CN108792739B - 搬运装置及层叠体的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能容易且高精度地进行单张片状构件的位置对准的搬运装置及层叠体的制造方法。搬运装置包括：载置单张片状构件的第一构件；载置单张片状构件并进行位置调整的调整工作台；用于载置并搬运单张片状构件的第一带状构件；对载置于第一构件的单张片状构件进行吸引并将其向调整工作台载置的第一移载机，第一移载机能在利用吸引力保持单张片状构件的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件；对载置于调整工作台的单张片状构件的位置信息进行确认的位置确认装置；基于单张片状构件的位置数据来对其进行位置调整的控制部；使载置于调整工作台并被进行了位置调整的单张片状构件向第一带状构件上移动而载置于第一带状构件的第二移载机。

Description

搬运装置及层叠体的制造方法

技术领域

本发明涉及用于搬运单张片状构件的搬运装置及层叠体的制造方法。

背景技术

单张片状构件在吸附构件、印制布线基板及光学构件等各种领域中使用。例如，对于印制布线基板及光学构件等用于精密设备的单张片状构件，在单张片状构件的层叠、贴合时，需要进行位置对准。

另外，近年来，多使用薄型的单张片状构件，薄型的单张片状构件尤其容易产生褶皱、卷曲。当在单张片状构件产生褶皱、卷曲等时，不仅难以提高位置对准的精度，而且作业效率变差，有可能对产品的成品率产生不良影响。

例如，在专利文献1(日本特开2012-242750号公报)中公开了一种膜贴附装置，其能够将光学膜等薄的片状的构件以不存在气泡及异物的卷入且不产生挠曲及褶皱的方式贴附在基板上。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-242750号公报

专利文献1所公开的膜贴附装置例如通过将膜的保持构件彼此分离来使膜产生张力。另外，专利文献1公开了使用例如静电吸盘、真空吸附力来作为保持构件这样的内容。

然而，静电吸盘存在如下情况：若片状构件不平坦，则不能稳定地保持被吸附物。例如，存在不能稳定地保持产生了褶皱、挠曲的片状构件的情况，静电吸盘有时不适合于容易产生褶皱的薄型的片状构件等。

另外，当使用真空吸附力时，需要真空装置等，装置变得复杂。而且，也存在无法到片状构件的端部为止地得到充分的吸附力而容易产生气泡的情况。而且，存在对片状构件的吸附力变强的趋势，有时不适合于向薄型的片状构件等使用。

在此，对于印制布线基板及光学构件等用于精密设备的单张片状构件，如上述那样，在单张片状构件的层叠及贴合时需要进行位置对准，要求提高位置对准的精度且更高效地进行位置对准。

而且，如上述那样，近年来，单张片状构件的厚度变薄。例如，在光学层叠体所使用的单张片状构件中，存在厚度为50～300μm的单张片状构件，这会导致如下情况：容易产生卷曲及褶皱，无法容易地进行单张片状构件的位置对准，从而不能实现单张片状构件的角度、位置对准的精度。

发明内容

因此，本发明提供一种搬运装置，其能够将单张片状构件以平坦的状态搬运，另外，能够抑制向单张片状构件产生褶皱、卷曲，能够使单张片状构件伸展，能够使有可能存在于单张片状构件的褶皱伸展，能够容易地进行单张片状构件的位置对准，而且能够高精度地进行位置对准。而且，本发明提供包括使用这样的搬运装置来搬运单张片状构件的工序的层叠体的制造方法。

用于解决课题的方案

本发明包括以下内容。

[1]一种搬运装置，其用于搬运单张片状构件，

所述搬运装置的特征在于，包括：

第一构件，其载置单张片状构件；

调整工作台，其用于载置单张片状构件并对单张片状构件进行位置调整；

第一带状构件，其用于载置单张片状构件并将单张片状构件沿着第一搬运方向搬运；

第一移载机，其对载置于第一构件的单张片状构件从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件的状态下使单张片状构件向调整工作台上移动，并通过停止吸引而将单张片状构件载置于调整工作台，所述第一移载机能够在利用吸引力来保持单张片状构件的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件；

位置确认装置，其对载置于调整工作台的单张片状构件的位置信息进行确认；

控制部，其基于由位置确认装置生成的单张片状构件的位置数据来对载置有该单张片状构件的调整工作台的动作进行控制，由此对单张片状构件进行位置调整；以及

第二移载机，其对载置于调整工作台并被进行了位置调整的单张片状构件从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件的状态下使单张片状构件向第一带状构件上移动，并通过停止吸引而将单张片状构件载置于第一带状构件。

[2]根据[1]所记载的搬运装置，其中，第一移载机包括具有能够吸引周围气氛且与单张片状构件接触的盘部的多个吸引盘，该多个吸引盘能够在规定的面内向外侧相互扩展移动。

[3]根据[1]或[2]所记载的搬运装置，其中，第二移载机包括具有能够吸引周围气氛且与单张片状构件接触的盘部的多个吸引盘。

[4]根据[1]至[3]中任一项所记载的搬运装置，其中，第一移载机与第二移载机为单独或共用的移载机。

[5]根据[1]至[4]中任一项目所记载的搬运装置，其中，位置确认装置对载置于调整工作台的单张片状构件进行拍摄而生成单张片状构件的位置数据。

[6]根据[1]至[5]中任一项所记载的搬运装置，其中，控制部根据由摄像装置生成的单张片状构件的图像数据来识别单张片状构件的端部，并基于该端部来对载置有单张片状构件的调整工作台的动作进行控制。

[7]根据[1]至[6]中任一项所记载的搬运装置，其中，由控制部控制的调整工作台的动作包括水平面内的平行移动和/或旋转。

[8]根据[1]至[7]中任一项所记载的搬运装置，其中，第一构件为用于载置单张片状构件并将单张片状构件向调整工作台方向搬运的第二带状构件。

[9]一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有第一单张片状构件和第二单张片状构件，

所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：

使用[1]至[8]中任一项所记载的搬运装置来搬运第一单张片状构件；以及

将该第一单张片状构件与第二单张片状构件贴合。

[10]一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有单张片状构件和长条状构件，

所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：

使用[1]至[8]中任一项所记载的搬运装置来搬运单张片状构件；以及

将该单张片状构件与长条状构件贴合。

发明效果

本发明涉及一种搬运装置，其能够将单张片状构件以平坦的状态搬运，另外能够抑制向单张片状构件产生褶皱，能够使有可能存在于单张片状构件的褶皱延展，能够容易且高精度地进行单张片状构件的角度、位置对准。

附图说明

图1是表示本发明的搬运装置的概要的侧视图。

图2是表示本发明的搬运装置的概要的俯视图。

图3是表示本发明的一方案中的搬运装置的概要的俯视图。

图4是表示本发明的移载机与单张片状构件的关系的简要侧视图。

图5是表示在本发明的一方案中移载机中的吸引盘与单张片状构件的关系的简要俯视图。

附图标记说明

1 搬运装置

10 单张片状构件

21 第一构件

22 第二带状构件

30 调整工作台

41 第一带状构件

51 第一移载机

52 第二移载机

60 位置确认装置

70 控制部

71 交叉辊环

81 吸引盘

具体实施方式

根据本发明，提供一种搬运装置，其用于搬运单张片状构件，

所述搬运装置的特征在于，包括：

第一构件，其载置单张片状构件；

调整工作台，其用于载置单张片状构件并对单张片状构件进行位置调整；

第一带状构件，其用于载置单张片状构件并将单张片状构件沿着第一搬运方向搬运；

第一移载机，其对载置于第一构件的单张片状构件从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件的状态下使单张片状构件向调整工作台上移动，并通过停止吸引而将单张片状构件载置于调整工作台，所述第一移载机能够在利用吸引力来保持单张片状构件的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件；

位置确认装置，其对载置于调整工作台的单张片状构件的位置信息进行确认；

控制部，其基于由位置确认装置生成的单张片状构件的位置数据来对载置有该单张片状构件的调整工作台的动作进行控制，由此对单张片状构件进行位置调整；以及

第二移载机，其对载置于调整工作台并被进行了位置调整的单张片状构件从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件的状态下使单张片状构件向第一带状构件上移动，并通过停止吸引而将单张片状构件载置于第一带状构件。

以下，参照附图来说明本发明的用于搬运单张片状构件的搬运装置。

图1是表示本发明的一方案中的搬运装置的概要的侧视图。图2是表示本发明的一方案中的搬运装置的概要的俯视图。图3是表示某一方案中的搬运装置的概要的俯视图。

在图1及图2中，1为搬运装置，10为单张片状构件，21为第一构件，30为调整工作台，41为第一带状构件，51为第一移载机，52为第二移载机，60为位置确认装置，70为控制部，71为交叉辊环(图2)、虚线为单张片状构件的移动方向的一例，例如搬运装置1能够沿着虚线的箭头方向及反向移动。调整工作台30中的两箭头为调整工作台的运行方向的一例，移载机51及移载机52中的两箭头为移载机的运行方向的一例。

另外，在图3中，除了针对图1进行说明的附图标记以外，附图标记22为第二带状构件。

本发明的搬运装置1具有控制部70，该控制部70例如也可以内置于调整工作台30。

(单张片状构件)

在本发明的搬运装置中能够搬运的单张片状构件10例如可举出吸附构件、印制布线基板及光学构件等，能够良好地利用于薄且容易产生卷曲、褶皱等的构件。在某一方案中，单张片状构件为光学构件，例如为厚度50～500μm的构件。单张片状构件的尺寸例如为宽度30cm～150cm、长度30cm～300cm。

光学构件例如可以具有从相位差膜、偏振膜、防反射膜、视角提高膜、增亮膜等中选择出的至少一个光学膜。光学构件可以是这些光学膜的单层构造，也可以是包含上述那样的光学膜在内的层叠有多张膜的多层构造。

根据本发明的搬运装置，例如针对如厚度120μm以下的片状构件及厚度120μm以下的具有多层构造的构件那样容易产生卷曲、褶皱、折弯等的结构的(层叠)构件而能够进行稳定的搬运。例如，即便是具有偏振膜的多层构造的片状构件等，也能够得到这样显著的效果。

(第一构件)

载置单张片状构件10的第一构件21例如可以为储料器等能够将单张片状构件10层叠多层地载置的构件，也可以是带状构件等。

在某一方案中，第一构件21可以为用于载置单张片状构件10并将其向调整工作台方向搬运的第二带状构件22(例如参照图3)。

这样，第一构件21(例如第二带状构件22)配置于比第一带状构件41靠上游侧的位置。

在第二带状构件22搬运单张片状构件10的情况下，也可以是，以与第一带状构件41上的搬运单张片状构件10的方向平行的方式设置第二带状构件的搬运方向。

在某一方案中，根据单张片状构件的光学轴等的不同，也可以是，以相对于第一带状构件41上的搬运单张片状构件10的方向沿着任意的方向、例如相对于第一带状构件41的搬运方向以15°～90°的角度交叉的方式设置第二带状构件22的搬运方向。

在某一方案中，第二带状构件22的搬运方向也可以设置为与第一带状构件41上的搬运单张片状构件10的方向垂直(以90°的角度交叉)。

若采用本发明的搬运装置，则即便在以任意的角度设置第二带状构件22的搬运方向的情况下，也能够高精度地进行单张片状构件10的位置对准。例如，即便是具有光学轴的单张片状构件10，本发明的搬运装置也能够连续地搬运单张片状构件10，能够进行片伸展、例如去除单张片状构件10的褶皱、变形，能够更高精度地进行单张片状构件10的角度、位置对准。而且，能够缩短从单张片状构件10的位置对准到向第一带状构件41搬运单张片状构件10为止的时间。

(第一移载机)

本发明的搬运装置具有第一移载机51。该第一移载机51对载置于第一构件21的单张片状构件10从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件10的状态下使单张片状构件10向调整工作台30上移动，并通过停止吸引来释放单张片状构件10，并将其载置于调整工作台30。第一移载机51能够在利用吸引力保持单张片状构件的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件。

本发明中的移载机51能够通过均匀的力使单张片状构件伸展并进行搬运。

在某一方案中，第一移载机51从与要搬运的单张片状构件10的上表面对置的位置吸引单张片状构件10。例如，在为厚度300μm左右的单张片状构件10的情况下，为了将单张片状构件10以平坦的状态吸引，将第一移载机51与单张片状构件10的间隔设定为0～5mm的范围，能够吸引单张片状构件10。通过从这样的位置进行吸引，能够更有效地将单张片状构件以平坦的状态搬运，能够抑制褶皱的产生。

另外，在通过吸引力保持单张片状构件10的情况下，在单张片状构件10的厚度为50～500μm的情况下，吸引力处于0.1～50kPa的范围、例如处于1～20kPa的范围内。通过以这样的范围内的吸引力吸引周围气氛，能够吸引单张片状构件10，能够抑制单张片状构件10的破损，也能够抑制褶皱、卷曲等的产生。另外，即便对于薄型的单张片状构件10，也能够高效地搬运。

第一移载机51能够在利用吸引力保持单张片状构件10的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10。

第一移载机51通过将在面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10，能够使单张片状构件10的褶皱伸展，能够去除单张片状构件10的变形，能够进行平坦化。而且，能够抑制在搬运中单张片状构件10卷曲的情况、以轴方向例如光学轴偏移的状态被搬运的情况，因此能够更高精度且短时间地进行单张片状构件10的位置对准。

在某一方案中，第一移载机51能够在单张片状构件10的任意位置例如沿着各边的位置、中心部等处将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10。例如，为了抑制在单张片状构件产生松弛，除了单张片状构件10的四角以外，例如还在沿着各边的任意位置、单张片状构件10的中心部等处将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10。

这样，由于能够在单张片状构件10的任意位置将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10，因此能够根据搬运的单张片状构件10的厚度等而有效地进行单张片状构件10的片伸展。在某一方案中，能够在单张片状构件10的四角和各边的中心附近将向外侧扩展的力作用于单张片状构件。需要说明的是，能够根据搬运的单张片状构件10而适当调整使向外侧扩展的力作用的位置。

例如，除了单张片状构件10的四角以外，还根据单张片状构件的厚度、物性等而使用多个吸附盘将向外侧扩展的力作用于单张片状构件，由此即便是非常薄型(例如厚度为120μm以下)的单张片状构件，也能够防止褶皱、挠曲、折弯。

例如，除了单张片状构件10的四角以外，还使用多个吸附盘来搬运以使褶皱伸展的状态吸附保持着的单张片状构件10，能够将单张片状构件10在调整工作台30的面内平坦地载置。

当以这样的方式搬运单张片状构件时，例如即便是非常薄型的单张片状构件，也不仅能够防止褶皱、挠曲、折弯，而且能够高速地进行单张片状构件的搬运及载置，能够大幅提高作业效率。

在某一方案中，作用于单张片状构件10的向外侧扩展的力表现为不使单张片状构件10产生扭转、松弛、褶皱这样的大小。例如，如后述那样，在第一移载机51具有吸引盘的情况下，可以根据单张片状构件10的状态针对每个吸引盘使扩展的力不同，也可以以作用同等程度的力的方式调整吸引盘的吸引力。例如，在搬运具有光学轴的单张片状构件10的情况下，能够以不产生翘曲的方式搬运单张片状构件10。

第一移载机51对载置于第一构件21的单张片状构件10从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件10的状态下使单张片状构件10向调整工作台30上移动。在某一方案中，第一移载机51包括具有能够吸引周围气氛且与单张片状构件10接触的盘部的多个吸引盘，这多个吸引盘能够在规定的面内向外侧相互扩展移动。

例如，图4为表示本发明的一方案中的移载机与单张片状构件的关系的简要侧视图，图5为表示本发明的一方案中的从移载机侧观察到的吸引盘与单张片状构件的关系的简要俯视图。

在图4及图5中，附图标记51为第一移载机(52为第二移载机)，附图标记81为吸引盘，图5中的箭头表示向外侧扩展的力。

在某一方案中，例如如图5所示，也可以使向外侧扩展的力针对吸引盘的各部位而进行变化。由此，能够更有效地使单张片状构件伸展开，能够去除褶皱、变形。

通过具有吸引盘81，能够在利用吸引力来保持单张片状构件10的同时将在单张片状构件10的面内向外侧扩展的力有效地作用于单张片状构件10。而且，例如在吸引并保持薄型的单张片状构件10的期间，能够抑制单张片状构件10的破损、卷曲的产生、扭转。另外，通过具有多个吸引盘，能够针对各吸引盘来使吸引力变化，例如能够对产生了褶皱的部位重点地作用向外侧扩展的力。另外，能够将单张片状构件10以更加平坦的状态搬运。

在某一方案中，通过第一移载机51具有盘部例如吸引盘81，由此本发明的搬运装置能够更有效地将单张片状构件10以平坦的状态搬运，另外能够抑制在单张片状构件产生褶皱、卷曲，能够使单张片状构件伸展，能够使可能存在于单张片状构件10的褶皱伸展。在向调整工作台搬运时，能够得到这样的效果，因此能够使用本发明的调整工作台容易地进行单张片状构件的位置对准，而且能够高精度地进行位置对准。

在这样的方案中，也能够适用上述范围内的吸引力。

吸引盘的形状不特别限定。例如，吸引盘的吸引部的形状存在矩形、椭圆形、圆形等，其能够均等地赋予吸引力而更有效地保持稳定的保持力，因此例如为圆形。

在这样的方案中，吸引盘的吸引部的尺寸例如具有5～80mm的直径。

吸引盘的原材料例如为具有挠性的原材料，挠性构件能够不使单张片状构件破损而有效地使褶皱伸展。例如为包含丁腈橡胶、硅橡胶、天然橡胶及氟橡胶等的吸引盘。

在某一方案中，第一移载机51例如能够在水平面内平行移动和/或旋转。例如，在从第一构件向调整工作台30搬运单张片状构件10时，也可以将如下单张片状构件10载置于调整工作台30，该单张片状构件10是预先将轴方向例如光学轴方向以沿着第一带状构件41的搬运方向的方式修正了的构件。由此，能够更高效地进行调整工作台的位置调整。

(调整工作台)

本发明的搬运装置1具有用于载置单张片状构件10并进行位置调整的调整工作台30。另外，本发明的搬运装置1具有：位置确认装置60，其确认载置于调整工作台30的单张片状构件10的位置信息；以及控制部70，其基于由位置确认装置60生成的单张片状构件10的位置数据，来控制载置有该单张片状构件10的调整工作台30的动作，由此对单张片状构件10进行位置调整。

在本发明的搬运装置中，能够由调整工作台30进行由第一移载机51搬运来的单张片状构件10、例如进行了片伸展的单张片状构件10的位置对准。由第一移载机51将单张片状构件10以片伸展后的状态搬运，因此例如能够在调整工作台30中更高精度地进行薄型的单张片状构件10的角度、位置对准。

另外，能够将单张片状构件10载置在调整工作台30上并进行位置对准，因此即便是薄型的单张片状构件10，也能够以稳定的状态进行位置对准，因此能够高精度地进行角度、位置对准。

在某一方案中，调整工作台30具备多个吸引孔，该多个吸引孔对单张片状构件10从其下表面侧进行吸引，通过吸引力将单张片状构件保持于调整工作台上。通过使用吸引孔而利用吸引力将单张片状构件10保持于调整工作台30上，从而在由控制部70对单张片状构件的载置位置进行微修正的期间，能够抑制单张片状构件10偏移，另外能够抑制褶皱、卷曲、折弯等的产生。

吸引力也可以在从第一移载机51向调整工作台30载置单张片状构件10之后，在对单张片状构件10的载置位置进行微修正的期间进行作用。另外，吸引力也可以作用到经由第二移载机52来搬运单张片状构件10为止。

调整工作台30的吸引力例如为0.01～50kPa，在某一方案中为0.1～20kPa。通过在这样的范围内设定吸引力，能够在移载机(51、52)与调整工作台30之间效率良好地进行单张片状构件10的移动，另外，能够更有效地抑制单张片状构件10的卷曲、褶皱、折弯等的产生。

另外，调整工作台30也可以与第一移载机51同样，在利用吸引力保持单张片状构件10的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10，以便去除在单张片状构件上产生的褶皱、卷曲或变形。基于吸引力得到的向外侧扩展的力可以通过如下方式产生：在配置于调整工作台上的多个吸引孔中，根据调整工作台30的水平面内的单张片状构件10的配置部位来改变其吸引的时机。例如可以是，从位于单张片状构件10的中央部的吸引孔先进行吸引，随着朝向单张片状构件10的外周部而依次实施来自其它的吸引孔的吸引，由此对单张片状构件10以向外侧扩展的方式产生力。由此，能够更良好且更有效地去除在单张片状构件10产生的褶皱、卷曲或变形。

本发明的调整工作台30能够通过以下的位置确认装置60和控制部70来高精度地进行单张片状构件10的角度、位置对准。

(位置确认装置)

位置确认装置60为确认载置于调整工作台30的单张片状构件10的位置信息的装置。

例如，如图1所示，位置确认装置60可以配置于能够对载置于调整工作台30的单张片状构件10的位置信息进行确认的任意位置，另外可以根据对位置信息进行确认的方式而配置于任意位置。

例如，可以根据搬运的单张片状构件的种类、构造来选择位置确认装置60的位置确认方式。另外，根据要求的角度、位置对准的精度的不同，本发明的搬运装置也可以具有多个位置确认装置60。

在某一方案中，对载置于调整工作台30的单张片状构件10的位置信息进行确认的位置确认装置60例如通过对载置于调整工作台30的单张片状构件10进行拍摄来生成单张片状构件10的位置数据、例如图像数据，由此进行位置确认。

位置确认装置60能够确认单张片状构件10的端部、例如端边的位置信思。

在某一方案中，可以确认单张片状构件10中的至少一边的位置，也可以根据单张片状构件的轴配置等来确认沿着轴方向的至少一边的位置，还可以确认至少相邻的两边的位置。

另外，也可以确认单张片状构件的角部的至少一个位置信息。在某一方案中，位置确认装置60例如通过确认至少单张片状构件10中的两个角部的位置、例如位于单张片状构件10的对角线上的角部的位置，由此能够更高精度地取得位置信息。

这样，在本发明中，通过使用位置确认装置60来确认单张片状构件10的位置信息，能够高精度地进行单张片状构件10的角度、位置对准，例如能够使轴方向以高精度对准。

另外，在本发明的搬运装置中，由第一移载机51搬运单张片状构件10，且具有本发明的调整工作台30，由此即便不使单张片状构件10带有对准记号，也能够高精度地进行角度、位置对准。因此，例如能够简化层叠体的制造所需的工序，能够减少生产节拍时间。当然，也可以按所期望的那样使单张片状构件10带有对准记号。

在某一方案中，位置确认装置60对载置于调整工作台30的单张片状构件10进行拍摄而生成单张片状构件10的位置数据。作为这样的位置确认装置60，包括半导体元件。例如，可举出内置CCD图像传感器、CMOS图像传感器等这样的图像传感器的摄像机、数码相机、检测器等。

这样的位置确认装置60无需与单张片状构件10接触就能够进行位置确认，因此能够防止薄型的单张片状构件10的破损、卷曲、伤痕的产生等。另外，无需与单张片状构件10接触就能够进行位置确认，因此例如在单张片状构件10具有光学特性的情况下，在位置确认时不会损害光学特性。

在本发明的搬运装置中，由第一移载机搬运的单张片状构件10以被进行了片伸展的状态被向调整工作台30搬运，因此即便是这样的非接触式的位置确认装置60，也能够准确地确认单张片状构件的端边等的位置。另外，在调整工作台中能够更高精度地进行薄型的单张片状构件的角度、位置对准。

在某一方案中，位置确认装置60也可以是使探测器与单张片状构件10物理接触的探测装置。例如，能够根据搬运的单张片状构件10来选择探测装置。例如，在对象物(单张片状构件10)存在粘度的情况下，可以是探测接触型的位置确认装置60。另外，也可以使用光电传感器来进行单张片状构件10的位置确认。

(控制部)

本发明的搬运装置1具有控制部，该控制部基于由位置确认装置60生成的单张片状构件10的位置数据来控制载置有该单张片状构件10的调整工作台30的动作，由此对单张片状构件10进行位置调整。

控制部70可以根据预先记录的基准来修正单张片状构件10的位置偏移。预先记录的基准可以根据目的而适当设定，例如以端边的位置信息、至少一边的位置信息等为基准来进行设定。

例如，由控制部70控制的调整工作台的动作包括水平面内的平行移动和/或旋转。例如，能够通过交叉辊环等来得到这样的动作。

通过控制部70控制这样的动作，能够更高精度地对载置于本发明的调整工作台30的单张片状构件10进行位置对准。

在某一方案中，控制部70根据由摄像装置生成的单张片状构件10的图像数据来识别单张片状构件10的端部，并基于该端部来控制载置有单张片状构件10的调整工作台30的动作。

通过经由这样的过程来控制调整工作台的动作，能够更短时间且高精度地进行单张片状构件10的位置对准。另外，无需与单张片状构件10接触就能够进行位置确认及位置对准，因此例如即便是薄型的单张片状构件10，也能够防止单张片状构件10的破损、卷曲、伤痕的产生等。

例如，在控制部70中，能够使单张片状构件10以任意的角度例如在0～90°的范围内旋转，水平方向的移动能够在0.1～30mm的范围内移动。这样，控制部70能够根据要求的方案来调整单张片状构件10的角度、位置。

在某一方案中，相对于成为基准的位置，水平面内的旋转角度的偏移处于0.01～0.05°的范围内，例如处于0.03～0.05°的范围内。另外，相对于成为基准的位置，水平方向上的偏移(XY)方向处于0.2～1.0mm的范围内。这样，能够以高的精度调整单张片状构件10的角度、位置。

(第二移载机)

如图1～图3所示，本发明的搬运装置1也可以具有第二移载机52。第二移载机52对载置于调整工作台30并被进行了位置调整的单张片状构件10从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件10的状态下使单张片状构件10向第一带状构件上移动，通过停止吸引而将单张片状构件10载置于第一带状构件41。

在某一方案中，第二移载机52从与搬运的单张片状构件10的上表面对置的位置吸引单张片状构件10。另外，第二移载机52能够吸引周围气氛。第二移载机52能够将单张片状构件10以平坦的状态搬运，能够抑制褶皱的产生。另外，在利用吸引力保持单张片状构件10的情况下，在单张片状构件10的厚度为50～500μm时，吸引力处于0.01～50kPa的范围，例如处于0.1～20kPa的范围内。通过以这样的范围内的吸引力进行吸引，能够抑制单张片状构件10的破损，也能够抑制褶皱、卷曲的产生。

在第二移载机52中，需要能够更高精度地搬运单张片状构件10，以避免在调整工作台30中调整后的轴方向发生偏移，若采用本发明的搬运装置，则能够满足这样的要求。

而且，通过与第一移载机51并用地具有第二移载机52，能够分别独立地搬运单张片状构件10，因此能够缩短生产节拍时间。

在某一方案中，第一移载机的吸引力与第二移载机的吸引力可以为同等程度。

第二移载机52也可以在利用吸引力保持单张片状构件10的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件。在某一方案中，第二移载机52将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10。

通过使这样的向外侧扩展的力进行作用，能够进行单张片状构件10的褶皱伸展、平坦化，而且在搬运中能够抑制单张片状构件10卷曲，因此例如能够效率良好地推进之后的贴合工序。另外，能够不使在调整工作台30中进行了角度、位置对准后的单张片状构件10的轴方向偏移地进行搬运。

在某一方案中，第二移载机52能够在单张片状构件10的四角将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10，在某一方案中，能够在单张片状构件10的任意位置、例如除了单张片状构件10的四角以外还在沿着各边的位置、中心部等处将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10。这样，能够在单张片状构件10的任意位置将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件10，因此能够根据搬运的片的状态来有效地进行单张片状构件10的褶皱伸展。需要说明的是，能够根据搬运的单张片状构件10来适当调整使向外侧扩展的力作用的位置。在某一方案中，第二移载机52也可以是与上述的第一移载机51相同的规格，能够具有同样的作用、效果。

在某一方案中，向外侧扩展的力以不使单张片状构件10产生扭转、松弛、褶皱这样的大小作用。例如，在第二移载机52具有吸引盘的情况下，也可以根据单张片状构件10的形态等而针对每个吸引盘使扩展的力不同，也可以以作用同等程度的力的方式调整吸引盘的吸引力。

在某一方案中，第二移载机52包括具有能够吸引周围气氛且与单张片状构件接触的盘部的多个吸引盘。例如，包括能够在规定的面内向外侧相互扩展移动的吸引盘。

通过具有吸引盘，能够在利用吸引力来保持单张片状构件10的同时将在其面内向外侧扩展的力有效地作用于单张片状构件10。而且，例如在吸引并保持薄型的单张片状构件10的期间，能够抑制单张片状构件10的破损、卷曲的产生、扭转。另外，通过具有多个吸引盘，能够针对每个吸引盘而使吸引力变化，例如能够对产生有褶皱的部位重点地作用向外侧扩展的力。另外，能够将单张片状构件10以更平坦的状态搬运。

在某一方案中，通过第二移载机52具有盘部、例如如图4及图5所那样的吸引盘81，由此，本发明的搬运装置能够更有效地将单张片状构件10以平坦的状态搬运。而且，能够抑制向单张片状构件产生褶皱、卷曲，能够使单张片状构件伸展，能够使有可能存在于单张片状构件10的褶皱伸展。例如，在从调整工作台30向第一带状构件41搬运单张片状构件10时，能够得到这样的效果。这样，若采用本发明的搬运装置，则在使用本发明的调整工作台30进行了单张片状构件的位置对准之后，能够以保持通过调整工作台30得到的位置对准的高精度的状态向第一带状构件41搬运单张片状构件10。

吸引盘的形状不特别限定。例如，吸引盘的吸引部的形状存在矩形、椭圆形、圆形等，其能够均等地赋予吸引力而更有效地保持稳定的保持力，因此例如圆形。

在这样的方案中，吸引盘的吸引部的尺寸例如具有5～80mm的直径。

吸引盘的原材料例如为具有挠性的原材料，通过为挠性构件，能够不使单张片状构件破损而有效地使褶皱伸展开。例如是包含丁腈橡胶、硅橡胶、天然橡胶及氟橡胶等的吸引盘。

在某一方案中，第一移载机与第二移载机可以是单独或共用的移载机。在第一移载机与第二移载机是单独的移载机的方案中，例如，如图2及图3所示，本发明的搬运装置具有分别独立的第一移载机51和第二移载机52。

另一方面，在第一移载机51与第二移载机52为共用的移载机的某一方案中，例如如图1所示，一个移载机作为第一移载机和第二移载机进行工作。在该方案中，例如在针对第一移载机51的搬运与第二移载机的搬运而在吸引力、旋转的有无等条件上设有差异的情况下，能够通过计算机控制等来调整各种条件，以便能够在各移载机中发挥适当的吸引力等。

(第一带状构件)

如图1、图2及图3所示，本发明的搬运装置1具有第一带状构件41。第一带状构件41载置从调整工作台30搬运来的单张片状构件10并将其沿着第一搬运方向搬运。在某一方案中，第一搬运方向为从调整工作台30朝向其它的工序行进的方向，例如可以为贴合辊方向。

第一带状构件41也可以使用在该技术领域中公知的带状构件。

在某一方案中，第一带状构件41具有多个沿着厚度方向贯穿的孔，经由相对于第一带状构件而配置于与载置单张片状构件的一侧相反侧的吸引部来吸引周围气氛，从而利用通过带状构件的孔的吸引力来将单张片状构件相对于带状构件进行保持。

第一带状构件41的吸引力也可以在单张片状构件的至少两个区域中使吸引力不同这样的范围内设定。例如，吸引力可以处于0.01～50kPa的范围内，也可以从上游侧朝向下游侧而使吸引力在0.02～50kPa的范围内变化。

(层叠体的制造方法)

根据本发明的另一方案，提供一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有第一单张片状构件和第二单张片状构件，所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：使用上述本发明的搬运装置来搬运第一单张片状构件；以及将该第一单张片状构件与第二单张片状构件贴合。

在另一方案中，提供一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有单张片状构件和长条状构件，所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：使用上述本发明的搬运装置来搬运单张片状构件；以及将该单张片状构件与长条状构件贴合。

通过使用本发明的搬运装置来搬运第一单张片状构件，从而能够将第一单张片状构件以伸展了的状态进行搬运，能够使褶皱伸展而变得平坦。而且，不受第一单张片状构件的卷曲等的影响而能够进行角度、位置对准，能够高精度地进行第一单张片状构件与第二单张片状构件的贴合。

在某一方案中，第二单张片状构件及长条状构件不特别限定，例如可以为隔离膜、保护膜、光学构件。

根据本发明的制造方法，能够将薄型(例如厚度50～300μm)的单张片状构件以高的精度进行角度、位置对准并能够进行贴合，因此能够发挥所具有的功能，能够制造成品率高的层叠体。

产业上的可利用性

本发明提供能够使单张片状构件伸展开且能够以平坦的状态进行搬运并且能够容易且高精度地进行单张片状构件的位置对准的搬运装置。另外，本发明的搬运装置是能够抑制向单张片状构件产生褶皱、卷曲且能够使存在于单张片状构件的褶皱伸展的搬运装置。而且，本发明提供包括使用这样的搬运装置来搬运单张片状构件的工序的层叠体的制造方法。

Claims (10)

1.一种搬运装置，其用于搬运厚度为50～500μm的单张片状构件，

所述搬运装置的特征在于，包括：

第一构件，其载置单张片状构件；

调整工作台，其用于载置单张片状构件并对单张片状构件进行位置调整；

第一带状构件，其用于载置单张片状构件并将单张片状构件沿着第一搬运方向搬运；

第一移载机，其对载置于第一构件的单张片状构件从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件的状态下使单张片状构件向调整工作台上移动，并通过停止吸引而将单张片状构件载置于调整工作台，所述第一移载机能够在利用吸引力来保持单张片状构件的同时将在其面内向外侧扩展的力作用于单张片状构件；

位置确认装置，其对载置于调整工作台的单张片状构件的位置信息进行确认；

控制部，其基于由位置确认装置生成的单张片状构件的位置数据来对载置有该单张片状构件的调整工作台的动作进行控制，由此对单张片状构件进行位置调整；以及

第二移载机，其对载置于调整工作台并被进行了位置调整的单张片状构件从其上表面侧进行吸引，在利用吸引力保持着单张片状构件的状态下使单张片状构件向第一带状构件上移动，并通过停止吸引而将单张片状构件载置于第一带状构件。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，

第一移载机包括具有能够吸引周围气氛且与单张片状构件接触的盘部的多个吸引盘，该多个吸引盘能够在规定的面内向外侧相互扩展移动。

3.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，

第二移载机包括具有能够吸引周围气氛且与单张片状构件接触的盘部的多个吸引盘。

4.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，

第一移载机与第二移载机为单独或共用的移载机。

5.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，

位置确认装置对载置于调整工作台的单张片状构件进行拍摄而生成单张片状构件的位置数据。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的搬运装置，其中，

控制部根据由摄像装置生成的单张片状构件的图像数据来识别单张片状构件的端部，并基于该端部来对载置有单张片状构件的调整工作台的动作进行控制。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的搬运装置，其中，

由控制部控制的调整工作台的动作包括水平面内的平行移动和/或旋转。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的搬运装置，其中，

第一构件为用于载置单张片状构件并将单张片状构件向调整工作台方向搬运的第二带状构件。

9.一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有第一单张片状构件和第二单张片状构件，

所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：

使用权利要求1至8中任一项所述的搬运装置来搬运第一单张片状构件；以及

将该第一单张片状构件与第二单张片状构件贴合。

10.一种层叠体的制造方法，所述层叠体具有单张片状构件和长条状构件，

所述层叠体的制造方法的特征在于，包括如下工序：

使用权利要求1至8中任一项所述的搬运装置来搬运单张片状构件；以及

将该单张片状构件与长条状构件贴合。

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