CN109216231B - 用于形成图案的设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于形成图案的设备。用于形成图案的设备包含：支撑单元，加工对象安放于支撑单元上；喷嘴单元，安置于支撑单元上以排出溶液；块夹具，安置于支撑单元上且具有安装孔以便安装喷嘴单元；以及固定构件，将喷嘴单元限定在安装孔内。因此，当替换喷嘴时，喷嘴在位置可重复性上可得到改进。

Description

用于形成图案的设备
技术领域
本公开涉及一种用于形成图案的设备，且更确切地说涉及一种用于形成图案的当替换喷嘴时能够改进位置可重复性的用于形成图案的设备。
背景技术
用于制造半导体、平板显示器(flat panel displays；FPD)、印刷电路板(printedcircuit boards；PCB)等等的各种设施包含修复装置，所述修复装置能够通过使用电流体动力学(electrohydrodynamics；EHD)以细小液滴形式将导电油墨排出到衬底上来形成若干微米(μm)宽度的线形图案。
由于上文所描述的修复装置的EHD喷嘴(下文称作“喷嘴单元”)具有消耗性，因此在执行预定次数的修复过程后，所用喷嘴单元必须替换为新的喷嘴单元。
根据现有技术的修复装置并不具有当替换喷嘴单元时保持喷嘴单元的位置可重复性的结构。因此，限制在于所替换新的喷嘴单元的喷嘴的端部从修复装置的光学部分的观测区域偏离。另外，在替换喷嘴单元后，光学单元的视觉区域难以与喷嘴单元的喷嘴的端部匹配。
本公开的背景技术公开于以下专利文献中。
[现有技术文献]
[专利文献]
(专利文献1)KR10-2016-0109631 A
发明内容
本公开提供一种用于形成图案的设备，所述用于形成图案的设备能够在替换喷嘴时改进位置可重复性。
根据示例性实施例，一种用于形成图案的设备，所述用于形成图案的设备排出溶液以形成图案，所述用于形成图案的设备包含：支撑单元，加工对象安放在支撑单元上；喷嘴单元，安置于支撑单元上以排出溶液；块夹具，安置于支撑单元上且具有安装孔以便安装喷嘴单元；以及固定构件，配置成将喷嘴单元限定在安装孔内。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，固定构件可安置于喷嘴单元与安装孔彼此面对的表面中的至少一个表面上。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，固定构件可包含钩状构件，所述钩状构件安置成环绕喷嘴单元的外圆周表面的至少一部分或安装孔的内壁的至少一部分，且钩状构件可与安装孔的内壁或喷嘴单元的外圆周表面接触以将喷嘴单元的位置限定在安装孔内。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，固定构件可包含钩槽，使所述钩槽凹进以环绕安装孔的内壁的至少一部分或喷嘴单元的外圆周表面的至少一部分以使得可***钩状构件。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，固定构件可包含：耦合槽，从喷嘴单元的外圆周表面的至少一个位置凹进；以及耦合突起，安装于安装孔的内壁的至少一个位置上且弹性地支撑以使得可将耦合突起***到耦合槽中。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，耦合突起可在与安置有喷嘴单元的方向交叉的竖直方向和水平方向上相对于喷嘴单元的中心轴间隔开以朝向喷嘴单元突出。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，块夹具可包含多个块，所述多个块彼此可拆卸地耦合以使得其一侧可相对于安装孔打开，且多个块中的相对于安装孔安置在一侧处的一个块可可旋转地安装于另一侧处的另一块上。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，块夹具可包含：下部块，设置有平行于安置有喷嘴单元的方向的一个表面；上部块，在安置有喷嘴单元的方向上延伸，位于下部块的所述一个表面的一个区域上；以及覆盖块，可旋转地安装于上部块上从而可从下部块的所述一个表面的另一区域拆卸，其中安装孔在安置有喷嘴单元的方向上穿过下部块的所述一个表面上的上部块与覆盖块彼此面对的表面中的每一个。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，下部块的所述一个表面的一个区域和另一区域可由在安置有喷嘴单元的方向上延伸，且位于下部块的所述一个表面上的区域线分隔。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，块夹具可包含锁定构件，所述锁定构件安装以在与安置有喷嘴单元的方向交叉的方向上穿过上部块和覆盖块，锁定构件可在其穿过上部块的端部上具有螺纹且锁合到上部块，且锁定构件穿过覆盖块的一部分可穿过覆盖块且可滑动地支撑，且对应于锁定构件的端部上的螺纹的螺纹可设置在穿孔的两端远离上部块的端部上，所述穿孔定义于覆盖块中以使得锁定构件穿过。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，喷嘴单元可包含：喷嘴部件，安置于支撑单元上且具有溶液以电流体动力学方式穿过的通道；销部件，安置于喷嘴部件的通道中；以及连接器部件，连接到销部件以供应电力。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，喷嘴单元可包含：鲁尔部件，安装以将喷嘴部件连接到连接器部件；以及接头部件，安置于鲁尔部件内以支撑销部件从而与喷嘴部件的中心轴对准，其中销部件可固定地安装于接头部件上且与喷嘴部件的内圆周表面间隔开。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，喷嘴单元可包含固定部件，所述固定部件在相对于连接器部件与鲁尔部件相反的一侧处***到连接器部件的内部中且安装于连接器部件的内部上且具有与接头部件接触的端部，其中接头部件的一端可与鲁尔部件的内表面接触，且接头部件的另一端可与连接器部件的内圆周表面间隔开且与固定部件的端部接触从而固定位置。
在根据本发明的实施例的用于形成图案的设备中，喷嘴部件可包含玻璃和蓝宝石中的至少一个，销部件可包含钨、金、银以及铜中的至少一种导电材料，接头部件、连接器部件以及安置于连接器部件内的固定部件的至少一部分包括导电材料，且溶液可包含导电油墨。
附图说明
通过结合附图进行的以下描述可更详细地理解示例性实施例，在所述附图中：
图1是根据示例性实施例的用于形成图案的设备的示意图。
图2是根据示例性实施例的喷嘴单元的示意图。
图3是根据示例性实施例的喷嘴单元的侧视横截面图。
图4是根据示例性实施例的喷嘴单元和块夹具的示意图。
图5是根据示例性实施例的块夹具的局部视图。
图6是根据示例性实施例的说明在安装喷嘴单元时所剪切的块夹具的情况的侧视横截面图。
图7是说明根据示例性实施例的在安装喷嘴单元时沿图4的辅助线A到线A'截取的块夹具的情况的前视横截面图。
图8是说明根据示例性实施例的在块夹具的一侧打开时沿图4的辅助线A到线A'截取的块夹具的情况的前视横截面图。
具体实施方式
在下文中，将参看附图详细地描述特定实施例。然而，本发明可以不同的形式来体现，且不应解释为限于本文所阐述的实施例。而是，提供这些实施例是为了使得本发明将是透彻并且完整的，并且这些实施例将把本发明的范围充分地传达给所属领域的技术人员。在附图中，出于说明清楚起见而夸大了层和区域的尺寸。相同附图标号在全文中指代相同元件。
图1是根据示例性实施例的用于形成图案的设备的示意图，图2是根据示例性实施例的喷嘴单元的示意图，且图3是根据示例性实施例的喷嘴单元的侧视横截面图。
另外，图4是根据示例性实施例的喷嘴单元和块夹具的示意图，图5是根据示例性实施例的块夹具的局部视图，且图6是说明根据示例性实施例的在安装喷嘴单元时所剪切的块夹具的情况的侧视横截面图。
另外，图7是说明根据示例性实施例的在安装喷嘴单元时沿图4的辅助线A到线A'截取的块夹具的情况的前视横截面图，且图8是说明根据示例性实施例的在块夹具的一侧打开时沿图4的辅助线A到线A'截取的块夹具的情况的前视横截面图。
在下文中，示范性实施例将基于油墨修复过程和FPD制造领域的设施来详细地描述。然而，本公开可应用于用于通过使用电流体动力学现象排出各种液体材料以在待加工的对象(下文称作加工对象)上形成图案的各种方法和设施。
在下文中，将参考图1到图5详细地描述根据示例性实施例的沉积设备。根据示例性实施例的用于形成图案的设备可以是用于形成通过使用电流体动力学现象排出溶液制造的图案的设备，且可包含：支撑单元100，使得加工对象10安放于其上；喷嘴单元200，安置于支撑单元100上以将溶液排出到加工对象上；块夹具300，安装孔H1定义于所述块夹具300中以允许安装喷嘴单元200，所述块夹具300安置于支撑单元100上；以及固定构件，将喷嘴单元200限定在安装孔H1内。此处，固定构件可包含钩状构件241、第一耦合突起360以及第二耦合突起370中的至少一个且进一步包含钩槽321和耦合槽252中的至少一个。
另外，根据示例性实施例的用于形成图案的设备可包含：安装单元400，块夹具300安装于所述安装单元400上；电源单元500，连接到喷嘴单元200；照明单元610，安置于支撑单元100下以产生用于对加工对象上的图案进行摄影的光；光学单元620，安置于支撑单元100下以对加工对象10的图案进行摄影；以及控制单元700，控制上文所描述的组件的操作。
加工对象10可以是衬底，在所述衬底上进行或完成制造各种电子元件或在衬底的一个表面上形成导电图案的过程。举例来说，加工对象10可包含各种衬底，在所述各种衬底上形成预定图案且所述各种衬底由玻璃材料、硅材料、塑料材料等等制造。加工对象10可支撑于支撑单元100的顶部表面上。
溶液可包含用于在加工对象10的顶部表面上形成线形图案的导电油墨。导电墨水可包含油墨颗粒和溶剂。油墨颗粒可包含金属颗粒，如金、银、铂、铬以及其合金或氧化物，且可含有离子。可提供溶剂作为挥发性材料、水溶性材料或脂溶性材料。溶液不限于上文所描述的材料。举例来说，溶液可包含通过使用电流体动力学现象喷射到加工对象10上以形成导电图案的各种溶液。
可形成支撑单元100以将加工对象10安放于其上。支撑单元100可包含形成的载台玻璃以将加工对象10支撑于其顶部表面上。支撑单元100可具有对准构件(未示出)以用于使加工对象10的位置与其边缘附近的理想位置对准。用于升高加工对象10的顶杆(未示出)用于支撑加工对象10的真空吸盘(未示出)可安置于支撑单元100的顶部表面上。支撑单元100可固定且安装在台(未示出)上，例如，可安装在台上以使得支撑单元100可相对于台在前/后方向、左/右方向以及竖直/水平方向上移动。
喷嘴单元200可安置于支撑单元100上以排出溶液，且***到安装孔H1中以便限制安装孔H1中对应于至少三个自由度的移动。此处，喷嘴单元200可朝上与支撑单元100间隔开来安置，但并不特定地限于此。喷嘴单元200可排出极小量的溶液以在加工对象10的顶部表面上形成图案或修复形成于加工对象10的顶部表面上的图案的缺陷。
喷嘴单元200可包含：喷嘴部件210，安置于支撑单元100上以面对加工对象10且提供溶液通过电流体动力学现象穿过的通道；销部件220，安置于喷嘴部件210的通道中，与喷嘴部件210的中心轴对准，且接收电力以充当电极；连接器部件250，连接到销部件220；鲁尔部件240，安装以将喷嘴部件210连接到连接器部件250；接头部件230，安置于鲁尔部件240中以支撑销部件220以使得销部件220与喷嘴部件210的中心轴对准；以及固定部件260，在相对于连接器部件250的中心与鲁尔部件240相反的一侧处***到连接器部件250内部中且安装在所述连接器部件250的内部上，且具有与接头部件230接触的端部。此处，中心轴可表示在组件延伸的方向上的中心轴。举例来说，喷嘴部件210的中心轴可表示在喷嘴部件210延伸的方向上的中心轴。
喷嘴部件210可安置于支撑单元100上从而朝向加工对象10倾斜。喷嘴部件210可具有在一个方向1上延伸且在一个方向1上穿过喷嘴部件210的通道。溶液可填充到通道中。也就是说，通道可以是沿其排出溶液的路径且用作容纳溶液的空间。喷嘴部件210的端部可具有泰勒锥(taylor cone)形状且具有若干微米(μm)的内径。溶液可通过喷嘴部件210的端部排出，且用于排出溶液的压力可由电流体动力学现象产生。喷嘴部件210除端部以外的剩余部分的内径可大于端部的内径，例如，具有比端部的内径大数十微米(μm)或数百微米(μm)的内径。
喷嘴部件210可包含玻璃和蓝宝石中的至少一种材料。当与金属材料相比较时，玻璃材料和蓝宝石材料可易于加工。因此，喷嘴部件210可准确地成形为所需形状和大小。特别地，可将溶液排出口加工成所需大小和形状，所述溶液排出口是通道的端部、安置在喷嘴部件210的端部。另外，喷嘴部件210可进一步包含能够将溶液排出口加工成所需大小和形状的各种非导电材料。
可安装喷嘴部件210以使其在一个方向1上穿过鲁尔部件240以与鲁尔部件240的内部连通。销部件220可安置于喷嘴部件210的通道中。
销部件220可安置于喷嘴部件210的通道中，与通道的中心轴对准，且与通道的内圆周表面间隔开。销部件220可通过接头部件230和固定部件260电连接到连接器部件250，且接收电力以充当电极。电场可通过销部件220产生于喷嘴部件210与加工对象10之间，且可利用电场通过喷嘴部件210的溶液排出口精确地排出极小量的溶液。这可称为通过电流体动力学现象排出溶液。
销部件220可安置于喷嘴部件210的通道中且具有数十微米(μm)到数百微米(μm)的直径以使得销部件220与通道的内圆周表面间隔开，且还可在一个方向1上延伸数十毫米(mm)。销部件220可具有各种横截面形状，如环形形状、椭圆形状、矩形形状、多边形形状等等。可考虑到当销部件220充当电极时电场的特征以及在喷嘴部件210的通道内除由销部件220占据的区域以外的有效横截面区域来充分地确定销部件220的横截面形状和直径。销部件220的端部可具有逐渐变窄的形状且一直延伸到喷嘴部件210的溶液排出口的附近。
销部件220的一部分可延伸到鲁尔部件240的内部且接着在一个方向1上安装于接头部件230上。销部件220可安装且固定到接头部件230，且与喷嘴部件210的中心轴对准。因此，电场可均匀地产生于喷嘴部件210下以将均匀的力施加到溶液内的离子，进而精确地调整溶液的排出量。
销部件220可由导电材料制造以使得销部件220接收电力以充当电极。举例来说，当销部件220具有数十毫米(mm)的长度和数十微米(μm)到数百微米(μm)的直径时，销部件220可由具有充足硬度的各种金属或合金材料制造以使得销部件220不因自身重量或溶液压力而弯曲。销部件220可由钨、金、银、铂、铜以及铝中的至少一种导电材料制造。
接头部件230可相对于鲁尔部件240的中心从喷嘴部件210的相对侧***到鲁尔部件240中，且接着固定以支撑销部件220。接头部件230可具有圆柱形形状，但并不特定地限于此。接头部件230可具有直径以使得接头部件230与鲁尔部件240的内表面接触。
接头部件230可在一个方向1上延伸，且接头部件230朝向喷嘴部件210的一端的边缘可与鲁尔部件240接触，且接头部件230朝向连接器部件250的另一端可与固定部件260的一端接触。因此，接头部件230可固定。
接头部件230可由导电材料制造以使得接头部件230从固定部件260接收电力以将电力传输到销部件220。此处，导电材料可包含各种金属或合金材料。接头部件230可由与销部件220相同的材料制造。
喷嘴部件210可安装于鲁尔部件240上且由所述鲁尔部件240支撑。鲁尔部件240可将喷嘴部件210连接到连接器部件250。鲁尔部件240可在一个方向1上延伸且具有使用喷嘴部件210的中心轴作为中心的中空旋转主体。鲁尔部件240的一侧的内圆周表面可具有对应于喷嘴部件210的外径和喷嘴部件210的外圆周表面的形状的内径和形状。另外，鲁尔部件240的另一侧的内圆周表面可具有对应于接头部件230的外径和接头部件230的外圆周表面的形状的内径和形状。另外，鲁尔部件240的另一侧的外圆周表面可具有对应于连接器部件250的内径和连接器部件250的外圆周表面的形状的外径和形状。喷嘴部件210可安装于鲁尔部件240的一侧的内圆周表面上，且螺纹可设置在鲁尔部件240的另一侧的外圆周表面上。其结果是，连接器部件250可例如锁合到螺纹。
接头部件230可安置于鲁尔部件240的另一侧内，且阶梯式表面或倾斜表面作为与接头部件230的接触表面可提供于鲁尔部件240的一侧的内圆周表面与另一侧之间以固定接头部件230的一端。可提供鲁尔部件240的接触表面作为内径从鲁尔部件240的另一侧到一侧逐渐减小的倾斜表面。因此，接头部件230可与喷嘴部件210的中心轴对准且固定在其位置中，同时接头部件230的一端紧密地附接到鲁尔部件240的倾斜表面。
鲁尔部件240可由非导电材料制造，例如塑料材料。销部件220、接头部件230以及鲁尔部件240可与喷嘴部件210的中心轴对准，且鲁尔部件240的内部可与喷嘴部件210的内部连通。销部件220可电连接到接头部件230，且喷嘴部件210和鲁尔部件240可彼此电绝缘。
连接器部件250可相对于鲁尔部件240的中心从喷嘴部件210的相对侧***到鲁尔部件240的另一侧的外圆周表面中且安装于所述鲁尔部件240的另一侧的外圆周表面上。连接器部件250可在一个方向1上延伸且具有其中有预定空间的中空圆柱形形状，所述预定空间在一个方向1上穿过连接器部件250的内部。螺纹可设置在连接器部件250的一端的内圆周表面上以使得鲁尔部件240安装于连接器部件250的一端的内圆周表面上。
在连接器部件250中，在与朝向另一端的一端间隔开的预定位置处，内圆周表面可朝向连接器部件250的中心轴突出，且螺纹可设置在突出部分的内圆周表面上。固定部件260可锁合到螺纹，所述螺纹设置在连接器部件250的内圆周表面的突出部分上。连接器部件250和固定部件260可通过连接器部件250的内圆周表面的突出部分彼此电连接。
可安装连接器部件250以使得连接器部件250朝向鲁尔部件240的一端环绕鲁尔部件240的另一端的外圆周表面，且固定部件260***到与一端相反的另一端中且安装于所述另一端上。此处，可安装连接器部件250的另一端以环绕固定部件260的一侧的圆周表面。
可使连接器部件250的一端的外圆周表面的至少一部分凹进以定义预定***槽251。电源单元500、例如‘Y’形或‘U’形的夹片构件510可装进***槽251中且耦合到所述***槽251。此处，***槽251在一个方向1上的宽度可与夹片构件510在一个方向1上的宽度相同，且因此，夹片构件510可结合到***槽251中而在其间无间隙。电力可通过电源单元500的夹片构件510施加到连接器部件250，所述夹片构件510结合到定义于连接器部件250的外圆周表面中的***槽251中。连接器部件250可由导电材料制造，例如各种金属或合金材料。另外，连接器部件250可由与销部件220相同的材料制造。
连接器部件250可不具有紧密地附接到接头部件230的另一端或与所述接头部件230的另一端接触的结构，以防止不必要的力施加到连接器部件250与鲁尔部件240之间的耦合表面上的螺纹。因此，当连接器部件250和鲁尔部件240彼此耦合时，接头部件230可不在结构上干扰连接器部件250和鲁尔部件240。也就是说，当连接器部件250安装于鲁尔部件240上时，可防止所述不必要的力施加到连接器部件250与鲁尔部件240之间的耦合表面的螺纹。因此，可有效地防止由相对软的材料制造的鲁尔部件240的磨损。
接头部件230相对于鲁尔部件240和连接器部件250以自由状态置放，且通过固定部件260紧密地附接到鲁尔部件240且接着固定位置。由于接头部件230在结构上并不由连接器部件250按压，因此鲁尔部件240和连接器部件250可彼此平稳地连接。因此，可保护鲁尔部件240与连接器部件250之间的连接结构，所述连接结构由于其材料而具有相对弱的强度。具体地说，可遏制或防止鲁尔部件240的螺纹的磨损。另外，接头部件230可通过使用连接器部件250与固定部件260之间的耦合件来稳定地按压和固定，所述耦合件由于其材料而相对牢固地彼此耦合。也就是说，当耦合喷嘴单元200时，可有效地遏制或防止螺纹的磨损，且还可牢固地固定接头部件230以防止推动鲁尔部件240。
固定部件260可在一个方向1上穿过连接器部件250的另一端且接着安装。固定部件260可包含杆构件261和头部构件262。杆构件261可在一个方向1上延伸，且具有***到连接器部件250中且耦合到连接器部件250的内圆周表面的一端以及安置有头部构件262的另一端。螺纹可设置于杆构件261的一端的外圆周表面上。杆构件261的一端可具有等于或小于其另一端的内径的外径。因此，当紧密地附接到接头部件230时，可防止负载构件261与鲁尔部件240之间的干扰。
固定部件260可在一个方向1上正向移动和后向移动，同时负载构件261的一端的外圆周表面锁合到连接器部件250的内圆周表面的突出部分。此处，固定部件260可朝向接头部件230正向移动以使得接头部件230紧密地附接到鲁尔部件240。因此，接头部件230可稳定地固定。
固定部件260安置于连接器部件250内的至少一部分可由导电材料制造。此处，负载构件261可由导电材料制造。因此，连接器部件250和接头部件230可通过固定部件260彼此电连接。此处，由于连接部分250和固定部件260可彼此面对面接触，且固定部件260和接头部件230彼此面对面接触，因此稳定导电路径可在连接器部件250与接头部件230之间实现。头部构件262可由非导电材料制造。
由于固定部件260在一个方向1上穿过连接器部件250且与连接器部件250对准从而使得固定部件260紧密地附接到接头部件230，因此当紧密地附接时，可准确地控制固定部件260的状态。也就是说，由于连接器部件250，固定部件260可通过引导效应与接头部件230准确地接触以防止销部件220倾斜。
将参考图1到图8详细地描述用于形成图案的设备的块夹具和固定构件。
块夹具300可安置于支撑单元100上。详细地说，可安置块夹具300以与支撑单元100朝上间隔开。安装孔H1可穿过块夹具300以便安装喷嘴单元200。块夹具300可包含多个块，所述多个块彼此可拆卸地耦合以使得多个块中的每一个的一侧可相对于安装孔H1打开。多个块中的相对于安装孔H1安置在一侧处的一个块可旋转地安装于安置在另一侧处的另一块上。
块夹具300可包含：下部块310，设置有平行于安置有喷嘴单元200的方向(例如在一个方向1上)的一个表面；上部块320，在安置有喷嘴单元200的方向上延伸且安置于下部块310的所述一个表面的一个区域上；以及覆盖块330，可旋转地安装于上部块320上从而可从下部块310的所述一个表面的另一区域拆卸。此处，可一体地提供或可分离地提供下部块310和上部块320，且接着彼此耦合。另外，可提供覆盖块330以与其余块分离。覆盖块330可通过将在下文描述的绞链构件340安装于上部块320和下部块310中的至少一个上。
下部块310可包含在一个方向1上延伸的上部主体以及安置于上部主体的底部表面上以在与一个方向1交叉的方向上倾斜突出的下部主体。上部块320和覆盖块330可安装于上部主体的顶部表面上，且下部主体可由安装单元400支撑。
上部块320可安置于下部块310的上部主体的顶部表面上以在一个方向1上延伸。上部块320可安置于下部块310的上部主体的顶部表面的一个区域和另一区域中的一个上。覆盖块330可在一个方向1上延伸且可旋转地安装于上部块320上以覆盖下部块310的上部主体的顶部表面的另一区域。
此处，下部块310的上部主体的顶部表面的一个区域和另一区域可以是由在安置有喷嘴单元200的方向上(例如在一个方向1上)延伸、位于下部块310的一个表面上的区域线(未示出)分隔的区域。
安装孔H1可通过在安置有喷嘴单元200的方向上(例如在一个方向1上)穿过上部块320与覆盖块330面对彼此的表面来定义于下部块310的一个表面中。喷嘴单元200可在一个方向1上安装于安装孔H1上。安装孔H1可定义为相对于上部块320偏移。安装孔H1的中心轴可安置于上部块320的一侧处。
块夹具300可包含绞链构件340，安装所述绞链构件340以将上部块320的顶部表面连接到覆盖块330的顶部表面。当覆盖块330通过绞链构件340旋转以安装喷嘴单元200，且安装孔H1的一个表面打开时，覆盖块330可通过上部块320支撑以防止喷嘴单元200分离或丢失。
块夹具300可包含锁定构件350，安装所述锁定构件350以使其在与安置有喷嘴单元200的方向交叉的方向上穿过上部块320和覆盖块330。举例来说，锁定构件350可称为块耦合旋钮。
锁定构件350可允许覆盖块330安装且固定到上部块320。锁定构件350可包含：锁定杆351，所述锁定杆351安置于安装孔H1上方且具有穿过上部块320和覆盖块330安装的一端；以及锁头352，所述锁头352安置于锁定杆351的另一端上。锁定杆351可划分成穿过上部块320安置的部分以及穿过覆盖块330安置的部分。螺纹可设置于穿过上部块320安装的部分的端部的外圆周表面上，且螺纹还可设置于上部块320的穿孔的内壁上，锁定杆351可***到所述穿孔中。因此，锁定杆351可锁合到上部块320。锁定杆穿过覆盖块330安置的部分可具有平滑外圆周表面且可由穿孔滑动地支撑，穿过覆盖块330定义所述穿孔以使得锁定杆351穿过覆盖块330安置的部分自其穿过。
穿过覆盖块330定义以使得锁定杆351穿过覆盖块330安置的部分自其穿过的穿孔可具有与上部块320接触的一个区域以及除所述一个区域以外剩余的另一区域。此处，一个区域可具有大于锁定杆351穿过上部块320安装的部分的端部的外径的内径。螺纹可设置在覆盖块330的穿孔的另一区域上，从而锁合到对应于锁定杆351穿过上部块320安装的部分的端部的螺纹。也就是说，螺纹可设置在覆盖块330的穿孔的两端远离上部块320的端部上。为了使得从覆盖块330的穿孔朝向锁头352抽出锁定杆351，锁定杆351穿过上部块320安置的部分的端部的螺纹必须穿过穿孔，同时沿穿孔的螺纹旋转。
因此，为了使得覆盖块330旋转从而打开安装孔H1，即使释放锁定杆351与上部块320的穿孔之间的锁合，且锁定杆351朝向锁头352抽出，也可通过覆盖块330的穿孔的螺纹维持锁定杆351***到覆盖块330的穿孔中的情况。也就是说，可防止锁定杆351的丢失。锁头352可充当用于锁定杆351的旋转的柄部。
如上文所描述，在根据示例性实施例的用于形成图案的设备中，当打开安装孔H1以置换喷嘴单元200时，提供绞链构件340作为将覆盖块330连接到上部块320的结构。另外，提供锁定构件350作为从上部块320拆卸覆盖块330的结构。另外，锁定构件350可具有防止锁定构件350完全地与覆盖块330分离的结构。也就是说，当替换喷嘴单元200时，可预先防止覆盖块300和锁定构件350的丢失，且块夹具300可在装配效率上改进。
块夹具300可包含电力连接孔H2。电力连接孔H2可定义成穿过上部块320和覆盖块330朝向***槽251的顶部表面的预定位置，所述***槽251定义于喷嘴单元200的连接器部件250中，且***槽251可通过电力连接孔H2暴露于块夹具300的上部侧。
用于形成图案的设备可包含用于将喷嘴单元200限定在安装孔H1内的固定构件。固定构件可提供于喷嘴单元200与安装孔H1彼此面对的表面中的至少一个上。
固定构件可包含钩状构件241，所述钩状构件配置成环绕喷嘴单元200的外圆周表面的至少一部分或安装孔H1的内壁的至少一部分。在这种情况下，钩状构件241可与安装孔H1的内壁或喷嘴单元200的外圆周表面接触，以将喷嘴单元200在一个方向1上的位置限定在安装孔H1内。
另外，固定构件可包含钩槽321，使所述钩槽321凹进以环绕安装孔H1的内壁的至少一部分或喷嘴单元200的外圆周表面的至少一部分以使得可***钩状构件241。在这种情况下，钩状构件241可***到钩槽321中以将喷嘴单元200在一个方向1上的位置限定在安装孔H1内。
在一示例性实施例中，钩状构件241突出以环绕从喷嘴单元200的鲁尔部件240的另一端到一端间隔开的预定位置处的外圆周表面，且使钩槽321凹进以环绕安装孔H1的内壁的预定位置从而对应于钩状构件241的形成位置。当喷嘴单元200安装于安装孔H1上时，钩状构件241可***到钩槽321中且接着安装以耦合。因此，可将喷嘴单元200在一个方向1上的自由度限制在安装孔H1内。也就是说，钩状构件241和钩槽321可充当在一个方向1上的参考表面或参考位置以在替换喷嘴单元200时精确地定位喷嘴单元200的位置且防止喷嘴单元200在一个方向1上滑动。
固定构件可包含：耦合槽252，凹进到喷嘴单元200的连接器部件250的外圆周表面的至少一个位置中；以及耦合突起，安装于安装孔H1的内壁的至少一部分上且弹性地支撑以使得耦合突起***到耦合槽252中。此处，耦合突起可包含第一耦合突起360和第二耦合突起370。
可使耦合槽252凹进以环绕在一个方向1上彼此间隔开、位于连接器部件250的外圆周表面上的多个位置。可安装第一耦合突起360以穿过安装孔H1的内壁以使得第一耦合突起360安置在第一耦合突起360***到安装孔H1的中心轴上方的耦合槽252中处的预定位置处。此处，第一耦合突起360可安装于安装孔H1的内壁的上部块侧内壁上，以使得第一耦合突起360安置在竖直地面对下部块310的上部主体的顶部表面的预定位置处，且可朝向下部块310的上部主体的顶部表面突出。第二耦合突起370可安装以穿过安装孔H1的内壁，以使得第一耦合突起360安置在第一耦合突起360***到安装孔H1的中心轴上方的耦合槽252中处的预定位置处。此处，第二耦合突起370可安装于安装孔H1的内壁的覆盖块侧内壁上，且可从覆盖块330朝向上部块320突出。
耦合突起可包含球塞，且在与一个方向1交叉的方向上(例如在所有的垂直方向3和水平方向2上)相对于喷嘴单元200的中心轴间隔开，且还朝向喷嘴单元200突出且接着***到耦合槽252中。此处，第一耦合突起360可安装成与喷嘴单元200的中心轴在水平方向2上于一个平面上(例如相对于垂直于喷嘴单元200的中心轴的一个平面(未示出))间隔开。另外，第二耦合突起370可安装成与上文所描述的中心轴在垂直方向3上于上文所描述的一个平面上间隔开。由于上文所描述的设施结构，耦合突起可安装成始终从覆盖块330朝向上部块320推动喷嘴单元200。
可在与一个方向1交叉的多个方向上通过耦合槽252和耦合突起将喷嘴单元200的自由度限制在安装孔H1内。也就是说，可相对于与一个方向1交叉的多个方向在所有方向上按压且固定喷嘴单元200，且可固定喷嘴单元200的外圆周表面的所有顶部表面和侧表面。
如上文所描述，根据示例性实施例的用于形成图案的设备可包含固定构件作为将喷嘴单元200的自由度限定在安装孔H1内的结构。因此，当替换和安装喷嘴单元200时，喷嘴单元200可在连接覆盖块330之前***到安装孔H1的内部中且固定到所述安装孔H1的内部以防止喷嘴单元200因固定构件摇晃。在这种情况下，可稳定地耦合覆盖块330。因此，喷嘴单元200可始终在固定位置和适当状态下安装于块夹具300上。也就是说，当替换喷嘴单元200时，喷嘴单元200可在位置可重复性上得到改进，且可防止喷嘴单元200的倾斜。因此，当替换喷嘴单元200时，可减少设置时间。
将参考图1到图5依序描述用于形成图案的设备的其余组件。
安装单元400可安置于台(未示出)上且在前/后方向、左/右方向以及向上/向下方向上相对于支撑单元100相对可移动地安装。块夹具300可安装于安装单元400上。安装单元400可准确地操作以使得喷嘴单元200安置在距加工对象10的上部表面数微米到数百微米(μm)的高度处。喷嘴部件210相对于加工对象10的位置可通过使用安装单元400来准确地调整。
电源单元500可连接到喷嘴单元200以施加用于喷射溶液的电压。举例来说，电源单元500可使得夹片构件510***到块夹具300的电力连接孔H2中，进而将夹片构件510结合到喷嘴单元200的连接器部件250的***槽251中，且由电源单元500所施加的电压可经由夹片构件510、***槽251、连接器部件250、负载构件261以及接头部件230平稳地传输到销部件220。夹片构件510的***位置和耦合位置可通过电力连接孔H2精确地指定。
喷嘴单元200与加工对象10之间的预定电位差可由电源单元500产生，且因此，电场可由电位差产生。溶液内的离子可通过电场从喷嘴部件210排出。电源单元500可产生DC功率或AC功率。当产生DC功率时，电极可连接到加工对象10。当产生AC功率时，可在预定电压或频率范围内产生正弦波式或脉冲式AC功率。电源单元500可控制所施加电力的强度、频率以及电流量以控制溶液的排出量和排出模式。
照明单元610可配置成产生用于对形成于加工对象10的顶部表面上的图案进行摄影的光。照明单元610可安置在支撑单元100下。光学单元620可配置成对形成于加工对象10的顶部表面上的图案进行摄影。照明单元610和光学单元620并不特定地限于此配置。
控制单元700可配置成控制用于形成图案的除支撑单元100、喷嘴单元200、安装单元400以及电源单元500之外的设备的总体操作，以使得预设图案精确地形成于加工对象10的顶部表面上。
控制单元700可包含如工控机的硬件以及用于控制过程的软件，且还包含显示装置和为了易于控制的输入/输出装置。控制单元700无需呈计算机形式，只要控制单元700充分地控制设备即可。另外，控制单元700可包含各种类型的接口，如用于与设备平稳连接的PCB。
根据示范性实施例，喷嘴单元和块夹具可具有用于改进喷嘴单元的位置可重复性的耦合结构，以在替换喷嘴单元时改进喷嘴单元的位置可重复性。因此，可快速且准确地替换喷嘴单元，且在替换喷嘴后，安置在喷嘴部件端部的溶液排出口可在替换喷嘴后准确地放置于光学单元的视觉区域中。因此，可紧接执行使用所替换的新喷嘴单元的下一修复过程。因此，可防止发生替换喷嘴单元时的装配误差，可减少设置时间，且整个修复过程可在效率上得到改进。
虽然已参考特定实施例描述了沉积设备和方法，但其不限于此。应注意，本发明的以上实施例中所公开的配置和方法可彼此组合或彼此交叉应用且以各种形式修改，且这些修改可视为在本发明的范围内。因此，所属领域的技术人员将容易理解，在不脱离通过所附权利要求定义的本发明的精神和范围的情况下，可以对本发明进行各种修改及变化。

Claims (12)

1.一种用于形成图案的设备，所述用于形成图案的设备排出溶液以形成所述图案，其特征在于，所述用于形成图案的设备包括：
支撑单元，加工对象安放于所述支撑单元上；
喷嘴单元，安置于所述支撑单元上以排出所述溶液；
块夹具，安置于所述支撑单元上且具有安装孔以便安装所述喷嘴单元；以及
固定构件，配置成将所述喷嘴单元限定在所述安装孔内，
其中所述块夹具包括：
下部块，设置有平行于安置有所述喷嘴单元的方向的一个表面；
上部块，在安置有所述喷嘴单元的所述方向上延伸，位于所述下部块的所述一个表面的一个区域上；以及
覆盖块，可旋转地安装于所述上部块上从而可从所述下部块的所述一个表面的另一区域拆卸，
其中所述安装孔在安置有所述喷嘴单元的方向上穿过所述下部块的所述一个表面上的所述上部块与所述覆盖块彼此面对的表面。
2.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备，其中所述固定构件安置于所述喷嘴单元与所述安装孔彼此面对的表面中的至少一个表面上。
3.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备，其中所述固定构件包括钩状构件，所述钩状构件安置成环绕所述喷嘴单元的外圆周表面的至少一部分或所述安装孔的内壁的至少一部分，以及
所述钩状构件与所述安装孔的所述内壁或所述喷嘴单元的所述外圆周表面接触以将所述喷嘴单元的位置限定在所述安装孔内。
4.根据权利要求3所述的用于形成图案的设备，其中所述固定构件包括钩槽，使所述钩槽凹进以环绕所述安装孔的所述内壁的至少一部分或所述喷嘴单元的所述外圆周表面的至少一部分以使得可***所述钩状构件。
5.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备，其中所述固定构件包括：
耦合槽，凹进到所述喷嘴单元的外圆周表面的至少一个位置；以及
耦合突起，安装于所述安装孔的内壁的至少一个位置上且弹性地支撑以使得所述耦合突起可***到所述耦合槽中。
6.根据权利要求5所述的用于形成图案的设备，其中所述耦合突起在与安置有所述喷嘴单元的方向交叉的竖直方向以及水平方向上相对于所述喷嘴单元的中心轴间隔开以朝向所述喷嘴单元突出。
7.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备，其中所述下部块的上部主体的顶部表面的所述一个区域以及所述另一区域由在安置有所述喷嘴单元的方向上延伸，且位于所述下部块的所述一个表面上的区域线分隔的区域。
8.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备，其中所述块夹具包括锁定构件，在与安置有所述喷嘴单元的所述方向交叉的方向上穿过所述上部块以及所述覆盖块安装所述锁定构件，
螺纹设置于所述锁定构件穿过所述上部块的端部的外圆周表面上且锁合到所述上部块，且所述锁定构件穿过所述覆盖块的一部分穿过所述覆盖块且可滑动地支撑，以及
对应于所述锁定构件的所述端部上的所述螺纹的螺纹设置于穿孔的两端远离所述上部块的端部上，所述穿孔定义于所述覆盖块中以使得所述锁定构件穿过。
9.根据权利要求1所述的用于形成图案的设备，其中所述喷嘴单元包括：
喷嘴部件，安置于所述支撑单元上且具有所述溶液以电流体动力学方式穿过的通道；
销部件，安置于所述喷嘴部件的所述通道中；以及
连接器部件，连接到所述销部件以供应电力。
10.根据权利要求9所述的用于形成图案的设备，其中所述喷嘴单元包括：
鲁尔部件，安装以将所述喷嘴部件连接到所述连接器部件；以及
接头部件，安置于所述鲁尔部件内以支撑所述销部件从而与所述喷嘴部件的中心轴对准，
其中所述销部件固定地安装于所述接头部件上且与所述喷嘴部件的内圆周表面间隔开。
11.根据权利要求10所述的用于形成图案的设备，其中所述喷嘴单元包括固定部件，所述固定部件在相对于所述连接器部件与所述鲁尔部件相反的一侧处***到所述连接器部件的内部中且安装于所述连接器部件的所述内部上且具有与所述接头部件接触的端部，
其中所述接头部件的一端与所述鲁尔部件的内表面接触，以及
所述接头部件的另一端与所述连接器部件的内圆周表面间隔开且与所述固定部件的端部接触从而固定位置。
12.根据权利要求11所述的用于形成图案的设备，其中所述喷嘴部件包括玻璃和蓝宝石中的至少一个，
所述销部件包括钨、金、银以及铜中的至少一种导电材料，
所述接头部件、所述连接器部件以及安置于所述连接器部件内的所述固定部件的至少一部分包括导电材料，以及
所述溶液包括导电油墨。
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