CN108368191A - 光聚合引发剂组合物及感光性组合物 - Google Patents

光聚合引发剂组合物及感光性组合物 Download PDF

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Abstract

一种光聚合引发剂组合物,其含有1~99质量份的下述(A)成分、1~99质量份的下述(B)成分(其中(A)成分与(B)成分的合计为100质量份)。(关于通式的详细情况参照说明书。)(A)成分:含有以具有通式(3)所表示的醚结构为特征的通式(1‑1)~(1‑3)所表示的肟酯化合物中的一种以上的光聚合引发剂。(B)成分:含有以具有通式(4)的环烷基结构为特征的通式(2‑1)或(2‑2)所表示的肟酯化合物中的一种以上的光聚合引发剂。

Description

光聚合引发剂组合物及感光性组合物
技术领域
本发明涉及作为感光性组合物中使用的光聚合的引发剂成分有用的光聚合引发剂组合物、及使该光聚合引发剂组合物中含有具有烯键式不饱和键的聚合性化合物而形成的感光性组合物。
背景技术
感光性组合物是在具有烯键式不饱和键的聚合性化合物中加入光聚合引发剂而得到的组合物,由于能够照射能量射线(光),所以被用于光固化性油墨、感光性印刷版、各种光致抗蚀剂等中。
作为上述感光性组合物中使用的光聚合引发剂,下述专利文献1~7中提出了使用肟酯化合物。
然而,这些以往的光聚合引发剂各自的感度并不充分,此外,在用于碱显影性感光性树脂组合物等中时,在析像度方面也不能充分令人满意。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:美国专利申请公开第2004/170924号说明书
专利文献2:美国专利申请公开第2007/270522号说明书
专利文献3:美国专利申请公开第2009/292039号说明书
专利文献4:美国专利申请公开第2011/129778号说明书
专利文献5:EP2407456A1
专利文献6:EP2433927A1
专利文献7:日本特表2013-543875号公报
发明内容
因此,本发明的目的在于提供能够对感光性组合物赋予优异的感度和析像度的光聚合引发剂组合物、及使用了该光聚合引发剂组合物的感光性组合物。
本发明人们为了解决上述课题而进行了深入研究,结果发现,通过将具有特定的醚结构的肟酯化合物与具有特定的环烷基结构的肟酯化合物并用,成为能够对感光性组合物赋予优异的感度和析像度的光聚合引发剂组合物,从而完成本发明。
即,本发明提供一种光聚合引发剂组合物,其含有1~99质量份的下述(A)成分、1~99质量份的下述(B)成分(其中,(A)成分与(B)成分的合计为100质量份)。
(A)成分:含有以具有下述通式(3)所表示的醚结构为特征的下述通式(1-1)~(1-3)所表示的肟酯化合物中的一种以上的光聚合引发剂。
[化学式1]
通式(1-1)~(1-3)中,R1、R2及R6分别独立地表示碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为1~20的烷氧基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为6~30的芳氧基、碳原子数为7~30的芳烷基、碳原子数为2~20的杂环基或氰基,烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及杂环基的氢原子有时进一步被OR11、COR11、SR11、NR12R13、-NCOR12-OCOR13、CN、卤素原子、-CR11=CR12R13或-CO-CR11=CR12R13取代,R11、R12及R13分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,上述R1、R2、R6、R11、R12及R13所表示的取代基的亚烷基部分有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,上述取代基的烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,上述取代基的烷基末端有时为不饱和键,R2有时与相邻的苯环一起形成环。
R3、R4及R5分别独立地表示碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为1~20的烷氧基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为6~30的芳氧基、碳原子数为7~30的芳烷基、碳原子数为2~20的杂环基、氰基或卤素原子,烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及杂环基的氢原子有时进一步被OR14、COR14、SR14、NR15R16、-NCOR15-OCOR16、CN、卤素原子、-CR14=CR15R16或-CO-CR14=CR15R16取代,R14、R15及R16分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,上述R3、R4、R5、R14、R15及R16所表示的取代基的亚烷基部分有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,上述取代基的烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,上述取代基的烷基末端有时为不饱和键,a、b及d分别独立地为0~3的整数。
A1以上述通式(3)表示,通式(3)中,R7、R8及R9分别独立地表示氢原子或碳原子数为1~20的烷基,烷基的氢原子有时被卤素原子取代,烷基的亚烷基部分的亚甲基有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,烷基末端有时为不饱和键,R7与R8有时一起而形成环。
(B)成分:含有以具有下述通式(4)的环烷基结构为特征的下述通式(2-1)或(2-2)所表示的肟酯化合物中的一种以上的光聚合引发剂。
[化学式2]
通式(2-1)或(2-2)中,R21及R22分别独立地表示碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为1~20的烷氧基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为6~30的芳氧基、碳原子数为7~30的芳烷基、碳原子数为2~20的杂环基或氰基,烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及杂环基的氢原子有时进一步被OR31、COR31、SR31、NR32R33、-NCOR32-OCOR33、CN、卤素原子、-CR31=CR32R33或-CO-CR31=CR32R33取代,R31、R32及R33分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,上述R21、R22、R31、R32及R33所表示的取代基的亚烷基部分有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,上述取代基的烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,上述取代基的烷基末端有时为不饱和键,R22有时与相邻的苯环一起形成环。
R23及R24分别独立地表示碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为1~20的烷氧基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为6~30的芳氧基、碳原子数为7~30的芳烷基、碳原子数为2~20的杂环基、氰基或卤素原子,烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及杂环基的氢原子有时进一步被OR34、COR34、SR34、NR35R36、-NCOR35-OCOR36、CN、卤素原子、-CR34=CR35R36或-CO-CR34=CR35R36取代,R34、R35及R36分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,上述R23、R24、R34、R35及R36所表示的取代基的亚烷基部分有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,上述取代基的烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,上述取代基的烷基末端有时为不饱和键,u及v分别独立地为0~3的整数。
Ar表示选自下述的结构中的芳基或杂环基,
[化学式3]
L1表示氢原子或苯甲酰基,
X1表示直接键合或羰基,
G1表示通式(4)的基团,通式(4)中,n为1~5的整数,m为1~6的整数。
此外,本发明提供一种感光性组合物,其是使具有烯键式不饱和键的聚合性化合物中含有上述光聚合引发剂组合物而形成的。
此外,本发明提供上述感光性组合物,其中,进一步含有无机化合物。
此外,本发明提供一种碱显影性感光性树脂组合物,其是使有时具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物及具有烯键式不饱和键的聚合性化合物中含有上述光聚合引发剂组合物而形成的。
此外,本发明提供上述碱显影性感光性树脂组合物,其中,进一步含有无机化合物。
此外,本发明提供一种着色碱显影性感光性树脂组合物,其是使上述碱显影性感光性树脂组合物中进一步含有色料而形成的。
此外,本发明提供一种固化物,其是对上述感光性组合物、上述碱显影性感光性组合物或上述着色碱显影性感光性树脂组合物照射能量射线而形成的。
具体实施方式
对本发明的光聚合引发剂组合物进行说明。
本发明的光聚合引发剂组合物中作为(A)成分使用的肟酯化合物以上述通式(1-1)~(1-3)表示,其特征在于具有上述通式(3)所表示的醚结构。
作为(A)成分使用的肟酯化合物存在因肟的双键引起的几何异构体,但并不将它们进行区别,上述通式(1-1)~(1-3)及后述的例示化合物表示两者的混合物或任一者,并不限定于表示异构体的结构。
此外,本发明中的(A)成分含有上述通式(1-1)~(1-3)所表示的肟酯化合物中的一种以上,优选仅由该肟酯化合物中的一种以上形成。
作为上述通式(1-1)~(1-3)中的R1、R2、R3、R4、R5、R6、R11、R12、R13、R14、R15及R16所表示的碳原子数为1~20的烷基,例如可列举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、异戊基、叔戊基、己基、庚基、辛基、异辛基、2-乙基己基、叔辛基、壬基、异壬基、癸基、异癸基、十一烷基、十二烷基、十四烷基、十六烷基、十八烷基、二十烷基等。
作为上述通式(1-1)~(1-3)中的R1、R2、R3、R4、R5及R6所表示的碳原子数为1~20的烷氧基,可列举出与上述烷基对应的烷氧基。
作为上述通式(1-1)~(1-3)中的R1、R2、R3、R4、R5、R6、R11、R12、R13、R14、R15及R16所表示的碳原子数为6~30的芳基,可列举出苯基、甲苯基、二甲苯基、乙基苯基、氯苯基、联苯基、萘基、蒽基、菲基以及被1个以上的上述烷基取代的苯基、联苯基、萘基及蒽基等。
作为上述通式(1-1)~(1-3)中的R1、R2、R3、R4、R5及R6所表示的碳原子数为6~30的芳氧基,可列举出与上述芳基对应的芳氧基。
作为上述通式(1-1)~(1-3)中的R1、R2、R3、R4、R5、R6、R11、R12、R13、R14、R15及R16所表示的碳原子数为7~30的芳烷基,例如可列举出苄基、氯苄基、α-甲基苄基、α,α-二甲基苄基、苯基乙基等。
作为上述通式(1-1)~(1-3)中的R1、R2、R3、R4、R5、R6、R11、R12、R13、R14、R15及R16所表示的碳原子数为2~20的杂环基,例如可列举出吡啶基、嘧啶基、呋喃基、噻嗯基、四氢呋喃基、二氧杂环戊烷基、苯并噁唑-2-基、四氢吡喃基、吡咯烷基、咪唑烷基、吡唑烷基、噻唑烷基、异噻唑烷基、噁唑烷基、异噁唑烷基、哌啶基、哌嗪基、吗啉基等5~7元杂环等。
作为表示上述通式(1-1)~(1-3)中的A1的上述通式(3)中的R7、R8、R9所表示的碳原子数为1~20的烷基,可列举出上述烷基。
(A)成分的肟酯化合物中,上述通式(1-1)~(1-3)中,从感度和析像度的方面出发,优选R1为碳原子数为1~20的烷基的化合物,更优选为碳原子数为1~4的烷基的化合物,更进一步优选为甲基。
此外,上述通式(1-1)及(1-2)中,从感度和析像度的方面出发,优选R2为碳原子数为1~20的烷基的化合物,更优选为碳原子数为1~8的烷基的化合物,更进一步优选为乙基。
此外,上述通式(1-1)~(1-3)的(R3)a中,从感度和析像度的方面出发,a优选为0或1,更优选为0。a为1~3时,R3优选为碳原子数为1~20的烷基,更优选为碳原子数为1~4的烷基。
此外,上述通式(1-1)~(1-3)的(R4)b中,从感度和析像度的方面出发,b优选为0或1,更优选为0。b为1~3时,R4优选为碳原子数为1~20的烷基,更优选为碳原子数为1~4的烷基。
此外,上述通式(1-1)~(1-3)的(R5)d中,从感度和析像度的方面出发,d优选为0或1,更优选为1。d为1~3时,R5优选为碳原子数为1~20的烷基,更优选为碳原子数为1~4的烷基,更进一步优选为甲基。
此外,上述通式(1-1)及(1-3)中,从感度和析像度的方面出发,R6优选为碳原子数为1~20的烷基,更优选为碳原子数为1~4的烷基,更进一步优选为甲基。
(A)成分的肟酯化合物的特征在于具有上述通式(3)所表示的A1的醚结构。由此通过与(B)成分并用而具有优异的感度和析像度。
上述通式(3)中,从感度和析像度的方面出发,R9优选为氢原子或碳原子数为1~20的烷基,更优选为氢原子或碳原子数为1~4的烷基,更进一步优选为氢原子或甲基。
此外,从感度和析像度的方面出发,R8优选为氢原子或碳原子数为1~4的烷基。此外,从感度和析像度的方面出发,R7优选为氢原子或碳原子数为1~4的烷基。此外,R7与R8还优选一起形成环,还优选在环中具有醚键。作为R7与R8一起形成的环的优选的具体例子,可列举出二甲基二氧杂环戊烷环。
作为(A)成分的上述通式(1-1)所表示的肟酯化合物的优选的具体例子,可列举出以下的化合物No.1~4。
[化学式4]
作为(A)成分的上述通式(1-2)所表示的肟酯化合物的优选的具体例子,可列举出以下的化合物No.5~No.8。
[化学式5]
作为(A)成分的上述通式(1-3)所表示的肟酯化合物的优选的具体例子,可列举出以下的化合物No.9~No.12。
[化学式6]
接着,对(B)成分进行说明。
本发明的光聚合引发剂组合物中作为(B)成分使用的肟酯化合物以上述通式(2-1)或(2-2)表示,其特征在于具有上述通式(4)所表示的环烷基结构。
作为(B)成分使用的肟酯化合物存在因肟的双键而引起的几何异构体,但并不将它们进行区别,上述通式(2-1)或(2-2)及后述的例示化合物表示两者的混合物或任一者,并不限定于表示异构体的结构。
此外,本发明中的(B)成分含有上述通式(2-1)或(2-2)所表示的肟酯化合物中的一种以上,优选仅由该肟酯化合物中的一种以上形成。
作为上述通式(2-1)或(2-2)中的R21、R22、R23、R24、R31、R32、R33、R34、R35及R36所表示的碳原子数为1~20的烷基,例如可列举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、异戊基、叔戊基、己基、庚基、辛基、异辛基、2-乙基己基、叔辛基、壬基、异壬基、癸基、异癸基、十一烷基、十二烷基、十四烷基、十六烷基、十八烷基、二十烷基等。
作为上述通式(2-1)或(2-2)中的R21、R22、R23、及R24所表示的碳原子数为1~20的烷氧基,可列举出与上述烷基对应的烷氧基。
作为上述通式(2-1)或(2-2)中的R21、R22、R23、R24、R31、R32、R33、R34、R35及R36所表示的碳原子数为6~30的芳基,可列举出苯基、甲苯基、二甲苯基、乙基苯基、氯苯基、联苯基、萘基、蒽基、菲基以及被1个以上的上述烷基取代的苯基、联苯基、萘基及蒽基等。
作为上述通式(2-1)或(2-2)中的R21、R22、R23及R24所表示的碳原子数为6~30的芳氧基,可列举出与上述芳基对应的芳氧基。
作为上述通式(2-1)或(2-2)中的R21、R22、R23、R24、R31、R32、R33、R34、R35及R36所表示的碳原子数为7~30的芳烷基,例如可列举出苄基、氯苄基、α-甲基苄基、α,α-二甲基苄基、苯基乙基等。
作为上述通式(2-1)或(2-2)中的R21、R22、R23、R24、R31、R32、R33、R34、R35及R36所表示的碳原子数为2~20的杂环基,例如可列举出吡啶基、嘧啶基、呋喃基、噻嗯基、四氢呋喃基、二氧杂环戊烷基、苯并噁唑-2-基、四氢吡喃基、吡咯烷基、咪唑烷基、吡唑烷基、噻唑烷基、异噻唑烷基、噁唑烷基、异噁唑烷基、哌啶基、哌嗪基、吗啉基等5~7元杂环等。
(B)成分的肟酯化合物中,上述通式(2-1)或(2-2)中,从感度和析像度的方面出发,优选R21为碳原子数为1~20的烷基或碳原子数为6~30的芳基的化合物,更优选为碳原子数为1~4的烷基或碳原子数为6~8的芳基的化合物,更进一步优选为甲基或苯基。
此外,上述通式(2-1)中,从感度和析像度的方面出发,优选R22为碳原子数为1~20的烷基的化合物,更优选为碳原子数为1~8的烷基的化合物,更进一步优选为乙基。
此外,上述通式(2-1)或(2-2)的(R23)u中,从感度和析像度的方面出发,u优选为0或1,更优选为0。u为1~3时,R23优选为碳原子数为1~20的烷基,更优选为碳原子数为1~4的烷基。
此外,上述通式(2-1)或(2-2)的(R24)v中,从感度和析像度的方面出发,v优选为0或1,更优选为0。v为1~3时,R24优选为碳原子数为1~20的烷基,更优选为碳原子数为1~4的烷基。
此外,上述通式(2-1)中,从感度和析像度的方面出发,X1优选为直接键合。
此外,上述通式(2-1)中,从感度和析像度的方面出发,Ar优选为选自下述的结构中的芳基或杂环基。
[化学式7]
(B)成分的肟酯化合物的特征在于具有上述通式(4)所表示的G1的环烷基结构。由此通过与(A)成分并用而具有优异的感度和析像度。
上述通式(4)中,从感度和析像度的方面出发,n优选为1或2。
上述通式(4)中,从感度和析像度的方面出发,m优选为3或4。这种情况下,变成分别具有环戊烷环、环己烷环。
作为(B)成分的上述通式(2-1)所表示的肟酯化合物的优选的具体例子,可列举出以下的化合物No.13~No.20。
[化学式8]
作为(B)成分的上述通式(2-2)所表示的肟酯化合物的优选的具体例子,可列举出以下的化合物No.21~No.26。
[化学式9]
本发明的光聚合引发剂组合物中,将(A)成分和(B)成分的合计的含量设为100质量份,(A)成分的含量为1质量份~99质量份,(B)成分的含量为1~99质量份。从感度和析像度的方面出发,(A)成分的含量优选为20~80质量份,更优选为40~60质量份,(B)成分的含量优选为20~80质量份,更优选为40~60质量份。
本发明的光聚合引发剂组合物中,除了(A)成分及(B)成分以外,作为任选成分,可以含有其他的光聚合引发剂、例如IRGACURE 369(BASF公司制造)、IRGACURE 907(BASF公司制造)、IRGACURE OXE-01(BASF公司制造)、IRGACURE OXE-02(BASF公司制造)、Lucirin TPO(BASF公司制造)、IRGACURE 819(BASF公司制造)、2,2-双(2-氯苯基)-4,5,4’,5’-四苯基-1-2’-联咪唑等。关于这些任选成分的详细情况,可以适当应用后述的本发明的感光性组合物中的关于这些成分的说明。
接着对本发明的感光性组合物进行说明。
本发明的感光性组合物含有本发明的光聚合引发剂组合物及具有烯键式不饱和键的聚合性化合物作为必须成分,含有无机化合物、色料、溶剂等任选成分。
作为上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物,没有特别限定,可以使用以往用于感光性组合物中的聚合性化合物,例如可列举出乙烯、丙烯、丁烯、异丁烯、氯乙烯、偏氯乙烯、偏氟乙烯、四氟乙烯等不饱和脂肪族烃;(甲基)丙烯酸、α-氯丙烯酸、衣康酸、马来酸、柠康酸、富马酸、降冰片烯二酸(himic acid)、巴豆酸、异巴豆酸、醋酸乙烯酯、醋酸烯丙酯、肉桂酸、山梨酸、中康酸、琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等在两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯;(甲基)丙烯酸羟基乙基酯·苹果酸酯、(甲基)丙烯酸羟基丙基酯·苹果酸酯、二环戊二烯·苹果酸酯或具有1个羧基和2个以上的(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯等不饱和多元酸;(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、下述化合物No.A1~No.A4、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸正辛酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸异壬酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基甲酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸氨基丙酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基丙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸聚(乙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)丙烯酸乙烯酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄基酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己烷二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷二羟甲基二(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯酰基乙基]异氰脲酸酯、聚酯(甲基)丙烯酸酯低聚物等不饱和一元酸及多元醇或多酚的酯;(甲基)丙烯酸锌、(甲基)丙烯酸镁等不饱和多元酸的金属盐;马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐、5-(2,5-二氧代四氢呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1,2-二羧酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐-马来酸酐加成物、十二烯基琥珀酸酐、甲基降冰片烯二酸(himic acid)酐等不饱和多元酸的酸酐;(甲基)丙烯酰胺、亚甲基双-(甲基)丙烯酰胺、二亚乙基三胺三(甲基)丙烯酰胺、苯二甲基双(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺等不饱和一元酸及多胺的酰胺;丙烯醛等不饱和醛;(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、亚乙烯基二氰、烯丙基腈等不饱和腈;苯乙烯、4-甲基苯乙烯、4-乙基苯乙烯、4-甲氧基苯乙烯、4-羟基苯乙烯、4-氯苯乙烯、二乙烯基苯、乙烯基甲苯、乙烯基苯甲酸、乙烯基苯酚、乙烯基磺酸、4-乙烯基苯磺酸、乙烯基苄基甲基醚、乙烯基苄基缩水甘油醚等不饱和芳香族化合物;甲基乙烯基酮等不饱和酮;乙烯基胺、烯丙基胺、N-乙烯基吡咯烷酮、乙烯基哌啶等不饱和胺化合物;烯丙基醇、巴豆醇等乙烯基醇;乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、正丁基乙烯基醚、异丁基乙烯基醚、烯丙基缩水甘油醚等乙烯基醚;马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等不饱和酰亚胺类;茚、1-甲基茚等茚类;1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等脂肪族共轭二烯类;聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等在聚合物分子链的末端具有单(甲基)丙烯酰基的大分子单体类;氯乙烯、偏氯乙烯、琥珀酸二乙烯酯、邻苯二甲酸二烯丙酯、磷酸三烯丙酯、异氰脲酸三烯丙酯、乙烯基硫醚、乙烯基咪唑、乙烯基噁唑啉、乙烯基咔唑、乙烯基吡咯烷酮、乙烯基吡啶、含羟基的乙烯基单体及聚异氰酸酯化合物的乙烯基氨基甲酸酯化合物、含羟基的乙烯基单体及聚环氧化合物的乙烯基环氧化合物。
它们中,对于在两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯、具有1个羧基和2个以上的(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯、不饱和一元酸及多元醇或多酚的酯,本发明的光聚合引发剂组合物是适合的。
这些聚合性化合物可以单独使用或将2种以上混合而使用,此外在将2种以上混合而使用的情况下,也可以将它们预先共聚而作为共聚物使用。
[化学式10]
此外,作为上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物,也可以使用具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物,将本发明的感光性组合物制成碱显影性感光性树脂组合物。作为该具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物,可以使用丙烯酸酯的共聚物、苯酚型和/或甲酚型酚醛环氧树脂、具有多官能环氧基的聚苯基甲烷型环氧树脂、环氧丙烯酸酯树脂、使不饱和一元酸作用于下述通式(5)所表示的环氧化合物等环氧化合物并进一步使多元酸酐作用而得到的树脂。它们中,优选使不饱和一元酸作用于下述通式(5)所表示的环氧化合物等环氧化合物并进一步使多元酸酐作用而得到的树脂。
此外,上述具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物优选含有0.2~1.0当量的不饱和基。
[化学式11]
(通式(5)中,X2表示直接键合、亚甲基、碳原子数为1~4的烷叉基、碳原子数为3~20的脂环式烃基、O、S、SO2、SS、SO、CO、OCO或下述通式(6)、式(7)或通式(8)所表示的取代基,上述烷叉基有时被卤素原子取代,R41、R42、R43及R44分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~5的烷基、碳原子数为1~8的烷氧基、碳原子数为2~5的链烯基或卤素原子,上述烷基、烷氧基及链烯基有时被卤素原子取代,t为0~10的整数,t不为0时存在的光学异构体可以是任一种异构体。)
[化学式12]
(通式(6)中,Z1表示氢原子、有时被碳原子数为1~10的烷基或碳原子数为1~10的烷氧基取代的苯基、或有时被碳原子数为1~10的烷基或碳原子数为1~10的烷氧基取代的碳原子数为3~10的环烷基,Y1表示碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为1~10的烷氧基、碳原子数为2~10的链烯基或卤素原子,上述烷基、烷氧基及链烯基有时被卤素原子取代,w为0~5的整数。)
[化学式13]
(通式(8)中,Y2及Z2分别独立地表示有时被卤素原子取代的碳原子数为1~10的烷基、有时被卤素原子取代的碳原子数为6~20的芳基、有时被卤素原子取代的碳原子数为6~20的芳氧基、有时被卤素原子取代的碳原子数为6~20的芳硫基、有时被卤素原子取代的碳原子数为6~20的芳基链烯基、有时被卤素原子取代的碳原子数为7~20的芳基烷基、有时被卤素原子取代的碳原子数为2~20的杂环基、或卤素原子,上述烷基及芳基烷基中的亚烷基部分有时被不饱和键、-O-或-S-中断,Z2有时通过相邻的Z2彼此而形成环,p表示0~4的整数,q表示0~8的整数,r表示0~4的整数,s表示0~4的整数,r和s的数的合计为2~4的整数。)
作为作用于上述环氧化合物的上述不饱和一元酸,可列举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、肉桂酸、山梨酸、甲基丙烯酸羟基乙基酯·苹果酸酯、丙烯酸羟基乙基酯·苹果酸酯、甲基丙烯酸羟基丙基酯·苹果酸酯、丙烯酸羟基丙基酯·苹果酸酯、二环戊二烯·苹果酸酯等。
此外,作为使上述不饱和一元酸作用后作用的上述多元酸酐,可列举出联苯四羧酸二酐、四氢邻苯二甲酸酐、琥珀酸酐、联苯基-3,3’,4,4’-四羧酸二酐、马来酸酐、偏苯三酸酐、均苯四甲酸酐、2,2’-3,3’-二苯甲酮四羧酸酐、乙二醇双脱水偏苯三酸酯、甘油三脱水偏苯三酸酯、六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸酐、纳迪克酸酐、甲基纳迪克酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、5-(2,5-二氧代四氢呋喃基)-3-甲基-3-环己烯-1,2-二羧酸酐、三烷基四氢邻苯二甲酸酐-马来酸酐加成物、十二烯基琥珀酸酐、甲基降冰片烯二酸(himic acid)酐等。
上述环氧化合物、上述不饱和一元酸及上述多元酸酐的反应摩尔比优选如下那样设定。
即,优选在具有相对于上述环氧化合物的环氧基1个以0.1~1.0个加成上述不饱和一元酸的羧基而得到的结构的环氧加成物中,按照相对于该环氧加成物的羟基1个,上述多元酸酐的酸酐结构成为0.1~1.0个的比率的方式设定。
上述环氧化合物、上述不饱和一元酸及上述多元酸酐的反应可以按照常规方法而进行。
作为本发明的感光性组合物的实施方式之一的本发明的碱显影性感光性树脂组合物含有本发明的光聚合引发剂组合物、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物和有时具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物作为必须成分,组合地含有无机化合物、色料、溶剂等成分作为任选成分。另外,也将本发明的碱显影性感光性树脂组合物中的含有色料的组合物特别地称为本发明的着色碱显影性感光性树脂组合物。
上述的具有烯键式不饱和键的聚合性化合物与上述的有时具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物有时为同一化合物,有时也不同,此外,有时单独使用,有时也将2种以上并用。
为了调整酸值而改良本发明的(着色)碱显影性感光性树脂组合物的显影性,可以与上述有时具有烯键式不饱和键的具有碱显影性的化合物一起,进一步使用单官能或多官能环氧化合物。上述有时具有烯键式不饱和键的具有碱显影性的化合物优选固体成分的酸值为5~120mgKOH/g的范围,单官能或多官能环氧化合物的使用量优选按照满足上述酸值的方式选择。
作为上述单官能环氧化合物,可列举出甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基缩水甘油醚、乙基缩水甘油醚、丙基缩水甘油醚、异丙基缩水甘油醚、丁基缩水甘油醚、异丁基缩水甘油醚、叔丁基缩水甘油醚、戊基缩水甘油醚、己基缩水甘油醚、庚基缩水甘油醚、辛基缩水甘油醚、壬基缩水甘油醚、癸基缩水甘油醚、十一烷基缩水甘油醚、十二烷基缩水甘油醚、十三烷基缩水甘油醚、十四烷基缩水甘油醚、十五烷基缩水甘油醚、十六烷基缩水甘油醚、2-乙基己基缩水甘油醚、烯丙基缩水甘油醚、炔丙基缩水甘油醚、对甲氧基乙基缩水甘油醚、苯基缩水甘油醚、对甲氧基缩水甘油醚、对丁基苯酚缩水甘油醚、甲酚缩水甘油醚、2-甲基甲酚缩水甘油醚、4-壬基苯基缩水甘油醚、苄基缩水甘油醚、对枯基苯基缩水甘油醚、三苯甲基缩水甘油醚、甲基丙烯酸2,3-环氧丙基酯、环氧化大豆油、环氧化亚麻籽油、丁酸缩水甘油酯、乙烯基环己烷单氧化物、1,2-环氧基-4-乙烯基环己烷、氧化苯乙烯、氧化蒎烯、氧化甲基苯乙烯、氧化环己烯、环氧丙烷、下述化合物No.E1、No.E2等。
[化学式14]
作为上述多官能环氧化合物,若使用选自由双酚型环氧化合物及缩水甘油醚类构成的组中的一种以上的化合物,则能够得到特性进一步良好的(着色)碱显影性感光性树脂组合物,所以优选。
作为上述双酚型环氧化合物,除了可以使用上述通式(5)所表示的环氧化合物以外,例如还可以使用氢化双酚型环氧化合物等双酚型环氧化合物。
此外,作为上述缩水甘油醚类,可以使用乙二醇二缩水甘油醚、丙二醇二缩水甘油醚、1,4-丁烷二醇二缩水甘油醚、1,6-己烷二醇二缩水甘油醚、1,8-辛烷二醇二缩水甘油醚、1,10-癸烷二醇二缩水甘油醚、2,2-二甲基-1,3-丙烷二醇二缩水甘油醚、二乙二醇二缩水甘油醚、三乙二醇二缩水甘油醚、四乙二醇二缩水甘油醚、六乙二醇二缩水甘油醚、1,4-环己烷二甲醇二缩水甘油醚、1,1,1-三(缩水甘油氧基甲基)丙烷、1,1,1-三(缩水甘油氧基甲基)乙烷、1,1,1-三(缩水甘油氧基甲基)甲烷、1,1,1,1-四(缩水甘油氧基甲基)甲烷等。
此外,还可以使用苯酚酚醛型环氧化合物、联苯酚醛型环氧化合物、甲酚酚醛型环氧化合物、双酚A酚醛型环氧化合物、二环戊二烯酚醛型环氧化合物等酚醛型环氧化合物;3,4-环氧-6-甲基环己基甲基-3,4-环氧-6-甲基环己烷羧酸酯、3,4-环氧环己基甲基-3,4-环氧环己烷羧酸酯、1-环氧乙基-3,4-环氧环己烷等脂环式环氧化合物;邻苯二甲酸二缩水甘油酯、四氢邻苯二甲酸二缩水甘油酯、二聚物酸缩水甘油酯等缩水甘油酯类;四缩水甘油基二氨基二苯基甲烷、三缩水甘油基对氨基苯酚、N,N-二缩水甘油基苯胺等缩水甘油胺类;1,3-二缩水甘油基-5,5-二甲基乙内酰脲、异氰脲酸三缩水甘油酯等杂环式环氧化合物;二环戊二烯二氧化物等二氧化物化合物;萘型环氧化合物;三苯基甲烷型环氧化合物;二环戊二烯型环氧化合物等。
本发明的感光性组合物中,本发明的光聚合引发剂组合物可以预先由(A)成分和(B)成分制备光聚合引发剂组合物,并将其配合到具有烯键式不饱和键的聚合性化合物或其他的任选成分中,也可以将(A)成分和(B)成分分别各自配合到聚合性化合物或其他的任选成分中而制成感光性组合物。
本发明的感光性组合物中,本发明的光聚合引发剂组合物的含量没有特别限定,但相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物(或上述具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物)100质量份,优选为0.1~70质量份,更优选为0.3~50质量份,最优选为0.5~30质量份。
特别是将本发明的感光性组合物制成(着色)碱显影性感光性树脂组合物时,本发明的光聚合引发剂组合物的含量在本发明的(着色)碱显影性感光性树脂组合物的固体成分(除溶剂以外的全部成分)中,优选为0.3~20质量%、特别是0.8~12质量%。
本发明的感光性组合物中,可以进一步加入溶剂。作为该溶剂,通常可列举出根据需要可溶解或分散上述的各成分(本发明的光聚合引发剂组合物及具有烯键式不饱和键的聚合性化合物等)的溶剂、例如甲乙酮、甲基戊基酮、二乙酮、丙酮、甲基异丙基酮、甲基异丁基酮、环己酮、2-庚酮等酮类;***、二噁烷、四氢呋喃、1,2-二甲氧基乙烷、1,2-二乙氧基乙烷、二丙二醇二甲基醚等醚系溶剂;乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸环己酯、乳酸乙酯、琥珀酸二甲酯、2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯(Texanol)等酯系溶剂;乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚等溶纤剂系溶剂;甲醇、乙醇、异丙醇或正丙醇、异丁醇或正丁醇、戊醇等醇系溶剂;乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单***乙酸酯、丙二醇-1-单甲醚-2-乙酸酯、二丙二醇单甲醚乙酸酯、乙酸3-甲氧基丁酯、丙酸乙氧基乙酯等醚酯系溶剂;苯、甲苯、二甲苯等BTX系溶剂;己烷、庚烷、辛烷、环己烷等脂肪族烃系溶剂;松节油、D-柠檬烯、蒎烯等萜烯系烃油;矿物油精、Swasol#310(COSMO MATSUYAMAOIL CO.,LTD.)、SOLVESSO#100(Exon Chemical Co.,Ltd.)等链烷烃系溶剂;四氯化碳、氯仿、三氯乙烯、二氯甲烷、1,2-二氯乙烷等卤代脂肪族烃系溶剂;氯苯等卤代芳香族烃系溶剂;卡必醇系溶剂;苯胺;三乙胺;吡啶;乙酸;乙腈;二硫化碳;N,N-二甲基甲酰胺;N,N-二甲基乙酰胺;N-甲基吡咯烷酮;二甲基亚砜;水等,这些溶剂可以使用1种或作为2种以上的混合溶剂使用。
它们中,酮类、醚酯系溶剂等特别是丙二醇-1-单甲醚-2-乙酸酯、环己酮等由于在感光性组合物中抗蚀剂与光聚合引发剂的相容性良好,所以优选。
本发明的感光性组合物中,在使用溶剂时,其使用量从处理等观点出发优选固体成分(除溶剂以外的成分)的浓度成为5~85质量%的量。
此外,本发明的感光性组合物(特别是碱显影性感光性树脂组合物)中,可以进一步含有色料而制成着色(碱显影性)感光性组合物。作为该色料,可列举出颜料、染料、天然色素等。这些色料可以单独使用或将2种以上混合使用。
作为上述颜料,例如可以使用亚硝基化合物;硝基化合物;偶氮化合物;重氮化合物;呫吨化合物;喹啉化合物;蒽醌化合物;香豆素化合物;酞菁化合物;异吲哚啉酮化合物;异吲哚啉化合物;喹吖啶酮化合物;蒽垛蒽酮化合物;紫环酮(perinone)化合物;苝化合物;二酮基吡咯并吡咯化合物;硫靛化合物;二噁嗪化合物;三苯基甲烷化合物;喹酞酮化合物;萘四羧酸;偶氮染料、花青染料的金属络合物化合物;色淀颜料;通过炉法、槽法或热裂解法而得到的炭黑、或乙炔黑、科琴黑或灯黑等炭黑;将上述炭黑以环氧树脂进行调整或被覆而得到的物质、将上述炭黑预先在溶剂中以树脂进行分散处理并使其吸附20~200mg/g的树脂而得到的物质、将上述炭黑进行酸性或碱性表面处理而得到的物质、平均粒径为8nm以上且DBP吸油量为90ml/100g以下的炭黑、由950℃下的挥发成分中的CO及CO2算出的总氧量相对于炭黑的表面积100m2为9mg以上的炭黑;石墨、石墨化炭黑、活性炭、碳纤维、碳纳米管、螺旋状碳纤维(Carbon microcoil)、碳纳米角、碳气凝胶、富勒烯;苯胺黑、颜料黑7、钛黑;氧化铬绿、米洛丽蓝、钴绿、钴蓝、锰系、亚铁氰化物、磷酸盐群青、普鲁士蓝、群青、钴天蓝、维利迪安颜料(Viridian)、翡翠绿、硫酸铅、铬黄、锌黄、氧化铁红(红色氧化铁(III))、镉红、合成铁黑、棕土等有机或无机颜料。这些颜料可以单独使用、或将多种混合使用。
作为上述颜料,也可以使用市售的颜料,例如可列举出颜料红1、2、3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、88、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168、169、170、171、177、179、180、184、185、192、200、202、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、254;颜料橙13、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、65、71;颜料黄1、3、12、13、14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93、95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、125、126、127、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、166、168、175、180、185;颜料绿7、10、36;颜料蓝15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61、62、64;颜料紫1、19、23、27、29、30、32、37、40、50等。
作为上述染料,可列举出偶氮染料、蒽醌染料、靛类染料、三芳基甲烷染料、呫吨染料、茜素染料、吖啶染料、茋染料、噻唑染料、萘酚染料、喹啉染料、硝基染料、吲达胺染料、噁嗪染料、酞菁染料、花青染料等染料等,它们也可以将多种混合使用。
本发明的感光性组合物中,上述色料的含量相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份,优选为50~350质量份,更优选为100~250质量份。
本发明的感光性组合物中,可以进一步含有无机化合物。作为该无机化合物,例如可列举出氧化镍、氧化铁、氧化铱、氧化钛、氧化锌、氧化镁、氧化钙、氧化钾、二氧化硅、氧化铝等金属氧化物;层状粘土矿物、米洛丽蓝、碳酸钙、碳酸镁、钴系、锰系、玻璃粉末(特别是玻璃料(glass frit))、云母、滑石、高岭土、亚铁氰化物、各种金属硫酸盐、硫化物、硒化物、硅酸铝、硅酸钙、氢氧化铝、铂、金、银、铜等。它们中,优选玻璃料、氧化钛、二氧化硅、层状粘土矿物、银等。
本发明的感光性组合物中,上述无机化合物的含量相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份,优选为0.1~1000质量份,更优选为10~800质量份。另外,这些无机化合物可以使用1种或2种以上。
这些无机化合物例如可作为填充剂、防反射剂、导电剂、稳定剂、阻燃剂、机械强度提高剂、特殊波长吸收剂、防油墨剂等使用。
本发明的感光性组合物中,可以加入使色料和/或无机化合物分散的分散剂。作为该分散剂,只要是能够将色料或无机化合物分散、稳定化的物质则没有限制,可以使用市售的分散剂、例如BYK-Chemie公司制的BYK系列等。特别是适宜使用包含具有碱性官能团的聚酯、聚醚、或聚氨酯的高分子分散剂、具有氮原子作为碱性官能团且具有氮原子的官能团为胺和/或其季盐、胺值为1~100mgKOH/g的物质。
本发明的感光性组合物中,可以与(A)成分的肟酯化合物及(B)成分的肟酯化合物一起并用其他的光聚合引发剂。作为可以并用的其他光聚合引发剂,可以使用以往已知的化合物,例如可列举出二苯甲酮、苯基联苯酮、1-羟基-1-苯甲酰基环己烷、苯偶姻、苄基二甲基缩酮、1-苄基-1-二甲基氨基-1-(4'-吗啉代苯甲酰基)丙烷、2-吗啉基-2-(4'-甲基巯基)苯甲酰基丙烷、噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、异丙基噻吨酮、二乙基噻吨酮、乙基蒽醌、4-苯甲酰基-4'-甲基二苯基硫醚、苯偶姻丁基醚、2-羟基-2-苯甲酰基丙烷、2-羟基-2-(4'-异丙基)苯甲酰基丙烷、4-丁基苯甲酰基三氯甲烷、4-苯氧基苯甲酰基二氯甲烷、苯甲酰基甲酸甲酯、1,7-双(9'-吖啶基)庚烷、9-正丁基-3,6-双(2'-吗啉代异丁酰基)咔唑、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-苯基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-萘基-4,6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2,2-双(2-氯苯基)-4,5,4’,5’-四苯基-1-2’-联咪唑、4,4-偶氮双异丁腈、三苯基膦、樟脑醌、N-1414、N-1717((株)ADEKA制)、IRGACURE369、IRGACURE907、IRGACURE OXE 01、IRGACURE OXE 02(BASF JAPAN(株)制)、过氧化苯甲酰、下述通式(9)所表示的化合物等,在使用这些其他的光聚合引发剂时,其使用量优选设定为本发明的光聚合引发剂组合物的(A)成分与(B)成分的合计使用量的1质量倍以下。另外,这些光聚合引发剂可以使用1种或将2种以上组合使用。
[化学式15]
(通式(9)中,R1、R2及R6与上述通式(1-2)相同,R51表示卤素原子或烷基,e为0~5的整数。)
此外,本发明的感光性组合物中,根据需要可以加入对茴香醚、氢醌、焦儿茶酚、叔丁基儿茶酚、吩噻嗪等热聚合抑制剂;增塑剂;粘接促进剂;填充剂;消泡剂;流平剂;表面调整剂;抗氧化剂;紫外线吸收剂;分散助剂;凝集防止剂;催化剂;效果促进剂;交联剂;增稠剂等惯用的添加物。
本发明的感光性组合物中,除上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物及本发明的光聚合引发剂组合物以外的任选成分(其中,上述的其他光聚合引发剂、有时具有烯键式不饱和基的具有碱显影性的化合物、无机化合物(填充剂)、色料及溶剂除外)的使用量根据其使用目的而适当选择,没有特别限制,但优选相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份合计设定为50质量份以下。
此外,本发明的感光性组合物中,通过与上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物一起使用其他的有机聚合物,还能够改善固化物的特性。作为该有机聚合物,例如可列举出聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯-丙烯酸乙酯共聚物、聚(甲基)丙烯酸、苯乙烯-(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物、乙烯-氯乙烯共聚物、乙烯-乙烯基共聚物、聚氯乙烯树脂、ABS树脂、尼龙6、尼龙66、尼龙12、氨基甲酸酯树脂、聚碳酸酯聚乙烯醇缩丁醛、纤维素酯、聚丙烯酰胺、饱和聚酯、酚醛树脂、苯氧基树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酰胺酸树脂、环氧树脂等,它们中,优选聚苯乙烯、(甲基)丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物、环氧树脂。
使用其他的有机聚合物时,其使用量相对于上述具有烯键式不饱和键的聚合性化合物100质量份优选为10~500质量份。
本发明的感光性组合物中,可以进一步并用链转移剂、增感剂、表面活性剂、硅烷偶联剂、三聚氰胺化合物等。
作为上述链转移剂或增感剂,一般使用含硫原子的化合物。例如可列举出巯基乙酸、硫羟苹果酸、硫代水杨酸、2-巯基丙酸、3-巯基丙酸、3-巯基丁酸、N-(2-巯基丙酰基)甘氨酸、2-巯基烟酸、3-[N-(2-巯基乙基)氨基甲酰基]丙酸、3-[N-(2-巯基乙基)氨基]丙酸、N-(3-巯基丙酰基)丙氨酸、2-巯基乙磺酸、3-巯基丙磺酸、4-巯基丁磺酸、十二烷基(4-甲硫基)苯基醚、2-巯基乙醇、3-巯基-1,2-丙烷二醇、1-巯基-2-丙醇、3-巯基-2-丁醇、巯基苯酚、2-巯基乙胺、2-巯基咪唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基-3-吡啶醇、2-巯基苯并噻唑、巯基乙酸、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)等巯基化合物、将该巯基化合物氧化而得到的二硫化物、碘乙酸、碘丙酸、2-碘乙醇、2-碘乙磺酸、3-碘丙磺酸等碘代烷基化合物、三羟甲基丙烷三(3-巯基异丁酸酯)、丁烷二醇双(3-巯基异丁酸酯)、己二硫醇、癸二硫醇、1,4-二甲基巯基苯、丁烷二醇双硫代丙酸酯、丁烷二醇双巯基乙酸酯、乙二醇双巯基乙酸酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、丁烷二醇双硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯、三羟甲基丙烷三巯基乙酸酯、季戊四醇四硫代丙酸酯、季戊四醇四巯基乙酸酯、三羟基乙基三硫代丙酸酯、二乙基噻吨酮、二异丙基噻吨酮、下述化合物No.C1、三巯基丙酸三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯等脂肪族多官能硫醇化合物、昭和电工社制karenz MT BD1、PE1、NR1等。
[化学式16]
作为上述表面活性剂,可以使用全氟烷基磷酸酯、全氟烷基羧酸盐等氟表面活性剂;高级脂肪酸碱盐、烷基磺酸盐、烷基硫酸盐等阴离子系表面活性剂;高级胺卤酸盐、季铵盐等阳离子系表面活性剂;聚乙二醇烷基醚、聚乙二醇脂肪酸酯、失水山梨糖醇脂肪酸酯、脂肪酸单甘油酯等非离子表面活性剂;两性表面活性剂;有机硅系表面活性剂等表面活性剂,它们也可以组合使用。
作为上述硅烷偶联剂,例如作为具有链烯基的硅烷偶联剂,可列举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、乙烯基甲基二甲氧基硅烷、辛烯基三甲氧基硅烷、烯丙基三甲氧基硅烷、对苯乙烯基三甲氧基硅烷等,作为具有丙烯酰基的硅烷偶联剂,可列举出3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷等,作为具有甲基丙烯酰基的硅烷偶联剂,可列举出3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、甲基丙烯酰氧基辛基三甲氧基硅烷等,作为具有环氧基的硅烷偶联剂,可列举出2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、环氧丙氧基辛基三甲氧基硅烷等,作为具有氨基的硅烷偶联剂,可列举出N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-三乙氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基-亚丁基)丙基胺、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N,N’-双[3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基]乙二胺、N-(乙烯基苄基)-2-氨基乙基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷的盐酸盐等,作为具有异氰脲酸酯基的硅烷偶联剂,可列举出三-(三甲氧基甲硅烷基丙基)异氰脲酸酯,作为具有巯基的硅烷偶联剂,可列举出3-巯基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三乙氧基硅烷等,作为具有脲基的硅烷偶联剂,可列举出3-脲基丙基三甲氧基硅烷、3-脲基丙基三乙氧基硅烷等,作为具有硫醚基的硅烷偶联剂,可列举出双(三乙氧基甲硅烷基丙基)四硫醚,作为具有硫酯基的硅烷偶联剂,可列举出3-辛酰硫基-1-丙基三乙氧基硅烷,作为具有异氰酸酯基的硅烷偶联剂,可列举出3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、3-异氰酸酯丙基三甲氧基硅烷等。
作为上述硅烷偶联剂,可以使用市售品,若列举出其例子,则作为乙烯基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-1003、Momentive Performance MaterialsJapan LLC制的A-171、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6300、Wacker AsahikaseiSilicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL XL10、日美商事株式会社制的Sila-Ace S210等,作为乙烯基三乙氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBE-1003、Momentive PerformanceMaterials Japan LLC制的A-151、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6519、WackerAsahikasei Silicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL GF56、日美商事株式会社制的Sila-AceS220等,作为乙烯基三乙酰氧基硅烷,可列举出Wacker Asahikasei Silicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL GF62,作为乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷,可列举出MomentivePerformance Materials Japan LLC制的A-172,作为乙烯基甲基二甲氧基硅烷,可列举出Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-2171、Wacker AsahikaseiSilicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL XL12等,作为辛烯基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-1083,作为烯丙基三甲氧基硅烷,可列举出Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6825,作为对苯乙烯基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-1403,作为3-丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷,可列举出KBM-5103,作为3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-502、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6033等,作为3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-503、Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-174、DowCorning Toray Co.,Ltd.制的Z-6030、Wacker Asahikasei Silicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL GF31、日美商事株式会社制的Sila-Ace S710等,作为3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二乙氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBE-502,作为3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBE-503、Momentive PerformanceMaterials Japan LLC制的Y-9936,作为甲基丙烯酰氧基辛基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-5803,作为2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-303、Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-186、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6043、日美商事株式会社制的Sila-Ace S530等,作为3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-402、DowCorning Toray Co.,Ltd.制的Z-6044、日美商事株式会社制的Sila-Ace S520等,作为3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-403、MomentivePerformance Materials Japan LLC制的A-187、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6040、Wacker Asahikasei Silicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL GF80、日美商事株式会社制的Sila-Ace S510等,作为3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBE-402,作为3-环氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBE-403、Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-1871、Wacker AsahikaseiSilicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL GF82等,作为环氧丙氧基辛基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-4803,作为N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-602、Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-2120、Wacker Asahikasei Silicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL GF-95、日美商事株式会社制的Sila-Ace S310等,作为N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-603、Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-1120、Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-1122、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6020、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6094、Wacker AsahikaseiSilicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL GF-91、日美商事株式会社制的Sila-Ace S320等,作为3-氨基丙基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-903、MomentivePerformance Materials Japan LLC制的A-1110、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6610、日美商事株式会社制的Sila-Ace S360等,作为3-氨基丙基三乙氧基硅烷,可列举出KBE-903、Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-1100、Dow Corning TorayCo.,Ltd.制的Z-6011、日美商事株式会社制的Sila-Ace S330等,作为3-三乙氧基甲硅烷基-N-(1,3-二甲基-亚丁基)丙基胺,可列举出KBE-9103、日美商事株式会社制的Sila-AceS340等,作为N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-573、Momentive Performance Materials Japan LLC制的Y-9669、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6883等,作为N,N’-双[3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基]乙二胺,可列举出日美商事株式会社制的Sila-Ace XS1003,作为N-(乙烯基苄基)-2-氨基乙基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷的盐酸盐,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-575、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6032、日美商事株式会社制的Sila-Ace S350等,作为三-(三甲氧基甲硅烷基丙基)异氰脲酸酯,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-9659,作为3-巯基丙基甲基二甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-802、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6852,作为3-巯基丙基三甲氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBM-803、MomentivePerformance Materials Japan LLC制的A-189、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6062、日美商事株式会社制的Sila-Ace S810等,作为3-巯基丙基三乙氧基硅烷,可列举出Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-1891、Dow Corning Toray Co.,Ltd.制的Z-6911,作为3-脲基丙基三乙氧基硅烷,可列举出Momentive PerformanceMaterials Japan LLC制的A-1160,作为3-脲基丙基三烷氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBE-585,作为双(三乙氧基甲硅烷基丙基)四硫醚,可列举出信越化学工业(株)制的KBE-846,作为3-辛酰硫基-1-丙基三乙氧基硅烷,可列举出Momentive PerformanceMaterials Japan LLC制的A-LINK599,作为3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷,可列举出信越化学工业(株)制的KBE-9007、Momentive Performance Materials Japan LLC制的A-1310等,作为3-异氰酸酯丙基三甲氧基硅烷,可列举出Momentive Performance MaterialsJapan LLC制的Y-5187、Wacker Asahikasei Silicone Co.,Ltd.制的GENIOSIL GF40等。
这些硅烷偶联剂中,适宜使用具有甲基丙烯酰基、环氧基或异氰酸酯基的硅烷偶联剂,例如可列举出信越化学工业(株)制的KBM-502、KBE-403、KBE-9007等。
作为上述三聚氰胺化合物,可列举出(聚)羟甲基三聚氰胺、(聚)羟甲基甘脲、(聚)羟甲基苯并胍胺、(聚)羟甲基脲等氮化合物中的活性羟甲基(CH2OH基)的全部或一部分(至少2个)被烷基醚化而得到的化合物等。
这里,作为构成烷基醚的烷基,可列举出甲基、乙基或丁基,有时彼此相同,有时也不同。此外,没有被烷基醚化的羟甲基有时在一分子内自缩合,有时也在二分子间缩合,其结果是形成低聚物成分。
具体而言,可以使用六甲氧基甲基三聚氰胺、六丁氧基甲基三聚氰胺、四甲氧基甲基甘脲、四丁氧基甲基甘脲等。
它们中,优选六甲氧基甲基三聚氰胺、六丁氧基甲基三聚氰胺等经烷基醚化的三聚氰胺。
本发明的感光性组合物可以通过旋涂机、辊涂机、棒涂机、模涂机、帘式涂布机、各种印刷、浸渍等公知的手段应用于钠玻璃、石英玻璃、半导体基板、金属、纸、塑料等支撑基体上。此外,也可以暂且实施于膜等支撑基体上后,转印到其他的支撑基体上,对其应用方法没有限制。
此外,作为使本发明的感光性组合物固化时使用的能量射线的光源,可以利用由超高压汞灯、高压汞灯、中压汞灯、低压汞灯、汞蒸气弧灯、氙弧灯、碳弧灯、金属卤化物灯、荧光灯、钨灯、准分子灯、杀菌灯、发光二极管、CRT光源等得到的具有2000埃到7000埃的波长的电磁波能量或电子射线、X射线、放射线等高能量射线,但优选可列举出发出波长为300~450nm的光的超高压汞灯、汞蒸气弧灯、碳弧灯、氙弧灯等。
进而,通过在曝光光源中使用激光、从而不使用掩模就由计算机等数字信息直接形成图像的激光直接描绘法由于不仅可谋求生产率的提高,还可谋求析像度或位置精度等的提高,所以是有用的,作为该激光,适宜使用340~430nm的波长的光,也可使用准分子激光器、氮激光器、氩离子激光器、氦镉激光器、氦氖激光器、氪离子激光器、各种半导体激光器及YAG激光器等可发出从可见到红外区域的光的激光器。在使用这些激光器的情况下,可以加入将从可见到红外的该区域吸收的增感色素。
此外,本发明的感光性组合物也可以用于使用了半色调掩模的高低差或高度不同的图案的制作。
本发明的感光性组合物可以用于光固化性涂料或清漆;光固化性粘接剂;印制电路基板;彩色电视机、PC监视器、便携信息终端、数码相机等彩色显示的液晶显示元件中的滤色器;CCD图像传感器的滤色器;等离子体显示面板用的电极材料;粉末涂料;印刷油墨;印刷版;粘接剂;牙科用组合物;凝胶漆;电子工程用的光致抗蚀剂;电镀抗蚀剂;蚀刻抗蚀剂;干膜;阻焊剂;用于制造各种显示用途用的滤色器的等离子体显示面板、电气发光显示装置、及在LCD的制造工序中用于形成结构的抗蚀剂;用于封入电气及电子部件的组合物;阻焊剂;磁记录材料;微小机械部件;波导;光学开关;镀覆用掩模;蚀刻掩模;彩色试验体系;玻璃纤维电缆涂层;丝网印刷用型版;用于通过立体平版印刷而制造三维物体的材料;全息照相记录用材料;图像记录材料;微细电子电路;脱色材料;用于图像记录材料的脱色材料;使用微胶囊的图像记录材料用的脱色材料;印刷布线板用光致抗蚀剂材料;UV及可见激光直接图像系用的光致抗蚀剂材料;印刷电路基板的逐次层叠中的电介质层形成中使用的光致抗蚀剂材料或保护膜等各种用途,对其用途没有特别限制。
此外,本发明的感光性组合物也可以出于形成液晶显示面板用的间隔物的目的及形成垂直取向型液晶显示元件用突起的目的而使用。特别是作为用于同时形成垂直取向型液晶显示元件用的突起和间隔物的感光性组合物是有用的。
上述的液晶显示面板用间隔物通过(1)在基板上形成本发明的感光性组合物的涂膜的工序、(2)介由具有规定的图案形状的掩模对该涂膜照射放射线的工序、(3)曝光后的烘烤工序、(4)对曝光后的该被膜进行显影的工序、(5)将显影后的该被膜进行加热的工序而优选形成。
添加了防油墨剂的本发明的(着色)感光性组合物作为喷墨方式用间隔壁形成树脂组合物是有用的,该组合物作为滤色器用途使用,特别优选用于齿形角为50°以上的喷墨方式滤色器用间隔壁。作为该防油墨剂,适宜使用氟系表面活性剂及包含氟系表面活性剂的组合物。
通过由本发明的感光性组合物形成的间隔壁将被转印体上分区,对分区的被转印体上的凹部通过喷墨法赋予液滴而形成图像区域的方法来制造光学元件。此时,优选上述液滴含有着色剂,且上述图像区域被着色,优选使用在基板上至少具有包含多个着色区域的像素群和将上述像素群的各着色区域隔离的间隔壁、且通过上述的光学元件的制造方法而制作的光学元件。
本发明的感光性组合物也作为保护膜或绝缘膜用组合物使用,可以含有紫外线吸收剂、烷基化改性三聚氰胺和/或丙烯酸改性三聚氰胺、分子中含有醇性羟基的1或2官能的(甲基)丙烯酸酯单体、及/或硅溶胶。
作为上述保护膜、绝缘膜用的感光性组合物,例如使用以下的树脂组合物:
其是以(I)使二元醇化合物与多元羧酸类反应而得到、重均分子量为2,000~40,000、酸值为50~200mgKOH/g的含羧基树脂、
(II)一分子中包含至少1个以上的能够光聚合的烯键式不饱和键的不饱和化合物、
(III)环氧化合物、及
(IV)光聚合引发剂成分作为主要成分的树脂组合物,并且
相对于(I)成分和(II)成分的合计100重量份,含有10~40重量份的(III)成分、0.01~2.0重量份的(IV)成分,且作为(IV)成分的光聚合引发剂成分使用了本发明的光聚合引发剂组合物。
上述绝缘膜被用于在能够剥离的支撑基材上设置有绝缘树脂层的层叠体中的该绝缘树脂层,该层叠体优选能够利用碱水溶液而显影,且绝缘树脂层的膜厚为10~100μm。
本发明的感光性组合物通过含有无机材料(无机化合物),可以作为感光性糊剂组合物使用。该感光性糊剂组合物是为了形成等离子体显示器面板的间隔壁图案、电介体图案、电极图案及黑色矩阵图案等烧成物图案而使用的。
实施例
以下,列举出实施例及比较例对本发明更详细地进行说明,但本发明并不受这些实施例等的限定。另外,在以下的实施例及比较例中,%只要没有特别记载,则为质量基准。
〔实施例1〕
以表1记载的配合比,制备光聚合引发剂组合物No.1。(A)成分及(B)成分使用下述所示的物质。
进而,将SPC-1000(丙烯酸树脂;昭和电工社制)55.46质量份、ARONIX M-450(多官能丙烯酸酯;东亚合成社制)12.91质量份、KBE-403(硅烷偶联剂;信越Silicone公司制)0.58质量份、FZ-2122(表面活性剂;日本Unicar公司制)的环己酮1%溶液3.23质量份及丙二醇-1-单甲基醚-2-乙酸酯27.48质量份混合,配合光聚合引发剂组合物No.1的0.34质量份并使得合计量成为100质量份,将该混合液充分搅拌,得到本发明的感光性组合物即碱显影性感光性树脂组合物No.1。
对于所得到的碱显影性感光性树脂组合物No.1,通过下述感度评价方法评价感度,通过下述析像度评价方法评价析像度。将各自的结果示于表1中。
〔实施例2~13〕
以表1记载的配合比,制备光聚合引发剂组合物No.2~No.13。(A)成分及(B)成分使用下述所示的物质。进而,除了使用这些光聚合引发剂组合物来代替实施例1中使用的光聚合引发剂组合物No.1以外,与实施例1同样地操作,得到碱显影性感光性树脂组合物No.2~No.13。对于所得到的碱显影性感光性树脂组合物,通过下述感度评价方法评价感度,通过下述析像度评价方法评价析像度。将各自的结果示于表1中。
〔比较例1~15〕
以表2记载的配合比,制备比较光聚合引发剂组合物No.1~No.15。作为比较光聚合引发剂-1及-2,使用下述所示的物质。
进而,除了使用这些比较光聚合引发剂组合物来代替实施例1中使用的光聚合引发剂组合物No.1以外,与实施例1同样地操作,得到比较碱显影性感光性树脂组合物No.1~No.15。对于所得到的碱显影性感光性树脂组合物,通过下述感度评价方法评价感度,通过下述析像度评价方法评价析像度。将各自的结果示于表2中。
〔(A)成分〕
作为(A)成分,使用下述化合物No.1、化合物No.6及化合物No.11。
[化学式17]
〔(B)成分〕
作为(B)成分,使用下述化合物No.13、化合物No.15及化合物No.21。
[化学式18]
〔比较光聚合引发剂〕
比较例中使用下述比较光聚合引发剂-1及比较光聚合引发剂-2。
[化学式19]
比较光聚合引发剂-1
比较光聚合引发剂-2
<感度评价方法>
如以下那样操作而进行所得到的碱显影性感光性树脂组合物及比较碱显影性感光性树脂组合物的感度评价。
即,在玻璃基板上旋涂碱显影性感光性树脂组合物,使用热板,在90℃下进行90秒钟预烘烤,作为光源使用高压汞灯,介由掩模进行曝光。作为显影液使用2.5质量%碳酸钠水溶液显影后,充分水洗,使用烘箱,在230℃下进行30分钟后烘烤,使图案定影。用电子显微镜观察相对于40mJ的曝光量的图案,测定掩模开口为20μm的线宽。将线宽为21μm以上设定为A,将20~21μm设定为B,将19~20μm设定为C,将19μm以下设定为D。A的感度最优异,其次成为B、C,D的感度最差。
<析像度评价方法>
如以下那样操作而进行所得到的碱显影性感光性树脂组合物及比较碱显影性感光性树脂组合物的析像度评价。
即,在玻璃基板上旋涂碱显影性感光性树脂组合物,使用热板,在90℃下进行90秒钟预烘烤,作为光源使用高压汞灯,介由掩模进行曝光。作为显影液使用2.5质量%碳酸钠水溶液显影后,充分进行水洗,使用烘箱,在230℃下进行30分钟后烘烤,使图案定影。用电子显微镜观察符合残膜感度(残膜率为75%)时的图案,测定掩模开口为20μm的线宽。将掩模开口与线宽的差为0.5μm以下设定为A,将差为0.5~1.0μm的差设定为B,将1.0~2.0μm的差设定为C,将差为2.0μm以上设定为D。A的析像度最优异,其次成为B、C,D的析像度最差。
产业上的可利用性
根据本发明,能够提供能够对感光性组合物赋予优异的感度和析像度的光聚合引发剂组合物。此外,根据本发明,能够提供感度和析像度优异的感光性组合物。

Claims (7)

1.一种光聚合引发剂组合物,其含有1~99质量份的下述(A)成分、1~99质量份的下述(B)成分,其中(A)成分与(B)成分的合计为100质量份,
(A)成分:包含以具有下述通式(3)所表示的醚结构为特征的下述通式(1-1)~(1-3)所表示的肟酯化合物中的一种以上的光聚合引发剂;
通式(1-1)~(1-3)中,R1、R2及R6分别独立地表示碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为1~20的烷氧基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为6~30的芳氧基、碳原子数为7~30的芳烷基、碳原子数为2~20的杂环基或氰基,烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及杂环基的氢原子有时进一步被OR11、COR11、SR11、NR12R13、-NCOR12-OCOR13、CN、卤素原子、-CR11=CR12R13或-CO-CR11=CR12R13取代,R11、R12及R13分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,所述R1、R2、R6、R11、R12及R13所表示的取代基的亚烷基部分有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,所述取代基的烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,所述取代基的烷基末端有时为不饱和键,R2有时与相邻的苯环一起形成环;
R3、R4及R5分别独立地表示碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为1~20的烷氧基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为6~30的芳氧基、碳原子数为7~30的芳烷基、碳原子数为2~20的杂环基、氰基或卤素原子,烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及杂环基的氢原子有时进一步被OR14、COR14、SR14、NR15R16、-NCOR15-OCOR16、CN、卤素原子、-CR14=CR15R16或-CO-CR14=CR15R16取代,R14、R15及R16分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,所述R3、R4、R5、R14、R15及R16所表示的取代基的亚烷基部分有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,所述取代基的烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,所述取代基的烷基末端有时为不饱和键,a、b及d分别独立地为0~3的整数;
A1以所述通式(3)表示,通式(3)中,R7、R8及R9分别独立地表示氢原子或碳原子数为1~20的烷基,烷基的氢原子有时被卤素原子取代,烷基的亚烷基部分的亚甲基有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,烷基末端有时为不饱和键,R7与R8有时一起而形成环;
(B)成分:含有以具有下述通式(4)的环烷基结构为特征的下述通式(2-1)或(2-2)所表示的肟酯化合物中的一种以上的光聚合引发剂;
通式(2-1)或(2-2)中,R21及R22分别独立地表示碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为1~20的烷氧基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为6~30的芳氧基、碳原子数为7~30的芳烷基、碳原子数为2~20的杂环基或氰基,烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及杂环基的氢原子有时进一步被OR31、COR31、SR31、NR32R33、-NCOR32-OCOR33、CN、卤素原子、-CR31=CR32R33或-CO-CR31=CR32R33取代,R31、R32及R33分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,所述R21、R22、R31、R32及R33所表示的取代基的亚烷基部分有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,所述取代基的烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,所述取代基的烷基末端有时为不饱和键,R22有时与相邻的苯环一起形成环;
R23及R24分别独立地表示碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为1~20的烷氧基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为6~30的芳氧基、碳原子数为7~30的芳烷基、碳原子数为2~20的杂环基、氰基或卤素原子,烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、芳烷基及杂环基的氢原子有时进一步被OR34、COR34、SR34、NR35R36、-NCOR35-OCOR36、CN、卤素原子、-CR34=CR35R36或-CO-CR34=CR35R36取代,R34、R35及R36分别独立地表示氢原子、碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为6~30的芳基、碳原子数为7~30的芳烷基或碳原子数为2~20的杂环基,所述R23、R24、R34、R35及R36所表示的取代基的亚烷基部分有时被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键中断1~5次,所述取代基的烷基部分有时具有分支侧链,有时为环状烷基,所述取代基的烷基末端有时为不饱和键,u及v分别独立地为0~3的整数;
Ar表示选自下述的结构中的芳基或杂环基,
L1表示氢原子或苯甲酰基,
X1表示直接键合或羰基,
G1表示通式(4)的基团,通式(4)中,n为1~5的整数,m为1~6的整数。
2.一种感光性组合物,其是使具有烯键式不饱和键的聚合性化合物中含有权利要求1所述的光聚合引发剂组合物而形成的。
3.根据权利要求2所述的感光性组合物,其中,进一步含有无机化合物。
4.一种碱显影性感光性树脂组合物,其是使有时具有烯键式不饱和键的碱显影性化合物及具有烯键式不饱和键的聚合性化合物中含有权利要求1所述的光聚合引发剂组合物而形成的。
5.根据权利要求4所述的碱显影性感光性树脂组合物,其中,进一步含有无机化合物。
6.一种着色碱显影性感光性树脂组合物,其是使权利要求4或5所述的碱显影性感光性树脂组合物中进一步含有色料而形成的。
7.一种固化物,其是对权利要求2或3所述的感光性组合物、权利要求4或5所述的碱显影性感光性组合物或权利要求6所述的着色碱显影性感光性树脂组合物照射能量射线而形成的。
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