CN108807484A - 柔性显示面板及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本申请公开一种柔性显示面板及其制造方法。所述柔性显示面板的制造方法包括：在PI基底上涂布一层凝胶，所述凝胶中掺杂有滤光物，所述滤光物用于吸收激光退火工艺的激光；烧结所述凝胶，使其固化成为缓冲层；在缓冲层上采用激光退火工艺形成半导体层。基于此，本申请能够降低激光退火工艺对PI基底的损伤，避免其出现破孔。

Description

柔性显示面板及其制造方法
技术领域
本申请涉及显示领域，具体涉及一种柔性显示面板及其制造方法。
背景技术
柔性显示面板一般采用有机PI(Polyimide,聚酰亚胺)来制作柔性基底，如图1所示，柔性显示面板10包括采用PI制成的柔性基底11、以及依次形成于该柔性基底11上的缓冲层(Buffer Layer)12和半导体(a-Si)层13。现有技术通常采用激光退火(又称准分子激光退火,excimer laser annealing,ELA)工艺来制备半导体层13。但是，在此制备过程中，激光会穿透缓冲层12并对柔性基底11造成损伤，甚至出现破孔111，这无疑会影响柔性显示面板10的可弯折性能及显示品质。
发明内容
有鉴于此，本申请提供一种柔性显示面板及其制造方法，能够降低激光退火工艺对PI基底的损伤，避免出现破孔。
本申请一实施例的柔性显示面板的制造方法，包括：
采用PI形成一柔性基底；
在所述柔性基底上涂布一层凝胶，所述凝胶中掺杂有滤光物，所述滤光物用于吸收激光退火工艺的激光；
烧结所述凝胶，使得所述凝胶固化成为第一缓冲层；
在所述第一缓冲层上采用激光退火工艺形成半导体层。
本申请一实施例的柔性显示面板，包括采用PI形成的柔性基底以及形成于所述柔性基底上的第一缓冲层，其特征在于，所述第一缓冲层内掺杂有滤光物，所述滤光物用于吸收激光退火工艺的激光。
有益效果：本申请设计在缓冲层中掺杂滤光物，在采用激光退火工艺制备半导体层的过程中，滤光物吸收激光，减少甚至避免激光穿透缓冲层，从而能够降低激光退火工艺对PI基底的损伤，避免其出现破孔。
附图说明
图1是现有技术一实施例的柔性显示面板的结构示意图；
图2是本申请一实施例的柔性显示面板的制造方法的流程示意图；
图3是本申请一实施例的柔性显示面板的结构示意图；
图4是本申请一实施例的制备第二缓冲层的场景示意图；
图5是本申请另一实施例的柔性显示面板的结构示意图。
具体实施方式
本申请的首要目的是：在缓冲层中掺杂滤光物，在采用激光退火工艺制备半导体层的过程中，滤光物吸收激光，减少甚至避免激光穿透缓冲层，以此降低激光退火工艺对PI基底的损伤，避免出现破孔。
应该理解到，本申请所适用的柔性显示面板包括但不限于OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)。
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请所提供的各个示例性的实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。在不冲突的情况下，下述各个实施例以及实施例中的特征可以相互组合。并且，本申请全文所采用的方向性术语，例如“上”、“下”等，均是为了更好的描述各个实施例的技术方案，并非用于限制本申请的保护范围。
图2是本申请一实施例的柔性显示面板的制造方法的流程示意图，
图3是本申请一实施例的柔性显示面板的结构示意图。结合图2和图3所示，所述柔性显示面板的制造方法包括步骤S21～S24。
S21：采用PI形成一柔性基底。
本申请可以在玻璃基板等表面光滑的衬底基板31上涂布一层厚度均匀的PI，然后对该层PI进行固化，以形成柔性基底32。
S22：在柔性基底上涂布一层凝胶，所述凝胶中掺杂有滤光物，所述滤光物用于吸收激光退火工艺的激光。
缓冲层的材质不同，所述凝胶的材质也不同。以第一缓冲层331为SiO2层为例，所述凝胶的配制材料可以包括正硅酸乙酯(TEOS)、无水乙醇、去离子水、浓盐酸、钛酸丁酯、醋酸以及滤光物332。该凝胶的配置工艺为：首先按照正硅酸乙酯、无水乙醇、去离子水、浓盐酸、钛酸丁酯、醋酸的比例为15:40:5:0.7:2:8进行混合，再加入一定比例的滤光物制成混合液，其中按照所要掺杂滤光物332的比例加入来控制钛酸丁酯和醋酸的量，然后使用磁子搅拌上述混合液并持续30分钟，再采用恒温水浴方式在60℃的温度下对混合液加热100分钟，接着采用石蜡浴方式在130℃的温度下对混合液加热30分钟，以此形成凝胶。
应该理解到，上述制备凝胶的方式仅为举例说明，本申请还可以采用其他材料及工艺配制所述凝胶，但无论采用何种材料及工艺，均需要确保滤光物不与配制材料发生任何影响其吸光性能的反应。
将凝胶加入涂布机台，例如现有用于涂布PI或PR(光阻)等的涂布机台，通过涂布机台在柔性基底32上涂布一层厚度均匀的凝胶。
S23：烧结所述凝胶，使得所述凝胶固化成为第一缓冲层。
涂布凝胶的柔性基底32放入持续通有空气的烤炉(Oven)里进行烧结，烧结温度可以为400℃，烧结时间可以为1小时，从而使得凝胶固化成为均匀掺杂有滤光物332的第一缓冲层331。
S24：在第一缓冲层上采用激光退火工艺形成半导体层。
本申请可采用PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)等工艺形成位于第一缓冲层331上的非晶硅层，再对非晶硅层进行激光退火工艺处理，使其结晶形成多晶硅层，即半导体层34。
在采用激光退火工艺制备半导体层34的过程中，滤光物332吸收激光，从而能够减少甚至避免激光穿透第一缓冲层331，降低激光退火工艺对柔性基底32的损伤，避免柔性基底32出现图1所示的破孔111，以此确保柔性显示面板20的可弯折性能及显示品质。
在应用场景中，所述滤光物332的材质可以为TiO2(二氧化钛)等其他对(波长为308nm)的激光具有较好吸收功能的物质。
另外，所述柔性显示面板20还包括有其他结构，例如栅电极、栅极绝缘层、源电极、漏电极等，这些结构元件的制造方式及结构设置可以参阅现有技术，本申请在此不予以一一赘述。
前述采用凝胶制备第一缓冲层331的过程中，在烧结时凝胶会释放CO2(二氧化碳)等气体，最终制得的第一缓冲层331中容易产生微小孔洞，因此，为了避免水氧从这些孔洞进入柔性显示面板20内部，在柔性基底32上涂布凝胶之前，结合图3所示，本申请可以在柔性基底32上采用电子束蒸镀工艺形成一隔水隔氧的第二缓冲层333，不同于第一缓冲层331为SiO2层，该第二缓冲层333可以为SiNx层。
结合图4所示，所述电子束蒸镀工艺的过程为：将柔性基底32放置于一腔室40内，该腔室40内设有灯丝41、蒸镀源42、具有开口431的掩膜板(Shutter)43、及定位机构44，其中，灯丝41邻近蒸镀源42设置，掩膜板43设置于蒸镀源42的上方，定位机构44将柔性基底32设置于掩膜板43的上方并可沿水平方向移动，然后，灯丝41通电并产生电子，电子轰击蒸镀源42，蒸镀源42产生的分子或原子团簇通过掩膜板43的开口431并附着于柔性基底32上，从而形成第二缓冲层333。其中，为了保证第二缓冲层333的致密性，所述腔室40的温度可以为200℃，且工作压强为8*10-4～7*10-3Pa(帕斯卡)。
图5是本申请另一实施例的柔性显示面板的结构示意图。为便于描述，本申请采用相同的标号来标识相同名称的结构元件。在前述实施例的描述基础上，但与其不同的是，本实施例的滤光物332掺杂于第二缓冲层333中，而采用电子束蒸镀工艺制备第一缓冲层331。
于此，本实施例通过第二缓冲层333中的滤光物332吸收激光，降低激光退火工艺对柔性基底32的损伤，避免柔性基底32出现图1所示的破孔111，以此确保柔性显示面板20的可弯折性能及显示品质，而通过良好致密性的第一缓冲层331来实现隔水隔氧功能。
再次说明，以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种柔性显示面板的制造方法，其特征在于，所述方法包括：
采用聚酰亚胺PI形成一柔性基底；
在所述柔性基底上涂布一层凝胶，所述凝胶中掺杂有滤光物，所述滤光物用于吸收激光退火工艺的激光；
烧结所述凝胶，使得所述凝胶固化成为第一缓冲层；
在所述第一缓冲层上采用激光退火工艺形成半导体层。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述滤光物包括二氧化钛TiO2。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，
在所述柔性基底上涂布一层凝胶之前，所述方法还包括：
在柔性基底上采用电子束蒸镀工艺形成一隔水隔氧的第二缓冲层；
所述在所述柔性基底上涂布一层凝胶，包括：
在所述第二缓冲层上涂布一层凝胶。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一缓冲层和第二缓冲层中一者为硅氮化合物SiNx层，另一者为氧化硅SiO2层。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一缓冲层为SiO2层，所述凝胶的配制材料包括正硅酸乙酯、无水乙醇、去离子水、浓盐酸、钛酸丁酯、醋酸以及所述滤光物。
6.一种柔性显示面板，包括采用PI形成的柔性基底以及形成于所述柔性基底上的第一缓冲层，其特征在于，所述第一缓冲层内掺杂有滤光物，所述滤光物用于吸收激光退火工艺的激光。
7.根据权利要求6所述的柔性显示面板，其特征在于，所述滤光物包括二氧化钛TiO2。
8.根据权利要求6或7所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括设置于所述柔性基底和第一缓冲层之间的第二缓冲层，所述第二缓冲层为采用电子束蒸镀工艺形成的隔水隔氧层。
9.根据权利要求8所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一缓冲层和第二缓冲层中一者为SiNx层，另一者为SiO2层。
10.根据权利要求6～9任一项所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板为OLED面板。
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