CN108922847A - 一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置；其可以提高夹紧效果，可以不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，同时防止将晶圆切片在夹紧过程中被损坏；无需人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，节省人力，可以保证打磨面的水平度，提高打磨效果，提高实用性；包括工作台、四组支腿、固定盘、左弧形调节板、右弧形调节板、左弧形夹板、右弧形夹板、左调节螺栓、右调节螺栓、左限位圈、右限位圈、多组左缓冲弹簧、多组右缓冲弹簧、两组左螺纹管、两组左螺纹杆、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块、两组左限位方柱、两组右限位方柱、移动块、带动电机、摇臂、环形调节圈、安装板、限位环和伸缩杆。
Description
技术领域
本发明涉及附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置。
背景技术
众所周知，用于晶圆生产加工的表面研磨装置是一种对切片完成的晶圆切片表面因切片引起的刀痕和凹凸面进行打磨，以便于更好的规整晶圆切片厚度，降低片与片之间的厚度差，提高平行度的辅助装置，其在晶圆生产加工的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆生产加工的表面研磨装置包括工作台、四组支腿、放置板、左卡板和右卡板，四组支腿的顶端分别与工作台底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且放置板的底端与工作台顶端中部连接，左卡板和右卡板的底端分别与放置板顶端的左侧和右侧连接，工作台的顶端右侧放置有打磨砂盘；现有的用于晶圆生产加工的表面研磨装置使用时，首先将待打磨的晶圆切片放置在放置板上，并且通过左卡板和右卡板将晶圆切片卡紧，然后人工使用打磨砂盘对晶圆切片的顶端表面进行打磨就可；现有的用于晶圆生产加工的表面研磨装置使用中发现，左卡板和右卡板与晶圆切片左端和右端的接触面积较小，导致其夹紧效果较差，且不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，适应能力较差，同时左卡板和右卡板在对晶圆切片卡紧过程中容易将晶圆切片的左端和右端损坏，导致其使用可靠性较差；并且人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，浪费较多人力，且不能保证打磨面的水平度，影响打磨效果，导致实用性较差。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种提高夹紧效果，可以不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，提高适应能力，同时防止将晶圆切片在夹紧过程中被损坏，提高使用可靠性；并且无需人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，节省人力，可以保证打磨面的水平度，提高打磨效果，提高实用性的用于晶圆生产加工的表面研磨装置。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，包括工作台和四组支腿，四组支腿的顶端分别与工作台底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，工作台的顶端右侧放置有打磨砂盘；包括固定盘、左弧形调节板、右弧形调节板、左弧形夹板、右弧形夹板、左调节螺栓、右调节螺栓、左限位圈、右限位圈、多组左缓冲弹簧和多组右缓冲弹簧，所述固定盘的底端与所述工作台的顶端中部连接，并且固定盘的顶端中部设置有圆形放置槽，所述圆形放置槽的左端内壁和右端内壁分别横向设置左螺纹通孔和右螺纹通孔，并且左螺纹通孔和右螺纹通孔均与外界相通，所述左弧形调节板和右弧形调节板分别设置在所述圆形放置槽内部的左侧和右侧，并且所述左限位圈的右端与所述左弧形调节板的左端中部连接，并且所述右限位圈的左端与所述右弧形调节板的右端中部连接，左限位旋内部可转动设置有左限位盘，并且右限位圈内部可转动设置有右限位盘，所述左调节螺栓的右端自固定盘的左端螺装至左螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且左调节螺栓的右端穿过左限位圈的左端并伸入至左限位圈内部与所述左限位盘的左端同心连接，所述右调节螺栓的左端自固定盘的右端螺装至右螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且右调节螺栓的左端穿过右限位圈的右端并伸入至右限位圈内部与所述右限位盘的右端同心连接，所述左弧形夹板设置在左弧形调节板的右侧，并且所述多组左缓冲弹簧的右端均布与所述左弧形夹板左端连接，并且多组左缓冲弹簧的左端均布与所述左弧形调节板的右端连接，所述右弧形夹板设置在右弧形调节板的左侧，并且所述多组右缓冲弹簧的左端均布与所述右弧形夹板右端连接，并且多组右缓冲弹簧的右端均布与所述右弧形调节板的左端连接；还包括两组左螺纹管、两组左螺纹杆、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块、两组左限位方柱、两组右限位方柱、移动块、带动电机、摇臂、环形调节圈、安装板、限位环和伸缩杆，所述固定块的底端设置有方形固定槽，并且所述移动块的顶端与所述方形固定槽的顶端内壁可滑动接触，所述两组左限位方柱的右端分别与移动块左端的前侧和后侧连接，并且两组左限位方柱的左端分别横向可滑动穿过方形固定槽的左端内壁的前侧和后侧并伸出至板的左端外界，所述两组右限位方柱的左端分别与移动块右端的前侧和后侧连接，并且两组右限位方柱的右端分别横向可滑动穿过方形固定槽的右端内壁的前侧和后侧并伸出至板的右端外界，所述打磨砂盘横向设置在移动块的底端，所述安装板的左端与所述方形固定槽左端内壁下侧连接，并且所述带动电机的后端与所述安装板的前端左侧连接，所述摇臂的左端与所述带动电机的前部输出端连接，并且摇臂的前端右侧设置有调节轴，所述限位环的后端与安装板的前端右侧连接，并且所述伸缩杆的左端与所述环形调节圈的右端中部连接，伸缩杆的右端自限位环的左端可滑动穿过限位环的内部并伸出至限位环的右端外界与所述移动块的左端连接，所述调节轴的前端自环形调节圈的后端***至环形调节圈的内部，所述工作台顶端的左前侧和左后侧均设置有左固定槽，并且两组左固定槽内部均固定设置有左滚珠轴承，所述两组左螺纹管的底端分别***并固定安装至两组左滚珠轴承的顶端内部，所述两组左螺纹杆的顶端分别与所述固定块底端的左前侧和左后侧连接，并且两组左螺纹杆的底端分别***并螺装至两组左螺纹管的顶端内部，所述工作台顶端的右前侧和右后侧均设置有右固定槽，并且两组右固定槽内部均固定设置有右滚珠轴承，所述两组右螺纹管的底端分别***并固定安装至两组右滚珠轴承的顶端内部，所述两组右螺纹杆的顶端分别与所述固定块底端的右前侧和右后侧连接，并且两组右螺纹杆的底端分别***并螺装至两组右螺纹管的顶端内部。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括安装螺栓，所述打磨砂盘设置为杯型砂盘，并且打磨砂轮的顶端内壁上中部设置有上下贯穿的安装通孔，所述移动块的底端中部设置有安装螺纹孔，并且所述安装螺栓的顶端自打磨砂轮的底端内部穿过安装通孔***并螺装至安装螺纹孔内部。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括防滑胶垫，所述防滑胶垫设置在移动块与打磨砂盘之间。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左限位杆和右限位杆，所述左限位杆的右端的前侧和后侧分别与所述两组左限位方柱的左端连接，并且所述右限位杆左端的前侧和后侧分别与两组右限位方柱的右端连接。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左把套和右把套，所述左把套和右把套分别固定套装在所述左限位杆和右限位杆的外侧中部。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左上固定板、左下固定板、右下固定板、右下固定板、两组左滑柱和两组右滑柱，所述左上固定板的右端与所述固定块的左端连接，并且所述左下固定板的左端与所述工作台的左端连接，所述两组左滑柱的顶端分别与所述左上固定板底端的前侧和后侧连接，并且两组左滑柱的底端分别自左下固定板顶端的前侧和后侧穿过左下固定板的内部并伸出至左下固定板的底端外界，并且两组左滑柱分别与左下固定板内部的前侧和后侧滑动配合，所述右固定板的左端与所述固定块的右端连接，并且所述右下固定板的左端与所述工作台的右端连接，所述两组右滑柱的顶端分别与所述右上固定板底端的前侧和后侧连接，并且两组右滑柱的底端分别自右下固定板顶端的前侧和后侧穿过右下固定板的内部并伸出至右下固定板的底端外界，并且两组右滑柱分别与右下固定板内部的前侧和后侧滑动配合。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括四组锥形补强圈，所述四组锥形补强圈分别固定套装在所述四组支腿的外部，并且四组锥形补强圈的顶端均与所述操作板的底端连接。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括四组支撑垫脚板，所述四组支撑垫脚板的顶端分别与所述四组支腿的底端连接。
与现有技术相比本发明的有益效果为：可以通过将待打磨的晶圆切片放置在固定盘顶端的圆形放置槽内部，并且可以通过左调节螺栓与左螺纹通孔之间的螺装配合，旋转左调节螺栓，通过左调节螺栓右端的左限位盘在左限位圈内部的可旋转作用，可以推动左弧形调节板带动左弧形夹板向右移动，可以通过右调节螺栓与右螺纹通孔之间的螺装配合，旋转右调节螺栓，通过右调节螺栓左端的右限位盘在右限位圈内部的可旋转作用，可以推动右弧形调节板带动右弧形夹板向左移动，从而可以将对晶圆切片的左端和右端通过左弧形夹板和右弧形夹板夹紧，并且可以通过左弧形夹板和右弧形夹板的弧面设置，可以增加左弧形夹板和右弧形夹板与晶圆切片左端和右端的接触面积，从而可以提高夹紧效果，并且可以通过旋转左调节螺栓和右调节螺栓，改变左弧形夹板和右弧形夹板之间的距离，可以不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，提高适应能力，同时可以通过多组左缓冲弹簧和多组右缓冲弹簧分别降低左弧形调节板和右弧形调节板对左弧形夹板和右弧形夹板的推进硬度，多组左缓冲弹簧和多组右缓冲弹簧的弹力使左弧形夹板和右弧形夹板对晶圆切片进行夹紧，可以缓解左弧形夹板和右弧形夹板对晶圆切片的夹紧硬度，从而可以防止将晶圆切片在夹紧过程中被损坏，提高使用可靠性；并且可以通过两组左限位方柱与方形固定槽左端内壁内部横向的滑动配合，同时通过两组右限位方柱与方形固定槽右端内壁内部横向的滑动配合，使移动块可以横向沿着两组左限位方柱和两组右限位方柱的方向横向水平移动，并且可以通过带动电机的顺时针转动，带动摇臂以带动电机的前部输出端为中心进行顺时针转动，可以通过限位环与伸缩杆之间的滑动配合，使伸缩杆可以限位环的方向进行横向移动，并且可以通过摇臂带动调节轴在环形调节圈内部的不断转动，当调节轴顺时针转动至环形调节圈内部上侧时，通过摇臂的继续顺时针转动，使调节轴推动环形调节圈向右不断移动，从而带动伸缩杆在限位环内部向右横向移动，当摇臂旋转至环形调节圈内部下侧时，通过摇臂的回转运动，使调节轴将环形调节圈向左不断拉动，从而使伸缩杆在限位环内部向左移动，从而可以通过摇臂的不断转动，转化成伸缩杆在限位环内部的不断左右往复动作，从而可以使伸缩杆带动左移动块可以横向沿着两组左限位方柱和两组右限位方柱的方向横向水平往复移动，从而可以使打磨砂盘进行左右往复移动，可以通过分别同步旋转两组左螺纹管和两组右螺纹管，使两组左螺纹管和两组右螺纹管分别在两组左滚珠轴承和两组右滚珠轴承内部进行转动，同时通过两组左螺纹杆和两组右螺纹杆分别与两组左螺纹管和两组右螺纹管内部的螺装配合，可以通过两组左螺纹管和两组右螺纹管的转动，使两组左螺纹杆和两组右螺纹杆分别在两组左螺纹管和两组右螺纹管的顶端内部进行旋进和旋出，从而可以方便调节打磨砂盘的底端与被打磨晶圆切片顶端的打磨接触位置，无需人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，节省人力，可以保证打磨面的水平度，提高打磨效果，提高实用性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明固定盘、左弧形调节板和左弧形夹板等连接的俯视结构示意图；
图3是本发明左限位杆、左把套和两组左限位方柱连接的立体结构示意图；
图4是本发明图1中A处的局部放大结构示意图；
图5是本发明支腿、锥形补强圈和支撑垫脚板连接的立体结构示意图；
图6是本发明图2中B处的局部放大结构示意图；
附图中标记：1、工作台；2、支腿；3、打磨砂盘；4、固定盘；5、左弧形调节板；6、左弧形夹板；7、左调节螺栓；8、左限位圈；9、左缓冲弹簧；10、左限位盘；11、左螺纹管；12、左螺纹杆；13、固定块；14、左限位方柱；15、移动块；16、带动电机；17、摇臂；18、环形调节圈；19、安装板；20、限位环；21、伸缩杆；22、安装螺栓；23、防滑胶垫；24、左限位杆；25、左把套；26、左上固定板；27、左下固定板；28、左滑柱；29、锥形补强圈；30、支撑垫脚板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图6所示，本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，包括工作台1和四组支腿2，四组支腿的顶端分别与工作台底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，工作台的顶端右侧放置有打磨砂盘3；包括固定盘4、左弧形调节板5、右弧形调节板、左弧形夹板6、右弧形夹板、左调节螺栓7、右调节螺栓、左限位圈8、右限位圈、多组左缓冲弹簧9和多组右缓冲弹簧，固定盘的底端与工作台的顶端中部连接，并且固定盘的顶端中部设置有圆形放置槽，圆形放置槽的左端内壁和右端内壁分别横向设置左螺纹通孔和右螺纹通孔，并且左螺纹通孔和右螺纹通孔均与外界相通，左弧形调节板和右弧形调节板分别设置在圆形放置槽内部的左侧和右侧，并且左限位圈的右端与左弧形调节板的左端中部连接，并且右限位圈的左端与右弧形调节板的右端中部连接，左限位旋内部可转动设置有左限位盘10，并且右限位圈内部可转动设置有右限位盘，左调节螺栓的右端自固定盘的左端螺装至左螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且左调节螺栓的右端穿过左限位圈的左端并伸入至左限位圈内部与左限位盘的左端同心连接，右调节螺栓的左端自固定盘的右端螺装至右螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且右调节螺栓的左端穿过右限位圈的右端并伸入至右限位圈内部与右限位盘的右端同心连接，左弧形夹板设置在左弧形调节板的右侧，并且多组左缓冲弹簧的右端均布与左弧形夹板左端连接，并且多组左缓冲弹簧的左端均布与左弧形调节板的右端连接，右弧形夹板设置在右弧形调节板的左侧，并且多组右缓冲弹簧的左端均布与右弧形夹板右端连接，并且多组右缓冲弹簧的右端均布与右弧形调节板的左端连接；还包括两组左螺纹管11、两组左螺纹杆12、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块13、两组左限位方柱14、两组右限位方柱、移动块15、带动电机16、摇臂17、环形调节圈18、安装板19、限位环20和伸缩杆21，固定块的底端设置有方形固定槽，并且移动块的顶端与方形固定槽的顶端内壁可滑动接触，两组左限位方柱的右端分别与移动块左端的前侧和后侧连接，并且两组左限位方柱的左端分别横向可滑动穿过方形固定槽的左端内壁的前侧和后侧并伸出至板的左端外界，两组右限位方柱的左端分别与移动块右端的前侧和后侧连接，并且两组右限位方柱的右端分别横向可滑动穿过方形固定槽的右端内壁的前侧和后侧并伸出至板的右端外界，打磨砂盘横向设置在移动块的底端，安装板的左端与方形固定槽左端内壁下侧连接，并且带动电机的后端与安装板的前端左侧连接，摇臂的左端与带动电机的前部输出端连接，并且摇臂的前端右侧设置有调节轴，限位环的后端与安装板的前端右侧连接，并且伸缩杆的左端与环形调节圈的右端中部连接，伸缩杆的右端自限位环的左端可滑动穿过限位环的内部并伸出至限位环的右端外界与移动块的左端连接，调节轴的前端自环形调节圈的后端***至环形调节圈的内部，工作台顶端的左前侧和左后侧均设置有左固定槽，并且两组左固定槽内部均固定设置有左滚珠轴承，两组左螺纹管的底端分别***并固定安装至两组左滚珠轴承的顶端内部，两组左螺纹杆的顶端分别与固定块底端的左前侧和左后侧连接，并且两组左螺纹杆的底端分别***并螺装至两组左螺纹管的顶端内部，工作台顶端的右前侧和右后侧均设置有右固定槽，并且两组右固定槽内部均固定设置有右滚珠轴承，两组右螺纹管的底端分别***并固定安装至两组右滚珠轴承的顶端内部，两组右螺纹杆的顶端分别与固定块底端的右前侧和右后侧连接，并且两组右螺纹杆的底端分别***并螺装至两组右螺纹管的顶端内部；可以通过将待打磨的晶圆切片放置在固定盘顶端的圆形放置槽内部，并且可以通过左调节螺栓与左螺纹通孔之间的螺装配合，旋转左调节螺栓，通过左调节螺栓右端的左限位盘在左限位圈内部的可旋转作用，可以推动左弧形调节板带动左弧形夹板向右移动，可以通过右调节螺栓与右螺纹通孔之间的螺装配合，旋转右调节螺栓，通过右调节螺栓左端的右限位盘在右限位圈内部的可旋转作用，可以推动右弧形调节板带动右弧形夹板向左移动，从而可以将对晶圆切片的左端和右端通过左弧形夹板和右弧形夹板夹紧，并且可以通过左弧形夹板和右弧形夹板的弧面设置，可以增加左弧形夹板和右弧形夹板与晶圆切片左端和右端的接触面积，从而可以提高夹紧效果，并且可以通过旋转左调节螺栓和右调节螺栓，改变左弧形夹板和右弧形夹板之间的距离，可以不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，提高适应能力，同时可以通过多组左缓冲弹簧和多组右缓冲弹簧分别降低左弧形调节板和右弧形调节板对左弧形夹板和右弧形夹板的推进硬度，多组左缓冲弹簧和多组右缓冲弹簧的弹力使左弧形夹板和右弧形夹板对晶圆切片进行夹紧，可以缓解左弧形夹板和右弧形夹板对晶圆切片的夹紧硬度，从而可以防止将晶圆切片在夹紧过程中被损坏，提高使用可靠性；并且可以通过两组左限位方柱与方形固定槽左端内壁内部横向的滑动配合，同时通过两组右限位方柱与方形固定槽右端内壁内部横向的滑动配合，使移动块可以横向沿着两组左限位方柱和两组右限位方柱的方向横向水平移动，并且可以通过带动电机的顺时针转动，带动摇臂以带动电机的前部输出端为中心进行顺时针转动，可以通过限位环与伸缩杆之间的滑动配合，使伸缩杆可以限位环的方向进行横向移动，并且可以通过摇臂带动调节轴在环形调节圈内部的不断转动，当调节轴顺时针转动至环形调节圈内部上侧时，通过摇臂的继续顺时针转动，使调节轴推动环形调节圈向右不断移动，从而带动伸缩杆在限位环内部向右横向移动，当摇臂旋转至环形调节圈内部下侧时，通过摇臂的回转运动，使调节轴将环形调节圈向左不断拉动，从而使伸缩杆在限位环内部向左移动，从而可以通过摇臂的不断转动，转化成伸缩杆在限位环内部的不断左右往复动作，从而可以使伸缩杆带动左移动块可以横向沿着两组左限位方柱和两组右限位方柱的方向横向水平往复移动，从而可以使打磨砂盘进行左右往复移动，可以通过分别同步旋转两组左螺纹管和两组右螺纹管，使两组左螺纹管和两组右螺纹管分别在两组左滚珠轴承和两组右滚珠轴承内部进行转动，同时通过两组左螺纹杆和两组右螺纹杆分别与两组左螺纹管和两组右螺纹管内部的螺装配合，可以通过两组左螺纹管和两组右螺纹管的转动，使两组左螺纹杆和两组右螺纹杆分别在两组左螺纹管和两组右螺纹管的顶端内部进行旋进和旋出，从而可以方便调节打磨砂盘的底端与被打磨晶圆切片顶端的打磨接触位置，无需人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，节省人力，可以保证打磨面的水平度，提高打磨效果，提高实用性。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括安装螺栓22，打磨砂盘设置为杯型砂盘，并且打磨砂轮的顶端内壁上中部设置有上下贯穿的安装通孔，移动块的底端中部设置有安装螺纹孔，并且安装螺栓的顶端自打磨砂轮的底端内部穿过安装通孔***并螺装至安装螺纹孔内部；可以通过安装螺栓与安装螺纹孔之间的螺装配合，使安装螺栓方便进行拆卸，从而可以方便打磨砂盘的更换和拆卸，提高适应能力，降低使用局限性。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括防滑胶垫23，防滑胶垫设置在移动块与打磨砂盘之间；可以通过防滑胶垫提高移动块底端与打磨砂盘顶端的防滑能力，提高打磨砂盘的安装稳固性。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左限位杆24和右限位杆，左限位杆的右端的前侧和后侧分别与两组左限位方柱的左端连接，并且右限位杆左端的前侧和后侧分别与两组右限位方柱的右端连接；可以通过左限位杆和右限位杆分别对左两组左限位方柱和两组右限位方柱进行限位，防止两组左限位方柱和两组右限位方柱分别自方形固定槽的左端内壁和右端内壁内部滑出，提高两组左限位方柱和两组右限位方柱的使用可靠性，同时当外部电源断电时，可以通过操作人员操作左限位杆和右限位杆，左右移动左限位杆和右限位杆带动移动块进行左右往复移动，从而可以继续进行打磨作业，降低使用局限性，提高实用性。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左把套25和右把套，左把套和右把套分别固定套装在左限位杆和右限位杆的外侧中部；可以通过左把套和右把套提高操作人员使用左限位杆和右限位杆进行往复动作过程中对人手的保护，提高实用性。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左上固定板26、左下固定板27、右下固定板、右下固定板、两组左滑柱28和两组右滑柱，左上固定板的右端与固定块的左端连接，并且左下固定板的左端与工作台的左端连接，两组左滑柱的顶端分别与左上固定板底端的前侧和后侧连接，并且两组左滑柱的底端分别自左下固定板顶端的前侧和后侧穿过左下固定板的内部并伸出至左下固定板的底端外界，并且两组左滑柱分别与左下固定板内部的前侧和后侧滑动配合，右固定板的左端与固定块的右端连接，并且右下固定板的左端与工作台的右端连接，两组右滑柱的顶端分别与右上固定板底端的前侧和后侧连接，并且两组右滑柱的底端分别自右下固定板顶端的前侧和后侧穿过右下固定板的内部并伸出至右下固定板的底端外界，并且两组右滑柱分别与右下固定板内部的前侧和后侧滑动配合；可以通过左上固定板对两组左滑柱进行固定安装，同时通过右上固定板对两组右滑柱进行固定安装，并且可以通过两组左滑柱分别与左下固定板内部的前侧和后侧滑动配合，同时通过两组右滑柱分别与右下固定板内部的前侧和后侧滑动配合，使固定块在带动打磨砂盘进行上下调节过程中沿着两组左滑柱和两组右滑柱的方向进行移动，从而可以对固定块上下调节动作的路径进行限定，防止固定块晃动或者便宜造成打磨砂盘倾斜，进一步的提高打磨砂盘对被打磨晶圆顶端的接触面积和打磨水平度，提高使用可靠性。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括四组锥形补强圈29，四组锥形补强圈分别固定套装在四组支腿的外部，并且四组锥形补强圈的顶端均与操作板的底端连接；可以通过四组锥形补强圈提高四组支腿与工作台之间的连接稳定能力，减少折断，提高使用可靠性。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括四组支撑垫脚板30，四组支撑垫脚板的顶端分别与四组支腿的底端连接；可以通过四组支撑垫脚板提高四组支腿的底端与地面之间的接触面积，从而可以提高整体的放置稳固性。
本发明的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，其在工作时，首先通过四组支撑垫脚板将整体进行稳定的放置，然后将将待打磨的晶圆切片放置在固定盘顶端的圆形放置槽内部，并且通过左调节螺栓与左螺纹通孔之间的螺装配合，旋转左调节螺栓，通过左调节螺栓右端的左限位盘在左限位圈内部的可旋转作用，推动左弧形调节板带动左弧形夹板向右移动，通过右调节螺栓与右螺纹通孔之间的螺装配合，旋转右调节螺栓，通过右调节螺栓左端的右限位盘在右限位圈内部的可旋转作用，推动右弧形调节板带动右弧形夹板向左移动，将对晶圆切片的左端和右端通过左弧形夹板和右弧形夹板夹紧，并且通过左弧形夹板和右弧形夹板的弧面设置，增加左弧形夹板和右弧形夹板与晶圆切片左端和右端的接触面积，提高夹紧效果，并且通过旋转左调节螺栓和右调节螺栓，改变左弧形夹板和右弧形夹板之间的距离，不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，提高适应能力，同时通过多组左缓冲弹簧和多组右缓冲弹簧分别降低左弧形调节板和右弧形调节板对左弧形夹板和右弧形夹板的推进硬度，多组左缓冲弹簧和多组右缓冲弹簧的弹力使左弧形夹板和右弧形夹板对晶圆切片进行夹紧，缓解左弧形夹板和右弧形夹板对晶圆切片的夹紧硬度，防止将晶圆切片在夹紧过程中被损坏，加紧完成后，通过分别同步旋转两组左螺纹管和两组右螺纹管，使两组左螺纹管和两组右螺纹管分别在两组左滚珠轴承和两组右滚珠轴承内部进行转动，同时通过两组左螺纹杆和两组右螺纹杆分别与两组左螺纹管和两组右螺纹管内部的螺装配合，通过两组左螺纹管和两组右螺纹管的转动，使两组左螺纹杆和两组右螺纹杆分别在两组左螺纹管和两组右螺纹管的顶端内部进行旋进和旋出，调节打磨砂盘的底端与被打磨晶圆切片顶端的打磨接触位置，通过左上固定板对两组左滑柱进行固定安装，同时通过右上固定板对两组右滑柱进行固定安装，并且通过两组左滑柱分别与左下固定板内部的前侧和后侧滑动配合，同时通过两组右滑柱分别与右下固定板内部的前侧和后侧滑动配合，使固定块在带动打磨砂盘进行上下调节过程中沿着两组左滑柱和两组右滑柱的方向进行移动，对固定块上下调节动作的路径进行限定，防止固定块晃动或者便宜造成打磨砂盘倾斜，调整至合适的打磨位置后，将带动电机与外部电源接通，通过两组左限位方柱与方形固定槽左端内壁内部横向的滑动配合，同时通过两组右限位方柱与方形固定槽右端内壁内部横向的滑动配合，使移动块横向沿着两组左限位方柱和两组右限位方柱的方向横向水平移动，并且通过带动电机的顺时针转动，带动摇臂以带动电机的前部输出端为中心进行顺时针转动，通过限位环与伸缩杆之间的滑动配合，使伸缩杆限位环的方向进行横向移动，并且通过摇臂带动调节轴在环形调节圈内部的不断转动，当调节轴顺时针转动至环形调节圈内部上侧时，通过摇臂的继续顺时针转动，使调节轴推动环形调节圈向右不断移动，带动伸缩杆在限位环内部向右横向移动，当摇臂旋转至环形调节圈内部下侧时，通过摇臂的回转运动，使调节轴将环形调节圈向左不断拉动，使伸缩杆在限位环内部向左移动，通过摇臂的不断转动，转化成伸缩杆在限位环内部的不断左右往复动作，使伸缩杆带动左移动块横向沿着两组左限位方柱和两组右限位方柱的方向横向水平往复移动，使打磨砂盘进行左右往复移动对晶圆切片的顶端进行不断打磨，通过安装螺栓与安装螺纹孔之间的螺装配合，使安装螺栓进行拆卸，打磨砂盘的更换和拆卸，通过防滑胶垫提高移动块底端与打磨砂盘顶端的防滑能力，通过左限位杆和右限位杆分别对左两组左限位方柱和两组右限位方柱进行限位，防止两组左限位方柱和两组右限位方柱分别自方形固定槽的左端内壁和右端内壁内部滑出，提高两组左限位方柱和两组右限位方柱的使用可靠性，同时当外部电源断电时，通过操作人员操作左限位杆和右限位杆，左右移动左限位杆和右限位杆带动移动块进行左右往复移动，继续进行打磨作业，通过左把套和右把套提高操作人员使用左限位杆和右限位杆进行往复动作过程中对人手的保护，通过四组锥形补强圈提高四组支腿与工作台之间的连接稳定能力即可。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，包括工作台（1）和四组支腿（2），四组支腿（2）的顶端分别与工作台（1）底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，工作台（1）的顶端右侧放置有打磨砂盘（4）；其特征在于，包括固定盘（4）、左弧形调节板（5）、右弧形调节板、左弧形夹板（6）、右弧形夹板、左调节螺栓（7）、右调节螺栓、左限位圈（8）、右限位圈、多组左缓冲弹簧（9）和多组右缓冲弹簧，所述固定盘（4）的底端与所述工作台（1）的顶端中部连接，并且固定盘（4）的顶端中部设置有圆形放置槽，所述圆形放置槽的左端内壁和右端内壁分别横向设置左螺纹通孔和右螺纹通孔，并且左螺纹通孔和右螺纹通孔均与外界相通，所述左弧形调节板（5）和右弧形调节板分别设置在所述圆形放置槽内部的左侧和右侧，并且所述左限位圈（8）的右端与所述左弧形调节板（5）的左端中部连接，并且所述右限位圈的左端与所述右弧形调节板的右端中部连接，左限位旋内部可转动设置有左限位盘（10），并且右限位圈内部可转动设置有右限位盘，所述左调节螺栓（7）的右端自固定盘（4）的左端螺装至左螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且左调节螺栓（7）的右端穿过左限位圈（8）的左端并伸入至左限位圈（8）内部与所述左限位盘（10）的左端同心连接，所述右调节螺栓的左端自固定盘（4）的右端螺装至右螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且右调节螺栓的左端穿过右限位圈的右端并伸入至右限位圈内部与所述右限位盘的右端同心连接，所述左弧形夹板（6）设置在左弧形调节板（5）的右侧，并且所述多组左缓冲弹簧（9）的右端均布与所述左弧形夹板（6）左端连接，并且多组左缓冲弹簧（9）的左端均布与所述左弧形调节板（5）的右端连接，所述右弧形夹板设置在右弧形调节板的左侧，并且所述多组右缓冲弹簧的左端均布与所述右弧形夹板右端连接，并且多组右缓冲弹簧的右端均布与所述右弧形调节板的左端连接；还包括两组左螺纹管（11）、两组左螺纹杆（12）、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块（13）、两组左限位方柱（14）、两组右限位方柱、移动块（15）、带动电机（16）、摇臂（17）、环形调节圈（18）、安装板（19）、限位环（20）和伸缩杆（21），所述固定块（13）的底端设置有方形固定槽，并且所述移动块（15）的顶端与所述方形固定槽的顶端内壁可滑动接触，所述两组左限位方柱（14）的右端分别与移动块（15）左端的前侧和后侧连接，并且两组左限位方柱（14）的左端分别横向可滑动穿过方形固定槽的左端内壁的前侧和后侧并伸出至板的左端外界，所述两组右限位方柱的左端分别与移动块（15）右端的前侧和后侧连接，并且两组右限位方柱的右端分别横向可滑动穿过方形固定槽的右端内壁的前侧和后侧并伸出至板的右端外界，所述打磨砂盘（4）横向设置在移动块（15）的底端，所述安装板（19）的左端与所述方形固定槽左端内壁下侧连接，并且所述带动电机（16）的后端与所述安装板（19）的前端左侧连接，所述摇臂（17）的左端与所述带动电机（16）的前部输出端连接，并且摇臂（17）的前端右侧设置有调节轴，所述限位环（20）的后端与安装板（19）的前端右侧连接，并且所述伸缩杆（21）的左端与所述环形调节圈（18）的右端中部连接，伸缩杆（21）的右端自限位环（20）的左端可滑动穿过限位环（20）的内部并伸出至限位环（20）的右端外界与所述移动块（15）的左端连接，所述调节轴的前端自环形调节圈（18）的后端***至环形调节圈（18）的内部，所述工作台（1）顶端的左前侧和左后侧均设置有左固定槽，并且两组左固定槽内部均固定设置有左滚珠轴承，所述两组左螺纹管（11）的底端分别***并固定安装至两组左滚珠轴承的顶端内部，所述两组左螺纹杆（12）的顶端分别与所述固定块（13）底端的左前侧和左后侧连接，并且两组左螺纹杆（12）的底端分别***并螺装至两组左螺纹管（11）的顶端内部，所述工作台（1）顶端的右前侧和右后侧均设置有右固定槽，并且两组右固定槽内部均固定设置有右滚珠轴承，所述两组右螺纹管的底端分别***并固定安装至两组右滚珠轴承的顶端内部，所述两组右螺纹杆的顶端分别与所述固定块（13）底端的右前侧和右后侧连接，并且两组右螺纹杆的底端分别***并螺装至两组右螺纹管的顶端内部。
2.如权利要求1所述的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，其特征在于，还包括安装螺栓（22），所述打磨砂盘（4）设置为杯型砂盘，并且打磨砂轮的顶端内壁上中部设置有上下贯穿的安装通孔，所述移动块（15）的底端中部设置有安装螺纹孔，并且所述安装螺栓（22）的顶端自打磨砂轮的底端内部穿过安装通孔***并螺装至安装螺纹孔内部。
3.如权利要求2所述的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，其特征在于，还包括防滑胶垫（23），所述防滑胶垫（23）设置在移动块（15）与打磨砂盘（4）之间。
4.如权利要求3所述的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，其特征在于，还包括左限位杆（24）和右限位杆，所述左限位杆（24）的右端的前侧和后侧分别与所述两组左限位方柱（14）的左端连接，并且所述右限位杆左端的前侧和后侧分别与两组右限位方柱的右端连接。
5.如权利要求4所述的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，其特征在于，还包括左把套（25）和右把套，所述左把套（25）和右把套分别固定套装在所述左限位杆（24）和右限位杆的外侧中部。
6.如权利要求5所述的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，其特征在于，还包括左上固定板、左下固定板（27）、右下固定板、右下固定板、两组左滑柱（28）和两组右滑柱，所述左上固定板的右端与所述固定块（13）的左端连接，并且所述左下固定板（27）的左端与所述工作台（1）的左端连接，所述两组左滑柱（28）的顶端分别与所述左上固定板底端的前侧和后侧连接，并且两组左滑柱（28）的底端分别自左下固定板（27）顶端的前侧和后侧穿过左下固定板（27）的内部并伸出至左下固定板（27）的底端外界，并且两组左滑柱（28）分别与左下固定板（27）内部的前侧和后侧滑动配合，所述右固定板的左端与所述固定块（13）的右端连接，并且所述右下固定板的左端与所述工作台（1）的右端连接，所述两组右滑柱的顶端分别与所述右上固定板底端的前侧和后侧连接，并且两组右滑柱的底端分别自右下固定板顶端的前侧和后侧穿过右下固定板的内部并伸出至右下固定板的底端外界，并且两组右滑柱分别与右下固定板内部的前侧和后侧滑动配合。
7.如权利要求6所述的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，其特征在于，还包括四组锥形补强圈（29），所述四组锥形补强圈（29）分别固定套装在所述四组支腿（2）的外部，并且四组锥形补强圈（29）的顶端均与所述操作板的底端连接。
8.如权利要求7所述的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，其特征在于，还包括四组支撑垫脚板（30），所述四组支撑垫脚板（30）的顶端分别与所述四组支腿（2）的底端连接。
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