CN107717750B - 硅片打磨用喷砂机 - Google Patents

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Abstract

本发明一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐和收尘箱，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构，喷砂箱包括喷砂箱箱体，喷砂箱箱体从上往下依次分为管道层、工作层和收集层，进砂机构包括储砂罐，储砂罐上端与收集层下端之间设有电磁阀，喷砂机构包括三通接头和分别位于三通接头出口两端的喷砂头和喷气头，喷气头与三通接头之间设有滤网，收尘机构包括喷砂箱箱体工作层后部的收尘仓、工作层内部后端两侧的导轨组、工作层内部后端一侧的丝杆、导轨组内的挡板和工作层后端底部的调节机构；本发明提供一种具有吹散灰尘的喷气头和可调节收尘机构的硅片打磨用喷砂机。

Description

硅片打磨用喷砂机
技术领域
本发明属于硅片生产设备技术领域，具体涉及一种硅片打磨用喷砂机。
背景技术
在硅片切割成型后，需要用磨料对硅片表面进行冲击和切削，把硅片表面的杂质、杂色清除掉，使硅片表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，这个过程通常通过喷砂机来进行。
现有的喷砂机一般是设有磨料循环***，将磨料不断喷射到硅片表面，磨料在喷射过程中会破碎，减低打磨效果，有的喷砂机也设有收尘装置，但收尘口高度不可调，对于不同的磨料起不到应有的效果，会将没有破碎的磨料也收集走，降低了磨料的利用率，增加了生产成本，并且在打磨时会荡起大量灰尘，操作人员无法看清硅片的打磨情况，影响硅片的质量。
为此，我们提出一种硅片打磨用喷砂机。
发明内容
本发明的目的在于克服现有的不足，提供一种具有吹散灰尘的喷气头和可调节收尘机构的硅片打磨用喷砂机。
为实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：
一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐和收尘箱，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构；
所述喷砂箱包括喷砂箱箱体，所述喷砂箱箱体从上往下依次分为管道层、工作层和收集层，所述管道层内部和顶部分别设有喷砂机构和顶板，所述工作层一侧设有铰接的门板，工作层前端上部和下部分别设有透视窗和操作手套，工作层后端设有开口，工作层后部设有收尘机构，所述收集层呈倒置的金字塔形，所述金字塔形下部连接有进砂机构，管道层和工作层之间设有隔板，所述隔板下表面设有照明灯，工作层和收集层之间设有滤板，喷砂箱箱体下部设有立柱；
所述收尘箱包括收尘箱箱体，所述收尘箱箱体分为上下两层，所述上层和下层内分别设有收纳盒和涡流风机，上层后部与收尘机构连通；
所述进砂机构包括储砂罐，所述储砂罐中部呈圆柱形、上下两端呈锥形，储砂罐与所述压力罐连通，储砂罐上端和下端分别与收集层下端和进砂机构连通，储砂罐上端与收集层下端之间设有电磁阀；
所述喷砂机构包括三通接头和分别位于三通接头出口两端的喷砂头和喷气头，所述三通接头进口端与储砂罐连通，所述喷砂头和喷气头均穿过隔板且端头朝下，所述喷气头与三通接头之间设有滤网；
所述收尘机构包括喷砂箱箱体工作层后部的收尘仓、工作层内部后端两侧的导轨组、工作层内部后端一侧的丝杆、导轨组内的挡板和工作层后端底部的调节机构，所述收尘仓前端与喷砂箱箱体工作层后表面固定连接、后端与收尘箱箱体上层后部连通，所述挡板呈矩形，挡板中部设有开槽，挡板底部一侧设有滑块，所述丝杆两端分别与隔板和滤板转动连接，所述滑块套合在丝杆上，所述调节机构穿过喷砂箱箱体工作层后部和导轨组与丝杆传动连接。
进一步地，所述滤板上均布有若干过滤孔。
进一步地，所述喷气头位于透视窗与喷砂头之间。
进一步地，所述导轨组包括L形导轨和T形导轨。
进一步地，所述丝杆底部固定有蜗轮。
进一步地，所述调节机构包括调节杆，所述调节杆与喷砂箱箱体工作层后部和T形导轨转动连接，调节杆一端设有调节手柄、另一端设有蜗杆，所述蜗杆与蜗轮啮合。
进一步地，所述三通接头的两个出口竖直放置，上部出口和下部出口分别连通至喷气头和喷砂头。
本发明的有益效果是：
1. 喷砂箱连通有收尘箱，能够将粉碎的磨料收集到收尘箱中，减少打磨中产生的粉尘，保障操作人员的健康，并且收取粉尘后会提高有效磨料的利用率，在同等动能的情况下提升打磨质量，节省打磨时间。
2. 喷砂机构包括三通接头和分别位于三通接头出口两端的喷砂头和喷气头，喷气头位于透视窗与喷砂头之间，在打磨时喷沙头将磨料喷射到硅片上进行打磨，喷气头能将打磨时产生的粉尘吹开，操作人员能清楚的看到硅片的打磨情况，提升打磨质量，减少不必要的打磨，节省打磨时间，提高打磨效率。
3. 收尘机构包括喷砂箱箱体工作层后部的收尘仓、工作层内部后端两侧的导轨组、工作层内部后端一侧的丝杆、导轨组内的挡板和工作层后端底部的调节机构，根据硅块大小和不同磨料的密度以及使用情况，通过调节机构能够调节挡板开槽的高低，能更加有效的收集打磨中产生的粉尘，减少有效磨料的收取，提高粉尘的收集率、磨料的利用率，降低生产成本。
附图说明
图1是本发明硅片打磨用喷砂机的结构示意图。
图2是本发明硅片打磨用喷砂机的俯视图。
图3是本发明硅片打磨用喷砂机的喷砂箱左视剖面图。
图4是本发明硅片打磨用喷砂机的喷砂箱右视剖面图。
图5是本发明硅片打磨用喷砂机图3的A-A处剖视图。
图6是本发明硅片打磨用喷砂机图3的B-B处剖视图。
图7是本发明硅片打磨用喷砂机工作层的正向剖视图。
附图中标号为：1为压力罐，2为喷砂箱箱体，3为顶板，4为门板，5为透视窗，6为操作手套，7为隔板，8为照明灯，9为滤板，10为立柱，11为收尘箱箱体，12为收纳盒，13为涡流风机，14为储砂罐，15为电磁阀，16为三通接头，17为喷砂头，18为喷气头，19为滤网，20为收尘仓，21为丝杆，22为挡板，23为滑块，24为L形导轨，25为T形导轨，26为蜗轮，27为调节杆，28为调节手柄，29为蜗杆，201为管道层，202为工作层，203为收集层。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细描述。
如图1~图7所示，一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐1和收尘箱，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构；
所述喷砂箱包括喷砂箱箱体2，所述喷砂箱箱体2从上往下依次分为管道层201、工作层202和收集层203，所述管道层201内部和顶部分别设有喷砂机构和顶板3，所述工作层202一侧设有铰接的门板4，工作层202前端上部和下部分别设有透视窗5和操作手套6，工作层202后端设有开口，工作层202后部设有收尘机构，所述收集层203呈倒置的金字塔形，所述金字塔形下部连接有进砂机构，管道层201和工作层202之间设有隔板7，所述隔板7下表面设有照明灯8，工作层202和收集层203之间设有滤板9，喷砂箱箱体2下部设有立柱10；打磨时，操作人员双手***操作手套6，通过透视窗5查看硅片的打磨情况，磨料从进砂机构从喷砂机构喷出，磨料破损产生的灰尘由收尘机构吸走，硅片打磨掉的大块碎片掉落到滤板9上，喷射打磨过的磨料经过滤板9收集到收集层203内；
所述收尘箱包括收尘箱箱体11，所述收尘箱箱体11分为上下两层，所述上层和下层内分别设有收纳盒12和涡流风机13，上层后部与收尘机构连通；打磨时，涡流风机13启动，将磨料粉尘经由收尘机构吸入收尘箱箱体11上层，掉落在收纳盒12内，工作结束后操作人员将收纳盒12取出清理；
所述进砂机构包括储砂罐14，所述储砂罐14中部呈圆柱形、上下两端呈锥形，储砂罐14与所述压力罐1连通，储砂罐14上端和下端分别与收集层203下端和进砂机构连通，储砂罐14上端与收集层203下端之间设有电磁阀15；打磨前将磨料放入储砂罐14中，打磨时电磁阀15闭合，压力罐1向储砂罐14通入压缩空气将储砂罐14内的磨料输送至喷砂机构对硅片进行喷砂打磨，打磨结束后，电磁阀15打开，收集层203内的磨料受重力进入储砂罐14中；
所述喷砂机构包括三通接头16和分别位于三通接头16出口两端的喷砂头17和喷气头18，所述三通接头16进口端与储砂罐14连通，所述喷砂头17和喷气头18均穿过隔板7且端头朝下，所述喷气头18与三通接头16之间设有滤网19；打磨时磨料和压缩空气通过进砂机构进入三通接头16的进口端，磨料被滤网19阻隔只能从喷砂头17喷出对硅片进行打磨，一部分压缩空气通过滤网19从喷气头18喷出，将透视窗5与硅片之间的磨料粉尘吹散；
所述收尘机构包括喷砂箱箱体2工作层202后部的收尘仓20、工作层202内部后端两侧的导轨组、工作层202内部后端一侧的丝杆21、导轨组内的挡板22和工作层202后端底部的调节机构，所述收尘仓20前端与喷砂箱箱体2工作层202后表面固定连接、后端与收尘箱箱体11上层后部连通，所述挡板22呈矩形，挡板22中部设有开槽，挡板22底部一侧设有滑块23，所述丝杆21两端分别与隔板7和滤板9转动连接，所述滑块23套合在丝杆21上，所述调节机构穿过喷砂箱箱体2工作层202后部和导轨组与丝杆21传动连接；调节机构能够调节挡板22开槽的高低，打磨时，磨料碰击硅片产生的粉尘从挡板22开槽处吸出至收尘箱。
所述滤板9上均布有若干过滤孔；硅片打磨掉的杂质和碎片被滤板9隔离，喷砂头17喷出的磨料通过滤孔掉落到喷砂箱箱体2收集层203内。
所述喷气头18位于透视窗5与喷砂头17之间。
所述导轨组包括L形导轨24和T形导轨25。
所述丝杆21底部固定有蜗轮26。
所述调节机构包括调节杆27，所述调节杆27与喷砂箱箱体2工作层202后部和T形导轨25转动连接，调节杆27一端设有调节手柄28、另一端设有蜗杆29，所述蜗杆29与蜗轮26啮合；调节时，转动调节手柄28，调节杆27带动蜗杆29转动，通过蜗轮26带动丝杆21转动，使滑块23连同挡板22沿导轨组上下移动。
所述三通接头16的两个出口竖直放置，上部出口和下部出口分别连通至喷气头18和喷砂头17；打磨时，磨料被滤网19阻隔无法进入喷气口，打磨停止时，滤网19上附着的磨料受重力掉落。
打磨前，先将磨料放入储砂罐14内，打开喷砂箱箱体2侧面的门板4，放入需要打磨的硅片并扣合门板4，再根据所用磨料的密度和使用情况调节挡板22开槽的高度。
打磨时，压力罐1将压缩空气通入储砂罐14中，将储砂罐14内的磨料输送至三通接头16的进口端，磨料被滤网19阻隔只能从喷砂头17喷出对硅片进行打磨，一部分压缩空气通过滤网19从喷气头18喷出，磨料被滤网19阻隔只能从喷砂头17喷出对硅片进行打磨，一部分压缩空气通过滤网19从喷气头18喷出，操作人员双手***操作手套6，通过透视窗5查看硅片的打磨情况；此时，涡流风机13启动，将破碎的磨料粉尘经由挡板22开槽吸入收尘箱箱体11上层，掉落在收纳盒12内，工作结束后操作人员将收纳盒12取出清理。
以上所述之实施例，只是本发明的较佳实施例而已，并非限制本发明的实施范围，故凡依本发明专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括于本发明申请专利范围内。

Claims (7)

1.一种硅片打磨用喷砂机，包括喷砂箱和分别与喷砂箱连通的压力罐（1）和收尘箱，其特征在于，还包括分别位于喷砂箱下部、上部和后部的进砂机构、喷砂机构和收尘机构；
所述喷砂箱包括喷砂箱箱体（2），所述喷砂箱箱体（2）从上往下依次分为管道层（201）、工作层（202）和收集层（203），所述管道层（201）内部和顶部分别设有喷砂机构和顶板（3），所述工作层（202）一侧设有铰接的门板（4），工作层（202）前端上部和下部分别设有透视窗（5）和操作手套（6），工作层（202）后端设有开口，工作层（202）后部设有收尘机构，所述收集层（203）呈倒置的金字塔形，所述金字塔形下部连接有进砂机构，管道层（201）和工作层（202）之间设有隔板（7），所述隔板（7）下表面设有照明灯（8），工作层（202）和收集层（203）之间设有滤板（9），喷砂箱箱体（2）下部设有立柱（10）；
所述收尘箱包括收尘箱箱体（11），所述收尘箱箱体（11）分为上下两层，所述上层和下层内分别设有收纳盒（12）和涡流风机（13），上层后部与收尘机构连通；
所述进砂机构包括储砂罐（14），所述储砂罐（14）中部呈圆柱形、上下两端呈锥形，储砂罐（14）与所述压力罐（1）连通，储砂罐（14）上端和下端分别与收集层（203）下端和进砂机构连通，储砂罐（14）上端与收集层（203）下端之间设有电磁阀（15）；
所述喷砂机构包括三通接头（16）和分别位于三通接头（16）出口两端的喷砂头（17）和喷气头（18），所述三通接头（16）进口端与储砂罐（14）连通，所述喷砂头（17）和喷气头（18）均穿过隔板（7）且端头朝下，所述喷气头（18）与三通接头（16）之间设有滤网（19）；
所述收尘机构包括喷砂箱箱体（2）工作层（202）后部的收尘仓（20）、工作层（202）内部后端两侧的导轨组、工作层（202）内部后端一侧的丝杆（21）、导轨组内的挡板（22）和工作层（202）后端底部的调节机构，所述收尘仓（20）前端与喷砂箱箱体（2）工作层（202）后表面固定连接、后端与收尘箱箱体（11）上层后部连通，所述挡板（22）呈矩形，挡板（22）中部设有开槽，挡板（22）底部一侧设有滑块（23），所述丝杆（21）两端分别与隔板（7）和滤板（9）转动连接，所述滑块（23）套合在丝杆（21）上，所述调节机构穿过喷砂箱箱体（2）工作层（202）后部和导轨组与丝杆（21）传动连接。
2.根据权利要求1所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述滤板（9）上均布有若干过滤孔。
3.根据权利要求1所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述喷气头（18）位于透视窗（5）与喷砂头（17）之间。
4.根据权利要求1所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述导轨组包括L形导轨（24）和T形导轨（25）。
5.根据权利要求4所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述丝杆（21）底部固定有蜗轮（26）。
6.根据权利要求5所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述调节机构包括调节杆（27），所述调节杆（27）与喷砂箱箱体（2）工作层（202）后部和T形导轨（25）转动连接，调节杆（27）一端设有调节手柄（28）、另一端设有蜗杆（29），所述蜗杆（29）与蜗轮（26）啮合。
7.根据权利要求1所述的硅片打磨用喷砂机，其特征在于，所述三通接头（16）的两个出口竖直放置，上部出口和下部出口分别连通至喷气头（18）和喷砂头（17）。
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