CN108984014A - 具有集成式触摸屏的显示装置 - Google Patents

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Abstract

披露了一种具有集成式触摸屏的显示装置，能够防止第一触摸电极或第二触摸电极通过开口与桥接电极短路。显示装置包括：位于第一基板上的多个第一电极、位于第一电极上的发光层、位于发光层上的第二电极、位于第二电极上的封装层、位于封装层上的桥接电极和虚拟电极、覆盖桥接电极和虚拟电极的绝缘层、和位于绝缘层上的第一触摸电极和第二触摸电极，其中第一触摸电极电连接至桥接电极，桥接电极与虚拟电极分隔开。

Description

具有集成式触摸屏的显示装置
相关申请的交叉引用
本申请要求于2017年5月31日提交的韩国专利申请No.10-2017-0067889的权益，通过引用将该专利申请结合在此，如同在此完全阐述一样。
技术领域
本发明涉及一种具有集成式触摸屏的显示装置及其制造方法。
背景技术
随着信息化社会的发展，对用于显示图像的显示装置的各种需求增加。因此，近来正在使用诸如液晶显示(LCD)装置、等离子体显示面板(PDP)装置和有机发光显示装置之类的各种显示装置。有机发光显示装置具有利用低电压进行驱动、厚度薄、视角佳且响应速度快的特点。
每个有机发光显示装置包括：显示面板，显示面板包括多条数据线、多条扫描线、以及分别设置在由数据线和扫描线的交叉部分限定的多个像素区域中的多个像素；分别向扫描线提供扫描信号的扫描驱动器；和分别向数据线提供数据电压的数据驱动器。每个像素包括：有机发光器件；驱动晶体管，驱动晶体管根据栅极电极的电压控制提供至有机发光器件的电流量；和扫描晶体管，扫描晶体管响应于相应扫描线的扫描信号将相应数据线的数据电压提供至驱动晶体管的栅极电极。
近来，有机发光显示装置被实现为包括能够感测用户触摸的触摸屏面板的具有集成式触摸屏的显示装置。在这种情形中，有机发光显示装置起到触摸屏装置的作用。近来，触摸屏装置应用于诸如导航、工业终端、笔记本电脑、金融自动化设备和游戏机之类的显示器；诸如便携式电话、MP3播放器、个人数字助理(PDA)、便携式多媒体播放器(PMP)、掌上游戏机(PSP)、便携式游戏机、数字多媒体广播(DMB)接收机和平板个人电脑(PC)之类的便携式终端；以及诸如电冰箱、微波炉和洗衣机之类的家用电器。由于所有用户都能够容易地操控触摸屏装置，所以触摸屏装置的应用正在逐渐扩大。
每个具有集成式触摸屏的显示装置包括多个第一触摸电极、多个第二触摸电极、以及用于将第一触摸电极连接至第二触摸电极并且设置在显示面板中的多个桥接电极。第一触摸电极可以是Tx电极，第二触摸电极可以是Rx电极。
第一触摸电极和第二触摸电极可设置在相同层上，桥接电极可设置在与设置第一触摸电极和第二触摸电极的层不同的层上。每个桥接电极设置成岛形，但由于桥接电极彼此分隔开某一间隔，所以在图案化桥接电极的蚀刻工艺中桥接电极可被过蚀刻。
详细地说，如图1中所示，多个桥接电极BE可设置成包括第一到第三桥接电极BE1到BE3的三层结构。例如，第一到第三桥接电极BE1到BE3可设置成钛(Ti)/铝(Al)/Ti的三层结构。如果在蚀刻工艺中由蚀刻气体或蚀刻剂执行的蚀刻的程度方面Al高于Ti，与Ti相比，Al可被过蚀刻，Al的过蚀刻区域可设置成倒锥形。特别是，当没有电极与桥接电极BE相邻时，第二桥接电极BE2的侧表面可很容易被蚀刻，如图1中所示。因此，即使当在桥接电极BE上设置绝缘层INS时，在过蚀刻区域中仍可能具有开口OP，如图1中所示。因此，即使当在绝缘层INS上设置多个第一触摸电极或多个第二触摸电极时，第一触摸电极或第二触摸电极通过开口OP与桥接电极BE短路。在这种情形中，第一触摸电极连接至桥接电极BE，但当第二触摸电极通过开口OP与桥接电极BE短路时，具有集成式触摸屏的显示装置难以正常感测触摸。
发明内容
因此，本发明旨在提供一种基本上消除了由于相关技术的限制和缺点而导致的一个或多个问题的具有集成式触摸屏的显示装置。
本发明的一个方面旨在提供一种防止第一触摸电极或第二触摸电极通过开口与桥接电极短路的具有集成式触摸屏的显示装置。
在下面的描述中将部分列出本发明的附加优点和特征，这些优点和特征的一部分根据下面的解释对于所属领域普通技术人员将变得显而易见或者可通过本发明的实施领会到。通过说明书、权利要求书以及附图中具体指出的结构可实现和获得本发明的这些目的和其他优点。
为实现这些和其他优点，并根据本发明的意图，如这里具体化和概括地描述的，提供了一种具有集成式触摸屏的显示装置，所述显示装置包括：位于第一基板上的多个第一电极、位于所述第一电极上的发光层、位于所述发光层上的第二电极、位于所述第二电极上的封装层、位于所述封装层上的桥接电极和虚拟电极、覆盖所述桥接电极和所述虚拟电极的绝缘层、和位于所述绝缘层上的第一触摸电极和第二触摸电极，其中所述第一触摸电极电连接至所述桥接电极，所述桥接电极与所述虚拟电极分隔开。
在本发明的另一个方面中，提供了一种具有集成式触摸屏的显示装置，所述显示装置包括：位于第一基板上的第一电极；位于所述第一电极上的发光层；位于所述发光层上的第二电极；位于所述第二电极上的封装层；位于所述封装层上的触摸缓冲层；位于所述触摸缓冲层上的具有多层结构的桥接电极和虚拟电极；覆盖所述桥接电极和所述虚拟电极的绝缘层；和位于所述绝缘层上的第一触摸电极和第二触摸电极，其中所述桥接电极与所述第一触摸电极电连接，所述桥接电极与所述虚拟电极相邻地设置，并且所述桥接电极的侧表面具有正锥形。
在本发明的又一个方面中，提供了一种制造具有集成式触摸屏的显示装置的方法，所述方法包括：在第一基板上形成第一电极，在所述第一电极上形成发光层，并且在所述发光层上形成第二电极；在所述第二电极上形成封装层；在所述封装层上形成桥接电极和虚拟电极；形成覆盖所述桥接电极和所述虚拟电极的绝缘层；和在所述绝缘层上形成第一触摸电极和第二触摸电极，其中形成所述桥接电极和所述虚拟电极包括：将所述桥接电极和所述虚拟电极形成为使得所述桥接电极与所述虚拟电极分隔开。
在一个或多个实施方式中，形成所述绝缘层可包括：形成穿过所述绝缘层并暴露所述桥接电极的第一接触孔、以及暴露所述虚拟电极的第二接触孔。
在一个或多个实施方式中，形成所述第一触摸电极和所述第二触摸电极可包括：在所述第一接触孔上形成所述第一触摸电极，使得所述第一触摸电极通过所述第一接触孔连接至所述桥接电极；和在所述第二接触孔上形成所述第一触摸电极或所述第二触摸电极，使得所述第一触摸电极或所述第二触摸电极通过所述第二接触孔连接至所述虚拟电极。
在一个或多个实施方式中，所述方法还可包括：在所述第一触摸电极和所述第二触摸电极上形成涂覆层，所述涂覆层将由所述桥接电极、所述虚拟电极、所述第一触摸电极和所述第二触摸电极导致的台阶高度平坦化。
在一个或多个实施方式中，形成所述绝缘层可包括：形成穿过所述绝缘层并暴露所述桥接电极的接触孔，其中形成所述第一触摸电极和所述第二触摸电极可包括：在所述接触孔上形成所述第一触摸电极或所述第二触摸电极，使得所述第一触摸电极或所述第二触摸电极通过所述接触孔连接至所述桥接电极。
在一个或多个实施方式中，形成所述桥接电极和所述虚拟电极可包括：由相同材料将所述桥接电极和所述虚拟电极形成在相同层上。
在本发明的又一个方面中，提供了一种制造具有集成式触摸屏的显示装置的方法，所述方法包括：在第一基板上形成第一电极，在所述第一电极上形成发光层，并且在所述发光层上形成第二电极；在所述第二电极上形成封装层；在所述封装层上形成触摸缓冲层；在所述触摸缓冲层上形成具有多层结构的桥接电极和虚拟电极；形成覆盖所述桥接电极和所述虚拟电极的绝缘层；和在所述绝缘层上形成第一触摸电极和第二触摸电极，其中形成所述桥接电极和所述虚拟电极包括：将所述桥接电极形成为与所述第一触摸电极或所述第二触摸电极电连接，将所述桥接电极形成为与所述虚拟电极相邻地设置，并且将所述桥接电极的侧表面形成为正锥形。
在一个或多个实施方式中，形成所述桥接电极和所述虚拟电极可包括：将所述虚拟电极形成为浮置电极。
在一个或多个实施方式中，形成所述桥接电极和所述虚拟电极可包括：由相同材料将所述桥接电极和所述虚拟电极形成在相同层上。
应当理解，本发明的前面的概括性描述和下面的详细描述都是示例性的和解释性的，意在对要求保护的本发明提供进一步的说明。
附图说明
被包括用来提供对本发明的进一步理解且并入本申请且构成本申请的一部分的附图图解了本发明的实施方式，并与说明书一起用于解释本发明的原理。在附图中：
图1是图解当具有三层结构的桥接电极被过蚀刻时具有开口的示例的示例图；
图2是图解根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的立体图；
图3是图解根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的框图；
图4是图2的显示面板的一侧的剖面图；
图5是图解根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的第一触摸电极、第二触摸电极、桥接电极、第一触摸线和第二触摸线的平面图；
图6是详细图解图5的区域A的示例的放大图；
图7A是仅图解图6中的桥接电极和虚拟电极的平面图；
图7B是仅图解图6中的第一触摸电极、第二触摸电极、第一触摸线和第二触摸线的平面图；
图8是图解沿图6的线I-I’截取的示例的剖面图；
图9是图解根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法的流程图；
图10A到10D是用于描述根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法的剖面图；
图11是详细图解图5的区域A的另一示例的放大图；
图12是图解沿图11的线II-II’截取的示例的剖面图；
图13是图解根据本发明另一实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法的流程图；以及
图14A和14B是用于描述根据本发明另一实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法的剖面图。
具体实施方式
现在将详细描述本发明的示例性实施方式，这些实施方式的例子在附图中示出。将尽可能地在整个附图中用相同的参考标记来指代相同或相似的部件。
将通过参照附图描述的下列实施方式阐明本发明的优点和特征及其实现方法。然而，本发明可以以不同的形式实施，不应解释为限于在此列出的实施方式。而是，提供这些实施方式是为了使本公开内容全面和完整，并将本发明的范围充分地传递给所属领域技术人员。此外，本发明仅由权利要求书的范围限定。
为了描述本发明的实施方式而在附图中公开的形状、尺寸、比例、角度和数量仅仅是示例，因而本发明不限于图示的细节。相似的参考标记通篇表示相似的元件。在下面的描述中，当确定对相关的已知功能或构造的详细描述会不必要地使本发明的重点模糊不清时，将省略该详细描述。
在本申请中使用“包含”、“具有”和“包括”描述的情况下，可添加另外的部分，除非使用了“仅”。
在解释一要素时，尽管没有明确说明，但该要素应解释为包含误差范围。
在描述位置关系时，例如当两个部件之间的位置关系被描述为“在……上”、“在……上方”、“在……下方”和“在……之后”时，可在这两个部件之间设置一个或多个其他部件，除非使用了“正好”或“直接”。
在描述时间关系时，例如，当时间顺序被描述为“在……之后”、“随后”、“接下来”和“在……之前”时，可包括不连续的情况，除非使用了“正好”或“直接”。
将理解到，尽管在此可使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但这些元件不应被这些术语限制。这些术语仅仅是用来将元件彼此区分开。例如，在不背离本发明的范围的情况下，第一元件可能被称为第二元件，相似地，第二元件可能被称为第一元件。
X轴方向、Y轴方向和Z轴方向不应被解释为仅仅是它们之间的关系是严格垂直的几何关系，而是可以表示在本发明的要素在功能上起作用的范围内有更宽的方向性。
术语“至少一个”应理解为包括相关所列项中的一个或多个的任意和全部组合。例如，“第一项、第二项和第三项中的至少一个”的含义表示第一项、第二项或第三项以及选自第一项、第二项和第三项中两项或更多项的所有项的组合。
所属领域技术人员能够充分理解，本发明各实施方式的特征可彼此部分或整体地结合或组合，并且可在技术上彼此进行各种互操作和驱动。本发明的实施方式可彼此独立实施，或者以相互依赖的关系共同实施。
下文中将参照附图详细地描述本发明的示例性实施方式。
图2是图解根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的立体图。图3是图解根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的框图。
参照图2和3，根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置可包括显示面板110、扫描驱动器120、数据驱动器130、时序控制器160、主机***170、触摸驱动器180和触摸坐标计算器190。
根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置可由LCD装置、场发射型显示(FED)装置、PDP装置、包括有机发光显示(OLED)装置和微型LED(发光器件)显示装置的发光显示装置、电泳显示(EPD)装置等实现。下文中，将描述根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置由有机发光显示装置实现的示例，但本发明不限于此。
显示面板110可包括第一基板111和第二基板112。第二基板112可以是封装基板。第一基板111可以是塑料膜、玻璃基板等。第二基板112可以是塑料膜、玻璃基板、封装膜(保护膜)等。
显示面板110可包括设置多个像素P以显示图像的显示区域。可设置多条数据线D1到Dm(其中m是等于或大于2的正整数)和多条扫描线S1到Sn(其中n是等于或大于2的正整数)。数据线D1到Dm可设置成与扫描线S1到Sn交叉。像素P可分别设置在由数据线D1到Dm和扫描线S1到Sn的交叉结构限定的多个区域中。
显示面板110的每个像素P可连接至数据线D1到Dm之一和扫描线S1到Sn之一。显示面板110的每个像素P可包括：驱动晶体管，驱动晶体管根据施加至栅极电极的数据电压控制漏极-源极电流；扫描晶体管，扫描晶体管由扫描线的扫描信号导通并将数据线的数据电压提供至驱动晶体管的栅极电极；利用驱动晶体管的漏极-源极电流发光的诸如有机发光二极管(OLED)之类的发光器件；和存储驱动晶体管的栅极电极处的电压的电容器。因此，每个P可利用提供至OLED的电流发光。
扫描驱动器120可从时序控制器160接收扫描控制信号GCS。扫描驱动器120可根据扫描控制信号GCS向扫描线S1到Sn提供扫描信号。
扫描驱动器120可以以面板内栅极驱动器(GIP)方式设置在显示面板110的显示区域的一侧或两侧外部的非显示区域中。可选地，扫描驱动器120可被制造为驱动芯片并可安装在柔性膜上，并且可以以带式自动焊接(TAB)方式附接在显示面板110的显示区域的一侧或两侧外部的非显示区域上。
数据驱动器130可从时序控制器160接收数字视频数据DATA和数据控制信号DCS。数据驱动器130可根据数据控制信号DCS将数字视频数据DATA转换为模拟正/负数据电压并可将数据电压提供至数据线。就是说，可通过扫描驱动器120的扫描信号选择要被提供数据电压的像素，并且可向选择的像素提供数据电压。
如图2中所示，数据驱动器130可包括多个源极驱动集成电路(IC)131。多个源极驱动IC 131的每一个可以以膜上芯片(COF)方式或塑料上芯片(COP)方式安装在柔性膜140上。柔性膜140可通过使用各向异性导电膜附接在设置于显示面板110的非显示区域中的多个焊盘上，因而多个源极驱动IC 131可连接至焊盘。
柔性膜140可设置为多个，并且电路板150可附接在柔性膜140上。分别实现为驱动芯片的多个电路可安装在电路板150上。例如，时序控制器160可安装在电路板150上。电路板150可以是印刷电路板(PCB)或柔性印刷电路板(FPCB)。
时序控制器160可从主机***170接收数字视频数据DATA和时序信号。时序信号可包括垂直同步信号、水平同步信号、数据使能信号、点时钟等。垂直同步信号可以是定义一个帧周期的信号。水平同步信号可以是定义向显示面板110的一个水平行的像素提供数据电压所需的一个水平周期的信号。数据使能信号可以是定义输入有效数据的周期的信号。点时钟可以是以某一短周期重复的信号。
时序控制器160可基于时序信号产生用于控制数据驱动器130的操作时序的数据控制信号DCS和用于控制扫描驱动器120的操作时序的扫描控制信号GCS，从而控制扫描驱动器120和数据驱动器130的每一个的操作时序。时序控制器160可将扫描控制信号GCS输出至扫描驱动器120并且可将数字视频数据DATA和数据控制信号DCS输出至数据驱动器130。
主机***170可实现为导航***、机顶盒、DVD播放器、蓝光播放器、个人电脑(PC)、家庭影院***、广播接收机、电话***等。主机***170可包括内置有缩放器的芯片上***(SoC)并且可将输入图像的数字视频数据DATA转换为适合在显示面板110上显示图像的格式。主机***170可将数字视频数据DATA和时序信号传输至时序控制器160。
除了数据线D1到Dm和扫描线S1到Sn以外，显示面板110中还可设置多个第一和第二触摸电极。第一触摸电极可设置成与第二触摸电极交叉。第一触摸电极可通过多条第一触摸线T1到Tj(其中j是等于或大于2的正整数)连接至第一触摸驱动器181。第二触摸电极可通过多条第二触摸线R1到Ri(其中i是等于或大于2的正整数)连接至第二触摸驱动器182。多个触摸传感器可分别设置在第一触摸电极和第二触摸电极的交叉部分中。在本发明的实施方式中，每个触摸传感器可示例性地由互电容器实现，但不限于此。下面将参照图5详细描述第一触摸电极和第二触摸电极的布置结构。
触摸驱动器180可通过第一触摸线T1到Tj向第一触摸电极提供驱动脉冲并且可通过第二触摸线R1到Ri感测触摸传感器的充电变化。就是说，在图3中，描述了第一触摸线T1到Tj是提供驱动脉冲的Tx线，第二触摸线R1到Ri是分别感测触摸传感器的充电变化的Rx线。
触摸驱动器180可包括第一触摸驱动器181、第二触摸驱动器182和触摸控制器183。第一触摸驱动器181、第二触摸驱动器182和触摸控制器183可集成为一个读出集成芯片(ROIC)。
第一触摸驱动器181可基于触摸控制器183的控制选择要输出驱动脉冲的第一触摸线并且可向选择的第一触摸线提供驱动脉冲。例如，驱动脉冲可设置为多个，第一触摸驱动器181可依次向第一触摸线T1到Tj提供驱动脉冲。
第二触摸驱动器182可基于触摸控制器183的控制选择要接收触摸传感器的充电变化的第二触摸线并且可通过选择的第二触摸线接收触摸传感器的充电变化。第二触摸驱动器182可将通过第二触摸线R1到Ri接收的触摸传感器的充电变化采样，以将充电变化转换为数字数据的触摸原始数据TRD。
触摸控制器183可产生Tx设立信号(setup signal)和Rx设立信号，Tx设立信号用于设定要从第一触摸驱动器181输出驱动脉冲的第一触摸线，Rx设立信号用于设定要被第二触摸驱动器182接收触摸传感器电压的第二触摸线。此外，触摸控制器183可产生用于控制第一触摸驱动器181和第二触摸驱动器182的操作时序的时序控制信号。
触摸坐标计算器190可从触摸驱动器180接收触摸原始数据TRD。触摸坐标计算器190可基于触摸坐标计算方法计算触摸坐标并且可将包括与触摸坐标有关的信息的触摸坐标数据HIDxy输出至主机***170。
触摸坐标计算器190可由微控制器单元(MCU)实现。主机***170可分析从触摸坐标计算器190输入的触摸坐标数据HIDxy，以运行与用户进行触摸的坐标有关的应用程序。主机***170可根据运行的应用程序向时序控制器160传输数字视频数据DATA和时序信号。
触摸驱动器180可包括在源极驱动IC 131中，或者可被制造为单独的驱动芯片并安装在电路板150上。此外，触摸坐标计算器190可被制造为单独的驱动芯片并安装在电路板150上。
图4是图2的显示面板的一侧的剖面图。
参照图4，显示面板110可包括第一基板111、第二基板112、设置在第一基板111与第二基板112之间的薄膜晶体管(TFT)层10、发光器件层20、封装层30、触摸感测层40和粘合剂层50。
第一基板111可以是塑料膜、玻璃基板等。
TFT层10可形成在第一基板111上。TFT层10可包括扫描线、数据线和多个TFT。每个TFT可包括栅极电极、半导体层、源极电极和漏极电极。在扫描驱动器设置为GIP型的情形中，扫描驱动器可与TFT层10一起形成。下面将参照图8到12详细描述TFT层10。
发光器件层20可形成在TFT层10上。发光器件层20可包括多个第一电极、诸如有机发光层之类的发光层、第二电极和多个堤部。有机发光层可包括空穴传输层、发光层和电子传输层。在这种情形中，当向第一电极和第二电极施加电压时，空穴和电子通过空穴传输层和电子传输层移动至发光层并且在发光层中彼此组合以发光。像素可设置在设置有发光器件层20的区域中，因而设置有发光器件层20的区域可定义为显示区域。显示区域的***区域可定义为非显示区域。下面将参照图8和12详细描述发光器件层20。
封装层30可形成在发光器件层20上。封装层30防止氧气或水分渗透到发光器件层20中。封装层30可包括至少一个无机层。下面将参照图8到12详细描述封装层30的剖面结构。
触摸感测层40可形成在封装层30上。触摸感测层40可包括用于感测用户触摸的第一触摸电极和第二触摸电极、多个桥接电极、以及多个虚拟电极。就是说，在本发明的实施方式中，由于用于感测用户触摸的触摸感测层40形成在封装层30上，所以不需要在显示装置上单独附接触摸屏装置。下面将参照图5、6、7A和7B描述触摸感测层40的平面结构。此外，下面将参照图8和12详细描述触摸感测层40的剖面结构。
粘合剂层50可形成在触摸感测层40上。粘合剂层50可将第二基板112附接在其上设置有TFT层10、发光器件层20、封装层30和触摸感测层40的第一基板111上。粘合剂层50可以是光学透明树脂(OCR)层、光学透明粘合剂(OCA)膜等。
第二基板112可充当覆盖第一基板111的盖板或盖窗。第二基板112可以是塑料膜、玻璃板、封装膜(保护膜)等。
图5是图解根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的第一触摸电极、第二触摸电极、桥接电极、第一触摸线和第二触摸线的平面图。图6是详细图解图5的区域A的示例的放大图。图7A是仅图解图6中的桥接电极和虚拟电极的平面图。图7B是仅图解图6中的第一触摸电极、第二触摸电极、第一触摸线和第二触摸线的平面图。
参照图5、6、7A和7B，多个第一触摸电极TE可布置在第一方向(X轴方向)上，多个第二触摸电极RE可布置在第二方向(Y轴方向)上。第一方向(X轴方向)可以是与扫描线S1到Sn平行的方向，第二方向(Y轴方向)可以是与数据线D1到Dm平行的方向。可选地，第一方向(X轴方向)可以是与数据线D1到Dm平行的方向，第二方向(Y轴方向)可以是与扫描线S1到Sn平行的方向。
为了防止第一触摸电极TE和第二触摸电极RE在它们之间的交叉区域中短路，在第一方向(X轴方向)上彼此相邻的第一触摸电极TE可通过多个桥接电极BE彼此电连接。就是说，如图6中所示，每个桥接电极BE可通过多个第一接触孔CNT1连接至彼此相邻的第一触摸电极TE并且可与相应的第二触摸电极RE交叉。在每个第一触摸电极TE和相应的第二触摸电极RE的交叉区域中可产生对应于触摸传感器的互电容。
在第一方向(X轴方向)上彼此连接的每个第一触摸电极TE可与在第二方向(Y轴方向)上与之相邻的第一触摸电极TE分隔开并电绝缘。在第二方向(Y轴方向)上彼此连接的每个第二触摸电极RE可与在第一方向(X轴方向)上与之相邻的第二触摸电极RE分隔开并电绝缘。
在第一方向(X轴方向)上彼此连接的第一触摸电极TE之中设置在一个侧端的第一触摸电极TE可连接至第一触摸线TL。第一触摸线TL可通过焊盘TP连接至第一触摸驱动器181。因此，在第一方向(X轴方向)上彼此连接的第一触摸电极TE可通过第一触摸线TL从第一触摸驱动器181接收触摸驱动信号。
在第二方向(Y轴方向)上彼此连接的第二触摸电极RE之中设置在一个侧端的第二触摸电极RE可连接至第二触摸线RL。第二触摸线RL可通过焊盘RP连接至第二触摸驱动器182。因此，第二触摸驱动器182可接收在第二方向(Y轴方向)上彼此连接的第二触摸电极RE的触摸传感器的充电变化。
桥接电极BE可设置在与设置第一触摸电极TE和第二触摸电极RE的层不同的层上。第一触摸电极TE和第二触摸电极RE可设置在相同层上，桥接电极BE可设置在与多个虚拟电极DE相同的层上。
除了图6所示的条结构比如“-”，桥接电极BE还可具有诸如“∧”,“∨”,“<”或“>”之类的弯曲结构，但是本发明的实施方式不限于此。桥接电极BE不与像素P交叠。因此，当桥接电极BE具有弯曲结构时，桥接电极BE与图6中的左侧第一触摸电极TE、第二触摸电极RE和右侧第一触摸电极TE交叠。此外，当桥接电极BE具有弯曲结构时，桥接电极BE可形成为网状(mesh type)。
桥接电极BE可与虚拟电极DE分隔开。因此，每个虚拟电极DE可与桥接电极BE电绝缘。此外，虚拟电极DE可彼此分隔开并电绝缘。此外，每个桥接电极BE可电连接至第一触摸电极TE和第二触摸电极RE之一，但每个虚拟电极DE可与第一触摸电极TE和第二触摸电极RE电绝缘。就是说，每个虚拟电极DE可以是不电连接至任何电极的浮置电极。
此外，虚拟电极DE可设置成与第一触摸电极TE和第二触摸电极RE交叠。因此，虚拟电极DE被第一触摸电极TE和第二触摸电极RE隐藏，因而在图6的平面图中未示出。
每个像素P可设置成包括一个红色子像素R、两个绿色子像素G和一个蓝色子像素B的Pentile结构，但不限于此。当每个像素P设置成Pentile结构时，红色子像素R、绿色子像素G和蓝色子像素B可设置成八角形平面形状。在这种情形中，蓝色子像素B的尺寸可最大，每个绿色子像素G的尺寸可最小。
如上所述，根据本发明的实施方式，由于在与桥接电极BE相同的层上设置虚拟电极DE，所以通过虚拟电极DE防止桥接电极BE被过蚀刻。就是说，可与桥接电极BE相邻设置虚拟电极DE，从而防止桥接电极BE被过蚀刻。因此，根据本发明的实施方式，在每个桥接电极BE设置成包括多个电极的多层结构的情形中，多个电极中的一个电极的侧表面不被另一个电极过蚀刻，因而不设置成倒锥形。结果，根据本发明的实施方式，没有开口，即，不存在未被绝缘层覆盖的区域，因而防止第一触摸电极或第二触摸电极通过开口与桥接电极BE短路。
图8是图解沿图6的线I-I’截取的示例的剖面图。
参照图8，TFT层10可形成在第一基板111上。TFT层10可包括多个TFT 210、栅极绝缘层220、层间绝缘层230、钝化层240和平坦化层250。
缓冲层可形成在第一基板111的一个表面上。缓冲层可形成第一基板111的一个表面上，用来保护TFT 210和多个有机发光器件260免于通过易受水分渗透影响的第一基板111渗透水分。第一基板111的这一个表面可以是面对第二基板112的表面。缓冲层可由交替堆叠的多个无机层形成。例如，缓冲层可由其中硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)和SiON中的一个或多个无机层交替堆叠的多层形成。可省略缓冲层。
TFT 210可形成在缓冲层上。每个TFT 210可包括有源层211、栅极电极212、源极电极214和漏极电极215。在图8中，TFT 210被示例性地显示出形成为栅极电极212设置在有源层211上方的顶栅型，但不限于此。就是说，TFT 210可形成为栅极电极212设置在有源层211下方的底栅型或者栅极电极212设置在有源层211上方和下方的双栅型。
有源层211可形成在缓冲层上。有源层211可由硅基半导体材料、氧化物基半导体材料等形成。用于阻挡外部光入射到有源层211上的遮光层(未示出)可形成在缓冲层与有源层211之间。
栅极绝缘层220可形成在有源层211上。栅极绝缘层220可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。
栅极电极212和栅极线可形成在栅极绝缘层220上。栅极电极212和栅极线均可由包括钼(Mo)、铝(Al)、铬(Cr)、金(Au)、钛(Ti)、镍(Ni)、钕(Nd)和铜(Cu)之一或其合金的单层或多层形成。
层间绝缘层230可形成在栅极电极212和栅极线上。层间绝缘层230可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。
源极电极214、漏极电极215和数据线可形成在层间绝缘层230上。源极电极214和漏极电极215的每一个可通过穿过栅极绝缘层220和层间绝缘层230的接触孔连接至有源层211。源极电极214、漏极电极215和数据线的每一个可由包括Mo、Al、Cr、Au、Ti、Ni、Nd和Cu之一或其合金的单层或多层形成。
用于隔离TFT 210的钝化层240可形成在源极电极214、漏极电极215和数据线上。钝化层240可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。
用于将由TFT 210导致的台阶高度平坦化的平坦化层250可形成在钝化层240上。平坦化层250可由诸如丙烯酸树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂等之类的有机层形成。
发光器件层20可形成在TFT层10上。发光器件层20可包括有机发光器件260和堤部270。
有机发光器件260和堤部270可形成在平坦化层250上。每个有机发光器件260可包括第一电极261、有机发光层262和第二电极263。第一电极261可以是阳极电极，第二电极263可以是阴极电极。
第一电极261可形成在平坦化层250上。第一电极261可通过穿过钝化层240和平坦化层250的接触孔连接至TFT 210的源极电极214。第一电极261可由高反射率的金属材料，比如Al和Ti的堆叠结构(Ti/Al/Ti)、Al和ITO的堆叠结构(ITO/Al/ITO)、APC合金、或APC合金和ITO的堆叠结构(ITO/APC/ITO)形成。APC合金可以是Ag、钯(Pd)和Cu的合金。
堤部270可形成在平坦化层250上以划分第一电极261，用来充当限定多个像素P的像素限定层。堤部270可形成为覆盖第一电极261的边缘。虚拟电极292和桥接电极291的至少其中之一可与堤部270的至少一部分交叠。
每个像素P可表示对应于阳极电极的第一电极261、有机发光层262和对应于阴极电极的第二电极263依次堆叠的区域，来自第一电极261的空穴和来自第二电极263的电子在有机发光层262中彼此组合以发光。
有机发光层262可形成在第一电极261和堤部270上。有机发光层262可以是共同地形成在像素P中的公共层，并且有机发光层262可以是发射白色光的白色发光层。在这种情形中，有机发光层262可形成为包括两个或更多个叠层的串联结构(tandem structure)。每个叠层可包括空穴传输层、至少一个发光层、以及电子传输层。
此外，电荷生成层可形成在叠层之间。电荷生成层可包括与下部叠层相邻设置的n型电荷生成层、以及形成在n型电荷生成层上并与上部叠层相邻设置的p型电荷生成层。n型电荷生成层可将电子注入到下部叠层中，p型电荷生成层可将空穴注入到上部叠层中。n型电荷生成层可由有机层形成，其中在具有传输电子的能力的有机基质材料上掺杂诸如锂(Li)、钠(Na)、钾(K)或铯(Cs)之类的碱金属，或者诸如镁(Mg)、锶(Sr)、钡(Ba)或镭(Ra)之类的碱土金属。p型电荷生成层可以是有机层，其中在具有传输空穴的能力的有机材料上掺入掺杂剂。
第二电极263可形成在有机发光层262上。第二电极263可形成为覆盖有机发光层262。第二电极263可以是共同地形成在多个像素P中的公共层。
第二电极263可由能够透射光的诸如氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)之类的透明导电材料(或TCO)、或者诸如Mg，Ag或Mg和Ag的合金之类的半透射导电材料形成。当第二电极263由半透射导电材料形成时，通过微腔提高了发光效率。覆盖层(capping layer)可形成在第二电极263上。
封装层30可形成在发光器件层20上。封装层30可包括封装膜280。
封装膜280可形成在第二电极263上。封装膜280防止氧气或水分渗透到有机发光层262和第二电极263中。为此，封装膜280可包括至少一个无机膜。无机膜可由硅氮化物、铝氮化物、锆氮化物、钛氮化物、铪氮化物、钽氮化物、硅氧化物、铝氧化物、钛氧化物等形成。
此外，封装膜280可进一步包括至少一个有机膜。有机膜可形成为具有足够的厚度，用来防止粒子经由封装膜280渗透到有机发光层262和第二电极263中。
例如，封装膜280可包括位于第二电极263上的第一无机膜、位于第一无机膜上的第一有机膜以及位于第一有机膜上的第二无机膜。此外，封装膜280可进一步包括位于第二无机膜上的第三无机膜或第二有机膜，以将触摸感测层40的桥接电极291或触摸电极294、295与第二电极263之间的距离保持为至少5μm。在这种情况下，可减小触摸感测层40的桥接电极291或触摸电极294、295与第二电极263之间的寄生电容。因此，本发明的实施方式可防止由于寄生电容而使第二电极263受到触摸感测层40的桥接电极291或触摸电极294、295之间的耦合的影响。
触摸感测层40可形成在封装层30上。触摸感测层40可包括多个桥接电极291、多个虚拟电极292、绝缘层293、多个第一触摸电极294和多个第二触摸电极295。触摸感测层40可进一步包括形成在封装膜280上的触摸缓冲层。在这种情况下，多个桥接电极291、多个虚拟电极292和绝缘层293可形成在触摸缓冲层上。
桥接电极291和虚拟电极292可设置在封装膜280上。就是说，桥接电极291和虚拟电极292可设置相同层上。桥接电极291可与虚拟电极292分隔开并电绝缘。每个虚拟电极292可以是不电连接至任何电极的浮置电极。
桥接电极291和虚拟电极292的每一个可形成为包括多个电极的多层结构。例如，桥接电极291和虚拟电极292的每一个可形成为Ti/Al/Ti的三层结构。桥接电极291和虚拟电极292可形成为与堤部270的至少一部分交叠，用来防止每个像素P的开口区域减小。
绝缘层293可形成在桥接电极291和虚拟电极292上。暴露每个桥接电极291的第一接触孔CNT1可形成在绝缘层293中。绝缘层293可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。
第一触摸电极294和第二触摸电极295可形成在绝缘层293上。就是说，第一触摸电极294和第二触摸电极295可形成在相同层上。第一触摸电极294和第二触摸电极295可彼此分隔开并电绝缘。每个第一触摸电极294可通过第一接触孔CNT1连接至相应的桥接电极291。因此，第一触摸电极294可在第一触摸电极294和第二触摸电极295的交叉区域中通过使用桥接电极291彼此连接，因而第一触摸电极294和第二触摸电极295彼此不短路。
第一触摸电极294和第二触摸电极295的每一个可形成为包括多个电极的多层结构。例如，第一触摸电极294和第二触摸电极295的每一个可形成为Ti/Al/Ti的三层结构。第一触摸电极294和第二触摸电极295可形成为与堤部270的至少一部分交叠，用来防止每个像素P的开口区域减小。
滤色器层可形成在绝缘层293、第一触摸电极294和第二触摸电极295上。滤色器层可包括设置成与像素区域交叠的多个滤色器、以及设置成与堤部270交叠的黑矩阵。在有机发光层262包括发射红色光、绿色光和蓝色光的多个有机发光层的情形中，可省略滤色器层。
用于将由桥接电极291、虚拟电极292、第一触摸电极294和第二触摸电极295导致的台阶高度平坦化的涂覆层(overcoat layer)296可形成在第一触摸电极294和第二触摸电极295上。
粘合剂层50可形成在涂覆层296上。粘合剂层50可将第二基板112附接在其上设置有TFT层10、发光器件层20、封装层30和触摸感测层40的第一基板111上。粘合剂层50可以是OCR层、OCA膜等。粘合剂层50可包括粘合剂330。
第二基板112可充当覆盖第一基板111的盖板或盖窗。第二基板112可以是塑料膜、玻璃板、封装膜(保护膜)等。
如上所述，根据本发明的实施方式，由于在与桥接电极291相同的层上设置虚拟电极292，所以通过虚拟电极292防止桥接电极291被过蚀刻。就是说，可与桥接电极291相邻地设置虚拟电极292，从而防止桥接电极291被过蚀刻。因此，根据本发明的实施方式，在每个桥接电极291设置成包括多个电极的多层结构的情形中，多个电极中的一个电极的侧表面不被另一个电极过蚀刻，因而不设置成倒锥形。结果，根据本发明的实施方式，多个电极的侧表面将设置成正锥形，没有开口，即，不存在未被绝缘层293覆盖的区域，因而防止第一触摸电极294或第二触摸电极295通过开口与桥接电极291短路。
图9是图解根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法的流程图。图10A到10D是用于描述根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法的剖面图。
下文中，将参照图9和10A到10D详细描述根据本发明实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法。
第一，如图10A中所示，可在第一基板111上形成TFT层10、发光器件层20和封装层30。
详细地说，可在形成TFT 210之前在第一基板111上形成缓冲层。缓冲层用来保护TFT 210和有机发光器件260免于通过易受水分渗透影响的第一基板111渗透水分，并且缓冲层可由交替堆叠的多个无机层形成。例如，缓冲层可由SiOx、SiNx和SiON中的一个或多个无机层交替堆叠的多层形成。可通过化学气相沉积(CVD)工艺形成缓冲层。
随后，可在缓冲层上形成TFT 210的有源层211。详细地说，可通过使用溅射工艺、金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺等在缓冲层的整个表面上形成有源金属层。随后，可通过使用光刻胶图案的掩模工艺将有源金属层图案化来形成有源层211。有源层211可由硅基半导体材料或氧化物基半导体材料形成。
随后，可在有源层211上形成栅极绝缘层220。栅极绝缘层220可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。
随后，可在栅极绝缘层220上形成TFT 210的栅极电极212。详细地说，可通过使用溅射工艺、MOCVD工艺等在栅极绝缘层220的整个表面上形成第一金属层。随后，可通过使用光刻胶图案的掩模工艺将第一金属层图案化来形成栅极电极212。栅极电极212可由包括Mo、Al、Cr、Au、Ti、Ni、Nd和Cu之一或其合金的单层或多层形成。
随后，可在栅极电极212上形成层间绝缘层230。层间绝缘层230可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。
随后，可形成穿过栅极绝缘层220和层间绝缘层230并暴露有源层211的多个接触孔。
随后，可在层间绝缘层230上形成TFT 210中包括的源极电极214和漏极电极215。详细地说，可通过使用溅射工艺、MOCVD工艺等在层间绝缘层230的整个表面上形成第二金属层。随后，可通过使用光刻胶图案的掩模工艺将第二金属层图案化来形成源极电极214和漏极电极215。源极电极214和漏极电极215可通过穿过栅极绝缘层220和层间绝缘层230的接触孔连接至有源层211。源极电极214和漏极电极215的每一个可由包括Mo、Al、Cr、Au、Ti、Ni、Nd和Cu之一或其合金的单层或多层形成。
随后，可在TFT 210的源极电极214和漏极电极215上形成钝化层240。钝化层240可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。可通过CVD工艺形成钝化层240。
随后，可在钝化层240上形成用于将由TFT 210导致的台阶高度平坦化的平坦化层250。平坦化层250可由诸如丙烯酸树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂等之类的有机层形成。
随后，可在平坦化层250上形成有机发光器件260中包括的第一电极261。详细地说，可通过使用溅射工艺、MOCVD工艺等在平坦化层250的整个表面上形成第三金属层。随后，可通过使用光刻胶图案的掩模工艺将第三金属层图案化来形成第一电极261。第一电极261可通过穿过钝化层240和平坦化层250的接触孔连接至TFT 210的源极电极214。第一电极261可由高反射率的金属材料，比如Al和Ti的堆叠结构(Ti/Al/Ti)、Al和ITO的堆叠结构(ITO/Al/ITO)、APC合金、或APC和ITO的堆叠结构(ITO/APC/ITO)形成。
随后，可在平坦化层250上形成堤部270以覆盖第一电极261的边缘，用来划分多个像素P1到P3。堤部270可由诸如丙烯酸树脂、环氧树脂、酚醛树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂等之类的有机层形成。
随后，可通过沉积工艺或溶液工艺在第一电极261和堤部270上形成有机发光层262。有机发光层262可以是共同地形成在像素P1到P3中的公共层。在这种情形中，有机发光层262可以是发射白色光的白色发光层。
当有机发光层262是白色发光层时，有机发光层262可形成为包括两个或更多个叠层的串联结构。每个叠层可包括空穴传输层、至少一个发光层、以及电子传输层。
此外，可在叠层之间形成电荷生成层。电荷生成层可包括与下部叠层相邻地设置的n型电荷生成层、以及形成在n型电荷生成层上并与上部叠层相邻地设置的p型电荷生成层。n型电荷生成层可将电子注入到下部叠层中，p型电荷生成层可将空穴注入到上部叠层中。n型电荷生成层可由有机层形成，其中在具有传输电子的能力的有机基质材料上掺杂诸如锂(Li)、钠(Na)、钾(K)或铯(Cs)之类的碱金属，或者诸如镁(Mg)、锶(Sr)、钡(Ba)或镭(Ra)之类的碱土金属。p型电荷生成层可以是通过在具有传输空穴的能力的有机材料上掺入掺杂剂而形成。
随后，可在有机发光层262上形成第二电极263。第二电极263可以是共同地形成在像素P1到P3中的公共层。第二电极263可由能够透射光的诸如ITO或IZO之类的透明导电材料(或TCO)形成。可通过诸如溅射工艺等之类的物理气相沉积(PVD)工艺形成第二电极263。可在第二电极263上形成覆盖层。
随后，可在第二电极263上形成封装膜280。封装膜280防止氧气或水分渗透到有机发光层262和第二电极263中。为此，封装膜280可包括至少一个无机膜。无机膜可由硅氮化物、铝氮化物、锆氮化物、钛氮化物、铪氮化物、钽氮化物、硅氧化物、铝氧化物、钛氧化物等形成。
此外，封装膜280可进一步包括至少一个有机膜。有机膜可形成为具有足够的厚度，用来防止粒子经由封装膜280渗透到有机发光层262和第二电极263中。(图9的S101)
第二，如图10B中所示，可在封装层30上形成触摸感测层40的桥接电极291和虚拟电极292。
详细地说，可通过使用溅射工艺、MOCVD工艺等在封装膜280的整个表面上形成第四金属层。随后，可通过使用光刻胶图案的掩模工艺将第四金属层图案化来形成桥接电极291和虚拟电极292。桥接电极291和虚拟电极292可形成为包括多个电极的多层结构，例如可形成为Ti/Al/Ti的三层结构。(图9的S102)
第三，如图10C中所示，可形成覆盖桥接电极291和虚拟电极292的绝缘层293，并且可形成穿过绝缘层293并暴露桥接电极291的多个第一接触孔CNT1。绝缘层293可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。(图9的S103)
第四，如图10D中所示，可在绝缘层293上形成第一触摸电极294和第二触摸电极295。
详细地说，可通过使用溅射工艺、MOCVD工艺等在绝缘层293的整个表面上形成第五金属层。随后，可通过使用光刻胶图案的掩模工艺将第五金属层图案化来形成第一触摸电极294和第二触摸电极295。第一触摸电极294和第二触摸电极295可通过穿过绝缘层293的第一接触孔CNT1连接至桥接电极291。第一触摸电极294和第二触摸电极295的每一个可形成为包括多个电极的多层结构，例如可形成为Ti/Al/Ti的三层结构。(图9的S104)
可在绝缘层293、第一触摸电极294和第二触摸电极295上形成滤色器层。滤色器层可包括设置成与像素区域交叠的多个滤色器、以及设置成与堤部270交叠的黑矩阵。在有机发光层262包括发射红色光、绿色光和蓝色光的多个有机发光层的情形中，可省略滤色器层。
此外，可在第一触摸电极294和第二触摸电极295上形成用于将由桥接电极291、虚拟电极292、第一触摸电极294和第二触摸电极295导致的台阶高度平坦化的涂覆层296。
随后，可通过使用粘合剂层50将第一基板111附接在第二基板112上。粘合剂层50可以是OCR层、OCA膜等。
图11是详细图解图5的区域A的另一示例的放大图。
除了第一触摸电极TE通过第二接触孔CNT2连接至虚拟电极DE并且第二触摸电极RE通过第三接触孔CNT3连接至虚拟电极DE之外，图11的放大图与上面参照图6给出的描述大致相同。因而，省略对图11的详细描述。
图12是图解沿图11的线II-II’截取的示例的剖面图。
除了触摸感测层40之外，图12的剖面图与上面参照图8给出的描述大致相同。因而，省略对第一基板111、TFT层10、发光器件层20、封装层30、粘合剂层50和第二基板112的详细描述。
参照图12，触摸感测层40可形成在封装层30上。触摸感测层40可包括多个桥接电极291、多个虚拟电极292、绝缘层293、多个第一触摸电极294、和多个第二触摸电极295。
桥接电极291和虚拟电极292可设置在封装膜280上。就是说，桥接电极291和虚拟电极292可设置相同层上。桥接电极291可与虚拟电极292分隔开。
桥接电极291和虚拟电极292的每一个可形成为包括多个电极的多层结构。例如，桥接电极291和虚拟电极292的每一个可形成为Ti/Al/Ti的三层结构。桥接电极291和虚拟电极292可形成为与堤部270交叠，用来防止像素P的开口区域减小。
绝缘层293可形成在桥接电极291和虚拟电极292上。暴露每个桥接电极291的第一接触孔CNT1可形成在绝缘层293中。绝缘层293可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。
第一触摸电极294和第二触摸电极295可形成在绝缘层293上。就是说，第一触摸电极294和第二触摸电极295可形成在相同层上。第一触摸电极294和第二触摸电极295可彼此分隔开并电绝缘。
每个第一触摸电极294可通过第一接触孔CNT1连接至相应的桥接电极291。因此，第一触摸电极294可在第一触摸电极294和第二触摸电极295的交叉区域中通过使用桥接电极291彼此连接，因而第一触摸电极294和第二触摸电极295彼此不短路。
每个第一触摸电极294可通过第二接触孔CNT2连接至相应的虚拟电极292。因此，由于虚拟电极292电连接至第一触摸电极294，所以每个第一触摸电极294的剖面面积增加。因此，在本发明的实施方式中，每个第一触摸电极294的电阻减小。
每个第二触摸电极295可通过第三接触孔(未示出)连接至相应的虚拟电极292。因此，由于虚拟电极292电连接至第二触摸电极295，所以每个第二触摸电极295的剖面面积增加。因此，在本发明的实施方式中，每个第二触摸电极295的电阻减小。
第一触摸电极294和第二触摸电极295的每一个可形成为包括多个电极的多层结构。例如，第一触摸电极294和第二触摸电极295的每一个可形成为Ti/Al/Ti的三层结构。第一触摸电极294和第二触摸电极295可形成为与堤部270交叠，用来防止像素P的开口区域减小。
滤色器层可形成在绝缘层293、第一触摸电极294和第二触摸电极295上。滤色器层可包括设置成与像素区域交叠的多个滤色器、以及设置成与堤部270交叠的黑矩阵。在有机发光层262包括发射红色光、绿色光和蓝色光的多个有机发光层的情形中，可省略滤色器层。
用于将由桥接电极291、虚拟电极292、第一触摸电极294和第二触摸电极295导致的台阶高度平坦化的涂覆层296可形成在第一触摸电极294和第二触摸电极295上。
图13是图解根据本发明另一实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法的流程图。图14A和14B是用于描述根据本发明另一实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法的剖面图。
下文中，将参照图13、14A和14B详细描述根据本发明另一实施方式的具有集成式触摸屏的显示装置的制造方法。
图13的步骤S201和S202大致与图9的步骤S101和S102相同，因而省略其详细描述。
首先，如图14A中所示，可形成覆盖桥接电极291和虚拟电极292的绝缘层293，并且可形成穿过绝缘层293并暴露桥接电极291的第一接触孔CNT1、以及暴露虚拟电极292的第二接触孔CNT2和第三接触孔(未示出)。绝缘层293可由无机层形成，例如可由SiOx、SiNx或它们的多层形成。(图13的S203)
随后，如图14B中所示，可在绝缘层293上形成第一触摸电极294和第二触摸电极295。
详细地说，可通过使用溅射工艺、MOCVD工艺等在绝缘层293的整个表面上形成第五金属层。随后，可通过使用光刻胶图案的掩模工艺将第五金属层图案化来形成第一触摸电极294和第二触摸电极295。第一触摸电极294可通过穿过绝缘层293的第一接触孔CNT1连接至桥接电极291。此外，第一触摸电极294可通过穿过绝缘层293的第二接触孔CNT2连接至虚拟电极292。此外，第二触摸电极295可通过穿过绝缘层293的第三接触孔(未示出)连接至虚拟电极292。第一触摸电极294和第二触摸电极295的每一个可形成为包括多个电极的多层结构，例如可形成为Ti/Al/Ti的三层结构。(图13的S204)
可在绝缘层293、第一触摸电极294和第二触摸电极295上形成滤色器层。滤色器层可包括设置成与像素区域交叠的多个滤色器、以及设置成与堤部270交叠的黑矩阵。在有机发光层262包括发射红色光、绿色光和蓝色光的多个有机发光层的情形中，可省略滤色器层。
此外，可在第一触摸电极294和第二触摸电极295上形成用于将由桥接电极291、虚拟电极292、第一触摸电极294和第二触摸电极295导致的台阶高度平坦化的涂覆层296。
随后，可通过使用粘合剂层50将第一基板111附接在第二基板112上。粘合剂层50可以是OCR层、OCA膜等。
如上所述，根据本发明的实施方式，由于在与桥接电极相同的层上与桥接电极相邻地设置虚拟电极，所以通过虚拟电极防止桥接电极被过蚀刻。因此，根据本发明的实施方式，在每个桥接电极设置成包括多个电极的多层结构的情形中，多个电极中的一个电极的侧表面不被另一个电极过蚀刻，因而不设置成倒锥形。结果，根据本发明的实施方式，没有开口，即，不存在未被绝缘层覆盖的区域，因而防止第一触摸电极或第二触摸电极通过开口与桥接电极短路。
对于所属领域的技术人员显而易见的是，在不背离本发明的精神或范围的情况下，可对本发明做出各种修改和变化。因此，本发明意在覆盖落入所附权利要求书范围及其等同范围内的对本发明的修改和变化。

Claims (33)

1.一种具有集成式触摸屏的显示装置，所述显示装置包括：
位于第一基板上的多个第一电极；
位于所述第一电极上的发光层；
位于所述发光层上的第二电极；
位于所述第二电极上的封装层；
位于所述封装层上的桥接电极和虚拟电极；
覆盖所述桥接电极和所述虚拟电极的绝缘层；和
位于所述绝缘层上的第一触摸电极和第二触摸电极，
其中所述第一触摸电极电连接至所述桥接电极，所述桥接电极与所述虚拟电极分隔开。
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述虚拟电极与所述第一触摸电极或所述第二触摸电极交叠。
3.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述虚拟电极是浮置电极。
4.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第一触摸电极通过穿过所述绝缘层并暴露所述桥接电极的第一接触孔连接至所述桥接电极。
5.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述虚拟电极与所述第一触摸电极电连接。
6.根据权利要求5所述的显示装置，其中所述第一触摸电极通过穿过所述绝缘层并暴露所述虚拟电极的第二接触孔连接至所述虚拟电极。
7.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述虚拟电极与所述第二触摸电极电连接。
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中所述第二触摸电极通过穿过所述绝缘层并暴露所述虚拟电极的第三接触孔连接至所述虚拟电极。
9.根据权利要求1所述的显示装置，还包括设置在彼此分开的第一电极之间的堤部，
其中所述虚拟电极和所述桥接电极的至少其中之一与所述堤部的至少一部分交叠。
10.根据权利要求9所述的显示装置，其中所述第一触摸电极和所述第二触摸电极与所述堤部的至少一部分交叠。
11.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述桥接电极和所述虚拟电极的每一个具有三层结构。
12.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述桥接电极和所述虚拟电极由相同材料形成在相同层上。
13.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第一触摸电极和所述第二触摸电极的每一个具有三层结构，并且所述第一触摸电极和所述第二触摸电极由相同材料形成在相同层上。
14.根据权利要求1所述的显示装置，还包括位于所述第一触摸电极和所述第二触摸电极上的涂覆层，所述涂覆层将由所述桥接电极、所述虚拟电极、所述第一触摸电极和所述第二触摸电极导致的台阶高度平坦化。
15.根据权利要求1所述的显示装置，还包括位于所述封装层上的触摸缓冲层，所述桥接电极和所述虚拟电极位于所述触摸缓冲层上。
16.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述桥接电极设置成弯曲结构。
17.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述桥接电极是网状。
18.一种具有集成式触摸屏的显示装置，所述显示装置包括：
位于第一基板上的第一电极；
位于所述第一电极上的发光层；
位于所述发光层上的第二电极；
位于所述第二电极上的封装层；
位于所述封装层上的触摸缓冲层；
位于所述触摸缓冲层上的具有多层结构的桥接电极和虚拟电极；
覆盖所述桥接电极和所述虚拟电极的绝缘层；和
位于所述绝缘层上的第一触摸电极和第二触摸电极，
其中所述桥接电极与所述第一触摸电极电连接，所述桥接电极与所述虚拟电极相邻地设置，并且所述桥接电极的侧表面具有正锥形。
19.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述虚拟电极与所述第一触摸电极或所述第二触摸电极交叠。
20.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述虚拟电极是浮置电极。
21.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述第一触摸电极通过穿过所述绝缘层并暴露所述桥接电极的第一接触孔连接至所述桥接电极。
22.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述虚拟电极与所述第一触摸电极电连接。
23.根据权利要求22所述的显示装置，其中所述第一触摸电极通过穿过所述绝缘层并暴露所述虚拟电极的第二接触孔连接至所述虚拟电极。
24.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述虚拟电极与所述第二触摸电极电连接。
25.根据权利要求24所述的显示装置，其中所述第二触摸电极通过穿过所述绝缘层并暴露所述虚拟电极的第三接触孔连接至所述虚拟电极。
26.根据权利要求18所述的显示装置，还包括设置在彼此分开的第一电极之间的堤部，
其中所述虚拟电极和所述桥接电极的至少其中之一与所述堤部的至少一部分交叠。
27.根据权利要求26所述的显示装置，其中所述第一触摸电极和所述第二触摸电极与所述堤部的至少一部分交叠。
28.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述桥接电极和所述虚拟电极的每一个具有三层结构。
29.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述桥接电极和所述虚拟电极由相同材料形成在相同层上。
30.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述第一触摸电极和所述第二触摸电极的每一个具有三层结构，并且所述第一触摸电极和所述第二触摸电极由相同材料形成在相同层上。
31.根据权利要求18所述的显示装置，还包括位于所述第一触摸电极和所述第二触摸电极上的涂覆层，所述涂覆层将由所述桥接电极、所述虚拟电极、所述第一触摸电极和所述第二触摸电极导致的台阶高度平坦化。
32.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述桥接电极设置成弯曲结构。
33.根据权利要求18所述的显示装置，其中所述桥接电极是网状。
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