CN109129832A - 一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法,包括配料、混合磨细、预烧、二次磨细、造粒、成型、排塑、烧结成瓷、外形加工、被电极、高压极化和老化测试,所述混合磨细将各种原料混匀磨细,所述预烧为原料在高温下进行固相反应,所述二次细磨为压电陶瓷粉末再细振混匀磨细,所述造粒使粉料形成流动性好的颗粒,成型是压结成所要求的预制尺寸的毛坯,所述排塑是将制粒时加入的粘合剂从毛坯中除掉,所述烧结成瓷为毛坯在高温下密封烧结成瓷,所述外形加工是将烧好的制品加工到所需的成品尺寸,所述被电极为陶瓷表面设置上导电电极,所述高压极化为陶瓷内部电畴定向排列,本发明的有益效果是简单、生产精度高的纳米定位平台用压电陶瓷制作方法。
Description
技术领域
本发明属于机械领域,尤其是涉及一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法。
背景技术
在现有的技术中有多种高精度纳米定位平台,但是大部分纳米定位平台使用的均是一般标准的感应方法,在需要高精度定位时就需要投入较高成本,对于压电陶瓷的使用并不常见,使用的压电陶瓷都是普通的压电陶瓷,制作复杂,精度较低,使用寿命也不长,大部分的压电陶瓷制作成本较高,提高定位平台的制作难度和制作成本,并且大部分压电陶瓷制作方法复杂。
发明内容
本发明的目的是提供一种方法简单,过程精细,质量优质的纳米定位平台用压电陶瓷制作方法,尤其适合高精度纳米定位平台。
本发明的技术方案是:一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法,包括配料、混合磨细、预烧、二次磨细、造粒、成型、排塑、烧结成瓷、外形加工、被电极、高压极化和老化测试,所述配料需进行料前处理,除杂去潮,按配方比例称量原材料,所述混合磨细将各种原料混匀磨细,磨细的原料作为预烧进行完全的固相反应的准备条件,所述预烧为原料在高温下进行固相反应,所述二次细磨为预烧过的压电陶瓷粉末再细振混匀磨细,所述造粒使粉料形成高密度的流动性好的颗粒,造粒时加入粘合剂,成型是将制好粒的料压结成所要求的预制尺寸的毛坯,所述排塑是将制粒时加入的粘合剂从毛坯中除掉,所述烧结成瓷为毛坯在高温下密封烧结成瓷,所述外形加工是将烧好的制品磨加工到所需要的成品尺寸,所述被电极为陶瓷表面设置上导电电极,采用银层烧渗、化学沉积和真空镀膜法,所述高压极化为陶瓷内部电畴定向排列,从而使陶瓷具有压电性能,所述老化测试为陶瓷性能稳定后的指标检测。
所述配料采用杂志含量少的原料,人工添加部分有利杂质,并且对含水原料进行烘干,所述混合磨细时将原料进行均匀混合研磨,混合磨细过后进行预烧,预烧需压紧、扎孔、加盖和入炉,在500℃前炉门微开排出有机物和水分,预烧过后进行二次磨细,所述二次磨细实用球磨机对原料进行混合和粉碎,保证粒度分布和平均粒度,二次磨细后进行造粒,造粒时加入粘合剂,并使用喷雾造粒,造粒后使用压力成型法成型,成型后进行排塑,在100℃保留一段时间,在500℃前进行缓慢升温,排塑结束进行烧结成瓷,烧结成瓷之后进行外形加工,外形加工完毕进行被电极,在陶瓷表面镀一层银,高度极化使陶瓷内部电畴定向排列,从而使陶瓷具有压电性能,高度极化完毕进行老化测试。
进一步的,所述配料时少量的添加剂要放在大料的中间。
进一步的,所述混合磨细为干磨和湿磨的方法,小批量干磨,大批量为搅拌球磨和气流粉碎法。
进一步的,所述造粒采用喷雾造粒。
本发明具有的优点和积极效果是:
1、配料采用优质配料,杂质含量极低,并且加入有利杂质,优化后期工作的效果,提升纳米平台的检测精度。
2、进行烧结过程中温度控制精准,提高陶瓷质量,高度极化过后,保证纳米平台的精度和使用寿命。
3、研磨实用球磨机保证粒度均匀,提高后期工作的精度,提高产品质量。
具体实施方式
一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法,包括配料、混合磨细、预烧、二次磨细、造粒、成型、排塑、烧结成瓷、外形加工、被电极、高压极化和老化测试,所述配料需进行料前处理,除杂去潮,按配方比例称量原材料,所述混合磨细将各种原料混匀磨细,磨细的原料作为预烧进行完全的固相反应的准备条件,所述预烧为原料在高温下进行固相反应,所述二次细磨为预烧过的压电陶瓷粉末再细振混匀磨细,所述造粒使粉料形成高密度的流动性好的颗粒,造粒时加入粘合剂,成型是将制好粒的料压结成所要求的预制尺寸的毛坯,所述排塑是将制粒时加入的粘合剂从毛坯中除掉,所述烧结成瓷为毛坯在高温下密封烧结成瓷,所述外形加工是将烧好的制品磨加工到所需要的成品尺寸,所述被电极为陶瓷表面设置上导电电极,采用银层烧渗、化学沉积和真空镀膜法,所述高压极化为陶瓷内部电畴定向排列,从而使陶瓷具有压电性能,所述老化测试为陶瓷性能稳定后的指标检测。
所述配料采用杂志含量少的原料,人工添加部分有利杂质,并且对含水原料进行烘干,所述混合磨细时将原料进行均匀混合研磨,混合磨细过后进行预烧,预烧需压紧、扎孔、加盖和入炉,在500℃前炉门微开排出有机物和水分,预烧过后进行二次磨细,所述二次磨细实用球磨机对原料进行混合和粉碎,保证粒度分布和平均粒度,二次磨细后进行造粒,造粒时加入粘合剂,并使用喷雾造粒,造粒后使用压力成型法成型,成型后进行排塑,在100℃保留一段时间,在500℃前进行缓慢升温,排塑结束进行烧结成瓷,烧结成瓷之后进行外形加工,外形加工完毕进行被电极,在陶瓷表面镀一层银,高度极化使陶瓷内部电畴定向排列,从而使陶瓷具有压电性能,高度极化完毕进行老化测试。
所述配料时少量的添加剂要放在大料的中间。
所述混合磨细为干磨和湿磨的方法,小批量干磨,大批量为搅拌球磨和气流粉碎法。
所述造粒采用喷雾造粒。
以上对本发明的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
Claims (4)
1.一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法,包括配料、混合磨细、预烧、二次磨细、造粒、成型、排塑、烧结成瓷、外形加工、被电极、高压极化和老化测试,其特征在于:所述配料需进行料前处理,除杂去潮,按配方比例称量原材料;所述混合磨细将各种原料混匀磨细,磨细的原料作为预烧进行完全的固相反应的准备条件;所述预烧为原料在高温下进行固相反应;所述二次细磨为预烧过的压电陶瓷粉末再细振混匀磨细;所述造粒使粉料形成高密度的流动性好的颗粒,造粒时加入粘合剂;成型是将制好粒的料压结成所要求的预制尺寸的毛坯;所述排塑是将制粒时加入的粘合剂从毛坯中除掉;所述烧结成瓷为毛坯在高温下密封烧结成瓷;所述外形加工是将烧好的制品磨加工到所需要的成品尺寸;所述被电极为陶瓷表面设置上导电电极,采用银层烧渗、化学沉积和真空镀膜法;所述高压极化为陶瓷内部电畴定向排列;所述老化测试为陶瓷性能稳定后的指标检测。
2.根据权利要求1所述的一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法,其特征在于:所述配料时少量的添加剂要放在大料的中间。
3.根据权利要求1所述的一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法,其特征在于:所述混合磨细为干磨和湿磨的方法,小批量干磨,大批量为搅拌球磨和气流粉碎法。
4.根据权利要求1所述的一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法,其特征在于:所述造粒采用喷雾造粒。
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CN201811035856.7A CN109129832A (zh) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | 一种纳米定位平台用压电陶瓷制作方法 |
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CN107382282A (zh) * | 2017-09-20 | 2017-11-24 | 贵州丛源电子科技有限公司 | 一种压电陶瓷及其制备方法 |
US20180053706A1 (en) * | 2016-08-17 | 2018-02-22 | Hong Chuang Applied Technology Co., Ltd | Ceramic wafer and the manufacturing method thereof |
CN107759219A (zh) * | 2017-11-14 | 2018-03-06 | 广州光鼎科技有限公司 | 一种高居里温度无铅压电陶瓷及其制备方法 |
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