JP2001164923A - パティキュレート除去フィルタユニットおよびそのフィルタの製造方法 - Google Patents
パティキュレート除去フィルタユニットおよびそのフィルタの製造方法Info
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Landscapes
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- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】コンパクトで簡潔な構造のパティキュレート除
去フィルタユニットを提供する。 【解決手段】排気系中に介装されるケース10と、該ケ
ース10内に配設され、排気ガス流を通気しつつパティ
キュレートを捕集するための複数のメッシュ孔24を有
するフィルタ12とからなるパティキュレート除去フィ
ルタユニットであって、該フィルタ12は、捕集したパ
ティキュレートを直接加熱して焼失させることができる
ように、ニクロム箔などの高耐熱材料から形成されてい
ることを特徴とするパティキュレート除去フィルタユニ
ット。
去フィルタユニットを提供する。 【解決手段】排気系中に介装されるケース10と、該ケ
ース10内に配設され、排気ガス流を通気しつつパティ
キュレートを捕集するための複数のメッシュ孔24を有
するフィルタ12とからなるパティキュレート除去フィ
ルタユニットであって、該フィルタ12は、捕集したパ
ティキュレートを直接加熱して焼失させることができる
ように、ニクロム箔などの高耐熱材料から形成されてい
ることを特徴とするパティキュレート除去フィルタユニ
ット。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、車両排気系など
に介装される、フィルタの再生機能を備えたパティキュ
レート(微粒子)除去フィルタユニット、およびそのユ
ニットに使用されるフィルタの製造方法に関する。
に介装される、フィルタの再生機能を備えたパティキュ
レート(微粒子)除去フィルタユニット、およびそのユ
ニットに使用されるフィルタの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、エンジン等の排気ガスに含まれる
カーボン、煤、HC等のパティキュレートによる大気汚
染を防止するために、排気ガス通路中にこれらを捕集す
るパティキュレートフィルタを配設している。不完全燃
焼によって生ずるこれらのパティキュレートがフィルタ
に一定量堆積すると、これを何らかの加熱手段によって
焼却処分するとともに、フィルタを再生する。
カーボン、煤、HC等のパティキュレートによる大気汚
染を防止するために、排気ガス通路中にこれらを捕集す
るパティキュレートフィルタを配設している。不完全燃
焼によって生ずるこれらのパティキュレートがフィルタ
に一定量堆積すると、これを何らかの加熱手段によって
焼却処分するとともに、フィルタを再生する。
【0003】ところが、特に車両などの排気系に搭載す
るパティキュレートフィルタユニットはスペースの都合
上、コンパクトな構成であることが望ましいが、コンパ
クト化には限界があった。なぜならば、通常、従来の技
術ではフィルタの素材としてセラミックやステンレスを
使用していたが、これらは高温になり過ぎると酸化など
によって破損してしまうので、フィルタとは別に加熱ヒ
ータなどを設けてフィルタに堆積したパティキュレート
を間接的に加熱していたからである。
るパティキュレートフィルタユニットはスペースの都合
上、コンパクトな構成であることが望ましいが、コンパ
クト化には限界があった。なぜならば、通常、従来の技
術ではフィルタの素材としてセラミックやステンレスを
使用していたが、これらは高温になり過ぎると酸化など
によって破損してしまうので、フィルタとは別に加熱ヒ
ータなどを設けてフィルタに堆積したパティキュレート
を間接的に加熱していたからである。
【0004】例えば、特願平9−130542には、黒
鉛などが堆積したフィルタに、高温ガスを吹き付けて燃
焼させるフィルタ再生装置が記載されている。この技術
では、フィルタ本体部分に加えて、高温ガスのもととな
る空気を吸入するエアブロアや、吸入した空気を加熱す
る予熱手段、燃料添加手段、酸化触媒などの構成要素
や、さらには供給する高温ガスが過度に高温にならない
ように燃料添加手段を制御するための各種センサーや制
御コントローラなども必要であり、フィルタユニット全
体としては部品点数が非常に多く場所をとり、かつ微妙
な制御を必要とする非常に複雑な構造であった。
鉛などが堆積したフィルタに、高温ガスを吹き付けて燃
焼させるフィルタ再生装置が記載されている。この技術
では、フィルタ本体部分に加えて、高温ガスのもととな
る空気を吸入するエアブロアや、吸入した空気を加熱す
る予熱手段、燃料添加手段、酸化触媒などの構成要素
や、さらには供給する高温ガスが過度に高温にならない
ように燃料添加手段を制御するための各種センサーや制
御コントローラなども必要であり、フィルタユニット全
体としては部品点数が非常に多く場所をとり、かつ微妙
な制御を必要とする非常に複雑な構造であった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】これに対し、特願平6
−226108には、パティキュレートフィルタに接す
る金網状の加熱ヒータを配置したフィルタの構造が記載
されている。この技術では、パティキュレートが所定量
堆積すると加熱ヒータに通電し、間接的に加熱すること
によって、パティキュレートを焼却する。
−226108には、パティキュレートフィルタに接す
る金網状の加熱ヒータを配置したフィルタの構造が記載
されている。この技術では、パティキュレートが所定量
堆積すると加熱ヒータに通電し、間接的に加熱すること
によって、パティキュレートを焼却する。
【0006】しかしながら、この公報に記載されたフィ
ルタ構造にあっては、加熱ヒータをフィルタとは別個に
設けなければならないので部品点数が多くなる上に、セ
ラミック素材のフィルタは過度の加熱を避ける必要があ
るため、フィルタを均一に加熱できるように加熱ヒータ
金網の線材を二重構造にするなど、比較的複雑な構成で
あるという課題があった。
ルタ構造にあっては、加熱ヒータをフィルタとは別個に
設けなければならないので部品点数が多くなる上に、セ
ラミック素材のフィルタは過度の加熱を避ける必要があ
るため、フィルタを均一に加熱できるように加熱ヒータ
金網の線材を二重構造にするなど、比較的複雑な構成で
あるという課題があった。
【0007】本発明は以上のような従来の技術の有する
問題点に考慮してなされたもので、その目的としては、
コンパクトで簡潔な構造のパティキュレート除去フィル
タユニットを提供する。さらに、パティキュレートの捕
集効率がよく、製品寿命の長いパティキュレート除去フ
ィルタユニットを提供する。また、そのフィルタユニッ
トに使用されるフィルタの、低コストで量産性に優れた
製造方法を提供する。
問題点に考慮してなされたもので、その目的としては、
コンパクトで簡潔な構造のパティキュレート除去フィル
タユニットを提供する。さらに、パティキュレートの捕
集効率がよく、製品寿命の長いパティキュレート除去フ
ィルタユニットを提供する。また、そのフィルタユニッ
トに使用されるフィルタの、低コストで量産性に優れた
製造方法を提供する。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るパティキュレート除去フィルタユニッ
トは、排気系中に介装されるケースと、該ケース内に配
設され、排気ガス流を通気しつつパティキュレートを捕
集するための複数のメッシュ孔を有するフィルタとから
なるパティキュレート除去フィルタユニットであって、
該フィルタは、捕集したパティキュレートを直接加熱し
て焼失させることができるように、ニクロム箔などの高
耐熱材料から形成されていることを特徴とする。
め、本発明に係るパティキュレート除去フィルタユニッ
トは、排気系中に介装されるケースと、該ケース内に配
設され、排気ガス流を通気しつつパティキュレートを捕
集するための複数のメッシュ孔を有するフィルタとから
なるパティキュレート除去フィルタユニットであって、
該フィルタは、捕集したパティキュレートを直接加熱し
て焼失させることができるように、ニクロム箔などの高
耐熱材料から形成されていることを特徴とする。
【0009】この発明においては、前記ケース内に複数
の前記フィルタを多層状に配設し、その複数のフィルタ
はそれぞれ異なるメッシュ孔径を有することが好まし
い。
の前記フィルタを多層状に配設し、その複数のフィルタ
はそれぞれ異なるメッシュ孔径を有することが好まし
い。
【0010】また、本発明に係るパティキュレート除去
フィルタの製造方法は、高耐熱材料からなるシートを、
フィルタの形状にマスキングする工程と、該フィルタ形
状内の一部にエッチングによってメッシュ孔を穿設する
工程と、フィルタ形状に切り出す工程とを含むことを特
徴とする。
フィルタの製造方法は、高耐熱材料からなるシートを、
フィルタの形状にマスキングする工程と、該フィルタ形
状内の一部にエッチングによってメッシュ孔を穿設する
工程と、フィルタ形状に切り出す工程とを含むことを特
徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の好適な実施形態について詳細に説明する。
の好適な実施形態について詳細に説明する。
【0012】 ==パティキュレート除去フィルタユニットの構成== 図1は、本実施形態のパティキュレート除去フィルタユ
ニットを車両エンジンなどの排気系中に介装した、概念
的な構成を示す図であり、図2は図1のフィルタ部分を
詳細に示す拡大図である。本ユニットは、特に、EGR
フィルタ系の一部として好適に利用される。
ニットを車両エンジンなどの排気系中に介装した、概念
的な構成を示す図であり、図2は図1のフィルタ部分を
詳細に示す拡大図である。本ユニットは、特に、EGR
フィルタ系の一部として好適に利用される。
【0013】ケース10は、排気ガスの吸気口10aと
排気口10bとを備えており、このケース10の中央に
フィルタ12が配設されている。フィルタ12の端子部
14には、電流コントロールユニット16からの電線1
8が接続されていて、フィルタ12全体に通電すること
ができる。
排気口10bとを備えており、このケース10の中央に
フィルタ12が配設されている。フィルタ12の端子部
14には、電流コントロールユニット16からの電線1
8が接続されていて、フィルタ12全体に通電すること
ができる。
【0014】フィルタ12は、耐熱性の高いニクロム製
の箔から作成された略楕円形のプレート状であり、フィ
ルタ本体部20と、楕円の長径の両端部分に突設された
端子部14からなる。フィルタ本体部20には排気ガス
中に含まれるカーボン、煤、HCなどのパティキュレー
トを捕集するのに充分細かい孔径のメッシュ22が形成
されている。例えば、黒鉛を除去するには孔径が30ミ
クロン以下というように、非常に細かなメッシュ孔24
を正確に形成する必要がある。
の箔から作成された略楕円形のプレート状であり、フィ
ルタ本体部20と、楕円の長径の両端部分に突設された
端子部14からなる。フィルタ本体部20には排気ガス
中に含まれるカーボン、煤、HCなどのパティキュレー
トを捕集するのに充分細かい孔径のメッシュ22が形成
されている。例えば、黒鉛を除去するには孔径が30ミ
クロン以下というように、非常に細かなメッシュ孔24
を正確に形成する必要がある。
【0015】==フィルタユニットの動作== 次に、上記のような構成のパティキュレートフィルタユ
ニットの動作について説明する。吸気口10aから送り
込まれた排気ガスは、フィルタ12のメッシュ孔24を
通過して排気口10bへと流れてゆく。排気ガス中には
不完全燃焼によって生じたカーボンなどの様々なパティ
キュレートが含まれており、これらがフィルタのメッシ
ュ部22で捕集される。そして、捕集されたパティキュ
レートの堆積量が一定値を越え、メッシュ孔24の目詰
まりが相当に進んだとき、電極端子部14を通じてフィ
ルタ12に通電し、フィルタ自体を高温に加熱すること
によって、メッシュ部22に付着したパティキュレート
を焼失させる。例えば、黒鉛を焼失させるためには約7
00℃以上に加熱する必要がある。パティキュレートを
焼失させることによって、フィルタ12が再生され、再
び排気ガス中のパティキュレートを捕集する。
ニットの動作について説明する。吸気口10aから送り
込まれた排気ガスは、フィルタ12のメッシュ孔24を
通過して排気口10bへと流れてゆく。排気ガス中には
不完全燃焼によって生じたカーボンなどの様々なパティ
キュレートが含まれており、これらがフィルタのメッシ
ュ部22で捕集される。そして、捕集されたパティキュ
レートの堆積量が一定値を越え、メッシュ孔24の目詰
まりが相当に進んだとき、電極端子部14を通じてフィ
ルタ12に通電し、フィルタ自体を高温に加熱すること
によって、メッシュ部22に付着したパティキュレート
を焼失させる。例えば、黒鉛を焼失させるためには約7
00℃以上に加熱する必要がある。パティキュレートを
焼失させることによって、フィルタ12が再生され、再
び排気ガス中のパティキュレートを捕集する。
【0016】なお本実施形態のフィルタ12は、フィル
タ本体部20の外周部は密封状態となるようにケース1
0内に配設されており、吸気口10aからケース10内
に送り込まれた排気ガスは全てメッシュ部を通過する構
成としているが、適宜、同様のフィルタユニットを複数
並列して設けたり、バイパス通路を設けてフィルタ12
の通電再生時には排気ガスをバイパス通路へと導く構成
としてもよい。
タ本体部20の外周部は密封状態となるようにケース1
0内に配設されており、吸気口10aからケース10内
に送り込まれた排気ガスは全てメッシュ部を通過する構
成としているが、適宜、同様のフィルタユニットを複数
並列して設けたり、バイパス通路を設けてフィルタ12
の通電再生時には排気ガスをバイパス通路へと導く構成
としてもよい。
【0017】==耐熱耐酸化性比較== 本実施形態のニクロム製フィルタの耐熱的耐酸化性につ
いて、従来例で説明したステンレスフィルタと比較し
た。両者の比較は、各試料を電気炉で加熱し、それぞれ
の酸化の程度を時間を追って調べて行った。様々な加熱
温度について試験を行ったが、図3はそのうち1050
℃で行った結果の24時間経過までの様子を示すグラフ
である。グラフの縦軸は単位面積あたりの酸化による質
量増加量(g/m2)である。同図の結果からわかるよ
うに、ニクロム製フィルタの酸化進行速度はステンレス
フィルタと較べて格段に遅い。このようにニクロム性フ
ィルタの耐熱的耐酸化性(図中の△、×、□)はステン
レスフィルタ(図中の ○)よりも遙かに優れており、
また試験結果は示さないがセラミック製フィルタに対し
ても同様であった。本発明ではフィルタ自体に通電し
て、フィルタを直接加熱するので、ニクロムなどの高耐
熱性を有する素材をフィルタの材料として使用するので
ある。
いて、従来例で説明したステンレスフィルタと比較し
た。両者の比較は、各試料を電気炉で加熱し、それぞれ
の酸化の程度を時間を追って調べて行った。様々な加熱
温度について試験を行ったが、図3はそのうち1050
℃で行った結果の24時間経過までの様子を示すグラフ
である。グラフの縦軸は単位面積あたりの酸化による質
量増加量(g/m2)である。同図の結果からわかるよ
うに、ニクロム製フィルタの酸化進行速度はステンレス
フィルタと較べて格段に遅い。このようにニクロム性フ
ィルタの耐熱的耐酸化性(図中の△、×、□)はステン
レスフィルタ(図中の ○)よりも遙かに優れており、
また試験結果は示さないがセラミック製フィルタに対し
ても同様であった。本発明ではフィルタ自体に通電し
て、フィルタを直接加熱するので、ニクロムなどの高耐
熱性を有する素材をフィルタの材料として使用するので
ある。
【0018】なお、上記実施形態では単一孔径のメッシ
ュ孔からなるフィルタをケース内に1つ配設したが、よ
り好ましくは複数のフィルタを、しかもそれぞれメッシ
ュ孔径の異なるフィルタを多層状に配設する。排気ガス
通路の上流側からメッシュ孔径の大きな順に並べ、それ
ぞれのフィルタに別々に通電するように制御する。通電
するタイミングは、各々のフィルタが所定のレベルまで
目詰まりした時点で通電するようにする。このような構
成のフィルタユニットでは、大きさの異なる様々なパテ
ィキュレートを、それぞれの大きさに対応するメッシュ
孔径のフィルタで捕集することができるため、捕集効率
と各フィルタの寿命がより改善される。
ュ孔からなるフィルタをケース内に1つ配設したが、よ
り好ましくは複数のフィルタを、しかもそれぞれメッシ
ュ孔径の異なるフィルタを多層状に配設する。排気ガス
通路の上流側からメッシュ孔径の大きな順に並べ、それ
ぞれのフィルタに別々に通電するように制御する。通電
するタイミングは、各々のフィルタが所定のレベルまで
目詰まりした時点で通電するようにする。このような構
成のフィルタユニットでは、大きさの異なる様々なパテ
ィキュレートを、それぞれの大きさに対応するメッシュ
孔径のフィルタで捕集することができるため、捕集効率
と各フィルタの寿命がより改善される。
【0019】==発熱フィルタの製造方法== 次に、上記実施形態のニクロム箔フィルタの製造方法に
ついて図4を参照して説明する。まず所定の厚さのニク
ロム箔を準備し、フィルタの形状に、すなわち本実施形
態では端支部突片を有する略楕円形状にマスキングをす
る。次にマスキングを施した内側に、エッチング処理に
よってメッシュ孔を穿設する。最後にフィルタの形状に
合わせて切り出す。
ついて図4を参照して説明する。まず所定の厚さのニク
ロム箔を準備し、フィルタの形状に、すなわち本実施形
態では端支部突片を有する略楕円形状にマスキングをす
る。次にマスキングを施した内側に、エッチング処理に
よってメッシュ孔を穿設する。最後にフィルタの形状に
合わせて切り出す。
【0020】上記のエッチング方法について詳細に説明
する。まずフィルタ形状にマスキングしたニクロム箔に
ついている指紋やゴミなどの脱脂洗浄を行う。次に、そ
の部分にフィルム状の感光性レジストを貼り付け(ラミ
ネート工程)、さらにそのフィルムのメッシュ孔を穿つ
部分以外に紫外線を照射してフィルムを硬化させる(露
光工程)。そしてこのフィルムの硬化させなかった部分
を炭酸ナトリウム溶液によって溶解し、除去する(現像
工程)。さらに塩化第二鉄、塩化第二銅溶液を用いて、
感光性レジストシートを溶解除去した部分のニクロム箔
をエッチングする。最後に、残った感光性レジストを、
水酸化ナトリウム溶液を用いて剥離する。このようなエ
ッチング技術によれば、ニクロム製の薄い箔材に例えば
30ミクロン以下というような微少な孔径のメッシュ孔
を正確に形成することができる。しかもこの方法は低コ
ストで量産性に優れている。
する。まずフィルタ形状にマスキングしたニクロム箔に
ついている指紋やゴミなどの脱脂洗浄を行う。次に、そ
の部分にフィルム状の感光性レジストを貼り付け(ラミ
ネート工程)、さらにそのフィルムのメッシュ孔を穿つ
部分以外に紫外線を照射してフィルムを硬化させる(露
光工程)。そしてこのフィルムの硬化させなかった部分
を炭酸ナトリウム溶液によって溶解し、除去する(現像
工程)。さらに塩化第二鉄、塩化第二銅溶液を用いて、
感光性レジストシートを溶解除去した部分のニクロム箔
をエッチングする。最後に、残った感光性レジストを、
水酸化ナトリウム溶液を用いて剥離する。このようなエ
ッチング技術によれば、ニクロム製の薄い箔材に例えば
30ミクロン以下というような微少な孔径のメッシュ孔
を正確に形成することができる。しかもこの方法は低コ
ストで量産性に優れている。
【0021】
【発明の効果】本発明のパティキュレート除去フィルタ
ユニットによれば、耐熱的耐久性に優れたフィルタを直
接通電、加熱してフィルタの再生を行うので、コンパク
トで簡潔な構造排気系フィルタユニットを提供すること
ができる。
ユニットによれば、耐熱的耐久性に優れたフィルタを直
接通電、加熱してフィルタの再生を行うので、コンパク
トで簡潔な構造排気系フィルタユニットを提供すること
ができる。
【0022】また、異なるメッシュ孔径を有する複数の
フィルタをケース内に多層的に配設した場合では、一段
とパティキュレートの捕集効率が向上するとともに、各
フィルタの製品寿命を長くすることができる。
フィルタをケース内に多層的に配設した場合では、一段
とパティキュレートの捕集効率が向上するとともに、各
フィルタの製品寿命を長くすることができる。
【0023】また、本発明のフィルタの製造方法によれ
ば、上記パティキュレート除去フィルタユニットに使用
することができるような耐熱的耐久性に優れたフィルタ
を、低コストでかつ良好な量産性で製造することができ
る。
ば、上記パティキュレート除去フィルタユニットに使用
することができるような耐熱的耐久性に優れたフィルタ
を、低コストでかつ良好な量産性で製造することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のパティキュレート除去フィルタユニ
ットを、排気系に介装した、概念的な構成を示す図であ
る。
ットを、排気系に介装した、概念的な構成を示す図であ
る。
【図2】図1のフィルタ部分を詳細に示す拡大図であ
る。
る。
【図3】ニクロムフィルタとステンレスフィルタの耐熱
的耐酸化性を比較した試験結果を示すグラフである。
的耐酸化性を比較した試験結果を示すグラフである。
【図4】この発明のニクロム製フィルタを製造する工程
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
10 ケース 12 フィルタ 24 メッシュ孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小松 宏明 神奈川県横浜市都筑区仲町台3丁目12番地 3号 東京濾器株式会社内 (72)発明者 景山 輝 広島県深安郡神辺町旭丘5番地 株式会社 石井表記内 (72)発明者 梶岡 秀 広島県呉市阿賀南2丁目10番地1号 広島 県立西部工業技術センター内 (72)発明者 筒本 隆博 広島県呉市阿賀南2丁目10番地1号 広島 県立西部工業技術センター内 (72)発明者 問山 清和 広島県呉市阿賀南2丁目10番地1号 広島 県立西部工業技術センター内 Fターム(参考) 3G090 AA01 AA04 BA04 4D019 AA01 BA02 BB09 BB10 BC12 BD01 CB04 CB06 CB08 4D058 JA12 JB03 JB39 KB11 MA42 SA08
Claims (3)
- 【請求項1】 排気系中に介装されるケースと、該ケー
ス内に配設され、排気ガス流を通気しつつパティキュレ
ートを捕集するための複数のメッシュ孔を有するフィル
タとからなるパティキュレート除去フィルタユニットで
あって、 該フィルタは、捕集したパティキュレートを直接加熱し
て焼失させることができるように、ニクロム箔などの高
耐熱材料から形成されていることを特徴とするパティキ
ュレート除去フィルタユニット。 - 【請求項2】 前記ケース内に複数の前記フィルタを多
層状に配設し、その複数のフィルタはそれぞれ異なるメ
ッシュ孔径を有することを特徴とする請求項1に記載の
パティキュレート除去フィルタユニット。 - 【請求項3】 高耐熱材料からなるシートを、フィルタ
の形状にマスキングする工程と、該フィルタ形状内の一
部にエッチングによってメッシュ孔を穿設する工程と、
フィルタ形状に切り出す工程とを含むパティキュレート
除去フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34761999A JP2001164923A (ja) | 1999-12-07 | 1999-12-07 | パティキュレート除去フィルタユニットおよびそのフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34761999A JP2001164923A (ja) | 1999-12-07 | 1999-12-07 | パティキュレート除去フィルタユニットおよびそのフィルタの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001164923A true JP2001164923A (ja) | 2001-06-19 |
Family
ID=18391454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34761999A Pending JP2001164923A (ja) | 1999-12-07 | 1999-12-07 | パティキュレート除去フィルタユニットおよびそのフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001164923A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100580452B1 (ko) * | 2002-06-03 | 2006-05-15 | 현대자동차주식회사 | 차량의 연료증발가스제어장치용 퍼지제어밸브 |
US7373186B2 (en) | 2002-06-26 | 2008-05-13 | Kyocera Corporation | Folding-type portable information device provided with image capturing function |
JP2021505360A (ja) * | 2017-12-05 | 2021-02-18 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | レーザ放電チャンバにおけるダスト捕捉のための不織スクリーン |
-
1999
- 1999-12-07 JP JP34761999A patent/JP2001164923A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP7065186B2 (ja) | 2017-12-05 | 2022-05-11 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | レーザ放電チャンバにおけるダスト捕捉のための不織スクリーン |
US11614012B2 (en) | 2017-12-05 | 2023-03-28 | Cymer, Llc | Nonwoven screens for dust trapping in laser discharge chambers |
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