CN107614454A - 化学强化玻璃 - Google Patents

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CN107614454A CN201680031038.2A CN201680031038A CN107614454A CN 107614454 A CN107614454 A CN 107614454A CN 201680031038 A CN201680031038 A CN 201680031038A CN 107614454 A CN107614454 A CN 107614454A
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石本晴彦
岩崎达弥
角田纯
角田纯一
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Abstract

本发明涉及一种化学强化玻璃，其具有第一主面、与上述第一主面相反的第二主面以及连接上述第一主面与上述第二主面的端面，并且在上述第一主面和上述第二主面设置有压应力层，其中，上述化学强化玻璃的平均板厚t为0.06mm～0.25mm，并且在进行特定的弯曲试验方法的情况下，没有形成以上述第一主面和上述第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹。本发明的化学强化玻璃是柔性(挠性)且高强度的玻璃。

Description

化学强化玻璃
技术领域
本发明涉及化学强化玻璃，具体而言，涉及挠性优异的化学强化玻璃。
背景技术
以往，作为光掩模基板、LCD图像掩模基板等的材料而言，为了提高生产量，使用能够应对卷绕工艺(ロールプロセス)的PET等聚合物膜。但是，聚合物膜根据温度、湿度而发生尺寸变化。
因此，作为光掩模基板、LCD图像掩模基板等的其它材料，还使用不容易根据温度、湿度而发生尺寸变化的石英玻璃等(参见专利文献1)。
另外，作为能够耐受弯曲的玻璃膜，已知有板厚1μm～200μm的无碱玻璃(参见专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007-182367号公报
专利文献2：国际公开第2010/038757号
发明内容
发明所要解决的问题
但是，如专利文献1所记载的石英玻璃等玻璃通常是脆性的，因此弯曲时容易破裂，不能用于卷绕工艺。
另外，如专利文献2所记载的板厚较薄的无碱玻璃虽然能够耐受较大曲率半径下的弯曲，但是，比较容易因以较小曲率半径弯曲或者在操作中对玻璃表面施加应力等导致破裂。
本发明是鉴于如上所述的课题而完成的，其目的是提供一种柔性(挠性)且高强度的玻璃。
用于解决问题的手段
本发明人鉴于上述现有的问题进行深入研究，结果发现利用下述化学强化玻璃能够解决上述问题，从而完成了本发明。
即，本发明的化学强化玻璃是具有第一主面、与上述第一主面相反的第二主面以及连接上述第一主面与上述第二主面的端面，并且在上述第一主面和上述第二主面设置有压应力层的化学强化玻璃，其中，上述化学强化玻璃的平均板厚t为0.06mm～0.25mm，并且在进行下述弯曲试验方法的情况下，不形成以上述第一主面和上述第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹。
(弯曲试验方法)
进行如下所述的弯曲试验方法：
将第一支撑盘与第二支撑盘以使得上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面彼此相对的方式平行配置，
使上述化学强化玻璃的端部分别由上述第一支撑盘与上述第二支撑盘支撑，
在将上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔维持为通过下述式(1)求出的间隔D[mm]的状态下，使上述第二支撑盘的相对于上述第一支撑盘的位置向与上述第一支撑盘的支撑面和上述第二支撑盘的支撑面平行且不改变上述化学强化玻璃的弯曲方向的方向移动200mm，
对在上述第一支撑盘与上述第二支撑盘之间发生弯曲的上述化学强化玻璃中是否形成裂纹进行考察。
D＝(A×E×t/σ)+t (1)
D：上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔(单位[mm])
A＝1.198
E：上述化学强化玻璃的杨氏模量(单位[MPa])
t：上述化学强化玻璃的平均板厚(单位[mm])
σ＝200(单位[MPa])
发明效果
本发明的化学强化玻璃通过化学强化使得强度提高。另外，其为平均板厚较薄、并且在上述弯曲试验方法中不形成裂纹的玻璃，挠性优异。即，根据本发明，可以提供一种柔性(挠性)且高强度的玻璃。
附图说明
图1是表示本发明中的弯曲试验方法的图。
图2是本发明的一个实施方式的化学强化玻璃的剖视图。
图3是表示用于制作本发明的一个实施方式的玻璃的倒角加工的情形的图。
图4是本发明的一个实施方式的化学强化玻璃的剖视图。
图5是本发明的一个实施方式的化学强化玻璃的剖视图。
具体实施方式
以下，对本发明的实施方式详细地进行说明。
本发明的一个实施方式的化学强化玻璃是具有第一主面、与上述第一主面相反的第二主面以及连接上述第一主面与上述第二主面的端面、并且在上述第一主面和上述第二主面设置有压应力层的化学强化玻璃，其中，上述化学强化玻璃的平均板厚t为0.06mm～0.25mm，并且在进行下述弯曲试验方法的情况下，不形成以上述第一主面和上述第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹。
(弯曲试验方法)
进行如下所述的弯曲试验方法：
将第一支撑盘与第二支撑盘以使得上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面彼此相对的方式平行配置，
使上述化学强化玻璃的端部分别由上述第一支撑盘与上述第二支撑盘支撑，
在将上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔维持为通过下述式(1)求出的间隔D[mm]的状态下，使上述第二支撑盘的相对于上述第一支撑盘的位置向与上述第一支撑盘的支撑面和上述第二支撑盘的支撑面平行且不改变上述化学强化玻璃的弯曲方向的方向移动200mm，
对在上述第一支撑盘与上述第二支撑盘之间发生弯曲的上述化学强化玻璃中是否形成裂纹进行考察。
D＝(A×E×t/σ)+t (1)
D：上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔(单位[mm])
A＝1.198
E：上述化学强化玻璃的杨氏模量(单位[MPa])
t：上述化学强化玻璃的平均板厚(单位[mm])
σ＝200(单位[MPa])
以下，参考图1对本实施方式中的弯曲试验方法进行说明。首先，对本实施方式中的弯曲试验方法中使用的弯曲试验装置进行说明。
弯曲试验装置10是使本实施方式的化学强化玻璃2弯曲的装置。通过对发生弯曲的化学强化玻璃2中是否形成裂纹进行考察，可知化学强化玻璃2的耐久性。
如图1所示，弯曲试验装置10具有基座12、第一支撑盘(上侧支撑盘)14、第二支撑盘(下侧支撑盘)16、移动部20、调节部30、检测部40、支撑部50和载置部60。
第一支撑盘14支撑化学强化玻璃2的端部2a。第一支撑盘14的支撑面14a是朝下的平坦的面，是固定化学强化玻璃2的端部2a的面。
与第一支撑盘14同样地，第二支撑盘16支撑化学强化玻璃2的端部2b。第二支撑盘16的支撑面16a是朝上的平坦的面并且是载置化学强化玻璃2的端部2b的载置面。第一支撑盘14与第二支撑盘16以第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a彼此相对的方式平行配置。化学强化玻璃2的另一端部由重力按压于第二支撑盘16的支撑面16a，由摩擦力固定。为了防止化学强化玻璃2的位置偏移，在第二支撑盘16的支撑面16a设置有与化学强化玻璃2的端部2b接触的止挡件17。
移动部20在维持相互平行的第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a的间隔D的状态下使第二支撑盘16的相对于第一支撑盘14的位置移动。为了使第二支撑盘16的相对于第一支撑盘14的位置移动，移动部20使第二支撑盘16向相对于基座12平行且不改变化学强化玻璃2的弯曲方向的方向移动。需要说明的是，图1中的化学强化玻璃2的弯曲方向为箭头X方向。使第二支撑盘16相对于基座12向箭头Z方向(图1中与纸面垂直的方向)移动时，化学强化玻璃2的弯曲方向改变，因此不能准确地进行弯曲试验。
需要说明的是，本实施方式的移动部20使第二支撑盘16相对于基座12平行地移动，但是，也可以使第一支撑盘14相对于基座12平行地移动，也可以使第一支撑盘14和第二支撑盘16两者平行地移动。任一种情况下，第二支撑盘16的相对于第一支撑盘14的位置都移动。
移动部20由升降架21、电动机22、滚珠丝杠机构23、滑块24等构成。升降架21能够相对于基座12移动。电动机22安装于升降架21。滚珠丝杠机构23将电动机22的旋转运动转换为直线运动并传递至滑块24。滑块24与第二支撑盘16连结，并与第二支撑盘16一起相对于基座12平行地移动。电动机22在通过由微型计算机等构成的控制器进行的控制下使滚珠丝杠轴23a旋转，使滚珠丝杠螺母23b移动。随着滚珠丝杠螺母23b的移动，滑块24和第二支撑盘16相对于基座12平行地移动。
调节部30对相互平行的第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a的间隔D进行调节。调节部30例如由剪式千斤顶构成。
检测部40由检测在化学强化玻璃2中形成裂纹时所产生的弹性波(例如AE(Acoustic Emission，声发射)波)的传感器(例如AE传感器)构成。确认在由第一支撑盘14和第二支撑盘16支撑着的状态下化学强化玻璃2中是否形成裂纹。化学强化玻璃2的裂纹以存在于化学强化玻璃2的缺陷(划痕、附着物、内含物等)为起点而形成。需要说明的是，在本实施方式的弯曲试验装置10中，检测部40安装于支撑化学强化玻璃2的第二支撑盘16，但也可以安装于第一支撑盘14。
支撑部50固定于基座12，并经由铰链等连结部52以能够转动的方式支撑第一支撑盘14。第一支撑盘14能够在试验位置(第一位置)与安置位置(セット位置)(第二位置)之间转动，所述试验位置(第一位置)是第一支撑盘14的支撑面14a相对于第二支撑盘16的支撑面16a平行的位置，所述安置位置(第二位置)是第一支撑盘14的支撑面14a相对于第二支撑盘16的支撑面16a倾斜的位置。在第一支撑盘14从试验位置向安置位置转动期间，由第一支撑盘14和第二支撑盘16支撑的化学强化玻璃的弯曲部的曲率半径逐渐增大。
载置部60固定于基座12，并载置配置在第二支撑盘16的上方的第一支撑盘14。第一支撑盘14处于试验位置(图1的位置)时，载置于载置部60的上端面。第一支撑盘14可以载置于多个载置部60，以使得第一支撑盘14的姿势稳定。在各载置部60形成将螺栓62的轴部62b拧紧(螺合する)的螺栓孔。另外，在第一支撑盘14形成使螺栓62的轴部62b贯通的贯通孔。利用螺栓62的头部62a和各载置部60夹着第一支撑盘14，从而第一支撑盘14的姿势能够稳定。
接着，对本实施方式中的弯曲试验方法进行说明。
进行如下所述的弯曲试验方法：
在本实施方式中，第一支撑盘14与第二支撑盘16以第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16b彼此相对的方式平行配置，
使化学强化玻璃2的端部2a和端部2b分别由第一支撑盘14与第二支撑盘16支撑，
在将第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a的间隔D维持为通过下述式(1)求出的间隔D[mm]的状态下，使第二支撑盘16的相对于第一支撑盘14的位置向与第一支撑盘14的支撑面14a和第二支撑盘16的支撑面16a平行且不改变化学强化玻璃2的弯曲方向的方向移动200mm，
对在第一支撑盘14与第二支撑盘16之间发生弯曲的化学强化玻璃2中是否形成裂纹进行考察。
D＝(A×E×t/σ)+t (1)
D：第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a的间隔(单位[mm])
A＝1.198(本试验中固有的常数)
E：化学强化玻璃2的杨氏模量(单位[MPa])
t：化学强化玻璃2的平均板厚(单位[mm])
σ＝200(单位[MPa])
首先，操作人员使化学强化玻璃2的端部2a和2b分别由第一支撑盘14与第二支撑盘16支撑。接着，操作人员手动操作调节部30，为了在化学强化玻璃2中产生作为阈值的拉应力(σ＝200MPa)，根据上述式(1)调节相互平行的第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a之间的间隔D，以使得所述化学强化玻璃2在第一支撑盘14与第二支撑盘16之间发生弯曲。需要说明的是，作为阈值的拉应力(σ＝200MPa)在化学强化玻璃2的弯曲部的外侧、即通过后述的移动而与支撑盘接触的主面到达弯曲部时(图1中为化学强化玻璃2的右端)产生。
接着，操作人员在通过控制器进行的控制下操作移动部20，在维持间隔D的状态下使第二支撑盘16的相对于第一支撑盘14的位置向与第一支撑盘14的支撑面14a和第二支撑盘16的支撑面16a平行且不改变化学强化玻璃2的弯曲方向的方向移动200mm。由此，化学强化玻璃2的拉应力σ的产生位置能够移动。
在第一支撑盘14与第二支撑盘16之间发生弯曲的化学强化玻璃2中是否形成裂纹通过如下方式进行考察：利用检测部40检测裂纹形成时所产生的弹性波的有无。能够确认由第一支撑盘14和第二支撑盘16支撑着的状态下化学强化玻璃2中是否形成裂纹。需要说明的是，化学强化玻璃2中是否形成裂纹也可以根据在化学强化玻璃2的第一主面或第二主面中的任意一个面中是否产生长度10mm以上的划痕来确认。
在本实施方式中，为了对化学强化玻璃2的断裂强度大于阈值(200MPa)的情况进行确认，以对应于阈值(200MPa)的间隔D进行试验并对是否形成裂纹进行考察。没有形成裂纹的情况下，可以将化学强化玻璃2的断裂强度视为大于阈值(200MPa)。
通常，与化学强化玻璃的主面中央部相比，端部更容易因加工偏差(ばらつき)的影响等而强度降低，实施弯曲试验时，产生以端面作为起点的破裂的情况较多。特别是，如果为较小区域则没有问题，但是，对于较大区域、例如如本实施方式这样的移动距离为200mm的区域而言，容易产生以端面作为起点的破裂。本实施方式的化学强化玻璃优选为在进行了上述弯曲试验方法的情况下不形成以连接第一主面与第二主面的端面作为起点的裂纹的化学强化玻璃。
另外，本实施方式的化学强化玻璃是在进行了上述弯曲试验方法的情况下不形成以第一主面和与上述第一主面相反的第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹的化学强化玻璃。更优选为在进行了弯曲试验方法的情况下不形成以第一主面和第二主面中的任意一个面作为起点的裂纹的化学强化玻璃。为了对没有形成以第一主面和第二主面中的任意一个面作为起点的裂纹的情况进行考察，可以以任意一个主面与第一支撑盘14和第二支撑盘16接触的方式进行上述弯曲试验方法，然后使主面反转而以另一个主面与第一支撑盘14和第二支撑盘16接触的方式进行上述弯曲试验方法。需要说明的是，在本说明书中个，“以某个面作为起点的裂纹”是指以某个面内的某个位置为起点的裂纹。
本实施方式的化学强化玻璃是在进行了上述弯曲试验方法的情况下没有形成以第一主面和第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹的化学强化玻璃。因此，是基于上述弯曲试验方法的断裂强度大于200MPa的玻璃，是挠性优异的柔性玻璃。
另外，对化学强化玻璃2的断裂强度进行考察时，可以如下所述地进行。
首先，操作人员以第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16b彼此相对的方式平行地配置，使化学强化玻璃2的端部2a和2b分别由第一支撑盘14与第二支撑盘16支撑。接着，操作人员手动操作调节部30，对相互平行的第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a之间的间隔D进行调节，使第一支撑盘14与第二支撑盘16之间发生弯曲的化学强化玻璃2中产生设定值的拉应力。
在化学强化玻璃2的弯曲部的顶端(图1中化学强化玻璃2的右端)产生的拉应力σ可以基于下述式(2)计算。
σ＝(A×E×t)/(D-t) (2)
D：上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔(单位[mm])
A＝1.198(本试验中固有的常数)
E：上述化学强化玻璃的杨氏模量(单位[MPa])
t：上述化学强化玻璃的平均板厚(单位[mm])
σ＝弯曲应力(单位[MPa])
由式(2)明显可知，间隔D(D>2×t)越窄则拉应力σ越大。
在化学强化玻璃2中没有产生裂纹的情况下，操作人员手动操作调节部30，使相互平行的第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a之间的间隔D变窄。由此，在第一支撑盘14与第二支撑盘16之间发生弯曲的化学强化玻璃2中产生比上次更高的拉应力。
接着，操作人员在通过控制器进行的控制下操作移动部20，在维持间隔D的状态下，使第二支撑盘16的相对于第一支撑盘14的位置移动，对在第一支撑盘14与第二支撑盘16之间发生弯曲的化学强化玻璃2中是否形成裂纹进行考察。阶段性地使间隔D变窄从而阶段性地增强对化学强化玻璃2施加的拉应力σ，直到在化学强化玻璃2中形成裂纹，由此可知化学强化玻璃2的断裂强度。化学强化玻璃2破裂时的拉应力σ被用作断裂强度。
本发明的一个实施方式的化学强化玻璃为具有第一主面、与上述第一主面相反的第二主面以及连接上述第一主面与上述第二主面的端面、并且在上述第一主面和上述第二主面设置有压应力层的化学强化玻璃，其为平均板厚t为0.06mm～0.25mm、进行下述弯曲试验方法时的断裂强度大于200MPa的化学强化玻璃。
(弯曲试验方法)
第一支撑盘与第二支撑盘以使得上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面彼此相对的方式平行配置，
使上述化学强化玻璃的端部分别由上述第一支撑盘与上述第二支撑盘支撑，
在维持上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔的状态下，使第二支撑盘的相对于第一支撑盘的位置向与第一支撑盘的支撑面和第二支撑盘的支撑面平行且不改变上述化学强化玻璃的弯曲方向的方向移动200mm，
对在上述第一支撑盘与上述第二支撑盘之间发生弯曲的上述化学强化玻璃中是否形成裂纹进行考察，
在上述片状物中没有形成裂纹的情况下，使上述间隔变窄，然后，
在维持上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔的状态下，使第二支撑盘的相对于第一支撑盘的位置向与第一支撑盘的支撑面和第二支撑盘的支撑面平行且不改变上述化学强化玻璃的弯曲方向的方向移动200mm，
对在上述第一支撑盘与上述第二支撑盘之间发生弯曲的上述化学强化玻璃中是否形成裂纹进行考察，
在如上所述的弯曲试验方法中，
在下述式(2)的条件下进行弯曲试验方法，将在上述化学强化玻璃中形成裂纹时的弯曲应力作为上述化学强化玻璃的断裂强度。
σ＝(A×E×t)/(D-t) (2)
D：上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔(单位[mm])
A＝1.198
E：上述化学强化玻璃的杨氏模量(单位[MPa])
t：上述化学强化玻璃的平均板厚(单位[mm])
σ＝弯曲应力(单位[MPa])
对于本实施方式的化学强化玻璃而言，基于上述弯曲试验方法的断裂强度优选大于250MPa、更优选大于300MPa、进一步优选大于350MPa、特别优选为400MPa以上。该断裂强度越大则挠性越优异。
(形状加工)
本实施方式的化学强化玻璃的平均板厚t为0.06mm～0.25mm。该平均板厚t为0.06mm以上时，能够以不使得后述的内部拉应力CT过度增大的方式在玻璃的主面设置压应力层。另外，该平均板厚t为0.25mm以下时，能够使玻璃具有较高的挠性(柔性)。该平均板厚t优选为0.08mm以上、更优选为0.10mm以上、进一步优选为0.12mm以上。另外，该平均板厚t优选为0.23mm以下、更优选为0.21mm以下、特别优选为0.19mm以下。在此，该平均板厚t可以利用测微计进行测定。需要说明的是，化学强化玻璃的板厚为第一主面与第二主面的距离。
本实施方式的化学强化玻璃具有第一主面、与第一主面相反的第二主面以及连接第一主面与第二主面的端面。第一主面和第二主面在化学强化玻璃的板厚方向上相反。
对于本实施方式的化学强化玻璃而言，优选化学强化玻璃的端面具有相对于第一主面向第二主面侧倾斜延伸的第一倾斜部、相对于第二主面向第一主面侧倾斜延伸的第二倾斜部以及连接第一倾斜部与第二倾斜部的曲面部。化学强化玻璃的端面具有这样的形状时，能够抑制因端面的裂纹引起的破裂，能够提高通过本实施方式中的弯曲试验方法形成裂纹的断裂强度σ。参考图2对本实施方式更详细地进行说明。
图2示出本实施方式的化学强化玻璃的剖视图。本实施方式的化学强化玻璃100具有在板厚方向上相反的第一主面101和第二主面102、并且具有连接第一主面与第二主面的端面103。并且，化学强化玻璃100的端面103具有相对于第一主面101向第二主面102侧以角度θ1倾斜延伸的第一倾斜部111、相对于第二主面102向第一主面101侧以角度θ2倾斜延伸的第二倾斜部112以及连接第一倾斜部111与第二倾斜部112的曲面部113。
对于本实施方式的化学强化玻璃100而言，从提高断裂强度σ的观点考虑，包含第一倾斜部111的平面与第一主面101所成的角度θ1以及包含第二倾斜部112的平面与第二主面102所成的角度θ2各自优选为20°～55°、更优选为23°～50°、进一步优选为24°～40°。需要说明的是，角度θ1和角度θ2可以相同、或者也可以不同。设定为θ1＝θ2时，能够同等地提高两面的断裂强度σ。设定为θ1<θ2时，能够特别地提高以第一支撑盘14的支撑面14a与第二支撑盘16的支撑面16a相接触的方式测定第一主面时的断裂强度σ。
具有上述形状的端面例如可以通过对实施化学强化处理前的玻璃或者对化学强化玻璃进行如下所述的倒角加工来形成。需要说明的是，由于后述的理由，优选在化学强化玻璃的端面也形成压应力层。即，优选通过对具有具有上述形状的端面的玻璃实施化学强化处理来制作化学强化玻璃。因此，以下说明对实施化学强化处理前的玻璃进行倒角加工的情况。
图3表示用于制作本实施方式的玻璃200的倒角加工的情形。如图3所示，磨石300具有与玻璃200的端面203所期望的形状相对应的形状的磨削槽301，在使玻璃200的端部与磨石300的磨削槽301接触的同时进行磨削，从而进行倒角加工。通过这样的方式，能够制作具有在板厚方向上相反的第一主面201和第二主面202、并且具有连接第一主面与第二主面的端面203的玻璃200。在此，玻璃200的端面203具有相对于第一主面201向第二主面202侧以角度θ1倾斜延伸的第一倾斜部211、相对于第二主面202向第一主面201侧以角度θ2倾斜延伸的第二倾斜部212以及连接第一倾斜部211与第二倾斜部212的曲面部213。通过对该玻璃200实施化学强化处理，能够制作具有图2所示的形状并且在第一主面101、第二主面102和端面103中的任意一面均形成有压应力层的化学强化玻璃100。
进行玻璃200的倒角加工时，由于玻璃200具有较高的挠性，因此，优选将第一主面201或第二主面202固定在工作台303上实施。通过固定于工作台303，能够使玻璃200与磨石300的适当位置接触，并且能够将角度θ1和角度θ2调节为适当的范围。另外，优选以使得玻璃200从工作台303突出的长度、即从工作台303的端部到玻璃200的端部的距离L为100mm以下的方式进行倒角加工。通过固定于工作台并将玻璃200从工作台303突出的长度设定为100mm以下，倒角加工时的玻璃200不存在抖动，能够消除崩裂(チッピング)等强度劣化原因。距离L更优选为80mm以下、进一步优选为60mm以下。过度减小距离L时，有可能工作台与磨石发生接触，并且难以将供给至磨石300和玻璃200的磨削液(冷却液)适当地供给至与工作台303接触的主面侧。因此，从工作台303的端部到玻璃200的端部的距离L优选为10mm以上。
关于本实施方式的化学强化玻璃100的板厚方向上的截面形状，端面103的曲面部113为朝向从化学强化玻璃100突出的方向弯曲成凸状的形状。在此，从防止因玻璃搬运时等的破损导致的强度劣化的观点考虑，曲面部113的截面形状优选为圆弧状。
图4示出端面的曲面部的截面形状为圆弧状的化学强化玻璃的剖视图。本实施方式的化学强化玻璃400具有在板厚方向上相反的第一主面401和第二主面402、并且具有连接第一主面与第二主面的端面403。并且，化学强化玻璃400的端面403具有相对于第一主面401向第二主面402侧以角度θ1倾斜延伸的第一倾斜部411、相对于第二主面402向第一主面401侧以角度θ2倾斜延伸的第二倾斜部412以及连接第一倾斜部411与第二倾斜部412的曲面部413。曲面部413的截面形状为圆弧状。在本实施方式中，将曲面部413的曲率半径设为R，化学强化玻璃100的平均板厚t与曲面部413的曲率半径R满足t>2R的关系。
对于本实施方式的化学强化玻璃而言，将曲面部的最小曲率半径设为R，化学强化玻璃的平均板厚t与曲面部的最小曲率半径R优选满足t≥2R的关系。t与R满足该关系时，能够在实现较薄的平均板厚的同时抑制因端面的裂纹引起的破裂，因此优选。另外，曲面部的最小曲率半径R优选为0.125mm以下、更优选为0.1mm以下、进一步优选为0.08mm以下。
图5中示出具有另一种端面形状的本实施方式的化学强化玻璃的剖视图。图5中，化学强化玻璃500具有第一主面501和第二主面502。在此，如图5所示，化学强化玻璃500的第一倾斜部511和第二倾斜部512可以为圆弧状。另外，如图5所示，端面503的曲面部513的截面形状可以用多个圆弧表示而不是单个的圆弧。但是，0.005mm以下的圆弧不被视作圆弧，用0.005mm以上的圆弧表示外形的情况下，曲面部的最小曲率半径R优选为0.125mm以下、更优选为0.1mm以下、进一步优选为0.08mm以下。
对于本实施方式的化学强化玻璃而言，通过利用磨石对端面进行加工、然后利用氟化氢(HF)等化学试剂将玻璃溶解，也能够使端面形状为圆弧状。
(化学强化)
对于本实施方式的化学强化玻璃而言，至少在第一主面和第二主面设置有通过离子交换法形成的压应力层。通过离子交换法，对玻璃的表面进行离子交换，形成残留有压应力的表面层。具体而言，在玻璃化转变温度以下的温度下通过离子交换将玻璃板表面的离子半径较小的碱金属离子(典型地为Li离子、Na离子)置换为离子半径更大的碱金属离子(典型地，对于Li离子而言为Na离子或K离子；对于Na离子而言为K离子)。由此，在玻璃的表面残留压应力，玻璃的强度提高。
对于本实施方式的化学强化玻璃而言，第一主面和第二主面的表面压应力(CS)为400MPa以上时，能够抑制在主面产生裂纹，因此优选。第一主面和第二主面的CS更优选为450MPa以上、进一步优选为500MPa以上。另外，第一主面和第二主面的CS为1000MPa以下时，能够防止后述的内部拉应力CT过度增大，因此优选。第一主面和第二主面的CS更优选为900MPa以下、进一步优选为700MPa以下。需要说明的是，第一主面和第二主面的CS能够通过调节化学强化条件、玻璃的组成等来适当调节。
另外，对于本实施方式的化学强化玻璃而言，第一主面和第二主面的压应力深度(DOL)为6μm以上时，无法通过表面压应力完全抑制而产生的微小的裂纹难以到达内部拉应力层，因此优选。第一主面和第二主面的DOL更优选为8μm以上、进一步优选为10μm以上、特别优选为12μm以上。另外，第一主面和第二主面的DOL为25μm以下时，能够防止后述的内部拉应力CT过度增大，因此优选。第一主面和第二主面的DOL更优选为20μm以下、进一步优选为18μm以下。需要说明的是，第一主面和第二主面的DOL能够通过调节化学强化条件、玻璃的组成等来适当调节。
另外，对于本实施方式的化学强化玻璃而言，内部拉应力(CT)为250MPa以下时，能够抑制玻璃粉碎成碎片，因此优选。CT更优选为200MPa以下、进一步优选为150MPa以下、进一步优选为100MPa以下、特别优选为50MPa以下。需要说明的是，将玻璃的厚度设为t时，CT通常可以通过关系式CT＝(CS×DOL)/(t-2×DOL)近似地求出。在此，CT和CS的单位为MPa，t和DOL的单位为μm。
另外，对于本实施方式的化学强化玻璃而言，优选除了第一主面和第二主面以外在端面上也形成有压应力层。例如，在矩形的化学强化玻璃的情况下，连接第一主面和第二主面的端面有四个，优选在其全部端面形成有压应力层。如此，在化学强化玻璃的全部面形成有压应力层时，能够抑制在主面和端面产生裂纹。
对于本实施方式的化学强化玻璃而言，为了减小使玻璃弯曲时在主面内产生的拉应力的分布，并且不在主面内产生容易断裂的区域，优选化学强化玻璃的主面内的板厚的最大值与最小值之差为0.03mm以下、更优选为0.02mm以下、进一步优选为0.015mm以下、特别优选为0.005mm以下。
对于本实施方式的化学强化玻璃而言，为了减小使玻璃弯曲时在主面内产生的拉应力的分布，并且不在主面内产生容易断裂的区域，优选化学强化玻璃的主面内的CT的最大值与最小值之差为5MPa以下、更优选为3MPa以下、进一步优选为2MPa以下、特别优选为1MPa以下。
本实施方式的化学强化玻璃的形状例如为矩形，但不限于此。另外，关于本实施方式的化学强化玻璃的尺寸，只要能够应用于上述的弯曲试验方法就没有特别限制，优选第一主面的面积为30000mm2以上。第一主面的面积为30000mm2以上的化学强化玻璃能够用于卷绕工艺，因此，可以最显著地发挥本实施方式的化学强化玻璃的效果。作为例子，在化学强化玻璃为矩形的情况下，长边的长度例如为200mm～15000mm、短边的长度例如为100mm～12000mm。
接着，对本实施方式的化学强化玻璃中使用的玻璃进行说明。
本实施方式中使用的玻璃只要是能够进行离子交换的玻璃则没有特别限制，例如可以从钠钙玻璃、铝硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、铝硼硅酸盐玻璃等中适当选择使用。其中，钠钙玻璃、钠硅酸盐玻璃不使第一主面和第二主面的DOL过度增大，因此优选。
以下，对作为本实施方式的化学强化玻璃中使用的玻璃的一例的钠钙玻璃的优选组成进行说明。
作为本实施方式的化学强化玻璃中使用的钠钙玻璃而言，例如优选在以摩尔％表示的组成中含有60％～75％的SiO2、0.8％～4.5％的Al2O3、10％～19％的Na2O和0.1％～15％的CaO的玻璃。
作为本实施方式的化学强化玻璃中使用的钠钙玻璃的组成而言，没有特别限制，例如可以列举以下的玻璃的组成。
(i)以氧化物基准的质量％表示的组成为含有65％～75％的SiO2、0.1％～8.6％的Al2O3、2％～10％的MgO、1％～10％的CaO、0～3％的SrO、0～3％的BaO、10％～18％的Na2O、0～8％的K2O、0～4％的ZrO2、并且Na2O+K2O为10％～18％的玻璃
(ii)以氧化物基准的质量％表示的组成为含有65％～72％的SiO2、3.4％～8.6％的Al2O3、3.3％～6％的MgO、6.5％～9％的CaO、13％～16％的Na2O、0～1％的K2O、0～0.2％的TiO2、0.005％～0.15％的Fe2O3、0.02％～0.4％的SO3、并且(Na2O+K2O)/Al2O3为1.8％～5.0的玻璃
(iii)以氧化物基准的摩尔％表示的组成为含有65％～72％的SiO2、0.8％～4.5％的Al2O3、5％～13.5％的MgO、0.8％～9％的CaO、12％～17％的Na2O、0～3％的K2O、并且RO/(RO+R2O)为0.410以上且0.52以下(式中，RO表示碱土金属氧化物、R2O表示碱金属氧化物)的玻璃
作为本实施方式的化学强化玻璃中使用的铝硅酸盐玻璃的组成而言，没有特别限制，例如可以列举以下的玻璃的组成。
(iv)在以氧化物基准的摩尔％表示的组成中含有50％～80％的SiO2、2％～25％的Al2O3、0～10％的Li2O、0～18％的Na2O、0～10％的K2O、0～15％的MgO、0～5％的CaO和0～5％的ZrO2的玻璃
(v)以氧化物基准的摩尔％表示的组成为含有50％～74％的SiO2、1％～10％的Al2O3、6％～14％的Na2O、0.1％～11％的K2O、2％～15％的MgO、0～6％的CaO和0～5％的ZrO2、并且SiO2和Al2O3的含量的合计为75％以下、Na2O和K2O的含量的合计为12％～25％、MgO和CaO的含量的合计为7％～15％的玻璃
(vi)以氧化物基准的摩尔％表示的组成为含有60％～70％的SiO2、2％～8％的Al2O3、5％～18％的Na2O、0～1％的K2O、4％～15％的MgO和0～2％的ZrO2的玻璃
以下，关于各成分的含量的一个优选方式，以氧化物基准的质量％表示而示出。
SiO2是构成玻璃的骨架的成分，是必需的。并且，SiO2是减少在玻璃表面产生划痕(压痕)时的裂纹的产生、或者减小化学强化后产生压痕时的断裂率(破壊率)的成分。通过SiO2的含量为50％以上，能够避免作为玻璃的稳定性、耐酸性、耐候性或耐崩裂性(チッピング耐性)的降低。SiO2的含量优选为60％以上、更优选为65％以上、进一步优选为66％以上。另一方面，通过SiO2的含量为80％以下，能够避免由玻璃的粘度的增大导致的熔融性的降低。SiO2的含量优选为75％以下、更优选为72％以下。
Al2O3不是必要成分，但对于提高离子交换性能和耐崩裂性是有效的成分，或者是增大表面压应力的成分。Al2O3的含量优选为0.1％以上、更优选为2％以上、进一步优选为3.4％以上。另一方面，通过Al2O3的含量为12％以下，能够避免由玻璃的粘度的增大导致的熔融性的降低。Al2O3的含量优选为10％以下、更优选为8.6％以下。
Na2O是通过离子交换形成表面压应力层、并且提高玻璃的熔融性的成分，是必需的。通过Na2O的含量为10％以上，能够通过离子交换形成所期望的表面压应力层，优选为11％以上、更优选为12％以上、进一步优选为13％以上。另一方面，通过Na2O的含量为19％以下，能够避免耐候性或耐酸性的降低或由压痕产生的裂纹。Na2O的含量优选为18％以下、更优选为16％以下、进一步优选为15％以下。
CaO是提高玻璃的熔融性的成分，优选含有CaO。通过CaO的含量为0.1％以上，能够提高熔融性，优选为1％以上、更优选为4％以上、进一步优选为6.5％以上。另一方面，通过CaO的含量为15％以下，能够加深表面压应力层。CaO的含量优选为10％以下、更优选为9％以下、进一步优选为5％以下。
Fe2O3是提高玻璃的熔融性的成分，优选含有Fe2O3。通常，玻璃中的Fe2O3导致吸收可见光，因此不优选，但板厚较薄的情况下，光的吸收减少，因此不容易成为问题。Fe2O3的含量优选为0.005％以上、更优选为0.01％以上、进一步优选为0.03％以上、特别优选为0.06％以上。另一方面，过度含有Fe2O3时，由Fe2O3产生的颜色成为问题，因此，Fe2O3的含量优选小于0.2％、更优选小于0.15％、进一步优选小于0.12％、特别优选小于0.095％。
另外，本实施方式的化学强化玻璃的杨氏模量也根据玻璃的组成等而不同，例如为65MPa～80MPa。需要说明的是，化学强化玻璃的杨氏模量(E)可以通过超声波脉冲法进行测定。
本实施方式的化学强化玻璃例如可以以如下所述的方式进行制造。
首先，准备供于后述的化学强化处理的玻璃。例如，调配玻璃的各成分的原料，并在玻璃熔化炉中进行加热熔融。然后，通过鼓泡、搅拌、添加澄清剂等使玻璃均质化，通过现有公知的成形法成形为具有规定的厚度的玻璃板，并进行缓冷。
作为玻璃的成形法而言，例如可以列举浮法、压制法、熔融法和下拉法。特别是优选适合于大量生产的浮法。另外，还优选除浮法以外的连续成形法、即熔融法和下拉法。
然后，根据需要对成形后的玻璃进行磨削和研磨处理，形成玻璃基板。需要说明的是，在将玻璃基板切割成规定的形状和尺寸、或者进行玻璃基板的倒角加工的情况下，如果在实施后述的化学强化处理前进行玻璃基板的切割、倒角加工，则通过之后的化学强化处理在端面也形成压应力层，因此优选。
并且，对所形成的玻璃基板实施化学强化处理，然后进行清洗和干燥，由此能够制造本实施方式的化学强化玻璃。
化学强化处理可以通过现有公知的方法进行。化学强化处理中，通过浸渍等使玻璃板与含有离子半径较大的金属离子(典型地为K离子)的金属盐(例如，硝酸钾)的熔液接触，由此，玻璃板中的离子半径较小的金属离子(典型地为Na离子或Li离子)被置换为离子半径较大的金属离子。
化学强化处理(离子交换处理)没有特别限制，例如可以通过将玻璃板在加热至300℃～550℃的硝酸钾等熔融盐中浸渍5分钟～20小时来进行。需要说明的是，熔融盐的加热温度优选为300℃～450℃，另外，玻璃板在熔融盐中的浸渍时间优选为0.1小时～15小时。
作为用于进行化学强化处理的熔融盐而言，例如可以列举硝酸钾、硫酸钠、硫酸钾、氯化钠和氯化钾等碱金属硫酸盐和碱金属氯化物盐等。这些熔融盐可以单独使用、也可以组合使用多种。
在本实施方式中，化学强化处理的处理条件没有特别限制，考虑玻璃的特性·组成、熔融盐的种类以及最终得到的化学强化玻璃所期望的表面压应力(CS)、压应力深度(DOL)等化学强化特性等，选择适当的条件即可。
本实施方式的化学强化玻璃的板厚较薄并且富有柔软性，因此，能够在弯曲的状态下使用。例如，本实施方式的化学强化玻璃可以在曲率半径为15000mm以上的状态下使用。在此，“化学强化玻璃的曲率半径为15000mm以上”表示使化学强化玻璃的第一主面为凸面并使第二主面为凹面、或者使第一主面为凹面并使第二主面为凸面而稍微观测到的弯曲的曲率半径为15000mm以上。
本实施方式的化学强化玻璃通过化学强化使得强度提高。另外，其为平均板厚较薄、且在上述弯曲试验方法中也没有形成裂纹的玻璃，挠性优异。即，本实施方式的化学强化玻璃是大面积、挠性优异且强度也优异的玻璃。因此，本实施方式的化学强化玻璃能够适当地用于使用过程中需要发生弯曲、并且要求弯曲时不容易断裂的用途、例如光掩模基板、LCD图像掩模基板、冷弯件(コールドベンディング)、有机电致发光(EL)用柔性基板、照明用保护玻璃、喷墨印刷用玻璃、太阳能电池用玻璃基板等用途。
另外，本实施方式的化学强化玻璃可以直接使用，也可以根据需要与树脂层等其它层层叠并以弯曲状态下固定的层叠体的形式使用。
在一些适当的用途中，优选在本实施方式的化学强化玻璃之上设置功能性材料。例如，使用本实施方式的化学强化玻璃作为光掩模基板、LCD图像掩模基板的情况下，优选在本实施方式的化学强化玻璃之上设置感光剂。
使用本实施方式的化学强化玻璃作为冷弯件的情况下，优选以将至少两片本实施方式的化学强化玻璃层叠而得到的玻璃构件的形式使用。另外，更优选将至少两片本实施方式的化学强化玻璃以在它们之间夹有树脂层的方式进行层叠。
另外，用于有机EL用柔性基板、照明用保护玻璃、喷墨印刷用玻璃的情况下，优选进行增大本实施方式的化学强化玻璃的比表面积的处理。例如，优选以对化学强化玻璃的至少一个面实施溶胶凝胶涂布或者蚀刻处理而在该面设置有以有机材料作为主要成分的层的玻璃构件的形式使用。
另外，本实施方式的化学强化玻璃能够用作太阳能电池用玻璃基板。使用本实施方式的化学强化玻璃作为太阳能电池用玻璃基板的情况下，与聚合物等其它材料相比，发挥高透光率、高耐热性、与化合物材料相匹配的热膨胀系数、由玻璃中所含的成分带来的高效率化等特有的效果，此外也能够应用于像以往那样的超直型太阳能电池模块结构。
本实施方式的化学强化玻璃特别优选用作柔性的薄膜太阳能电池用的保护玻璃基板。用作薄膜太阳能电池用保护玻璃基板的情况下，优选平均板厚t为0.25mm以下且Al2O3的含量为3质量％以上。通过平均板厚t为0.25mm以下，能够减少玻璃所吸收的光能，同时，通过Al2O3的含量为3质量％以上，能够提高薄膜太阳能电池的转换效率。
具有本实施方式的化学强化玻璃的柔性的薄膜太阳能电池模块在该化学强化玻璃之上设置有光电转换层。光电转换层的厚度优选为100μm以下，光电转换层的材料优选为CdTe。另外，对于该柔性的薄膜太阳能电池模块而言，优选在上述式(1)的条件下进行的弯曲试验方法中不形成以化学强化玻璃的第一主面和与上述第一主面相反的第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹。需要说明的是，这种情况下，弯曲试验装置10中，代替化学强化玻璃而使柔性的薄膜太阳能电池模块弯曲。
实施例
以下，通过实施例对本发明进行说明，但本发明并不由这些实施例限定。
(实施例1)
制作了表1中以氧化物基准的质量百分率表示所示的组成的玻璃板。使用硅砂、纯碱、白云石、长石、氧化铝、碳酸钙、碳酸镁、芒硝作为玻璃原料进行熔化，并在浮抛窑中成形为厚度约0.33mm的玻璃带。表1的组成是将各个玻璃的主面研磨100μm后测定的基于荧光X射线分析的分析值。
将所得到的玻璃板切割成300mm×200mm的尺寸，使用#800的磨石以使得端面形状成为图4所示的形状(θ1：27°、θ2：27°、R：0.12mm)的方式进行了规定的端面加工。然后，使用HF溶液进行玻璃板的蚀刻，使板厚变薄。对于所得到的玻璃板而言，第一主面和第二主面的尺寸为长边300mm×短边200mm，平均板厚为0.215mm。
接着，对所制作的玻璃板进行在KNO3的含有比例为99.5质量％、NaNO3的含有比例为0.5质量％、温度为425℃的熔融钾盐中浸渍670分钟的离子交换，从而得到了实施例1的化学强化玻璃。
<弯曲强度的测定>
对于所得到的化学强化玻璃，使用图1所示的弯曲试验装置进行下述弯曲试验方法，测定了弯曲强度。将其结果示于表1中。
(弯曲试验方法)
第一支撑盘与第二支撑盘以使得上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面彼此相对的方式平行配置，
使化学强化玻璃的端部分别由上述第一支撑盘与上述第二支撑盘支撑，
在维持上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔的状态下，使第二支撑盘的相对于第一支撑盘的位置向与第一支撑盘的支撑面和第二支撑盘的支撑面平行且不改变上述化学强化玻璃的弯曲方向的方向移动200mm，
对在上述第一支撑盘与上述第二支撑盘之间发生弯曲的上述化学强化玻璃中是否形成裂纹进行考察，
在上述片状物中没有形成裂纹的情况下，使上述间隔变窄，然后，
在维持上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔的状态下，使第二支撑盘的相对于第一支撑盘的位置向与第一支撑盘的支撑面和第二支撑盘的支撑面平行且不改变上述化学强化玻璃的弯曲方向的方向移动200mm，
对在上述第一支撑盘与上述第二支撑盘之间发生弯曲的上述化学强化玻璃中是否形成裂纹进行考察，
在如上所述的弯曲试验方法中，
在下述式(2)的条件下进行弯曲试验方法，将在上述化学强化玻璃中形成裂纹时的弯曲应力作为上述化学强化玻璃的断裂强度。
σ＝(A×E×t)/(D-t) (2)
D：上述第一支撑盘的支撑面与上述第二支撑盘的支撑面的间隔(单位[mm])
A＝1.198
E：上述化学强化玻璃的杨氏模量(单位[MPa])
t：上述化学强化玻璃的平均板厚(单位[mm])
σ＝弯曲应力(单位[MPa])
通过上述方法，求出21片化学强化玻璃的断裂强度，计算出平均值(平均断裂强度)。将其结果示于表1中。
<CS、DOL和CT的测定或者计算>
对于所得到的化学强化玻璃，对其表面压应力CS(单位：MPa)及其压应力深度DOL(单位：μm)进行了测定。需要说明的是，CS和DOL利用折原制作所公司制造的表面应力计FSM-6000进行了测定。
另外，基于下述公式，由表面压应力CS(单位：MPa)、压应力深度DOL(单位：mm)和玻璃的平均板厚t(单位：mm)求出化学强化玻璃的内部拉应力CT(单位：MPa)。
CT＝CS[MPa]*DOL[mm]/(t[mm]-2*DOL[mm])
将CS、DOL和CT的测定或者计算结果示于表1中。
(实施例2)
将以与实施例1同样的方式制作的、具有表1中以氧化物基准的质量百分率表示所示的组成的厚度约0.33mm的浮法玻璃板切割成650mm×550mm的尺寸，并利用#600的磨石进行了规定的倒角加工。然后，使用HF溶液进行玻璃板的蚀刻，使板厚变薄。接着，将玻璃板切割成约500mm×400mm的尺寸，利用#800的磨石以使得端面形状成为图4所示的形状(θ1：26°、θ2：26°、R：0.10mm)的方式对玻璃板的端面实施了规定的倒角加工。对于所得到的玻璃板而言，第一主面和第二主面的尺寸为长边500mm×短边400mm，平均板厚为0.15mm。
接着，对所制作的玻璃板进行在KNO3的含有比例为99.5质量％、NaNO3的含有比例为0.5质量％、温度为425℃的熔融钾盐中浸渍300分钟的离子交换，从而得到了实施例2的化学强化玻璃。将对18片该化学强化玻璃进行弯曲试验而测定的断裂强度的平均值(平均断裂强度)、CS、DOL以及CT分别示于表1中。
(实施例3)
将以与实施例1同样的方式制作的、具有表1中以氧化物基准的质量百分率表示所示的组成的厚度约0.33mm的浮法玻璃板切割成650mm×550mm的尺寸，利用#600的磨石进行了规定的倒角加工。然后，使用HF溶液进行玻璃板的蚀刻，使板厚变薄。接着，将玻璃切割成约500mm×400mm的尺寸，以使得端面形状成为图4所示的形状(θ1：26°、θ2：26°、R：0.10mm)的方式实施了规定的倒角加工。对于所得到的玻璃板而言，第一主面和第二主面的尺寸为长边500mm×短边400mm，平均板厚为0.15mm。
接着，对所制作的玻璃板进行在KNO3的含有比例为99.3质量％、NaNO3的含有比例为0.7质量％、温度为430℃的熔融钾盐中浸渍350分钟的离子交换，从而得到了实施例3的化学强化玻璃。将该化学强化玻璃的CS、DOL和CT分别示于表1中。对于所得到的化学强化玻璃板，使用图1所示的弯曲试验装置进行了弯曲试验方法，结果确认到直到D＝50mm的曲率为止没有发生破裂。由该结果确认到断裂应力为260MPa以上。
(实施例4)
将以与实施例1同样的方式制作的、具有表1中以氧化物基准的质量百分率表示所示的组成的厚度约0.33mm的浮法玻璃板切割成650mm×550mm的尺寸，利用#800的磨石，以使得端面形状成为图4所示的形状(θ1：27°、θ2：27°、R：0.12mm)的方式进行了规定的端面加工。然后，使用HF溶液进行玻璃板的蚀刻，使板厚变薄。对于所得到的玻璃板而言，第一主面和第二主面的尺寸为长边650mm×短边550mm，平均板厚为0.11mm。
接着，对所制作的玻璃板进行在KNO3的含有比例为99.3质量％、NaNO3的含有比例为0.7质量％、温度为430℃的熔融钾盐浸渍340分钟的离子交换，从而得到了实施例4的化学强化玻璃。将该化学强化玻璃的CS、DOL和CT分别示于表1中。对于所得到的化学强化玻璃板，使用图1所示的弯曲试验装置进行了弯曲试验方法，结果确认到直到D＝30mm的曲率为止没有发生破裂。由该结果确认到断裂应力为315MPa以上。
(实施例5)
将以与实施例1同样的方式制作的、具有表1中以氧化物基准的质量百分率表示所示的组成的厚度约0.33mm的浮法玻璃板切割成650mm×550mm的尺寸，利用#600的磨石进行了规定的倒角加工。然后，使用HF溶液进行玻璃板的蚀刻，使板厚变薄至0.2mm。接着，将玻璃切割成约300mm×210mm的尺寸，以使得端面形状成为图4所示的形状(θ1：26°、θ2：26°、R：0.10mm)的方式，实施了规定的倒角加工。对所得到的玻璃板进一步使用HF溶液进行玻璃板的蚀刻，使板厚变薄至0.07mm。对于所得到的玻璃板而言，第一主面和第二主面的尺寸为长边300mm×短边210mm，平均板厚为0.07mm。
接着，对所制作的玻璃板进行在KNO3的含有比例为99.3质量％、NaNO3的含有比例为0.7质量％、温度为430℃的熔融钾盐中浸渍300分钟的离子交换，从而得到了实施例4的化学强化玻璃。将该化学强化玻璃的CS、DOL和CT分别示于表1中。对于所得到的化学强化玻璃板，使用图1所示的弯曲试验装置进行弯曲试验方法，结果确认到直到D＝20mm的曲率为止没有发生破裂。由该结果确认到断裂应力为303MPa以上。
(比较例1)
以得到表1中以氧化物基准的质量百分率表示所示的组成的玻璃的方式，适当选择氧化物、氢氧化物、碳酸盐或硝酸盐等通常使用的玻璃原料，将混合后的原料放入铂制坩埚中，在1550℃～1650℃的温度下熔融3～5小时，进行了脱泡、均质化。
使所得到的熔融玻璃流入模具材料中，得到了玻璃块。对该玻璃块进行切割、磨削，并将第一主面和第二主面加工成镜面，从而制作了300mm×300mm×0.4mm的玻璃板。
接着，对所制作的玻璃板进行在KNO3的含有比例为100质量％、温度为435℃的熔融钾盐中浸渍60分钟的离子交换，从而得到了比较例1的化学强化玻璃。
对于所得到的化学强化玻璃，使用Citizen Seimitsu公司制造的划线器SS450、三星钻石工业公司制造的超硬磨轮，在磨轮的角度为130°、压痕载荷13N～14N(1.3kgf～1.4kgf)、切削量0.1mm、切割速度300mm/秒的条件内适当调节对300mm的两端各50mm的部分赋予(划)切割线(划线)，并沿着切割线(划线)进行了折断(break)。由此，制作了300mm×200mm×0.4mm的玻璃板。
对于所得到的化学强化玻璃板，使用图1所示的弯曲试验装置进行了弯曲试验方法，但在弯曲到D＝200mm的时刻发生了破裂。这种情况下的弯曲应力可以通过式(2)求出。由该结果确认到断裂强度为144MPa以下。
表1
实施例1 实施例2 实施例3 实施例4 实施例5 比较例1
玻璃材料 钠钙玻璃 钠钙玻璃 钠钙玻璃 钠钙玻璃 钠钙玻璃 铝硅酸盐玻璃
SiO2(质量％) 72 68.5 72 68.5 68.5 73
Al2O3(质量％) 1.86 5.01 1.86 5.01 5.01 7
CaO(质量％) 7.82 7.21 7.82 7.21 7.21 0
MgO(质量％) 4.69 4.12 4.69 4.12 4.12 6
Na2O(质量％) 13 14.6 13 14.6 14.6 14
K2O(质量％) 0.31 0.24 0.31 0.24 0.24 0
TiO2(质量％) 0.07 0.13 0.07 0.13 0.13 0
Fe2O3(质量％) 0.104 0.08 0.104 0.08 0.08 0
SO3(质量％) 0.19 0.17 0.19 0.17 0.17 0
E(MPa) 72 72 72 72 72 68
CS(MPa) 550 630 490 600 590 750
DOL(μm) 14 13 11.5 15.5 14.5 17
平均板厚t(mm) 0.215 0.175 0.15 0.110 0.070 0.4
CT(MPa) 41 55 45 116 223 35
(平均)断裂强度(MPa) 463 421 ≥260 ≥315 ≥303 ≤144
参考特定的方式对本发明详细地进行了说明，但是对于本领域技术人员显而易见的是：在不脱离本发明的精神和范围的情况下能够进行各种变更和修正。
需要说明的是，本申请基于2015年5月29日提出的日本专利申请(日本特愿2015-110899)，通过引用援用其整体。
符号说明
2 化学强化玻璃
2a、2b 端部
10 弯曲试验装置
12 基座
14 第一支撑盘
14a 支撑面
16 第二支撑盘
16a 支撑面
17 止挡件
20 移动部
21 升降架
22 电动机
23 滚珠丝杠机构
24 滑块
30 调节部
40 检测部
50 支撑部
52 连结部
60 载置部
100 化学强化玻璃
101 第一主面
102 第二主面
103 端面
111 第一倾斜部
112 第二倾斜部
113 曲面部
200 玻璃
201 第一主面
202 第二主面
203 端面
211 第一倾斜部
212 第二倾斜部
213 曲面部
300 磨石
301 磨削槽
303 工作台
400 化学强化玻璃
401 第一主面
402 第二主面
403 端面
411 第一倾斜部
412 第二倾斜部
413 曲面部
500 化学强化玻璃
501 第一主面
502 第二主面
503 端面
511 第一倾斜部
512 第二倾斜部
513 曲面部

Claims (11)

1.一种化学强化玻璃，其具有第一主面、与所述第一主面相反的第二主面以及连接所述第一主面与所述第二主面的端面，并且
在所述第一主面和所述第二主面设置有压应力层，其中，
所述化学强化玻璃的平均板厚t为0.06mm～0.25mm，并且
在进行下述弯曲试验方法的情况下，不形成以所述第一主面和所述第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹，
(弯曲试验方法)
进行如下所述的弯曲试验方法：
将第一支撑盘与第二支撑盘以使得所述第一支撑盘的支撑面与所述第二支撑盘的支撑面彼此相对的方式平行配置，
使所述化学强化玻璃的端部分别由所述第一支撑盘与所述第二支撑盘支撑，
在将所述第一支撑盘的支撑面与所述第二支撑盘的支撑面的间隔维持为通过下述式(1)求出的间隔D[mm]的状态下，使所述第二支撑盘的相对于所述第一支撑盘的位置向与所述第一支撑盘的支撑面和所述第二支撑盘的支撑面平行且不改变所述化学强化玻璃的弯曲方向的方向移动200mm，
对在所述第一支撑盘与所述第二支撑盘之间发生弯曲的所述化学强化玻璃中是否形成裂纹进行考察，
D＝(A×E×t/σ)+t (1)
D：所述第一支撑盘的支撑面与所述第二支撑盘的支撑面的间隔(单位[mm])
A＝1.198
E：所述化学强化玻璃的杨氏模量(单位[MPa])
t：所述化学强化玻璃的平均板厚(单位[mm])
σ＝200(单位[MPa])。
2.如权利要求1所述的化学强化玻璃，其中，所述化学强化玻璃的所述端面具有：相对于所述第一主面向所述第二主面侧倾斜延伸的第一倾斜部、相对于所述第二主面向所述第一主面侧倾斜延伸的第二倾斜部以及连接所述第一倾斜部与所述第二倾斜部的曲面部。
3.如权利要求2所述的化学强化玻璃，其中，所述曲面部的所述化学强化玻璃的板厚方向上的截面形状为圆弧状。
4.如权利要求2或3所述的化学强化玻璃，其中，所述曲面部的最小曲率半径为0.125mm以下。
5.如权利要求1～4中任一项所述的化学强化玻璃，其中，所述第一主面和所述第二主面的表面压应力为400MPa～1000MPa。
6.如权利要求1～5中任一项所述的化学强化玻璃，其中，所述第一主面和所述第二主面的压应力深度为6μm～25μm。
7.如权利要求1～6中任一项所述的化学强化玻璃，其中，所述化学强化玻璃的内部拉应力为250MPa以下。
8.如权利要求1～7中任一项所述的化学强化玻璃，其中，在所述端面设置有压应力层。
9.如权利要求1～8中任一项所述的化学强化玻璃，其中，所述化学强化玻璃的面内的板厚的最大值与最小值之差为0.03mm以下。
10.如权利要求1～9中任一项所述的化学强化玻璃，其中，以氧化物基准的摩尔％表示，所述化学强化玻璃含有0.8％～4.5％的Al2O3。
11.如权利要求1～10中任一项所述的化学强化玻璃，其用于光掩模基板。
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