CN110109271A - 液刀 - Google Patents
液刀 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110109271A CN110109271A CN201910302232.5A CN201910302232A CN110109271A CN 110109271 A CN110109271 A CN 110109271A CN 201910302232 A CN201910302232 A CN 201910302232A CN 110109271 A CN110109271 A CN 110109271A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- groove
- liquid
- ontology
- liquid cutter
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 6
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 claims description 6
- 239000004568 cement Substances 0.000 claims description 5
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 210000001364 upper extremity Anatomy 0.000 claims description 3
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000007323 disproportionation reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229920001596 poly (chlorostyrenes) Polymers 0.000 description 1
- -1 steam Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/04—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nozzles (AREA)
Abstract
本发明提供一种液刀，用于在显示面板制程中施加处理液体，包括本体及固定件。所述本体包括注液通道、连通所述注液通道的喷嘴及邻近的开设于所述喷嘴的至少一沟槽。所述沟槽包括槽口及封闭状槽底，其中所述槽口的尺寸小于所述沟槽的高度。固定件固接于所述本体，所述固定件固接于所述注液通道和所述沟槽之间。借此，使液体通过所述液刀的喷嘴时能够均匀流出，改善液体压力不均造成形成的显示面板会有亮度不均(mura)的缺陷，提高临界尺寸(CD)均匀性，从而提高显示面板亮度的均匀性。
Description
技术领域
本发明涉及一种显示面板的制程领域，尤指一种在显示面板制造过程中用以施加处理液体的液刀。
背景技术
在现有的薄膜晶体管(TFT)湿制程技术中，玻璃基板洗净或者显影时均须使用狭缝式液刀，使例如显影剂等均匀地流出并涂布在玻璃基板上。当狭缝式液刀通过螺丝进行固定后，液体经由狭缝式液刀喷洒玻璃基板产生飞溅，部分的液体会回溅到液刀上。经长时间作业时水汽会在液刀上凝结，液刀表面凝结的水珠受到重力作用又会向液刀口流动而影响液刀喷出的水帘(liquid curtain)，导致水帘不均匀，造成显影后光刻胶(photoresist，PR)图形相对的显示面板处易呈现线状/波纹状亮度不均(mura)的缺陷，导致良率(yield)下降。由于液体流出不均导致最终形成的图案间距，即前后端图案的临界尺寸(criticaldimension，CD)存在差异，进而导致液晶显示器的亮度显示不均。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种液刀，来解决现有技术所存在的问题。
本发明的目的在于提供一种液刀，避免水汽或回溅的液体汇流并落到水帘内而引起喷洒不均，改善液体压力不均造成显示面板会有亮度不均(mura)的缺陷，提高临界尺寸(CD)均匀性，从而提高显示面板亮度的均匀性。
为达成本发明前述目的，本发明提供一种液刀，用于在显示面板制程中施加处理液体，包括本体及固定件。所述本体包括注液通道、连通所述注液通道的喷嘴及邻近的开设于所述喷嘴的至少一沟槽。所述沟槽包括槽口及封闭状槽底，其中所述槽口的尺寸小于所述沟槽的高度。固定件固接于所述本体，所述固定件穿接于所述注液通道和所述沟槽之间。
在本发明的一实施例中，所述槽底为平行或倾斜于所述喷嘴的喷液方向。
在本发明的一实施例中，所述槽底的倾斜角度介于零至反正切的2倍所述沟槽高度/所述沟槽长度(0<θ<arctan(2H/L))。
在本发明的一实施例中，所述沟槽形状为矩形、圆形或多边形，且所述沟槽位于所述喷嘴开口的上缘。
在本发明的一实施例中，所述本体包括相对应的二平滑面，所述注液通道和所述至少一沟槽间隔的开设于其一的所述平滑面。
在本发明的一实施例中，所述沟槽的数量为2个或2个以上，每一所述沟槽分别开设于任一所述平滑面。
在本发明的一实施例中，所述注液通道包括注入液体的注入管道和连通所述喷嘴的输出管道，所述输出管道位于所述本体的中间位置，且所述输出管道的尺寸根据所述液体的流出量而设定。
在本发明的一实施例中，所述固定件为螺丝，所述固定件固接于所述注入管道和所述沟槽之间。
在本发明的一实施例中，所述本体的材质为塑胶、金属或合金，所述塑胶为聚氯乙烯(Polyvinyl Chloride，PVC)，所述合金为不锈钢(Steel SpecialUse Stainless，SUS)。
在本发明的一实施例中，所述本体为一体成型或分块组装而成。
本发明还具有以下功效，所述沟槽可为封闭状的平行槽底或具斜坡/倾斜的槽底，除了可储存水汽、水滴等液体外，还可增加水汽储存量。再者，沟槽的数量还包括2个以上，同样能够增加储存量。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明液刀的横截面示意图；
图2是本发明液刀的平面示意图；及
图3是本发明液刀的沟槽的示意图。
具体实施方式
在具体实施方式中提及“实施例”意指结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本发明的至少一个实施例中。在说明书中的不同位置出现的相同用语并非必然被限制为相同的实施方式，而应当理解为与其它实施例互为独立的或备选的实施方式。在本发明提供的实施例所公开的技术方案启示下，本领域的普通技术人员应理解本发明所描述的实施例可具有其他符合本发明构思的技术方案结合或变化。
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]、[竖直]、[水平]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
请参照图1及图2所示，图1为本发明液刀的横截面示意图，图2是本发明液刀的平面示意图。如图所示，本发明提供一种液刀1，用于在显示面板制程中施加处理液体2，包括本体11及固定件15。所述液刀1通过注入液体2，从而达到均匀喷洒的效果。所述液体2例如水、光刻胶或显影剂(developer)等。所述液刀1通过固定件15穿接本体11并固接在显示面板制程工艺的设备机台(图略)上。显示面板制程工艺包括但不限于清洗工艺、PR工艺等。
所述本体1包括注液通道12、连通所述注液通道12的喷嘴13及邻近的开设于所述喷嘴13的至少一沟槽14。所述沟槽14包括槽口141及封闭状槽底142，其中所述槽口141的尺寸小于所述沟槽14的高度H。固定件15固接于所述本体11，所述固定件15固接于所述注液通道12和所述沟槽14之间。
如图1所示，所述沟槽14形状优选为矩形；在次选的实施例中，所述沟槽14形状可为圆形、多边形或其组合，并不限定。所述沟槽14位于所述喷嘴13开口的上缘。所述本体11包括相对应的二平滑面16，每一所述平滑面16靠近所述喷嘴13具有斜边17，使喷嘴13形成尖嘴状，以利对准喷洒。所述注液通道12和所述至少一沟槽14间隔的开设于其一的所述平滑面16。
具体而言，所述注液通道12包括注入液体2的注入管道121和连通所述喷嘴13的输出管道122。所述注入管道121与所述输出管道122彼此垂直，且所述输出管道122位于所述本体11的中间位置。在其他次选的实施例中，所述注入管道121也能够与所述输出管道122倾斜配置，且所述输出管道122能够偏向其中一平滑面16设置，视需要而改变。所述输出管道122的尺寸(管径)可以根据所述液体2的流出量而设定大小。此外，如图1所示的固定件15优选为螺丝或螺栓，且所述固定件15穿接于所述注入管道121和所述沟槽14之间。
如图1所示的所述槽底142为平行于所述喷嘴13的喷液方向。然而在如图3所示的实施例中，所述槽底142也可为倾斜于所述喷嘴13的喷液方向，从而增加储存水汽21量。所述槽底142的倾斜角度θ介于零至反正切的2倍所述沟槽高度H/所述沟槽长度L，即0<θ<arctan(2H/L)之间，避免水汽21或回溅的液体2汇流并落到水帘22内而引起喷洒不均。换句话说，沟槽14能够储存水汽/水滴21或回溅的液体2，避免其直接汇流并落到喷嘴13，造成喷嘴13喷洒出的水帘22不均匀而在显示面板产生亮度不均(mura)的缺陷。因此，本发明通过采用沟槽14改善液体2压力不均匀造成线状/波纹状亮度不均(mura)的缺陷，提高临界尺寸(CD)均匀性，从而提高显示面板亮度的均匀性。
在本发明的一实施例中，所述沟槽14的数量为2个或2个以上，每一所述沟槽14分别开设于任一所述平滑面16。此外，所述本体11的材质可为塑胶、金属或合金，以适用于各种不同性质的喷洒液体2。所述塑胶优选为聚氯乙烯(Polyvinyl Chloride，PVC)；所述合金优选为不锈钢(Steel SpecialUse Stainless，SUS)。再者，所述本体11可为一体成型或分块组装而成，视需要而改变。
因此，本发明的所述沟槽14可为封闭状的平行槽底142或具斜坡/倾斜的槽底142，除了可储存水汽、水滴21等液体2外，还可增加水汽储存量。再者，所述沟槽14的数量还包括2个以上，同样能够增加储存量。
综上所述，虽然本发明结合其具体实施例而被描述，应该理解的是，许多替代、修改及变化对于那些本领域的技术人员将是显而易见的。因此，其意在包含落入所附权利要求书的范围内的所有替代、修改及变化。
Claims (10)
1.一种液刀，用于在显示面板制程中施加处理液体，其特征在于，所述液刀包括:
本体，包括注液通道、连通所述注液通道的喷嘴及邻近的开设于所述喷嘴的至少一沟槽，所述沟槽包括槽口及封闭状槽底，其中所述槽口的尺寸小于所述沟槽的高度；及
固定件，固接于所述本体，所述固定件固接于所述注液通道和所述沟槽之间。
2.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述槽底为平行或倾斜于所述喷嘴的喷液方向。
3.如权利要求2所述的液刀，其特征在于，所述槽底的倾斜角度介于零至反正切的2倍所述沟槽高度/所述沟槽长度(0<θ<arctan(2H/L))。
4.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述沟槽形状为矩形、圆形或多边形，且所述沟槽位于所述喷嘴开口的上缘。
5.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述本体包括相对应的二平滑面，所述注液通道和所述至少一沟槽间隔的开设于其一的所述平滑面。
6.如权利要求5所述的液刀，其特征在于，所述沟槽的数量为2个或2个以上，每一所述沟槽分别开设于任一所述平滑面。
7.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述注液通道包括注入液体的注入管道和连通所述喷嘴的输出管道，所述输出管道位于所述本体的中间位置，且所述输出管道的尺寸根据所述液体的流出量而设定。
8.如权利要求7所述的液刀，其特征在于，所述固定件为螺丝，所述固定件穿接于所述注入管道和所述沟槽之间。
9.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述本体的材质为塑胶、金属或合金，所述塑胶为聚氯乙烯，所述合金为不锈钢。
10.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述本体为一体成型或分块组装而成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910302232.5A CN110109271B (zh) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 液刀 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910302232.5A CN110109271B (zh) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 液刀 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110109271A true CN110109271A (zh) | 2019-08-09 |
| CN110109271B CN110109271B (zh) | 2022-02-22 |
Family
ID=67485370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910302232.5A Active CN110109271B (zh) | 2019-04-16 | 2019-04-16 | 液刀 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110109271B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112899757A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-06-04 | 珠海松柏科技有限公司 | 用于pcb微孔电镀的电镀水刀 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001021872A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶ディスプレイ用基板の製造装置 |
| CN1803321A (zh) * | 2006-01-17 | 2006-07-19 | 友达光电股份有限公司 | 液刀机构 |
| KR20070057474A (ko) * | 2005-12-02 | 2007-06-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 이의 제어방법 |
| CN101303968A (zh) * | 2007-05-07 | 2008-11-12 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板处理装置 |
| CN201520802U (zh) * | 2009-08-21 | 2010-07-07 | 深圳华映显示科技有限公司 | 一种湿蚀刻设备 |
| CN207856553U (zh) * | 2017-12-11 | 2018-09-14 | 广东澳森环保科技有限责任公司 | 一种无泵水旋喷涂尾气净化装置 |
-
2019
- 2019-04-16 CN CN201910302232.5A patent/CN110109271B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001021872A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶ディスプレイ用基板の製造装置 |
| KR20070057474A (ko) * | 2005-12-02 | 2007-06-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시 패널 건조용 에어 나이프 장치 및 이의 제어방법 |
| CN1803321A (zh) * | 2006-01-17 | 2006-07-19 | 友达光电股份有限公司 | 液刀机构 |
| CN101303968A (zh) * | 2007-05-07 | 2008-11-12 | 大日本网目版制造株式会社 | 基板处理装置 |
| CN201520802U (zh) * | 2009-08-21 | 2010-07-07 | 深圳华映显示科技有限公司 | 一种湿蚀刻设备 |
| CN207856553U (zh) * | 2017-12-11 | 2018-09-14 | 广东澳森环保科技有限责任公司 | 一种无泵水旋喷涂尾气净化装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112899757A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-06-04 | 珠海松柏科技有限公司 | 用于pcb微孔电镀的电镀水刀 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110109271B (zh) | 2022-02-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7712433B2 (en) | Spray nozzle for use in manufacture of image display device and spraying apparatus using the same | |
| US20160341856A1 (en) | Color-film substrates and liquid crystal devices | |
| US20080286475A1 (en) | Process and related apparatus for block coating | |
| CN108983475B (zh) | 液晶显示器及其基板结构 | |
| CN102221758A (zh) | 一种混合垂直光配向液晶显示装置的配向方法 | |
| CN110109271A (zh) | 液刀 | |
| KR20140147540A (ko) | 수지 도포 장치, 그 방법 및 이를 이용한 수지층 형성방법 | |
| US20150085240A1 (en) | Display substrate and manufacturing method thereof, and display device | |
| CN104280941A (zh) | 一种液晶显示用基板、液晶显示面板、液晶显示装置 | |
| US9770735B2 (en) | Seal agent coating device | |
| KR20150031820A (ko) | 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 약액 도포 장치 | |
| TWI801528B (zh) | 塗布器及塗布器之空氣排出方法 | |
| JP2015192992A (ja) | ノズル及び塗液の排出方法 | |
| CN203930285U (zh) | 显示面板 | |
| US11435625B2 (en) | Display panel and display device | |
| WO2020042869A1 (zh) | 液晶显示面板的聚酰亚胺涂布方法 | |
| CN109407387A (zh) | 显影装置及基板显影方法 | |
| CN100376330C (zh) | 狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置 | |
| CN111458989B (zh) | 显影设备 | |
| KR20160001751A (ko) | 코팅바 교체형 슬롯다이장치 | |
| JP2010207721A (ja) | グラビア塗布装置 | |
| US10365420B2 (en) | Method for manufacturing polarizing film using ultrasonic vibrator for atomizing coating solution | |
| JPH08243476A (ja) | ダイコータによるガラス基板への塗布方法 | |
| CN107300811B (zh) | 一种液晶滴嘴及其液晶滴下装置、液晶滴下方法 | |
| CN109659261A (zh) | 基板蚀刻设备及其处理*** |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Applicant after: TCL China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Address before: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Applicant before: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Liquid knife Effective date of registration: 20231113 Granted publication date: 20220222 Pledgee: Industrial and Commercial Bank of China Limited Shenzhen Guangming Sub branch Pledgor: TCL China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Registration number: Y2023980065368 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |