CN108474754A - 放射线检测装置、放射线检查***及放射线检测装置的调节方法 - Google Patents

放射线检测装置、放射线检查***及放射线检测装置的调节方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种X射线检测装置，其是检测透过了检查对象物的X射线的装置，该X射线检测装置(10)具备：滤光部件(40)，其具有使X射线中的一部分衰减的滤光片(42)；检测部(20)，其检测由滤光片(42)使一部分衰减后的X射线；箱体(30)，其将检测部(20)收纳于内部。箱体(30)具有：包含X射线能够通过的狭缝(31)的主面(32)、和在与主面(32)垂直的方向上延伸且包含可将滤光片(42)从旁侧***的开口(35)的侧面(34)。滤光部件(40)的滤光片(42)以在离开检测部(20)的状态下覆盖检测部(20)的线性传感器(22)及闪烁器(25)的方式配置于箱体(30)的内部。

Description

放射线检测装置、放射线检查***及放射线检测装置的调节 方法
技术领域
本发明涉及一种放射线检测装置、放射线检查***及放射线检测装置的调节方法。
背景技术
向食品或医药品等检查对象物照射X射线，且从其透射X射线图像上检查对象物中有无异物的技术正在广泛流行。作为该检查，使用的是具备对从X射线源向对象物照射的X射线的透射图像进行检测的线性传感器的X射线检测装置。在X射线检测装置中，在要检测的异物不同的情况下(例如，在异物为肉食所含的骨头或者为金属的情况下)，采用例如并列配置有两个线性传感器的结构，以使其能够分别检测不同能量范围的X射线(例如，参照专利文献1)。而且，在专利文献1记载的X射线检测装置中，为了使到达各线性传感器的各自的X射线的线质不同，将线质可变体设置在一个传感器上。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：特开2002-168803号公报
发明内容
发明想要解决的技术问题
在这种能够检测不同异物的X射线检测装置中，优选能够灵活地变更检测灵敏度，以能够根据用途在考虑到SN比的条件下检测各种能量范围的X射线，在要进行变更的情况下，改变闪烁器，或者追加滤光片而进行调节。但是，每逢进行调节，都要更换闪烁器，这是很困难的。另外，在改变滤光片的情况下，当如专利文献1那样制成在闪烁器的上面配置有滤光片的结构时，就有可能在调节时由滤光片伤及闪烁器。另一方面，在以覆盖设置于收纳X射线传感器的金属箱的上表面的狭缝的方式配置有滤光片的情况下，有可能要相应地根据滤光片的种类(厚度)来改变照相机高度，在进行放射线检查***整体的设计时，必须考虑这些可能性，难以进行设计。
本发明是鉴于这些问题点而完成的，其目的在于，提供一种放射线检测装置、具备该放射线检测装置的放射线检查***及该放射线检测装置的调节方法，其无需每逢调节滤光片都变更其放射线检测装置的高度，也能够容易将检测灵敏度更新至各种能量带。
用于解决技术问题的手段
本发明的一个实施方式的放射线检测装置从放射线源向检查对象物照射放射线，检测透过了该检查对象物的放射线，其具备：滤光部件，其具有使要入射的放射线中的至少一部分衰减的滤光片；检测部，其检测由滤光片使至少一部分衰减后的放射线；和箱体，其将检测部收纳于内部。在该放射线检测装置中，箱体具有：包含可使放射线通过的部分的主面、和在与主面交叉的方向上延伸且包含可将滤光片***的开口的侧面，滤光片以在离开检测部的状态下覆盖检测部的至少一部分的方式配置于箱体的内部。
在该放射线检测装置中，在收纳检测部的箱体的侧面设有可***滤光片的开口，以在滤光片离开检测部的状态下覆盖检测部的至少一部分的方式将该滤光片配置于箱体的内部。在这种情况下，使入射放射线的线质变化(衰减)的滤光片成为配置在放射线检测装置的箱体内部的结构，每逢调节滤光片，都不需要变更放射线检测装置的高度，能够容易将检测灵敏度更新至各种能量带。另外，由于将滤光片以离开检测部的状态配置于箱体内部，因此在将滤光片更换为具有其它衰减功能的滤光片的情况下，能够降低滤光片撞上而伤及检测部(例如，闪烁器等)的可能性。并且，根据该放射线检测装置，因为能够将滤光片和检测部接近地配置，所以也能够抑制人为因素的发生。
在上述的放射线检测装置中，箱体的开口也可以具有比滤光片的端面大的面积。在这种情况下，能够容易地将滤光片***到箱体的内部，因此能够容易地将放射线检测装置的检测灵敏度更新至各种能量带。
在上述的放射线检测装置中，滤光部件也可以具有保持滤光片的保持部件，该保持部件可以由比滤光片更易透过放射线的材料构成。在这种情况下，通过保持部件，能够可靠地将滤光片配置在规定的位置，并且能够通过该保持部件抑制因入射放射线衰减而造成的阻碍适当的放射线的检测。
在上述的放射线检测装置中，滤光部件也可以具有止挡部，所述止挡部具有比开口大的表面积，该止挡部安装于箱体的侧面。在这种情况下，能够更可靠地将滤光部件的滤光片配置于规定的位置。
在上述的放射线检测装置中，滤光部件的俯视时的外形也可以为大致矩形，滤光片也可以配置在其侧端区域内。在这种情况下，通常相对于配置在装置的中央附近的检测部而言，易将滤光片配置在恰当位置。
上述的放射线检测装置也可以还具备定位部件，所述定位部件用于以滤光片覆盖检测部的规定区域的方式将滤光部件定位在箱体内。在这种情况下，即使检测部由微小结构形成，也能够更可靠地将滤光片相对于那样的检测部而配置在恰当的位置。此外，该定位部件也可以与滤光部件的侧端整体或一部分抵接而进行滤光片的定位。
在上述的放射线检测装置中，检测部也可以具有：具有第一像素宽度的像素一维地排列而成的第一线性传感器、具有第二像素宽度的像素一维地排列且以比第一像素宽度及第二像素宽度窄的间隔与第一线性传感器并列配置的第二线性传感器。在这种情况下，能够进一步使放射线检测装置小型化，并且能够分别检测不同能量范围的放射线。
在上述的放射线检测装置中，检测部也可以还具有：配置在第一线性传感器上的第一闪烁器、和配置在第二线性传感器上的第二闪烁器。另外，滤光片也可以覆盖第一及第二线性传感器中的一者，滤光片也可以覆盖第一及第二线性传感器两者，该滤光片也可以具有覆盖第一线性传感器的第一区域和覆盖第二线性传感器的第二区域，第一区域的厚度和第二区域的厚度相同或不同。
另外，在上述的放射线检测装置中，第一线性传感器及第二线性传感器也可以是直接变换型放射线检测器。在这种情况下，无需另外设置闪烁器，所以能够削减零件数量。
在上述的放射线检测装置中，滤光片和检测部的距离也可以为0.1mm以上且10mm以下。在这种情况下，能够进一步抑制人为因素的发生。
在上述的放射线检测装置中，箱体的主面可以包含可通过入射到该箱体的放射线的狭缝，放射线检测装置也可以还具有覆盖该狭缝的遮光膜。在这种情况下，能够抑制放射线向检测装置内入射时的衰减，并且能够防止异物(粉体、垃圾等)从该狭缝侵入箱体内部。
另外，本发明作为另一方面，涉及的是放射线检查***，该放射线检查***具备：放射线源，其向检查对象物照射放射线；上述的任一种放射线检测装置；以及输送构件，其在与源自放射线源的放射线的照射方向交叉的方向上输送检查对象物。在该检查***中，与上述同样，每逢调节滤光片，都不需要变更放射线检测装置的高度，能够容易地变更使放射线衰减的滤光片的种类，因此能够容易将检测灵敏度更新至各种能量带，而进行各种检查对象物的检查。
另外，本发明作为再另一方面，涉及上述的任一种放射线检测装置的调节方法，该调节方法具备如下工序：准备具有不同衰减功能的多个滤光片作为上述滤光部件的工序；将多个滤光片部件依次从箱体的开口***到内部，并保持在规定位置，检测放射线的工序；根据所检测到的放射线的结果，选择多个滤光片中的最佳滤光部件的工序。在这种情况下，因为能够容易地从具有不同衰减功能的滤光片中选择最佳滤光片，所以容易进行放射线检测装置的调节方法，能够容易将放射线检测装置的检测灵敏度更新至各种能量带。此外，在本发明中，在通过该调节方法进行调节的放射线检测装置的制造方法中，也可以进一步还具备将在选择工序中选择到的最佳滤光部件从箱体的开口***到内部，并保持固定在规定的位置的工序，来制造放射线检测装置。通过这种制造方法，能够容易地制造可容易将检测灵敏度更新至各种能量带的放射线检测装置。
另外，本发明作为再另一方面，涉及能够使用这种调节方法等的滤光部件的发明，该滤光部件是在俯视时的外形为大致矩形的滤光部件，其具备：滤光片，其使放射线中的至少一部分衰减；和保持部件，其由比滤光片更易使放射线透过的材料构成，并保持滤光片，滤光片配置在该滤光部件的侧端区域内。如果是这种简易结构的滤光部件，则能够容易地准备具有更多不同衰减功能的滤光部件，更容易进行上述的放射线检测装置的滤光片调节。
发明效果
根据本发明，每逢调节滤光片，都能够无需变更放射线检测装置的高度而容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。
附图说明
图1是示意性地表示本实施方式的X射线检查***的立体图。
图2是示意性地表示第一实施方式的X射线检测装置的截面图。
图3是表示使用铜及铝作为滤光片时的半价层和管电压之间的关系的表，(a)表示的是无滤光片的情况和使用0.1mm厚的铜作为滤光片的情况的比较，(b)表示的是无滤光片的情况、使用0.1mm厚的铜作为滤光片的情况和使用0.1mm厚的铝作为滤光片的情况的比较，(c)表示的是无滤光片的情况、使用0.1mm厚的铜作为滤光片的情况、和使用0.5mm厚的铜作为滤光片的情况的比较。
图4是示意性地表示第二实施方式的X射线检测装置的截面图。
图5是示意性地表示第三实施方式的X射线检测装置的截面图。
图6是示意性地表示第四实施方式的X射线检测装置的截面图。
图7(a)及(b)是示意性地表示第五实施方式的X射线检测装置的截面图。
图8是示意性地表示第六实施方式的X射线检测装置的截面图。
图9是示意性地表示第七实施方式的X射线检测装置的截面图。
图10是本实施方式的X射线检测装置的一个例子的立体图。
图11是表示向图10所示的X射线检测装置的侧面的开口***滤光部件的状态的立体图。
图12是图10所示的X射线检测装置的一个例子的沿着XII－XII线的截面图。
图13是表示图10所示的X射线检测装置的由定位部件实现的滤光部件的定位的俯视图，(a)表示的是定位部件和滤光部件的一个例子，(b)表示的是(a)的滤光部件由定位部件进行了定位的状态，(c)表示的是定位部件和滤光部件的另一例，(d)表示的是(c)的滤光部件由定位部件进行了定位的状态。
图14是表示图10所示的X射线检测装置中的由定位部件实现的滤光部件的定位的俯视图，(a)表示的是定位部件和滤光部件的另一例，(b)表示的是(a)的滤光部件由定位部件进行了定位的状态，(c)表示的是定位部件和滤光部件的另一例，(d)表示的是(c)的滤光部件由定位部件进行了定位的状态。
图15是表示X射线检测装置所使用的滤光部件的变形例的图。
符号说明
1……X射线检查***(放射线检查***)
3……带式输送机(输送构件)
5……X射线照射器(放射线源)
10、10a～10f……X射线检测装置(放射线检测装置)
20……检测部
21、21f、22……线性传感器
24～26……闪烁器
30……箱体
31……狭缝
32……主面
34……侧面
35……开口
40、40a～40i、41……滤光部件
42、42b～42f……滤光片
43a、43b……区域
44……保持部件
46……止挡部件
50……遮光膜
60、61……定位部件
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的最佳实施方式进行详细说明。此外，在说明中，对同一元件或具有同一功能的元件使用同一符号，省略重复的说明。
图1是示意性地表示本实施方式的X射线检查***的立体图。图2是示意性地表示本实施方式的X射线检测装置的截面图。如图1所示，X射线检查***1(放射线检查***)具备：带式输送机3(输送构件)、X射线照射器5(放射线源)及X射线检测装置10(放射线检测装置)。X射线检查***1向照射方向Z对检查对象物S照射来自X射线照射器5的X射线，在多个能量范围内检测所照射的X射线中的透过了检查对象物S的透射X射线。X射线检查***1使用由透射X射线形成的图像进行检查对象物S所含的异物检查及行李检查等。作为由X射线检查***1检查的检查对象物S，例如可广泛举出：肉食或软罐头食品等食品、轮胎等橡胶制品、用于行李检查的行李、树脂制品、电线等金属制品、矿物等资源材料、用于分类或资源回收的废弃物、电子元件等等。另外，作为检查对象物S中的应检测异物也有很多种。因此，在X射线检查***1中，优选能够根据检查对象物S的物性及应检测异物的种类，灵活地变更各X射线检测装置10的检测灵敏度。
带式输送机3具有载置检查对象物S的输送带部7。带式输送机3通过使输送带部7在输送方向Y上移动，以规定的速度在输送方向Y上输送检查对象物S。
X射线照射器5(放射线源)是在照射方向Z上向检查对象物S照射X射线的装置，例如，为X射线源。X射线照射器5例如为点光源，进行使X射线在与照射方向Z及输送方向Y垂直的检测方向X上在规定的角度范围内扩散的照射。X射线照射器5以距输送带部7有规定距离的方式配置在输送带部7的上方，以使X射线的照射方向Z朝向输送带部7，并且要扩散的X射线波及到检查对象物S的宽度方向(检测方向X)的大致整体。X射线照射器5在检查对象物S的长度方向(输送方向Y)上，将长度方向上的规定的分割范围设为一次照射范围，通过检查对象物S由带式输送机3沿输送方向Y输送，相对于检查对象物S的长度方向整体照射X射线。
X射线检测装置10(放射线检测器)是检测从X射线照射器5向检查对象物S照射且透过了检查对象物S的X射线的装置，例如，为X射线检测照相机。X射线检测装置10为对透过了检查对象物S的X射线进行检测，而以在X射线照射器5的照射方向上位于检查对象物S的下游侧的方式配置在例如输送带部7的下方。如沿着宽度方向的截面图即图2所示，这种X射线检测装置10具备：检测透射X射线的检测部20、将检测部20收纳于内部的箱体30、从侧部***到箱体30内且具有使透过了检查对象物S的X射线的一部分衰减的滤光片42的滤光部件40。此外，滤光片42以在离开检测部20的状态下覆盖检测部20的一部分的方式配置。
检测部20由两个线性传感器21、22、基板23、两个闪烁器24、25构成，在不同的能量范围内检测从X射线照射器5照射且透过了检查对象物S的X射线(入射到检测装置的X射线)。线性传感器21、22例如相邻地形成在由硅构成的基板23内，线性传感器21是像素宽度LW的像素一维(图2的与纸面垂直的方向，图1的X方向)地排列而成的直线状传感器，线性传感器22是像素宽度HW的像素一维地排列而成的直线状传感器。线性传感器22以比像素宽度LW、HW都窄的间隔NW与线性传感器21并列的方式配置。像素宽度LW、HW例如可以分别以0.6mm左右为彼此相同的宽度，也可以为不同的宽度，各传感器间的间隔NW例如也可以为0.2mm左右。在线性传感器21上配置有低能量用闪烁器24，在线性传感器22上配置有高能量用闪烁器25。在图2的例子中，例如，闪烁器24、25由不同的材料构成，或者以不同的厚度构成，由此，检测部20能够检测不同能量带的X射线。
箱体30在照射X射线的一侧具有：包含用于使X射线通过的狭缝31的主面32、和由铅等构成的遮蔽部件33，以与该狭缝31对应且位于X射线可通过的区域的方式将检测部20收纳在其内部。箱体30的遮蔽部件33以外的主体部分例如由铝等构成。也可以采用如在狭缝31的上部设置遮光膜50而粒子等不会侵入到箱体30的内部那样的结构。遮光膜50也可以具有使透过了检查对象物S的X射线的一部分衰减的性能。另外，箱体30具有在相对于主面32垂直的方向上延伸的侧面34，在该侧面34形成有具有比滤光片42的端面大的面积的开口35，以使其可将滤光部件40的滤光片42等***。
滤光部件40例如是俯视时的外形为大致矩形的片状部件，具备：使透过了检查对象物S的X射线(入射的放射线)的一部分衰减的滤光片42、保持滤光片42的片状保持部件44、和用于以滤光片42在箱体30内被配置于规定位置的方式将保持部件44的端部安装在箱体30的侧面34上的止挡部件46。
滤光片42是由与检查对象物S不同的材料形成的薄板状部件，例如由聚苯乙烯、聚乙烯、聚氨酯、聚丙烯、特氟隆(注册商标)、ABS树脂、AS树脂、丙烯酸、聚酰胺、PET、GF-PET、PBT、聚碳酸酯、PPS、PTFE、PSF、PI等树脂；非晶碳、石墨等碳纤维原材料；铍、铝、钛、铁、锌、钼、锡、金、银、铜、铂、铅、钽、钆、钬、镱等金属构成。滤光片42可根据希望的衰减量即由两个线性传感器接受到的X射线的能量差和SN比，从上述的材料等中适当选择，但优选例如从铜及铝中选择。铜及铝因为X射线遮蔽力高且易加工，所以通过选择这些材料，容易进行滤光片厚度的调节。此外，图3(a)～(c)表示例如使用铜(厚度0.1mm、0.5mm)或铝(0.1mm)等作为滤光片42时的管电压(kV)和半价层(mm)之间的关系。所谓半价层，是指通过在X射线的线束中放置有特定物质时由于吸收而放射线的量减至一半时的物质的厚度，是用于评价X射线的能量特性的指标。具体而言，半价层越厚，能量越高。
保持部件44是用于将滤光片42保持在规定位置的片状部件，在图2所示的例子中，在保持部件44的一端侧(侧端区域)的上表面配置固定有滤光片42。保持部件44由比滤光片42更易使X射线透过的材料例如碳等构成，以不怎么使透射X射线衰减且不妨碍检测部20的X射线的检测的方式构成。此外，滤光片42为了抑制人为因素的发生，通过保持部件44来保持，以使其与线性传感器21、22的距离成为0.1mm以上且10mm以下。
止挡部件46是设置于保持部件44的一端的固定部件，是用于将载置滤光片42的保持部件44固定在箱体30的侧面34上的部件。止挡部件46具有比设置于箱体30的侧面34的开口35大的表面积，在更换滤光部件40时，不至于使滤光部件40的整体进入箱体30内。止挡部件46可以与保持部件44形成为一体，也可以分体地形成。此外，向箱体30的固定通过例如利用螺钉等将该止挡部件46紧固来实现。
这种结构的滤光部件40例如能够以滤光片42覆盖与狭缝31的一部分(例如，宽度方向的一半的区域)对应的区域而使透射X射线的一部分(一半)衰减的方式将滤光片42定位于箱体30内。更具体地说，滤光部件40能够以由直线状延伸的窄片构成的滤光片42的宽度方向的一端(图示右端)在透射X射线的行进方向上与检测部20的线性传感器21、22间的区域对应的方式定位保持滤光片42。此外，滤光部件40按照即使是衰减功能不同(例如，厚度或材料不同)的滤光片，只要是相同形状(外形)的滤光部件则也配置在相同位置的方式来设计，即使更换为具有由不同种类(厚度或材料)构成的滤光片的滤光部件，与线性传感器21、22的相对位置也不变，能够容易地进行滤光片42(滤光部件40)的更换。
这样，在X射线检测装置10中，通过上述的结构，配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21能够直接(不经由滤光片42)检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S的低能量范围的X射线，而生成低能量图像数据。另一方面，配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22能够检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S并由滤光片42进行衰减后的高能量范围的X射线，从而生成高能量图像数据。并且，在X射线检测装置10中，因为使用配置于箱体30内的滤光部件40进行检测灵敏度的调节，所以不会变更箱体30外的配置或结构，另外，在更换滤光片时，不会伤及闪烁器24、25，能够容易地变更滤光片42的种类，即使在线性传感器彼此接近地配置的X射线检测装置10中，也能够容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。
另外，在X射线检测装置10中，箱体30的开口35具有比合计滤光片42的端面及保持部件44的端面的面积大的面积。因此，能够容易地将滤光片42等***到箱体30的内部，因此在将X射线检测装置10的检测灵敏度更新至各种能量带时，能够容易地进行不同种类的滤光部件40的更换。
另外，在X射线检测装置10中，滤光部件40具有保持滤光片42的保持部件44，保持部件44由比滤光片42更容易使X射线透过的材料例如碳构成。因此，能够在箱体30内将滤光片42可靠地配置在规定的位置，并且也能够抑制由保持部件44使入射X射线衰减而阻碍适当的X射线的检测。
另外，在X射线检测装置10中，滤光部件40具有止挡部件46，该止挡部件46具有比开口35大的表面积，止挡部件46安装于箱体30的侧面34。因此，通过该止挡部件46，能够将滤光部件40的滤光片42可靠地配置在规定的位置，另外，在进行不同种类的滤光部件40的更换时，能够防止将滤光部件40整体***到箱体30内而难以进行更换之类的现象。进而，通过止挡部件46具有比开口35大的面积，在将滤光部件40设置于箱体30内时，能够由止挡部件46覆盖开口35，因此能够防止异物(粉体、垃圾等)从开口35侵入到箱体30的内部。
另外，在X射线检测装置10中，滤光部件40的俯视时的外形为大致矩形，滤光片42配置于其端部侧。因此，通常相对于配置在装置的中央侧的检测部20而言，易将滤光片42配置在适当位置。
另外，在X射线检测装置10中，检测部20具有：具有第一像素宽度的像素一维地排列而成的第一线性传感器、和具有第二像素宽度的像素一维地排列且以比第一及第二像素宽度都狭窄的间隔与第一线性传感器并列配置的第二线性传感器。在这种情况下，能够进一步使X射线检测装置10小型化，并且能够分别检测不同的能量范围的放射线。
另外，在X射线检测装置10中，滤光片42和检测部20的距离为0.1mm以上10mm以下。因此，能够进一步抑制人为因素的发生。
另外，在X射线检测装置10中，箱体30的主面32包含可使入射到箱体30的X射线通过的狭缝31，X射线检测装置10还具备覆盖狭缝31的遮光膜50。因此，能够抑制X射线入射到X射线检测装置10内时的衰减，并且能够防止异物(粉体、垃圾等)从该狭缝31侵入到箱体30的内部。
接下来，参照图4～图9对X射线检测装置10的其它实施方式(第二～第六实施方式)进行说明。图4是示意性地表示第二实施方式的X射线检测装置的截面图。图5是示意性地表示第三实施方式的X射线检测装置的截面图。图6是示意性地表示第四实施方式的X射线检测装置的截面图。图7(a)及(b)是示意性地表示第五实施方式的X射线检测装置的截面图。图8是示意性地表示第六实施方式的X射线检测装置的截面图。图9是示意性地表示第七实施方式的X射线检测装置的截面图。
首先，参照图4对第二实施方式的X射线检测装置10a进行说明。X射线检测装置10a中，如图4所示，滤光部件40a中的滤光片42的配置位置与第一实施方式的X射线检测装置10不同。其它结构都与X射线检测装置10同样。在X射线检测装置10a中，滤光部件40a的滤光片42以覆盖配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21的方式而配置。在X射线检测装置10a中，通过这种结构，配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22能够直接(不经由滤光片42)检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S的高能量范围内的X射线，从而生成高能量图像数据。另一方面，配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21能够检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S并由滤光片42进行衰减后的低能量范围的X射线，从而生成低能量图像数据。此外，在如低能量侧的线性传感器21的输出已饱和那样的情况下，具体地说，在如为了在高能量侧确保SN而提高X射线的输出时低能量侧已饱和那样的情况下，例如，可采用上述的结构。
接下来，参照图5对第三实施方式的X射线检测装置10b进行说明。X射线检测装置10b中，如图5所示，滤光部件40b中的滤光片42b的宽度(图示左右方向)与第一实施方式的X射线检测装置10不同。其它结构都与X射线检测装置10同样。在X射线检测装置10b中，滤光部件40b的滤光片42b以覆盖配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21、和配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22两者的方式配置。在X射线检测装置10b中，通过这种结构，配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21、和配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22两者都能够检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过检查对象物S而由滤光片42b进行衰减后的各能量范围的X射线，从而生成高低的各能量图像数据。此外，在进行重量比较重的物质的内部检查的情况下，例如，在检测20kg小麦中的金属异物等时希望在低能量侧也以某种程度高的能量进行检测的情况下，例如，可采用上述的结构。
接下来，参照图6对第四实施方式的X射线检测装置10c进行说明。X射线检测装置10c中，如图6所示，滤光部件40c中的滤光片42c的形状(厚度的变化)与第三实施方式的X射线检测装置10b不同。其它结构都与X射线检测装置10b同样。在X射线检测装置10c中，与X射线检测装置10b同样，滤光部件40c的滤光片42c以覆盖配置低能量用闪烁器24的线性传感器21、和配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22两者的方式配置。但是，在X射线检测装置10c中，滤光片42c由两个区域43a、43b构成，第一区域43a处的厚度比第二区域43b处的厚度厚。在X射线检测装置10c中，通过这种结构，配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21、和配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22两者都能够检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S并由滤光片42c进行衰减后的各能量范围的X射线，从而生成高低的各能量图像数据，并且，配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22能够检测比配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21进一步衰减后的高能量范围的X射线，从而生成高能量图像数据。通过这种结构，能够得到带有能量差的图像数据。
接下来，参照图7(a)及(b)对第五实施方式的X射线检测装置10d进行说明。X射线检测装置10d中，如图7(a)所示，滤光部件40d不具有独立的保持部件，而滤光片42d也兼作保持部件，在这一点上与第三实施方式的X射线检测装置10b不同。其它结构都与X射线检测装置10b同样。在X射线检测装置10d中，与X射线检测装置10b同样，滤光部件40d的滤光片42d以覆盖配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21、和配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22两者的方式构成。而且，在X射线检测装置10d中，配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21、和配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22两者都能够检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S并由滤光片42d进行衰减后的各能量范围的X射线，从而生成高低的各能量图像数据。此外，在X射线检测装置10d中，如图7(b)所示，也可以采用如下结构，即，加大滤光部件40d(滤光片42d)的厚度，并且省略止挡部件46，滤光部件40d的端部嵌入固定在设置于箱体30的侧面34的开口35a内。这种情况的开口35a的面积成为与滤光片42d的端面大致一致的大小。
接下来，参照图8针对第六实施方式的X射线检测装置10e进行说明。X射线检测装置10e与第一～第五实施方式的双能量型的X射线检测装置10、10a～10d不同，是双线型的X射线检测装置，同一能量带用的两个闪烁器26以位于各线性传感器21、22上的方式并列配置。在该X射线检测装置10e中，如图8所示，滤光部件40e中的滤光片42e的宽度(图示左右方向)与第三实施方式的X射线检测装置10b同样，以覆盖两个线性传感器21、22两者的方式配置。在X射线检测装置10e中，通过这种结构，分别配置有同一能量用闪烁器26的线性传感器21、22能够检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S并由滤光片42e进行衰减后的规定能量范围的X射线，从而生成两个能量图像数据。
接下来，参照图9对第七实施方式的X射线检测装置10f进行说明。X射线检测装置10f与第一～第六实施方式的X射线检测装置10、10a～10e不同，如图9所示，是所谓的单线型的X射线照相机。该X射线检测装置10f如图9所示，作为检测部20，采用在基板23f内具有一个线性传感器21f且在线性传感器21f上配置有一个闪烁器26f的结构。在X射线检测装置10f中，滤光部件40f的滤光片42f以覆盖该线性传感器21f的整体的方式配置。通过这种结构，即使在单线型的X射线照相机中，也与上述的实施方式同样，因为使用配置在箱体30内的滤光部件40f进行检测灵敏度的调节，所以不会变更箱体30外的配置或结构，另外，在更换滤光片时，不会伤及闪烁器26f，能够容易地变更滤光片42f的种类，即使在X射线检测装置10f中，也能够容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。
这里，参照图10～图12对X射线检测装置10的一例进行说明。图10是本实施方式的X射线检测装置的一例的立体图。图11是表示向图10所示的X射线检测装置的侧面的开口***滤光部件的状态的立体图。图12是图10所示的X射线检测装置的一例的沿着XII－XII线的截面图。
如上所述，X射线检测装置10具备：检测部20、箱体30、滤光部件40及遮光膜50。如图10～图12所示，箱体30由在内部具有空间的箱状上箱体37、和板状且在其中央具有突出部38a的下箱体38构成。通过下箱体38的突出部38a嵌入到上箱体37的内部，上箱体37和下箱体38以粒子等不会进入箱体30的内部的方式嵌合。上箱体37及下箱体38例如由铝等构成。另外，在下箱体38的突出部38a的上表面配置有检测部20的基板23，在基板23上形成有线性传感器21、22(参照图2)。在线性传感器21上粘接配置有闪烁器24，在线性传感器22上粘接配置有闪烁器25。此外，在图12所示的例子中，线性传感器21、22(闪烁器24、25)的配置与图2所示的例子相反，但这些配置可适当变更。
在箱体30内，在检测部20的上方设有用于防止从X射线照射器5照射的X射线直接入射到内部的板状遮蔽部件33。在遮蔽部件33上且在其中央部设有狭缝33a，狭缝33a具有与箱体30的狭缝31对应的长度及宽度，以从X射线照射器5照射的X射线到达检测部20的方式形成。另外，用于支承遮蔽部件33的支承板39配置在遮蔽部件33的下方，支承板39安装在箱体30的上箱体37的内周面的凹部。支承板39例如由不锈钢等构成，在支承板39上也设有与狭缝33a同样的狭缝。
如图12所示，在箱体30的内部，以离开检测部20的状态配置有薄板状滤光部件40，在保持部件44的前端区域的上表面形成有滤光片42。另外，在箱体30的内部设置有板状定位部件60，该板状定位部件60以与滤光部件40的前端抵接而滤光部件40不进一步进入到箱体30的内侧的方式进行精度良好的定位(参照图13(a)及(b))。在图12及图13(a)及(b)所示的例子中，在从上面侧观察时，定位部件60以覆盖检测部20的一个闪烁器24(线性传感器21)的方式配置，滤光部件40的滤光片42以仅覆盖另一个闪烁器25(线性传感器22)的方式定位。通过这种结构，透过了检查对象物S的X射线被分为由滤光片42进行衰减的透射X射线、和未由滤光片42进行衰减的透射X射线，未衰减的透射X射线入射到低能量用闪烁器24，衰减后的透射X射线入射到高能量用闪烁器25。此外，定位部件60由比滤光片42等更容易使X射线透过的材料构成，例如，碳、树脂或金属等。
另外，在箱体30的内部，除设有定位部件60以外，还设有滑动部件65。滑动部件65是在将滤光部件40***箱体30内时引导滤光部件40的部件，例如，设置在滤光部件40要***的区域的下方。通过该滑动部件65，在插拔薄板状滤光部件40时，可防止滤光部件40弯曲，另外，可防止滤光部件40与闪烁器24、25等接触。滑动部件65在滤光部件40***到箱体30内以后，从下方支承薄板状滤光部件40中的与滤光片42对应的区域以外的大部分区域，从而滤光部件40不会向下方挠曲。由此，滤光部件40的滤光片42被更可靠地定位，不会偏离规定的位置，例如，覆盖闪烁器25的位置。
另外，在图12所示的例子中，止挡部件46与保持部件44分体地形成，在滤光片42等***到箱体30的内部以后，堵塞侧面34的开口35，通过螺钉48而固定于箱体30的侧面34。此外，形成于侧面34的开口35如果是具有比滤光片42和保持部件44的端面稍大的面积的开口，其形状就没有特别限定，例如，如图11所示，通过在其两端形成更宽阔的大致圆形的端部35b、35b，能够容易进行滤光部件40向箱体30内的***及取出。
这里，对上述的X射线检测装置10的调节方法进行简单说明。如上所述，在X射线检测装置10中，滤光片42通过将滤光部件40从箱体30的侧面34的开口35***到内部，并行进至由定位部件60进行定位的位置，从而以滤光片42仅位于检测部20的线性传感器22(闪烁器25)的上方的方式自动被定位。因此，首先准备由同一形状构成且衰减量不同(厚度或材料不同)的多个滤光部件40。然后，将这多个滤光部件40依次***到箱体30内，通过定位部件60及滑动部件65等，保持在规定的位置，检测各自的透射X射线。然后，根据所检测到的X射线的结果，从多个滤光部件40中，选择能够更正确地检测要检查的检查对象物S和异物即能够得到所希望的能量差和SN比的最佳滤光部件。通过这种方法，能够容易选择到与特定的检查对象物S中的检测相匹配的滤光部件(滤光片42)而进行更新。此外，通过将这样选择到的滤光部件直接保持固定在箱体30内的规定位置而用于X射线检测装置10，也能够容易地制造具有最佳检测灵敏度的X射线检测装置10。
以上，在图10～图12所示的X射线检测装置10中，也与上述的同样，配置有低能量用闪烁器24的线性传感器21能够直接检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S的低能量范围的X射线，从而生成低能量图像数据，配置有高能量用闪烁器25的线性传感器22能够检测从X射线照射器5照射的X射线中的透过了检查对象物S并由滤光片42进行衰减后的高能量范围的X射线，从而生成高能量图像数据。并且，在X射线检测装置10中，因为使用配置在箱体30内的滤光部件40而进行检测灵敏度的调节，所以不会变更箱体30外的配置(例如，主面32上)或结构，另外，因为也配置有滑动部件65等，所以在更换滤光片时，不会伤及闪烁器24、25，能够容易变更滤光片42的种类。其结果是，根据该X射线检测装置10，即使在彼此接近地配置有线性传感器的X射线检测装置10中，也能够容易地将检测灵敏度更新至各种能量带。
另外，上述的X射线检测装置10还具备用于以滤光片42覆盖检测部20的规定区域(例如，线性传感器22)的方式将滤光部件40定位于箱体30内的定位部件60。因此，即使检测部20由微小的结构形成，也能够精度更好且可靠地将滤光片42相对于这样的检测部20配置在恰当位置。此外，作为这种定位部件60，可采用种种形态，例如，如图13(c)及(d)所示，也可以采用如在一部分设有凹部61a且两端61b、61b与滤光部件40的侧端接触那样的定位部件61。即使在这样的定位部件61中，也能够通过其两端61b、61b，可靠地进行滤光部件40的定位。
另外，作为定位的形态，可采用如图14所示的形态，例如，如图14(a)及(b)所示，也可以在采用滤光部件41的保持部件44具有凹部44a且仅用其两端44b、44b来保持滤光片42的结构的情况下，其两端44b、44b及滤光部件40的侧端与定位部件60抵接而进行滤光片42的定位。进一步，如图14(c)及(d)所示，也可以在滤光部件40的保持部件44具有凹部44a的同时，定位部件61也具有凹部61a，各自的两端部44b、44b和61b、61b抵接而定位。
以上，对本发明的最佳实施方式进行了详细说明，但本发明不局限于上述实施方式，可进行种种变形。例如，在上述实施方式中，为将放射线变换为可见光等而使用闪烁器，但也可以不使用闪烁器，作为线性传感器，也可以使用直接变换型的放射线检测器(例如，硅半导体、无定形硒(a-Se)半导体、碲化镉(CdTe)半导体、碲化锌镉(CdZnTe)半导体等)。在这种情况下，因为不需要另外设置闪烁器，所以能够消减零件数量。
另外，在图10～图12所示的例子中，例示的是滤光部件40的止挡部件46为分体，且止挡部件46通过螺钉48而安装于箱体30的侧面34的形态，但不局限于此。例如，也可以如图15(a)所示，采用保持部件44和止挡部件46形成为一体，且作为整体而截面呈L字状的滤光部件40g，还可以如图15(b)所示，采用保持部件44和止挡部件46直线状地成为一体，且用螺钉48将该止挡部件46固定于箱体30的滤光部件40h。进而，也可以如图15(c)所示，采用保持部件44和止挡部件46形成为一体且作为整体而截面呈T字状的滤光部件40。
产业上的可利用性
本发明可用于检测透过了检查对象物的放射线的放射线检测装置、放射线检查***及放射线检测装置的调节方法上。

Claims (18)

1.一种放射线检测装置，其中，
该放射线检测装置从放射线源向检查对象物照射放射线，检测透过了该检查对象物的放射线，
具备：
滤光部件，其具有使入射的放射线中的至少一部分衰减的滤光片；
检测部，其检测由所述滤光片使至少一部分衰减后的所述放射线；和
箱体，其将所述检测部收纳于内部，
所述箱体具有包含所述放射线能够通过的部分的主面、和在与所述主面交叉的方向上延伸且包含可将所述滤光片***的开口的侧面，
所述滤光片以在离开所述检测部的状态下覆盖所述检测部的至少一部分的方式配置于所述箱体的内部。
2.根据权利要求1所述的放射线检测装置，其中，
所述箱体的所述开口具有比所述滤光片的端面大的面积。
3.根据权利要求1或2所述的放射线检测装置，其中，
所述滤光部件具有保持所述滤光片的保持部件，该保持部件由比所述滤光片更易使放射线透过的材料构成。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的放射线检测装置，其中，
所述滤光部件具有止挡部，所述止挡部具有比所述开口大的表面积，该止挡部安装于所述箱体的所述侧面。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的放射线检测装置，其中，
所述滤光部件在俯视时的外形为大致矩形，所述滤光片配置在其侧端区域内。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的放射线检测装置，其中，
还具备定位部件，所述定位部件用于以所述滤光片覆盖所述检测部的规定区域的方式将所述滤光部件定位于所述箱体内。
7.根据权利要求6所述的放射线检测装置，其中，
所述定位部件与所述滤光部件的侧端的整体或一部分抵接而进行所述滤光片的定位。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的放射线检测装置，其中，
所述检测部具有：具有第一像素宽度的像素一维地排列而成的第一线性传感器、和具有第二像素宽度的像素一维地排列且以比所述第一像素宽度及第二像素宽度更窄的间隔与所述第一线性传感器并列配置的第二线性传感器。
9.根据权利要求8所述的放射线检测装置，其中，
所述检测部还具有：配置在所述第一线性传感器上的第一闪烁器、和配置在所述第二线性传感器上的第二闪烁器。
10.根据权利要求8或9所述的放射线检测装置，其中，
所述滤光片覆盖所述第一线性传感器及第二线性传感器中的一者。
11.根据权利要求8或9所述的放射线检测装置，其中，
所述滤光片覆盖所述第一线性传感器及第二线性传感器两者，该滤光片具有覆盖所述第一线性传感器的第一区域和覆盖所述第二线性传感器的第二区域，所述第一区域的厚度和所述第二区域的厚度相同或不同。
12.根据权利要求8所述的放射线检测装置，其中，
所述第一线性传感器及第二线性传感器是直接变换型放射线检测器。
13.根据权利要求1～12中任一项所述的放射线检测装置，其中，
所述滤光片和所述检测部的距离为0.1mm以上且10mm以下。
14.根据权利要求1～13中任一项所述的放射线检测装置，其中，
所述箱体的所述主面包含可使入射到该箱体的放射线通过的狭缝，
所述放射线检测装置还具有覆盖该狭缝的遮光膜。
15.一种放射线检查***，其具备：
放射线源，其向所述检查对象物照射放射线；
权利要求1～14中任一项所述的放射线检测装置；以及
输送构件，其在与所述放射线源产生的所述放射线的照射方向交叉的方向上输送所述检查对象物。
16.一种放射线检测装置的调节方法，其中，
所述放射线检测装置为权利要求1～14中任一项所述的放射线检测装置，
所述放射线检测装置的调节方法具备如下工序：
准备包含具有不同衰减功能的多个滤光片的部件作为所述滤光部件的工序；
将所述多个滤光片依次从所述箱体的所述开口***到内部，保持于规定位置并检测放射线的工序；以及
根据所述检测到的放射线的结果，选择所述多个滤光片中的最佳滤光部件的工序。
17.一种放射线检测装置的制造方法，其中，
所述放射线检测装置为基于权利要求16所述的调节方法的放射线检测装置，
所述放射线检测装置的制造方法还具备如下工序：
将在所述选择工序中选择的所述最佳滤光部件从所述箱体的所述开口***到内部，并保持固定在规定的位置的工序。
18.一种滤光部件，其中，
所述滤光部件在俯视时的外形为大致矩形，
具备：
滤光片，其使放射线中的至少一部分衰减；以及
保持部件，其由比所述滤光片更容易使放射线透过的材料构成，并保持所述滤光片，
所述滤光片配置于该滤光部件的侧端区域内。
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