CN109885005B - 一种柔性芯片生产物流缓存*** - Google Patents

Abstract

本发明及实施例提供一种柔性芯片生产物流缓存***，包括芯片生产物流缓存控制子***、柔性调度子***、柔性实时仿真子***和芯片盒送货子***。芯片生产物流缓存控制子***获取上位订单和生产计划信息；柔性调度子***根据上位订单、生产计划信息和预设的多需求多工况多异常动态确定调度策略和调度方案；柔性实时仿真子***根据调度策略和调度方案，得到调度缓存方案并向芯片盒送货子***发送指令；AGV车载机器人及翻板式货架根据柔性调度子***的指令，存取芯片盒，根据目标芯片盒的位置扫描定位引导。本发明及实施例提供的缓存***，针对多变量、多异常、多重入、混合型和大规模等特征，应用仿真***实时调整流程和物流参数，达到高效稳产。

Description

一种柔性芯片生产物流缓存***

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种柔性芯片生产物流缓存***。

背景技术

芯片制造是世界上最复杂的制造业它的特点是:1)流程复杂，制作周期长。2)机器精度高，投入高。上百亿的投入，纳米级精度，最高等级的洁净度。如何让机台吃饱喝足，灵活应对换牌、废品、急件，提高机台利用率；让珍贵的净洁空间得到充分利用，是第一要考量的要素。优化生产***的控制与调度是当务之急。

目前，规模不同的芯片车间自动化程度各有高低，在多数应用空中小车***的同时，普遍缺少缓存***；不少车间用人工推车转运、人工装料；建立生产物流缓存***，合理设置存取高效、空间紧凑、无缝对接的缓冲站，是应对订单多变、多重进入、机器检修、物流设备故障、辅料断料、品种换牌、待处理品、废品、急件、退盒等异常，提高综合效能的有效配置，适应大规模、多重入、混合型生产，达到产量、品种、工时和生产负荷的平稳均衡。

已有的***仿真的方法是通过仿真模型对资源的配置、流程的前进以及调度的规则进行，并通过仿真数据对生产调度的方案进行分析和评估，进而选择结果相对较优的调度方案和参数设置。现有生产控制的***仿真，大多数用于规划设计、事前预设、事后评估。需要基于成熟生产仿真平台、适应半导体行业特点、高效快速反应的能够事中不断优化更新的柔性实时仿真***。能够每10-60分钟自动提供更新的仿真结果，修改调度方案，优化物流路径，实现生产运行无缝平稳均衡。

现有固体成型物料流水生产线的物料缓存***，大多采用旁线式、螺旋式、提升式、小库式、小车式等，难于适应狭窄空间、无缝快速的需求。本发明采用AGV自动导引车及车载机器人与地面、挂墙及车载翻板式货架联合与已有的空中小车或机台对接，采用柔性调度***、柔性实时仿真***可实现优化的芯片盒缓存***。

AGV的导航、车载机器人的定位、目标芯片盒的室内定位有多种技术，RFID、WIFI、ZigBee、计算机视觉、蓝牙、超声波、惯性导航、红外、超声波、伪卫星、UWB超宽带、激光、无反射板激光、SLAM、机器视觉等，多数精度低或***复杂。激光定位导航技术的精度、难易综合较优，对固定反射板定位容易实现且精度较高，但如何在众多位置不断变化的芯片盒中确定目标芯片盒并精确定位，从而引导精确抓取，使引导AGV的定位***，一机两用，还可精确定位上位指定目标芯片盒，精度达到2mm，本发明提供了创新的快捷简洁的办法。一机两用就是一套激光导航***既可引导AGV，也可定位目标芯片盒引导精确抓取。无反射板激光定位用于引导AGV存取托盘货物有较好效果，但引导机械手精确抓取芯片盒，10mm的定位精度尚为不足。且没有从众多芯片盒中快速定位指定目标芯片盒的办法。

发明内容

本发明及实施例为克服上述技术缺陷，提供一种柔性芯片生产物流缓存***。

第一方面，本发明及实施例提供一种柔性芯片生产物流缓存***，包括芯片生产物流缓存控制子***、柔性调度子***、柔性实时仿真子***和芯片盒送货子***，其中：

所述芯片生产物流缓存控制子***用于获取上位订单和生产计划信息，发送给所述柔性调度子***；

所述柔性调度子***用于根据所述上位订单、所述生产计划信息和预设的多需求多工况多异常动态确定调度策略和调度方案，在出现异常状况时，重新进行柔性实时仿真，所述异常状况包括订单多变、加工机器故障、机器检修、物流设备故障、辅料断料、品种换牌以及待处理品、废品、急件、退空盒异常；

所述柔性实时仿真子***用于根据所述调度策略和所述调度方案，得到调度缓存方案，并向所述芯片盒送货子***发送指令；

所述芯片盒送货子***用于根据所述柔性调度子***的指令，存取芯片盒，根据目标芯片盒的位置进行扫描定位引导。

优选的，所述柔性调度子***包括信息库和调度控制单元，其中：

所述信息库用于根据所述上位订单和生产计划信息，实施订单生产计划、接受处理加工流程信息和车间内的物流信息管理，所述实施订单生产计划包括对订单生产计划进行分类、合并、排队、存储和处理，所述加工流程信息包括工艺流程状态、各个芯片盒位置、盒内芯片的品种、质量、数量批次、机器故障、机器检修、品种换牌、待处理品、废品、急件、退空盒，所述车间内的物流信息管理包括物料进出车间、进出机台、进出缓存的管理，以及物流设备故障、辅料断料的变线、插队、组批重组信息；

所述调度控制单元用于根据调度规则、投料规则、缓冲站规则和瓶颈规则，对所述信息库的信息进行处理，生成所述调度策略和所述调度方案。

优选的，还包括翻板式缓存货架，所述翻板式缓存货架有地面、挂墙及车载三种模式，其中：

所述翻板式缓存货架支持在狭窄通道双向取货，翻板式缓存货架底层搁板水平定位不能转动，其他货位根据所述柔性调度子***的指令，将旋转翻板处于90度位置，为空中车从顶面存取，车载机器人从侧面存取开拓操作空间，提供存取方便；

所述翻板式缓存货架根据柔性调度子***的指令，通过翻板伺服电机、翻板伞齿轮及电磁离合器、90度旋转翻板和搁板端面由立柱上的牛腿挡块承载，地面、挂墙及车载三种模式的翻板式缓存货架具有标准化、可互换、可组合的系列和规格，根据规划设计和仿真验证，选择缓冲站设置规模和翻板式货架的型式规格。

优选的，还包括激光导航AGV自动导引车及车载机器人，所述激光导航AGV自动导引车及车载机器人包括多层多维定位导航***，其中：

第一层是配置在墙上、货架或顶棚上固定的的激光反射板，经过初始行驶，建立激光定位坐标地图；

第二层是芯片盒上附贴有源RFID，通过***可以感知盒内芯片信息和芯片盒粗略位置，并指示空中车或AGV向目标芯片盒移动；

第三层是配置在芯片盒上可开关的激光反射板，进行夹持器的定位和引导。所述激光反射板的可变维升降式激光扫描头可以根据目标芯片盒的位置智能升降，变换维度进行水平垂直多维方向进行扫描定位引导，经过伺服电机驱动齿轮带动升降齿条驱动激光扫描头升降，以便扫描挂墙式货架、高位置芯片盒等不同高度的反射板，万向关节可将所述激光扫描头的旋转方向由水平改为垂直或任意角度，用于特殊场合布置在顶棚等处的反射板。

优选的，所述芯片盒附贴有源RFID和可开闭激光反射板，其中：

目标芯片盒附贴的有源RFID用于接受所述柔性调度子***的指令，开启附贴的有源RFID上面的开关接通石墨烯薄膜连接的特种激光反射板；

所述特种激光反射板是一种特种玻璃，夹层有液晶薄膜，不通电时没有反射作用，通电状态才有反射作用；

目标芯片盒通电时，激光扫描头感知目标芯片盒的反射板及相邻若干固定反射板的位置，通过三角运算，快速获取所述目标芯片盒的位置，从而引导机械手进行抓取，避免非目标芯片盒对定位的干扰。

本发明及实施例提供的一种柔性芯片生产物流缓存***，通过柔性缓存控制***改变了事前预设、事后评估，事中需要大量难于优化的人工干预的生产调度和仿真模式，针对多变量、多异常、大规模、多重入、混合型生产的特征，采用柔性缓存控制***可以在事中不断应用调度和仿真***实时优化调整流程、机台、物流参数，达到高效、满载、稳产。通过柔性缓存控制***及RFID预知某机台某时需要的目标芯片盒的信息，缓存控制***感知就近目标芯片盒RFID信息并粗定位，引导AGV向项目标芯片盒移动，同时目标芯片盒上的特殊反射板开启，目标芯片盒获得精确定位，引导AGV机械手或空中车等到达存取。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种柔性芯片生产物流缓存***的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的双面存取翻板式货架的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的挂墙式翻板货架的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的伸缩可换向激光扫描头的结构示意图；

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明实施例提供的一种柔性芯片生产物流缓存***的结构示意图，如图1所示，包括芯片生产物流缓存控制子***11、柔性调度子***12、柔性实时仿真子***13和芯片盒送货子***14，其中：

所述芯片生产物流缓存控制子***11用于获取上位订单和生产计划信息，发送给所述柔性调度子***12；

所述柔性调度子***12用于根据所述上位订单、所述生产计划信息和预设的多需求多工况多异常动态确定调度策略和调度方案，在出现异常状况时，重新进行柔性实时仿真，所述异常状况包括订单多变、加工机器故障、机器检修、物流设备故障、辅料断料、品种换牌以及待处理品、废品、急件、退空盒异常；

所述柔性实时仿真子***13用于根据所述调度策略和所述调度方案，得到调度缓存方案，并向所述芯片盒送货子***14发送指令；

所述芯片盒送货子***14用于根据所述柔性调度子***12的指令，存取芯片盒，根据目标芯片盒的位置进行扫描定位引导。

本发明及实施例公开了一种柔性芯片生产物流缓存***，属于半导体制造领域。包括：芯片生产物流缓存控制子***11、柔性调度子***12、柔性实时仿真子***13和芯片盒送货子***14，同时，还包括地面、挂墙及车载翻板式货架，和附贴有源RFID及可开闭激光反射板的芯片盒。

上位订单或生产计划的信息，发送给芯片生产物流缓存控制子***11，芯片生产物流缓存控制子***11下发给柔性调度子***12。柔性调度子***12根据预设的多需求多工况多异常动态确定调度策略、优化物流路径优化缓存方案；柔性调度子***12一般每10-60分钟一次(可调整频次)将多个调度方案发送给柔性实时仿真子***13，当出现加工机器故障、机器检修、物流设备故障、辅料断料、品种换牌、待处理品、废品、急件、退空盒等异常时，柔性调度子***12能自动感知，重新进行柔性实时仿真。

柔性实时仿真子***13预设了多需求多工况多异常的仿真需求仿真路径，能够自动输入仿真需求数据，自动快速输出仿真结果指明最佳调度缓存方案。柔性实时仿真子***13对生产调度的方案进行分析和评估不仅用于规划设计、事前预设、事后评估如何针对大规模、多重入、混合型生产的特征，应用智能算法具有的自组织与自调整能力，快速适应复杂、多变、异常的调度获得高质量的解决方案。提供基于成熟生产仿真平台、适应半导体行业特点、高效快速反应的能够事中不断优化更新的柔性实时仿真子***13。能够每10-60分钟自动提供更新的仿真结果，修改调度方案，优化物流路径，实现生产运行无缝平稳均衡。

为应对上述异常保证机台无缝高效运转而设立的物流缓存***硬件主要有：芯片盒送货子***14、地面、挂墙及车载翻板式缓存货架和附贴有源RFID及可开闭激光反射板的芯片盒。芯片盒送货子***14包括简洁可靠高效准确的多层多维定位导航***：

一是配置在墙上、货架、顶棚上固定的的激光反射板，经过初始行驶，建立激光定位坐标地图；

二是，芯片盒上附贴有源RFID，通过***可以感知盒内芯片信息，芯片盒粗略位置，指示空中车或AGV向目标芯片盒移动；

三是，配置在芯片盒上可开关的激光反射板，进行夹持器2mm左右的精确定位和引导。可变维升降式激光扫描头可以根据目标芯片盒的位置智能升降，可变换维度进行水平垂直多维方向进行扫描定位引导。激光扫描头经过伺服电机驱动齿轮带动升降齿条驱动激光扫描头升降，以便扫描挂墙式货架、高位置芯片盒等不同高度的反射板。万向关节可将激光扫描头的旋转方向由水平改为垂直或任意角度，用于特殊场合布置在顶棚等处的反射板。

根据生产产量、品种、频次、新建或改建优化进行初步设计，将初步选择的物流缓存部位、模式、货位数、路径、应急等输入柔性实时仿真子***13进行规划设计仿真然后确定平立面布置和设备型式、数量等。

本发明及实施例提供的一种柔性芯片生产物流缓存***，通过柔性缓存控制***改变了事前预设、事后评估，事中需要大量难于优化的人工干预的生产调度和仿真模式，针对多变量、多异常、大规模、多重入、混合型生产的特征，采用柔性缓存控制***可以在事中不断应用调度和仿真***实时优化调整流程、机台、物流参数，达到高效、满载、稳产。通过柔性缓存控制***及RFID预知某机台某时需要的目标芯片盒的信息，缓存控制***感知就近目标芯片盒RFID信息并粗定位，引导AGV向项目标芯片盒移动，同时目标芯片盒上的特殊反射板开启，目标芯片盒获得精确定位，引导AGV机械手或空中车等到达存取。

在上述实施例的基础上，所述柔性调度子***包括信息库和调度控制单元，其中：

所述信息库用于根据所述上位订单和生产计划信息，实施订单生产计划、接受处理加工流程信息和车间内的物流信息管理，所述实施订单生产计划包括对订单生产计划进行分类、合并、排队、存储和处理，所述加工流程信息包括工艺流程状态、各个芯片盒位置、盒内芯片的品种、质量、数量批次、机器故障、机器检修、品种换牌、待处理品、废品、急件、退空盒，所述车间内的物流信息管理包括物料进出车间、进出机台、进出缓存的管理，以及物流设备故障、辅料断料的变线、插队、组批重组信息；

所述调度控制单元用于根据调度规则、投料规则、缓冲站规则和瓶颈规则，对所述信息库的信息进行处理，生成所述调度策略和所述调度方案。

本发明及实施例中，柔性调度子***主要包括：信息库和调度控制单元。信息库主要用于接受处理：

1)实施订单生产计划并智能分类、合并、排队、处理、存储和处理；

2)接受处理加工流程信息，包括工艺流程状态、各个芯片盒位置、盒内芯片的品种、质量、数量批次、机器故障、机器检修、品种换牌、待处理品、废品、急件、退空盒等；

3)车间内的物流信息管理，包括物料进出车间、进出机台、进出缓存的管理；物流设备故障、辅料断料的变线、插队、组批重组等信息。

调度控制单元内设调度规则、投料规则、缓冲站规则、瓶颈规则对信息库信息进行处理，生成调度方案。柔性调度子***一般每10-60分钟一次(可调整频次)多个调度方案发送给柔性实时仿真子***，进行对比验证。

该缓存***，还包括翻板式缓存货架，所述翻板式缓存货架用于通过适时翻转开拓操作空间，协助存取所述芯片盒。图2为本发明实施例提供的双面存取翻板式货架的结构示意图，如图2所示，最下面是翻板伺服电机20，在翻板伺服电机20上方依次是芯片盒21、芯片盒把手22和芯片盒卡钩23。在翻板式货架上两条平行的轨道为空中轨道小车吊带24，该货架还包括翻板伞齿轮及电磁离合器25、立柱及牛腿挡板26和90度旋转搁板27，在该货架的最上方还包括天轨28。

所述翻板式缓存货架有地面、挂墙及车载三种模式。

翻板式缓存货架有地面、挂墙及车载三种模式，支持在狭窄通道双向取货，智能翻板适时旋转。翻板式缓存货架底层搁板水平定位不能转动，其他货位可以根据柔性调度***的指令，旋转翻板处于90度位置，为空中车从顶面存取，车载机器人从侧面存取开拓了操作空间，提供存取方便。

图3为本发明实施例提供的挂墙式翻板货架的结构示意图，如图3所示，包括芯片盒反射板31、货架反射板32和升降多向式激光头33，根据调度***的指令，通过翻板伺服电机20--翻板伞齿轮及电磁离合器25---90度旋转搁板27---搁板端面由立柱及牛腿挡板26承载。地面、挂墙及车载三种模式翻板式缓存货架具有标准化、可互换、可组合的系列、规格，根据规划设计和仿真验证，选择，缓冲站设置规模、翻板式货架的型式、规格。

本发明及实施例提供的物流缓存***还包括激光导航AGV自动导引车及车载机器人，所述激光导航AGV自动导引车及车载机器人包括多层多维定位导航***，其中：

第一层是配置在墙上、货架或顶棚上固定的的激光反射板，经过初始行驶，建立激光定位坐标地图；

第二层是芯片盒上附贴有源RFID，通过***可以感知盒内芯片信息和芯片盒粗略位置，并指示空中车或AGV向目标芯片盒移动；

第三层是配置在芯片盒上可开关的激光反射板，进行夹持器的定位和引导，图4为本发明实施例提供的伸缩可换向激光扫描头的结构示意图，如图4所示，包括激光头41、万向关节42、升降齿条43和齿轮44，所述激光反射板的伸缩可换向激光扫描头可以根据目标芯片盒的位置智能升降，变换维度进行水平垂直多维方向进行扫描定位引导，经过伺服电机驱动齿轮带动升降齿条驱动激光41升降，以便扫描挂墙式货架、高位置芯片盒等不同高度的反射板，万向关节42可将所述激光扫描头的旋转方向由水平改为垂直或任意角度，用于特殊场合布置在顶棚等处的反射板。

所述芯片盒附贴有源RFID和可开闭激光反射板，其中：

目标芯片盒附贴的有源RFID用于接受所述柔性调度子***的指令，开启附贴的有源RFID上面的开关接通石墨烯薄膜连接的特种激光反射板；

特种可开闭激光反射板是一种特种玻璃，夹层有液晶薄膜，不通电时玻璃没有反射作用，通电状态才有反射作用。目标芯片盒通电时激光扫描头可以感知目标芯片盒的反射板及相邻若干固定反射板的位置，通过三角运算，可以快速精确获取目标芯片盒的位置，从而引导机械手进行抓取。避免其他众多的非目标芯片盒对定位的干扰，从而应用一个已知的激光导航***实现两个用途，新的用途是对柔性调度子***指定的目标芯片盒进行精确定位和引导抓取。避免了再安装一套新的、复杂的、响应较慢的诸如视觉导航***。并可避免无反射板激光导航***精度较低难于适应引导机械手精确抓取的需求。

下面以一个实施例进行举例说明，该实施例已经配置有空中小车芯片盒输送***、上位订单/生产计划***，物流运行通道狭窄。运行过程如下：

本发明及实施例中，芯片生产物流缓存控制子***接受上位订单和生产计划的信息，发送给现有车间(如果有)的空中车芯片盒送货***，并下发给柔性调度子***。柔性调度子***根据预设的多需求多工况多异常动态态确定调度策略、优化多个调度方案发送给柔性实时仿真子***；柔性实时仿真子***预设了记忆了多需求多工况多异常的仿真需求仿真路径，能够自动输入仿真需求数据，自动快速输出仿真结果指明最佳调度缓存方案。当出现订单多变、加工机器故障、机器检修、物流设备故障、辅料断料、品种换牌、待处理品、废品、急件、退空盒等异常时柔性调度子***能自动感知，重新进行柔性实时仿真。本发明及实施例中，根据地形和需求配置了三组挂墙翻板式缓存货架缓存站，分别为3层2排2列12个货位；2层2排2列8个货位；3层2排3列18个货位；在大节假日前生产线为清空状态时，柔性调度子***指令空中车芯片盒送货***往机台和缓存站按出货需求预测有序补货。

挂墙翻板式缓存货架不影响地面通行，支持在狭窄通道双向取货，即空中车从顶部，AGV车载机器人从侧面取货。柔性调度子***指令10翻板伺服电机通过15翻板伞齿轮及电磁离合器智能翻板适时旋转，90度旋转翻板为水平位置时，16立柱及牛腿挡板提供支撑；翻板式缓存货架具有标准化、可互换、可组合的系列、规格；翻板式缓存货架设有一个RFID及可开闭反射板，当反射板被精确定位后，可推算出每个货位的位置，追溯到柔性调度子***可得知货位芯片盒信息。翻板式缓存货架没有横梁，为空中车从顶面存取，AGV车载机器人从侧面存取开拓了操作空间，提供存取方便。

柔性调度子***经过柔性实时仿真子***验证后通过RFID指令特定目标芯片盒通过空中车或AGV车载机器人移动。芯片盒附贴的有源RFID通过射频技术只能提供粗定位信息。开启附贴于有源RFID上精确定位的可远程开闭反射板，才能实现芯片盒的精准定位。

本发明及实施例提供的一种柔性芯片生产物流缓存***，通过柔性缓存控制***改变了事前预设、事后评估，事中需要大量难于优化的人工干预的生产调度和仿真模式，针对多变量、多异常、大规模、多重入、混合型生产的特征，采用柔性缓存控制***可以在事中不断应用调度和仿真***实时优化调整流程、机台、物流参数，达到高效、满载、稳产。通过柔性缓存控制***及RFID预知某机台某时需要的目标芯片盒的信息，缓存控制***感知就近目标芯片盒RFID信息并粗定位，引导AGV向项目标芯片盒移动，同时目标芯片盒上的特殊反射板开启，目标芯片盒获得精确定位，引导AGV机械手或空中车等到达存取。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书定义的范围。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (4)

1.一种柔性芯片生产物流缓存***，其特征在于，包括芯片生产物流缓存控制子***、柔性调度子***、柔性实时仿真子***和芯片盒送货子***，其中：

所述芯片生产物流缓存控制子***用于获取上位订单和生产计划信息，发送给所述柔性调度子***；

所述柔性调度子***用于根据所述上位订单、所述生产计划信息和预设的多需求多工况多异常动态确定调度策略和调度方案，在出现异常状况时，重新进行柔性实时仿真，所述异常状况包括订单多变、加工机器故障、机器检修、物流设备故障、辅料断料、品种换牌以及待处理品、废品、急件、退空盒异常；

所述柔性实时仿真子***用于根据所述调度策略和所述调度方案，得到调度缓存方案，并向所述芯片盒送货子***发送指令；

具体包括，所述柔性实时仿真子***对所述调度方案进行分析和评估，应用智能算法获得最佳的调度缓存方案，向芯片盒送货子***发送指令；

所述芯片盒送货子***用于根据所述柔性调度子***的指令，存取芯片盒，根据目标芯片盒的位置进行扫描定位引导；

所述芯片盒附贴有源RFID和可开闭激光反射板，其中：

目标芯片盒附贴的有源RFID用于接受所述柔性调度子***的指令，开启附贴的有源RFID上面的开关接通石墨烯薄膜连接的特种激光反射板；

所述特种激光反射板是一种特种玻璃，夹层有液晶薄膜，不通电时没有反射作用，通电状态才有反射作用；

目标芯片盒通电时，激光扫描头感知目标芯片盒的反射板及相邻若干固定反射板的位置，通过三角运算，快速获取所述目标芯片盒的位置，从而引导机械手进行抓取，避免非目标芯片盒对定位的干扰。

2.根据权利要求1所述的***，其特征在于，所述柔性调度子***包括信息库和调度控制单元，其中：

所述信息库用于根据所述上位订单和生产计划信息，实施订单生产计划、接受处理加工流程信息和车间内的物流信息管理，所述实施订单生产计划包括对订单生产计划进行分类、合并、排队、存储和处理，所述加工流程信息包括工艺流程状态、各个芯片盒位置、盒内芯片的品种、质量、数量批次、机器故障、机器检修、品种换牌、待处理品、废品、急件、退空盒，所述车间内的物流信息管理包括物料进出车间、进出机台、进出缓存的管理，以及物流设备故障、辅料断料的变线、插队、组批重组信息；

所述调度控制单元用于根据调度规则、投料规则、缓冲站规则和瓶颈规则，对所述信息库的信息进行处理，生成所述调度策略和所述调度方案。

3.根据权利要求1所述的***，其特征在于，还包括翻板式缓存货架，所述翻板式缓存货架有地面、挂墙及车载三种模式，其中：

所述翻板式缓存货架支持在狭窄通道双向取货，翻板式缓存货架底层搁板水平定位不能转动，其他货位根据所述柔性调度子***的指令，将旋转翻板处于90度位置，为空中车从顶面存取，车载机器人从侧面存取开拓操作空间，提供存取方便；

所述翻板式缓存货架根据柔性调度子***的指令，通过翻板伺服电机、翻板伞齿轮及电磁离合器、90度旋转翻板和搁板端面由立柱上的牛腿挡块承载，地面、挂墙及车载三种模式的翻板式缓存货架具有标准化、可互换、可组合的系列和规格，根据规划设计和仿真验证，选择缓冲站设置规模和翻板式货架的型式规格。

4.根据权利要求1所述的***，其特征在于，还包括激光导航AGV自动导引车及车载机器人，所述激光导航AGV自动导引车及车载机器人包括多层多维定位导航***，其中：

第一层是配置在墙上、货架或顶棚上固定的的激光反射板，经过初始行驶，建立激光定位坐标地图；

第二层是芯片盒上附贴有源RFID，通过***可以感知盒内芯片信息和芯片盒粗略位置，并指示空中车或AGV向目标芯片盒移动；

第三层是配置在芯片盒上可开关的激光反射板，进行夹持器的定位和引导，所述激光反射板的可变维升降式激光扫描头可以根据目标芯片盒的位置智能升降，变换维度进行水平垂直多维方向进行扫描定位引导，经过伺服电机驱动齿轮带动升降齿条驱动激光扫描头升降，以便扫描不同高度的反射板，万向关节可将所述激光扫描头的旋转方向由水平改为垂直或任意角度，用于特殊场合布置的反射板。

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