CN112589669A - 晶圆研磨用供料机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了晶圆研磨用供料机构,包括本体和保护箱，所述本体的外表面安装有面板，所述本体的一侧安装有升降装置，所述升降装置的一侧安装有传送装置，所述传送装置的顶部安装有搬运盒，所述搬运盒的内腔安装有底板，所述底板的正面安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有第一传动杆。本发明，搬运盒内部设置有传动杆和吸盘，能够带动晶圆保护箱从传送带移送到升降装置中，方便整体运输并且不容易对晶圆产生磕碰，升降装置内部设置有电机和螺纹杆，能够带动升降板升降运动，方便保护箱整体移动，限位装置内部设置有弹簧和按压块能够对保护箱进行夹持固定，进一步增加晶圆供料运输过程中的稳定性。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆研磨用供料技术领域，具体为晶圆研磨用供料机构。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
虽然同一个晶圆厂生产的晶圆厚度几乎一致，但是在集成电路制造，为了降低器件热阻、提高工作散热及冷却能力、便于封装，在硅晶圆正面制作完集成电路后，需要进行背面减薄，现有的供料装置在运输过程中大多使用机械手夹持晶圆至研磨装置内部晶圆在运输过程中容易发生磕碰造成晶圆表面的电路损坏不能使用，增加了施工成本并且减少了工作效率。
发明内容
本发明的目的在于提供晶圆研磨用供料机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：晶圆研磨用供料机构，包括本体和保护箱，所述本体的外表面安装有面板，所述本体的一侧安装有升降装置，所述升降装置的一侧安装有传送装置，所述传送装置的顶部安装有搬运盒，所述搬运盒的内腔安装有底板，所述底板的正面安装有第一电机，所述第一电机的输出端安装有第一传动杆，所述第一传动杆的一端铰接有转动板，所述转动板的底部安装有吸盘，所述转动板的顶部铰接有第二传动杆，所述升降装置的内腔固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端安装有螺纹杆，所述螺纹杆的***螺纹安装有升降板，所述升降板的顶部安装有固定装置，所述固定装置的内壁安装有固定板，所述固定板的下方安装有传送装置，所述固定板的侧壁铰接有滚筒，所述固定装置的内壁安装有弹簧，所述弹簧的一端套设有限位块，所述面板与本体、传送装置、第一电机以及第二电机电性连接。
优选的，所述底板的正面设置有凹槽，所述第二传动杆的一端位于底板正面的凹槽中且与该凹槽尺寸相适配。第二传动杆是由两个相互铰接的直杆组成的，所述第二传动杆远离转动板的一端铰接于底板的外表面。
优选的，所述固定装置的顶部开设有通孔，所述保护箱和固定装置内腔的通孔尺寸相适配。
优选的，所述固定板的数量为两个，两个所述固定板设置在滚筒的两端，所述滚筒的数量为多个且多个滚筒的外表面相互贴合，多个滚筒呈直线均匀排列在固定板的侧壁。
优选的，所述保护箱底部的外表面设置有卡槽，所述限位块的形状为梯形块，所述限位块和保护箱外表面的凹槽尺寸相适配。
优选的，所述搬运盒的两侧侧壁均开设有通孔且该通孔位于传送装置的正上方，所述搬运盒和升降装置的内腔开设有相连通的通孔。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该晶圆研磨用供料机构，搬运盒内部设置有传动杆和吸盘，能够带动晶圆保护箱从传送带移送到升降装置中，方便整体运输并且不容易对晶圆产生磕碰，增加了加工生产效率，升降装置内部设置有电机和螺纹杆，能够带动升降板升降运动，方便保护箱整体移动，限位装置内部设置有弹簧和按压块能够对保护箱进行夹持固定，能够进一步增加晶圆供料运输过程中的稳定性。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明搬运盒内部结构示意图；
图3为本发明升降装置内部结构示意图；
图4为本发明固定装置内部结构示意图；
图5为本发明固定装置内部结构俯视图。
图中：1、本体；2、面板；3、升降装置；4、传送装置；5、搬运盒；6、底板；7、第一电机；8、第一传动杆；9、转动板；10、吸盘；11、第二传动杆；12、第二电机；13、螺纹杆；14、升降板；15、固定装置；16、固定板；17、滚筒；18、保护箱；19、弹簧；20、限位块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-5，本发明提供的实施例：晶圆研磨用供料机构，包括本体1和保护箱18，保护箱18底部的外表面设置有卡槽，限位块20的形状为梯形块，限位块20和保护箱18外表面的凹槽尺寸相适配，保护箱18的内腔设置有多个滑槽且多个滑槽内部设置有橡胶，能够方便多个晶圆放置且不容易磕碰起到一定的保护作用，保护箱18的外表面设置有卡槽，限位块20和保护箱18外表面的凹槽尺寸相适配，本体1的外表面安装有面板2，本体1的一侧安装有升降装置3，升降装置3的一侧安装有传送装置4，传送装置4的内部结构为电机的输出端安装转筒，转筒的外表面传动安装传送带，传送装置4的数量为两个，一个传送装置4安装在升降装置3的***，一个传送装置4安装在固定装置15的底部且和滚筒17的外表面相切合，传送装置4的顶部安装有搬运盒5，搬运盒5的两侧侧壁均开设有通孔且该通孔位于传送装置4的正上方，搬运盒5和升降装置3的内腔开设有相连通的通孔，搬运盒5的内腔安装有底板6，底板6的正面设置有凹槽，第二传动杆11的一端位于底板6正面的凹槽中且与该凹槽尺寸相适配。第二传动杆11是由两个相互铰接的直杆组成的，第二传动杆11远离转动板9的一端铰接于底板6的外表面，底板6的正面安装有第一电机7，第一电机7的输出端安装有第一传动杆8，第一传动杆8的一端铰接有转动板9，转动板9的底部安装有吸盘10，转动板9的顶部铰接有第二传动杆11，升降装置3的内腔固定安装有第二电机12，第二电机12的输出端安装有螺纹杆13，螺纹杆13的***螺纹安装有升降板14，升降板14的顶部安装有固定装置15，固定装置15的顶部开设有通孔，保护箱18和固定装置15内腔的通孔尺寸相适配，固定装置15的内壁安装有固定板16，固定板16的数量为两个，两个固定板16设置在滚筒17的两端，滚筒17的数量为多个且多个滚筒17的外表面相互贴合，多个滚筒17呈直线均匀排列在固定板16的侧壁，固定板16的下方安装有传送装置4，固定板16的侧壁铰接有滚筒17，固定装置15的内壁安装有弹簧19，弹簧19的一端套设有限位块20，面板2与本体1、传送装置4、第一电机7以及第二电机12电性连接。
工作原理：需要使用该装置时，工作人员启动外部控制装置，外部控制装置对本体1供电，同时外部控制装置对传送装置4供电，传送装置4带动物料移动，当物料移动到一定位置时，外部控制装置对第一电机7供电，第一电机7带动第一传动杆8转动，通过第二传动杆11能够使第一传动杆8限位防止第一传动杆8一直转动，同时第一传动杆8带动转动板9转动，转动板9带动吸盘11对晶圆保护箱18进行固定，同时吸盘11带动保护箱18进行运输移动并将保护箱18放置到固定装置15的顶部，通过弹簧19和限位块能够使保护箱18固定，同时外部控制装置对第二电机12供电，第二电机12通过螺纹带动升降板14呈升降运动，当升降板14升降到一定位置时，由于升降装置3的***和固定装置15的内腔均按照有传送装置4，外部控制装置对固定装置15内腔的传送装置4供电，传送装置4带动保护箱18移动，从而方便晶圆供料并且切割。
对于本领域技术人员而言，本发明不限于上述示例性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或范围的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，本发明的实施例是示例性的，而且是非限制性的。本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.晶圆研磨用供料机构，包括本体（1）和保护箱（18），其特征在于：所述本体（1）的外表面安装有面板（2），所述本体（1）的一侧安装有升降装置（3），所述升降装置（3）的一侧安装有传送装置（4），所述传送装置（4）的顶部安装有搬运盒（5），所述搬运盒（5）的内腔安装有底板（6），所述底板（6）的正面安装有第一电机（7），所述第一电机（7）的输出端安装有第一传动杆（8），所述第一传动杆（8）的一端铰接有转动板（9），所述转动板（9）的底部安装有吸盘（10），所述转动板（9）的顶部铰接有第二传动杆（11），所述升降装置（3）的内腔固定安装有第二电机（12），所述第二电机（12）的输出端安装有螺纹杆（13），所述螺纹杆（13）的***螺纹安装有升降板（14），所述升降板（14）的顶部安装有固定装置（15），所述固定装置（15）的内壁安装有固定板（16），所述固定板（16）的下方安装有传送装置（4），所述固定板（16）的侧壁铰接有滚筒（17），所述固定装置（15）的内壁安装有弹簧（19），所述弹簧（19）的一端套设有限位块（20），所述面板（2）与本体（1）、传送装置（4）、第一电机（7）以及第二电机（12）电性连接。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述底板（6）的正面设置有凹槽，所述第二传动杆（11）的一端位于底板（6）正面的凹槽中且与该凹槽尺寸相适配，
第二传动杆（11）是由两个相互铰接的直杆组成的，所述第二传动杆（11）远离转动板（9）的一端铰接于底板（6）的外表面。
3.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述固定装置（15）的顶部开设有通孔，所述保护箱（18）和固定装置（15）内腔的通孔尺寸相适配。
4.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述固定板（16）的数量为两个，两个所述固定板（16）设置在滚筒（17）的两端，所述滚筒（17）的数量为多个且多个滚筒（17）的外表面相互贴合，多个滚筒（17）呈直线均匀排列在固定板（16）的侧壁。
5.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述保护箱（18）底部的外表面设置有卡槽，所述限位块（20）的形状为梯形块，所述限位块（20）和保护箱（18）外表面的凹槽尺寸相适配。
6.根据权利要求1所述的晶圆研磨用供料机构，其特征在于：所述搬运盒（5）的两侧侧壁均开设有通孔且该通孔位于传送装置（4）的正上方，所述搬运盒（5）和升降装置（3）的内腔开设有相连通的通孔。
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