CN108015496A - 真空腔及真空腔的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种真空腔及真空腔的制备方法，其中真空腔具有支撑件和腔室壁，其中，所述腔室壁上形成有定位面；所述支撑件的底面上形成有凹陷的洁净区，所述底面位于所述定位面上，并且，所述支撑件与所述腔室壁密封连接；在所述支撑件的顶面上形成有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔贯通至所述洁净区。本发明的真空腔中，底面与定位面密封连接，没有边缝，不会藏污纳垢，并且底面上具有洁净区，顶面上具有与洁净区贯通的第一螺纹孔，能够顺畅的放气，不会窝气藏气，同时，通过第一螺纹孔可以直接对清洁区进行清洗，从而整体上提高了真空腔内的洁净度，避免零件的污染。

Description

真空腔及真空腔的制备方法
技术领域
本发明涉及一种真空腔及真空腔的制备方法。
背景技术
目前，在真空行业中真空***设备根据产品需求和工作场合对设备关键部件的洁净度要求不同。真空腔作为设备中的一个关键部件，是各种执行部件的承载体，同时它也提供了一种真空洁净环境。
现有的真空腔内部支撑件主要由圆柱体、长方体或者组合形状的零件组成，它们是直接焊接在腔室壁上的，与腔室壁有较大的接触面积，且考虑到放气的要求，这些零件与腔室壁间的焊接都是断续焊接。这样的结构方式使两者之间形成狭窄的半封闭空间，很容易藏污纳垢且不易清除，也不利于很好的放气。这在一般真空或洁净度要求不高的设备使用是可以的，但对于太阳能镀膜设备来说，会造成局部藏气、隐藏杂质难以清除、杂质随处飘散的问题，还会对成膜质量造成影响。
发明内容
本发明的目的是提供一种真空腔及真空腔的制备方法，解决支撑零件局部藏污、藏气的问题，且容易清洗，不会污染其他零件。
本发明的真空腔，具有支撑件和腔室壁，其中，所述腔室壁上形成有定位面；所述支撑件的底面上形成有凹陷的洁净区，所述底面位于所述定位面上，并且，所述支撑件与所述腔室壁密封连接；在所述支撑件的顶面上形成有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔贯通至所述洁净区。
如上所述的真空腔，其中，所述支撑件与所述腔室壁满焊连接。
如上所述的真空腔，其中，所述第一螺纹孔至少具有两个。
如上所述的真空腔，其中，在所述顶面上还设置有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述洁净区之间阻断。
如上所述的真空腔，其中，在所述支撑件上形成有放气通孔，所述放气通孔贯通所述支撑件，且与所述第二螺纹孔底部相通。
如上所述的真空腔，其中，所述定位面为形成在所述腔室壁上的凹陷面。
如上所述的真空腔，其中，所述定位面凹陷的深度为1mm-2mm。
如上所述的真空腔，其中，所述洁净区凹陷的深度为2mm-5mm；所述洁净区呈锥形的敞口结构。
本发明真空腔的制备方法，包括在腔室壁上形成定位面；在支撑件的底面上形成凹陷的洁净区，在所述支撑件的顶面上形成贯通至所述洁净区的第一螺纹孔；将所述底面放置于所述定位面上，并将所述支撑件与腔室壁密封连接；使用螺钉与所述第一螺纹孔螺接后，研磨加工所述顶面。
如上所述的真空腔的制备方法，其中，所述支撑件与所述腔室壁满焊焊接，和/或，在所述螺钉与所述第一螺纹孔之间设置有密封垫。
本发明的真空腔中，底面与定位面密封连接，没有边缝，不会藏污纳垢，并且底面上具有洁净区，顶面上具有与洁净区贯通的第一螺纹孔，能够顺畅的放气，不会窝气藏气，同时，通过第一螺纹孔可以直接对清洁区进行清洗，从而整体上提高了真空腔内的洁净度，避免零件的污染。
附图说明
图1为本发明真空腔中支撑件部分的示意图；
图2为本发明真空腔中腔室壁部分的示意图；
图3为本发明真空腔的剖视图；
图4为图3安装螺钉后的剖视图。
附图标记：
支撑件1；腔室壁2；顶面3；底面4；洁净区5；第一螺纹孔6；第二螺纹孔7；放气通孔8；定位面9；螺钉10；密封垫11。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
本发明公开一种真空腔，其具有：支撑件1和腔室壁2。支撑件1在所述真空腔内，该支撑件1为其他部件的装配起到固定支撑或定位支撑作用，这需要支撑件1有一定的形位公差。
腔室壁2上形成有定位面9，支承件1的底面4位于定位面9上，支撑件1和腔室壁2密封连接，密封连接的方式可以是支撑件1的侧壁与腔室壁2接触的部分进行焊接。同时，支撑件1的底面4上还形成有凹陷的洁净区5，洁净区5朝向定位面9，也就是说，洁净区5为敞开的结构，敞口扣在定位面9上，这样洁净区5就形成了一个中空的结构。在一些实施例中，底面4可以和定位面9之间还可以钎焊等方式密封连接。在支撑件1的顶面3上形成有第一螺纹孔6，第一螺纹孔6贯通至洁净区5，供洁净区5放气用。
优选的，支撑件1和腔室壁2满焊连接。通常在机械加工中是按照腔室内部定位处理、零件预加工—焊接—热处理—精加工的工艺路线执行。
对于定位要求较高的支撑件1来说，定位面9为形成在腔室壁2上凹陷的面，凹陷的深度为1mm-2mm定位面9的基本尺寸和公差根据支撑件1的外形尺寸确定。对于定位要求不高的支撑件1来说，定位面9可以不凹陷，例如可以根据支撑件1的外形尺寸在腔室壁2上手动划出主要的定位面9的轮廓线，并对准焊接即可。该轮廓线可以是肉眼可见的，实际线条，也可以是加工设备上的程序限制出的，通过程序控制加工设备将支撑件1的底面与轮廓线对齐，并放置，再进行后续的焊接等操作。
一般的，在制备时，将支撑件1预先加工好部分尺寸，并在高度方向上留有一定的加工余量，为以后的精加工做准备。下面说明如何加工支撑件1，以及加工好的支撑件1的结构。
底面4上加工洁净区5，洁净区5加工成锥面使接触面积最大化，也就是锥形的敞口结构，敞口处的外径较大，凹陷后的凹陷底面的直径较小。在顶面3指向底面4的方向上，洁净区5的直径逐渐增大。洁净区5形成一个中空的空间。该洁净区5凹陷的深度优选的为2mm-5mm。
当然，上述洁净区5加工成锥面仅作为一种优选的实施方式，并不用于限制本申请，其还可以以其他形状用于本申请，例如可以加工成圆柱面等。
顶面3上加工有至少两个第一螺纹孔6，优选的为沉头螺纹孔，其与洁净区5贯通，这样就使洁净区5变成开放的空间。当然该开放的空间，可以通过螺钉10密封，螺钉10与第一螺纹孔6螺接，将第一螺纹孔6封堵，为了提高封堵或者说密封的效果，在螺钉10与第一螺纹孔6之间设置有密封垫11。对应上述第一螺纹孔6为沉头螺纹孔，此处螺钉10可以为沉头螺钉。需要理解，螺钉10的使用一般是在加工生产真空腔时使用的，例如需要对支撑件1的高度进行调整，进行磨削、切削等方式的加工，为了防止加工废料通过第一螺纹孔6进入洁净区5，因此使用螺钉10螺接到第一螺纹孔6，以起到密封作用。
当然，在真空腔使用完成后，也可以将螺钉10螺接到第一螺纹孔6，避免灰尘进入。
进一步，还具有第二螺纹孔7，第二螺纹孔7与洁净区5之间阻断；在支撑件1上形成有放气通孔8，所述放气通孔贯通所述支撑件，且与所述第二螺纹孔7底部相通。该放气通孔8优选的在支撑件1的任一侧壁上，放气通孔8可为预先加工出来的，当然，也可是在多个侧壁上都设置该放气通孔8。在第二螺纹孔7内螺接螺栓或螺钉时，螺栓或者螺钉与第二螺纹孔7之间空隙内的空气，可以经由放气通孔8排出。
下面说明真空腔的制备方法：在腔室壁2上形成定位面9；在支撑件1的底面4上形成凹陷的洁净区5，在支撑件1的顶面3上形成贯通至洁净区5的第一螺纹孔6；将底面4放置于定位面9上，并将支撑件1与腔室壁2密封连接；使用螺钉与所述第一螺纹孔6螺接后，研磨加工所述顶面3。述螺钉10与所述第一螺纹孔6之间设置有密封垫11；支撑件1与所述腔室壁2满焊焊接。
简单来说，可以理解为将加工好的支撑件1(加工好的支承件1可以理解为：加工好清洁区5和第一螺纹孔6等结构的支承件1，当然也可以包括上述第二螺纹孔7和放气通孔8，这里仅是作为说明，不对各个结构一一例举)放置到定位区域，根据焊接工艺要求在焊接支撑件1与腔室壁2间进行满焊处理。定位区域是指定位面9或定位面9的轮廓线，目的就是为了焊接时的定位。
焊接完后会做热处理释放应力，精加工时会对各个零部件进行精加工，例如支撑件1的高度，会做切削处理，一般是在顶面3上进行的，精加工时在上述的第一螺纹孔6上，会依次安装密封垫11和螺钉10，防止切削液流入洁净区造成污染。
第二螺纹孔7和放气通孔8也可以在支撑件1与腔室壁2密封连接之后加工。需要理解，在这种加工顺序下，加工第二螺纹孔7和放气通孔8时，也应依次安装密封垫11和螺钉10，防止加工时污染洁净区5。
清洗时，支撑件1的外部很容易擦拭干净，内部只需要通过第一螺纹孔6进行冲洗即可。
另外，在支撑件1的精加工完成后，还会在支撑件1上设置其他必要的操作工件，该操作工件是真空腔在后续应用中使用的，再此不做赘述。
本发明的真空腔，制造时通过螺钉10可以减少或避免加工中切削液的污染，且利于二次清洗。满焊的连接方式，能降低各种杂质的隐藏。第一螺纹孔6和洁净区5形成了开放的区域，方便后期清洗。
以上依据图式所示的实施例详细说明了本发明的构造、特征及作用效果，以上所述仅为本发明的较佳实施例，但本发明不以图面所示限定实施范围，凡是依照本发明的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种真空腔，其特征在于，具有：
支撑件(1)和腔室壁(2)，其中，
所述腔室壁(2)上形成有定位面(9)；
所述支撑件(1)的底面(4)上形成有凹陷的洁净区(5)，所述底面(4)位于所述定位面(9)上，并且，所述支撑件(1)与所述腔室壁(2)密封连接；
在所述支撑件(1)的顶面(3)上形成有第一螺纹孔(6)，所述第一螺纹孔(6)贯通至所述洁净区(5)。
2.根据权利要求1所述的真空腔，其特征在于，
所述支撑件(1)与所述腔室壁(2)满焊连接。
3.根据权利要求1所述的真空腔，其特征在于，
所述第一螺纹孔(6)至少具有两个。
4.根据权利要求1所述的真空腔，其特征在于，
在所述顶面(3)上还设置有第二螺纹孔(7)，所述第二螺纹孔(7)与所述洁净区(5)之间阻断。
5.根据权利要求4所述的真空腔，其特征在于，
在所述支撑件(1)上形成有放气通孔(8)，所述放气通孔贯通所述支撑件，且与所述第二螺纹孔(7)底部相通。
6.根据权利要求1所述的真空腔，其特征在于，
所述定位面(9)为形成在所述腔室壁(2)上的凹陷面。
7.根据权利要求6所述的真空腔，其特征在于，
所述定位面(9)凹陷的深度为1mm-2mm。
8.根据权利要求1所述的真空腔，其特征在于，
所述洁净区(5)凹陷的深度为2mm-5mm；
所述洁净区(5)呈锥形的敞口结构。
9.一种真空腔的制备方法，其特征在于，
在腔室壁(2)上形成定位面(9)；
在支撑件(1)的底面(4)上形成凹陷的洁净区(5)，在所述支撑件(1)的顶面(3)上形成贯通至所述洁净区(5)的第一螺纹孔(6)；
将所述底面(4)放置于所述定位面(9)上，并将所述支撑件(1)与腔室壁(2)密封连接；
使用螺钉与所述第一螺纹孔(6)螺接后，研磨加工所述顶面(3)。
10.根据权利要求9所述的真空腔的制备方法，其特征在于，
所述支撑件(1)与所述腔室壁(2)满焊焊接；
和/或，
在所述螺钉(10)与所述第一螺纹孔(6)之间设置有密封垫(11)。
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