CN109250502B - 基板输送装置 - Google Patents

基板输送装置 Download PDF

Info

Publication number
CN109250502B
CN109250502B CN201811212397.5A CN201811212397A CN109250502B CN 109250502 B CN109250502 B CN 109250502B CN 201811212397 A CN201811212397 A CN 201811212397A CN 109250502 B CN109250502 B CN 109250502B
Authority
CN
China
Prior art keywords
bearing seat
substrate
side edge
base
transport apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811212397.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109250502A (zh
Inventor
胡亮亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co Ltd
Priority to CN201811212397.5A priority Critical patent/CN109250502B/zh
Priority to PCT/CN2019/071723 priority patent/WO2020077902A1/zh
Publication of CN109250502A publication Critical patent/CN109250502A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109250502B publication Critical patent/CN109250502B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明提供一种基板输送装置。基板输送装置包括底座、承载座、传动机构及定位机构。承载座可移动地设置于底座上，用于承载基板，承载座具有第一侧边及与所述第一侧边相对的第二侧边。传动机构抵接于承载座，用于传动承载座进出底座。定位机构包括至少一阻挡元件和至少一升降元件，阻挡元件设置于底座上且靠近承载座的第一侧边，升降元件设置于底座上且靠近承载座的第二侧边，用于移动承载座以至抵靠于阻挡元件，以及用于移动承载座以至抵接于传动机构。

Description

基板输送装置
技术领域
本发明涉及基板输送领域，尤其涉及一种基板输送装置。
背景技术
目前液晶显示面板、半导体元件或太阳能电池等电子产品的制备皆需要对各种基板执行多重制程，例如：蚀刻、溅镀(Sputtering)以及清洁等制程，这些制程可能分别由单一的制程机台来执行。由于必须进行多重制程，基板便必须被取放，然后从一制程机台被输送至下一制程机台。制程机台上的基板承载座(Carrier)因长时间的使用容易造成自身机构磨损或是变形，如此使得它在制程机台上的位置偏离原本被设定的位置。当取放基板时，尤其是玻璃基板，便可能因基板承载座的位置偏离而造成破片，此问题不仅影响产能，也使制造成本增加。
因此，有必要提供一种基板输送装置，以解决上述基板破片之问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基板输送装置，可以提升基板取放的精准度，且降低基板破片的机会。
为实现上述目的，本发明提供一种基板输送装置，其特征在于，包括:一底座；一承载座，可移动地设置于所述底座上，用于承载一基板，所述承载座具有第一侧边及与所述第一侧边相对的第二侧边；一传动机构，抵接于所述承载座，用于传动所述承载座进出所述底座；以及一定位机构，包括：至少一阻挡元件，设置于所述底座上且靠近所述承载座的第一侧边；以及至少一升降元件，设置于所述底座上且靠近所述承载座的第二侧边，用于移动所述承载座以至抵靠于所述阻挡元件，以及用于移动所述承载座以至抵接于所述传动机构。
在一些实施方式中，所述至少一升降元件用于向上移动所述承载座以至抵靠于所述阻挡元件。
在一些实施方式中，所述至少一升降元件用于向下移动所述承载座以至抵接于所述传动机构。
在一些实施方式中，所述传动机构包括多个间隔设置的滚轮,所述多个滚轮抵接于所述承载座的第二侧边。
在一些实施方式中，所述升降元件包括气压缸。
在一些实施方式中，所述承载座为金属框体。
在一些实施方式中，所述基板为玻璃基板。
在一些实施方式中，所述定位机构包括二所述阻挡元件，所述二阻挡元件分别设置于所述底座靠近所述承载座的第一侧边的二角落。
在一些实施方式中，所述升降元件抵靠于所述承载座的第二侧边。
在一些实施方式中，所述定位机构包括二所述升降元件，所述二升降元件分别抵靠于所述承载座的第二侧边的二相对端。
为让本发明的特征以及技术内容能更明显易懂，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种基板输送装置的结构示意图；
图2为图1的基板输送装置于第一使用状态的结构示意图；
图3为图1的基板输送装置于第二使用状态的结构示意图；
图4为图1的基板输送装置于第三使用状态的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术手段及其效果更加清楚明确，以下将结合附图对本发明作进一步地阐述。应当理解，此处所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，并不用于限定本发明。
请参考图1，其示出本发明实施例提供的一种基板输送装置的结构示意图，基板输送装置1包括:底座10、承载座12、传动机构14及定位机构16。其中，承载座12可移动地设置于底座10上，用于承载基板20(如图3、图4所示)。为了容易理解及说明，将承载座12以虚线框示意性地表示其所占区域。如图1所示，承载座12具有第一侧边121及与所述第一侧边121相对的第二侧边122。在一些实施方式中，承载座12为金属框体。
如图1所示，传动机构14抵接于承载座12，用于传动承载座12进出底座10。在本发明实施方式中，传动机构14包括多个间隔设置的滚轮140,多个滚轮140抵接于承载座12的第二侧边122。
继续参考图1，定位机构16包括：至少一阻挡元件160及至少一升降元件162。阻挡元件160设置于底座10上且靠近承载座12的第一侧边121。在本发明实施方式中，定位机构16包括二个阻挡元件160，分别设置于底座10靠近承载座12的第一侧边121的二角落100，且二阻挡元件160皆位于定位线A-A上。定位线A-A同时表示承载座12的原先设定的位置，图1显示目前承载座12的位置已偏离定位线A-A，亦即代表承载座12的位置需被校正至对齐定位线A-A。升降元件162设置于底座10上且靠近承载座12的第二侧边122，用于向上移动承载座12以至抵靠于阻挡元件160，以及用于向下移动承载座12以至抵接于传动机构14。在一些实施方式中，升降元件162包括气压缸(Cylinder)，且升降元件162抵靠于承载座12的第二侧边122。在本发明实施方式中，定位机构16包括二升降元件162，二升降元件162分别抵靠于承载座12的第二侧边122的二相对端。但本发明的应用不限于上述的举例，升降元件162亦可不抵靠于承载座12的第二侧边122。
图2为图1的基板输送装置于第一使用状态的结构示意图。结合图1来参考图2，升降元件162被驱动而向上移动承载座12以至抵靠于阻挡元件160，如此使得承载座12对齐定位线A-A，代表承载座12回复至原先设定的位置。同时，可观察到承载座12和传动机构14呈分离状态。
图3为图1的基板输送装置于第二使用状态的结构示意图。结合图2来参考图3，由于此时承载座12已位于底座10上原先被设定的位置，因此当机器手臂(未图示)取放基板20于承载座12上时，可避免基板20因与承载座12产生干涉而形成破片。在一些实施方式中，基板20可以为玻璃基板。
图4为图1的基板输送装置于第三使用状态的结构示意图。结合图3来参考图4，此时基板20已完整无损地放置于承载座12上，由于基板20即将被输送至下一制程机台，因此升降元件162被驱动而向下移动承载座12以至抵接于传动机构14。同时，可观察到承载座12已经与阻挡元件160分离。
综上所述，本发明提供的一种基板输送装置,主要通过定位机构的设置来让承载座回复至原先设定的位置，如此可以提升基板取放的精准度，降低基板破片的机会，不但可以提升产能，而且能够降低制作成本。
应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种基板输送装置,其特征在于,包括:
一底座；
一承载座，可移动地设置于所述底座上，用于承载一基板，所述承载座具有第一侧边及与所述第一侧边相对的第二侧边；
一传动机构，抵接于所述承载座的第二侧边，用于传动所述承载座进出所述底座；以及
一定位机构，包括：
至少一阻挡元件，设置于所述底座上且靠近所述承载座的第一侧边；以及
至少一升降元件，设置于所述底座上且靠近所述承载座的第二侧边，用于移动所述承载座自所述传动机构分离以至抵靠于所述阻挡元件，以及用于移动所述承载座自所述阻挡元件分离以至抵接于所述传动机构。
2.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：所述至少一升降元件用于向上移动所述承载座以至抵靠于所述阻挡元件。
3.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：所述至少一升降元件用于向下移动所述承载座以至抵接于所述传动机构。
4.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：所述传动机构包括多个间隔设置的滚轮,所述多个滚轮抵接于所述承载座的第二侧边。
5.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：所述升降元件包括气压缸。
6.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：所述承载座为金属框体。
7.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：所述基板为玻璃基板。
8.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：所述定位机构包括二所述阻挡元件，所述二阻挡元件分别设置于所述底座靠近所述承载座的第一侧边的二角落。
9.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：所述升降元件抵靠于所述承载座的第二侧边。
10.如权利要求9所述的基板输送装置，其特征在于：所述定位机构包括二所述升降元件，所述二升降元件分别抵靠于所述承载座的第二侧边的二相对端。
CN201811212397.5A 2018-10-18 2018-10-18 基板输送装置 Active CN109250502B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811212397.5A CN109250502B (zh) 2018-10-18 2018-10-18 基板输送装置
PCT/CN2019/071723 WO2020077902A1 (zh) 2018-10-18 2019-01-15 基板输送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811212397.5A CN109250502B (zh) 2018-10-18 2018-10-18 基板输送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109250502A CN109250502A (zh) 2019-01-22
CN109250502B true CN109250502B (zh) 2020-08-11

Family

ID=65045904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811212397.5A Active CN109250502B (zh) 2018-10-18 2018-10-18 基板输送装置

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN109250502B (zh)
WO (1) WO2020077902A1 (zh)

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4650064A (en) * 1985-09-13 1987-03-17 Comptech, Incorporated Substrate rotation method and apparatus
TWI265905B (en) * 2003-08-20 2006-11-11 Shinko Electric Co Ltd Substrate installation/removal device, substrate installation/removal method, substrate carrier device, and substrate carrier method
CN1922087A (zh) * 2004-03-01 2007-02-28 平田机工株式会社 基板输出输入装置以及基板输出输入方法
JP4840595B2 (ja) * 2007-02-20 2011-12-21 株式会社Ｉｈｉ 基板搬送機
DE102008015982B3 (de) * 2008-03-27 2009-07-30 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Fixierung und den Weitertransport stoßempfindlicher Platten in Sputter-Beschichtungsanlagen, Computerprogramm zur Durchführung des Verfahrens und maschinenlesbarer Träger hierzu
KR101466118B1 (ko) * 2013-03-21 2014-11-28 서울과학기술대학교 산학협력단 양방향 로봇이송장치
CN104576472A (zh) * 2013-10-25 2015-04-29 英属开曼群岛商精曜有限公司 直立式基板传送装置
CN206827622U (zh) * 2017-04-26 2018-01-02 天津中晟达科技有限公司 一种托盘分拣机构

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020077902A1 (zh) 2020-04-23
CN109250502A (zh) 2019-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7497317B2 (en) Apparatus for conveying and raising objects
KR101449487B1 (ko) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
US10381257B2 (en) Substrate conveying robot and substrate processing system with pair of blade members arranged in position out of vertical direction
KR101854044B1 (ko) 텐션 롤러를 갖는 타워 리프트
CN107887297B (zh) 基板对齐装置及方法、基板处理装置及方法、基板排列装置及方法
CN106716618B (zh) 试样移动载置***及太阳能电池的制造方法
EP1845552B1 (en) Transportation system and transportation method
KR20070070731A (ko) 기판 절단 장치
KR20190086671A (ko) 판유리의 제조 방법 및 판유리의 스냅 커팅 장치
KR20160027716A (ko) 기판 이송장치
CN109250502B (zh) 基板输送装置
JP2006347752A (ja) 搬送システム
KR101374670B1 (ko) 카세트 이송 장치
CN103247522A (zh) 离子注入方法、输送容器及离子注入装置
KR102141200B1 (ko) 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치
KR20140003717A (ko) 선입, 선출이 가능한 기판 버퍼장치 및 그 구동방법
US10287106B2 (en) Distribution method and distribution apparatus for distributing glass substrates and related processing system
KR101666803B1 (ko) 정렬장치 및 이를 구비한 카세트 공급시스템
JP4216029B2 (ja) 薄板搬送装置
KR20140091503A (ko) 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법
JP2007039158A (ja) 搬送装置および真空処理装置
JP4474672B2 (ja) 基板移載装置
JP2013165177A (ja) ストッカー装置
JP3248654B2 (ja) 洗浄装置
JP2003124293A (ja) 薄板物品の位置決め装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant