CN110684963B - 用于镀膜设备的气流导散装置及其应用 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用，其中所述镀膜设备具有一腔室和至少一支架，其中所述支架被安装于所述腔室，其中所述支架用于支撑至少一基材，其中所述气流导散装置用于在被充入该腔室的气体与该支架之间的位置进行气体引导作用，其中所述气流导散装置包括至少一阻挡部和至少一导散部；其中所述阻挡部与所述导散部相连接，其中所述阻挡部具有一阻挡面，其中所述导散部具有与所述阻挡面相连接的一导散面和位于所述导散面的一组通孔，以供部分气体沿所述阻挡面的延伸方向扩散，而另一部分气体穿过所述通孔，从而尽可能均匀地在该基材的表面镀膜。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜领域，进一步涉及用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用。
背景技术
近年来，随着科技的发展，镀膜工艺作为提升材料表面性能有效方法被广泛地应用于航空航天、汽车制造、机械重工、五金工具制造以及电子设备制造等领域。镀膜工艺包括等离子体化学气相沉积技术、真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积或者物理气相沉积等，等离子体化学气相沉积技术是一种利用等离子体激活化学反应气体，促进在基材表面或者近表面空间进行化学反应，生产固体膜或者膜层的技术。
等离子体化学气相沉积技术与其他膜层制备技术相比具有以下几个优点：1、干式工艺，生成的薄膜均匀无针孔；2、膜层制备温度低，可在常温条件下进行，有效地避免了温度敏感器件的损伤；3、等离子体化学气相沉积工艺不仅可以制备厚度为微米级的膜层而且还可以制备超薄的纳米级膜层；4、由该工艺制备的等离子体聚合薄膜的耐溶剂性、耐化学腐蚀性、耐热性、耐磨损性等化学物理性质稳定；5、所述等离子体聚合薄膜与基材的黏结性良好。
例如，由所述等离子体化学气相沉积技术制备的一种氟碳树脂膜层或者薄膜，其中氟碳树脂以牢固的C-F键为骨架。同其他树脂相比，氟碳树脂具有良好的耐热性、耐化学品性、耐寒性、耐温柔韧性、耐候性以及不黏附性、不湿润性等优点，适合用于材料表面的防护，其可以赋予材料良好的物理、化学耐久性和优异的防水、防油功能。近年来，通过等离子体化学气相沉积技术制备所述氟碳树脂膜层在微电子、光学、医用、精密设备以及高端衣物等的研究及应用越来越多。
目前等离子体化学气相沉积镀膜工艺中，基材被置入镀膜设备的腔室内，持续抽出腔室内的气体以维持低气压状态，同时持续通入工艺气体如氮气或氩气等惰性气体；化学单体原料如碳氢气体、氟碳树脂或烃类衍生物等，以提供等离子体环境并在电场作用下在基材表面形成聚合物防护膜层。
由于整个镀膜过程中需要持续地对腔室进行抽气，且目前腔室的抽气口、进气口以及进料口的位置是相对固定的。因此，在压力作用下，化学单体原料倾向于从进料口向抽气口方向扩散，从而导致在进料口区域和扩散方向区域的原料密度明显大于腔室内其他区域，使得被置于进料口区域和扩散方向区域的基材的部分表面被镀上的聚合物膜层较厚而其他区域的聚合物膜层较薄，从而造成批量生产基材表面的聚合物膜层不均匀，质量不一致，甚至可能产生肉眼可见的颜色不均现象，影响基材的透明度或者美观。
发明内容
本发明的一个目的在于提供一用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用，在镀膜过程中，其中所述气流导散装置用于阻散被充入所述镀膜设备的腔室内的气体，阻挡气体在扩散方向上聚集，并使气体能够尽可能均匀地扩散至基材的表面，从而使所述基材的表面被尽可能均匀地镀上膜层，以保证质量尽量一致，颜色尽量均匀。
本发明的另一个目的在于提供一用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用，其中所述气流导散装置能够实现所述气体尽可能均匀地扩散至整个所述腔室内的每个所述基材的表面，从而保证各所述基材表面的膜层的一致性。
本发明的另一个目的在于提供一用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用，其中所述气流导散装置能够在被充入所述腔室的气体的流动方向上阻散气流，从而阻止气体在流动方向上聚集，以实现尽可能地均匀扩散气体的效果。
本发明的另一个目的在于提供一用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用，其中所述气流导散装置尺寸能够调节，以适配于不同型号的镀膜设备。
本发明的另一个目的在于提供一用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用，其中所述气流导散装置能够重复利用，且便于维修。
本发明的另一个目的在于提供一用于一镀膜设备的气流导散装置及其应用，其中所述气流导散装置结构简单，实用性强，成本低。
依本发明的一个方面，本发明进一步提供一气流导散装置，用于一镀膜设备，其中所述镀膜设备具有一腔室和至少一支架，其中所述支架被安装于所述腔室，其中所述支架用于支撑至少一基材，其中所述气流导散装置用于在被充入该腔室的气体与该支架之间的位置进行气体引导作用，其中所述气流导散装置包括：
至少一阻挡部；和
至少一导散部；其中所述阻挡部与所述导散部相连接，其中所述阻挡部具有一阻挡面，其中所述导散部具有与所述阻挡面相连接的一导散面和位于所述导散面的一组通孔，以供部分气体沿所述阻挡面的延伸方向扩散，而另一部分气体穿过所述通孔，从而尽可能均匀地在该基材的表面镀膜。
在一些实施例中，其中所述气流导散装置首尾相接形成一安装腔，以供安装该支架。
在一些实施例中，其中所述导散部的所述通孔被设置于与该支架的一支撑腔相对应地位置。
在一些实施例中，其中多个所述阻挡部和多个所述导散部交替排列。
在一些实施例中，其中三个所述阻挡部分别为第一阻挡部、第二阻挡部以及第三阻挡部，其中二个所述导散部分别为第一导散部和第二导散部，其中所述第一导散部被连接于所述第一阻挡部和所述第二阻挡部之间，其中所述第二导散部被连接于所述第二阻挡部和所述第三阻挡部之间。
在一些实施例中，其中所述导散部具有二接合端和被一体连接于所述接合端之间的一导散网，其中所述导散网形成所述通孔，其中所述二接合端分别与相邻的所述阻挡部相连接。
在一些实施例中，其中所述导散网的孔径、数量以及目数根据实际镀膜需求被预设，以供限制一定量或者一定比例的气体穿过所述通孔。
在一些实施例中，进一步包括一预留部，其中所述预留部被连接于所述阻挡部，其中所述预留部具有一定的宽度并形成一预留面以供额外连接另一所述阻挡部、所述导散部或者所述气流导散装置。
在一些实施例中，其中所述气流导散装置由布制材料制成。
在一些实施例中，所述气流导散装置是具有上下开口的筒状部件。
在一些实施例中，所述气流导散装置具有一连接端，其中该支架被安装于所述安装腔，其中所述连接端一体地连接于该支架或可拆卸地连接于该支架。
在一些实施例中，所述连接端与该支架缝制连接、拉链连接、粘接或卡接。
在一些实施例中，该支架具有多层支撑腔，其中每层该支撑腔均分别用于放置所述基材，在所述气流导散装置被环套于该支架的侧面时，所述导散部恰好与所述气流导散装置的所述支撑腔相对应，使得穿过所述导散部的所述通孔的气体扩散至该支撑腔。
在一些实施例中，多个所述阻挡部和多个所述导散部沿着所述气流导散装置的横向方向或纵向方向延伸
依本发明的另一个方面，本发明进一步提供一镀膜设备，其中所述镀膜设备包括腔体、电源和支架，其中所述镀膜设备进一步包括所述气流导散装置，其中所述气流导散装置被设置于所述支架。
依本发明的另一个方面，本发明进一步提供一膜层，其中所述膜层由所述的镀膜设备制备。
依本发明的另一个方面，本发明进一步提供一气流导散装置的制造方法，其包括步骤：
A、交替连接多个阻挡部和多个导散部，其中所述导散部具有一组通孔；和
B、首尾连接各所述阻挡部以形成一安装腔，以供安装一镀膜设备的支架。
在一些实施例中，进一步包括步骤：设置一预留部于所述阻挡部，其中所述预留部具有一定的宽度并形成一预留面以供额外连接另一所述阻挡部、所述导散部或者所述气流导散装置。
附图说明
图1是根据本发明的一个优选实施例的一气流导散装置被应用于镀膜设备的结构示意图。
图2是根据本发明的上述优选实施例的所述气流导散装置的平面示意图。
图3是根据本发明的上述优选实施例的所述气流导散装置导散气流的气流示意图。
图4是根据本发明的上述优选实施例的所述气流导散装置的三个导散部的平面示意图。
图5是根据本发明的上述优选实施例的所述气流导散装置的另一种实施方式的立体示意图。
具体实施方式
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。
本领域技术人员应理解的是，在本发明的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本发明的限制。
可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
如图1至图5所示为本发明的一个优选实施例的一气流导散装置100，其中所述气流导散装置100被用于一镀膜设备500，其中所述镀膜设备500具有一腔室510和至少一支架520，其中所述支架520被设置于所述腔室510，其中所述支架520用于支撑至少一基材。如图1所示，所述腔室510适于被充入气体，由所述镀膜设备500对所述基材进行镀膜，其中所述气流导散装置100被设置于所述腔室510以用于阻散所述气体在扩散方向上聚集，从而使所述气体尽可能地均匀扩散至所述腔室510内的所述基材的表面，从而使所述基材的表面被尽可能地均匀镀上膜层，以保证质量尽量一致，颜色尽量均匀。
可以理解的是，所述镀膜设备500如真空镀膜设备，其中所述镀膜设备500提供真空度较高的所述腔室510，即所述腔室510并非绝对真空，举例地所述腔室510的真空度大致为0.1至20Pa，其中所述镀膜用具100与所述基材在组装后一并放入所述腔室510中完成镀膜。可选地，所述镀膜设备500的镀膜种类可以为真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积、物理气相沉积或者等离子体化学气相沉积等，其工作原理在此不做赘述。可选地，所述膜层包括被镀于所述基材表面的膜、薄膜或者纳米膜层等。可选地，所述膜层可以被实施为类金刚石薄膜、有机硅纳米防护膜层、有机硅硬质纳米防护膜层、复合结构高绝缘硬质纳米防护膜层、具有调制结构的高绝缘纳米防护膜层、等离子体聚合膜层、梯度递增结构防液膜层、梯度递减结构防液膜层、交联度可控的膜层、防水耐电击穿膜层、低粘附耐蚀膜层、具有多层结构的防液膜层、聚氨酯纳米膜层、丙烯酰胺纳米膜层、防静电防液纳米膜层、环氧纳米膜层、高透明低色差纳米膜层、高粘附性耐老化纳米膜层、含硅共聚物纳米膜层或者聚酰亚胺纳米膜层等。相应地，所述镀膜设备500可以被实施为在所述基材表面镀上述任意一种或多种的膜或者膜层等，以改善所述基材表面性质，在此不受限制。
熟知本领域的技术人员应当理解的是，所述基材可以被实施为预设形状结构的需镀膜产品，如PCB电路板、手机、电子设备、电子设备外壳、键盘膜、织物其他类型的需镀膜产品等，在此不受限制。
举例地，所述腔室510具有一抽气口、一进气口以及至少一进料口，其中所述抽气口用于接入一抽气泵，其中所述抽气泵用于持续地通过所述抽气口以一定速率地向外抽出所述腔室510内的气体，其中所述进气口用于接入输送氮气或者氩气等惰性气体的管道以向所述腔室510内充入氮气或者氩气等惰性气体来提供等离子体环境，其中所述进料口用于接入输送化学气体原料的管道以向所述腔室510内充入所述化学气体原料，借助等离子体在电场作用下使化学单体原料发生化学反应，在所述基材的表面生成所述膜层。
一般情况下，所述进料口和所述进气口相邻，其中所述进料口与所述抽气口相远离，其中所述气体由所述进气口和所述进料口至所述抽气口的方向扩散，其中所述支架520和所述基材被放置于所述腔室510的所述进料口与所述抽气口之间，即尽可能地保证所述气体在所述基材的表面反应并生成所述膜层。为阻散所述气体的在扩散方向上聚集，所述气流导散装置100被设置于所述腔室510的所述进料口与所述抽气口之间，其中所述气流导散装置100位于所述进料口与所述支架520之间，优选地，所述气流导散装置100竖直于所述进料口与所述支架520之间，以供所述气体尽可能地均匀地扩散至被安装于所述支架520的所有的所述基材。
在本实施例中，所述进料口和所述进气口被设置于所述腔室510的侧壁，其中所述抽气口被设置于所述腔室510的中部，其中所述抽气口可由被竖直于所述腔室510的中部的一抽气柱形成，使得所述气体从所述腔室510的侧壁朝向中部扩散，其中所述支架520被位于所述腔室510的中部与侧壁之间以供位于所述气体的扩散方向上，其中所述支架520以所述腔室510的中部为轴旋转，以使被支撑于所述支架520的所有所述基材能够均匀一致地处于所述气体的扩散方向上。熟知本领域的人员应当理解的是，所述进料口、所述进气口以及所述抽气口的相对位置能够被调整，如所述进料口和所述进气口位于所述腔室的中部或者顶壁或者底壁，其中所述抽气口位于所述腔室的侧壁或者顶壁或者底壁等，在此不受限制。
优选地，所述气流导散装置100被安装于所述支架520的外侧，其中所述气流导散装置100被实施为环形结构，其中所述气流导散装置100被环形包裹于所述支架520的侧面。可选地，所述支架520被实施为圆柱体结构并形成至少一支撑腔，其中所述基材被放置于所述支架520的所述支撑腔，其中所述气流导散装置100被实施为相匹配地包裹于所述支架520的侧面的圆筒形结构。可选地，所述支架520也可以被实施为方柱体结构，其中所述支架520被实施为相匹配地包裹于所述支架520的侧面的方环形结构等，在此不受限制。
如图2所示，进一步地，所述气流导散装置100包括至少一阻挡部10和至少一导散部20，其中所述阻挡部10与所述导散部20相连接，其中所述阻挡部10具有一阻挡面101，其中所述导散部20具有一导散面201和位于所述导散面201的一组通孔202，其中所述阻挡面101与所述导散面201相连接，其中所述阻挡面101和所述导散面201均垂直于被充入所述腔室510的所述气体的气流扩散方向。所述阻挡部10的所述阻挡面101用于阻挡气体通过以供所述气体沿所述阻挡部10的所述阻挡面101的延伸方向扩散，其中部分气体穿过所述导散部20的所述通孔202而部分气体沿所述导散面201的延伸方向扩散。
值得一提的是，沿所述阻挡面101或者所述导散面201的延伸方向扩散的所述气体从所述气流导散装置100的上侧或者下侧扩散进入所述支架520所处的空间，穿过所述通孔202的所述气体直接扩散进入所述支架520所处的空间，不仅增大了所述气体的扩散方向和面积，防止所述气体在扩散方向聚集，而且减缓所述气体的扩散速率，从而尽可能地使所述气体均匀地扩散至所述支架520所处的空间，以使被支撑于所述支架520的所述基材的周围均匀地充满所述气体，从而有利于在所述基材的表面镀上均匀地所述膜层。
优选地，所述气流导散装置100的高度与所述支架520的高度相一致，其中所述气流导散装置100被首尾相接地环套于所述支架520的侧面，其中多个所述阻挡部10和多个所述导散部20交替排列，其中所述阻挡部10首尾相接，其中所述导散部20首尾相接。可选地，所述气流导散装置100可以采用缝制方式首尾相接，其中所述阻挡部10被缝制地首尾相接，其中所述导散部20被缝制地首尾相接。可选地，所述气流导散装置100的首尾连接的连接方式可以被实施为可拆卸地连接方式如卡扣、粘接、拉链等方式。可选地，所述气流导散装置100的首尾相接的连接方式还可以被实施为熔接或者一体连接等方式，在此不受限制。
进一步地，所述气流导散装置100首尾相接形成一安装腔110和一连接端120，其中所述支架520被安装于所述安装腔110，其中所述连接端120被优选实施为缝制连接，可选地，所述连接端120还可以被实施为一体连接、拉链连接、粘接、熔接或者卡接等连接方式。可选地，所述气流导散装置100的所述安装腔110的尺寸可调，以适配地安装不同尺寸的所述支架520。具体地，所述气流导散装置100的首端与尾端以调整所述安装腔100的大小的方式可拆卸地连接，以适配于不同型号的所述镀膜设备500的所述支架520，同时所述气流导散装置100可重复利用，在拆卸后便于维修。
值得一提的是，所述连接端120能够被设置为可调整所述安装腔110的尺寸的连接方式，如滑动连接、绳索连接、卡扣连接或者拉链连接等，即所述气流导散装置100的首尾连接的重合部分的面积能够被调整，从而调整所述安装腔110的尺寸。
值得一提的是，所述支架520具有多层支撑腔，其中每层所述支撑腔均分别用于支撑放置所述基材，在所述气流导散装置100被环套于所述支架520的侧面时，所述导散部20恰好与所述气流导散装置100的所述支撑腔相对应，使得穿过所述导散部20的所述通孔202的所述气体恰好直接扩散至所述支撑腔。
更优选地，所述阻挡部10被实施为三个，依次为第一阻挡部11、第二阻挡部12以及第三阻挡部13，其中所述导散部20被实施为二个，依次为第一导散部21和第二导散部22。所述第一导散部21被连接于所述第一阻挡部11和所述第二阻挡部12之间，其中所述第二导散部22被连接于所述第二阻挡部12和所述第三阻挡部13之间，即从下至上，或者从左至右，依次为所述第一阻挡部11、所述第一导散部21、所述第二阻挡部12、所述第二导散部22以及所述第三阻挡部13。熟知本领域的技术人员应当理解的是，所述导散部20或者所述阻挡部10的数量或者组合方式可以根据实际需求做相应的调整。
可选地，所述第一导散部21的下侧边与所述第一阻挡部11相缝接，其中所述第一导散部21的上侧边与所述第二阻挡部12相缝接，其中所述第二导散部22的下侧边与所述第二阻挡部12相缝接，其中所述第二导散部22的上侧边与所述第三阻挡部13相缝接。所述第一阻挡部11、所述第一导散部21、所述第二阻挡部12、所述第二导散部22以及所述第三阻挡部13依次平行排列，使得所述第一导散部21的所述通孔202位于所述第一阻挡部11和所述第二阻挡部12之间，其中所述第二导散部22的所述通孔202位于所述第二阻挡部12和所述第三阻挡部13之间。当然，所述第一导散部21分别与所述第一阻挡部11和所述第二阻挡部12之间可以被实施为一体连接、熔接、卡接、拉链连接或者粘接等方式相连接，相应地，所述第二导散部22分别与所述第二阻挡部12和所述第三阻挡部13之间可以被实施为一体连接、熔接、卡接、拉链连接或者粘接等方式相连接。
如图3所示，也就是说，被充入所述腔室510的所述气体中的部分气体穿过所述通孔202扩散进入所述安装腔110，其他的气体沿所述气流导散装置100的上侧或者下侧的开口扩散进入所述安装腔110，即从所述安装腔110的上侧或者下侧扩散进入所述安装腔110。
优选地，所述阻挡部10选用布料制成，其中所述阻挡部10能够有效地阻挡气体穿过，可选地，所述阻挡部10可以由完全不透气的材料制成，使得所述气体无法穿过所述阻挡面101，可选地，所述阻挡部10可以由具备透气性的材料制成，使得所述气体能够略微穿过所述阻挡面101，但速率减缓，从而使得大量的所述气体沿着所述阻挡面10的延伸方向向下或者向上扩散。
优选地，所述导散部20的所述第一导散部21和所述第二导散部22分别具有二接合端203和被一体连接于所述二接合端203之间的一导散网204，其中所述导散网204具有所述通孔202，其中所述第一导散部21的其中一所述接合端203与所述第一阻挡部11的上侧边相缝接，其中所述第一导散部21的另一所述接合端203与所述第二阻挡部12的下侧边相缝接，其中所述第二导散部22的其中一所述接合端203与所述第二阻挡部12的上侧边相缝接，其中所述第二导散部22的另一所述接合端203与所述第三阻挡部13的下侧边相缝接。
进一步地，所述导散网204被实施为非金属筛网如布料筛网，其目数为10-14之间。更进一步地，所述导散网204的所述通孔202的数量、孔径以及目数能够根据实际镀膜需求被预设，以限制一定量或者一定比例的所述气体穿过所述导散网204的所述通孔202，实现在被充入所述腔室的气体的流动方向上阻散气流，从而阻止气体在流动方向上聚集，以实现均匀扩散气体的效果，应均属于本发明的保护范围。
需要指出的是，所述导散部20的所述导散网204的首尾无需缝合相接，在制备所述气流导散装置100时，其中所述导散部20和所述阻挡部10均能够分别被预先批量裁剪而成，然后根据安装所述支架520的形状或尺寸，工作人员能够相应地自行增减所述导散部20或者所述阻挡部10的数量、宽度或者长度，并相互拼接缝合成所述气流导散装置100，从而实现制备出适配于不同形状或者尺寸的所述支架520的所述气流导散装置100。
更优选地，所述气流导散装置100首尾相接形成的所述安装腔110的直径尺寸为355±5mm，相应地，长度为(355±5)×πmm，以适配地安装相应尺寸的所述支架520。所述气流导散装置100的总宽度为165mm，其中所述第一阻挡部11的宽度为35mm，其中所述导散部20(所述第一导散部21和所述第二导散部22)的所述接合端203的宽度为5mm，其中所述导散部20(所述第一导散部21和所述第二导散部22)的所述导散网204的宽度为15mm，其中所述第二阻挡部12的宽度为35mm，其中所述第一阻挡部13的宽度为40mm。当然，所述气流导散装置100的尺寸仅为本实施例的一种举例，在此不受限制。
可选地，所述气流导散装置100的各所述阻挡部10和各所述导散部20能够横向地布置于所述支架520的侧面，以使所述通孔202沿着所述支架520的侧面横向延伸，以适配于具有横向延伸的所述支撑腔的所述支架520，从而有利于穿过所述支架520的所述气体能够顺利地扩散至所述基材，以保证镀膜质量。如图5所示，可选地，所述气流导散装置100的各所述阻挡部10和各所述导散部20也可以被实施为能够纵向地布置于所述支架520的侧面，以使所述通孔202沿着所述支架520的侧面纵向延伸，以适配于具有纵向延伸的所述支撑腔的所述支架520。
进一步地，所述气流导散装置100还包括一预留部30，其中所述预留部30被连接于所述第一阻挡部11的下侧边，其中所述预留部30具备一定的宽度并形成一预留面31，其中所述预留部30用于外接如缝接额外的所述阻挡部、所述导散部或者所述气流导散装置100，从而增加所述气流导散装置100的宽度，形成不同尺寸的所述安装腔110，以适配于安装不同尺寸的所述镀膜设备500的所述支架520，提高兼容性。优选地，所述预留部30的宽度为5mm，其中所述预留部30的长度小于等于所述第一阻挡部11的长度。
如图4所示，可选地，所述阻挡部10进一步包括一第四阻挡部14，其中所述导散部20进一步包括一第三导散部23，其中所述第三导散部23的上侧边被缝接于所述第一阻挡部11的下侧边的所述预留部30，其中所述第四阻挡部14被缝接于所述第三导散部23的下侧边，其中所述第四阻挡部14的下侧边进一步预留另一所述预留部30。
进一步地，本优选实施例还提供了所述气流导散装置100的制造方法，包括步骤：
S01、交替连接各所述阻挡部10和所述导散部20，其中所述导散部20具有所述通孔202；和
S02、首尾连接各所述阻挡部10和所述导散部20以形成所述安装腔110，以供套装于所述支架520。
在所述步骤S02中，所述导散部20的所述通孔202的孔径、数量以及目数能够被预设。
其中，所述阻挡部10被实施为三个，其中所述导散部20被实施为两个。
进一步地，所述制造方法还包括步骤：S03、设置所述预留部30于所述阻挡部10，以供外接额外的所述阻挡部10、所述导散部20或者所述气流导散装置100。
依本发明的另一方面，本实施例还提供了所述镀膜设备500，其中所述镀膜设备包括：一腔体、电源、所述支架520和所述气流导散装置100，其中所述腔体具有所述腔室510以供被通入和被抽出气体，其中所述支架520被设置于所述腔室510，其中所述电源用于提供射频和/或脉冲电压，其中所述气流导散装置100被设置于所述支架520以用于防止气体在扩散方向上聚集，使得气体尽可能地均匀地扩散至被安装于所述支架520的所述基材，以供所述基材表面被镀上均匀的膜层。
本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本发明的实施例只作为举例而并不限制本发明。本发明的目的已经完整并有效地实现。本发明的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本发明的实施方式可以有任何变形或修改。
Claims (15)
1.一气流导散装置，用于一镀膜设备，其中所述镀膜设备具有一腔室和至少一支架，其中所述支架被安装于所述腔室，其中所述支架用于支撑至少一基材，其特征在于，其中所述气流导散装置用于在被充入该腔室的气体与该支架之间的位置进行气流引导作用，其中所述气流导散装置包括：
至少一阻挡部；和
至少一导散部；其中所述阻挡部与所述导散部相连接，其中所述阻挡部具有一阻挡面，其中所述导散部具有与所述阻挡面相连接的一导散面和位于所述导散面的一组通孔，以供部分气体沿所述阻挡面的延伸方向扩散，而另一部分气体穿过所述通孔，从而尽可能均匀地在该基材的表面镀膜；其中所述气流导散装置首尾相接形成一安装腔，以供安装该支架；
所述气流导散装置是具有上下开口的筒状部件，沿所述阻挡面或者所述导散面的延伸方向扩散的气体从所述气流导散装置的上侧或者下侧扩散进入所述支架所处的空间；
所述阻挡部由具备透气性的材料制成，使得少量气体穿过所述阻挡面并速率减缓，使得大量气体沿着所述阻挡面的延伸方向扩散。
2.根据权利要求1所述气流导散装置，其中所述导散部的所述通孔被设置于与该支架的一支撑腔相对应的位置。
3.根据权利要求1所述气流导散装置，其中多个所述阻挡部和多个所述导散部交替排列。
4.根据权利要求1所述气流导散装置，其中三个所述阻挡部分别为第一阻挡部、第二阻挡部以及第三阻挡部，其中二个所述导散部分别为第一导散部和第二导散部，其中所述第一导散部被连接于所述第一阻挡部和所述第二阻挡部之间，其中所述第二导散部被连接于所述第二阻挡部和所述第三阻挡部之间。
5.根据权利要求4所述气流导散装置，其中所述导散部具有二接合端和被一体连接于所述接合端之间的一导散网，其中所述导散网形成所述通孔，其中所述二接合端分别与相邻的所述阻挡部相连接。
6.根据权利要求1至5任一所述气流导散装置，进一步包括一预留部，其中所述预留部被连接于所述阻挡部，其中所述预留部具有一定的宽度并形成一预留面以供额外连接另一所述阻挡部、所述导散部或者所述气流导散装置。
7.根据权利要求1所述气流导散装置，其中所述气流导散装置由布制材料制成。
8.根据权利要求1至5中任一所述气流导散装置，其中所述气流导散装置具有一连接端，其中该支架被安装于所述安装腔，其中所述连接端一体地连接于该支架或可拆卸地连接于该支架。
9.根据权利要求8所述气流导散装置，其中所述连接端与该支架缝制连接、拉链连接、粘接或卡接。
10.根据权利要求1所述气流导散装置，其中该支架具有多层支撑腔，其中每层该支撑腔均分别用于放置所述基材，在所述气流导散装置被环套于该支架的侧面时，所述导散部恰好与所述气流导散装置的所述支撑腔相对应，使得穿过所述导散部的所述通孔的气体扩散至该支撑腔。
11.根据权利要求1至5中任一所述气流导散装置，其中多个所述阻挡部和多个所述导散部沿着所述气流导散装置的横向方向或纵向方向延伸。
12.一镀膜设备，其中所述镀膜设备包括腔体、电源和支架，其中所述支架被安装于所述腔体，其中所述支架用于支撑至少一基材，其特征在于，其中所述镀膜设备进一步包括：一气流导散装置，其中所述气流导散装置被设置于所述支架，其中所述气流导散装置包括至少一阻挡部和至少一导散部，其中所述阻挡部与所述导散部相连接，其中所述阻挡部具有一阻挡面，其中所述导散部具有与所述阻挡面相连接的一导散面和位于所述导散面的一组通孔，以供部分气体沿所述阻挡面的延伸方向扩散，而另一部分气体穿过所述通孔，从而尽可能均匀地在该基材的表面镀膜；其中所述气流导散装置首尾相接形成一安装腔，以供安装该支架；
所述气流导散装置是具有上下开口的筒状部件，沿所述阻挡面或者所述导散面的延伸方向扩散的气体从所述气流导散装置的上侧或者下侧扩散进入所述支架所处的空间；
所述阻挡部由具备透气性的材料制成，使得少量气体穿过所述阻挡面并速率减缓，使得大量气体沿着所述阻挡面的延伸方向扩散。
13.根据权利要求12所述镀膜设备，其中多个所述阻挡部和多个所述导散部交替排列。
14.根据权利要求12所述镀膜设备，其中三个所述阻挡部分别为第一阻挡部、第二阻挡部以及第三阻挡部，其中二个所述导散部分别为第一导散部和第二导散部，其中所述第一导散部被连接于所述第一阻挡部和所述第二阻挡部之间，其中所述第二导散部被连接于所述第二阻挡部和所述第三阻挡部之间。
15.根据权利要求14所述镀膜设备，其中所述导散部具有二接合端和被一体连接于所述接合端之间的一导散网，其中所述导散网形成所述通孔，其中所述二接合端分别与相邻的所述阻挡部相连接。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: No.182, East Ring Road, Yuqi supporting area, Huishan Economic Development Zone, Wuxi City, Jiangsu Province, 214000 Applicant after: Jiangsu feiwotai nanotechnology Co.,Ltd. Address before: 214183 East Ring Road, Yuqi Industrial Park, Wuxi City, Jiangsu Province Applicant before: Jiangsu Favored Nanotechnology Co.,Ltd. |
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| CB02 | Change of applicant information | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Air flow dispersion device and its application for coating equipment Granted publication date: 20220520 Pledgee: Wuxi Branch of China CITIC Bank Co.,Ltd. Pledgor: Jiangsu feiwotai nanotechnology Co.,Ltd. Registration number: Y2024980016337 |
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| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |