CN108028107A - 功能性细线图案的形成方法及功能性细线图案 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于提供功能性细线图案的形成方法及功能性细线图案，其在由含有功能性材料的线状液体形成多个功能性细线时，即使使功能性细线的配置间隔变宽，也难以辨认该功能性细线，该课题通过以下方法解决：该方法是在基材(1)上以相互不重叠地多个并列的方式给予含有功能性材料的线状液体，接着，随着线状液体的干燥，通过在线状液体的周边部分别使功能性材料选择性地堆积，分别形成具有2根一组的相互平行的线段(31)的细线(3)，接着，通过分别将细线(3)的一部分除去，利用细线3的残存部位分别形成功能性细线，将功能性细线的配置间隔设为了300μm以上且不到750μm时，将功能性细线的线宽设为2μm以上且7μm以下，将配置间隔设为750μm以上且2.5mm以下时，将线宽设为2μm以上且5μm以下。

Description

功能性细线图案的形成方法及功能性细线图案

技术领域

本发明涉及功能性细线图案的形成方法及功能性细线图案，详细地说，涉及以下的功能性细线图案的形成方法及功能性细线图案：在由含有功能性材料的多个线状液体形成多个功能性细线时，能够容易地设定相邻的功能性细线的配置间隔以使得成为比由线状液体所形成的2根平行的线段的配置间隔宽的间隔，而且能够使功能性细线难以辨认。

背景技术

近年来，在触摸面板、移动电话、电子纸、有机EL元件、太阳能电池等各种电气器件中多使用透明导电膜。

以往的透明导电膜是在使ITO(氧化铟锡；Indium Tin Oxide)等具有透明性的导电性材料在基材的整个面蒸镀后，通过激光加工将不需要的导电膜除去，通过未被除去而残存的导电膜来形成电极图案(专利文献1、2)。

但是，这些方法中，由于为了形成电极图案而除去的不需要的导电膜的面积增多，因此间歇时间延长，从生产率的观点考虑存在问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-243059号公报

专利文献2：日本特开2013-152514号公报

专利文献3：日本特开2005-95787号公报(形成窄间距的电气配线图案的方法)

发明内容

发明要解决的课题

本发明人尝试通过导电性细线的集合体来形成透明导电膜(也称为透明电极)。具体地，通过使在基材上给予的线状液体中所含的导电性材料在该线状液体的两边部堆积，形成导电性细线。

就得到的导电性细线而言，与线状液体的线宽相比具有足够的细度，因此即使导电性材料自身不具有透明性，也不易遮光，能够对透明导电膜给予透光性。然而，由于以对应于线状液体的线宽的间距配置导电性细线的制约，在透光性的进一步提高上存在限度，透明导电膜的性能受到限制。

根据本发明人的研究，得知：通过以不受线状液体的线宽制约的宽幅(広幅)的间距来配置导电性细线，能够进一步提高透光性、进一步发挥透明导电膜的性能。例如如触摸面板、移动电话、电子纸、有机EL元件等那样在透明导电膜的背面配置图像显示元件的电子设备中，通过透明导电膜的透光性的提高，能够抑制显示图像时的光量的损失。由此能够实现节能化来抑制电池的消耗。另外，例如如果是太阳能电池，则通过透明导电膜的透光性的提高，期待提高发电效率。

但是，如果过度使导电性细线的间距变宽，则各个导电性细线成为孤立地存在的状态，相对于导电性细线间的具有透光性的区域，不能透过光的导电性细线明显，反而存在导电性细线变得容易辨认的问题。

予以说明，专利文献3没有公开透明导电膜，由于实现电气配线图案的狭间距化，因此并不是解决上述这样的课题。

因此，本发明的课题在于提供以下的功能性细线图案的形成方法及功能性细线图案：其在由含有功能性材料的线状液体形成多个功能性细线时，能够容易地设定相邻的功能性细线之间的配置间隔以使得成为比由线状液体所形成的细线具有的2根平行的线段的配置间隔宽的间隔，并且即使使功能性细线的配置间隔变宽，也难以辨认该功能性细线。

另外，本发明的其他课题由以下的记载而变得清楚。

用于解决课题的手段

上述课题通过以下的各发明解决。

1.功能性细线图案的形成方法，是如下方法：

在基材上以相互不重叠地多个并列的方式给予含有功能性材料的线状液体；

接着，随着上述线状液体的干燥，通过分别使上述功能性材料选择性地堆积于该线状液体的周边部，由上述线状液体分别形成具有2根一组的相互平行的线段的细线；

接着，通过分别将上述细线的一部分除去，利用该细线的残存部位分别形成功能性细线，形成多个上述功能性细线的配置间隔比由上述线状液体所形成的上述细线具有的2根一组的相互平行的上述线段的配置间隔大的功能性细线图案，其中，

在使上述功能性细线的配置间隔为300μm以上且不到750μm时，使该功能性细线的线宽为2μm以上且7μm以下，

在使上述功能性细线的配置间隔为750μm以上且2.5mm以下时，使该功能性细线的线宽为2μm以上且5μm以下。

2.根据上述1所述的功能性细线图案的形成方法，其中，使上述线状液体对于上述基材的接触角为10°以上且30°以下，

使将上述线状液体在上述基材上给予时的每1像素的液滴量为300pl以下，

使用于形成上述线状液体的上述含有功能性材料的液体的固体成分浓度为0.1％以上。

3.根据上述1或2所述的功能性细线图案的形成方法，其中，上述线状液体的干燥是使上述基材的温度为60℃以上且85℃以下、利用抽吸风进行干燥。

4.根据上述1、2或3所述的功能性细线图案的形成方法，其中，在上述基材上形成了上述功能性细线后，通过在大气下、在80℃以上且150℃以下进行加热处理，对该功能性细线的表面进行氧化处理。

5.根据上述4所述的功能性细线图案的形成方法，其中，在上述氧化处理后，通过用电解质液进行处理，使上述功能性细线的线宽减小。

6.根据上述5所述的功能性细线图案的形成方法，其中，上述功能性材料为导电性材料，

上述氧化处理后，对上述功能性细线进行镀敷处理时，通过用作为电解质液的镀敷液进行处理，使该功能性细线的线宽减小。

7.根据上述6所述的功能性细线图案的形成方法，其中，上述镀敷处理为镀铜处理。

8.根据上述4所述的功能性细线图案的形成方法，其中，上述功能性材料为导电性材料，

在上述氧化处理后，对上述功能性细线进行镀铜处理，接着实施铜蚀刻处理，由此使该功能性细线的线宽减小。

9.根据上述5～8中任一项所述的功能性细线图案的形成方法，其中，在上述氧化处理后对上述功能性细线进行镀镍处理。

10.功能性细线图案，其为在基材上将包含功能性材料的功能性细线多个并列的功能性细线图案，

上述功能性细线的配置间隔为300μm以上且不到750μm，

上述功能性细线的线宽为2μm以上且7μm以下。

11.功能性细线图案，其为在基材上将包含功能性材料的功能性细线多个并列的功能性细线图案，

上述功能性细线的配置间隔为750μm以上且2.5mm以下，

上述功能性细线的线宽为2μm以上且5μm以下。

发明的效果

根据本发明，能够提供功能性细线图案的形成方法及功能性细线图案，其在由含有功能性材料的线状液体形成多个功能性细线时，能够容易地设定相邻的功能性细线之间的配置间隔以使得为比由线状液体所形成的细线具有的2根平行的线段的配置间隔宽的间隔，并且即使使功能性细线的配置间隔变宽，该功能性细线也难以被辨认。

附图说明

图1是说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的一实施方式的俯视图。

图2是说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的一实施方式的俯视图。

图3是说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的一实施方式的俯视图。

图4是说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的一实施方式的俯视图。

图5是说明形成线状液体的样子的图。

图6是说明由线状液体形成细线的样子的图。

图7是功能性细线的截面图。

图8是说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的另一实施方式的俯视图。

图9是说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的另一实施方式的俯视图。

图10是说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的另一实施方式的俯视图。

图11是说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的另一实施方式的俯视图。

具体实施方式

以下参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。

图1～图4为说明本发明涉及的功能性细线图案的形成方法的一实施方式的俯视图。

首先，如图1中所示那样，在基材1上以多个并列的方式给予含有功能性材料的线状液体2。多个线状液体2的给予以线状液体2之间不相互重合的方式进行。

本发明中，对基材1并无特别限定，例如能够列举出玻璃、塑料(聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚乙烯、聚丙烯、丙烯酸系、聚酯、聚酰胺等)、金属(铜、镍、铝、铁等、或者合金)、陶瓷等。这些可单独地使用，也可将2种以上的不同的材料在贴合的状态下使用。例如用作触摸面板传感器的透明导电膜(透明电极)的情况下，优选具有透明性的塑料，优选聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯、聚丙烯这样的聚烯烃等。

另外，本发明中，就用于形成线状液体2的液体(墨)中所含有的功能性材料而言，只要是用于对基材1给予特定的功能的材料，则并无特别限定。给予特定的功能是指例如使用导电性材料对基材1给予导电性；使用绝缘性材料对基材1给予绝缘性等。作为功能性材料，能够根据所需的功能，使用例如导电性材料、绝缘性材料、半导体材料、光学滤波器材料、介电体材料等。功能性材料优选为与构成被给予该功能性材料的基材1的表面的材料不同的材料。

就本实施方式中的各线状液体2而言，形成为沿着图1中的Y方向延伸的直线状，将其以沿着与Y方向正交的X方向以一定的间隔平行地并列的方式被给予到基材1。在此，虽然示出了以等间隔并列的方式形成了4根线状液体2，但在基材1上所给予的线状液体2的数只要是多个即可，并无特别限定。

作为向基材1上给予线状液体2的方法，使用通过喷墨法来进行涂布的方法。通过喷墨法，能够在基材1上自由度高地形成多个并列的线状液体2。

就利用喷墨法的线状液体2而言，在使基材1和未图示的喷墨头沿着Y方向相对移动的过程中，如图5中所示那样，使含有功能性材料的液体从喷墨头的喷嘴连续地排出，在基材上使多个点d弹落，由此被形成。通过使邻接的点d、d之间以重叠的方式弹落而在基材上合二为一，形成沿着Y方向的1根线状液体2。

接着，使在基材1上并列的多个线状液体2干燥。随着该线状液体2的干燥，通过咖啡渍现象，使功能性材料选择性地堆积于该线状液体2的周边部21。即，如果如图6(a)中所示那样在基材1上被给予的线状液体2干燥，则与图6(b)中所示的中央部22相比，在周边部21，干燥变快，因此首先在周边部21发生功能性材料的局部的堆积。成为利用该堆积的功能性材料将线状液体2的周边部21固定的状态，抑制与其以后的干燥相伴的线状液体2的宽度方向的收缩。在线状液体2中，如用图6(b)中的箭头表示那样，以补充在周边部21因蒸发而失去的那部分的液体的方式形成从中央部22向周边部21的流动。通过该流动，将进一步的功能性材料搬运至周边部21而堆积。

其结果，如图6(c)中所示那样，在基材1上形成含有功能性材料的细线3。在图2中，示出了在基材1上形成了的4根细线3的集合体。由1根线状液体2形成了的细线3成为沿着该线状液体2的周边部21的形状的形状。因此，由各线状液体2所形成的细线3如图2中所示那样，分别具有由2根一组的相互平行的直线构成的线段31、31。这些线段31、31由在线状液体2的周边部21中的沿着长度方向的两边部堆积的功能性材料形成。图2中的L1为由1根线状液体2所形成的2根一组的相互平行的线段31、31的沿着X方向的配置间隔。

优选促进将线状液体2中的功能性材料搬运至周边部21的流动的形成。例如，通过调整固体成分浓度、线状液体2对于基材1的接触角、线状液体2的量、基材1的加热温度、线状液体2的配置密度、或者温度、湿度、气压的环境因素等条件，能够在早期就将线状液体2的周边部21固定，另外，能够使线状液体2的中央部22与周边部21的蒸发量之差变大。由此，能够促进将功能性材料搬运至周边部21的流动的形成。

接着，如图3中所示那样，对于由各线状液体2在基材1上形成了的各细线3，将各自的一部分除去。在图3中用虚线表示的部位表示被除去了的部位。

将细线3的一部分除去时，未除去而残存的细线3的残存部位成为作为功能性细线而进行利用的部位。在此，对于各细线3，以只使2根一组的平行的线段31、31中的由单侧1根直线形成的线段31残存的方式将其他的部位除去。由此，4根线段31在基材1上并列地残存。

作为将细线3的一部分除去的方法，在能够容易地选择性地将细线3的一部分除去的方面，例如可列举出照射激光等这样的能量线的方法、化学地进行蚀刻处理的利用化学蚀刻的方法。特别是照射能量线的方法通过对于成为除去对象的细线3的一部分选择性进行照射，可将目标地点除去，因此能够大幅地缩短除去工序花费的时间，间歇时间的缩短成为可能，因此优选。

通过将细线3的一部分除去，在基材1上，如图4中所示那样，由未除去而残存的4根线段31来形成多个相互平行的、将包含功能性材料的4根功能性细线4等间隔地配置的功能性细线图案。

在该功能性细线图案中，相邻的功能性细线4、4的沿着X方向的配置间隔L2变得比图2中所示的相邻的线段31、31的配置间隔L1大。该配置间隔L2由在基材1上多个并列地所给予的线状液体2的配置间隔所决定。因此，通过任意地设定该线状液体2的配置间隔，能够不将构成功能性细线图案的相互平行的功能性细线4、4的配置间隔L2限定为由1根线状液体2所形成的2根线段31、31的配置间隔L1而以成为比该配置间隔L1更宽幅的方式来容易地设定。

一般地，就由1根线状液体2所形成的细线3的2根一组的平行的线段31、31的配置间隔L1而言，500μm左右为限度。是因为：线状液体2越成为宽幅，则干燥时的功能性材料向着周边部21的移动距离越变长，在功能性材料到达周边部21之前进行干燥，由此变得难以稳定地使功能性材料堆积于周边部21。但是，根据本发明，不需要使线状液体2成为宽幅就能够稳定地形成包含功能性材料的功能性细线4。

并且，就成为除去对象的部位而言，只是各细线3的一部分，因此除去对象的面积极小则足以。因此，能够缩短用于形成功能性细线图案的间歇时间，能够实现生产率的提高。

就图4中所示的功能性细线图案而言，如图3中所示那样只使由等间隔地并列的各线状液体2所形成的细线3的左侧的线段31残存，由此由以配置间隔L2等间隔地并列的4根功能性细线4所构成。

在此，就功能性细线4的线宽而言，由于咖啡渍现象，与线状液体2的宽度相比，变得极细，因此例如在透明的基材1上形成了功能性细线4的情况下，能够难以辨认功能性细线4，变得容易确保透明性。另外，即使是不透明的基材1，根据光的反射情况，有时可辨认表面的功能性细线4，但即使在这种情况下，由于功能性细线4为极细的宽度，因此能够使其难以辨认。但是，如果过度使各功能性细线4的线宽变细，则有可能发生断线的不利情形，因此功能性细线4需要某种程度的粗度。另外，如果过度使相邻的功能性细线4、4的配置间隔L2变大，则各个功能性细线4接近在基材1上孤立地存在的状态，反而变得容易辨认。

因此，本发明中，着眼于功能性细线4、4的配置间隔L2和各功能性细线4的线宽。即，在本发明中，以如下方式形成：在使在基材1上以多个并列的方式所形成的功能性细线4、4的配置间隔L2为300μm以上且不到750μm时，使该功能性细线4的线宽为2μm以上且7μm以下，在使功能性细线4、4的配置间隔L2为750μm以上且2.5mm以下时，以使该功能性细线4的线宽成为2μm以上且5μm以下。由此，能够在基材1上形成由没有断线的不利情况且难以辨认的多个并列的功能性细线4所构成的功能性细线图案。

如果相邻的功能性细线4、4的配置间隔L2不到300μm，则难以得到将细线3的2根一组的平行的线段31、31分别作为功能性细线来进行利用时的优点。另外，如果配置间隔L2超过2.5mm，则即使调整功能性细线4的线宽以使其变细，也无法充分地得到使得各个功能性细线4难以辨认的效果。

另外，如果功能性细线4的线宽不到2μm，则功能性细线4过度变细，对功能性细线4施加应力时容易发生断线。另外，如果线宽超过7μm，则无论配置间隔L2如何，功能性细线4都变得容易辨认。

就功能性细线4、4的配置间隔L2而言，通过调整在基材1上以多个并列的方式给予的线状液体2的间隔来设定。另外，就功能性细线4的线宽而言，通过上述的干燥时的条件调整来设定，功能性细线4的线宽更优选通过采用以下的任一个条件或者一起采用2个以上的条件，进行调整以使得成为上述的范围。

首先，第1优选的条件为：使线状液体2对于基材1的接触角为10°以上且30°以下，使将该线状液体2在基材1上给予时的每1像素的液滴量为300pl以下，使用于形成线状液体2的含有功能性材料的液体(墨)的固体成分浓度为0.1％以上。在上述的条件下在基材1上给予线状液体2，由此形成功能性细线4，由此能够容易地调整该功能性细线4的线宽以使得成为上述的范围，具体地7μm以下或5μm以下。

通过接触角为10°以上，能够防止墨过度润湿，能够防止在墨的干燥中以平行细线状堆积的固体成分溃决，能够进一步使线的形成稳定化。进而，通过接触角为30°以下，能够防止在基材上液体过度被排斥，能够适宜地形成所期望的线(线状液体)。另一方面，在接触角为不到10°或超过30°的情况下，即使液滴量、固体成分浓度满足上述的条件，也难以形成具有上述的范围的线宽的功能性细线4。更优选地，使接触角为10°以上且25°以下。接触角为基于JISR3257测定的值。

如果每1像素的液滴量超过300pl，则线状液体2过度成为宽幅，即使接触角、固体成分浓度满足上述的条件，也变得难以稳定地形成具有上述的范围的线宽的功能性细线4。更优选地，使每1像素的液滴量成为30pl以上且200pl以下。

予以说明，所谓像素，是由为了形成线状液体2而从喷墨头的喷嘴所排出的液滴所填埋的基材1上的区域的最小单位。在基材1上给予线状液体2时，可以通过300pl以下的1滴的液滴来填埋1像素，也可通过合计成为300pl以下的多个液滴来进行填埋。

通过固体成分浓度为0.1％以上，能够更稳定地形成功能性材料堆积的细线3。另一方面，如果固体成分浓度不到0.1％，则即使接触角、液滴量满足上述的条件，也难以形成具有上述的范围的线宽的功能性细线4。更优选地，使固体成分浓度成为0.2％以上且1％以下。

接着，第2优选的条件为：将线状液体2干燥时，使基材1的温度成为60℃以上且85℃以下，通过抽吸风来进行干燥。

通过抽吸风来进行干燥，由此能够将从线状液体2所蒸发的气体从该线状液体2上迅速地除去，促进将功能性材料从线状液体2的中央部22(参照图6(b))搬运到周边部21的流动。其结果，周边部21处的功能性材料的填充密度升高，能够使得到的功能性细线4的线宽变小。但是，如果基材1的温度不到60℃，即使通过抽吸风来进行干燥，线状液体2的蒸发也变得不充分，难以形成功能性材料的向周边部21的流动。因此，变得难以形成线宽成为上述的范围的功能性细线4。另外，如果超过85℃，反而过度促进线状液体2的蒸发，因此线状液体2的周边部21与中央部22的干燥差消失，仍难以形成线宽成为上述的范围的功能性细线4。更优选的温度设为60℃以上且70℃以下。

进而，第3优选的条件为：在基材1上形成了功能性细线4后，通过在大气下、80℃以上且150℃以下进行加热处理，对功能性细线4的表面进行氧化处理。

该氧化处理可以说是用于减小功能性细线4的线宽的前处理，通过该氧化处理，如图7中所示那样，优先地将功能性细线4的边部41(图7中的图案满涂部)氧化。这是因为：与功能性细线4的中央部42相比，边部41的单位体积的表面积大。被氧化了的功能性细线4的边部41可通过后处理容易地除去，调整功能性细线4的线宽以使得成为上述的范围、具体地7μm以下或5μm以下变得容易。能够通过氧化处理的时间来调整所氧化的边部41的处理宽度。

如果加热温度不到80℃，有时氧化没有充分进行，另外，如果超过150℃，有时无打算的线的中心部也被氧化或者基底基材白化。更优选地，在100℃以上且140℃以下的加热温度下进行加热处理。

作为氧化处理之后用于使功能性细线4的线宽减小的具体的方法，可列举出如下方法：通过用电解质液对被氧化处理了的功能性细线4进行处理，将被氧化了的功能性细线4的边部41选择地除去。通过将具有被氧化处理了的功能性细线4的基材1浸渍于电解质液中，能够容易地将功能性细线4的线宽除去。

对电解质液并无特别限定，例如可列举出硫酸铜水溶液等，在功能性材料为导电性材料的情况下，优选使用镀敷液作为电解质液。在对于功能性细线4的镀敷处理(例如镀铜处理)的同时能够进行使氧化处理后的功能性细线4的线宽减小的处理。即，在氧化处理后对功能性细线4进行镀敷处理时，通过用作为电解质液的镀敷液进行处理，使功能性细线4的线宽减小。通过对使用了导电性材料作为功能性材料的功能性细线4进行镀敷处理，能够增加功能性细线4的膜厚，增强导电性能，能够形成电阻小的配线。予以说明，对于导电性材料的详细情况将后述。

如果将氧化处理后的功能性细线4在镀敷液中浸渍来进行镀敷处理，则将相对地抑制了氧化的中央部42被良好地镀敷，但优先被氧化了的边部41与中央部42相比，导电性降低，因此镀敷不进行，被作为电解质液的镀敷液所除去。由此，功能性细线4的线宽减小。通过镀敷处理的时间，能够调节对于功能性细线4的镀敷处理宽度和镀敷液中被除去的边部41的除去量，能够调整通过镀敷处理所最终地得到的功能性细线4的线宽。

另外，在功能性材料为导电性材料的情况下，以下也是优选的：在氧化处理后，对功能性细线4进行镀铜(Cu)处理，接着，通过实施铜蚀刻处理，将功能性细线4的线宽减小。

通过对氧化处理后的功能性细线4进行镀铜处理，功能性细线4的膜厚增加。接着，如果实施铜蚀刻处理，则在功能性细线4的表面镀敷了的铜层被除去。此时，就功能性细线4的边部41而言，与中央部42相比，导电性降低，因此在镀铜处理时难以被镀敷，并且在铜蚀刻时容易被蚀刻。因此，与中央部42相比，优先除去边部41。由此，能够减小功能性细线4的线宽。

进而，也优选对氧化处理后的功能性细线4进行镀镍(Ni)处理。通过进行镀镍处理，能够使功能性细线4低可见化。是由于：就被镀镍处理的表面而言，与铜相比，成为显示低可见性的颜色。就镀镍处理而言，可在功能性细线4上形成镍单独的层，也可在功能性细线4上进行上述的镀铜处理而形成铜层后来实施，由此在该铜层上进一步形成镍层。

以上说明的实施方式中，制成形成有在基材1上的一方向上并列的多个功能性细线4的梳齿状的功能性细线图案，但本发明涉及的功能性细线图案并不限于此。例如可在基材1上形成格子状的功能性细线图案。

图8～图11为对形成格子状的功能性细线图案时的形成方法的一例进行说明的俯视图。与图1～图4相同的附图标记的部位表示相同构成的部位，因此就它们的详细的说明而言，援用上述说明，在此省略。

首先，如图8中所示那样，通过在基材1上以多个并列的方式给予含有功能性材料的线状液体2A，形成多个线状液体2A。在此，相对于基材1的Y方向，以倾斜斜向45°的方式形成多个线状液体2A。

然后，与上述的实施方式的情形同样地随着线状液体2A的干燥，通过咖啡渍现象，在各线状液体2A的周边部21分别使功能性材料选择性地堆积。由此形成具有2根一组的相互平行的线段31、31的多个并列的细线3A的集合体。

接着，如图9中所示那样，通过在这些多个并列的细线3A上进一步以多个并列的方式给予含有功能性材料的线状液体2B，形成多个线状液体2B。该多个线状液体2B以相对于基材1的Y方向、倾斜细线3A的相反侧的斜向45°的方式形成，与在先形成的细线3A交叉。

然后，与上述同样地，随着线状液体2B的干燥，通过咖啡渍现象，在各线状液体2B的周边部21分别使功能性材料选择性地堆积。由此，如图10中所示那样，形成具有2根一组的相互平行的线段31、31的多个并列的细线3B的集合体。由此所形成的细线3A与细线3B相互地正交。

接着，如图11中所示那样，对于基材1上的各细线3A、3B，与上述的实施方式的情形同样地将各自的一部分除去。在图11中用虚线表示的部位表示被除去的部位。

在此，将各细线3A、3B的一部分除去时，以细线3A、3B的残存部位(图11中的功能性细线4A、4B)在与和其交叉的成为除去对象的细线3A、3B的一部分(图11中的用虚线表示的部位)的交点P处没有被断线的方式除去。其结果，利用没有除去而残存的多个细线3A、3B的部位，形成功能性细线4A、4B之间在交点处可靠地交叉的格子状的功能性细线图案。

由此，功能性细线4A、4A的配置间隔L12变得比图10中所示的构成细线3A的线段31、31的配置间隔L11大。功能性细线4B、4B的配置间隔也同样。因此，本实施方式中，也与上述同样地，通过任意地设定线状液体2A、2B的配置间隔，能够自由地设定功能性细线4A、4A、4B、4B的各自的配置间隔，以使得成为比由1根线状液体2A、2B形成的2根线段31、31的配置间隔大的间隔，且能够大幅地缩短形成功能性细线图案的间歇时间，能够实现生产率的提高。

另外，在例如功能性材料为导电性材料、将功能性细线4A、4B作为配线来使用的情况下，可形成在各功能性细线4A、4B之间的交点处可靠地被电连接的格子状图案。

即使在形成该格子状的功能性细线图案的情况下，通过与上述实施方式的情形完全同样地规定各功能性细线4A、4A、4B、4B的配置间隔L12和各功能性细线4A、4B的线宽，也能够得到与上述实施方式同样的效果。

接着，对于导电性材料进行说明。作为导电性材料，例如能够优选例示导电性微粒、导电性聚合物等。

作为导电性微粒，并无特别限定，能够优选例示Au、Pt、Ag、Cu、Ni、Cr、Rh、Pd、Zn、Co、Mo、Ru、W、Os、Ir、Fe、Mn、Ge、Sn、Ga、In等的微粒，其中，如果使用Au、Ag、Cu这样的金属微粒，则能够形成电阻低且耐腐蚀的细线，因此优选。从成本和稳定性的观点考虑，最优选含Ag的金属微粒。这些金属微粒的平均粒径优选为1～100nm的范围，更优选为3～50nm的范围。平均粒径为体积平均粒径，能够采用マルバーン社制ゼータサイザ1000HS测定。

另外，作为导电性微粒，也优选使用碳微粒。作为碳微粒，能够优选例示石墨微粒、碳纳米管、富勒烯等。

作为导电性聚合物，并无特别限定，能够优选列举出π共轭系导电性高分子。作为π共轭系导电性高分子，例如能够利用聚噻吩类、聚吡咯类、聚吲哚类、聚咔唑类、聚苯胺类、聚乙炔类、聚呋喃类、聚对亚苯基类、聚对亚苯基亚乙烯基类、聚对苯硫醚类、聚薁类、聚苯并噻吩(ポリイソチアナフテン)类、聚氮化硫(ポリチアジル)类等链状导电性聚合物。其中，从得到高导电性的方面出发，优选聚噻吩类、聚苯胺类，最优选为聚亚乙基二氧噻吩。

导电性聚合物更优选包含上述的π共轭系导电性高分子和聚阴离子。就这样的导电性聚合物而言，通过在适当的氧化剂和氧化催化剂、聚阴离子的存在下使形成π共轭系导电性高分子的前体单体进行化学氧化聚合，能够容易地制造。

导电性聚合物也能够优选利用市售的材料。例如，由聚(3,4-亚乙基二氧噻吩)和聚苯乙烯磺酸构成的导电性聚合物已由H.C.Starck公司作为CLEVIOS系列被市售，由Aldrich公司作为PEDOT-PASS483095、560598被市售，由Nagase Chemtex公司作为Denatron系列被市售。另外，聚苯胺已由日产化学公司作为ORMECON系列被市售。

作为含有功能性材料的液体，例如能够将水、有机溶剂等中的1种或2种以上组合使用。对有机溶剂并无特别限定，例如能够例示1,2-己二醇、2-甲基-2,4-戊二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、丙二醇等醇类、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、二甘醇单丁基醚、三甘醇单甲基醚、二丙二醇单甲基醚、二丙二醇单乙基醚等醚类等。

另外，就含有功能性材料的液体而言，在不损害本发明的效果的范围内，可包含表面活性剂等各种添加剂。通过使用表面活性剂，例如，在使用喷墨头在基材1上形成线状液体2的这样的情况等中，调整表面张力等而实现排出的稳定化等成为可能。作为表面活性剂，并无特别限定，能够使用硅系表面活性剂等。所谓硅系表面活性剂，是对二甲基聚硅氧烷的侧链或末端进行了聚醚改性的产物，例如信越化学工业制造的KF-351A、KF-642、ビッグケミー公司制造的BYK347、BYK348等已市售。就表面活性剂的含有率而言，相对于线状液体2的全部量，优选为1重量％以下。

在本发明中，就功能性细线图案而言，通过例如使功能性细线4具有导电性而制成电气配线，能够用于各种电气器件。作为电气器件，例如，能够适合用作液晶、等离子体、有机电致发光、场致发射等各种方式的显示器用透明电极，或者适合用作触摸面板、移动电话、电子纸、各种太阳能电池、各种电致发光调光元件等中使用的透明电极。作为智能电话、平板终端等这样的电子设备的触摸面板传感器，特别优选使用带有透明导电膜的基材。

实施例

以下对于本发明的实施例进行说明，但本发明并不受该实施例限定。

首先，通过参考例1～6对于细线的配置间隔及线宽对透光性和细线的低可见性产生的影响进行验证。

(参考例1)

作为基材，使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜(厚50μm)，在该基材上，使用喷墨头(コニカミノルタ公司制压电头、标准液滴量30pl)，通过将含有银纳米粒子作为功能性材料的墨涂布成线状，形成等间隔地并列的线状液体的集合体。

在线状液体的形成时，使每1像素的液滴给予数为2[dpd]，使每1像素的液滴给予量为60[pl]，使墨中的固体成分浓度为0.690[重量％]。

然后，随着线状液体的干燥，使各线状液体中的银纳米粒子堆积于周边部，形成具有相互平行的2根一组的线段的细线的集合体A-1。

得到的细线的2根一组的线段的配置间隔为100μm。在此，以相邻的细线之间的间隔也成为100μm的方式调整线状液体的给予间隔。另外，得到的细线的线宽为2[μm]。

如以上那样得到功能性细线图案。

(参考例2)

参考例1中，在线状液体的形成时，使每1像素的液滴给予数为4[dpd]，使每1像素的液滴给予量为120[pl]，使墨中的固体成分浓度为0.345[重量％]。

得到的细线的2根一组的线段的配置间隔为140μm。在此，以相邻的细线之间的间隔也成为140μm的方式调整线状液体的给予间隔。另外，得到的细线的线宽为4[μm]。

(参考例3)

参考例1中，在线状液体的形成时，使每1像素的液滴给予数为6[dpd]，使每1像素的液滴给予量为180[pl]，使墨中的固体成分浓度为0.23[重量％]。

得到的细线的2根一组的线段的配置间隔为170μm。在此，以相邻的细线之间的间隔也成为170μm的方式调整线状液体的给予间隔。另外，得到的细线的线宽为5[μm]。

(参考例4)

参考例1中，在线状液体的形成时，使每1像素的液滴给予数为10[dpd]，使每1像素的液滴给予量为300[pl]，使墨中的固体成分浓度为0.138[重量％]。

得到的细线的2根一组的线段的配置间隔为274μm。在此，以相邻的细线之间的间隔也成为274μm的方式调整线状液体的给予间隔。另外，得到的细线的线宽为7[μm]。

(参考例5)

参考例1中，在线状液体的形成时，使每1像素的液滴给予数为30[dpd]，使每1像素的液滴给予量为900[pl]，使墨中的固体成分浓度为0.046[重量％]。

得到的细线的2根一组的线段的配置间隔为400μm。在此，以相邻的细线之间的间隔也成为400μm的方式调整线状液体的给予间隔。另外，得到的细线的线宽为10[μm]。

(参考例6)

参考例1中，在线状液体的形成时，使每1像素的液滴给予数为80[dpd]，使每1像素的液滴给予量为2400[pl]，使墨中的固体成分浓度为0.017[重量％]。

得到的细线的2根一组的线段的配置间隔为650μm。在此，以相邻的细线之间的间隔也成为650μm的方式调整线状液体的给予间隔。另外，得到的细线的线宽为15[μm]。

＜评价方法＞

(1)透光性

使用东京电色株式会社制AUTOMATICHAZEMETER(MODELTC-H III DP)，测定功能性细线图案的全光线透过率。应予说明，使用无图案的基材(膜)进行修正，作为作成的图案的全光线透过率进行测定。基于测定值，用下述评价标准评价透光性。

[评价标准]

A：全光线透过率为92％以上

B：全光线透过率为不到92％

(2)细线的低可见性

对于形成有功能性细线图案的基材，基于在看板台上从相距50cm的位置通过目视所观察的结果，根据下述评价标准来评价低可见性。

[评价标准]

A：不能辨认细线

B：能够辨认细线

将以上的结果示于表1中。

[表1]

＜评价＞

如表1中所示那样，在由线状液体形成2根细线的情况下，如果要使细线的线宽变小来提高细线的低可见性，则不能使细线的配置间隔变大，难以得到透光性。另一方面，如果要使细线的配置间隔变大来提高透光性，则不能使细线的线宽变小，难以得到低可见性。因此，从兼具透光性和低可见性的观点考虑，发现进一步的改善的余地。

(实施例1)

作为基材，使用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜(厚50μm)，在该基材上，使用喷墨头(コニカミノルタ公司制压电头、标准液滴量30pl)，通过将含有银纳米粒子作为功能性材料的墨涂布为线状，形成了等间隔地并列的线状液体的集合体。

在线状液体的形成时，使每1像素的液滴给予数为2[dpd]，使每1像素的液滴给予量为60[pl]，使墨中的固体成分浓度为0.690[重量％]。

然后，随着线状液体的干燥，如图14(a)中所示那样，使各线状液体中的银纳米粒子堆积于周边部，形成具有相互平行的2根一组的线段的细线的集合体A-1。

得到的细线的2根一组的线段的配置间隔为100μm。另外，得到的细线的线宽为2[μm]。

对于该集合体A-1，使用光纤激光器(波长1μm、射点直径30μm)，通过如图14(b)中所示那样只对各细线的右侧的线段照射激光，将细线的一部分除去。由此，利用未被除去而残存的线段形成了功能性细线的集合体B-1。

由此得到的相邻的功能性细线的配置间隔成为650μm，能够形成多个功能性细线的配置间隔成为比由线状液体所形成的细线的线段大的间隔的功能性细线图案。

(实施例2)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.173[重量％]。得到的细线的线宽为5[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为650μm的方式设定。

(实施例3)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.173[重量％]。得到的细线的线宽为5[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为350μm的方式设定。

(实施例4)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.173[重量％]。得到的细线的线宽为5[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为700μm的方式设定。

(比较例1)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.052[重量％]。得到的细线的线宽为1.5[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为650μm的方式设定。

(比较例2)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.276[重量％]。得到的细线的线宽为8[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为650μm的方式设定。

(实施例5)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.173[重量％]。得到的细线的线宽为5[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为750μm的方式设定。

(实施例6)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.173[重量％]。得到的细线的线宽为5[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为2000μm的方式设定。

(实施例7)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.173[重量％]。得到的细线的线宽为5[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为2500μm的方式设定。

(比较例3)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.052[重量％]。得到的细线的线宽为1.5[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为750μm的方式设定。

(比较例4)

在实施例1中，在线状液体的形成时，使墨中的固体成分浓度为0.207[重量％]。得到的细线的线宽为6[μm]。另外，通过将细线的一部分除去，以细线的残存部位的配置间隔成为750μm的方式来设定。

对于实施例和比较例中得到的各功能性细线图案，将与参考例同样地评价的结果示于表2中。

[表2]

＜评价＞

如表2中所示那样，得知：通过(1)在使功能性细线的配置间隔为300μm以上且不到750μm时使该功能性细线的线宽为2μm以上且7μm以下、及(2)在使功能性细线的配置间隔成为750μm以上且2.5mm以下时使该功能性细线的线宽为2μm以上且5μm以下，能够兼具透光性和低可见性。

对于比较例1、3，虽然能够兼具透光性和低可见性，但在干燥时、后工序(镀敷)时，由于应力而断线，发生导通故障(断线故障)。

附图标记的说明

1：基材

2、2A、2B：线状液体

21：周边部

22：中央部

3、3A、3B：细线

31：线段

4、4A、4B：功能性细线

41：边部

42：中央部

d：点

Claims (11)

1.一种功能性细线图案的形成方法，其为以下的方法：

在基材上以相互不重叠地多个并列的方式给予含有功能性材料的线状液体；

接着，随着所述线状液体的干燥，通过分别使所述功能性材料选择性地堆积于该线状液体的周边部，由所述线状液体分别形成具有2根一组的相互平行的线段的细线；

接着，分别将所述细线的一部分除去，通过该细线的残存部位来分别形成功能性细线，由此形成多个所述功能性细线的配置间隔比由所述线状液体形成的所述细线所具有的2根一组的相互平行的所述线段的配置间隔大的功能性细线图案,其中

在使所述功能性细线的配置间隔为300μm以上且不到750μm时，使该功能性细线的线宽为2μm以上且7μm以下，

在使所述功能性细线的配置间隔为750μm以上且2.5mm以下时，使该功能性细线的线宽为2μm以上且5μm以下。

2.根据权利要求1所述的功能性细线图案的形成方法，其中，

使所述线状液体对于所述基材的接触角为10°以上且30°以下，

使将所述线状液体在所述基材上给予时的每1像素的液滴量成为300pl以下，

使用于形成所述线状液体的含有所述功能性材料的液体的固体成分浓度为0.1％以上。

3.根据权利要求1或2所述的功能性细线图案的形成方法，其中，就所述线状液体的干燥而言，使所述基材的温度为60℃以上且85℃以下、通过抽吸风来进行干燥。

4.根据权利要求1、2或3所述的功能性细线图案的形成方法，其中，在所述基材上形成所述功能性细线后，在大气下、在80℃以上且150℃以下进行加热处理，由此对该功能性细线的表面进行氧化处理。

5.根据权利要求4所述的功能性细线图案的形成方法，其中，在所述氧化处理后，通过用电解质液进行处理，使所述功能性细线的线宽减小。

6.根据权利要求5所述的功能性细线图案的形成方法，其中，所述功能性材料为导电性材料，

所述氧化处理后，对所述功能性细线进行镀敷处理时，通过用作为电解质液的镀敷液来进行处理，使该功能性细线的线宽减小。

7.根据权利要求6所述的功能性细线图案的形成方法，其中，所述镀敷处理为镀铜处理。

8.根据权利要求4所述的功能性细线图案的形成方法，其中，所述功能性材料为导电性材料，

在所述氧化处理后，对所述功能性细线进行镀铜处理，接着实施铜蚀刻处理，由此使该功能性细线的线宽减小。

9.根据权利要求5～8中任一项所述的功能性细线图案的形成方法，其中，在所述氧化处理后对所述功能性细线进行镀镍处理。

10.一种功能性细线图案，其为在基材上将包含功能性材料的功能性细线多个并列的功能性细线图案，

所述功能性细线的配置间隔为300μm以上且不到750μm，

所述功能性细线的线宽为2μm以上且7μm以下。

11.一种功能性细线图案，其为在基材上将包含功能性材料的功能性细线多个并列的功能性细线图案，

所述功能性细线的配置间隔为750μm以上且2.5mm以下，

所述功能性细线的线宽为2μm以上且5μm以下。