CN110687115A - 一种半导体检测探针平台 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种半导体检测探针平台，包括侧板、探针台、底座和载物托盘，所述底座的顶部表面固定有第一导轨，所述第一导轨背离底座的一端与探针台连接固定，所述探针台的上表面固定有探针固定块，所述侧板的顶部表面固定有托架，所述托架的上表面固定有气缸，所述气缸通过连接板与第二导轨连接固定，所述第二导轨上固定有显微镜，所述探针台的一端焊接有螺纹柱，所述螺纹柱的底端焊接有从动轮，所述底座的上表面固定有手摇轮，所述手摇轮的底端焊接有主动轮，所述底座的底端表面固定有变速轮，所述底座的上表面固定有载物托盘。本发明具备升降精度高、显微镜可升降，且可使平台进行同步升降的优点。

Description

一种半导体检测探针平台
技术领域
本发明涉及半导体检测技术领域，具体为一种半导体检测探针平台。
背景技术
在电子装置(诸如半导体衬底)的制造过程中以及制造过程完成以后，需要对其进行相关检测以确定其性能。目前市场上的探针平台不能升降或者升降精度大，多为手轮摇360度，升降0.5-1毫米不等，不能满足越来越精密的测试需要，且显微镜不能升降，由于显微镜镜头长短不一，更换不同倍率镜头测试时，显微镜镜头和被测样品会出先现有碰撞的现象，现有产品是利用直线轴承做为垂直导向升降，导致垂直升降不稳定、间隙大，升降的时候不会是真正的达到同步升降。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体检测探针平台，具备升降精度高、显微镜可升降，且可使平台进行同步升降的优点，解决了目前市场上的探针平台不能升降或者升降精度大，多为手轮摇360度，升降0.5-1毫米不等，不能满足越来越精密的测试需要，且显微镜不能升降，由于显微镜镜头长短不一，更换不同倍率镜头测试时，显微镜镜头和被测样品会出先现有碰撞的现象，现有产品是利用直线轴承做为垂直导向升降，导致垂直升降不稳定、间隙大，升降的时候不会是真正的达到同步升降的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体检测探针平台，包括侧板、探针台、底座和载物托盘，所述底座的顶部表面固定有第一导轨，所述第一导轨背离底座的一端与探针台连接固定，所述探针台的上表面固定有探针固定块，所述底座的顶部表面位于第一导轨的一侧固定有侧板，所述侧板的顶部表面固定有托架，所述托架的上表面固定有气缸，所述气缸通过连接板与第二导轨连接固定，所述第二导轨上固定有显微镜，所述探针台的一端焊接有螺纹柱，所述螺纹柱的底端焊接有从动轮，所述底座的上表面固定有手摇轮，所述手摇轮的底端焊接有主动轮，所述底座的底端表面固定有变速轮，所述底座的上表面固定有载物托盘。
优选的，所述螺纹柱和变速轮通过皮带传动连接，所述变速轮与主动轮通过皮带传动连接。
优选的，所述载物托盘的底端设有两块移动板，且两块移动板分别与纵向移动结构和横向移动结构连接固定，所述纵向移动结构与横向移动结构的结构及大小相同。
优选的，所述横向移动结构的内部转动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端位于横向移动结构的外侧设有手柄，所述螺纹杆的外部套接有连接块，所述连接块内表面开设有与螺纹杆外表面大小相适配的螺纹。
优选的，所述底座的上表面与螺纹柱相对应处设有螺纹套管，且所述螺纹柱与螺纹套管螺纹连接。
优选的，所述探针台的底部表面均匀分布有限位杆，且限位杆与第一导轨的位置相对应，所述探针台通过限位杆与第一导轨相互配合限位安装在底座的上方。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过设置变速轮，使用者在转动手摇轮时，通过变速轮进行变速，来达到控制探针台的升降精度的效果，且探针台的底端均匀分布有限位杆，限位杆与第一导轨相互配合对探针台升降时进行限位，从而达到使探针台同步升降，通过设置气缸，气缸与导轨相互配合保证显微镜升降稳定平顺不产生震动。
附图说明
图1为本发明的主视外观示意图；
图2为本发明的侧视剖视示意图；
图3为本发明的俯视外观示意图；
图4为本发明的仰视外观示意图；
图5为本发明的移动结构剖视示意图。
图中：1、侧板；2、探针台；3、第一导轨；4、底座；5、纵向移动结构；6、载物托盘；7、横向移动结构；8、手摇轮；9、探针固定块；10、显微镜；11、第二导轨；12、连接板；13、螺纹柱；14、变速轮；15、皮带；16、主动轮；17、气缸；18、托架；19、螺纹杆；20、连接块；21、手柄。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1至图5，本发明提供的一种实施例：一种半导体检测探针平台，包括侧板1、探针台2、底座4和载物托盘6，底座4的顶部表面固定有第一导轨3，第一导轨3背离底座4的一端与探针台2连接固定，探针台2的底部表面均匀分布有限位杆，且限位杆与第一导轨3的位置相对应，探针台2通过限位杆与第一导轨3相互配合限位安装在底座4的上方，限位杆与第一导轨3相互配合对探针台2升降时进行限位，从而达到使探针台2同步升降，探针台2的上表面固定有探针固定块9，底座4的顶部表面位于第一导轨3的一侧固定有侧板1，侧板1的顶部表面固定有托架18，托架18的上表面固定有气缸17，气缸17通过连接板12与第二导轨11连接固定，第二导轨11上固定有显微镜10，气缸17与导轨相互配合保证显微镜10升降稳定平顺不产生震动。
探针台2的一端焊接有螺纹柱13，底座4的上表面与螺纹柱13相对应处设有螺纹套管，且螺纹柱13与螺纹套管螺纹连接，螺纹柱13和变速轮14通过皮带15传动连接，变速轮14与主动轮16通过皮带15传动连接，螺纹柱13的底端焊接有从动轮，底座4的上表面固定有手摇轮8，手摇轮8的底端焊接有主动轮16，底座4的底端表面固定有变速轮14，使用者在转动手摇轮8时，通过变速轮14进行变速，来达到控制探针台2的升降精度的效果，底座4的上表面固定有载物托盘6，载物托盘6的底端设有两块移动板，且两块移动板分别与纵向移动结构5和横向移动结构7连接固定，便于使用者通过纵向移动结构5与横向移动结构7移动载物托盘6，使半导体移动至显微镜10下，纵向移动结构5与横向移动结构7的结构及大小相同，横向移动结构7的内部转动安装有螺纹杆19，螺纹杆19的一端位于横向移动结构7的外侧设有手柄21，螺纹杆19的外部套接有连接块20，连接块20内表面开设有与螺纹杆19外表面大小相适配的螺纹，当使用者转动手柄21时，手柄21带动螺纹杆19转动，使连接块20通过丝杆丝母原理在螺纹杆19上移动。
工作原理：使用者在使用时，将半导体放置在载物托盘6上，载物托盘6的底端设有两块移动板，且两块移动板分别与纵向移动结构5和横向移动结构7连接固定，便于使用者通过纵向移动结构5与横向移动结构7移动载物托盘6，使半导体移动至显微镜10下，之后使用者转动手摇轮8，使探针平台下降，使探针与半导体接触，之后使用者通过将气缸17通过气泵接通外部气泵，使气缸17控制显微镜10的高度，且气缸17与导轨相互配合保证显微镜10升降稳定平顺不产生震动。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种半导体检测探针平台，包括侧板(1)、探针台(2)、底座(4)和载物托盘(6)，其特征在于：所述底座(4)的顶部表面固定有第一导轨(3)，所述第一导轨(3)背离底座(4)的一端与探针台(2)连接固定，所述探针台(2)的上表面固定有探针固定块(9)，所述底座(4)的顶部表面位于第一导轨(3)的一侧固定有侧板(1)，所述侧板(1)的顶部表面固定有托架(18)，所述托架(18)的上表面固定有气缸(17)，所述气缸(17)通过连接板(12)与第二导轨(11)连接固定，所述第二导轨(11)上固定有显微镜(10)，所述探针台(2)的一端焊接有螺纹柱(13)，所述螺纹柱(13)的底端焊接有从动轮，所述底座(4)的上表面固定有手摇轮(8)，所述手摇轮(8)的底端焊接有主动轮(16)，所述底座(4)的底端表面固定有变速轮(14)，所述底座(4)的上表面固定有载物托盘(6)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述螺纹柱(13)和变速轮(14)通过皮带(15)传动连接，所述变速轮(14)与主动轮(16)通过皮带(15)传动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述载物托盘(6)的底端设有两块移动板，且两块移动板分别与纵向移动结构(5)和横向移动结构(7)连接固定，所述纵向移动结构(5)与横向移动结构(7)的结构及大小相同。
4.根据权利要求3所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述横向移动结构(7)的内部转动安装有螺纹杆(19)，所述螺纹杆(19)的一端位于横向移动结构(7)的外侧设有手柄(21)，所述螺纹杆(19)的外部套接有连接块(20)，所述连接块(20)内表面开设有与螺纹杆(19)外表面大小相适配的螺纹。
5.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述底座(4)的上表面与螺纹柱(13)相对应处设有螺纹套管，且所述螺纹柱(13)与螺纹套管螺纹连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述探针台(2)的底部表面均匀分布有限位杆，且限位杆与第一导轨(3)的位置相对应，所述探针台(2)通过限位杆与第一导轨(3)相互配合限位安装在底座(4)的上方。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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