CN104589520A - 法兰机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种法兰机构，能够抑制在装配孔和毂部之间发生卡住。法兰机构(30)具有：固定法兰(31)，其具备圆筒状的毂部(311)、刀具装配部(311a)和对切削刀具(20)的侧面(211a)进行支承的支承法兰部(313)；按压法兰(32)，其具有装配孔(321)，装配孔的内周(321a)支承于刀具装配部，该按压法兰(32)与固定法兰(31)夹持切削刀具(20)；以及固定螺母(33)，其将按压法兰(32)固定于固定法兰(31)，内周(321a)具有：引导部，其从固定螺母侧朝向切削刀具侧扩径；避让部，其从切削刀具侧朝向固定螺母侧扩径；以及支承棱部，其形成于引导部和避让部之间，按压法兰的支承棱部与刀具装配部接触并被其支承。

Description

法兰机构

技术领域

本发明涉及法兰机构。

背景技术

在对半导体晶片等被加工物进行精密的切削加工时，广泛使用被称作切割装置的切削装置。在切割装置中，利用被装配在主轴的前端的法兰机构夹持的切削刀具来切削被加工物(例如，参照专利文献1)。法兰机构构成为包括以下部分：固定法兰，其固定于主轴；按压法兰，其在与固定法兰之间夹持切削刀具；以及固定螺母，其将按压法兰固定于固定法兰。

关于法兰机构，在形成于固定法兰的、与主轴的轴线平行地突出的毂部贯插于切削刀具的贯插孔的状态下，将按压法兰的装配孔装配于毂部，将固定螺母与毂部的外螺纹螺合，由此切削刀具被固定法兰和按压法兰夹持并固定。并且，在法兰机构中，按压法兰的装配孔的内径设定得比毂部的外径稍大至毂部能够***于贯插孔中的程度。这里，装配孔的内径与毂部的外径的差被设定得小，以便使固定法兰的轴线和按压法兰的轴线位于同一轴线上。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2005－191096号公报

在这样的法兰机构中，装配孔的内径与毂部的外径的差是微小的，因此存在如下问题：在将按压法兰装配于固定法兰时，若按压法兰相对于固定法兰稍微倾斜，则会发生装配孔和毂部容易嵌合的、所谓的卡住。并且，法兰机构是要求组装精度的，因此，若由于卡住而对装配孔的内周或毂部的外周受造成损伤，则可能会不满足其组装精度，需要修理或更换。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种法兰机构，能够防止在装配孔和毂部之间发生卡住。

为了解决上述课题并达成目的，本发明为一种法兰机构，所述法兰机构固定于被支承成能够旋转的主轴的前端，夹持对被加工物进行切削加工的环状的切削刀具，所述法兰机构的特征在于，所述法兰机构具有：固定法兰，其具有：圆筒状的毂部，其在前端部的外周形成有外螺纹；刀具装配部，其形成于毂部的轴向中间部，对切削刀具的内周面进行支承；以及支承法兰部，其形成为从毂部的轴向后端部向半径方向外侧突出，对切削刀具的一个侧面进行支承；环状的按压法兰，其在中心具有装配孔，该装配孔供毂部***，该装配孔的内周支承于刀具装配部，通过该按压法兰与固定法兰夹持切削刀具；以及环状的固定螺母，其与毂部的外螺纹螺合，将按压法兰固定于固定法兰，夹持切削刀具的插套于毂部的按压法兰的装配孔的内周具有：引导部，其从切削刀具侧朝向固定螺母侧缩径，对按压法兰向毂部的插套进行引导；避让部，其从固定螺母侧朝向切削刀具侧缩径；以及支承棱部，其形成于引导部和避让部之间，按压法兰的支承棱部与固定法兰的刀具装配部接触而支承于所述刀具装配部。

并且，在上述法兰机构中，优选引导部形成为曲面。

发明效果

根据本发明，在使内周扩径的引导部和避让部之间形成的支承棱部与固定法兰的刀具装配部接触，由此按压法兰被支承于刀具装配部，因此起到下述效果：能够减小刀具装配部相对于内周的接触面积，能够抑制在装配孔和毂部之间发生卡住。

附图说明

图1是示出实施方式的切削装置的结构例的立体图。

图2是示出实施方式的法兰机构的结构例的剖视图。

图3是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解立体图。

图4是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解剖视图。

图5是示出曲面部的剖视图。

图6是示出按压法兰相对于固定法兰倾斜的状态的剖视图。

图7是示出利用实施方式的法兰机构夹持厚度大的切削刀具的状态的剖视图。

标号说明

11：主轴；

20：切削刀具；

21a：内周面；

211a：一个侧面；

30：法兰机构；

31：固定法兰；

311：毂部；

311a：刀具装配部；

311d：外螺纹；

312：主轴装配部；

313：支承法兰部；

32：按压法兰；

321：装配孔；

321a：内周；

323a：引导部；

323b：支承棱部；

323c：避让部；

33：固定螺母。

具体实施方式

参照附图对用于实施本发明的方式(实施方式)进行详细说明。本发明不受以下的实施方式中记载的内容限定。并且，以下记载的结构要素中，包括本领域技术人员容易想到的、实质上相同的结构要素。而且，以下记载的结构能够适当组合。并且，在不脱离本发明的主旨的范围能够进行结构的各种省略、置换或变更。

〔实施方式〕

图1是示出实施方式的切削装置的结构例的立体图。图2是示出实施方式的法兰机构的结构例的剖视图。图3是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解立体图。图4是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解剖视图。图5是示出曲面部的剖视图。

图1所示的切削装置1是利用图3所示的法兰机构30所夹持并固定的切削刀具20对被加工物进行切削的加工装置。切削装置1如图1所示地构成为包括：卡盘工作台2、移动构件3、摄像构件4和切削构件5。被加工物不特别限定，但例如为板状的半导体晶片或光器件晶片、板状的无机材料基板、板状的延展性材料等板状的各种加工材料。在本实施方式中，对在被加工物的表面形成有多条相互正交的分割预定线的情况进行说明。

卡盘工作台2抽吸保持被加工物。卡盘工作台2形成为圆盘状，上表面形成为与水平方向平行的平面。卡盘工作台2由多孔陶瓷构成，并与未图示的真空抽吸源连接。

移动构件3在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上使卡盘工作台2和切削构件5相对移动。移动构件3构成为包括X轴移动构件3a、Y轴移动构件3b和Z轴移动构件3c。X轴移动构件3a将卡盘工作台2支承成能够相对于主体部6在X轴方向(相当于切削进给方向)上相对移动。Y轴移动构件3b将切削构件5支承成能够相对于主体部6在Y轴方向(相当于分度进给方向)上相对移动。Z轴移动构件3c将切削构件5支承成能够相对于主体部6在Z轴方向(相当于切入进给方向)上相对移动。各移动构件3a～3c例如由马达、滚珠丝杠、螺母等构成。

摄像构件4在切削加工前对分割预定线(间隔道)进行摄像，以便将切削构件5相对于被加工物的间隔道进行对准调节。摄像构件4例如为使用了CCD(ChargeCoupled Device，电荷耦合元件)图像传感器的照相机等。

切削构件5对被加工物实施切削加工。切削构件5如图3所示地构成为包括旋转驱动构件10、切削刀具20、法兰机构30和固定构件40。

旋转驱动构件10以高速旋转驱动切削刀具20。旋转驱动构件10具备主轴11、主轴壳体12和未图示的马达。在主轴11的前端以能够装卸的方式固定法兰机构30，主轴11相对于主轴壳体12被支承成能够旋转。主轴11形成为朝向前端缩径的圆锥台形状。如图3和图4所示，在主轴11的前端具有形成有内螺纹11b的螺纹孔11a，内螺纹11b与固定法兰机构30的固定构件40螺合。主轴壳体12形成为筒状，并利用径向空气轴承和轴向空气轴承将内插的主轴11支承成能够旋转。

如图3所示，切削刀具20是形成为环状的圆板状的切削磨具，通过高速旋转来对保持于卡盘工作台2的被加工物进行切削。切削刀具20例如为所谓的金属结合剂刀具、树脂结合剂刀具、陶瓷结合剂刀具等。切削刀具20的厚度为大约几十μm，具有柔软性。切削刀具20具有与后述的刀具装配部311a(参照图4)的外形对应的大小的圆形的贯插孔21。如图2所示，切削刀具20被法兰机构30的按压法兰32和固定法兰31夹持，从而被固定在固定法兰31上。

法兰机构30将切削刀具20夹持固定成能够装卸，并以能够装卸的方式固定于主轴11的前端。如图2和图3所示，法兰机构30构成为包括固定法兰31、按压法兰32和固定螺母33。

固定法兰31形成为圆筒状。如图4所示，固定法兰31具备毂部311、主轴装配部312、支承法兰部313和固定构件安装部314。

毂部311形成为在固定法兰31的轴向上突出的圆筒状。毂部311具备刀具装配部311a、外螺纹部311b和环状凹部311c。刀具装配部311a形成于毂部311的轴向中间部的外周，支承图3所示的切削刀具20的贯插孔21的内周面21a。外螺纹部311b形成于毂部311的轴向前端部的外周，外螺纹部311b在前端部形成有与固定螺母33螺合的外螺纹311d。外螺纹部311b的外周形成为直径比刀具装配部311a的外周小。环状凹部311c设置于刀具装配部311a和外螺纹部311b之间。环状凹部311c形成为直径比外螺纹部311b的外周小的槽状。

主轴装配部312形成为在固定法兰31的轴向上向与毂部311相反的一侧突出的圆筒状。主轴装配部312的内周形成为与主轴11的前端的外周对应的形状，主轴装配部312具有与主轴11的前端嵌合的主轴嵌合部312a。

支承法兰部313形成于毂部311的轴向后端部的外周，支承切削刀具20的一个侧面211a。在本实施方式中，支承法兰部313设置在固定法兰31的轴向中间部。支承法兰部313形成为从毂部311的外周向半径方向外侧突出。支承法兰部313形成为比切削刀具20的外形小的圆板状。支承法兰部313具有与切削刀具20的一个侧面211a对置并接触的夹持突起313a。夹持突起313a沿支承法兰部313的外周形成，并形成为在轴向上朝向毂部311呈环状突出。夹持突起313a的与切削刀具20的一个侧面211a对置并接触的部分为平坦的平面。

固定构件安装部314用于安装与主轴11的内螺纹11b螺合的固定构件40。固定构件安装部314的内周(毂部311的内周)形成为直径比后述的垫圈41大，固定构件安装部314具有与垫圈41抵接的垫圈抵接部314a。

按压法兰32如图2所示地与固定法兰31来夹持切削刀具20。即，按压法兰32在与固定法兰31之间夹着切削刀具20而进行支承。按压法兰32如图3所示地形成为环状的圆板状。按压法兰32具备装配孔321、法兰部322、曲面部323和肋部324。

装配孔321如图4所示地形成为以按压法兰32的轴线为中心的圆形形状。装配孔321的内周321a形成为能够供毂部311***的大小，并以与刀具装配部311a的外周对应的大小的直径形成。

法兰部322支承切削刀具20的另一个侧面211b。法兰部322形成为比切削刀具20的外形小的圆板状，并形成为与支承法兰部313同样的大小。法兰部322具有与支承法兰部313的夹持突起313a对置、并与切削刀具20的另一个侧面211b对置并接触的夹持突起322a。夹持突起322a沿法兰部322的外周形成，并以在轴向上朝向支承法兰部313呈环状突出的方式形成。夹持突起322a的与切削刀具20的另一个侧面211b对置并接触的部分为平坦的平面。

在将按压法兰32相对于固定法兰31装卸时，曲面部323如图6所示地容许按压法兰32相对于固定法兰31的轴向倾斜，即使在按压法兰32倾斜的状态下，也会减小与刀具装配部311a的接触面积。曲面部323如图4所示地从轴向中间部朝向轴向两端部形成为内周321a相对于按压法兰32的轴线向半径方向外侧翘曲的双曲面状。在本实施方式中，曲面部323是如图5所示地使内周321a朝向轴向两端部侧以构成圆弧状轴向截面的方式扩径而形成的。曲面部323具有与图4所示的毂部311的轴向平行的圆周面，曲面部323是对内径设定成使按压法兰32相对于固定法兰31位于同一轴线上的装配孔321的内周321a的轴向两端部侧实施例如车削加工而形成的。曲面部323的轴向的宽度与法兰部322的除了夹持突起322a和肋部324的轴向的宽度以外的宽度相同。曲面部323的、轴向中间部与轴向两端部的轴正交方向的差例如为大约3～0.2mm。曲面部323具有引导部323a、支承棱部323b和避让部323c。即，内周321a具有引导部323a、支承棱部323b和避让部323c。

如图4和图5所示，引导部323a在轴向上设置于曲面部323的夹持突起322a侧，并以从固定螺母33侧朝向切削刀具20侧扩径的方式形成。即，引导部323a从支承棱部323b侧朝向夹持突起322a侧使内周321a扩径。在本实施方式中，在引导部323a，使装配孔321的夹持突起322a侧的端部扩径成构成圆弧状轴向截面。引导部323a的曲率半径r2例如为曲面部323的轴向中间部(即支承棱部323b)的内周321a的半径r1以下，例如为大约10～3mm。如图5所示，引导部323a的夹持突起322a侧的端部也是曲面部323的轴向的夹持突起322a侧的端部，并位于内周321a的肋部324的轴向截面平坦部分的延长线上。引导部323a的支承棱部323b侧的端部也是支承棱部323b的轴向的引导部323a侧的端部。相对于引导部323a的支承棱部323b侧的端部的切线与支承棱部323b平行且在同一面上。

支承棱部323b与图4所示的刀具装配部311a接触并被支承。支承棱部323b如图5所示地形成于引导部323a和避让部323c之间，并形成为相对于按压法兰32的轴线平行的圆周面状。支承棱部323b的轴向的宽度L例如为大约3～0.2mm。支承棱部323b从其表面到内周321a的肋部324的轴向截面平坦部分的延长线为止的轴正交方向的长度，是与曲面部323的轴向中间部和轴向两端部在轴正交方向上的差相同的长度。支承棱部323b的直径(即支承棱部323b的内周321a的直径)与不具有曲面部323的情况下的按压法兰的内周的直径相同。支承棱部323b与刀具装配部311a之间的间隙作为将支承棱部323b的内周和刀具装配部311a的外周配置在同心圆上时的间隙，例如为从几μm到几十μm。

如图4和图5所示，避让部323c在轴向上设置于曲面部323的肋部324侧，并以从切削刀具20侧朝向固定螺母33侧扩径的方式形成。即，避让部323c从支承棱部323b侧朝向肋部324侧使内周321a扩径。在本实施方式中，避让部323c的曲率半径与引导部323a的曲率半径相同。如图5所示，避让部323c的肋部324侧的端部也是曲面部323的轴向的肋部324侧的端部，也是内周321a的肋部324的轴向截面平坦部分的避让部323c侧的端部。避让部323c的支承棱部323b侧的端部也是支承棱部323b的轴向的避让部323c侧的端部。相对于避让部323c的支承棱部323b侧的端部的切线与支承棱部323b平行且在同一面上。

肋部324用于加强法兰部322。肋部324以从法兰部322的与夹持突起322a相反的一侧的装配孔321的周围呈环状地突出的方式形成。肋部324从法兰部322突出的突出量被设定为下述突出量：在相对于固定法兰31装卸按压法兰32时，即使按压法兰32相对于固定法兰31的轴向倾斜，肋部324的内周321a的固定螺母33侧的端部也不会与毂部311接触。肋部324的内周321a形成为相对于按压法兰32的轴向平行的圆周面状。

固定螺母33将按压法兰32以能够装卸的方式固定于固定法兰31。固定螺母33如图4所示地形成为比外螺纹部311b大的环状。固定螺母33具有形成有内螺纹331a的螺纹孔331，内螺纹331a与外螺纹部311b的外螺纹311d螺合。螺纹孔331以与外螺纹部311b的外周对应的大小形成。

固定构件40将法兰机构30以能够装卸的方式固定于主轴11的前端。固定构件40如图3所示地构成为包括垫圈41和固定螺钉42。垫圈41如图4所示地形成为能够***到固定构件安装部314中的大小，并形成为能够与垫圈抵接部314a抵接的大小。在本实施方式中，垫圈41是所谓的平垫圈。垫圈41具有贯插孔41a，贯插孔41a形成得比固定螺钉42的轴部大、且形成得比固定螺钉42的头部小。固定螺钉42具有：与主轴11的内螺纹11b螺合的外螺纹42a；以及供未图示的六边形杆扳手等工具***的六边形孔42b。

这里，参照图1，对上述那样构成的切削装置1的动作进行说明。首先，在作业员等操作人员将被加工物载置到卡盘工作台2之后，切削装置1利用真空抽吸源将被加工物抽吸保持在卡盘工作台2上。接下来，切削装置1利用摄像构件4对被加工物的间隔道进行摄像，根据拍摄到的间隔道对被加工物与切削构件5的对准进行调节，之后，一边从未图示的喷嘴朝向切削刀具20喷射切削液，一边使切削刀具20高速旋转。接下来，切削装置1一边使切削刀具20高速旋转，一边相对于多个间隔道中的各个间隔道使切削刀具20进行切入进给、加工进给和分度进给，对同一方向的所有间隔道实施切削加工而形成切削槽。接下来，切削装置1在对同一方向的所有间隔道实施了切削加工之后，使卡盘工作台2绕轴心旋转90度，利用切削构件5重复同样的切削加工，由此将被加工物分割成一个个芯片。

接下来，参照图2、以及图4到图6，对切削装置1的切削刀具20的更换作业进行说明。图6是示出按压法兰相对于固定法兰倾斜的状态的剖视图。另外，切削装置1在进行切削刀具20的更换作业之前切断了电源。

首先，在利用按压法兰32和固定法兰31夹持并固定了切削刀具20的图2所示的状态下，操作人员将固定螺母33向松缓的方向旋转，由此将固定螺母33从外螺纹部311b卸下。这里，按压法兰32的图5所示的支承棱部323b被支承在刀具装配部311a上，支承棱部323b的内周与刀具装配部311a的外周的上述间隙为几μm到几十μm，因此，按压法兰32与固定法兰31的中心一致(即位于同一轴线上)。因此，抑制了按压法兰32相对于固定法兰31的偏心。并且，由于按压法兰32的支承棱部323b形成为相对于按压法兰32的轴线平行的圆周面状，因此，按压法兰32被稳定地支承在刀具装配部311a上。

接下来，操作人员在轴向上使按压法兰32向与固定法兰31相反的一侧移动，由此将按压法兰32从固定法兰31卸下(拉出)。这里，曲面部323由于引导部323a和避让部323c而使轴向两端部侧的内周321a扩径，从而使支承棱部323b的内周321a与毂部311的间隙为最小，因此，轴向两端部侧的内周321a与毂部311之间的间隙扩大。因此，在不具有曲面部323、且内周整周与毂部311之间的间隙同支承棱部323b的内周321a与毂部311之间的间隙相同的情况下，若按压法兰32相对于固定法兰31的轴向倾斜，则毂部311容易与内周321a接触。另一方面，在具有曲面部323的按压法兰32中，由于将轴向两端部侧的内周321a与毂部311之间的间隙扩大，因此，即使按压法兰32倾斜，毂部311也不易与引导部323a和避让部323c接触。因此，即使按压法兰32在倾斜的状态下被从固定法兰31拉出，内周321a和毂部311也不易受到损伤。

接下来，操作人员如图4所示地将按压法兰320从毂部311拉出之后，将切削刀具20与按压法兰32同样地从毂部311拉出。这里，切削刀具20的厚度为大约几十μm且具有柔软性，因此，与刀具装配部311a之间不会发生卡住。另外，在将固定法兰31从主轴11卸下的情况下，操作人员将固定螺钉42向松缓的方向旋转，将固定螺钉42从主轴11的螺纹孔11a卸下，由此将固定法兰31从主轴11卸下。卸下的固定法兰31通过与卸下相反的作业步骤而再次被固定到主轴11。

接下来，操作人员例如使未使用等的切削刀具20向支承法兰部313侧移动，直到切削刀具20的一个侧面211a与夹持突起313a对置并接触，由此将切削刀具20装配到固定法兰31。这里，切削刀具20的内周面21a支承于刀具装配部311a。

接下来，操作人员使按压法兰32朝向毂部311移动。这里，关于图5所示的引导部323a，由于使夹持突起322a侧的内周扩径，所以在按压法兰32相对于固定法兰31的轴向倾斜的情况下，引导部323a与毂部311的前端部接触着将其前端部朝向装配孔321内引导。

接下来，操作人员使按压法兰32向支承法兰部313侧移动，以使得被引导部323a引导的毂部311的前端部贯穿装配孔321。这里，毂部311的前端部从引导部323a向支承棱部323b和图5所示的避让部323c移动。并且，避让部323c形成为从轴向的支承棱部323b侧朝向肋部324侧使内周321a向半径方向外侧扩径的圆弧状轴向截面，因此，即使在按压法兰32相对于固定法兰31的轴向倾斜的情况下，也不易与毂部311的前端部接触。

接下来，操作人员将按压法兰32向支承法兰部313侧移动，直到夹持突起322a与切削刀具20的另一个侧面211b对置并接触。这里，按压法兰32的曲面部323朝向轴向两端部侧使内周321a扩径，即使在按压法兰32倾斜的状态下，毂部311也不易与引导部323a和避让部323c接触，因此，曲面部323通过在刀具装配部311a上滑动移动而被装配到固定法兰31。

接下来，操作人员在固定螺母33的螺纹孔331被压靠于外螺纹部311b的状态下将固定螺母33向紧固的方向旋转，由此内螺纹331a与外螺纹部311b的外螺纹311d螺合，固定螺母33被固定于外螺纹部311b。这里，法兰机构30夹持并固定切削刀具20。

如上所述，根据实施方式的法兰机构30，即使按压法兰32相对于固定法兰31的轴向倾斜，毂部311也不易与引导部323a和避让部323c接触，因此，即使在按压法兰32倾斜的状态下，也能够相对于固定法兰31进行装卸。即，根据实施方式的法兰机构30，即使在按压法兰32相对于固定法兰31的轴向倾斜的状态下，也能够抑制与毂部311之间发生卡住。因此，根据实施方式的法兰机构30，起到能够抑制在装配孔321和毂部311之间发生卡住这样的效果。

并且，根据实施方式的法兰机构30，引导部323a将毂部311的前端部引导到装配孔321内，避让部323c不易与毂部311的前端部接触，因此，能够将按压法兰32顺畅地装配到固定法兰31。

并且，根据实施方式的法兰机构30，曲面部323容许按压法兰32相对于固定法兰31的轴向倾斜，因此，即使在按压法兰32倾斜的状态下，也能够抑制对内周321a和刀具装配部311a造成损伤。

并且，根据实施方式的法兰机构30，例如在夹持直径为3英尺以上的大型的切削刀具20的情况下，若使支承法兰部313和法兰部322与切削刀具20对应地大型化，则为了确保支承法兰部313和法兰部322的强度，固定法兰31自身和按压法兰32自身也会大型化，毂部311和内周321a在轴向上变长，因此，在内周321a不具有曲面部323的情况下，在内周321a与毂部311之间容易发生卡住，但由于曲面部323形成为圆弧状轴向截面，因此，能够抑制在与毂部311之间发生卡住。

另外，在上述的实施方式中，切削刀具20形成为从几μm到几十μm的厚度，但不限定于此，如图7所示，只要能够在支承棱部323b配置在刀具装配部311a上的状态下夹持并固定切削刀具20即可，因此，例如也可以形成为几百μm的厚度。由此，例如能够在沿被加工物的外周的边缘进行切削的、所谓的修边中使用法兰机构30，能够利用法兰机构30夹持各种厚度的切削刀具20。

另外，还考虑了在毂部311的基端部侧设置曲面部323那样的突起来代替在按压法兰32设置曲面部323。然而，在像这样在毂部311的除前端部侧以外的基端部侧(即支承法兰部313侧)设置突起的情况下，切削刀具20的内周面21a成为能够贯插突起的大小，因此，若将厚度形成为大约几十μm的薄的切削刀具20装配到固定法兰31的毂部311的基端部侧，则毂部311的基端部侧的外周和内周面21a之间的间隙会变大，从而无法在使切削刀具20的轴心与毂部311的轴心的位置一致的状态下进行支承。即，在毂部311的基端部侧设置突起的情况下，无法使用形成得薄的切削刀具20。或者，对于内周面21a被定位于突起的厚度的切削刀具20，使用受到限制。

并且，在上述的实施方式中，引导部323a形成有圆弧状轴向截面，但不限定于此，只要能够将毂部311的前端部朝向装配孔321内进行引导即可，因此，例如也可以是锥状轴向截面。在该情况下，优选引导部323a容许按压法兰32的倾斜。

并且，在上述的实施方式中，曲面部323在轴向上是内周321a的一部分，但在轴向上内周321a整周也可以形成为双曲面状。由此，与上述的实施方式同样地，能够抑制在装配孔321和毂部311之间发生卡住，能够将按压法兰32顺畅地装配到固定法兰31。

Claims (2)

1.一种法兰机构，其固定于被支承成能够旋转的主轴的前端，夹持对被加工物进行切削加工的环状的切削刀具，

所述法兰机构具有：

固定法兰，其具有：圆筒状的毂部，其在前端部的外周形成有外螺纹；刀具装配部，其形成于所述毂部的轴向中间部，对切削刀具的内周面进行支承；以及支承法兰部，其形成为从所述毂部的轴向后端部向半径方向外侧突出，对所述切削刀具的一个侧面进行支承；

环状的按压法兰，其在中心具有装配孔，所述装配孔供所述毂部***，所述装配孔的内周支承于所述刀具装配部，通过所述按压法兰与所述固定法兰夹持所述切削刀具；以及

环状的固定螺母，其与所述毂部的所述外螺纹螺合，将所述按压法兰固定于所述固定法兰，

夹持所述切削刀具的插套于所述毂部的所述按压法兰的所述装配孔的内周具有：

引导部，其从所述固定螺母侧朝向所述切削刀具侧扩径，对所述按压法兰向所述毂部的插套进行引导；

避让部，其从所述切削刀具侧朝向所述固定螺母侧扩径；以及

支承棱部，其形成于所述引导部和所述避让部之间，

所述按压法兰的所述支承棱部与所述固定法兰的所述刀具装配部接触而支承于所述刀具装配部。

2.根据权利要求1所述的法兰机构，其中，

所述引导部形成为曲面。