的一部分的附图通过示例而非限制的方式示出了本发明的实施例的方法和***。与详细描述一起，附图还用于解释原理，并且使得相关领域技术人员能够制造和使用本文中提出的方法和***。在附图中，相同的附图标记表示相同或功能相似的元素。
图1是根据本发明的实施例的各方面的气体放电激光腔室的局部截面示意图，其横截面是横向于在气体放电激光腔室中产生的激光输出光束的光轴而截取的。
图2是根据本发明的一个实施例的各方面的筛网的透视图。
图3是根据本发明的另一实施例的各方面的筛网的透视图。
图4A是根据本发明的另一实施例的各方面的筛网的透视图，并且图4B是图4A的筛网的侧视图。
图5是根据本发明的另一实施例的各方面的筛网的侧视图。
图6是根据本发明的另一实施例的各方面的筛网的侧视图。
图7是与示出作为本发明的一些实施例的各方面的基础的一些原理结合使用的图。
图8A是根据本发明的另一实施例的各方面的筛网的俯视平面图，并且图8B是根据本发明的另一实施例的各方面的筛网的侧视平面图。
图9A是根据本发明的另一实施例的各方面的筛网的剖面侧视图，图9B是图9A的实施例的组件的局部剖面透视图，并且图9C是图9B的组件的端视图。
下面参考附图详细描述本发明的其他特征和优点以及本发明的各种实施例的结构和操作。注意，本发明不限于本文中描述的特定实施例。本文中提出这样的实施例仅用于说明性目的。基于本文中包含的教导，其他实施例对于相关领域的技术人员将是很清楚的。
具体实施方式
现在参考附图描述各种实施例，其中贯穿全文，相似的附图标记用于指代相似的元素。在下面的描述中，出于解释的目的，阐述了很多具体细节以便促进对一个或多个实施例的透彻理解。然而，在一些或所有情况下，可能很清楚的是，可以在不采用以下描述的具体设计细节的情况下，实践以下描述的任何实施例。在其他情况下，以框图形式示出了公知的结构和设备，以便于描述一个或多个实施例。以下给出了一个或多个实施例的简化概述，以提供对实施例的基本理解。该概述不是所有预期实施例的详尽概述，并且并非旨在标识所有实施例的关键或重要元素，也不旨在界定任何或所有实施例的范围。
在下面的描述中以及在权利要求书中，可以使用术语“上部”、“下部”、“顶部”、“底部”、“竖直”、“水平”以及类似术语。这些术语旨在仅示出相对取向，而不是相对于重力的任何取向。
此外，如本文中使用的，术语“筛网”用于指代可以包括或可以不包括孔、孔隙或孔径的结构、设备和布置。
现在转向图1，示出了根据本发明的实施例的一个方面的气体放电激光***气体放电腔室20。腔室20可以由例如腔室上半部22和腔室下半部24组成，当它们通过适当的手段(例如，通过螺栓)连接到彼此时，腔室上半部22和腔室下半部24可以用于限定腔室内部26。腔室上半部22和腔室下半部还限定例如腔室内部竖直壁28，并且腔室下半部24限定腔室内部水平底壁29。
在腔室26内还包含例如气体放电***，该气体放电***包括两个细长的相对电极：阴极30和阳极32，在它们之间限定有气体放电区域34，其中响应于在阴极30和阳极32上存在足够的电压，气体在电极之间且也在细长的放电区域34中传导，并且在放电的电离等离子体中发生某些化学和电反应，这导致例如在特征中心波长处或附近产生辐射，该辐射沿着输出激光脉冲的光轴光学地定向，该光轴通常与电极30和32的纵轴对准。
例如阳极支撑杆36也可以在腔室26内。阳极可以通过多个电流回路连接到腔室上半部22，其中腔室顶部22与腔室底部24一起例如保持为公共电压，例如接地电压。
例如，阴极30可以例如通过高压馈通42(其穿过主绝缘体44)连接到通过组件40的放电高压馈电。主绝缘体44可以保持阴极与腔室上半部22电隔离。例如预离子发生器50也可以在腔室内部26内，例如，在阴极30的附近。
包括气体循环风扇60的气体循环***也可以在气体放电腔室26内，该气体循环风扇60可以是例如大体上圆柱形的横流风扇60。风扇60用于常以如图1的横截面图所示的圆形方式在腔室内部26内移动气体，以便在连续的气体放电之间，从放电区域34中去除包含电离颗粒和碎屑和废弃物的气体，以在下一次气体放电之前用新鲜气体补充放电区域。气体循环***还可以在大体圆形的气体流动路径中包括多个热交换器70，以例如通过放电和风扇60的操作来去除添加到气体中的热量。
气体循环***还可以具有多个弯曲的挡板80、和导流叶片62，这些挡板80和导流叶片62可以用于分别使大体上圆形的气体流动路径从放电区域34朝向热交换器70引出，并且最终引向风扇60的进气口，并且从风扇60的输出引向放电区域34。
腔室26还可以具有附接到该腔室26的且与腔室26内部流体连通的金属氟化物捕获器(MFT)90，并且还可以具有沿着腔室26的底部24的水平底部内壁29定位的灰尘收集器100。应当理解，灰尘是指各种形式的碎屑，例如主要是金属氟化物材料，该碎屑随气体循环而循环并且在肉眼上看起来像粉尘或棉绒状。MFT 90可以被配置为环形通道。一个或多个筛网被卷起并且放置在该通道中，以从流动通过通道的气体中除去颗粒。
MFT 90和灰尘收集器100包括用于从腔室26中的气体中去除灰尘的筛网。这些筛网通常是织造网式筛网，其容易出现一些问题，这些问题包括难以清洗并且因此通常无法重新使用。“织造的”在这里是指通过交织金属丝或其他细条材料而形成的。根据本发明的实施例的一个方面，MFT 90和灰尘收集器100中的筛网不是织造的，而是使用诸如金属冲压和/或光刻等非织造技术制造的。在此，“无纺”和“非织造”是指通过除交织金属丝或其他细条材料之外的方法来形成。
这样的筛网在图2中示出。图2示出了由板210制成的筛网200，该板210通常由例如金属材料制成。筛网200包括孔隙220的阵列(有序的或无序的)。在所示布置中，该阵列按一系列的行和列排序，其中相邻的行相对于彼此交错。而且，在所示布置中，每个孔隙220是新月形的，但是应当理解，孔隙220可以具有不同的形状，例如矩形、圆形、椭圆形、曲线形、梯形、多边形、月牙形等。尽管阵列中的所有孔隙220具有相同的尺寸和形状，但是应当理解，这不是必需的，并且通常，阵列可以包括具有不同尺寸和形状的孔隙220。
在所示布置中，每个孔隙220具有相关联的凸起特征230。应当理解，并非所有孔隙220都必须具有凸起特征230，并且可以构造如下的筛网200，在该筛网200中，一些孔隙220具有凸起特征230而其他孔隙没有凸起特征。还应当理解，并非所有凸起特征230都需要具有相关联的孔隙220，并且可以构造如下的筛网200，在该筛网200中，一些凸起特征230具有孔隙220而其他凸起特征不具有孔隙220。在所示布置中，每个凸起特征230大体上为圆顶形，以便阻挡和重定向在箭头A的方向上流过板210的表面的气体，以在凸起特征的下游产生低压区域，但是应当理解，凸起特征230可以具有不同的形状，例如矩形、圆形、椭圆形、曲线形、梯形、多边形、新月形等。尽管阵列中的所有凸起特征230具有相同的尺寸和形状，但是应当理解，这不是必须的，并且通常，阵列可以包括具有不同尺寸和形状的凸起特征230。尽管在所示布置中，凸起特征或突起230在孔隙220的上游，但是也可以具有其中凸起特征位于孔隙的下游从而在凸起特征230的上游产生低压/低速区域的布置。
图3示出了由板310制成的筛网300，该板310通常由例如金属材料制成。筛网300包括孔隙320的阵列(有序的或无序的)。在所示布置中，该阵列按一系列的行和列排序，其中相邻的行相对于彼此交错。而且，在所示布置中，每个孔隙320通常是矩形的，但是应当理解，孔隙320可以具有不同的形状，例如圆形、椭圆形、曲线形、梯形、多边形、新月形等。尽管阵列中的所有孔隙320具有相同的尺寸和形状，但是应当理解，这不是必需的，并且通常，阵列可以包括具有不同尺寸和形状的孔隙320。
在图3所示布置中，每个孔隙320具有相关联的凸起特征330。应当理解，并非所有孔隙320都必须具有凸起特征330，并且可以构造如下的筛网300，在该筛网300中，一些孔隙320具有凸起特征330而其他孔隙没有凸起特征。还应当理解，并非所有凸起特征330都需要具有相关联的孔隙320，并且可以构造如下的筛网300，在该筛网300中，一些凸起特征330具有孔隙320而其他凸起特征不具有孔隙320。在所示布置中，每个凸起特征330是矩形的，以便阻挡和重定向在箭头B的方向上流过板310的表面的气体，以在每个凸起特征330的下游产生低压区域。应当理解，凸起特征330可以具有不同的形状，例如圆形、椭圆形、曲线形、梯形、多边形、新月形等。尽管阵列中的所有凸起特征330具有相同的尺寸和形状，但是应当理解，这不是必需的，并且通常，阵列可以包括具有不同尺寸和形状的凸起特征330。
在所示布置中，气体可以在与箭头B的方向相反的方向上流过板310的表面，以在凸起特征的上游产生低压区域。然而，气体主要流过板310，而不是主要穿过板310流动。
筛网200和筛网300被配置为使流过其的气流转向和/或穿过其流动的气流转向。凸起特征与适当尺寸的孔隙或开口的结合不仅允许基于压降来控制气体，而且可以通过操纵流线来控制气体。筛网的几何特征和图案也可以被配置为：使得它们与织造网相比更易于清洁，从而使得筛网更有可能可以被重复使用。
筛网消除了流过筛网的气体中的大量(例如，大部分)颗粒物，由于形成在凸起特征的下游并且在一定程度上形成在凸起特征的上游的低压/低颗粒速度的区域。如果存在孔径或孔隙，则可以通过孔隙两端的压力差并且因此通过穿过孔隙的气流而使颗粒物穿过孔隙，这将颗粒物从主气流中去除。另外，根据筛网的方向，重力可能会导致这种效果。但是，由于颗粒倾向于发粘，因此减慢它们的速度会使它们粘附到筛网表面，从而提供了另一种有效地去除它们的机制。例如，图4A示出了没有任何孔径的筛网340。在这种布置中，主要通过将颗粒物充分减慢以使其粘附到筛网340的表面，而去除颗粒物。该效果在凸起特征330下游的低压区域中将是最明显的，如图4B所示，其中大量颗粒物334聚集在凸起特征330的下游侧的底部。大量颗粒物336也将聚集在凸起特征330的上游侧的底部。由于颗粒是粘性的，它们也会粘附到并且积聚在其他表面上。
图5示出了筛网5，该筛网5没有任何通孔，而是具有凹陷325。在这种布置中，主要通过将颗粒物放慢到足以使其粘附到筛网表面的方式来去除颗粒物。在凹陷325中的凸起特征330的下游的低压区域中，这种影响将是最明显的。
图6示出了具有凸起特征330和开口320的筛网，其中开口320通向导管或气室360。在这种布置中，还通过将颗粒物充分减慢以使其穿过开口320并且积聚在气室360中来去除颗粒物。气流也可以被建立在气室360中，以在开口处形成低压区域并且将后面的颗粒输送到另一位置。一些颗粒物也可能在气室360内积累为团块362。由于颗粒是粘性的，它们也将倾向于粘附到并且积累在其他表面上。
关于尺寸和形状的选择，如果有机会的话，灰尘颗粒(特别是在放电腔室中发现的金属氟化物颗粒)容易粘附到任何表面。颗粒相对于表面的相对运动越慢，或停留时间(静止的颗粒)越长，引起粘附的力就越有效。其次，流动必须使得颗粒经常与固体表面接触。尽管存在多个相关的物理参数和属性，但是流态和流速是主要的。
关于流态，筛网处的气流优选地应当是层流的，因为湍流增加了产生局部升高的速度和运动的涡流的机会、该运动的涡流将夹杂的颗粒随机带回到气流中。这些局部升高的速度和运动的涡流在设计捕获器时提出了工程上的挑战。因此，需要稳定的层流。对于此处考虑的腔室筛网设计，雷诺数(用于预测流态的量)应当小于50。
Figure BDA0002524035230000111
其中：
ρ是流体的密度(SI单位：kg/m3)；
u是流体相对于物体的速度(m/s)；
L是特征线性尺寸(m)；
μ是流体的动态粘度(Pa·s或N·s/m2或kg/m·s)；以及
ν是流体的运动粘度(m2/s)。
这个数字可以从后向步阶理论中得出。当障碍物部分阻塞气流时，在障碍物的背面会形成低压环境，该低压环境导致气体流向背面。对于低雷诺数，所生成的漩涡是稳定的。随着雷诺数的增加，这些旋涡开始振荡并且最终变得不稳定。在粒子捕获器的上下文中，这些旋涡提供的区域的局部速度要比主流速度慢几个数量级，从而为灰尘沉降提供最佳条件。
这导致考虑流速。腔室气体以约20-40m/s的速度流动。对于一定大小和重量的颗粒，存在一种流速，由气体施加的力在该流速下无法充分保持该颗粒悬浮。这称为沉降速度。颗粒越小，其降落并且在重力上沉降所需要的流动就越慢。
Figure BDA0002524035230000121
其中：
w是沉降速度；
ρp是粒子密度；
ρf是流体密度；
g是重力引起的加速度；
r是粒子的半径；以及
μ是流体的动态粘度。
根据是否要考虑离散颗粒或通常发生的团聚，使用介于0.5至50微米之间的腔室灰尘粒径分布，结合气体粘度和相应密度，可以得出该参数。图7是示出沉降速度与粒子半径的函数的曲线图。
根据该计算，可以假定需要将气流从自由流降低至＜1m/s，以实现灰尘捕获设备的期望功能。
例如，对于筛网300，如图8A和8B所示，孔隙320的横向于流动而测量的宽度(尺寸C)可以在微米至毫米的范围内。孔隙320平行于流动而测量的长度(尺寸D)可以在约1mm至约10mm的范围内。孔隙320可以以交错的行布置，其中从一个凸起特征330到下一行中的凸起特征330的距离(尺寸E)为毫米量级。凸起特征的高度(图8B中的尺寸F)可以在约3mm至约15mm的范围内，尽管该尺寸可以被确定为填充筛网300与相邻结构之间的空间，例如，如果筛网被卷绕或折叠，则是MFT 90的环形壁、另一筛网、或同一筛网的其他部分。
如图9A所示，在MFT 90中，气体首先流动通过环形管道900。环形管道900的内壳和外壳之间的间隙为毫米量级。在激光操作过程中，通过MFT的流速在100cm3/sec的量级，这导致流速在cm3/sec的量级。为了实现上述概念，可以从后向步阶理论中得出凸起特征或突起的尺寸和间距。突起的高度可以被选择为使得内壳和外壳之间的全部空间被占据并且不发生旁路。宽度和横向分离距离决定了气体的“节流”，这会局部气体加速并且影响雷诺数。仔细平衡这些参数，可以建立适当的流态。然后，可以计算在突起后面的再循环区域的长度，灰尘将聚集在该区域中。对于此处描述的条件，这些等于突起宽度。在设计筛网时，成排的突起的间距加倍，以使流动在遇到下一突起之前先拉直。因此，在通过根据本文中的教导而制成的筛网920或分层筛网920的表面上的过程中，气体流穿过进气口910并且穿过环形管道900。然后，气体被转向以从静电除尘器930上方经过，然后，气体被引向出口940。
图9B是环形管道900和位于其中的筛网920的局部剖面透视图。在所示布置中，筛网920具有突起或凸起特征，该突起或凸起特征尺寸被确定为在径向方向上基本上填充环形管道900。气体在环形管道900中流动，并且气流中的颗粒物变慢并且粘附到表面，诸如筛网920的表面和环形管道900的内表面。这结合图9C示出。当环形导管900如图所示定向时，重力(其方向将由箭头G指示)将趋向于引起颗粒物积聚在如粗线所示的朝上的表面上，尽管颗粒通常也倾向于粘附到具有其他取向的表面。
如上所述，与在织造筛网中提供相同的安装特征相比，也更容易在诸如筛网200和筛网300等非织造筛网中结合诸如孔和凸台等安装特征。可以在使用相同技术制造凸起特征或凸起特征和孔隙的同时将这些特征结合到筛网中。
诸如筛网200和筛网300等非织造筛网可以使用技术中的任何一种或这些技术的组合来制造。例如，使用光蚀刻或化学蚀刻产生孔隙并且使用沉积技术构造凸起特征，可以制造筛网。该技术对于制造具有尺寸非常小的孔隙和凸起特征的筛网特别有用。突起可以通过蚀刻“切割线”来产生，在该“切割线”处，材料被去除。这些切割线的末端之间的短线(short line)然后就是折弯线，突起可以像襟翼一样围绕该折弯线折叠。实际的障碍物是通过机械手段产生的，诸如将襟翼推入期望位置的冲压。
激光蚀刻可以用于制造孔隙。机械成型方法可以用于将特征折弯到期望位置，从而产生突起。替代地，可以在一步工艺中使用金属冲压来制造凸起特征，或凸起特征和孔隙两者。可以使用诸如3D打印等增材制造技术来制作筛网。可以使用多空金属板技术(extended metal)，在该技术中，将一片金属材料切割并且拉伸以形成规则图案。
非织造筛网可以使用多种材料来制造。光刻可以在多种类型的金属上进行，因此可以选择满足耐腐蚀性和颗粒粘附性的材料。
以上描述包括多个实施例的示例。当然，不可能为了描述前述实施例的目的，而描述组件或方法的每种可能的组合，但是本领域普通技术人员可以认识到，各种实施例的很多其他组合和置换是可能的。因此，所描述的实施例旨在涵盖落入所附权利要求的精神和范围内的所有这样的改变、修改和变化。此外，就在详细描述或权利要求中使用术语“包括(includes)”的程度而言，该术语旨在以与术语“包括(comprising)”相似的方式被包括在内，如“包括(comprising)”当在权利要求中用作过渡词时被解释的。此外，尽管可以以单数形式描述或要求保护所描述的方面和/或实施例的要素，但是除非明确声明了对单数的限制，否则可以预期复数形式。另外，除非另有说明，否则任何方面和/或实施例的全部或一部分可以与任何其他方面和/或实施例的全部或一部分一起使用。
本发明的其他方面在以下编号的条款中阐述。
1.一种用于从气体放电激光器的放电腔室中的气体中去除颗粒物的***，所述***包括：
与所述放电腔室流体连通的过滤器，所述过滤器包括至少一个非织造筛网。
2.根据条款1所述的***，其中所述过滤器位于所述放电腔室内。
3.根据条款2所述的***，其中所述放电腔室具有底部，并且所述过滤器位于所述放电腔室的所述底部附近。
4.根据条款1所述的***，其中所述过滤器位于所述放电腔室外部，并且其中所述***还包括将所述过滤器连接到所述放电腔室的内部的至少一个端口。
5.根据条款1所述的***，其中所述至少一个非织造筛网具有多个凸起特征，并且其中所述凸起特征的尺寸和定位使得所述气体的围绕所述凸起特征越过所述筛网的一部分的速度被降低到所述气体中夹带的颗粒物的沉降速度以下。
6.根据条款5所述的***，其中所述至少一个非织造筛网具有多个孔隙，所述多个孔隙中的每个孔隙邻近所述多个凸起特征中的一个相应凸起特征。
7.根据条款1所述的***，其中所述气体被引起在第一方向上流过所述至少一个非织造筛网的表面，并且所述至少一个非织造筛网具有多个孔隙，所述多个孔隙具有相关联的凸起特征，用于每个孔隙的所述相关联的凸起特征被定位为使得当所述气体在所述第一方向上流动时，所述凸起特征在所述孔隙的上游。
8.根据条款1所述的***，其中所述气体被引起在第一方向上流过所述至少一个非织造筛网的表面，并且所述至少一个非织造筛网具有多个基本矩形的孔隙，所述多个基本矩形的孔隙具有相关联的基本矩形的凸起特征，用于每个孔隙的所述相关联的凸起特征被定位为使得当所述气体在所述第一方向上流动时，所述凸起特征在所述孔隙的上游。
9.根据条款8所述的***，其中所述孔隙的在所述第一方向上测量的长度在约1mm至约10mm的范围内。
10.根据条款8所述的***，其中所述孔隙的横向于所述第一方向而测量的宽度在约1mm至约10mm的范围内。
11.根据条款1所述的***，其中所述气体被引起在第一方向上流过所述至少一个非织造筛网的表面，并且所述至少一个非织造筛网具有多个基本矩形的孔隙，所述多个基本矩形的孔隙具有相关联的基本矩形的凸起特征，用于每个孔隙的所述相关联的凸起特征被定位为使得当所述气体在所述第一方向上流动时，所述凸起特征在所述孔隙的下游。
12.根据条款1所述的***，其中所述非织造筛网是使用光刻技术制造的。
13.根据条款1所述的***，其中所述非织造筛网是使用金属冲压技术制造的。
14.根据条款1所述的***，其中所述非织造筛网是使用化学蚀刻技术制造的。
15.根据条款1所述的***，其中所述非织造筛网是使用激光切割技术制造的。
16.根据条款1所述的***，其中所述非织造筛网是使用多孔金属板技术制造的。
17.根据条款1所述的***，其中所述非织造筛网是使用沉积技术制造的。
18.一种从气体放电激光器的放电腔室中的气体中去除颗粒物的方法，所述方法包括以下步骤：
放置与所述放电腔室流体连通的过滤器，所述过滤器包括至少一个非织造筛网；以及
使所述气体流过所述过滤器。
19.根据条款18所述的方法，其中所述放置步骤包括将所述过滤器定位在所述放电腔室内。
20.根据条款19所述的方法，其中所述放电腔室具有底部，并且所述放置步骤包括将所述过滤器定位在所述放电腔室的所述底部附近。
21.根据条款18所述的方法，其中所述放置步骤包括将所述过滤器定位在所述放电腔室外部，并且其中使所述气体流过所述过滤器的步骤包括使气体流动通过将所述过滤器连接到所述放电腔室的内部的至少一个端口。
22.一种制造非织造筛网的方法，其包括使用光刻法来产生孔隙阵列。
23.一种制造非织造筛网的方法，包括使用金属冲压来产生筛网元件阵列，所述筛网元件中的每个筛网元件包括限定孔的第一结构和限定与所述孔相邻的凸起特征的第二结构。
其他实现也在所附权利要求的范围内。

Claims (23)

1.一种用于从气体放电激光器的放电腔室中的气体中去除颗粒物的***，所述***包括：
与所述放电腔室流体连通的过滤器，所述过滤器包括至少一个非织造筛网。
2.根据权利要求1所述的***，其中所述过滤器位于所述放电腔室内。
3.根据权利要求2所述的***，其中所述放电腔室具有底部，并且所述过滤器位于所述放电腔室的所述底部附近。
4.根据权利要求1所述的***，其中所述过滤器位于所述放电腔室外部，并且其中所述***还包括将所述过滤器连接到所述放电腔室的内部的至少一个端口。
5.根据权利要求1所述的***，其中所述至少一个非织造筛网具有多个凸起特征，并且其中所述凸起特征的尺寸和定位使得所述气体的围绕所述凸起特征越过所述筛网的一部分的速度被降低到所述气体中夹带的颗粒物的沉降速度以下。
6.根据权利要求5所述的***，其中所述至少一个非织造筛网具有多个孔隙，所述多个孔隙中的每个孔隙邻近所述多个凸起特征中的一个相应凸起特征。
7.根据权利要求1所述的***，其中所述气体被引起在第一方向上流过所述至少一个非织造筛网的表面，并且所述至少一个非织造筛网具有多个孔隙，所述多个孔隙具有相关联的凸起特征，用于每个孔隙的所述相关联的凸起特征被定位为使得当所述气体在所述第一方向上流动时，所述凸起特征在所述孔隙的上游。
8.根据权利要求1所述的***，其中所述气体被引起在第一方向上流过所述至少一个非织造筛网的表面，并且所述至少一个非织造筛网具有多个基本矩形的孔隙，所述多个基本矩形的孔隙具有相关联的基本矩形的凸起特征，用于每个孔隙的所述相关联的凸起特征被定位为使得当所述气体在所述第一方向上流动时，所述凸起特征在所述孔隙的上游。
9.根据权利要求8所述的***，其中所述孔隙的在所述第一方向上测量的长度在约1mm至约10mm的范围内。
10.根据权利要求8所述的***，其中所述孔隙的横向于所述第一方向而测量的宽度在约1mm至约10mm的范围内。
11.根据权利要求1所述的***，其中所述气体被引起在第一方向上流过所述至少一个非织造筛网的表面，并且所述至少一个非织造筛网具有多个基本矩形的孔隙，所述多个基本矩形的孔隙具有相关联的基本矩形的凸起特征，用于每个孔隙的所述相关联的凸起特征被定位为使得当所述气体在所述第一方向上流动时，所述凸起特征在所述孔隙的下游。
12.根据权利要求1所述的***，其中所述非织造筛网是使用光刻技术制造的。
13.根据权利要求1所述的***，其中所述非织造筛网是使用金属冲压技术制造的。
14.根据权利要求1所述的***，其中所述非织造筛网是使用化学蚀刻技术制造的。
15.根据权利要求1所述的***，其中所述非织造筛网是使用激光切割技术制造的。
16.根据权利要求1所述的***，其中所述非织造筛网是使用多孔金属板技术制造的。
17.根据权利要求1所述的***，其中所述非织造筛网是使用沉积技术制造的。
18.一种从气体放电激光器的放电腔室中的气体中去除颗粒物的方法，所述方法包括以下步骤：
放置与所述放电腔室流体连通的过滤器，所述过滤器包括至少一个非织造筛网；以及
使所述气体流过所述过滤器。
19.根据权利要求18所述的方法，其中所述放置步骤包括将所述过滤器定位在所述放电腔室内。
20.根据权利要求19所述的方法，其中所述放电腔室具有底部，并且所述放置步骤包括将所述过滤器定位在所述放电腔室的所述底部附近。
21.根据权利要求18所述的方法，其中所述放置步骤包括将所述过滤器定位在所述放电腔室外部，并且其中使所述气体流过所述过滤器的步骤包括使气体流动通过将所述过滤器连接到所述放电腔室的内部的至少一个端口。
22.一种制造非织造筛网的方法，包括使用光刻法来产生孔隙阵列。
23.一种制造非织造筛网的方法，包括使用金属冲压来产生筛网元件阵列，所述筛网元件中的每个筛网元件包括限定孔的第一结构和限定与所述孔相邻的凸起特征的第二结构。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021124775A1 (de) 2021-09-24 2023-03-30 pluriSelect Life Science UG (haftungsbeschränkt) & Co. KG Poröse Schicht mit mikrostrukturierter Funktionsoberfläche

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113797667A (zh) * 2020-06-12 2021-12-17 北京科益虹源光电技术有限公司 一种金属氟化物捕获器及准分子激光器

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5359620A (en) * 1992-11-12 1994-10-25 Cymer Laser Technologies Apparatus for, and method of, maintaining a clean window in a laser
EP1243304A2 (de) * 2001-03-21 2002-09-25 Pakufix Fertigungs- und Vertriebs GmbH Filtervorrichtung mit rauher Oberflächenstruktur
US20030039291A1 (en) * 2001-07-25 2003-02-27 Stephan Geiger Gas discharge laser, method of operating a gas discharge laser, and use of a sintered filter
US6570899B1 (en) * 2000-08-28 2003-05-27 Komatsu Ltd. Gas laser device
US20040011204A1 (en) * 2001-10-11 2004-01-22 Hendrik Both Electrostatic fibrous filter web and method of making same
US20080028581A1 (en) * 2006-08-04 2008-02-07 Stork Prints Austria Gmbh Screen, in particular for manufacturing nonwoven fabrics by means of a gaz jet or liquid jet solidification process
CN102245074A (zh) * 2008-10-08 2011-11-16 伊莱克斯家用护理产品有限公司 旋风式真空吸尘器的带凸棱的旋风罩
CN102264971A (zh) * 2008-09-11 2011-11-30 阿尔巴尼国际公司 用于非织造生产的可透性带
CN103025941A (zh) * 2010-07-07 2013-04-03 3M创新有限公司 图案化的气纺非织造纤维网及其制备和使用方法
CN103657262A (zh) * 2013-12-26 2014-03-26 彭健智 一种空气净化方法及装置
KR20150075238A (ko) * 2013-12-24 2015-07-03 재단법인 포항산업과학연구원 실리카 파이버를 이용한 부직포 집진필터 및 그 제조방법
CN104822521A (zh) * 2012-10-04 2015-08-05 阿斯顿约翰逊公司 用于自锁式非织造工业纺织品的薄膜结构

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5018161A (en) 1988-01-15 1991-05-21 Cymer Laser Technologies Compact excimer laser
JPH0341790A (ja) * 1989-07-10 1991-02-22 Nikon Corp ガスレーザ装置
JPH04137574A (ja) * 1990-09-27 1992-05-12 Komatsu Ltd 放電励起レーザ発振装置
US5190653A (en) 1990-10-30 1993-03-02 Kraft General Foods, Inc. Coffee brewer filtration device
US5176499A (en) * 1991-06-24 1993-01-05 General Electric Company Photoetched cooling slots for diffusion bonded airfoils
JPH05175583A (ja) * 1991-12-20 1993-07-13 Nec Corp パルスガスレーザ装置
US5227077A (en) * 1992-02-26 1993-07-13 Baker Hughes Incorporated Launder with baffle system for recovering filtration media in solution
US5373523A (en) 1992-10-15 1994-12-13 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Excimer laser apparatus
WO1996030105A1 (en) 1995-03-31 1996-10-03 Pall Corporation Filter medium formed from a metal sheet and use thereof in an air bag filter
JPH10118569A (ja) * 1996-10-19 1998-05-12 Ricoh Co Ltd 微細粒子分級用フィルター及びその製造方法
US5810898A (en) * 1997-05-22 1998-09-22 Superior Fibers, Inc. Nestable pleated filter
JPH1142867A (ja) 1997-07-28 1999-02-16 Process Lab Micron:Kk スクリーン印刷用マスク、その製造方法および使用方法
JP2001164923A (ja) 1999-12-07 2001-06-19 Tokyo Roki Co Ltd パティキュレート除去フィルタユニットおよびそのフィルタの製造方法
US6510948B1 (en) * 2000-07-14 2003-01-28 Vacco Industries, Inc. Multiple radial arm etched disc filter element
DE20218254U1 (de) 2002-11-25 2003-02-27 Lambda Physik Ag Gasentladungslaser, insbesondere Excimerlaser und F¶2¶-Laser mit Staubentfernung
US7014479B2 (en) 2003-03-24 2006-03-21 Che-Yu Li Electrical contact and connector and method of manufacture
US7522650B2 (en) 2004-03-31 2009-04-21 Cymer, Inc. Gas discharge laser chamber improvements
US7819945B2 (en) 2008-10-30 2010-10-26 Cymer, Inc. Metal fluoride trap
KR101857249B1 (ko) * 2011-05-27 2018-05-14 삼성디스플레이 주식회사 패터닝 슬릿 시트 어셈블리, 유기막 증착 장치, 유기 발광 표시장치제조 방법 및 유기 발광 표시 장치
JP6641566B2 (ja) 2016-03-11 2020-02-05 トヨタ紡織株式会社 内装部品及びその製造方法

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5359620A (en) * 1992-11-12 1994-10-25 Cymer Laser Technologies Apparatus for, and method of, maintaining a clean window in a laser
US6570899B1 (en) * 2000-08-28 2003-05-27 Komatsu Ltd. Gas laser device
EP1243304A2 (de) * 2001-03-21 2002-09-25 Pakufix Fertigungs- und Vertriebs GmbH Filtervorrichtung mit rauher Oberflächenstruktur
US20030039291A1 (en) * 2001-07-25 2003-02-27 Stephan Geiger Gas discharge laser, method of operating a gas discharge laser, and use of a sintered filter
US20040011204A1 (en) * 2001-10-11 2004-01-22 Hendrik Both Electrostatic fibrous filter web and method of making same
US20080028581A1 (en) * 2006-08-04 2008-02-07 Stork Prints Austria Gmbh Screen, in particular for manufacturing nonwoven fabrics by means of a gaz jet or liquid jet solidification process
CN102264971A (zh) * 2008-09-11 2011-11-30 阿尔巴尼国际公司 用于非织造生产的可透性带
CN102245074A (zh) * 2008-10-08 2011-11-16 伊莱克斯家用护理产品有限公司 旋风式真空吸尘器的带凸棱的旋风罩
CN103025941A (zh) * 2010-07-07 2013-04-03 3M创新有限公司 图案化的气纺非织造纤维网及其制备和使用方法
CN104822521A (zh) * 2012-10-04 2015-08-05 阿斯顿约翰逊公司 用于自锁式非织造工业纺织品的薄膜结构
KR20150075238A (ko) * 2013-12-24 2015-07-03 재단법인 포항산업과학연구원 실리카 파이버를 이용한 부직포 집진필터 및 그 제조방법
CN103657262A (zh) * 2013-12-26 2014-03-26 彭健智 一种空气净化方法及装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021124775A1 (de) 2021-09-24 2023-03-30 pluriSelect Life Science UG (haftungsbeschränkt) & Co. KG Poröse Schicht mit mikrostrukturierter Funktionsoberfläche
WO2023046908A1 (de) 2021-09-24 2023-03-30 Pluriselect Life Science Ug (Haftungsb.) & Co.Kg Einrichtung mit einer poren aufweisenden schicht mit mikrostrukturierter funktionsoberfläche

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