CN110177947A - 多级真空增压泵联接件 - Google Patents

Abstract

公开了一种具有级间联接单元真空泵的多级真空泵。用于多级真空泵的级间联接件包括:第一级间联接部分，其限定用于接收由多级真空泵的相邻级共享的公共转子的空隙的第一部分；以及可与第一级间联接部分分离的第二级间联接部分，第二级间联接部分限定用于接收由多级真空泵的相邻级共享的公共转子的空隙的第二部分。以这种方式，提供了一种联接件，该联接件能够将组装好的转子和真空泵的组装好的级固定在一起，原因是组装好的转子可以接收在联接件的可分离部分内，该可分离部分又可以装配到组装好的相邻级上。这使得转子和相邻级的机械完整性得以保持，同时仍然便于多级真空泵的组装。

Description

多级真空增压泵联接件

技术领域

本发明涉及用于多级真空增压泵的级间联接件、真空泵和方法。

背景技术

真空泵是已知的。这些泵通常用作真空***用来抽空装置的部件。此外，这些泵用于抽空例如半导体生产中使用的制造器械。众所周知，不是使用单个泵以单个级从真空到大气进行压缩，而是提供多级真空泵，其中每个级执行从真空到大气压力过渡所需的全部压缩范围的一部分。

尽管这种多级真空泵具有优点，但它们也有自己的缺点。因此，希望为多级真空泵提供一种改进的布置。

发明内容

根据第一方面，提供了一种多级真空泵，包括:第一泵送级，其包括第一整体定子；第二泵送级，其包括第二整体定子；以及，级间联接单元，其用于联接所述第一泵送级与所述第二泵送级，该联接单元包括:限定用于接收由多级真空泵的相邻级共享的公共转子的空隙的第一部分的第一级间联接部分，和能与第一级间联接部分分离的第二级间联接部分，第二级间联接部分限定用于接收由泵的相邻级共享的公共转子的空隙的第二部分。

第一个方面认识到，现有多级真空泵的一个问题是难以实现机械坚固的布置，这使得泵复杂且难以组装。因此，联接单元设置在多级真空泵中。联接单元可用于联接多级真空泵的不同泵送级。该联接件可以具有第一级间联接部分。第一级间联接部分可以限定或提供可以接收转子的空隙或开口的第一部分或一部分。该转子可以由真空泵的相邻或邻近级共享或延伸到真空泵的相邻或邻近级中。该联接件还可以提供第二联接部分。第二联接部分可以与第一联接部分分离或分开。第二联接部分可以限定或提供接收转子的空隙或开口的第二部分或一部分。以这种方式，提供了一种联接件，该联接件能够将真空泵的组装好的转子和组装好的级固定在一起，原因是组装好的转子可以接收在联接件的可分离部分内，该可分离部分又可以装配到组装好的相邻级上。这使得转子和相邻级的机械完整性得以保持，同时仍然便于多级真空泵的组装。

在一个实施例中，第一级间联接部分和第二级间联接部分可布置成联接配置和分离配置，在联接配置时，公共转子可由空隙保持，在分离配置时，公共转子可被移除。因此，两个联接部分可以联接或固定在一起，也可以脱开联接或分离，以便能够保持或移除转子。

在一个实施例中，空隙是圆柱形的，并且第一部分和第二部分中的每一个限定半圆柱形。因此，联接部分可以提供大致圆柱形的空隙以接收相应的大致圆柱形的转子。

在一个实施例中，第一级间联接部分限定多个空隙的相应第一部分，每个空隙用于接收由多级真空泵的相邻级共享的相应公共转子，并且第二级间联接部分限定多个空隙的相应第二部分。因此，联接件可以提供一个以上的空隙，每个联接部分限定这些空隙中的每个空隙的一部分。这使得一个以上的转子能够被联接部分接收。

在一个实施例中，第一级间联接部分限定第一联接面和第二联接面的第一部分，并且第二级间联接部分限定第一联接面和第二联接面的第二部分，并且每个空隙在第一联接面与第二联接面之间延伸。因此，联接件可以具有联接面，并且空隙可以通过联接件在这些面之间延伸。

在一个实施例中，第一联接面和第二联接面中的每一个被配置为由多级真空泵的相应相邻级接收。因此，联接面的尺寸可以被设计成附连到真空泵的相邻级或与真空泵的相邻级联接，以形成该相邻级的壳体的一端。

在一个实施例中，第一联接面和第二联接面中的每一个被配置为顶板，以密封多级真空泵的相应相邻级的端部。因此，每个面可以用作相邻级的顶板，以基本上密封该级的外周。

在一个实施例中，第一联接面限定入口孔，以接收来自多级真空泵的第一相邻级的排气，并且第二联接面限定出口孔，以将排气输送到多级真空泵的第二相邻级，并且第一级间联接部分和第二级间联接部分限定传输管道，该传输管道被配置为将入口孔与出口孔流体联接。因此，一个联接面可以提供入口孔，而另一个联接面可以限定出口孔。管道可以在入口孔与出口孔之间延伸。入口孔可以接收来自相邻级的排气。排气可由管道输送至出口孔，以将该排气输送至相邻级的入口。因此，联接件本身可以促进压缩气体从一个级传输到另一个级，而不需要额外的管路。

在一个实施例中，入口孔位于多级真空泵的第一相邻级的流体下游，并且出口孔位于多级真空泵的第二相邻级的流体上游。因此，入口孔可以接收来自第一级的压缩气体或排气，并将其输送到第二级的入口以进一步压缩。

在一个实施例中，第一联接面的第一部分和第二部分之一限定入口孔，并且第二联接面的第一部分和第二部分中的另一个限定出口孔。因此，联接件的部分之一可以提供入口，而联接件的另一部分可以提供出口。由于公共转子的共同旋转，这使得来自一级的排气能够被传输到另一级的入口。

在一个实施例中，第一联接面的第一部分和第二部分中的一个限定入口孔，并且第一联接面的第一部分和第二部分中的另一个限定再循环出口孔，并且第一级间联接部分和第二级间联接部分限定再循环管道，该再循环管道被配置成将入口孔与再循环出口孔选择性地流体联接。因此，一个面的一部分可以具有入口孔，而该面的另一部分可以具有再循环孔。入口孔和再循环孔可以通过再循环管道联接，再循环管道将入口孔和循环出口孔选择性地联接，以允许流体在需要时再循环。

在一个实施例中，第二联接面的第一部分和第二部分中的一个限定出口孔，并且第二联接面的第一部分和第二部分中的另一个限定第二再循环出口孔，并且第一级间联接部分和第二级间联接部分限定第二再循环管道，该第二再循环管道被配置成将出口孔与第二再循环出口孔选择性地流体联接。因此，另一个面也可以在一个部分中具有出口孔，并且在另一个部分中具有第二循环孔。出口孔和第二循环孔可以通过第二再循环管道联接。第二循环管道可以将出口孔与第二循环孔选择性地联接，以便在需要时再循环流体。

在一个实施例中，再循环管道包括压力致动阀，该压力致动阀可响应于入口孔与再循环出口孔之间的选定压差而被致动以将入口孔与再循环出口孔联接。因此，当入口孔与再循环出口孔之间存在预定压差时，再循环管道可以再循环流体，以防止损坏真空泵的该级。

在一个实施例中，第二再循环管道包括第二压力致动阀，该第二压力致动阀可响应于出口孔和第二再循环出口之间的选定压差而被致动以将出口孔与第二再循环出口孔联接。因此，当入口孔与再循环出口孔之间存在预定压差时，再循环管道可以再循环流体，以防止损坏真空泵的该级。

根据第三方面，提供了一种方法，包括:在由级间联接件的第一级间联接部分限定的空隙的第一部分中和由可与第一级间联接部分分离的级间联接件的第二级间联接部分限定的空隙的第二部分中接收由多级真空泵的相邻级共享的公共转子。

在一个实施例中，该方法包括当第一级间联接部分和第二级间联接部分处于分离配置时，在空隙的第一部分中接收公共转子。

在一个实施例中，该方法包括通过将第一级间联接部分和第二级间联接部分布置成联接配置来将公共转子保持在空隙的第二部分中。

在一个实施例中，空隙是圆柱形的，并且第一部分和第二部分中的每一个限定半圆柱形。

在一个实施例中，该方法包括在多个空隙的相应第一部分和多个空隙的相应第二部分中接收多个公共转子。

在一个实施例中，第一级间联接部分限定第一联接面和第二联接面的第一部分，以及第二级间联接部分限定第一联接面和第二联接面的第二部分，并且每个空隙在第一联接面与第二联接面之间延伸。

在一个实施例中，该方法包括通过第一联接面和第二联接面中的每一个接收多级真空泵的相应相邻级。

在一个实施例中，该方法包括使用第一联接面和第二联接面中的每一个密封多级真空泵的相应相邻级的端部。

在一个实施例中，该方法包括通过第一联接面中的入口孔接收来自多级真空泵的第一相邻级的排气，使用传输管道将入口孔与出口孔流体联接，并且通过第二联接面中的出口孔将排气输送到多级真空泵的第二相邻级。

在一个实施例中，该方法包括将入口孔定位在多级真空泵的第一相邻级的流体下游，并将出口孔定位在多级真空泵的第二相邻级的流体上游。

在一个实施例中，第一联接面的第一部分和第二部分中的一个限定入口孔，并且第二联接面的第一部分和第二部分中的另一个限定出口孔。

在一个实施例中，第一联接面的第一部分和第二部分中的一个限定入口孔，并且第一联接面的第一部分和第二部分中的另一个限定再循环出口孔，第一级间联接部分和第二级间联接部分限定再循环管道，并且该方法包括将入口孔与再循环出口孔选择性地流体联接。

在一个实施例中，第二联接面的第一部分和第二部分中的一个限定出口孔，第二联接面的第一部分和第二部分中的另一个限定第二再循环出口孔，第一级间联接部分和第二级间联接部分限定第二再循环管道，并且该方法包括将出口孔与第二再循环出口孔选择性地流体联接。

在一个实施例中，再循环管道包括压力致动阀，并且该方法包括响应于入口孔与再循环出口孔之间的选定压差，将入口孔与再循环出口孔联接。

在一个实施例中，第二再循环管道包括第二压力致动阀，并且该方法包括响应于出口孔与第二再循环出口之间的选定压差，将出口孔与第二再循环出口孔联接。

在所附独立权利要求和从属权利要求中阐述了进一步的特定和优选方面。从属权利要求的特征可以适当地与独立权利要求的特征相结合，并且可以以不同于权利要求中明确阐述的那些组合。

在设备特征被描述为可操作来提供功能的情况下，应当理解，这包括提供该功能或者被调适或配置来提供该功能的设备特征。

附图说明

现在将参考附图进一步描述本发明的实施例，其中:

图1A和1B示出了根据一个实施例的两级增压泵；

图2是在图1A和1B的两级增压泵中使用的转子的透视图；

图3是根据另一实施例的两级增压泵的透视图；

图4是图3的泵的分解图；

图5示出了级间联接单元；和

图6示出了替代配置的联接单元。

具体实施方式

在更详细地讨论实施例之前，首先将提供概述。实施例提供了联接或联结多级真空泵的相邻级的布置。位于两个相邻级之间的联接组件是多部件布置。联接组件可以位于相邻级的定子壳体之外，或者位于相邻级的一个或多个定子壳体之内。联接组件可以被分离，以使得能够使用从一级延伸到另一级内的整体或单件式转子。也就是说，不是转子需要由单独的部件制成，并然后就地组装，而是转子可以加工成单个物品，并且联接件围绕该转子组装。这提供了显著更坚固的转子，其更不容易发生故障。联接组件可以被分离，以使得每个级也能够使用大致整体的壳体。也就是说，不是每一级的壳体都需要由单独的部件制成并然后组装，而是壳体可以被加工成单个物品，并且联接件被组装以完成壳体。这提供了显著更坚固的壳体，其更不容易发生故障。该联接件充当级之间的顶板，并将上游级的排气输送到下游级的入口。这提供了一种简化的布置，其避免了在级之间需要外部管路来输送气体。此外，联接件可以容纳再循环阀，该再循环阀在存在高压差的情况下将级的出口与其入口流体联接，以减少损坏。

两级泵

图1A和1B示出了根据一个实施例的两级增压泵，总体上为10。第一泵送级20经由级间联接单元40与第二泵送级30联接。第一泵送级20具有第一级入口20A和第一级排出口20B。第二泵送级30具有第二级入口30A和第二级排出口30B。

联接件

级间联接件40由第一部分40A和第二部分40B形成。第一部分40A能可释放地固定到第二部分40B。当放置在一起时，第一部分40A和第二部分40B在级间联接单元40内限定了廊道130，在真空泵操作期间气体可以穿过该廊道。级间联接单元40限定了延伸穿过级间联接单元40的宽度的圆柱形空隙100。第一部分40A形成空隙100的第一部分，以及第二部分40B形成空隙100的第二部分。空隙100分开以接收单件式转子50，这将在下面更详细地描述。

转子

图2是转子50的透视图。转子50是正排量凸轮泵中使用的类型的转子，其利用啮合的成对凸轮。每个转子具有围绕旋转轴对称形成的一对凸轮。每个凸轮55由曲线的交替切向部段限定。众所周知，曲线可以是任何合适的形式，例如圆弧，或者内摆线曲线和外摆线曲线，或者它们的组合。在该示例中，转子50是整体的，由单个金属元件加工而成，并且圆柱形空隙58轴向延伸穿过凸轮55以减小质量。

轴的第一轴向端60接收在由第一泵送级20的顶板(未示出)提供的轴承内，并且从接收在第一级20的定子内的第一旋转叶片部分90A延伸。中间轴向部分80从第一旋转叶片部分90A延伸并接收在空隙100内。空隙100在中间轴向部分80的表面上提供紧密配合，但是不充当轴承。第二旋转叶片部分90B从中间轴向部分80轴向延伸，并接收在第二级30的定子内。第二轴向端70从第二旋转叶片部分90B轴向延伸。第二轴向端70由第二泵送级30的顶板(未示出)中的轴承接收。转子50被加工成单件，用刀具形成一对凸轮55的表面。轴向部分60、70、80被车削以形成第一旋转叶片部分90A和第二旋转叶片部分90B。

可以理解，第二转子50(未示出)接收在第二空隙100内，第二空隙100也延伸穿过级间联接件40的宽度，但是与第一空隙100侧向隔开。第二转子50与前述转子50相同，并且相对于前述转子50旋转偏移90°，使得两个转子50同步啮合。

泵级定子

回到图1A，第一泵送级20包括整体定子22，在定子22内形成腔室24。腔室24在一端由顶板(未示出)密封，并且在另一端由级间联接单元40密封。整体定子22具有第一内表面20C。在该实施例中，第一内表面20C由相等的半圆形部分限定，半圆形部分联接到在半圆形部分之间切向延伸的直部段，以限定接纳转子50的空隙/腔室24。然而，实施例也可以限定大体上为8字形的截面的空隙。第二泵送级30包括在其中形成腔室34的整体定子32。腔室34在一端由顶板(未示出)密封，并且在另一端由级间联接单元40密封。整体定子32具有第二内表面30C，第二内表面30C限定了接收转子50的略呈8字形的截面的腔室34。整体定子22、32的存在极大地增加了机械完整性，并降低了第一泵送级20和第二泵送级30的复杂性。在替代实施例中，顶板也可以整体形成到每个定子单元22、32中，以形成桶型布置，这种方案将进一步减少存在的部件数量。

转子50的第一旋转叶片部分90A在操作中啮合并跟随第一内表面20C以压缩从上游装置或设备在第一级入口20A处提供的气体，并在第一级排出口20B处提供压缩气体。在第一级排出口20B处提供的压缩气体传送穿过形成在级间联接单元40的第一面110A中的入口孔120A。第一面110A代表第一泵送级20与廊道130之间的边界。压缩气体行进穿过形成在级间联接单元40内的廊道130，并通过级间联接单元40的第二面110B中的出口孔120B排出。第二面110B代表廊道130与第二泵送级30之间的边界。排出出口孔120B的压缩气体在第二级入口30A被接收。当转子50的第二旋转叶片部分90B啮合并跟随第二内表面30C时，在第二级入口30A接收的压缩气体被转子50的第二旋转叶片部分90B进一步压缩，并且气体经由第二级排出口30B排出。

组件

两级增压泵10的组装通常在翻转夹具上进行。第一泵送级20的整体定子22固定到建置夹具上。顶板附连到定子22上，并然后组件旋转通过180度。

两个转子50下降到第一级定子22中。级间联接件40的第一部分40A和第二部分40B一起在中间轴向部分80上滑动，以将第一旋转叶片部分90A保持在第一泵送级20内。然后，级间联接单元40的第一部分40A和第二部分40B通常用榫钉连接和螺栓连接在一起。然后，级间联接件40的组装好的半件附连到第一泵送级20的整体定子22上。

第二泵送级30的整体定子32现在小心地下降到第二旋转叶片部分90B上，并附连到级间联接单元40。

顶板现在附连到第二级泵30的整体定子32上。两个转子50由两个顶板中的轴承保持。

修改的联接件

图3和4示出了根据一个实施例的两级增压泵，总体上为10’。第一泵送级20’经由级间联接单元40’与第二泵送级30’联接。级间联接件40’位于第二泵送级30’的壳体或定子32’内。这样，级间联接件40’将第二泵送级30’的壳体/定子32’重新用作其结构的一部分，这通过减少零件的数量提供了简化的构造，并通过减少外部密封件的数量增加了可靠性。在图4中，第二级泵30’的定子32’已经移开，以示出级间联接件40’的两个半件。在该实施例中，如图5中更清楚地示出，沿板110 A’、110 B’的外周的至少一部分设置轴向延伸的弯曲腹板或表层112，以形成限定廊道130’的箱形部段。

回到图4，级间联接件40’由第一部分40A’和第二部分40B’形成。可以看出，一对转子50已经***第一级泵20’的内孔中。此外，第二部分40B’已经***到位。第一部分40A’能可释放地固定到第二部分40B’。如果需要，可以固定第一部分40A’和第二部分40B’。这可以使用平头螺钉来完成，平头螺钉径向穿过定子壁***级间联接件40’上的凸缘中。这些螺钉可以用密封剂或PTFE胶带密封。

级间联接件40’限定了延伸穿过级间联接件40’的宽度的圆柱形空隙100’。第一部分40A形成每个空隙100’的第一部分，并且第二部分40B’形成每个空隙100’的第二部分。每个空隙100’分开以接收单件式转子50。

第一级泵20’由在一端由顶板(未示出)密封以及在另一端由第二级泵30’和级间联接件40’的组合密封的整体腔室形成。第二级泵30’由在一端由顶板(未示出)密封以及在另一端由第一级泵20’和级间联接件40’的组合密封的整体腔室形成。

在该实施例中，级间联接件40’位于第二级泵30’内。整体腔室的存在大大增加了机械完整性，并降低了第一级泵20’和第二级泵30’的复杂性。再次，在替代方案中，顶板可以与第二级泵的定子整体形成，以提供“桶”型定子单元。

第一部分40A’和第二部分40B’被配置成位于第二级泵30’的定子32’中的内孔内。该内孔略大于转子50在其中旋转的内孔。这将级间联接件40’在轴向定位在第二级内孔中的这个小台阶与第一级泵20’的定子22’之间，第一级泵20’的转子内孔与第二级定子中的相同。

转子50的第一旋转叶片部分90A在操作中啮合并跟随第一内表面20C’，以压缩从上游装置或设备在第一级入口20A’处提供的气体，并在第一级排出口处提供压缩气体。在第一级排出口处提供的压缩气体传送穿过与级间联接件40’联接的入口孔120A’。压缩气体行进穿过形成在级间联接件40’内的廊道130’，并通过与级间联接件40’联接的出口孔120B’排出。排出出口孔120 B’的压缩气体在第二级入口被接收。当转子50的第二旋转叶片部分90B啮合并跟随第二级泵30’的内表面时，在第二级入口处接收的压缩气体被转子50的第二旋转叶片部分90B进一步压缩，并经由第二级排出口30B’排出。

在如图6所示的替代实施例中，轴向延伸的间隔棒114设置在板110A”、110B”之间，以形成廊道130，廊道的外部范围由定子32本身限定。

因此，可以看出，实施例提供了联接多级真空泵的级的联接件。也就是说，联接件位于多级真空泵的级之间。多级真空泵可以具有任意数量的级，并且一个或多个联接件可以位于这些级中的任意相邻的两个级之间，这些级不必是泵的第一级和第二级。该联接件具有一对相对的面向外的联接面，它们附连到相邻的级上。该联接件具有内部布置，该内部布置将形成在一个联接面中的入口与形成在该联接面中的出口联接。该布置可以具有阀，该阀响应入口与出口之间的压差将入口与出口选择性地联接。如果在过量气体被引入到该级的排出口中的地方出现所谓的“气体倾倒”，例如在泵排气时可能出现的情况，该联接件将过量气体从相邻级的排出口再循环回到该级的入口，以便减小泵的该级的应变。可以实现多种不同的压力致动阀布置，一些实施例可以重复使用现有的级间传输管道来提供再循环器的一部分。

因此，可以看出，实施例提供了具有蛤壳式联接单元(传输级/传输端口)的两级增压器。第一级和第二级增压器转子都在常规加工的单件式定子中运行。将气体从第一级输送到第二级的传输端口具有蛤壳式设计，包括沿两个转子的轴线分开的两个半件。

实施例认识到常规的增压器定子具有单件式设计。这些易于加工，并且在转子出现故障时非常牢固。然而，实施例还认识到，对于使用三个单独定子部件(第一级定子、单件式传输级和第二级定子)的两级增压器，第二级增压器转子必须是单独的部件，以便组装泵。

实施例还认识到，如果使用单件式转子，那么顶部和底部蛤壳式定子可以容纳第一级转子和第二级转子并形成传输级。然而，这两个部件必须设计得非常坚硬，以避免在加工和组装过程中扭曲。由于它们的尺寸，它们也相对难以加工。

实施例使得能够使用单件式转子和容易加工的部件。第一级增压器转子和第二级增压器转子都在常规加工的单件式定子中运行。传输级将气体从第一级排出口输送到第二级入口，并且具有蛤壳式设计，包括沿两个转子的轴线分开的两个半件。

实施例保持了单件式定子的容易制造和高强度，但是利用蛤壳作为传输级。这使得能够为两级增压器组装单件式转子设计。实施例提供多级泵，尤其是罗茨设计的多级泵。通过使用蛤壳式传输级和单件式贯通内孔的定子，可以保持更严格的公差。贯通内孔的定子使得能够使用没有顶端圆角的转子，顶端圆角通常是通过定子盲内孔的拐角处的圆角所必需的。部件准确度的提高和更严格的公差控制可以实现五级罗茨设计，而不是仍然能够承受相同低压的六级或七级设计。

在一个实施例中，级间联接单元的蛤壳式半件延伸到泵的外部。在另一个实施例中，级间联接件的蛤壳式半件容纳在定子部件的一端内。具体而言，蛤壳式半件可以容纳在两个定子之一内，优选地容纳在较短的第二级定子内。

尽管本文已经参考附图详细公开了本发明的说明性实施例，但是应当理解，本发明不限于精确的实施例，并且本领域技术人员可以在不脱离由所附权利要求及其等同物限定的本发明的范围的情况下对其进行各种改变和修改。

附图标记

两级增压泵	10; 10’
		第一级泵	20; 20’
第一级入口	20A; 20A’
		第一级排出口	20B
第一内表面	20C; 20C’
		第二级泵	30; 30’
第二级入口	30A
		第二级排出口	30B; 30B’
第二内表面	30C
		级间联接件	40; 40C
第一部分	40A; 40A’
		第二部分	40B; 40B’
转子	50, 50’; 50A; 50B
		第一轴向端	60
第二轴向端	70
		中间轴向部分	80; 80A
第一旋转叶片部分	90A
		第二旋转叶片部分	90B
空隙	100; 100’
		第一面	110A
第二面	110B
		入口孔	120A; 120A’; 120C
出口孔	120B; 120B’; 120D; 120E
		廊道	130; 130’
传输管道	140; 140’

Claims (12)

1.一种多级真空泵，包括:

第一泵送级，包括第一整体定子；

第二泵送级，包括第二整体定子；以及

级间联接单元，其用于联接所述第一泵送级与所述第二泵送级，联接单元包括:

第一级间联接部分，限定用于接收由泵的相邻级共享的公共转子的空隙的第一部分；和

能与所述第一级间联接部分分离的第二级间联接部分，所述第二级间联接部分限定用于接收由泵的相邻级共享的所述公共转子的所述空隙的第二部分。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，所述第二整体定子被配置成在其内接收级间联接单元。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的真空泵，其中，所述第一级间联接部分限定第一联接面和第二联接面的第一部分，以及所述第二级间联接部分限定第一联接面和第二联接面的第二部分，并且每个空隙在所述第一联接面与所述第二联接面之间延伸。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其中，所述第一联接面和所述第二联接面中的每一个被配置为由所述多级真空泵的相应相邻级接收。

5.根据权利要求3或权利要求4所述的真空泵，其中，所述第一联接面和所述第二联接面中的每一个被配置为顶板，以密封所述多级真空泵的所述相应相邻级的端部。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的真空泵，其中，所述第一联接面限定入口孔，以接收来自所述多级真空泵的第一相邻级的排气，并且所述第二联接面限定出口孔，以将所述排气输送到所述多级真空泵的第二相邻级，并且所述第一级间联接部分和所述第二级间联接部分限定传输管道，所述传输管道被配置为将所述入口孔与所述出口孔流体联接。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其中，所述入口孔位于所述多级真空泵的所述第一相邻级的流体下游，并且所述出口孔位于所述多级真空泵的所述第二相邻级的流体上游。

8.根据权利要求3至7中任一项所述的真空泵，其中，所述第一联接面的所述第一部分和所述第二部分中的一个限定所述入口孔，并且所述第二联接面的所述第一部分和所述第二部分中的另一个限定所述出口孔。

9.根据权利要求3至8中任一项所述的真空泵，其中，所述第一联接面的所述第一部分和所述第二部分中的一个限定所述入口孔，并且所述第一联接面的所述第一部分和所述第二部分中的另一个限定再循环出口孔，并且所述第一级间联接部分和所述第二级间联接部分限定再循环管道，所述再循环管道被配置为将所述入口孔与所述再循环出口孔选择性地流体联接。

10.根据权利要求3至9中任一项所述的真空泵，其中，所述第二联接面的所述第一部分和所述第二部分中的一个限定所述出口孔，并且所述第二联接面的所述第一部分和所述第二部分中的另一个限定第二再循环出口孔，并且所述第一级间联接部分和所述第二级间联接部分限定第二再循环管道，所述第二再循环管道被配置为将所述出口孔与所述第二再循环出口孔选择性地流体联接。

11.根据权利要求9或权利要求10所述的真空泵，其中，所述再循环管道包括压力致动阀，所述压力致动阀能响应于所述入口孔与所述再循环出口孔之间的选定压差而被致动以将所述入口孔与所述再循环出口孔联接。

12.根据权利要求10或权利要求11所述的真空泵，其中，所述第二再循环管道包括第二压力致动阀，所述第二压力致动阀能响应于所述出口孔与所述第二再循环出口之间的选定压差而被致动以将所述出口孔与所述第二再循环出口孔联接。