CN111408573A - 一次性化学浴槽及其换液方法 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种一次性化学浴槽及其换液方法，涉及半导体制造领域。该一次性化学浴槽至少包括槽体、遮挡板；所述槽体的侧壁设置有若干排排液口，所述排液口用于排出所述槽体内的液体；所述遮挡板设置在所述槽体的外侧，所述遮挡板用于关闭或开启所述排液口；解决了现有的ONB槽在替换槽内液体时耗时长、液体消耗量大的问题，达到了减少液体替换所耗的时间，降低替换液体使用量的效果。

Description

一次性化学浴槽及其换液方法
技术领域
本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种一次性化学浴槽及其换液方法。
背景技术
在晶圆的前端工艺和后端工艺中，晶圆需要经过多次清洗步骤，通过清洗去除晶圆表面的光刻胶、刻蚀残留物、金属颗粒等。
在ONB(Once Chemical Bath，一次性化学浴)***中，ONB槽底部通过混合阀门、管道与化学剂罐、纯水供应端连接。当需要清洗晶圆上时，从槽体底部向ONB槽内注入需要的化学药液，当晶圆清洗完成后，从槽体底部向ONB槽内注入纯水，采用从槽体顶部外溢的方式，令纯水替代化学药液。
ONB槽以其清洗效果好、交叉污染风险低等优势被广泛应用于先进工艺清洗制程，但是其使用的化学药液不能重复使用，每次清洗制程后需要用纯水替代化学药液，替代过程耗时长。
发明内容
本申请提供了一种一次性化学浴槽及其换液方法，可以解决相关技术中的问题。
第一方面，本申请实施例提供了一种一次性化学浴槽，至少包括槽体、遮挡板；
槽体的侧壁设置有若干排排液口，排液口用于排出槽体内的液体；
遮挡板设置在槽体的外侧，遮挡板用于关闭或开启排液口。
可选的，还包括活动支架；
遮挡板通过活动支架设置在槽体的外侧。
可选的，槽体的每个侧壁均匀设置有至少两排平行的排液口，每排的排液口均匀设置；
每侧遮挡板的数量与每侧排液口的排数相等。
可选的，槽体的每个侧壁均匀设置有两排平行的排液口，每排排液口的流量为20L/min。
可选的，排液口为圆形，每个排液口的直径为2-3mm。
第二方面，本申请实施例提供了一种一次性化学浴槽的换液方法，用于如第一方面所示的一次性化学浴槽，该方法包括：
当利用第一液体替代槽体中的第二液体时，移动遮挡板令排液口打开；
通过底部管道向槽体内注入第一液体。
可选的，移动遮挡板令排液口打开，包括：
通过活动支架带动遮挡板移动，令排液口打开。
可选的，该方法还包括：
当进行化学药液清洗制程时，移动遮挡板令排液口关闭。
可选的，移动遮挡板令排液口关闭，包括：
通过活动支架带动遮挡板移动，对遮挡板施加压力，遮挡板盖住排液口令排液口关闭。
可选的，第一液体为纯水，第二液体为化学药液；
或，
第一液体为化学药液，第二液体为纯水。
本申请技术方案，至少包括如下优点：
通过在槽体的侧壁设置若干排排液口，并设置遮挡板控制排液口的开启或关闭，当需要替换槽体内的液体时，通过遮挡板打开排液口，替换液体从槽体的底部进入槽体，槽体内的液体从排液口和槽体顶部同时溢出，提高槽体底部液体的溢出效率，解决了现有的ONB槽在替换槽内液体时耗时长、液体消耗量大的问题，达到了减少液体替换所耗的时间，降低替换液体使用量的效果。
附图说明
为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请实施例提供的一种一次性化学浴槽的正面示意图；
图2是本申请实施例提供的一种一次性化学浴槽的侧面示意图；
图3是本申请实施例提供的一种一次性化学浴槽的换液方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
请参考图1，其示出了本申请实施例提供一种一次性化学浴槽的正面示意图。该一次性化学浴槽至少包括槽体11、遮挡板。
一次性化学浴槽的底部连接有用于输送液体的管道。
槽体的侧壁设置有若干排排液口12，排液口用于排出槽体11内的液体。每排包括若干个排液口。
可选的，槽体的两个侧壁分别设置有若干排排液口，
可选的，若干排排液口平行设置。
遮挡板设置在槽体11的外侧，遮挡板用于关闭或开启排液口。当遮挡板盖住排液口时，排液口关闭，当遮挡板未盖住排液口时，排液口开启。
当排液口开启时，槽体内的液体可以从排液口流出。当需要替换槽体内的液体时，打开排液口，从槽体的底部持续注入替换液体，槽体内的液体从排液口及槽体顶部同时溢出，如图1中虚线所示。
为了方便控制遮挡板移动，该一次性化学浴槽还包括活动支架，遮挡板通过活动支架设置在槽体的外侧；活动支架用于带动遮挡板移动。
如图2所示，遮挡板23与活动支架24连接，通过活动支架24带动遮挡板23移动。
可选的，若干个遮挡板设置在通一个活动支架上，由一个活动支架带动若干个遮挡板同时移动。
可选的，活动支架带动遮挡板沿槽体的侧壁上下移动，或者，活动支架带动遮挡板远离或靠近槽体的侧壁。
在基于图1所示实施例的可选实施例中，槽体的每个侧壁均匀设置有至少两排平行的排液口，每排的排液口均匀设置；每侧遮挡板的数量与每侧排液口的排数相等。
一个遮挡板用于关闭或开启一排排液口。
在一个例子中，槽体11的每个侧壁均匀设置有两排平行的排液口，如图2所示。
第一排排液口25与第二排排液口26平行，第一排排液口25设置在槽体21侧壁的1/3位置处，第二排排液口26设置在槽体21侧壁的2/3位置处，每排中的排液口27均匀设置；每排排液口的流量为20L/min。
可选的，排液口为圆形，每个排液口的直径为2-3mm。
可选的，遮挡板的材料为耐腐蚀材料。
可选的，活动支架的材料为耐腐蚀材料。
需要说明的是，图1和图2中排液口的排数和数量仅为示例性说明，排液口的排数和数量根据实际情况确定，本申请对此不作限定。
综上所述，本申请实施例提供的一次性化学浴槽，通过在槽体的侧壁设置若干排排液口，并设置遮挡板控制排液口的开启或关闭，当需要替换槽体内的液体时，通过遮挡板打开排液口，替换液体从槽体的底部进入槽体，槽体内的液体从排液口和槽体顶部同时溢出，提高槽体底部液体的溢出效率，解决了现有的ONB槽在替换槽内液体时耗时长、液体消耗量大的问题，达到了减少液体替换所耗的时间，降低替换液体使用量的效果。
请参考图3，其示出了本申请实施例提供的一种一次性化学浴槽的换液方法的流程图。该一次性化学浴槽的换液方法用于本申请上述实施例提供的一次性化学浴槽中，至少包括如下步骤：
步骤301，当利用第一液体替换槽体中的第二液体时，移动遮挡板令排液口打开。
第一液体与第二液体不同。
当槽体内装有第二液体时，遮挡板挡住槽体侧壁上的排液口，第二液体无法从槽体中流出。当需要利用第一液体替换槽体内的第二液体时，移动遮挡板，遮挡板离开槽体侧壁上的排液口，排液口打开，槽体内的第二液体可以从排液口流出。
步骤302，通过底部管道向槽体内注入第一液体。
第一液体从底部管道进入槽体的底部，并不断增加，由于槽体内第二液体的液位高于排液口的高度，随着第一液体不断进入槽体，第二液体从排液口和槽体的底部同时外溢；由于槽体的侧壁设置了排液口，槽体底部的第二液体能够更快地从排液口流出，提高第一液体替换第二液体的效率，降低第一液体的使用量。
通过检测槽体内液体的阻值来判断第二液体是否完全被第一液体替换；当槽体内液体的阻值稳定，说明第二液体完全被第一液体替换，移动遮挡板令排液口关闭，槽体内的液体不再从排液口流出。
可选的，第一液体为纯水，第二液体为化学药液；或，第一液体为化学药液，第二液体为纯水。
在基于图3所示实施例的可选实施例中，一次性化学槽还包括活动支架，遮挡板与活动支架连接，通过活动支架带动遮挡板移动；遮挡板的数量与排液口的排数相等。
移动遮挡板令排液口打开可以通过如下方式实现：
通过活动支架带动遮挡板移动，令排液口打开。
可选的，活动支架根据控制指令带动遮挡板移动，遮挡板离开槽体侧壁上的排液口，排液口打开。
在基于图3所示实施例的可选实施例中，该方法还包括：
当进行化学药液清洗制程时，移动遮挡板令排液口关闭。
可选的，通过活动支架带动遮挡板移动，对遮挡板施加压力，遮挡板盖住排液口令排液口关闭。
可选的，活动支架根据控制指令带动遮挡板移动，并对遮挡板施加压力。
在进行化学药液清洗制程时，需要将槽体内的纯水全部替换为化学药液，当槽体内的液体都被替换为化学药液后，活动支架根据控制指令带动遮挡板移动，将遮挡板移动至槽体侧壁的排液口，并对遮挡板施加压力，遮挡板盖住排液口并起到密封作用，排液口关闭，槽体内的液体无法从排液口流出。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本申请创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种一次性化学浴槽，其特征在于，至少包括槽体、遮挡板；
所述槽体的侧壁设置有若干排排液口，所述排液口用于排出所述槽体内的液体；
所述遮挡板设置在所述槽体的外侧，所述遮挡板用于关闭或开启所述排液口。
2.根据权利要求1所述的一次性化学浴槽，其特征在于，还包括活动支架；
所述遮挡板通过所述活动支架设置在所述槽体的外侧。
3.根据权利要求1所述的一次性化学浴槽，其特征在于，所述槽体的每个侧壁均匀设置有至少两排平行的排液口，每排的排液口均匀设置；
每侧遮挡板的数量与每侧排液口的排数相等。
4.根据权利要求3所述的一次性化学浴槽，其特征在于，所述槽体的每个侧壁均匀设置有两排平行的排液口，每排排液口的流量为20L/min。
5.根据权利要求1所述的一次性化学浴槽，其特征在于，所述排液口为圆形，每个排液口的直径为2-3mm。
6.一种一次性化学浴槽的换液方法，其特征在于，用于如权利要求1至5任一所述的一次性化学浴槽，所述方法包括：
当利用第一液体替代槽体中的第二液体时，移动遮挡板令所述排液口打开；
通过底部管道向所述槽体内注入所述第一液体。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述移动遮挡板令所述排液口打开，包括：
通过活动支架带动所述遮挡板移动，令所述排液口打开。
8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
当进行化学药液清洗制程时，移动所述遮挡板令所述排液口关闭。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述移动所述遮挡板令所述排液口关闭，包括：
通过所述活动支架带动所述遮挡板移动，对所述遮挡板施加压力，所述遮挡板盖住所述排液口令所述排液口关闭。
10.根据权利要求6至9任一所述的方法，其特征在于，所述第一液体为纯水，所述第二液体为化学药液；
或，
所述第一液体为化学药液，所述第二液体为纯水。
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