CN109203261A - 切削刀具的安装方法 - Google Patents

Abstract

提供切削刀具的安装方法，能够在调整成正圆的状态下容易地将切削刀具安装在主轴上。该切削刀具的安装方法利用第一凸缘(22)和第二凸缘(40)对圆环状的切削刀具(14)的两个侧面进行夹持，安装在主轴(12)的前端的第一凸缘具有将切削刀具的侧面吸引保持于夹持面(23)的吸引孔(30)，该切削刀具的安装方法包含如下的步骤：切削刀具临时保持步骤，在使切削刀具的中心与主轴的轴心(P)一致的正圆位置使切削刀具与第一凸缘的夹持面抵接，并且作用吸引力而将切削刀具吸引保持于第一凸缘；以及固定步骤，利用第二凸缘将通过切削刀具临时保持步骤而维持了正圆位置的切削刀具固定于第一凸缘。

Description

切削刀具的安装方法

技术领域

本发明涉及切削装置中的切削刀具的安装方法。

背景技术

在半导体器件等的制造中，在晶片的正面上利用呈格子状形成的分割预定线设定出多个区域，在各区域形成LSI、IC那样的器件，通过具有切削刀具的切削装置进行沿着分割预定线的切削加工而分割成各个器件。切削装置至少具有：卡盘工作台，其对晶片进行保持；以及切削单元，其具有将切削刀具支承为能够旋转的主轴，借助主轴使切削刀具旋转而利用切削刀具对卡盘工作台所保持的晶片进行切削。

当切削单元中的主轴的轴心与安装在主轴的切削刀具的旋转中心略微偏心时，在使安装有切削刀具的主轴高速旋转时，切削刀具会在与主轴的轴心垂直的方向即切入方向上振动。当在切削刀具产生了振动的状态下对晶片进行沿着分割预定线的切削时，存在在切削槽的两侧产生较大的缺损(崩边)而使器件的品质降低的问题。

特别是在切削刀具为仅由圆环状的切刃构成的垫圈刀具(无轮毂刀具)的情况下，当在安装于主轴前端的安装座上安装切削刀具时，由于切削刀具的自重，会在切削刀具的中心相对于主轴的轴心略微偏心的状态下进行安装。因此，在更换为新的切削刀具时，实施对切削刀具的外周进行修正的修圆修整(正圆修整)(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2006-218571号公报

但是，当进行上述正圆修整时，切削刀具发生钝化，因此需要继续进行用于对钝化进行修正的磨锐修整。因此，在新安装了切削刀具之后，到能够进行产品的切削加工为止需要较多的时间进行准备(正圆修整、磨锐修整等)。

发明内容

由此，本发明的目的在于提供切削刀具的安装方法，能够在调整成正圆的状态下安装新的切削刀具。

根据本发明，提供切削刀具的安装方法，利用第一凸缘和第二凸缘所分别具有的夹持面对由圆环状的切刃构成的切削刀具的两个侧面进行夹持并且将该切削刀具安装在主轴上，其中，安装在该主轴的前端的该第一凸缘具有将该切削刀具的侧面吸引保持于该夹持面的吸引孔，该切削刀具的安装方法的特征在于，具有如下的步骤：切削刀具临时保持步骤，在使该切削刀具的中心与该主轴的轴心一致的正圆位置使该切削刀具与该第一凸缘的该夹持面抵接，并且作用吸引力而将该切削刀具吸引保持于该第一凸缘；以及固定步骤，在实施了该切削刀具临时保持步骤之后，利用该第二凸缘将维持了该正圆位置的该切削刀具固定于该第一凸缘。

根据本发明的切削刀具的安装方法，在切削刀具临时保持步骤中将切削刀具的中心设定在与主轴的轴心一致的正圆位置，一边通过吸引维持该正圆位置一边实施固定步骤，从而不会产生由于自重所导致的切削刀具的偏心等，在安装结束时能够可靠地将切削刀具保持在正圆位置。

根据本发明的切削刀具的安装方法，能够在调整成正圆的状态下安装新的切削刀具，能够缩短到能够进行切削加工为止的时间，能够实现加工效率的提高。

附图说明

图1是切削单元的分解立体图。

图2是切削单元的立体图。

图3是示出利用刀具保持治具和刀具装填治具对切削刀具进行了保持的状态的剖视图。

图4是示出切削刀具临时保持步骤的剖视图。

图5是示出切削刀具临时保持步骤的剖视图。

图6是示出已完成了对切削刀具进行固定的固定步骤的状态的剖视图。

标号说明

10：切削单元；11：主轴壳体；12：主轴；14：切削刀具；14a：圆形开口；16：固定螺栓；20：刀具安装座；21：圆筒部；22：凸缘(第一凸缘)；23：夹持面；24：凸肩部；25：凸台部；26：嵌合孔；27：圆形凹部；30：吸引孔；31：吸引路；32：环状槽；40：固定凸缘(第二凸缘)；41：嵌合孔；42：夹持面；45：固定螺母；50：旋转接头；51：支承筒；55：圆筒部；56：连通路；60：刀具保持治具；61：主体部；61a：吸附面；62：大直径凹部；63：小直径凹部；64：吸引孔；65：连接部；66：吸引路；67：环状辅助部；67a：环状面；70：刀具装填治具；71：基台部；72：限定部；72a：限定面；73：引导凸部；80：安装引导治具；90：吸引源；91：吸引源。

具体实施方式

以下，参照附图对本实施方式的切削刀具的安装方法和安装构造进行说明。图1示出将具有切削刀具的切削单元分解的状态，图2示出安装有切削刀具的完成状态的切削单元，图3至图6示出安装切削刀具的各步骤。

图1和图2所示的切削单元10构成切削装置。虽然省略了切削装置的整体结构的图示，但切削单元10被支承为能够相对于对作为切削对象的工件(晶片)进行保持的卡盘工作台在加工进给方向(X轴方向)、分度进给方向(Y轴方向)、升降方向(Z轴方向)上相对移动。

如图1所示，切削单元10具有主轴12，该主轴12被支承为相对于主轴壳体11以朝向Y轴方向的主轴的轴心P(在除了图3以外的各图中用单点划线表示)为中心旋转自如。主轴12具有前端部分的直径逐渐变小的锥面(taper)形状，在主轴12的前端面上形成有螺纹孔13。如图6所示，切削刀具14被刀具安装座20和固定凸缘40夹持而安装在主轴12的前端部，当对主轴12进行旋转驱动时，切削刀具14旋转而进行对工件的切削加工。关于对主轴12安装切削刀具14的构造和方法，在下文中进行详细说明。另外，关于刀具安装座20和固定凸缘40，将在Y轴方向上朝向与主轴壳体11相反的一侧的面(朝向与主轴12的前端面相同的方向的面)作为正面，将朝向主轴壳体11的那一侧的面(朝向主轴12的基端侧的面)作为背面。

切削刀具14是仅由圆环状的切刃构成的垫圈刀具(无轮毂刀具)，其是利用结合剂固定金刚石磨粒而形成的。在切削刀具14的内侧形成有圆形开口14a。圆形开口14的内周部与切削刀具14的外周部同心。

如图1及图6所示，刀具安装座20具有：圆筒部21，其位于背面侧；以及凸缘22(第一凸缘)，其从圆筒部21向径向外侧突出。在凸缘22的正面侧形成有夹持面23、凸肩部24和凸台部25。夹持面23位于凸缘22的外周侧，是相对于Y轴方向垂直的圆环状的面。凸肩部24是位于夹持面23的内周侧且向正面侧突出的圆形状的突出部。凸肩部24的直径设定得略微小于切削刀具14的圆形开口14a的内径。在凸台部25的前端附近，在外周面上形成有外螺纹28，在内周面上形成有内螺纹29(参照图1、图6)。

如图6所示，在刀具安装座20的径向的中心，形成有在Y轴方向上连通的嵌合孔26和圆形凹部27。嵌合孔26位于背面侧，在圆筒部21的前端面开口，圆形凹部27位于正面侧，在凸台部25的前端面开口。圆形凹部27的内径大于嵌合孔26的内径，在圆形凹部27内形成有底面27a。嵌合孔26的内周面是内径随着趋向正面侧而变小的锥面状，主轴12的前端部分以压入状态***至嵌合孔26。并且，垫圈15***至圆形凹部27内而与底面27a抵接，通过在形成在主轴12的前端面的螺纹孔13中螺合并紧固固定螺栓16，从而将刀具安装座20固定在主轴12上(参照图6)。在对刀具安装座20进行了固定的状态下，圆环状的夹持面23的中心与主轴的轴心P一致。

如图6所示，切削刀具14在使凸肩部24***至圆形开口14a且使一个侧面与夹持面23抵接的状态下安装在刀具安装座20。关于该切削刀具14的安装，在后文进行叙述。

如图1所示，在刀具安装座20的夹持面23上，在旋转方向(周向)上的不同位置形成有多个吸引孔30。如图6所示，在刀具安装座20内形成有与各吸引孔30连通的多个吸引路31，各吸引路31在形成在圆筒部21的外周面上的环状槽32的底面开口。环状槽32是在圆筒部21的周向上延伸的槽，在圆筒部21的整个圆周区域内连续地形成。

固定凸缘40(第二凸缘)具有内径与刀具安装座20的凸台部25的直径对应的嵌合孔41，通过将凸台部25***至嵌合孔41而将固定凸缘40支承在刀具安装座20。如图6所示，在固定凸缘40的背面侧，在与刀具安装座20的夹持面23对置的位置具有圆环状的夹持面42。凸台部25和嵌合孔41是能够进行Y轴方向的相对移动的形状，固定凸缘40的夹持面42***至与切削刀具14的侧面(与抵接在夹持面23的那一侧相反的侧面)抵接的位置。在该状态下，凸台部25的前端的外螺纹28向固定凸缘40的正面侧突出，通过对外螺纹28螺合并紧固环状的固定螺母45，从而将固定凸缘40固定在刀具安装座20。

如上所述，在刀具安装座20的夹持面23与固定凸缘40的夹持面42之间夹持切削刀具14。切削刀具14的外径大于刀具安装座20的凸缘22以及固定凸缘40的外径，切削刀具14的外周部相对于刀具安装座20和固定凸缘40向径向外侧突出(参照图2、图6)。

在主轴壳体11的端部安装有旋转接头50。旋转接头50具有：圆筒状的支承筒51；以及从支承筒51向径向外侧突出的安装板52。通过将贯穿***至形成于安装板52的多个螺钉插通孔(省略图示)中的安装螺钉53(参照图1、图2)螺合并紧固在形成在主轴壳体11的端部的螺纹孔17(参照图1)中，从而将旋转接头50固定于主轴壳体11。在支承筒51设置有向径向外侧突出的圆筒部55，在圆筒部55的内部形成有连通路56。连通路56的一端在支承筒51的内周面开口，连通路56的另一端在圆筒部55的前端开口。

在对主轴12安装刀具安装座20之前，将旋转接头50安装至主轴壳体11。在将刀具安装座20安装至主轴12时，将圆筒部21以能够旋转的方式***至支承筒51的内侧。如图6所示，在将圆筒部21***至支承筒51内的状态下环状槽32与连通路56连通。环状槽32在圆筒部21的整个圆周区域内形成，因此即使刀具安装座20相对于旋转接头50位于旋转方向的任意位置，环状槽32与连通路56也始终维持连通的状态。即，在已将刀具安装座20安装至主轴12的状态下，形成有从吸引孔30经由吸引路31和环状槽32而连续至连通路56的吸引路。如图4至图6所示，从吸引源90延伸的吸引管路与圆筒部55连接，当对吸引源90进行驱动时，能够通过上述吸引路而从吸引孔30吸引空气。另外，环状槽32中的除了与连通路56对置的部位以外的部位被支承筒51的内周面封堵，不会在吸引路途中产生漏气，从而不损害吸引效率。

接着，对用于将切削刀具14安装至刀具安装座20的安装治具进行说明。安装治具由刀具保持治具60、刀具装填治具70以及安装引导治具80构成。

如图3至图5所示，刀具保持治具60具有圆柱形状的主体部61，主体部61的一个端面作为吸附面61a，该吸附面61a是能够与切削刀具14的侧面抵接的圆环状的平面。在主体部61的内部形成有大直径凹部62和小直径凹部63。大直径凹部62是具有圆筒状的内周面的凹部，在吸附面61a的径向内侧开口。小直径凹部63从大直径凹部62的底面62a凹设，是具有直径小于大直径凹部62的圆筒状的内周面的凹部。小直径凹部63具有与吸附面61a平行的底面63a。大直径凹部62的内周面与小直径凹部63的内周面配置成同心状，吸附面61a是与大直径凹部62和小直径凹部63同心状的环状面。

在吸附面61a上形成有吸引孔64。吸引孔64是与吸附面61a同心状的环状孔。在主体部61的侧面上设置有供从吸引源91延伸的吸引管路连接的连接部65。在主体部61内形成有使吸引孔64和连接部65连通的吸引路66。吸引路66具有：与吸引孔64连接而围绕大直径凹部62和小直径凹部63的圆环状的部分；以及与连接部65连接而在主体部61的径向上延伸的部分。

在刀具保持治具60的主体部61的外侧安装有环状辅助部67。环状辅助部67是围绕主体部61的外周面的环状体，具有在安装于主体部61的状态下与吸附面61a成为同一水平面的环状面67a。准备环状面67a的直径不同的多种环状辅助部67，根据要对刀具安装座20进行安装的切削刀具14的直径的不同，选择适当尺寸的环状辅助部67而安装至主体部61。具体而言，设定成能够通过吸附面61a和环状面67a对切削刀具14的单侧的整个侧面进行支承(参照图4)。

如图3所示，刀具装填治具70具有圆板状的基台部71；以及从基台部71突出的限定部72和引导凸部73。基台部71具有刀具支承面71a，其是能够对切削刀具14的侧面进行载置的环状的平面。限定部72从刀具支承面71a突出。在限定部72的外表面形成有：限定面72a，其是直径与切削刀具14的圆形开口14a的内径对应的圆筒面；锥面72b，其是与限定面72a连续的圆锥台的侧面；以及***限制面72c，其是该圆锥台的上表面。***限制面72c是与刀具支承面71a平行的面。引导凸部73是从***限制面72c突出的圆柱状的突起。在引导凸部73的外表面形成有：***引导面73a，其是与限定面72a同心状的圆筒面；以及锥面73b，其是与***引导面73a连续的圆锥台的侧面。

如图3所示，刀具装填治具70的限定部72和引导凸部73能够***至刀具保持治具60的大直径凹部62和小直径凹部63。限定部72的限定面72a具有与大直径凹部62的内径对应的直径。引导凸部73的***引导面73a的直径小于限定面72a，具有与小直径凹部63的内径对应的直径。在***限制面72c与底面62a抵接的位置限制刀具装填治具70向刀具保持治具60的***(参照图3)。在该***制限状态下，刀具保持治具60侧的吸附面61a和环状面67a与刀具装填治具70侧的刀具支承面71a隔开规定的间隙(按照略微大于切削刀具14的厚度的间隙)而对置。另外，限定面72a位于吸附面61a与刀具支承面71a对置的部分的侧方。

如图4和图5所示，安装引导治具80具有与刀具装填治具70的引导凸部73同样的圆柱形状。在安装引导治具80的外表面形成有：***引导面80a，其是圆筒面；锥面80b，其是与***引导面80a连续的圆锥台的侧面；以及***限制面80c，其是该圆锥台的上表面。安装引导治具80能够***至刀具保持治具60的小直径凹部63，***引导面80a具有与小直径凹部63的内径对应的直径。在安装引导治具80的基端形成有外螺纹81。外螺纹81能够与形成在刀具安装座20的凸台部25的内螺纹29螺合。

刀具保持治具60、刀具装填治具70以及安装引导治具80分别是由不锈钢等构成的刚性体，分别具有较高的形状精度，并且能够不产生松动等而相互精度良好地组合。因此，在如图3那样将刀具保持治具60和刀具装填治具70组合的状态下、或如图4和图5那样将刀具保持治具60和安装引导治具80组合的状态下，能够高精度地使治具彼此结合和滑动。具体而言，刀具保持治具60和刀具装填治具70能够在沿着引导凸部73的中心轴的方向上相对移动，刀具保持治具60和安装引导治具80能够在沿着安装引导治具80的中心轴的方向上相对移动。

另外，在本实施方式中，将刀具保持治具60的小直径凹部63的内表面作为圆筒面，将***至小直径凹部63的刀具装填治具70的引导凸部73的外表面和安装引导治具80的外表面分别作为圆筒状的***引导面73a和***引导面80a，但只要能够按照能够进行上述的相对移动的方式进行引导，则也可以选择圆筒面以外的形状(作为一例，像棱孔和棱柱那样的形状)。

对使用了以上的安装治具的切削刀具14的安装作业进行说明。在安装切削刀具14之前的阶段，刀具安装座20侧成为图4所示的状态。即，将刀具安装座20安装至主轴12，并且将旋转接头50安装在主轴壳体11，从而来自吸引源90的吸引力通过连通路56、环状槽32和吸引路31而作用于吸引孔30。固定凸缘40从刀具安装座20被取下。另外，在进行后述的向刀具安装座20的切削刀具14的安装之前，预先使外螺纹81螺合于内螺纹29而将安装引导治具80安装至刀具安装座20。

首先将切削刀具14安装至刀具装填治具70。更详细而言，将切削刀具14的圆形开口14a从引导凸部73侧***。圆形开口14a的内周部一边接受基于锥面72b的引导一边***，当行进至切削刀具14的侧面与吸附面61a抵接的位置(图3所示的位置)时，***受到限制。在该状态下，圆形开口14a的内周部的位置被限定面72a限定。被限定面72a限定的该位置是与最终将切削刀具14安装至刀具安装座20时切削刀具14的中心与主轴的轴心P达到一致的正圆位置相对应的。

接着，如图3所示，在支承了切削刀具14的状态的刀具装填治具70上安装刀具保持治具60。在将刀具保持治具60安装至刀具装填治具70时，将引导凸部73***至小直径凹部63。能够利用形成在引导凸部73的锥面73b顺利地进行***。当进行***时，限定部72进入至大直径凹部62，***限制面72c与底面62a抵接，从而***受到限制。在该阶段，在支承在刀具支承面71a上的切削刀具14的侧面(与被刀具支承面71a支承的那一侧相反的侧面)与吸附面61a和环状面67a之间存在微小的间隙，从而不会对切削刀具14施加由于负荷所导致的损坏。

若如图3那样完成了刀具保持治具60与刀具装填治具70的组合，则对吸引源91进行驱动而使吸引力作用于吸引孔64。通过吸引将切削刀具14的侧面(与被刀具支承面71a支承的那一侧相反的侧面)吸引保持于吸附面61a和环状面67a。在直至将切削刀具14吸引保持于刀具保持治具60侧的阶段(切削刀具14向刀具装填治具70的安装工序和刀具保持治具60向刀具装填治具70的安装工序)中，优选如图3所示那样将基台部71朝向下方，将切削刀具14、刀具保持治具60沿铅垂方向***至刀具装填治具70。由此，能够防止切削刀具14的位置偏移或脱落。

当在吸附面61a和环状面67a上吸引保持有切削刀具14时，将刀具装填治具70从刀具保持治具60取下。切削刀具14在上述的向刀具装填治具70的安装阶段，维持被限定面72a限定的径向位置(正圆位置)不变地被吸引保持在刀具保持治具60侧。换言之，确保圆环状的切削刀具14的中心与刀具保持治具60的大直径凹部62和小直径凹部63的中心轴达到一致的状态。

接着，如图4所示，使吸引保持着切削刀具14的状态的刀具保持治具60的小直径凹部63相对于安装至刀具安装座20的安装引导治具80进行***。能够利用形成在安装引导治具80的锥面80b顺利地进行***。另外，虽然刀具保持治具60相对于作为铅垂方向的Z轴方向横倒而安装至安装引导治具80(参照图4)，但切削刀具14由于借助作用于吸引孔64的吸引力被保持而不会产生位置偏移或脱落。

当相对于安装引导治具80***刀具保持治具60时，切削刀具14的侧面(与被吸附面61a吸附的那一侧相反的侧面)与刀具安装座20的夹持面23接近。此时，切削刀具14维持由刀具装填治具70的限定面72a设定的上述的径向位置(正圆位置)，因此能够不与刀具安装座20的凸缘部24干涉而按照将凸肩部24收纳在圆形开口14a的内侧的位置关系接近夹持面23。

使刀具保持治具60***直至切削刀具14与刀具安装座20的夹持面23抵接。另外，为了防止此时刀具安装座20和刀具保持治具60对切削刀具14的夹持力过大，可以通过安装引导治具80的***限制面80c和小直径凹部63的底面63a的抵接来限制刀具保持治具60的***方向的移动。在该情况下，在***限制面80c与底面63a抵接的阶段，将吸附面61a和环状面67a与夹持面23之间的间隔设定成与切削刀具14的厚度一致。

接着，当对吸引源90进行驱动而使吸引力作用于吸引孔30时，使对切削刀具14的侧面进行吸附的力作用于刀具安装座20的夹持面23。然后，当停止吸引源91的驱动而解除刀具保持治具60侧的吸引力(对吸附面61a和环状面67a的吸引保持)时，切削刀具14被吸引保持于夹持面23。即，切削刀具14从保持在刀具保持治具60侧的状态切换至保持在刀具安装座20侧的状态。

一边维持将切削刀具14吸引保持在夹持面23的状态一边如图5所示那样将刀具保持治具60从安装引导治具80拔出。在将刀具保持治具60拔出时继续进行吸引源90的驱动，继续通过作用于夹持面23的吸引力将切削刀具14保持在刀具安装座20侧。此时的切削刀具14继续维持在上述的向刀具装填治具70的安装阶段被限定面72a所限定的径向位置(正圆位置)，切削刀具14的中心与主轴12的主轴的轴心P一致。

到以上的阶段为止是将切削刀具14临时保持在刀具安装座20上的切削刀具临时保持步骤。如上所述，在切削刀具临时保持步骤中，按照从刀具装填治具70经刀具保持治具60到刀具安装座20的顺序进行切削刀具14的保持的交接，在任意阶段均维持最初由刀具装填治具70的限定面72a限定的切削刀具14的中心位置不偏移，能够在切削刀具14的中心与主轴12的主轴的轴心P一致的状态下进行临时保持。即，在临时保持的阶段完成了切削刀具14的正圆调整。

最后，如图6所示，实施固定步骤，相对于刀具安装座20的凸台部25***嵌合孔41而安装固定凸缘40，使固定螺母45与外螺纹28螺合而对固定凸缘40进行固定。当进行固定步骤时，成为如下的固定状态：通过夹持面23和夹持面42对切削刀具14的两个侧面进行夹持，切削刀具14相对于主轴12向X轴、Y轴和Z轴的各方向的移动受到限制。在固定凸缘40的固定之后停止吸引源90的驱动。切削刀具14已经通过夹持进行了固定，因此即使解除来自吸引孔30的吸引力，也不会产生切削刀具14的位置偏移或脱落。

如上所述，根据本实施方式的切削刀具的安装方法，在切削刀具临时保持步骤中，在切削刀具14的中心与主轴12的主轴的轴心P一致的正圆位置利用刀具安装座20对切削刀具14进行保持，一边通过吸引来维持该切削刀具14的正圆位置一边实施对固定凸缘40进行固定的固定步骤。在安装的过程中不会产生由于自重而导致的切削刀具14的偏心等，在完成了新的切削刀具14的安装的状态下成为适当的正圆位置。因此，能够节约在切削刀具14的安装之后进行正圆修整及磨锐修整所需的时间而立刻执行加工，能够提高切削装置中的加工效率。另外，关于应用了本发明的切削刀具的安装，可以利用以自动的方式进行切削刀具的更换的自动刀具更换器来进行，也可以利用操作者的手动操作的刀具更换来进行。

关于切削刀具14的保持所用的刀具安装座20和固定凸缘40以及切削刀具14的安装时所用的安装治具(刀具保持治具60、刀具装填治具70、安装引导治具80)，也可以采用与本实施方式不同的结构。

例如，刀具安装座20所具有的吸引构造只要在切削刀具临时保持步骤中能够可靠地对切削刀具14进行吸引保持，则可以变更结构。具体而言，在本实施方式中，在刀具安装座20的夹持面23上隔开规定的间隔设置有多个吸引孔30，但可以代替多个吸引孔30而设置连续的环状的吸引孔(刀具保持治具60的吸引孔64那样的形态的孔)。

作为利用应用本发明进行了安装的切削刀具进行切削的对象的工件，例如可以使用半导体器件晶片、光器件晶片、封装基板、半导体基板、无机材料基板、氧化物晶片、生陶瓷基板、压电基板等各种工件。作为半导体器件晶片，可以使用形成器件后的硅晶片或化合物半导体晶片。作为光器件晶片，可以使用形成器件后的蓝宝石晶片或碳化硅晶片。另外，作为封装基板，可以使用CSP(Chip Size Package：芯片尺寸封装)基板，作为半导体基板，可以使用硅或砷化镓等，作为无机材料基板，可以使用蓝宝石、陶瓷、玻璃等。另外，作为氧化物晶片，可以使用形成器件后或形成器件前的钽酸锂、铌酸锂。

另外，对本发明的各实施方式进行了说明，但作为本发明的其他实施方式，也可以对上述实施方式和变形例进行整体或局部地组合。

另外，本发明的实施方式并不限于上述的实施方式和变形例，也可以在不脱离本发明的技术思想的主旨的范围内进行各种变更、置换、变形。进而，如果因技术的进步或衍生出的其他技术而利用其他方法实现本发明的技术思想，则也可以使用该方法进行实施。因此，权利要求书覆盖了能够包含在本发明的技术思想的范围内的所有实施方式。

如以上所说明的那样，根据本发明的切削刀具的安装方法，能够在完成了新的切削刀具的安装的时刻确保切削刀具相对于主轴的正圆性，因此能够缩短从安装切削刀具到能够进行加工为止的时间，能够提高生产率。

Claims (1)

1.一种切削刀具的安装方法，利用第一凸缘和第二凸缘所分别具有的夹持面对由圆环状的切刃构成的切削刀具的两个侧面进行夹持并且将该切削刀具安装在主轴上，其中，安装在该主轴的前端的该第一凸缘具有将该切削刀具的侧面吸引保持于该夹持面的吸引孔，该切削刀具的安装方法的特征在于，具有如下的步骤：

切削刀具临时保持步骤，在使该切削刀具的中心与该主轴的轴心一致的正圆位置使该切削刀具与该第一凸缘的该夹持面抵接，并且作用吸引力而将该切削刀具吸引保持于该第一凸缘；以及

固定步骤，在实施了该切削刀具临时保持步骤之后，利用该第二凸缘将维持了该正圆位置的该切削刀具固定于该第一凸缘。