CN110146463A - 一种多频点谐振生物传感器及其制备方法和测试细胞浓度的方法 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 66
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 66
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical group [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 25
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 17
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000001328 terahertz time-domain spectroscopy Methods 0.000 claims description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 14
- 206010028980 Neoplasm Diseases 0.000 claims description 13
- 201000011510 cancer Diseases 0.000 claims description 13
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 12
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 claims description 8
- 238000011081 inoculation Methods 0.000 claims description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 4
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 210000000214 mouth Anatomy 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 206010008342 Cervix carcinoma Diseases 0.000 claims description 3
- 102100035426 DnaJ homolog subfamily B member 7 Human genes 0.000 claims description 3
- 101000804114 Homo sapiens DnaJ homolog subfamily B member 7 Proteins 0.000 claims description 3
- 101001093139 Homo sapiens MAU2 chromatid cohesion factor homolog Proteins 0.000 claims description 3
- 102100036309 MAU2 chromatid cohesion factor homolog Human genes 0.000 claims description 3
- 208000006105 Uterine Cervical Neoplasms Diseases 0.000 claims description 3
- 201000010881 cervical cancer Diseases 0.000 claims description 3
- 210000005265 lung cell Anatomy 0.000 claims description 2
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 15
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 9
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 87
- 206010058467 Lung neoplasm malignant Diseases 0.000 description 16
- 201000005296 lung carcinoma Diseases 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000004044 response Effects 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 5
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 5
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 4
- 201000005202 lung cancer Diseases 0.000 description 4
- 208000020816 lung neoplasm Diseases 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 108010087230 Sincalide Proteins 0.000 description 3
- 238000010609 cell counting kit-8 assay Methods 0.000 description 3
- 239000001963 growth medium Substances 0.000 description 3
- IZTQOLKUZKXIRV-YRVFCXMDSA-N sincalide Chemical compound C([C@@H](C(=O)N[C@@H](CCSC)C(=O)NCC(=O)N[C@@H](CC=1C2=CC=CC=C2NC=1)C(=O)N[C@@H](CCSC)C(=O)N[C@@H](CC(O)=O)C(=O)N[C@@H](CC=1C=CC=CC=1)C(N)=O)NC(=O)[C@@H](N)CC(O)=O)C1=CC=C(OS(O)(=O)=O)C=C1 IZTQOLKUZKXIRV-YRVFCXMDSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000006285 cell suspension Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 210000002510 keratinocyte Anatomy 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 201000009030 Carcinoma Diseases 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004113 cell culture Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000000684 flow cytometry Methods 0.000 description 1
- 238000001917 fluorescence detection Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002255 vaccination Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
- G01N21/3586—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation by Terahertz time domain spectroscopy [THz-TDS]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation
Abstract
本发明涉及一种多频点谐振生物传感器及其制备方法和测试细胞浓度的方法，属于太赫兹技术与生物技术交叉领域。本发明提供的多频点谐振生物传感器包括多个基本单元；所述基本单元包括金属层和介质层；所述金属层由一个开口非对称的U型结构和一个长方形天线结构组成；所述金属层包括金属顶层和金属底层，所述金属顶层的材质为金，所述金属底层的材质为钛；所述介质层包括聚酰亚胺膜。本发明所述传感器能够实现太赫兹波段高灵敏度细胞传感快速、多谐振无标记检测。
Description
技术领域
本发明涉及太赫兹技术与生物技术交叉领域，具体涉及一种太赫兹非双各向异性高阶模Fano共振多频点谐振超构材料无标记生物传感器及其制备方法和测试细胞浓度的方法。
背景技术
太赫兹技术的发展举世瞩目，成为新世纪最为重要的核心技术之一。许多国家把太赫兹技术列为重点研发项目。由于独特的电场响应，太赫兹技术广泛的应用在公共安全、通讯、以及生物医疗等方面。目前检测细胞浓度的方法主要包括标记的荧光检测以及标记流式细胞检测技术，在实际应用中虽然这些具有非常高灵敏度，但是他们的检测成本非常高，而且大部分配合其它化学物质使用，进而会造成一定程度的污染。例如：CCK-8法其检测灵敏度，但是CCK-8价格昂贵，另外，CCK-8试剂的颜色为淡红色，与培养基颜色相近，在实验中容易产生漏加或多加等不正确的操作；还有流式细胞技术，其利用流式细胞仪能够对单一细胞进行定量检测和分析技术，其综合了单克隆抗体及免疫细胞化学技术、激光和电子计算机科学等一系列技术，具有检测速度快，灵敏度高，但是同样不能避免需要标记、成本高、耗时长等问题。目前并没有一种成本低、无需标记的细胞检测方案。
发明内容
本发明的目的在于提供一种多频点谐振生物传感器及其制备方法和测试细胞浓度的方法。本发明所述传感器能够实现太赫兹波段高灵敏度细胞传感快速、多谐振无标记检测，且成本低。
本发明提供了一种多频点谐振生物传感器，所述传感器包括多个基本单元；
所述基本单元包括金属层和介质层；
所述金属层由一个开口非对称的U型结构和一个长方形天线结构组成；所述金属层包括金属顶层和金属底层，所述金属顶层的材质为金，所述金属底层的材质为钛；
所述介质层包括聚酰亚胺膜。
优选的是，所述基本单元的个数不小于20×20。
优选的是，所述金属顶层的厚度为150～230nm，所述金属底层的厚度为15～30nm。
优选的是，所述介质层的厚度为5～15μm。
优选的是，所述开口非对称的U型结构的内角和外角均为直角。
本发明还提供了上述技术方案所述多频点谐振生物传感器的制备方法，包括以下步骤：
(1)在硅片上旋涂聚酰亚胺膜，得到介质层；
(2)在介质层上旋涂反转光刻胶；
(3)紫外曝光和显影；
(4)蒸镀金属层；
(5)在丙酮溶液中浸泡，剥离去除反转光刻胶与所述反转光刻胶上蒸镀的金属，用异丙醇和去离子水清洗；
(6)剥离硅基底。
本发明还提供了基于上述技术方案所述多频点谐振生物传感器或上述技术方案所述制备方法得到的多频点谐振生物传感器的检测细胞浓度的方法，包括以下步骤：
1)将不同浓度的细胞分别接种在多频点谐振生物传感器上；
2)利用太赫兹时域光谱测试装置测试电场分别沿x方向上和y方向上的透射谱线共振频率的偏移情况；
所述测试中，太赫兹波束从多频点谐振生物传感器的金属层入射，从介质层射出；
所述偏移指接种了细胞的多频点谐振生物传感器测出的谐振频率相对于没有接种细胞的多频点谐振生物传感器测出的谐振频率的偏移量；
3)根据步骤2)得到的偏移情况绘制随细胞浓度变化的测试太赫兹的透射谱曲线；
4)检测待测样品的偏移情况，结合步骤3)得到的透射谱曲线得到待测样品的细胞浓度。
优选的是，步骤2)中，电场沿着x方向上，分别测试偏振的四偶极子Fano共振谐振频率偏移量；八偶极子Fano共振谐振频率偏移量和十六偶极子Fano共振谐振频率偏移量；
电场沿y方向上，分别测试偏振的四偶极子Fano共振谐振频率偏移量和八偶极子Fano共振谐振频率偏移量。
优选的是，所述细胞包括贴壁细胞。
优选的是，所述贴壁细胞包括癌细胞；所述癌细胞包括口腔鳞状癌细胞HSC3和SCC4、肺癌细胞A549和H460、***细胞Hela和Siha、正常角化细胞HaCaT。
本发明提供了一种多频点谐振生物传感器。本发明所述多频点谐振生物传感器包括多个基本单元；所述基本单元包括金属层和介质层；所述金属层由一个开口非对称的U型结构和一个长方形天线结构组成；所述金属层包括金属顶层和金属底层，所述金属顶层的材质为金，所述金属底层的材质为钛；所述介质层包括聚酰亚胺膜。本发明所述传感器由一个开口非对称的U型结构和一个长方形天线结构构成，能够实现高阶模Fano共振非双各项异性电磁响应的多频点谐振，共振响应频率处损耗只与材料本身有关，而且检测信息量与传感器的灵敏度均大大提升，通过接种细胞，检测其共振频率偏移，其十六偶极子理论灵敏度高达1000GHz/RIU，能快速无标记地初步探测细胞浓度，即本发明所述生物传感器能够实现太赫兹波段高灵敏度细胞传感快速、多谐振无标记检测。试验结果表明，本发明所述传感器30s即可实现细胞浓度的检测，且无需进行细胞标记，操作简单，成本大幅度降低，灵敏度高达1000GHz/RIU。
附图说明
图1为本发明提供的生物传感器的俯视结构示意图；
图2为本发明提供的生物传感器的侧面结构示意图；
图3为本发明提供的生物传感器的立体结构示意图；
图4为本发明提供的生物传感器的显微镜照片；
图5为本发明提供的生物传感器的周期结构图；
图6为本发明提供的细胞浓度检测示意图；
图7为本发明提供的当太赫兹波的电场以x和y方向入射时的理论结果透射谱；
图8为本发明提供的当太赫兹波的电场以x和y方向入射时的实验结果透射谱；
图9为本发明提供的生物传感器测试的电场沿着x方向不同A549肺癌细胞浓度下的共振频率偏移的图示；
图10为本发明提供的生物传感器测试的电场沿着y方向不同A549肺癌细胞浓度下的共振频率偏移的图示。
具体实施方式
本发明提供了一种多频点谐振生物传感器，所述传感器包括多个基本单元；
所述基本单元包括金属层和介质层；
所述金属层由一个开口非对称的U型结构和一个长方形天线结构组成；所述金属层包括金属顶层和金属底层，所述金属顶层的材质为金，所述金属底层的材质为钛；
所述介质层包括聚酰亚胺膜。
当利用太赫兹波检测细胞浓度时，所述金属层为太赫兹波束入射层，所述介质层为太赫兹波束出射层。
在本发明中，所述金属顶层的厚度优选为150～230nm，更优选为200nm，所述金属底层的厚度优选为15～30nm，更优选为20nm。在本发明中，所述介质层的厚度优选为5～15μm，更优选为10μm。在本发明中，所述开口非对称的U型结构的内角和外角均为直角。
在本发明中，所述基本单元的尺寸优选为30μm×30μm～70μm×70μm，更优选为50μm×50μm。在本发明中，所述基本单元的个数不小于20×20。
本发明所述传感器进行俯视时，所述金属层由一个开口非对称的U型结构和一个长方形天线结构组成。本发明对所述开口非对称的U型结构和长方形天线结构的尺寸没有特殊限定，能够产生多频点法诺谐振即可。在本发明中，所述开口非对称的U型结构和长方形天线结构，可以实现多频点高价模Fano共振，共振响应频率处损耗只与材料本身有关，而且检测信息量与传感器的灵敏度均大大提升，通过细胞培养在Fano共振超构材料上接种细胞，检测其共振频率偏移，其十六偶极子理论灵敏度高达1000GHz/RIU，能快速无标记地初步探测癌细胞浓度，30s即可实现细胞浓度的检测。如图1所示，在本发明中，所述开口非对称的U型结构包括长臂和短臂。在本发明中，所述长臂优选比短臂长18～23μm，更优选为20μm。在本发明中，所述长方形天线结构优选位于短臂上方，且所述长方形天线结构与所述开口非对称U型结构的外侧边的延长线优选为正方形，所述正方形的中心优选位于所述基本单元的中心。在本发明中，所述基本单元优选为正方形，所述基本单元的边长优选为30～70μm，更优选为50μm(p)。在本发明中，所述开口非对称U型结构和长方形天线结构的外侧边缘优选距基本单元边缘4～6μm，更优选5μm。在本发明中，所述长方形天线结构的长和宽优选分别为18～22μm和10～15μm，更优选分别为20μm和12μm。在本发明中，所述开口非对称的U型结构的长臂(d)优选为25～60μm，更优选为40μm，所述开口非对称的U型结构的短臂(l)优选为18～22μm，更优选为20μm。在本发明中，所述长臂和短臂的宽度优选相同且均为9～15μm，更优选为12μm。在本发明中，所述开口非对称的U型结构底边的宽度(n)优选为5～12μm。
本发明所述传感器在使用时，优选将细胞接种在所述传感器金属层表面，通过检测器件不同阶模的共振频率偏移来进行细胞的浓度测试。本发明所述生物传感器是一种基于高阶模Fano多频点谐振超构材料，具体为基于柔性基底聚酰亚胺(PI)的高阶模Fano共振太赫兹高灵敏细胞多频点谐振传感器，利用其增强电场和高Q值响应的特性，微小的外界环境变化就能引起电场强度明显响应，相对应其传感灵敏度非常高。本发明所述生物传感器的俯视结构如图1所示，该传感器的整体结构包括两层，为上部的金属层(1)和下部的介质层(2)，聚酰亚胺作为柔性基底支撑上层金属结构。图2为本发明所述生物传感器的主视图。生物传感器的立体结构示意图如图3所示。生物传感器的显微镜照片如图4所示。生物传感器的周期结构图如图5所示；细胞浓度检测示意图如图6所示。
本发明还提供了上述技术方案所述多频点谐振生物传感器的制备方法，包括以下步骤：
(1)在硅片上旋涂聚酰亚胺膜，得到介质层；
(2)在介质层上旋涂反转光刻胶；
(3)紫外曝光和显影；
(4)蒸镀金属层；
(5)在丙酮溶液中浸泡，剥离去除反转光刻胶与所述反转光刻胶上蒸镀的金属，用异丙醇和去离子水清洗；
(6)剥离硅基底。
本发明在硅片上旋涂聚酰亚胺膜，得到介质层。本发明对所述旋涂方法没有特殊限定，采用本领域技术人员熟知的旋涂技术进行操作即可。
得到介质层后，本发明在介质层上旋涂反转光刻胶。本发明对所述反转光刻胶的来源和型号没有特殊限定，采用本领域技术人员常规使用的反转光刻胶即可，如反转光刻胶AZ5214。本发明对所述旋涂方法没有特殊限定，采用常规旋涂方法即可，如在开启黄光灯的超净室中，用专用吸管吸取反转光刻胶AZ5214，然后在500微米厚的硅片上的介质层上滴一层AZ5214，利用旋涂机在介质层上旋涂反转光刻胶AZ5214。
旋涂完反转光刻胶后，本发明优选利用热板在100℃温度下进行前烘，前烘10分钟左右，再进行紫外曝光和显影。本发明对所述紫外曝光和显影的操作方法没有特殊限定，采用本领域技术人员熟知的常规紫外曝光和显影方法即可，如采用ABM光刻机进行紫外曝光15s，显影10s。
进行紫外曝光和显影后，本发明进行蒸镀金属层。本发明对所述金属层的蒸镀方法没有特殊的限定，采用本领域技术人员熟知的常规蒸镀金属的方法即可。如利用控溅射镀金属薄膜，真空度的条件优选为5×10-6Pa。
蒸镀完金属层后，本发明在丙酮溶液中浸泡，剥离去除反转光刻胶与所述反转光刻胶上蒸镀的金属，用异丙醇和去离子水清洗。
清洗后，本发明剥离硅基底，得到如图4所示传感器。本发明对所述硅基底剥离的方法没有特殊限定，采用本领域技术人员熟知的常规硅基底剥离方法即可，如在纯氢氟酸溶液中，浸泡大约15分钟，实现硅基底与聚酰亚胺为基底的传感器结构剥离。本发明对所述传感器的大小没有特殊的限制，制备成所需要的大小即可。太赫兹时域光斑通常为5mm×5mm，本发明所述传感器优选制备成10mm×10mm。本发明所述传感器相比以往结构，灵敏度更高，谐振多，所述传感器的十六偶极子理论灵敏度高达1000GHz/RIU。
本发明还提供了基于上述技术方案所述多频点谐振生物传感器或上述技术方案所述制备方法得到的多频点谐振生物传感器的检测细胞浓度的方法，包括以下步骤：
1)将不同浓度的细胞分别接种在多频点谐振生物传感器上；
2)利用太赫兹时域光谱测试装置测试电场分别沿x方向上和y方向上的透射谱线共振频率的偏移情况；
所述测试中，太赫兹波束从多频点谐振生物传感器的金属层入射，从介质层射出；
所述偏移指接种了细胞的多频点谐振生物传感器测出的谐振频率相对于没有接种细胞的多频点谐振生物传感器测出的谐振频率的偏移量；
3)根据步骤2)得到的偏移情况绘制随细胞浓度变化的测试太赫兹的透射谱曲线；
4)检测待测样品的偏移情况，结合步骤3)得到的透射谱曲线得到待测样品的细胞浓度。
本发明在对细胞浓度进行检测时，优选先进行透射谱曲线的制备，然后依据得到的透射谱曲线实现待测样品中细胞浓度的检测。在本发明中，所述细胞包括贴壁细胞。在本发明中，所述贴壁细胞包括癌细胞；所述癌细胞包括口腔鳞状癌细胞HSC3和SCC4、肺癌细胞A549和H460、***细胞Hela和Siha、正常角化细胞HaCaT。本发明先将不同浓度的细胞分别接种在多频点谐振生物传感器上。在本发明中，所述接种为接种在传感器的金属层上。在本发明中，所述接种的目的是使细胞贴壁，便于检测。本发明对所述接种方法没有特殊的限定，采用常规接种方法即可。具体地，所述接种方法优选为：用胰蛋白酶将细胞从培养皿消化下来；再用培养基吹匀细胞，形成单细胞悬液；将传感器灭菌后，置于培养板底部并把单细胞悬液接种至培养板中，于37℃、5～10％二氧化碳细胞培养箱中培养至细胞贴壁。本发明在细胞贴壁后，优选将生物传感器进行干燥后再进行细胞浓度的检测。
不同浓度细胞贴壁后，本发明利用太赫兹时域光谱测试装置测试电场分别沿x方向上和y方向上的透射谱线共振频率的偏移情况。在本发明中，所述太赫兹时域光谱测试装置优选为太赫兹时域光谱测试仪。本发明对所述太赫兹时域光谱测试仪的型号没有特殊限定。具体地，在本发明实施例中优选利用ADVANTEST TAS7500SU这个型号的太赫兹时域光谱仪，其频谱范围为0.5～7THz，分辨率为7.6GHz。本发明对所述太赫兹时域光谱仪的频谱范围和分辨率均没有具体限制。所述测试中，太赫兹波束从多频点谐振生物传感器的金属层入射，从介质层射出。在本发明中，所述偏移指接种了细胞的多频点谐振生物传感器测出的谐振频率相对于没有接种细胞的多频点谐振生物传感器测出的谐振频率的偏移量。在本发明中，电场沿着x方向上，分别测试偏振的四偶极子Fano共振谐振频率偏移量；八偶极子Fano共振谐振频率偏移量和十六偶极子Fano共振谐振频率偏移量；电场沿y方向上，分别测试偏振的四偶极子Fano共振谐振频率偏移量和八偶极子Fano共振谐振频率偏移量。
本发明根据上述偏移情况绘制随细胞浓度变化的测试太赫兹的透射谱曲线。在本发明具体实施例中，本发明优选利用太赫兹时域光谱测试仪测试培养浓度为0.1×105cell/ml、0.3×105cell/ml、0.5×105cell/ml、1×105cell/ml、3×105cell/ml及5×105cell/ml浓度的A549肺癌细胞的透射谱的谐振频率相对于没有培养A549肺癌情况下的谐振频率的偏移情况，波束首先从传感器的金属层入射，再从介质层射出进行探测，最后绘制A549肺癌细胞的浓度检测曲线。
最后，本发明检测待测样品的偏移情况，本发明结合上述透射谱曲线得到待测样品的细胞浓度。
下面结合具体实施例对本发明所述的一种多频点谐振生物传感器及其制备方法和测试细胞浓度的方法做进一步详细的介绍，本发明的技术方案包括但不限于以下实施例。
实施例1
肺癌细胞浓度测试。
1)将A549肺癌细胞接种在本发明生物传感器上，即新型太赫兹非双各向异性高阶模Fano共振多频点谐振超构材料的金属层上。
2)利用太赫兹时域光谱测试仪测试培养有不同浓度的A549样品的透射谱的谐振频率相对于没有培养A549肺癌情况下的谐振频率的偏移情况(具体操作为：首先利用太赫兹时域光谱测试没有培养细胞的超材料曲线(图7和图8主要是表征的设计的超构材料生物传感器无细胞时太赫兹时域光谱曲线，当太赫兹波的电场电场以x方向入射时，出现四偶极子、八偶极子、十六偶极子谐振。当太赫兹波的电场以y方向入射时，出现四偶极子、八偶极子谐振。传感器的偏移量主要是分析这些谐振频率的偏移量)，然后在超构材料表面培养不同浓度的肺癌细胞，分别再利用太赫兹时域光谱测试其曲线。然后每一种浓度的肺癌细胞超材料太赫兹时域曲线与没有癌细胞的超材料太赫兹时域曲线进行对比，会得到谐振点发生偏移)，波束首先从超材料的金属层入射，再从介质层射出进行探测，最后绘制A549肺癌细胞的浓度检测曲线，如图9和图10所示。
3)在多频点谐振生物传感器上接种培养浓度为0.1×105cell/mL、0.3×105cell/mL、0.5×105cell/mL、1×105cell/mL、3×105cell/mL以及5×105cell/mL浓度的A549肺癌细胞，培养(培养条件是37℃恒温，10％二氧化碳)24小时后从培养基中取出并用滤纸去除表面水分，待干燥充分后利用太赫兹时域光谱仪检测生物传感器共振频率相比于无细胞浓度下的共振频率偏移量，图9与图10为在室温干燥(湿度小于4％)的氮气环境下，用太赫兹时域光谱仪器测量培养有A549肺癌细胞的透射谱线。其中，图9为本发明提供的生物传感器测试的电场沿着x方向不同A549肺癌细胞浓度下的共振频率偏移的图示；即太赫兹波的电场方向以x方向入射时，在四偶极子共振(Q)，八偶极子共振(O)，十六偶极子共振(H)时不同癌细胞浓度频率偏移量。图10为本发明提供的生物传感器测试的电场沿着y方向不同A549肺癌细胞浓度下的共振频率偏移的图示；即太赫兹波的电场方向以y方向入射时，在四偶极子共振，八偶极子共振时共振不同癌细胞浓度频率偏移量。从图9与图10可知，在6个不同浓度的癌细胞下，相比于无细胞的超构材料，在6个不同细胞浓度下(0.1×105cell/mL、0.3×105cell/mL、0.5×105cell/mL、1×105cell/mL、3×105cell/mL以及5×105cell/mL)，电场沿着x方向偏振的四偶极子Fano共振谐振频率偏移分别为22.6GHz、28.87GHz、97.5GHz、15.8GHz、28.2GHz、67.4GHz；八偶极子Fano共振谐振频率偏移分别为6GHz、50.9GHz、63.3GHz、108.87GHz、108.5GHz与120.2GHz；十六偶极子Fano共振谐振频率偏移分别为3.56GHz、59.2GHz、81.66GHz、90.03GHz、97.1GHz与117.56GHz；同时，在相同情况的6个不同细胞浓度下电场沿着y方向偏振的四偶极子Fano共振谐振频率偏移分别为0GHz、49.7GHz、45.3GHz、126.27GHz、36.7GHz与-8.75GHz；八偶极子Fano共振谐振频率偏移分别为-0.5GHz、48.23GHz、60.13GHz、107.43GHz、17.23GHz与32.56GHz。
利用太赫兹时域光谱进行样品的检测。
仿真不同折射率参数的待测样品的测试结果，通过计算，得到本发明的太赫兹高价模Fano共振生物传感器理论灵敏度达1000GHz/RIU。本发明在柔性聚酰亚胺基底上设计制作的具有太赫兹高阶模Fano共振超构材料无标记特性的生物传感器可以纯电场响应、灵敏度高、多谐振无标记检测，能够广泛应用于太赫兹细胞传感及识别领域。
现有的检测细胞浓度的方法需要消耗荧光标记的抗体，检测成本高(每一次成本需要大约2000元左右)，较费时(测试时间约2个小时)，样品量需要较多，并且是一次性，无法回收利用，本发明与现有检测方法相比，不仅灵敏度高，且成本大大降低，时间大大缩短。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种多频点谐振生物传感器，其特征在于，所述传感器包括多个基本单元；
所述基本单元包括金属层和介质层；
所述金属层由一个开口非对称的U型结构和一个长方形天线结构组成；所述金属层包括金属顶层和金属底层，所述金属顶层的材质为金，所述金属底层的材质为钛；
所述介质层包括聚酰亚胺膜。
2.根据权利要求1所述的生物传感器，其特征在于，所述基本单元的个数不小于20×20。
3.根据权利要求1所述的生物传感器，其特征在于，所述金属顶层的厚度为150～230nm，所述金属底层的厚度为15～30nm。
4.根据权利要求1所述的生物传感器，其特征在于，所述介质层的厚度为5～15μm。
5.根据权利要求1所述的生物传感器，其特征在于，所述开口非对称的U型结构的内角和外角均为直角。
6.权利要求1～5任一项所述多频点谐振生物传感器的制备方法，包括以下步骤：
(1)在硅片上旋涂聚酰亚胺膜，得到介质层；
(2)在介质层上旋涂反转光刻胶；
(3)紫外曝光和显影；
(4)蒸镀金属层；
(5)在丙酮溶液中浸泡，剥离去除反转光刻胶与所述反转光刻胶上蒸镀的金属，用异丙醇和去离子水清洗；
(6)剥离硅基底。
7.基于权利要求1～5任一项所述多频点谐振生物传感器或权利要求6所述制备方法得到的多频点谐振生物传感器的检测细胞浓度的方法，包括以下步骤：
1)将不同浓度的细胞分别接种在多频点谐振生物传感器上；
2)利用太赫兹时域光谱测试装置测试电场分别沿x方向上和y方向上的透射谱线共振频率的偏移情况；
所述测试中，太赫兹波束从多频点谐振生物传感器的金属层入射，从介质层射出；
所述偏移指接种了细胞的多频点谐振生物传感器测出的谐振频率相对于没有接种细胞的多频点谐振生物传感器测出的谐振频率的偏移量；
3)根据步骤2)得到的偏移情况绘制随细胞浓度变化的测试太赫兹的透射谱曲线；
4)检测待测样品的偏移情况，结合步骤3)得到的透射谱曲线得到待测样品的细胞浓度。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤2)中，电场沿着x方向上，分别测试偏振的四偶极子Fano共振谐振频率偏移量；八偶极子Fano共振谐振频率偏移量和十六偶极子Fano共振谐振频率偏移量；
电场沿y方向上，分别测试偏振的四偶极子Fano共振谐振频率偏移量和八偶极子Fano共振谐振频率偏移量。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述细胞包括贴壁细胞。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述贴壁细胞包括癌细胞；所述癌细胞包括口腔鳞状癌细胞HSC3和SCC4、肺癌细胞A549和H460、***细胞Hela和Siha、正常角化细胞HaCaT。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910297957.XA CN110146463B (zh) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 一种多频点谐振生物传感器 |
| PCT/CN2019/110653 WO2020211306A1 (en) | 2019-04-15 | 2019-10-11 | Multi-frequency point resonance biosensor, its preparation method and use thereof in cell concentration detection |
| CN201980005062.2A CN112292592A (zh) | 2019-04-15 | 2019-10-11 | 一种多频点谐振生物传感器及其制备方法和测试细胞浓度的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910297957.XA CN110146463B (zh) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 一种多频点谐振生物传感器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110146463A true CN110146463A (zh) | 2019-08-20 |
| CN110146463B CN110146463B (zh) | 2020-08-07 |
Family
ID=67588526
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910297957.XA Active CN110146463B (zh) | 2019-04-15 | 2019-04-15 | 一种多频点谐振生物传感器 |
| CN201980005062.2A Pending CN112292592A (zh) | 2019-04-15 | 2019-10-11 | 一种多频点谐振生物传感器及其制备方法和测试细胞浓度的方法 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201980005062.2A Pending CN112292592A (zh) | 2019-04-15 | 2019-10-11 | 一种多频点谐振生物传感器及其制备方法和测试细胞浓度的方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (2) | CN110146463B (zh) |
| WO (1) | WO2020211306A1 (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110146463B (zh) * | 2019-04-15 | 2020-08-07 | 枣庄学院 | 一种多频点谐振生物传感器 |
-
2019
- 2019-04-15 CN CN201910297957.XA patent/CN110146463B/zh active Active
- 2019-10-11 CN CN201980005062.2A patent/CN112292592A/zh active Pending
- 2019-10-11 WO PCT/CN2019/110653 patent/WO2020211306A1/en active Application Filing
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| CN114354539B (zh) * | 2021-12-29 | 2023-07-18 | 广东工业大学 | 基于太赫兹波段的液晶调制Fano谐振器的动态可调谐传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2020211306A1 (en) | 2020-10-22 |
| CN110146463B (zh) | 2020-08-07 |
| CN112292592A (zh) | 2021-01-29 |
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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