CN111289521A - 加工品的表面损伤检查*** - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 88
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 10
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 claims description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Images
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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- G—PHYSICS
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
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Abstract
本发明提供一种加工品的表面损伤检查***,能够使用摄像技术使外观检查自动化,能够高效且有效地进行加工品的外观检查。该加工品的表面损伤检查***具备:照明部,从X方向的前后方向和Y方向的左右方向这4个方向向被检查面照射光;摄像部,拍摄被检查面的图像;损伤检测部,根据被检查面的图像检测被检查面的损伤;机器人(7),安装了具有照明部和损伤检测部的损伤检查装置(9);平台(5),用于配置加工品(W);以及控制装置(16),控制机器人(7)的驱动,其中,控制装置(16)控制机器人(7)和损伤检查装置(9)的驱动,使得通过损伤检查装置(9)检测平台(5)上的加工品W或由机器人(7)把持的加工品(W)。
Description
技术领域
本发明涉及一种加工品的表面损伤检查***。
背景技术
以往,由机床加工出的加工品在进行了毛刺去除作业、清洗作业后,实施外观检查、螺纹检查、三维测定检查等各种检查(例如,参照专利文献1)。由此,能够排除不良品,将可靠性高的加工品作为产品出厂。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2012-068025号公报
发明内容
发明要解决的问题
另一方面,在加工品的外观检查中,检查者一般通过目视来检查加工品的表面,来判别有无划痕、砂眼等缺陷(损伤)。
然而,在像这样通过检查者的目视进行的外观检查中,存在漏看划痕、砂眼等缺陷的事件。另外,加工品(产品)一般根据***位来详细地设定判断基准,因此与之相伴地还存在错误判断的事件。并且,在目视检查中,检查者的熟练度也有可能影响检查结果。
本发明鉴于上述情况,目的在于提供一种能够使用摄像技术使外观检查自动化、并且能够高效且有效地进行加工品的外观检查的加工品的表面损伤检查***。
用于解决问题的方案
本发明的发明者选出高效且有效地进行加工品的外观检查的单元,完成了本发明。
(1)本发明具备:照明部(例如,后述的照明部10),其从在自正面观察作为检查对象的加工品(例如,后述的加工品W)的表面的被检查面(例如,后述的被检查面W1)时相互正交的X方向的前后方向和Y方向的左右方向这4个方向向所述被检查面照射光(例如,后述的光L);摄像部(例如,后述的摄像部12),其从与所述被检查面相对的Z方向拍摄所述被检查面的图像(例如,后述的图像11);损伤检测部(例如,后述的损伤检测部15),其根据由所述摄像部获取到的所述被检查面的图像来检测所述被检查面的损伤;机器人(例如,后述的外观检查机器人7),其安装了具有所述照明部和所述损伤检测部的损伤检查装置(例如,后述的损伤检查装置9);平台(例如,后述的检查用平台5),其用于配置所述检查对象的加工品;以及控制装置(例如,后述的控制装置16),其控制所述机器人的驱动,其中,所述控制装置控制所述机器人和所述损伤检查装置的驱动,使得通过所述损伤检查装置检查所述平台上的所述检查对象的加工品、或者所述机器人从所述平台拿取并保持的所述检查对象的加工品。
(2)本发明在上述(1)中,也可以还具备检查区域设定部(例如,后述的检查区域设定部),该检查区域设定部通过机器学习来识别所述加工品的表面中的加工面,将通过所述机器学习确定出的所述加工面设定为检查区域。
发明的效果
根据本发明,通过从X方向的前后方向和Y方向的左右方向这4个方向向加工品的被检查面照射光,与以往的图像不同,能够相对于污垢等而言清晰地映现出(拍摄出)划痕、砂眼等缺陷(损伤)。由此,能够使用摄像技术使外观检查自动化,能够高效且有效地进行加工品的外观检查。
附图说明
图1是示出具备本发明的一个实施方式所涉及的加工品的表面损伤检查***的外观检查等区域的图。
图2是示出本发明的一个实施方式所涉及的加工品的表面损伤检查***的图。
图3是示出加工品的表面的被检查面(划痕、污垢)和由本发明的一个实施方式所涉及的加工品的表面损伤检查***拍摄出的加工品的表面的被检查面的图像的图。
附图标记说明
3:清洗装置;4:吹气装置;5:检查用平台(平台);6:搬运机器人;7:外观检查机器人(机器人);8:螺纹检查机器人;9:损伤检查装置;10:照明部;11:图像;12:摄像部;13:存储部;14:缺陷(划痕等);15:损伤检测部;16:控制装置;17:污垢;18:检查区域设定部;A:加工品的表面损伤检查***;L:光;R:外观检查等区域;W:加工品;W1:被检查面(检查区域)。
具体实施方式
下面,参照图1至图3,对本发明的一个实施方式所涉及的加工品的表面损伤检查***进行说明。
在此,本实施方式与用于检查由机床加工出的加工品的表面有无划痕、砂眼(铸件等的原材料的砂眼)等缺陷的***有关。
另外,检查对象的加工品例如是在由机床加工后,被载置于托盘,被AGV(无人搬送车辆)等搬入自动仓库的未检查品分散仓库,被未检查品分散仓库所具备的码垛机(stacker crane)保存到规定的堆垛架(stacker rack)(货架)。
如图1所示,本实施方式的加工品的表面损伤检查***A例如设置于与上述的未检查品分散仓库相邻的外观检查区域(外观检查等区域)R。
加工品的表面损伤检查***A构成为具备:临时放置平台1、2,其设置于外观检查区域R的规定位置;清洗装置3,其清洗加工品W;吹气装置4,其从清洗后的加工品W去除清洗液;检查用平台(平台)5,其用于载置清洗处理后的加工品W;搬运机器人6,其在临时放置平台1、2、清洗装置3、吹气装置4、检查用平台5之间搬运加工品W;以及外观检查机器人7,其用于对被运送到检查用平台5的加工品W进行外观检查。
此外,在本实施方式中,外观检查区域和螺纹检查区域被设为相同区域R,如图1所示,用于对加工品W的内螺纹孔的螺纹进行检查的螺纹检查机器人8与外观检查机器人7并排设置。而且,构成为外观检查机器人7和螺纹检查机器人8分别针对被运送到检查用平台5的加工品W进行检查。
外观检查机器人7构成为:具备并形成多关节状的臂,在所有方位上的规定区域内能够自如地移动前端部。外观检查机器人7在前端部安装有如图2所示的损伤检查装置(外观检查装置)9。
如图2、图3所示,损伤检查装置9具备:照明部10,其从在自正面观察作为检查对象的加工品W的表面的被检查面W1时相互正交的X方向的前后方向和Y方向的左右方向这4个方向向被检查面W1照射光L;CCD等摄像部12,其从与被检查面W1相对的Z方向拍摄被检查面W1的图像11;存储部13,其存储由摄像部12获取到的被检查面W1的图像11;以及损伤检测部15,其根据被检查面W1的图像11检测被检查面W1的划痕、砂眼等缺陷(损伤)14。
如图1所示,本实施方式的加工品的表面损伤检查***A还具备控制装置16,该控制装置16控制外观检查机器人7和损伤检查装置9的驱动,使得通过损伤检查装置9对检查用平台5上的加工品W、或外观检查机器人7从检查用平台5拿取并保持的加工品W进行检查。
而且,在本实施方式的加工品的表面损伤检查***A中,由损伤检查装置9的摄像部12获取到的被检查面W1的图像11存储于存储部13,损伤检测部15对存储于存储部13的被检查面W1的图像11进行处理,来检测有无划痕、砂眼等缺陷14。
此时,如图2、图3所示,损伤检测部15对从前后的2个方向、左右的2个方向的所有方向照射光L的图像11进行处理,或对从前后的2个方向、左右的2个方向中的各个方向照射光L时的图像11进行合成处理等。
由此,如图3所示,在本实施方式的加工品的表面损伤检查***A中,例如在被检查面W1存在记号笔等的污垢17和划痕(缺陷)14的情况下,能够在被检查面W1的图像11中,使划痕(缺陷)14清晰,反而不使污垢17清晰地示出。
另外,在本实施方式的加工品的表面损伤检查***A中,也可以设置通过机器学习识别加工品W的表面中的加工面的检查区域设定部18。即,通过机器学习确定针对未实施加工的铸件等的原材料的坯料面实施了加工的加工面,将该加工面设定为检查区域甚至被检查面W1。
由此,能够高效地对需要检查的加工品的面进行损伤检查。
因而,根据本实施方式的加工品的表面损伤检查***A,能够使用摄像技术使外观检查自动化,并且能够高效且有效地进行加工品的外观检查。
以上,对本发明所涉及的加工品的表面损伤检查***的一个实施方式进行了说明,但是本发明不限于上述的一个实施方式,在不脱离其主旨的范围内能够进行适当的变更。
Claims (2)
1.一种加工品的表面损伤检查***,具备:
照明部,其从在自正面观察作为检查对象的加工品的表面的被检查面时相互正交的X方向的前后方向和Y方向的左右方向这4个方向向所述被检查面照射光;
摄像部,其从与所述被检查面相对的Z方向拍摄所述被检查面的图像;
损伤检测部,其根据由所述摄像部获取到的所述被检查面的图像来检测所述被检查面的损伤;
机器人,其安装了具有所述照明部和所述损伤检测部的损伤检查装置;
平台,其用于配置所述检查对象的加工品;以及
控制装置,其控制所述机器人的驱动,
其中,所述控制装置控制所述机器人和所述损伤检查装置的驱动,使得通过所述损伤检查装置检查所述平台上的所述检查对象的加工品、或所述机器人从所述平台拿取并保持的所述检查对象的加工品。
2.根据权利要求1所述的加工品的表面损伤检查***,其特征在于,
还具备检查区域设定部,该检查区域设定部通过机器学习来识别所述加工品的表面中的加工面,将通过所述机器学习确定出的所述加工面设定为检查区域。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018229708A JP6956063B2 (ja) | 2018-12-07 | 2018-12-07 | 加工品の表面損傷検査システム |
JP2018-229708 | 2018-12-07 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111289521A true CN111289521A (zh) | 2020-06-16 |
Family
ID=70776509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911235085.0A Pending CN111289521A (zh) | 2018-12-07 | 2019-12-05 | 加工品的表面损伤检查*** |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10712288B2 (zh) |
JP (1) | JP6956063B2 (zh) |
CN (1) | CN111289521A (zh) |
DE (1) | DE102019218772A1 (zh) |
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-
2019
- 2019-12-03 US US16/702,464 patent/US10712288B2/en active Active
- 2019-12-03 DE DE102019218772.2A patent/DE102019218772A1/de active Pending
- 2019-12-05 CN CN201911235085.0A patent/CN111289521A/zh active Pending
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DE102019218772A1 (de) | 2020-06-10 |
US20200182802A1 (en) | 2020-06-11 |
JP2020091238A (ja) | 2020-06-11 |
US10712288B2 (en) | 2020-07-14 |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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