CN107922113A - 输送车*** - Google Patents

输送车*** Download PDF

Info

Publication number
CN107922113A
CN107922113A CN201680045015.7A CN201680045015A CN107922113A CN 107922113 A CN107922113 A CN 107922113A CN 201680045015 A CN201680045015 A CN 201680045015A CN 107922113 A CN107922113 A CN 107922113A
Authority
CN
China
Prior art keywords
waggon
track
accepting
giving
transported material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201680045015.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107922113B (zh
Inventor
本告阳
本告阳一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN107922113A publication Critical patent/CN107922113A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107922113B publication Critical patent/CN107922113B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G17/00—Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface
    • B65G17/20—Conveyors having an endless traction element, e.g. a chain, transmitting movement to a continuous or substantially-continuous load-carrying surface or to a series of individual load-carriers; Endless-chain conveyors in which the chains form the load-carrying surface comprising load-carriers suspended from overhead traction chains
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B1/00—General arrangement of stations, platforms, or sidings; Railway networks; Rail vehicle marshalling systems
    • B61B1/005—Rail vehicle marshalling systems; Rail freight terminals
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61K—AUXILIARY EQUIPMENT SPECIALLY ADAPTED FOR RAILWAYS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61K1/00—Transferring passengers, articles, or freight to and from moving trains; Slipping or coupling vehicles from or to moving trains
    • B61K1/02—Transferring passengers, articles, or freight to and from moving trains; Slipping or coupling vehicles from or to moving trains transferring articles to and from moving trains, e.g. mailbag catchers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/06—Storage devices mechanical with means for presenting articles for removal at predetermined position or level
    • B65G1/065—Storage devices mechanical with means for presenting articles for removal at predetermined position or level with self propelled cars
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D1/00—Control of position, course, altitude or attitude of land, water, air or space vehicles, e.g. using automatic pilots
    • G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67754—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a batch of workpieces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67757—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a batch of workpieces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
  • Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)

Abstract

本发明提供一种输送车***。输送车***(1)具备：第一输送车(40A)，其在下层轨道(20)沿一个方向行驶；第二输送车(40B)，其在上层轨道沿一个方向行驶；第一授受部(13)，其供被输送物(F)从第二输送车交接并且通过第一输送车获取被输送物；以及第二授受部(15)，其供被输送物从第一输送车交接并且通过第二输送车获取被输送物。区域(10)分别具有第一区域(10A)与第二区域(10B)，下层轨道遍及第一区域与第二区域而配置，在第一区域内配置有第一授受部以及第二授受部，在第二区域内配置有能够在与第一输送车之间授受被输送物的第三授受部(11A)，第一区域内的下层轨道按照顺序沿一个方向分别配置第二授受部、第一授受部，第一区域内的上层轨道按照顺序分别配置第一授受部、第二授受部。

Description

输送车***
技术领域
本发明涉及输送车***。
背景技术
已知有使输送车沿着设置于天花板的轨道行驶来输送物品的输送车***。例如，在半导体工厂等中用于输送物品的输送车***中，配置有：轨道(区域内路径)，其分别在配置有进行相同或者近似的处理的处理装置的多个区域(区域内)进行环绕；以及第二轨道(区域间路径)，其将上述多个区域间连接。输送车在将物品从一个区域向另一个区域输送时，从一个区域的区域内路径经由区域间路径，驶入作为目的的另一个区域的区域内路径。
近年来，随着半导体工厂的大规模化，在区域内路径以及区域间路径这双方，存在输送量的增加即输送车台数增加的趋势。在上述那样结构的输送车***中，各区域内的处理装置的处理能力(吞吐量)存在差别等，由此，若增加输送车台数，则吞吐量较高的区域内的输送车的密度增大，而存在从区域间路径向区域内路径的入口、在区域内路径内的输送车的拥堵慢性化的担忧。
作为实现了在区域内的输送能力提高的输送车***，例如专利文献1的输送车***中，独立于在区域内路径以及区域间路径这双方行驶的第一输送车的行驶轨道，而在吞吐量较高的处理装置的附近局部地配置第二输送车的行驶轨道，在第一输送车与第二输送车之间经由缓冲区交接物品，第二输送车在缓冲区与设备之间交接物品。这样，上述输送车***通过对吞吐量较高的处理装置局部地配置第二输送车，由此，能够局部地提高输送能力。
专利文献1：日本特开2006-224944号公报
然而，在上述现有的***中，在从第一输送车将物品交接给第二输送车时，第一输送车必须从区域间路径进入区域内路径内。因此，若输送量增加，则存在区域内的输送车的密度增大导致拥堵产生的担忧，不能充分有助于区域内整体的输送能力的提高。
发明内容
因此，本发明的一个方面的目的在于，提供一种能够实现输送能力的提高以及输送车的拥堵缓解的输送车***。
本发明的一个方面所涉及的输送车***具备：第一轨道，其构成在多个区域内分别进行环绕的环绕轨道；第一输送车，其在第一轨道沿一个方向行驶；第二轨道，其将多个区域间连接；第二输送车，其在第二轨道沿一个方向行驶；第一授受部，其供被输送物从第二输送车交接并且通过第一输送车获取该被输送物；以及第二授受部，其供被输送物从第一输送车交接并且通过第二输送车获取该被输送物，区域分别具有第一区域与第二区域，第一轨道遍及第一区域与第二区域而配置，在第一区域内配置有第一授受部以及第二授受部，在第二区域内配置有能够在与第一输送车之间授受被输送物的第三授受部，第一区域内的第一轨道配置为：在第一输送车的行驶方向上，按照第二授受部、第一授受部的顺序通过，第一区域内的第二轨道配置为：在第二输送车的行驶方向上，按照第一授受部、第二授受部的顺序通过。
根据该结构的输送车***，能够分别将第一输送车用作区域内输送用的输送车、将第二输送车用作区域间输送用的输送车，由此，不会出现第一输送车在区域间行驶的情况、以及第二输送车在区域内行驶的情况。即，能够通过第一输送车与第二输送车各自分担作用，从而能够不增减在区域内行驶的第一输送车的台数而使之始终恒定。由此，能够使输送车高效地行驶，从而能够缓解拥堵。而且，第一输送车在第一轨道沿一个方向行驶中，在第一授受部从第二输送车获取被输送物，并在第三授受部交接该被输送物，另外，在第三授受部获取被输送物，并在第二授受部将该被输送物交接给第二输送车。另外，相同地，第二输送车在第二轨道沿一个方向行驶中，在第一授受部将被输送物交接给第一输送车，另外，在第二授受部从第一输送车获取该被输送物。这样，第一输送车以及第二输送车在一系列的行驶中，反复进行获取被输送物、交接被输送物这类动作，由此，能够通过第一输送车以及第二输送车高效地进行输送。其结果是，能够实现输送能力的提高、以及输送车的拥堵缓解。
在一实施方式中，第三授受部也可以在沿着第一轨道的方向上配置于第一授受部与第二授受部之间。
在该结构的输送车***中，第一输送车在第一轨道沿一个方向行驶中，在第一授受部从第二输送车获取被输送物，并在第三授受部交接该被输送物，另外，在第三授受部获取被输送物，并在第二授受部将该被输送物交接给第二输送车。这样，第一输送车在一系列的行驶中，能够反复进行获取被输送物、交接被输送物这类动作，从而能够通过第一输送车高效地进行输送。
在一实施方式中，第一授受部以及/或者第二授受部也可以在分别行驶于相互平行配置的第一轨道以及第二轨道的第一输送车以及第二输送车之间，授受被输送物。此外，这里所说的“平行”中也包括大致平行。
根据该结构的输送车***，能够容易地配置可从第一输送车以及第二输送车授受被输送物的第一授受部以及/或者第二授受部。
在一实施方式中，第一输送车以及第二输送车也可以在相互平行配置的第一轨道以及第二轨道沿相同的方向行驶。此外，这里所说的“平行”中也包括大致平行。
在一实施方式中，第一授受部以及/或者第二授受部也可以配置于第一轨道以及第二轨道中的一方的下方的第一轨道以及第二轨道中的另一方的侧方。
根据该结构的输送车***，能够节约输送车***的设备面积的空间。另外，在第一授受部以及/或者第二授受部授受被输送物的第一输送车以及/或者第二输送车能够通过仅进行升降台的升降以及升降台的横向输送的一方的简易控制来授受被输送物。由此，能够缩短被输送物的授受所需要的时间。另外，能够对第一输送车或者第二输送车采用没有横向输送机构的输送车。
在一实施方式中，第一授受部以及/或者第二授受部也可以配置于第二轨道的下方的第一轨道的侧方。
在一实施方式中，也可以为如下：在第一授受部配置有多个第一载置部，第二输送车从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部优先交接被输送物，第一输送车从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部优先获取被输送物。
根据该结构的输送车***，第二输送车能够在较早的阶段将被输送物交接给第一授受部，第一输送车能够在较早的阶段从第一授受部获取被输送物。由此，第二输送车的交接被输送物的机会增加，第一输送车的获取被输送物的机会增加，从而能够从第二输送车向第一输送车高效地进行被输送物的授受。
在一实施方式中，也可以为如下：在第二授受部配置有多个第二载置部，第一输送车从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部优先交接被输送物，第二输送车从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部优先获取被输送物。
根据该结构的输送车***，第一输送车能够在较早的阶段将被输送物交接给第二授受部，第二输送车能够在较早的阶段从第二授受部获取被输送物。由此，第一输送车的交接被输送物的机会增加，第二输送车的获取被输送物的机会增加，从而能够从第一输送车向第二输送车高效地进行被输送物的授受。
在一实施方式中，也可以在第二区域配置有沿着第一轨道进行相同或者近似的处理的处理装置，经由第三授受部在第一输送车与处理装置之间进行被输送物的授受。
根据该结构的输送车***，能够提供可与区域方式对应的输送车***。
根据本发明的一个方面，能够实现输送能力的提高以及输送车的拥堵缓解。
附图说明
图1是表示一实施方式所涉及的输送车***的结构的结构图。
图2是放大表示图1的输送车***的一部分结构的俯视图。
图3是从图1的III-III线观察的主视图。
图4的(a)是表示第二输送车在第一授受部授受被输送物的授受方法的主视图，图4的(b)是表示第一输送车在第一授受部授受被输送物的授受方法的主视图。
图5的(a)是表示第二输送车在第二授受部授受被输送物的授受方法的主视图，图5的(b)是表示第一输送车在第二授受部授受被输送物的授受方法的主视图。
图6是表示图1的第一输送车以及第二输送车的结构的一个例子的侧视图。
图7是从图1的III-III线观察变形例2所涉及的输送车***的主视图。
图8是从图1的III-III线观察变形例3所涉及的输送车***的主视图。
具体实施方式
以下，参照附图对一实施方式进行说明。在附图的说明中，对相同要素标注相同附图标记，并省略重复的说明。
如图1所示，输送车***1是用于在配置有进行相同或者近似的处理的多个处理装置11的区域10间，使用能够沿着轨道移动的第一输送车40A以及第二输送车40B来输送被输送物F(例如，参照图3)的***。被输送物F的例子是FOUP(Front Opening Unified Pod：前端开口片盒)。这里，例如，列举在半导体工厂等中，第一输送车40A以及第二输送车40B沿着铺设于工厂的天花板等的单向通行的轨道行驶的输送车***1为例进行说明。
如图1所示，输送车***1主要具备：下层轨道(第一轨道)20；在下层轨道20沿一个方向行驶的第一输送车40A；第三授受部11A；设置于比下层轨道20靠上方的上层轨道(第二轨道)30；在上层轨道30沿一个方向行驶的第二输送车40B；第一授受部13；第二授受部15；以及***控制器80。区域10具有：配置有第一授受部13以及第二授受部15的第一区域10A；以及配置有处理装置11以及第三授受部11A的第二区域10B。
下层轨道20具有下层区域内路径20A、下层区域间路径20B、以及联络路径20C。下层区域内路径20A是配置于区域10内且沿一个方向环绕的轨道。配置于区域10内的多个处理装置11沿着下层区域内路径20A配置。下层区域间路径20B是将配置于相互不同的区域10内的下层区域内路径20A彼此连接的轨道。联络路径20C是将下层区域内路径20A与下层区域间路径20B连接的轨道。多台第一输送车40A在下层轨道20行驶。下层区域内路径20A遍及第一区域10A与第二区域10B而配置。在下层区域内路径20A行驶的第一输送车40A的行驶方向上，第二授受部15配置于第一授受部13的上游侧。即，第一区域10A内的下层区域内路径20A配置为：在第一输送车40A的行驶方向上，按照第二授受部15、第一授受部13的顺序通过。
第三授受部11A是在处理装置11与第一输送车40A之间授受被输送物F的端口。第三授受部11A配置于多个处理装置11的各自的前方。
上层轨道30是配置于下层轨道20的上方的轨道，具有上层区域间路径30A、以及驶入部30B。上层区域间路径30A是将区域10间连接的轨道。驶入部30B是从上层区域间路径30A分支驶入至区域10内的第一区域10A的一部分，并再次返回至上层区域间路径30A的轨道。多台第二输送车40B在上层轨道30行驶。在驶入部30B行驶的第二输送车40B的行驶方向上，第一授受部13配置于第二授受部15的上游侧。即，第一区域10A内的驶入部30B配置为：在第二输送车40B的行驶方向上，按照第一授受部13、第二授受部15的顺序通过。
此外，后面进行详述，在区域间输送被输送物F时，原则上通过在上层区域间路径30A行驶的第二输送车40B来进行。下层区域间路径20B原则上在正常输送时不使用，而例如在上层区域间路径30A不能使用时等的紧急情况下使用。这样，在正常输送时，分别将下层轨道20用作区域内输送用的轨道、将上层轨道30用作区域间输送用的轨道，由此，能够缓解区域内路径的拥堵。
此外，上层区域间路径30A配置于下层区域间路径20B的上方，但在图1以及图2中，为了便于说明，将下层区域间路径20B以及上层区域间路径30A左右排列地记载(图1以及图2的右侧)。
第一授受部13是供被输送物F从第二输送车40B交接并且通过第一输送车40A获取被输送物F的端口。第一授受部13被来自未图示的天花板的吊挂部件吊挂。即，如图3所示，第一授受部13设置于远离地面14的位置。第一授受部13在分别行驶于当俯视的情况下相互平行配置的下层区域内路径20A以及驶入部30B的第一输送车40A以及第二输送车40B之间，授受被输送物F。
如图2所示，第一授受部13沿着一个方向(第二输送车40B的行驶方向)配置有多个(在本实施方式中，为五个)第一载置部13A～13E。在驶入部30B行驶并进入了区域10的第二输送车40B从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13A优先交接被输送物F。另外，第一输送车40A从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13A优先获取被输送物F。
另外，如图3所示，第一授受部13配置于在驶入部30B行驶的第二输送车40B的下方，并配置于在下层区域内路径20A行驶的第一输送车40A的侧方。此外，第一输送车40A以及第二输送车40B在当俯视的情况下相互平行配置的下层区域内路径20A以及驶入部30B沿相同的方向行驶。
从第二输送车40B向第一输送车40A授受被输送物F的授受方法如下述。即，如图4的(a)所示，在驶入部30B行驶的第二输送车40B在第一授受部13(例如，第一载置部13A)的上方停止。第二输送车40B驱动在后段进行详述的升降驱动部43，而向第一载置部13A载置被输送物F。由此，从第二输送车40B向第一授受部13的被输送物的交接结束。
接下来，如图4的(b)所示，在下层区域内路径20A行驶的第一输送车40A在第一授受部13(例如，第一载置部13A)的侧方停止。第一输送车40A驱动在后段进行详述的横向驱动器41以及升降驱动部43(参照图6)，而从第一载置部13A获取被输送物F。由此，从第一授受部13向第一输送车40A的被输送物F的交接结束。即，从第二输送车40B向第一输送车40A的被输送物F的交接结束。
返回至图1，第二授受部15是供被输送物F从第一输送车40A交接并且通过第二输送车40B获取被输送物F的端口。第二授受部15被来自未图示的天花板的吊挂部件吊挂。即，如图3所示，第二授受部15设置于远离地面14的位置。第二授受部15在分别行驶于当俯视的情况下相互平行配置的下层区域内路径20A以及驶入部30B的第一输送车40A以及第二输送车40B之间，授受被输送物F。
如图2所示，第二授受部15沿着一个方向配置有多个(在本实施方式中，为五个)第二载置部15A～15E。例如，从第三授受部11A获取被处理装置11处理了的被输送物F的第一输送车40A从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15A优先交接被输送物F。另外，第二输送车40B从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15A优先获取被输送物F。
另外，如图3所示，第二授受部15配置于在驶入部30B行驶的第二输送车40B的下方，并配置于在下层区域内路径20A行驶的第一输送车40A的侧方。此外，第一输送车40A以及第二输送车40B在当俯视的情况相互平行配置的下层区域内路径20A以及驶入部30B沿相同的方向行驶。
从第一输送车40A向第二输送车40B授受被输送物F的授受方法如下述。即，如图5的(a)所示，在下层区域内路径20A行驶的第一输送车40A在第二授受部15(例如，第二载置部15A)的侧方停止。第一输送车40A驱动在后段进行详述的横向驱动器41以及升降驱动部43(参照图6)，而向第二载置部15A交接被输送物F。由此，从第一输送车40A向第二授受部15的被输送物F的交接结束。
接下来，如图5的(b)所示，在驶入部30B行驶的第二输送车40B在第二授受部15(例如，第二载置部15A)的上方停止。第二输送车40B驱动在后段进行详述的升降驱动部43，而从第二载置部15A获取被输送物F。由此，从第二授受部15向第二输送车40B的被输送物F的交接结束。即，从第一输送车40A向第二输送车40B的被输送物F的交接结束。
接下来，对在下层轨道20以及上层轨道30分别行驶的第一输送车40A以及第二输送车40B的结构进行说明。第一输送车40A以及第二输送车40B是在将被输送物F吊挂的状态下把持被输送物F进行输送的OHT(Overhead Hoist Transport：高架提升传输)。如图6所示，第一输送车40A以及第二输送车40B具有横向驱动器41、θ驱动器42、升降驱动部43、以及升降台44。
横向驱动器41是使θ驱动器42、升降驱动部43以及升降台44在水平面内向与行驶导轨(下层轨道20以及上层轨道30)正交的方向移动的部分。θ驱动器42是在水平面内使升降驱动部43以及升降台44转动的部分。
升降驱动部43是通过带45的卷紧以及放出使升降台44升降的部分。此外，升降驱动部43的带45也可以使用线以及绳索等适当的吊持部件。在升降台44的下部设置有用于把持被输送物F的卡盘46。分别设置于第一输送车40A以及第二输送车40B的前后的前框架47A以及后框架47B使未图示的掉落防止片向被输送物F的下侧进退，从而防止被输送物F掉落。
如图1所示，***控制器80是执行输送车***1整体的各种控制处理的部分，例如，是由CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)以及RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)等构成的电子控制单元。
在本实施方式中，***控制器80例如以从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13A优先交接被输送物F的方式对第二输送车40B进行控制，或以从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13A优先获取被输送物F的方式对第一输送车40A进行控制。另外，***控制器80例如以从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15A优先交接被输送物F的方式对第一输送车40A进行控制，或以从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15A优先获取被输送物F的方式对第二输送车40B进行控制。
接下来，针对上述实施方式的输送车***1的作用效果进行说明。根据上述实施方式的输送车***1，能够分别将第一输送车40A用作区域内输送专用的输送车、将第二输送车40B用作区域间输送专用的输送车，由此，不会出现第一输送车40A在区域间行驶、以及第二输送车40B在区域内行驶的情况。即，能够通过第一输送车40A与第二输送车40B各自分担作用，从而能够不增减在区域内行驶的第一输送车40A的台数而使之始终恒定。由此，能够使第一输送车40A以及第二输送车40B高效地行驶，而能够缓解拥堵。根据上述实施方式的输送车***1，第一输送车40A在下层区域内路径20A沿一个方向行驶中，在第一授受部13从第二输送车40B获取被输送物F，并在第三授受部11A交接该被输送物F，另外，在第三授受部11A获取被输送物F，并在第二授受部15将该被输送物F交接给第二输送车40B。另外，相同地，第二输送车40B在驶入部30B沿一个方向行驶中，在第一授受部13将被输送物F交接给第一输送车40A，另外，在第二授受部15从第一输送车40A获取该被输送物F。这样，第一输送车40A以及第二输送车40B在一系列的行驶中，反复进行获取被输送物F交接被输送物F这类动作，由此，能够通过第一输送车40A以及第二输送车40B高效地进行输送。其结果是，能够实现输送能力的提高、以及输送车的拥堵缓解。
在上述实施方式的输送车***1中，第一授受部13以及第二授受部15在分别行驶于相互平行配置的下层区域内路径20A以及驶入部30B的第一输送车40A以及第二输送车40B之间，授受被输送物F。由此，能够容易地配置可从第一输送车40A以及第二输送车40B授受被输送物F的第一授受部13以及第二授受部15。
在上述实施方式的输送车***1中，第一授受部13以及第二授受部15配置于在驶入部30B行驶的第二输送车40B的下方，并配置于在下层区域内路径20A行驶的第一输送车40A的侧方，由此，能够节约输送车***1整体的设备面积的空间。另外，第一输送车40A可通过仅进行升降台的横向输送的简易控制来相对于第一授受部13以及第二授受部15进行被输送物F的授受，另外，第二输送车40B可通过仅进行升降台的升降的简易控制来相对于第一授受部13以及第二授受部15进行被输送物F的授受，由此，能够缩短被输送物F的授受所需要的时间。
在上述实施方式的输送车***1中，在第一授受部13配置有多个第一载置部13A、13B、13C、13D、13E，第二输送车40B从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13A优先交接被输送物F，第一输送车40A从沿一个方向配置于上游侧的第一载置部13A优先获取被输送物。由此，第二输送车40B能够在较早的阶段将被输送物F交接给第一授受部13，第一输送车40A能够在较早的阶段从第一授受部13获取被输送物F。其结果是，第二输送车40B的交接被输送物F的机会增加，第一输送车40A的获取被输送物F的机会增加，从而能够从第二输送车40B向第一输送车40A高效地进行被输送物F的授受。
在上述实施方式的输送车***1中，在第二授受部15配置有多个第二载置部15A、15B、15C、15D、15E，第一输送车40A从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15A优先交接被输送物F，第二输送车40B从沿一个方向配置于上游侧的第二载置部15A优先获取被输送物。由此，第一输送车40A能够在较早的阶段将被输送物F交接给第二授受部15，第二输送车40B能够在较早的阶段从第二授受部15获取被输送物F。其结果是，第一输送车40A的交接被输送物F的机会增加，第二输送车40B的获取被输送物F的机会增加，从而能够从第一输送车40A向第二输送车40B高效地进行被输送物F的授受。
以上，针对本发明的一实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，而能够在不脱离发明的主旨的范围内进行各种变更。
＜变形例1＞
在上述实施方式的输送车***1中，列举以下的例子进行了说明：在下层轨道20行驶的第一输送车40A以及在上层轨道30行驶的第二输送车40B这两方具备横向驱动器41的例子、即具备将被输送物F向与轨道正交的方向进行横向输送的机构的例子。然而，在第一授受部13以及第二授受部15配置于在上层轨道30行驶的第二输送车40B的下方的本实施方式中，第二输送车40B也可以构成为不具备横向驱动器41。此时，能够廉价地构成输送车***1。
＜变形例2＞
另外，也可以取代上述实施方式或者变形例的结构，而例如，如图7所示，将第一授受部13以及第二授受部15配置在行驶于将多个区域10间连接的第二轨道130的第二输送车40B的侧方，并配置在行驶于在区域10环绕的第一轨道120的第一输送车40A的下方。在这种情况下，若将第三授受部11A配置在行驶于第一轨道120的第一输送车40A的下方，则第一输送车40A也可以构成为不具备横向驱动器41。此时，能够廉价地构成输送车***1。
＜变形例3＞
另外，也可以取代上述实施方式或者变形例的结构，而例如，如图8所示，将第一授受部13以及第二授受部15分别配置在行驶于将多个区域10间连接的第二轨道230的第二输送车40B以及行驶于在区域10环绕的第一轨道220的第一输送车40A的侧方。
附图标记说明：
1…输送车***；10…区域；10A…第一区域；10B…第二区域；11…处理装置；11A…第三授受部；13…第一授受部；13A～13E…第一载置部；15…第二授受部；15A～15E…第二载置部；20…下层轨道(第一轨道)；20A…下层区域内路径；20B…下层区域间路径；20C…联络路径；30…上层轨道(第二轨道)；30A…上层区域间路径；30B…驶入部；40A…第一输送车；40B…第二输送车；80…***控制器；120、220…第一轨道；130、230…第二轨道；F…被输送物。

Claims (9)

1.一种输送车***，其中，具备：
第一轨道，其构成在多个区域内分别进行环绕的环绕轨道；
第一输送车，其在所述第一轨道沿一个方向行驶；
第二轨道，其将多个所述区域间连接；
第二输送车，其在所述第二轨道沿一个方向行驶；
第一授受部，其供被输送物从所述第二输送车交接并且通过所述第一输送车获取该被输送物；以及
第二授受部，其供所述被输送物从所述第一输送车交接并且通过所述第二输送车获取该被输送物，
所述区域分别具有第一区域与第二区域，
所述第一轨道遍及所述第一区域与所述第二区域而配置，
在所述第一区域内配置有所述第一授受部以及所述第二授受部，在所述第二区域内配置有能够在与所述第一输送车之间授受所述被输送物的第三授受部，
所述第一区域内的所述第一轨道配置为：在所述第一输送车的行驶方向上，按照所述第二授受部、所述第一授受部的顺序通过，
所述第一区域内的所述第二轨道配置为：在所述第二输送车的行驶方向上，按照所述第一授受部、所述第二授受部的顺序通过。
2.根据权利要求1所述的输送车***，其中，
所述第三授受部在沿着所述第一轨道的方向上配置于所述第一授受部与所述第二授受部之间。
3.根据权利要求1或2所述的输送车***，其中，
所述第一授受部以及/或者所述第二授受部在分别行驶于相互平行配置的所述第一轨道以及所述第二轨道的所述第一输送车以及所述第二输送车之间，授受所述被输送物。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的输送车***，其中，
所述第一输送车以及所述第二输送车在相互平行配置的所述第一轨道以及所述第二轨道沿相同的方向行驶。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的输送车***，其中，
所述第一授受部以及/或者所述第二授受部配置于所述第一轨道以及所述第二轨道中的一方的下方的所述第一轨道以及所述第二轨道中的另一方的侧方。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的输送车***，其中，
所述第一授受部以及/或者所述第二授受部配置于所述第二轨道的下方的所述第一轨道的侧方。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的输送车***，其中，
在所述第一授受部配置有多个第一载置部，
所述第二输送车从沿所述一个方向配置于上游侧的所述第一载置部优先交接所述被输送物，
所述第一输送车从沿所述一个方向配置于上游侧的所述第一载置部优先获取所述被输送物。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的输送车***，其中，
在所述第二授受部配置有多个第二载置部，
所述第一输送车从沿所述一个方向配置于上游侧的所述第二载置部优先交接所述被输送物，
所述第二输送车从沿所述一个方向配置于上游侧的所述第二载置部优先获取所述被输送物。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的输送车***，其中，
在所述第二区域配置有沿着所述第一轨道进行相同或者近似的处理的处理装置，经由所述第三授受部在所述第一输送车与所述处理装置之间进行所述被输送物的授受。
CN201680045015.7A 2015-08-14 2016-06-17 输送车*** Active CN107922113B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015160168 2015-08-14
JP2015-160168 2015-08-14
PCT/JP2016/068137 WO2017029873A1 (ja) 2015-08-14 2016-06-17 搬送車システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107922113A true CN107922113A (zh) 2018-04-17
CN107922113B CN107922113B (zh) 2019-08-27

Family

ID=58050766

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201680045015.7A Active CN107922113B (zh) 2015-08-14 2016-06-17 输送车***

Country Status (9)

Country Link
US (1) US10196214B2 (zh)
EP (1) EP3336016B1 (zh)
JP (1) JP6493538B2 (zh)
KR (1) KR102069778B1 (zh)
CN (1) CN107922113B (zh)
IL (1) IL257239B (zh)
SG (1) SG11201800794UA (zh)
TW (1) TWI683762B (zh)
WO (1) WO2017029873A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115151494A (zh) * 2020-03-02 2022-10-04 村田机械株式会社 自动仓库***以及自动仓库***的控制方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6690497B2 (ja) * 2016-10-28 2020-04-28 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN110831873B (zh) * 2017-06-30 2021-07-16 村田机械株式会社 搬运***以及搬运方法
US11069549B2 (en) 2017-08-16 2021-07-20 Murata Machinery, Ltd. Overhead transport vehicle, overhead transport system, and control method for overhead transport vehicle
JP6928312B2 (ja) * 2017-12-12 2021-09-01 村田機械株式会社 搬送車システム及び搬送車システムでの搬送車の配備方法
EP3789266B1 (en) * 2018-05-01 2023-03-01 Murata Machinery, Ltd. Carrier system
EP3915902B1 (en) 2019-01-25 2024-04-03 Murata Machinery, Ltd. Transport system
EP3943414A4 (en) * 2019-03-22 2022-11-16 Murata Machinery, Ltd. TRANSPORT VEHICLE SYSTEM
JP2024011483A (ja) 2022-07-14 2024-01-25 株式会社ダイフク 搬送システム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06100163A (ja) * 1992-09-24 1994-04-12 Daifuku Co Ltd 台車使用の搬送設備
JP2006224944A (ja) * 2005-01-20 2006-08-31 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
CN102431798A (zh) * 2010-09-27 2012-05-02 株式会社大福 物品运送设备
CN102470985A (zh) * 2009-11-27 2012-05-23 株式会社大福 顶棚输送车

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5842917A (en) * 1996-01-11 1998-12-01 United Microelectronics Corproration Automated manufacturing plant for semiconductor devices
US6089811A (en) * 1998-12-25 2000-07-18 Fujitsu Limited Production line workflow and parts transport arrangement
JP2004010250A (ja) 2002-06-06 2004-01-15 Murata Mach Ltd 無人搬送車システム
TWI233913B (en) * 2002-06-06 2005-06-11 Murata Machinery Ltd Automated guided vehicle system
US7077264B2 (en) * 2003-01-27 2006-07-18 Applied Material, Inc. Methods and apparatus for transporting substrate carriers
TWI246501B (en) * 2003-02-03 2006-01-01 Murata Machinery Ltd Overhead traveling carriage system
US6990721B2 (en) * 2003-03-21 2006-01-31 Brooks Automation, Inc. Growth model automated material handling system
US7637708B2 (en) * 2006-01-09 2009-12-29 Sumco Corporation Production system for wafer
KR101492886B1 (ko) * 2007-07-09 2015-02-12 미들섹스 제네랄 인더스트리즈, 이이앤씨 모노레일 공장 운송 시스템의 차량 이용률 및 처리량을 개선하기 위한 시스템 및 방법
JP5369560B2 (ja) 2008-09-10 2013-12-18 村田機械株式会社 搬送装置
TW201013820A (en) * 2008-09-24 2010-04-01 Inotera Memories Inc Automatic transport system and control method thereof
JP5212165B2 (ja) * 2009-02-20 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP5686501B2 (ja) * 2009-03-27 2015-03-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5141987B2 (ja) * 2009-12-07 2013-02-13 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5440870B2 (ja) * 2010-08-19 2014-03-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN202967393U (zh) * 2012-12-04 2013-06-05 上海集成电路研发中心有限公司 自动搬送轨道结构及搬送***
US9633879B2 (en) * 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
JP6698399B2 (ja) * 2016-03-29 2020-05-27 北陽電機株式会社 搬送制御装置及び搬送台車の合流点通過方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06100163A (ja) * 1992-09-24 1994-04-12 Daifuku Co Ltd 台車使用の搬送設備
JP2006224944A (ja) * 2005-01-20 2006-08-31 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
CN102470985A (zh) * 2009-11-27 2012-05-23 株式会社大福 顶棚输送车
CN102431798A (zh) * 2010-09-27 2012-05-02 株式会社大福 物品运送设备

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115151494A (zh) * 2020-03-02 2022-10-04 村田机械株式会社 自动仓库***以及自动仓库***的控制方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107922113B (zh) 2019-08-27
US20180229936A1 (en) 2018-08-16
IL257239A (en) 2018-03-29
TW201711884A (zh) 2017-04-01
EP3336016B1 (en) 2021-06-16
IL257239B (en) 2021-05-31
KR102069778B1 (ko) 2020-01-23
EP3336016A1 (en) 2018-06-20
WO2017029873A1 (ja) 2017-02-23
US10196214B2 (en) 2019-02-05
JPWO2017029873A1 (ja) 2018-05-24
JP6493538B2 (ja) 2019-04-03
TWI683762B (zh) 2020-02-01
KR20180038513A (ko) 2018-04-16
SG11201800794UA (en) 2018-02-27
EP3336016A4 (en) 2019-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107922113A (zh) 输送车***
JP6202199B2 (ja) 搬送システム及び搬送方法
TWI671250B (zh) 搬運系統
JPWO2015174181A6 (ja) 搬送システム及び搬送方法
TWI564196B (zh) 物品搬送設備
CN1891582B (zh) 物品收纳设备
JP6048686B2 (ja) 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
CN110603209B (zh) 自动仓库***
JP6210441B2 (ja) 天井保管システム及び天井スペースでの荷物の保管方法
CN107055019A (zh) 物品搬运设备
JP2018070327A (ja) 物品搬送設備
JP2012114406A (ja) 搬送システム及び搬送方法
TW201210922A (en) Article transport facility(II)
JP4470576B2 (ja) 搬送システム
TW201312688A (zh) 懸吊式晶圓傳輸系統
JP2010064833A (ja) 搬送装置
CN108290687B (zh) 保管装置以及输送***
JP2016175711A (ja) 昇降搬送装置
WO2013183384A1 (ja) 搬送システム及び搬送車システムでの排他制御方法
CN101479679A (zh) 由自动搬运车与工件堆积台车构成的工件搬运设备***
TW201139239A (en) Transporting vehicle system
JP4127138B2 (ja) 搬送システム
JP2013141034A (ja) 搬送システム及び搬送方法
JP5422928B2 (ja) 走行システム
JP2004277166A (ja) 自動倉庫における複数台スタッカクレーンの運用方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant