CN109968547B - 划刻装置及保持器单元 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于，一边使划刻轮顺利地旋转一边使划刻线的形成位置稳定。保持器单元(30)具备保持槽(63)、销孔(64a、64b)、划刻轮(40)以及销轴(50)。设定贯通孔(41)与销轴(50)之间的空隙、保持槽(63)的内侧面与划刻轮(40)的侧面之间的空隙、以及销轴(50)相对于保持槽(63)的内侧面的倾斜角，以使得在将划刻轮(40)按压于基板表面时，划刻轮(40)的两侧面分别按压于保持槽(63)的相互对置的内侧面。划刻轮(41)的形成贯通孔的内周面(41C)包含曲面，该曲面形成贯通孔在划刻轮的厚度方向上的中央部，所述曲面形成为，贯通孔(41)在厚度方向上的中央部的直径小于贯通孔在厚度方向上的端部的直径。

Description

划刻装置及保持器单元

技术领域

本发明涉及用于在基板形成划刻线的划刻装置及保持器单元。

背景技术

以往，玻璃基板等脆性材料基板的分断是通过在基板表面形成划刻线的划刻工序以及沿着所形成的划刻线向基板表面施加规定的力的断裂工序而进行的。在划刻工序中，划刻轮的刀尖一边按压于基板表面一边沿着规定的线进行移动。在划刻线的形成中，使用具备划刻头的划刻装置。

以下的专利文献1公开了一种通过划刻轮一边在基板表面旋转一边行进而在基板表面形成划刻线的划刻装置。在该划刻装置中，在将划刻轮***到形成于保持器的保持槽的状态下，向形成于保持器的孔和形成于划刻轮的孔的两方***销轴，由此划刻轮以能够旋转的方式保持于保持器。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：WO2007/063979号公报

发明内容

发明要解决的问题

安装于保持器的划刻轮为了形成划刻线而需要在保持槽内旋转。因此，保持槽的宽度比划刻轮的厚度稍微宽，在划刻轮与保持部之间确保了空隙。利用该空隙，划刻轮处于在保持器槽内能够沿着销轴移动的状态。然而，在形成划刻线之际，当划刻轮沿销轴方向移动时，划刻线的形成位置变得不稳定。因此，在以往的划刻装置中，划刻线从所希望的位置偏移这一情况成为问题。

鉴于上述问题，本发明的目的在于，提供一种在不阻碍划刻轮的旋转的状态下能够使划刻线的形成位置稳定的划刻装置及保持器单元。

解决方案

本发明的第一方式涉及在基板表面形成划刻线的划刻装置。该方式的划刻装置具备：保持器单元，其保持划刻轮；以及划刻头，其将所述保持器单元保持为能够绕与所述基板表面垂直的轴进行旋转。所述保持器单元具备：保持槽，其供所述划刻轮***；销孔，其以跨越所述保持槽的方式形成；以及销轴，其向***到所述保持槽的所述划刻轮的贯通孔和所述销孔***。设定所述贯通孔与所述销轴之间的空隙、所述保持槽的内侧面与所述划刻轮的侧面之间的空隙、以及所述销轴相对于所述保持槽的内侧面的倾斜角，以使得在将所述划刻轮按压于所述基板表面时，所述划刻轮的两侧面分别按压于所述保持槽的相互对置的内侧面，所述划刻轮的形成所述贯通孔的内周面包含曲面，该曲面至少形成所述贯通孔在所述划刻轮的厚度方向上的中央部，所述曲面形成为，使得所述贯通孔在所述厚度方向上的中央部的直径小于所述贯通孔在所述厚度方向上的端部的直径。

根据本方式的划刻装置，当将所述划刻轮按压于所述基板表面时，所述划刻轮的两侧面分别按压于所述保持槽的相互对置的内侧面。因此，在形成划刻线之际，抑制了划刻轮沿销轴方向移动的情况。另一方面，通过划刻轮的贯通孔的内周面具有以贯通孔在厚度方向上的中央部的直径小于贯通孔在厚度方向上的端部的直径的方式形成的曲面，从而构成贯通孔的内周面与销轴的外周面线接触。由此，贯通孔的内周面41C相对于销轴容易滑动，因此，能够使划刻轮40顺利地旋转。此外，由于贯通孔41的内周面41C与销轴50的外周面的接触面积小，因此，即便在基板15上形成划刻线时产生的玻璃碎片或异物进入到贯通孔41的内周面41C与销轴50的外周面之间，也难以对划刻轮40的旋转性造成影响。由此，能够抑制划刻轮40相对于销轴50的旋转受到阻碍。因此，能够在不阻碍划刻线的旋转的状态下使划刻线的形成位置稳定。

在本方式的划刻装置中可以构成为，所述销孔形成为，相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向而至少在与所述基板表面平行的方向上倾斜，***到所述销孔及所述贯通孔的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向而至少在与所述基板表面平行的方向上倾斜。根据该结构，如以下的实施方式所说明的那样，能够使划刻线的形成位置稳定。

在本方式的划刻装置中可以构成为，所述销孔形成为，相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向而在与所述基板表面垂直的方向上也倾斜，***到所述销孔及所述贯通孔的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向而在与所述基板表面垂直的方向上也倾斜。根据该结构，能够更进一步使划刻线的形成位置稳定。

本发明的第二方式涉及对用于形成划刻线的划刻轮进行保持的保持器单元。该方式的保持器单元具备：保持槽，其供所述划刻轮***；销孔，其以跨越所述保持槽的方式形成；以及销轴，其向***到所述保持槽的所述划刻轮的贯通孔和所述销孔***。设定所述贯通孔与所述销轴之间的空隙、所述保持槽的内侧面与所述划刻轮的侧面之间的空隙、以及所述销轴相对于所述保持槽的内侧面的倾斜角，以使得在将所述划刻轮按压于所述基板表面时，所述划刻轮的两侧面分别按压于所述保持槽的相互对置的内侧面，所述划刻轮的形成所述贯通孔的内周面包含曲面，该曲面至少形成所述贯通孔在所述划刻轮的厚度方向上的中央部，所述曲面形成为，使得所述贯通孔在所述厚度方向上的中央部的直径小于所述贯通孔在所述厚度方向上的端部的直径。

本方式的保持器单元通过以能够绕与基板表面垂直的轴进行旋转的方式保持于划刻头，从而能够起到与上述第一方式同样的效果。

发明效果

如上所述，根据本发明，可提供能够在不阻碍划刻轮的旋转的状态下使划刻线的形成位置稳定的划刻装置及保持器单元。

本发明的效果或意义由以下所示的实施方式的说明予以明确。但是，以下所示的实施方式只不过是在实施本发明时的一个例示，本发明不受以下实施方式所记载的任何限制。

附图说明

图1是示意性地示出实施方式的划刻装置的结构的图。

图2的(a)、(b)分别是实施方式的保持器单元的主视图及侧视图。

图3是实施方式的保持器单元的一部分的纵剖视图。

图4的(a)～(d)分别是示意性地示出实施方式的保持器的动作的剖视图。

图5的(a)、(b)分别是说明使实施方式的销轴在铅垂方向上倾斜了的情况下的作用的图。

附图标记说明：

1…划刻装置；

15…基板；

20…划刻头；

30…保持器单元；

40…划刻轮；

41…贯通孔；

42a、42b…侧面；

50…销轴；

60…保持器；

63…保持槽；

64a、64b…销孔；

65a、65b…内侧面；

H…表面。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，在各图中，为了方便说明而标注有相互正交的X轴、Y轴及Z轴。X-Y平面与水平面平行，Z轴方向是铅垂方向。

图1是示意性地示出划刻装置1的结构的图。

划刻装置1具备移动台10。移动台10与滚珠丝杠11螺合。移动台10被一对引导轨12支承为能够在Y轴方向上移动。通过马达的驱动而使滚珠丝杠11旋转，由此移动台10沿着一对引导轨12在Y轴方向上移动。

在移动台10的上表面设置有马达13。马达13使位于上部的载台14在XY平面内旋转并以规定角度定位。在马达13的作用下能够水平旋转的载台14具备未图示的真空吸附机构。载置在载台14上的基板15通过该真空吸附机构而保持于载台14上。

基板15是玻璃基板、由低温烧成陶瓷或高温烧成陶瓷构成的陶瓷基板、硅基板、化合物半导体基板、蓝宝石基板、石英基板等。另外，基板15也可以是在基板的表面或内部附着或包含薄膜或半导体材料而成的基板。另外，基板15也可以在其表面附着不符合脆性材料的薄膜等。

划刻装置1在载置于载台14的基板15的上方具备对形成于该基板15的表面的对准标记进行拍摄的两台相机16。另外，架桥17以跨越移动台10和其上部的载台14的方式架设于支柱18a、18b。

在架桥17安装有引导件19。划刻头20设置为，被该引导件19引导而沿X轴方向移动。划刻头20在下端具备保持器接头21。在保持器60保持有划刻轮40的保持器单元30经由保持器接头21安装于划刻头20。

在使用划刻装置1向基板15形成划刻线的情况下，首先，将安装有划刻轮40的保持器60安装于划刻头20。接着，划刻装置1通过一对相机16来进行基板15的定位。然后，划刻装置1使划刻头20移动到规定的位置，向划刻轮40施加规定的载荷，使划刻轮40与基板15接触。之后，划刻装置1使划刻头20沿X轴方向移动，由此在基板15的表面形成规定的划刻线。需要说明的是，划刻装置1根据需要而使载台14转动或沿Y轴方向移动，与上述的情况同样地形成划刻线。

在上述实施方式中，示出了划刻头沿X轴方向移动、且载台14沿Y轴方向移动并旋转的划刻装置，但划刻装置只要是划刻头与载台相对地移动的装置即可。例如，也可以是划刻头固定、且载台沿X轴方向及Y轴方向移动并旋转的划刻装置。另外，在该情况下，相机16也可以固定于划刻头20。

接着，参照图2的(a)、(b)对保持器单元30的结构进行说明。图2的(a)是从X轴正侧观察保持器单元30的主视图，图2的(b)是从Y轴正侧观察保持器单元30的侧视图。需要说明的是，在图2的(a)、(b)中一并图示出供保持器单元30直接安装的保持器接头21。

保持器单元30的划刻轮40、销轴50及保持器60成为一体。保持器单元30如图2的(b)所示那样借助安装螺钉31而安装于保持器接头21。保持器接头21由安装部22、旋转轴23及两个轴承24a、24b构成。安装部22的剖面形状呈倒L字状。安装部22由沿铅垂方向延伸的壁22a和沿水平方向延伸的壁22b构成。旋转轴23从安装部22的壁22b的顶面侧沿铅垂方向延伸。旋转轴23穿过轴承24a、24b。

在将保持器单元30安装于保持器接头21时，保持器单元30的侧面与安装部22的壁22a接触，保持器单元30的上表面与壁22b接触。另外，如图2的(a)所示，在壁22a上形成有供安装螺钉31***的螺钉孔25。

保持器接头21以使安装于安装部22的保持器单元30从划刻头20的下端露出的方式固定于划刻头20的内部。此时，保持器单元30以保持器接头21的旋转轴23为中心而旋转自如。需要说明的是，单点划线示出旋转轴23的轴中心S，虚线示出基板15的表面H。表面H与水平面平行，且与旋转轴23垂直。

在使用划刻装置1向基板15的表面H形成划刻线的情况下，划刻轮40以沿图2的(b)所示的箭头R的方向(X轴方向)行进的方式旋转。需要说明的是，划刻装置1也可以构成为，不使用保持器接头21，而使保持器单元30自身具备旋转轴23、轴承24a、24b。

图3是图2的保持器60的一部分的纵剖视图。为了方便，图3中省略了保持器60的一部分结构的图示。划刻轮40例如是由烧结金刚石、超硬合金等形成的圆板状构件。在划刻轮40形成有供销轴50***的贯通孔41。贯通孔41以贯穿划刻轮40的两侧面的中心的方式形成。之后详述贯通孔41的形状。

另外，在划刻轮40的外周部形成有形成棱线的V字状的刀尖部44。划刻轮40例如厚度为0.4～1.1mm左右，外径为1.0～5.0mm左右。另外，贯通孔41的最小内径例如为0.4～1.5mm左右，刀的刀尖角为90～150°左右。

销轴50例如是由烧结金刚石、超硬合金等形成的圆柱状构件，一端或两端成为尖头形状的尖头部51(参照图2的(a))。销轴50的直径比划刻轮40的贯通孔41的最小内径稍小。例如当贯通孔41的最小内径为0.82mm时，销轴50的直径为0.77mm左右。在销轴50***到贯通孔41的状态下，在销轴50与贯通孔41之间产生间隙(空隙)。

如图3所示，刀尖部44的前端及形成贯通孔41的内周面41C的直径为最小的最小径部41X形成在划刻轮40的厚度方向DT的中心上。即，在厚度方向DT上，划刻轮40的厚度方向DT的中心位置、刀尖部44的前端位置以及贯通孔41的最小径部41X的位置彼此相等。

贯通孔41具有鼓形状。详述的话，贯通孔41形成为在厚度方向DT上从第一侧面42a及第二侧面42b朝向主体部41的中央而内径渐渐变小的曲面形状。如图3所示，在以与厚度方向DT正交的平面切开的划刻轮40的剖面中，划刻轮40中的贯通孔41的内周面41C至少包括形成贯通孔41在厚度方向DT上的中央部的曲面。该曲面形成为，贯通孔41在厚度方向DT上的中央部的直径小于贯通孔41在厚度方向DT上的端部的直径。

更详细而言，贯通孔41的内周面41C以贯通孔41的中心轴为中心而呈轴对称形状，但为了说明，在沿着厚度方向DT的剖面中，将上方的内周面设为上方内周面41CU，将下方的内周面设为下方内周面41CL。上方内周面41CU以随着从贯通孔41的厚度方向DT的第一侧面42a侧的端部朝向中央而朝向下方内周面41CL呈弯曲状延伸、且随着从贯通孔41的厚度方向DT的中央朝向贯通孔41的厚度方向DT的第二侧面42b侧的端部而远离下方内周面41CL的方式呈弯曲状延伸。上方内周面41CU中的从厚度方向DT的第一侧面42a侧的端部到中央的形状与贯通孔41中的从厚度方向DT的中央到厚度方向DT的第二侧面42b侧的端部的形状成为以线段CL为中心的线对称形状。下方内周面41CL以随着从贯通孔41的厚度方向DT的第一侧面42a侧的端部朝向中央而朝向上方内周面41CU呈弯曲状延伸、且随着从贯通孔41的厚度方向DT的中央朝向贯通孔41的厚度方向DT的第二侧面42b侧的端部而远离上方内周面41CU的方式呈弯曲状延伸。下方内周面41CL中的从厚度方向DT的第一侧面42a侧的端部到中央的形状与贯通孔41中的从厚度方向DT的中央到厚度方向DT的第二侧面42b侧的端部的形状成为以线段CL为中心的线对称形状。本实施方式的贯通孔41的包含上方内周面41CU及下方内周面41CL在内的所有内周面41C分别以单一或多个曲率半径形成。

贯通孔41的内周面41C的曲率半径优选大于贯通孔41的最小径部41X的位置与刀尖部44的前端缘之间的距离DX。在贯通孔41的厚度方向DT的两端部形成有锥部41a、41b。锥部41a朝向第一侧面42a扩径，锥部41b朝向第二侧面42b扩径。贯通孔41的内周面41C中的最小内径(最小径部41X的直径)大于销轴50的外径。

本实施方式的贯通孔41的最小内径(最小径部41X的直径)是φ0.82mm。在贯通孔41中，在厚度方向DT上被锥部41a、41b夹持的鼓形状的部分的厚度方向DT的长度LH优选为0.44mm以上且0.6mm以下的范围。随着长度LH变长，划刻轮40相对于销轴50的倾斜度变小。贯通孔41中的鼓形状的部分的厚度方向DT的两端部与刀尖部44的前端缘之间的距离DW及贯通孔41的最小径部41X的位置与刀尖部44的前端缘之间的距离DX之差即高低差DY(DY＝DX-DW)优选为0.1μm以上且0.5μm以下。随着高低差DY变小，划刻轮40相对于销轴50的倾斜度变小。

保持器60由不锈钢或碳素工具钢构成。如图2的(b)所示，保持器60的下部在侧视观察下成为朝向下端而宽度变窄的梯形形状。另外，在保持器60的梯形形状部分分别形成有保持部62a、62b，在保持部62a、62b之间形成有保持槽63。保持槽63的相互对置的内侧面65a、65b与水平面(XY平面)垂直。

需要说明的是，在图2的(a)、(b)的结构中，保持器60由一个基材构成，但例如也可以通过固定分别具有保持部62a、62b的两个基材而形成保持器60。

供销轴50***的销孔64a、64b以跨域保持槽63的方式形成于保持部62a、62b。销孔64a、64b的直径比销轴50的直径稍大。销孔64a、64b形成为，相对于与保持槽63的内侧面65a、65b垂直的方向至少在与基板15的表面H平行的方向(与XY平面平行的方向)上倾斜。销孔64a、64b也可以形成为，相对于与保持槽63的内侧面垂直的方向也在与基板15的表面H垂直的方向(与YZ平面平行的方向)上倾斜。

在将划刻轮40***到保持槽63的状态下，向划刻轮40的贯通孔41和销孔64a、64b***销轴50。如上所述，销孔64a、64b形成为相对于与保持槽63的内侧面65a、65b垂直的方向倾斜，因此，***到销孔64a、64b及贯通孔41的销轴50相对于与保持槽63的内侧面65a、65b垂直的方向至少在与基板15的表面H平行的方向(与XY平面平行的方向)上倾斜。

在保持器60的上部形成有供安装螺钉31***的螺钉孔66。另外，在保持部62a的Y轴正侧的侧面借助螺钉68a安装有止挡件67a，在保持部62b的Y轴负侧的侧面借助螺钉68b安装有止挡件67b。止挡件67a、67b用于堵塞销孔64a、64b。

在具备以上结构的划刻装置1中，在划刻线的形成动作中将划刻轮40按压于基板15的表面H时，划刻轮40的两侧面分别被按压于保持槽63的相互对置的内侧面65a、65b。因此，在划刻线的形成动作中，抑制了划刻轮40沿着销轴50移动的情况，由此，能够使划刻线的形成位置稳定。

以下，参照图4的(a)～(d)，对划刻轮40的两侧面分别按压于保持槽63的相互对置的内侧面65a、65b的动作进行说明。

图4的(a)～(d)分别是示意性地示出保持器60的动作的剖视图。图4的(a)～(d)分别是从Z轴正侧观察在销轴50的Z轴方向中央位置处以与XY平面平行的平面将图2的(a)、(b)所示的保持器60切断而得到的剖面的剖视图。为了方便，在图4的(a)～(d)中，省略了保持器60的一部分结构的图示。单点划线示出划刻轮40的刀的棱线。

图4的(a)示出将划刻轮40按压于基板15的表面H之前的状态。在该状态下，划刻轮40的棱线与XZ平面大致平行，在划刻轮40的第一侧面42a、第二侧面42b与保持槽63的内侧面65a、65b之间产生间隙(空隙)。销轴50相对于与保持槽63的内侧面65a、65b垂直的方向在与XY平面平行的方向上倾斜。

当从该状态将划刻轮40按压于基板15的表面H时，以划刻轮40的贯通孔41的中心轴与销轴50平行的方式在划刻轮40产生转矩。如上所述，由于贯通孔41的直径大于销轴50的直径，因此，划刻轮40能够在由贯通孔41与销轴50之间的空隙允许的范围内在与XY平面平行的方向上旋转。因此，当如上述那样在划刻轮40产生转矩时，如图4的(b)所示，通过该转矩，划刻轮40绕顺时针方向旋转，将划刻轮40的侧面42a、42b分别按压于保持槽63的内侧面65a、65b。

之后，当伴随着划刻头20的移动而使保持器60沿X轴方向(箭头R方向)移动时，产生使划刻轮40的棱线与划刻方向(箭头R方向)平行的转矩。如图2的(a)、(b)所示，由于保持器60能够绕旋转轴23旋转，因此，通过该转矩，如图4的(c)所示，使保持器60以划刻轮40的棱线与划刻方向(箭头R方向)平行的方式绕逆时针方向旋转。

之后，如图4的(d)所示，在保持器60绕旋转轴23(参照图2的(a)、(b))稍微旋转了的状态下，进行划刻动作。在该情况下，划刻轮40处于第一侧面42a、第二侧面42b被相对于基板15的表面H的载荷按压于保持槽63的内侧面65a、65b的状态。在该状态下，划刻轮40绕销轴50旋转。

这里，即便划刻轮40的第一侧面42a、第二侧面42b按压于保持槽63的内侧面65a、65b而使划刻轮40相对于销轴50倾斜，由于贯通孔41的内周面41C与销轴50所接触的位置靠近划刻轮40的厚度方向DT的中央位置，因此，划刻轮40按压保持槽63的力矩也变小。因此，即便在划刻轮40倾斜而与保持槽63的内侧面65a、65b接触的状态下使划刻轮40旋转，划刻轮40与保持槽63的摩擦力也较小。

这样，在本实施方式中，在划刻线的形成动作中，划刻轮40的两侧面分别按压于保持槽63的相互对置的内侧面65a、65b，因此，在划刻线的形成动作中，抑制了划刻轮40沿着销轴50移动的情况。另外，划刻轮的内周面形成为在厚度方向DT上从侧面朝向主体部41的中央而内径渐渐变小的曲面形状。因此，即便在划刻轮40倾斜而与保持槽63接触的状态下使划刻轮40旋转，贯通孔41的内周面41C与销轴50所接触的位置也靠近划刻轮40的厚度方向DT的中央位置，能够减小划刻轮40与保持槽63的摩擦力。由此，能够一边使划刻轮顺利地旋转一边使划刻线的形成位置稳定。

<变形例>

接着，对上述实施方式的变形例进行说明。在本变形例中，除了使销轴50的相对于与保持槽63的内侧面垂直的方向在水平方向上的倾斜角变化之外，也使销轴50的相对于与保持槽63的内侧面垂直的方向在铅垂方向上的倾斜角变化。

当销轴50相对于与保持槽63的内侧面垂直的方向在铅垂方向上倾斜时，通过在划刻动作时赋予的载荷，使划刻轮40以划刻轮40的贯通孔41沿着销轴50的方式在铅垂方向上旋转。即，在图5的(a)的状态下，当通过载荷将划刻轮40按压于基板15的表面H时，划刻轮40如图5的(b)所示那样倾斜。通过该倾斜，划刻轮40的侧面42a、42b被按压于保持槽63的内侧面65a、65b而限制了划刻轮40的移动。

当销轴50相对于与保持槽63的内侧面垂直的方向不仅在水平方向上还在垂直方向上倾斜时，能够叠加通过使销轴50在水平方向上倾斜而限制了划刻轮40的移动的效果与通过使销轴50在铅垂方向上倾斜而限制了划刻轮40的移动的效果。由此，显著地抑制了划刻动作时的划刻轮40的轴向的移动，能够更进一步提高划刻线的形成精度。

这里，当使销轴50在铅垂方向上倾斜时，如图5的(b)所示，划刻轮40以倾斜的状态按压于基板15的表面H。销轴50相对于与保持槽63的内侧面65a、65b垂直的方向在铅垂方向上的倾斜角越大，则此时的划刻轮40相对于表面H的倾斜角越大。在该情况下，通过抑制划刻轮在保持器槽内的移动，划刻时的划刻轮的旋转阻力可能增大。但是，由于划刻轮40的贯通孔41的内周面为鼓形状，因此，下方内周面41CL与销轴50所接触的位置靠近划刻轮40的厚度方向DT的中央位置，划刻轮40按压保持槽63的力矩变小。因此，即便在划刻轮40倾斜而与保持槽63接触的状态下使划刻轮40旋转，也能够减小划刻轮40与保持槽63的摩擦力。

<实施方式的效果>

根据本实施方式，起到以下的效果。

如图4的(a)～(d)所示，销轴50相对于与保持槽63的内侧面65a、65b垂直的方向在水平方向上倾斜，因此，在将划刻轮40按压于基板15的表面H时，划刻轮40的侧面42a、42b分别按压于保持槽63的相互对置的内侧面65a、65b。因此，在形成划刻线之际，抑制了划刻轮40在与销轴50平行的方向上移动。因此，能够使划刻线的形成位置稳定。

此外，划刻轮的贯通孔41形成为在厚度方向DT上从第一侧面42a及第二侧面42b朝向主体部41的中央而内径渐渐减小的曲面形状，因此，即便划刻轮40相对于销轴50倾斜，贯通孔41的内周面41C与销轴50所接触的位置也靠近划刻轮40的厚度方向DT的中央位置。由此，划刻轮40按压保持槽63的力矩变小，即便在划刻轮40倾斜而与保持槽63接触的状态下使划刻轮40旋转，也能够减小划刻轮40与保持槽63的摩擦力。

另外，销轴50优选相对于与保持槽63的内侧面65a、65b垂直的方向也在与基板15的表面H垂直的方向(铅垂方向)上倾斜。这样，能够更进一步使划刻线的形成位置稳定。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不局限于上述任一实施方式，另外，本发明的实施方式除了上述以外还能够进行各种变更。

例如，在上述实施方式1中，使用了在刀尖的棱线上未形成槽的划刻轮40，但也可以使用在棱线上隔开固定间隔而形成有槽的划刻轮。

另外，在上述实施方式1中，通过使销孔相对于保持槽63的内侧面65a、65b向水平方向或垂直方向倾斜，从而使销轴倾斜，但使销轴与保持槽相对地倾斜即可。具体而言，也可以是，销孔64a、64b形成在与基板15的表面H平行的方向(与XY平面平行的方向)且与划刻方向R垂直的方向(与YZ平面平行的方向)上，保持槽63的内侧面65a、65b形成为相对于与销孔64a、64b垂直的方向至少在与基板15的表面H平行的方向(与XY平面平行的方向)上倾斜。保持槽63的内侧面65a、65b也可以形成为，相对于与销孔64a、64b垂直的方向也在与基板15的表面H垂直的方向(与YZ平面平行的方向)上倾斜。

另外，划刻头20的结构和划刻装置1的结构能够适当变更。图1示出了仅在基板15的单面形成划刻线的划刻装置，但本发明也能够应用于在基板15的双面并行地形成划刻线的划刻装置。

本发明的实施方式在技术方案所示的技术思想的范围内能够适当进行各种变更。

Claims (4)

1.一种划刻装置，该划刻装置在基板表面形成划刻线，

其特征在于，

所述划刻装置具备：

保持器单元，其保持划刻轮；以及

划刻头，其将所述保持器单元保持为能够绕与所述基板表面垂直的轴进行旋转，

所述保持器单元具备：

保持槽，其供所述划刻轮***；

销孔，其以跨越所述保持槽的方式形成；以及

销轴，其向***到所述保持槽的所述划刻轮的贯通孔和所述销孔***，

设定所述贯通孔与所述销轴之间的空隙、所述保持槽的内侧面与所述划刻轮的侧面之间的空隙、以及所述销轴相对于所述保持槽的内侧面的倾斜角，以使得在将所述划刻轮按压于所述基板表面时，所述划刻轮的两侧面分别按压于所述保持槽的相互对置的内侧面，

所述划刻轮的形成所述贯通孔的内周面包含曲面，该曲面至少形成所述贯通孔在所述划刻轮的厚度方向上的中央部，

所述曲面形成为，使得所述贯通孔在所述厚度方向上的中央部的直径小于所述贯通孔在所述厚度方向上的端部的直径。

2.根据权利要求1所述的划刻装置，其特征在于，

所述销孔形成为，相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向而至少在与所述基板表面平行的方向上倾斜，

***到所述销孔及所述贯通孔的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向而至少在与所述基板表面平行的方向上倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的划刻装置，其特征在于，

所述销孔形成为，相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向而在与所述基板表面垂直的方向上也倾斜，

***到所述销孔及所述贯通孔的所述销轴相对于与所述保持槽的内侧面垂直的方向而在与所述基板表面垂直的方向上也倾斜。

4.一种保持器单元，该保持器单元对用于形成划刻线的划刻轮进行保持，

其特征在于，

所述保持器单元具备：

保持槽，其供所述划刻轮***；

销孔，其以跨越所述保持槽的方式形成；以及

销轴，其向***到所述保持槽的所述划刻轮的贯通孔和所述销孔***，

设定所述贯通孔与所述销轴之间的空隙、所述保持槽的内侧面与所述划刻轮的侧面之间的空隙、以及所述销轴相对于所述保持槽的内侧面的倾斜角，以使得在将所述划刻轮按压于基板表面时，所述划刻轮的两侧面分别按压于所述保持槽的相互对置的内侧面，

所述划刻轮的形成所述贯通孔的内周面包含曲面，该曲面至少形成所述贯通孔在所述划刻轮的厚度方向上的中央部，

所述曲面形成为，使得所述贯通孔在所述厚度方向上的中央部的直径小于所述贯通孔在所述厚度方向上的端部的直径。

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