CN111403595A - 压电陶瓷多致动壁结构的制备方法 - Google Patents

压电陶瓷多致动壁结构的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111403595A
CN111403595A CN202010289906.5A CN202010289906A CN111403595A CN 111403595 A CN111403595 A CN 111403595A CN 202010289906 A CN202010289906 A CN 202010289906A CN 111403595 A CN111403595 A CN 111403595A
Authority
CN
China
Prior art keywords
piezoelectric ceramic
wall structure
ceramic piece
actuating
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010289906.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111403595B (zh
Inventor
冯金磊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BAIC Group ORV Co ltd
Original Assignee
BAIC Group ORV Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BAIC Group ORV Co ltd filed Critical BAIC Group ORV Co ltd
Priority to CN202010289906.5A priority Critical patent/CN111403595B/zh
Publication of CN111403595A publication Critical patent/CN111403595A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111403595B publication Critical patent/CN111403595B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
    • H10N30/045—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/08—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • H10N30/085—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by machining
    • H10N30/088—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by machining by cutting or dicing

Abstract

本发明提供一种压电陶瓷多致动壁结构的制备方法。该方法包括：采用极化工艺对压电陶瓷片进行处理，得到极化处理后的压电陶瓷片；采用切割工艺对所述极化处理后的压电陶瓷片进行处理，得到具有多致动壁结构的压电陶瓷片；再次采用极化工艺对所述具有多致动壁结构的压电陶瓷片进行处理，得到二次极化处理后的压电陶瓷片；采用镀电极工艺，在所述二次极化处理后的压电陶瓷片的条形致动壁两侧以及所述焊线槽上形成电极，得到具有电极的压电陶瓷片；采用焊线工艺将焊线焊接在所述具有电极的压电陶瓷片的焊线槽中，形成完整的压电陶瓷多致动壁结构。本发明中，解决了压电陶瓷多致动壁结构加工时压电特性受损、电极易脱落和槽宽小导致导线难引出的问题。

Description

压电陶瓷多致动壁结构的制备方法
技术领域
本发明涉及压电陶瓷元件技术领域，尤其涉及一种压电陶瓷多致动壁结构的制备方法。
背景技术
行车安全一直是汽车主机厂在汽车开发过程中最为重视的指标，汽车轮胎的胎压又是汽车在行驶过程中保证安全性的重要一环。胎压监测***作为车辆的一项主动安全防御***，能够对行车安全性进行有效的提升。在胎压监测***中，无源化胎压监测***由于没有电池的存在，对提升***的使用效率、使用周期等都具有良好的促进意义，因此利用压电陶瓷的压电特性形成的无源式胎压监测***已经成为了主流；但目前大多数针对压电陶瓷的制备工艺中，对切割压电陶瓷时产热影响压电陶瓷的问题，未得到很好的解决。
发明内容
本发明提供一种压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，用于解决切割时产热影响压电陶瓷压电特性的问题。
采用极化工艺对压电陶瓷片进行处理，得到极化处理后的压电陶瓷片；
采用切割工艺对所述极化处理后的压电陶瓷片进行处理，得到具有多致动壁结构的压电陶瓷片，所述多致动壁结构包括多个间隔分布的条形致动壁，相邻的所述致动壁之间形成条形槽，所述条形槽包括连通深槽和焊线槽；
再次采用极化工艺对所述具有多致动壁结构的压电陶瓷片进行处理，得到二次极化处理后的压电陶瓷片；
采用镀电极工艺，在所述二次极化处理后的压电陶瓷片的条形致动壁两侧以及所述焊线槽上形成电极，得到具有电极的压电陶瓷片；
采用焊线工艺将焊线焊接在所述具有电极的压电陶瓷片的焊线槽中，形成完整的压电陶瓷多致动壁结构。
可选的，所述极化工艺包括：涂覆电极工序和极化工序；
其中，所述涂覆电极工序包括：用涂抹棒在所述压电陶瓷片厚度方向对应的上下表面涂覆电极，后对涂覆好电极的压电陶瓷片进行烧渗处理；
所述极化工序包括：将直流电源正负两极分别夹在涂覆好电极的压电陶瓷片上下表面，后将所述涂覆好电极的压电陶瓷片放置于加热至100-200℃的硅油中，同时控制直流电源输出0.5-1.5kV/mm的高压直流电场，1-10小时后取出压电陶瓷片，将所述压电陶瓷片用水清洗、烘干。
可选的，所述切割工艺包括：采用厚度为60-80μm的刀具在所述极化处理后的压电陶瓷片的上表面以磨削加工的方式进行切割处理，在所述压电陶瓷片的上表面形成多致动壁结构，所述多致动壁结构包括并列排布的多个条形槽，每一条形槽包括连通的深槽和焊线槽；所述深槽的深度为300-500μm，长度为9-10mm，宽度为所用刀具的厚度；所述焊线槽的深度为60-80μm，长度为2-3mm，宽度为所用刀具的厚度。
可选的，所述二次极化工艺包括：涂覆电极工序和极化工序；
所述二次极化工艺包括：涂覆电极工序和极化工序；
其中，所述涂覆电极工序包括：用涂抹棒在所述具有多致动壁结构的压电陶瓷片厚度方向对应的上下表面涂覆电极，后对涂覆好电极的压电陶瓷片进行烧渗处理；
所述极化工序包括：将直流电源正负两极分别夹在涂覆好电极的压电陶瓷片上下表面，其中，所述多致动壁结构的每个致动壁顶端均接触到电源的正极或负极，后将所述涂覆好电极的压电陶瓷片放置于加热至100-200℃的硅油中，同时控制直流电源输出0.5-1.5kV/mm的高压直流电场，1-10小时后取出压电陶瓷片，将所述压电陶瓷片用水清洗、烘干。
可选的，所述镀电极工艺包括：先将所述二次极化处理后的压电陶瓷片固定在斜台上，利用蒸镀法在所述多致动壁结构的一侧及焊线槽中镀厚度80-120nm的金属，然后将所述压电陶瓷片旋转180°，利用蒸镀法在所述多致动壁结构的另一侧及焊线槽中镀金属；打磨掉所述压电陶瓷片上、下表面的电极，形成完整的多致动壁结构。
可选的，所述焊线工艺包括：在所述焊线槽中放置直径小于焊线槽的导线，加热至150-250°，待所述导线与电极完全可靠机械电连接后，完成焊线工艺。
可选的，选用镀锡铜线作为连接所述电极与驱动电源的导线，通过高温熔锡使所述导线与所述电极相连。
本发明实施例中，解决了压电陶瓷多致动壁结构槽宽较小、机械加工时产热导致压电特性受损、电极易脱落以及槽宽较小导致的导线难以引出的问题，对切割工艺、极化工艺以及焊线工艺进行了改进，制备出压电特性完备的压电陶瓷多致动壁结构。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种压电陶瓷多致动壁结构的制备工艺流程图；
图2为本发明实施例提供的一种压电陶瓷多致动壁结构的制备方法的功能界面逻辑图；
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参考图1本发明实施例提供一种压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，包括以下步骤：
步骤11：采用极化工艺对压电陶瓷片进行处理，得到极化处理后的压电陶瓷片；
步骤12：采用切割工艺对所述极化处理后的压电陶瓷片进行处理，得到具有多致动壁结构的压电陶瓷片；
步骤13：再次采用极化工艺对所述具有多致动壁结构的压电陶瓷片进行处理，得到二次极化处理后的压电陶瓷片；
步骤14：采用镀电极工艺，在所述二次极化处理后的压电陶瓷片的条形致动壁两侧以及所述焊线槽上形成电极，得到具有电极的压电陶瓷片；
步骤15：采用焊线工艺将焊线焊接在所述具有电极的压电陶瓷片的焊线槽中，形成完整的压电陶瓷多致动壁结构。
本发明实施例中，通过增加二次极化工艺，修补了所述压电陶瓷片在切割工艺时损失的压电特性，解决了切割时产热影响压电陶瓷压电特性的问题，从而制备出了压电特性完备的压电陶瓷多致动壁结构。
请参考图2，本发明实施例提供一种压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，包括以下步骤：
步骤(a)：极化工艺，所述极化工艺包括：涂覆电极工序和极化工序；
其中，所述涂覆电极工序包括：用涂抹棒在所述压电陶瓷片厚度方向对应的上下表面涂覆电极，后对涂覆好电极的压电陶瓷片进行烧渗处理；
所述极化工序包括：将直流电源正负两极分别夹在涂覆好电极的压电陶瓷片上下表面，后将所述涂覆好电极的压电陶瓷片放置于加热至100-200℃的硅油中，同时控制直流电源输出0.5-1.5kV/mm的高压直流电场，1-10小时后取出压电陶瓷片，将所述压电陶瓷片用水清洗、烘干；
本发明实施例中，可选的，将所述涂覆好电极的压电陶瓷片放置于加热至130℃的硅油中；
本发明实施例中，可选的，直流电源输出1kV/mm的高压直流电场。
步骤(b)：切割工艺，所述切割工艺包括：采用厚度为60-80μm的刀具在所述极化处理后的压电陶瓷片的上表面以磨削加工的方式进行切割处理，在所述压电陶瓷片的上表面形成多致动壁结构，所述多致动壁结构包括并列排布的多个条形槽，每一条形槽包括连通的深槽和焊线槽；所述深槽的深度为300-500μm，长度为9-10mm，宽度为所用刀具的厚度；所述焊线槽的深度为60-80μm，长度为2-3mm，宽度为所用刀具的厚度；
本发明实施例中，可选的，采用厚度为70μm的刀具；
本发明实施例中，可选的，所述深槽的深度为400μm，长度为9.5mm，宽度为70μm；
本发明实施例中，可选的，所述焊线槽的深度为70μm，长度为2.5mm，宽度为70μm。
本发明实施例中，通过选用与所需槽宽相同厚度的超精密刀具，以高速磨削的方式加工，更易于多致动壁结构的快速成型。
步骤(c)：所述二次极化工艺包括：涂覆电极工序和极化工序；
其中，所述涂覆电极工序包括：用涂抹棒在所述具有多致动壁结构的压电陶瓷片厚度方向对应的上下表面涂覆电极，后对涂覆好电极的压电陶瓷片进行烧渗处理；
所述极化工序包括：将直流电源正负两极分别夹在涂覆好电极的压电陶瓷片上下表面，其中，所述多致动壁结构的每个致动壁顶端均接触到电源的正极或负极，后将所述涂覆好电极的压电陶瓷片放置于加热至100-200℃的硅油中，同时控制直流电源输出0.5-1.5kV/mm的高压直流电场，1-10小时后取出压电陶瓷片，将所述压电陶瓷片用水清洗、烘干；
本发明实施例中，可选的，将所述涂覆好电极的压电陶瓷片放置于加热至130℃的硅油中；
本发明实施例中，可选的，直流电源输出1kV/mm的高压直流电场。
本发明实施例中，考虑了压电陶瓷片在使用和加工过程中若温度超过自身居里会导致压电特性受损的问题，对切割后的多致动壁结构进行二次极化工艺，修补所述压电陶瓷片在切割工艺时损失的压电特性，形成具有完整压电特性的多致动壁结构。
步骤(d)：所述镀电极工艺包括：先将所述二次极化处理后的压电陶瓷片固定在斜台上，利用蒸镀法在所述多致动壁结构的一侧及焊线槽中镀厚度80-120nm的金属，然后将所述压电陶瓷片旋转180°，利用蒸镀法在所述多致动壁结构的另一侧及焊线槽中镀金属；打磨掉所述压电陶瓷片上、下表面的电极，形成完整的多致动壁结构。
本发明实施例中，可选的，利用蒸镀法在所述多致动壁结构的一侧及焊线槽中镀厚度100nm的铜。
步骤(e)：所述焊线工艺包括：在所述焊线槽中放置直径小于焊线槽的导线，加热至150-250°，待所述导线与电极完全可靠机械电连接后，完成焊线工艺；
本发明实施例中，可选的，在所述焊线槽中放置直径小于焊线槽的导线，加热至200°。
本发明实施例中，可选的，选用镀锡铜线作为连接所述电极与驱动电源的导线，通过高温熔锡使所述导线与所述电极相连；
本发明实施例中，可选的，所述镀锡铜线的直径为0.05nm。
本发明实施例中，考虑了蒸镀的电极极易脱落以及槽宽较小难以引线的问题，通过选用直径小于槽宽的镀锡铜线作为连接所述电极与驱动电源的导线，高温熔锡使所述导线中的铜线与电极可靠机械电相连，在保证引线的同时也能防止蒸镀的电极脱落。
本发明实施例中，通过对切割工艺、极化工艺以及焊线工艺进行了改进，解决了压电陶瓷多致动壁结构槽宽较小、机械加工时产热导致压电特性受损、电极易脱落以及槽宽较小导致的导线难以引出的问题，制备出压电特性完备的压电陶瓷多致动壁结构。
上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围下，还可做出很多形式，均属于本发明的保护之内。

Claims (7)

1.一种压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，其特征在于，包括，
采用极化工艺对压电陶瓷片进行处理，得到极化处理后的压电陶瓷片；
采用切割工艺对所述极化处理后的压电陶瓷片进行处理，得到具有多致动壁结构的压电陶瓷片，所述多致动壁结构包括多个间隔分布的条形致动壁，相邻的所述致动壁之间形成条形槽，所述条形槽包括连通深槽和焊线槽；
再次采用极化工艺对所述具有多致动壁结构的压电陶瓷片进行处理，得到二次极化处理后的压电陶瓷片；
采用镀电极工艺，在所述二次极化处理后的压电陶瓷片的条形致动壁两侧以及所述焊线槽上形成电极，得到具有电极的压电陶瓷片；
采用焊线工艺将焊线焊接在所述具有电极的压电陶瓷片的焊线槽中，形成完整的压电陶瓷多致动壁结构。
2.根据权利要求1所述的压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，其特征在于，
所述极化工艺包括：涂覆电极工序和极化工序；
其中，所述涂覆电极工序包括：用涂抹棒在所述压电陶瓷片厚度方向对应的上下表面涂覆电极，后对涂覆好电极的压电陶瓷片进行烧渗处理；
所述极化工序包括：将直流电源正负两极分别夹在涂覆好电极的压电陶瓷片上下表面，后将所述涂覆好电极的压电陶瓷片放置于加热至100-200℃的硅油中，同时控制直流电源输出0.5-1.5kV/mm的高压直流电场，1-10小时后取出压电陶瓷片，将所述压电陶瓷片用水清洗、烘干。
3.根据权利要求1所述的压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，其特征在于，
所述切割工艺包括：采用厚度为60-80μm的刀具在所述极化处理后的压电陶瓷片的上表面以磨削加工的方式进行切割处理，在所述压电陶瓷片的上表面形成多致动壁结构，所述多致动壁结构包括并列排布的多个条形槽，每一条形槽包括连通的深槽和焊线槽；所述深槽的深度为300-500μm，长度为9-10mm，宽度为所用刀具的厚度；所述焊线槽的深度为60-80μm，长度为2-3mm，宽度为所用刀具的厚度。
4.根据权利要求1所述的压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，其特征在于，
所述二次极化工艺包括：涂覆电极工序和极化工序；
其中，所述涂覆电极工序包括：用涂抹棒在所述具有多致动壁结构的压电陶瓷片厚度方向对应的上下表面涂覆电极，后对涂覆好电极的压电陶瓷片进行烧渗处理；
所述极化工序包括：将直流电源正负两极分别夹在涂覆好电极的压电陶瓷片上下表面，其中，所述多致动壁结构的每个致动壁顶端均接触到电源的正极或负极，后将所述涂覆好电极的压电陶瓷片放置于加热至100-200℃的硅油中，同时控制直流电源输出0.5-1.5kV/mm的高压直流电场，1-10小时后取出压电陶瓷片，将所述压电陶瓷片用水清洗、烘干。
5.根据权利要求1所述的压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，其特征在于，
所述镀电极工艺包括：先将所述二次极化处理后的压电陶瓷片固定在斜台上，利用蒸镀法在所述多致动壁结构的一侧及焊线槽中镀厚度80-120nm的金属，然后将所述压电陶瓷片旋转180°，利用蒸镀法在所述多致动壁结构的另一侧及焊线槽中镀金属；打磨掉所述压电陶瓷片上、下表面的电极，形成完整的多致动壁结构。
6.根据权利要求1所述的压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，其特征在于，
所述焊线工艺包括：在所述焊线槽中放置直径小于焊线槽的导线，加热至150-250°，待所述导线与电极完全可靠机械电连接后，完成焊线工艺。
7.根据权利要求6所述的压电陶瓷多致动壁结构的制备方法，其特征在于，
选用镀锡铜线作为连接所述电极与驱动电源的导线，通过高温熔锡使所述导线与所述电极相连。
CN202010289906.5A 2020-04-14 2020-04-14 压电陶瓷多致动壁结构的制备方法 Active CN111403595B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010289906.5A CN111403595B (zh) 2020-04-14 2020-04-14 压电陶瓷多致动壁结构的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010289906.5A CN111403595B (zh) 2020-04-14 2020-04-14 压电陶瓷多致动壁结构的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111403595A true CN111403595A (zh) 2020-07-10
CN111403595B CN111403595B (zh) 2023-09-26

Family

ID=71431568

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010289906.5A Active CN111403595B (zh) 2020-04-14 2020-04-14 压电陶瓷多致动壁结构的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111403595B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111900246A (zh) * 2020-08-06 2020-11-06 清华大学 一种铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1299319A (zh) * 1998-03-11 2001-06-13 萨尔技术有限公司 液滴沉积装置及其制造方法
CN1333719A (zh) * 1998-11-14 2002-01-30 萨尔技术有限公司 液滴沉积装置
JP2007281439A (ja) * 2006-03-17 2007-10-25 Ngk Insulators Ltd 圧電セラミックス及びその製造方法
CN101255265A (zh) * 2008-04-11 2008-09-03 清华大学 无铅压电陶瓷/聚合物1-3结构复合材料及其加工方法
CN101538144A (zh) * 2009-04-14 2009-09-23 济南大学 2-2型水泥基压电复合材料
CN101891472A (zh) * 2009-05-21 2010-11-24 中国科学院上海硅酸盐研究所 钙钛矿结构高居里温度无铅压电陶瓷及其制备方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1299319A (zh) * 1998-03-11 2001-06-13 萨尔技术有限公司 液滴沉积装置及其制造方法
CN1333719A (zh) * 1998-11-14 2002-01-30 萨尔技术有限公司 液滴沉积装置
JP2007281439A (ja) * 2006-03-17 2007-10-25 Ngk Insulators Ltd 圧電セラミックス及びその製造方法
CN101255265A (zh) * 2008-04-11 2008-09-03 清华大学 无铅压电陶瓷/聚合物1-3结构复合材料及其加工方法
CN101538144A (zh) * 2009-04-14 2009-09-23 济南大学 2-2型水泥基压电复合材料
CN101891472A (zh) * 2009-05-21 2010-11-24 中国科学院上海硅酸盐研究所 钙钛矿结构高居里温度无铅压电陶瓷及其制备方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111900246A (zh) * 2020-08-06 2020-11-06 清华大学 一种铌酸锂钠基无铅压电陶瓷的极化方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111403595B (zh) 2023-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5053380B2 (ja) 太陽電池パネル
US9640676B2 (en) Methods and structures for improving the structural integrity of solar cells
WO2002075816A1 (fr) Pile solaire et son procede de fabrication
CN101681952A (zh) 太阳能电池的制造方法以及所制得的太阳能电池
CN105934828B (zh) 太阳能电池单元和太阳能电池单元的制造方法
WO2011161813A1 (ja) 太陽電池セルおよびその製造方法
CN101777606A (zh) 一种晶体硅太阳电池选择性扩散工艺
CN105518871A (zh) 增强的多孔化
CN111403595A (zh) 压电陶瓷多致动壁结构的制备方法
JP2017011190A (ja) 太陽電池の製造方法および太陽電池
TWI777959B (zh) 太陽電池及其製造方法
JP2011258813A (ja) 太陽電池素子の電極焼成用焼成炉、太陽電池素子の製造方法及び太陽電池素子
CN103125027B (zh) 太阳能电池组件
JP2009135303A (ja) 太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの製造方法
CN106129185A (zh) 激光刻蚀透明导电膜制备等离激元增强晶硅太阳电池方法
JP2008205398A (ja) 光電変換素子およびその製造方法
CN102122681A (zh) 一种太阳能电池片的连接方法
KR101193021B1 (ko) 도트형 전극을 갖는 저가 양산의 고효율 태양전지 및 그 제조방법
JP5349523B2 (ja) 太陽電池の製造方法
JP2002353475A (ja) 太陽電池素子
CN105742375A (zh) 一种背接触晶硅电池及其制备方法
CN205406504U (zh) 石墨烯电极的静电卡盘装置
JP3188070B2 (ja) 熱電発電モジュール
WO2013143350A1 (zh) 一种太阳电池、组件及太阳电池电极的制造方法
CN110854042A (zh) 太阳能电池裂片方法和***

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant