CN107479336B - 一种精密定位工作台 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种精密定位工作台，包括底座、滑动座和平台，平台为位于滑动座的上方，滑动座位于底座上方，将产品输送的方向定义为前方，滑动座设有驱动滑动座前后移动的移动驱动机构，平台的下方设有支撑机构；移动驱动机构包括挡板、丝杆和驱动电机，挡板固定于底座的后端，驱动电机固定于挡板，丝杆的一端与驱动电机的输出轴连接，丝杆的另一端与滑动座螺纹连接。本发明不仅结构合理，无需人工调整水平度，提高生产加工效率，而且起到防滑的效果，提高其加工的精确度。

Description

一种精密定位工作台
技术领域
本发明属于机械工作台技术领域，特别是涉及一种精密定位工作台。
背景技术
纳米器件可广泛应用于电子学、光学、微机械装置、新型计算机等，是当今新材料与新器件研究领域中最富有活力的研究领域，也是元器件小型化、智能化、高集成化等的主流发展方向。纳米压印光刻技术是一种全新的纳米图形复制方法，其优势十分明显，具有强大竞争力，从根本上展示了纳米器件生产的广阔前景，因此在2003年底被国际半导体蓝图机构规划为下一代32纳米节点光刻工艺的关键技术。
现有技术的工作台在工作过程中震动幅度较大，严重影响了工作台定位加工的精度，工作台的平行度难以调节，手动找平比较繁琐，存在人为因素，影响生产加工质量。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种精密定位工作台，不仅结构合理，无需人工调整水平度，提高生产加工效率，而且起到防滑的效果，提高其加工的精确度。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：一种精密定位工作台，包括底座、滑动座和平台，所述平台为位于所述滑动座的上方，所述滑动座位于所述底座上方，将产品输送的方向定义为前方，所述滑动座设有驱动所述滑动座前后移动的移动驱动机构，所述平台的下方设有支撑机构；
所述移动驱动机构包括挡板、丝杆和驱动电机，所述挡板固定于所述底座的后端，所述驱动电机固定于所述挡板，所述丝杆的一端与所述驱动电机的输出轴连接，所述丝杆的另一端与所述滑动座螺纹连接；
所述支撑机构设有四个，且所述支撑机构对称分布于所述平台的四周，所述支撑机构包括压电陶瓷致动器和柔性支架，所述压电陶瓷致动器固定于滑动座，所述柔性支架的一端与滑动座连接，且所述柔性支架的另一端与所述平台连接；
所述平台的上表面设有防滑凸起，所述防滑凸起包括中心的小凸起和若干个大凸起，所述大凸起位于所述小凸起的***且均匀分布。
进一步地说，所述柔性支架包括上端部、下端部和连接所述上端部和所述下端部的柔性片。
进一步地说，所述底座的上表面设有导轨，且所述导轨沿着所述底座的前后方向设置，所述滑动座的下表面设有与所述导轨相匹配的结构以使所述滑动座沿着所述导轨的方向移动。
进一步地说，所述导轨的横截面为矩形、梯形或半圆形。
进一步地说，所述滑动座具有螺孔，所述螺孔的内表面设有与所述丝杆的外螺纹相匹配的内螺纹。
进一步地说，所述大凸起的高度大于所述小凸起的高度。
本发明的有益效果是：
本发明的支撑机构设有四个，且支撑机构对称分布于平台的四周，支撑机构包括压电陶瓷致动器和柔性支架，通过压电陶瓷制动器调整平台的水平度，结构合理，减少加工过程中产生的振动，无需人工调整水平度，提高生产加工效率；
平台的上表面设有防滑凸起，防滑凸起包括中心的小凸起和若干个大凸起，大凸起位于小凸起的***且均匀分布，起到防滑的效果，产品放于平台中间，大凸起可防止产品摔落，提高平台加工的精确度。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
附图中各部分标记如下：
底座1、滑动座2、导轨21、平台3、小凸起31、大凸起32、移动驱动机构4、挡板41、丝杆42、驱动电机43、支撑机构5、压电陶瓷致动器51、上端部52、下端部53和柔性片54。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
实施例：一种精密定位工作台，如图1所示，包括底座1、滑动座2和平台3，所述平台3为位于所述滑动座2的上方，所述滑动座2位于所述底座1上方，将产品输送的方向定义为前方，所述滑动座2设有驱动所述滑动座2前后移动的移动驱动机构4，所述平台3的下方设有支撑机构5；
所述移动驱动机构4包括挡板41、丝杆42和驱动电机43，所述挡板41固定于所述底座1的后端，所述驱动电机43固定于所述挡板41，所述丝杆42的一端与所述驱动电机43的输出轴连接，所述丝杆42的另一端与所述滑动座2螺纹连接；
所述支撑机构5设有四个，且所述支撑机构5对称分布于所述平台3的四周，所述支撑机构5包括压电陶瓷致动器51和柔性支架，所述压电陶瓷致动器51固定于滑动座2，所述柔性支架的一端与滑动座2连接，且所述柔性支架的另一端与所述平台3连接；
所述平台3的上表面设有防滑凸起，所述防滑凸起包括中心的小凸起31和若干个大凸起32，所述大凸起32位于所述小凸起31的***且均匀分布。
所述柔性支架包括上端部52、下端部53和连接所述上端部52和所述下端部53的柔性片54。
所述底座1的上表面设有导轨21，且所述导轨沿着所述底座1的前后方向设置，所述滑动座2的下表面设有与所述导轨相匹配的结构以使所述滑动座2沿着所述导轨的方向移动。
所述导轨的横截面为矩形、梯形或半圆形。
所述滑动座2具有螺孔，所述螺孔的内表面设有与所述丝杆42的外螺纹相匹配的内螺纹。
所述大凸起32的高度大于所述小凸起31的高度。
本发明的工作原理如下：本发明的支撑机构设有四个，且支撑机构对称分布于平台的四周，支撑机构包括压电陶瓷致动器和柔性支架，通过压电陶瓷制动器调整平台的水平度，结构合理，无需人工调整水平度，提高生产加工效率；
平台的上表面设有防滑凸起，防滑凸起包括中心的小凸起和若干个大凸起，大凸起位于小凸起的***且均匀分布，起到防滑的效果，产品放于平台中间，大凸起可防止产品摔落，提高平台加工的精确度。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (3)

1.一种精密定位工作台,其特征在于:包括底座(1)、滑动座(2)和平台(3),所述平台为位于所述滑动座的上方,所述滑动座位于所述底座上方,将产品输送的方向定义为前方,所述滑动座设有驱动所述滑动座前后移动的移动驱动机构(4),所述平台的下方设有支撑机构(5);
所述移动驱动机构包括挡板(41)、丝杆(42)和驱动电机(43),所述挡板固定于所述底座的后端,所述驱动电机固定于所述挡板,所述丝杆的一端与所述驱动电机的输出轴连接,所述丝杆的另一端与所述滑动座螺纹连接;
所述支撑机构设有四个，且所述支撑机构对称分布于所述平台的四周,所述支撑机构包括压电陶瓷致动器(51)和柔性支架，所述压电陶瓷致动器固定于滑动座,所述柔性支架的一端与滑动座连接,且所述柔性支架的另一端与所述平台连接，所述柔性支架包括上端部(52)、下端部(53)和连接所述上端部和所述下端部的柔性片(54);
所述平台的上表面设有防滑凸起,所述防滑凸起包括中心的小凸起(31)和若干个大凸起(32),所述大凸起位于所述小凸起的***且均匀分布，所述大凸起的高度大于所述小凸起的高度，所述底座的上表面设有导轨(21),且所述导轨沿着所述底座的前后方向设置,所述滑动座的下表面设有与所述导轨相匹配的结构以使所述滑动座沿着所述导轨的方向移动。
2.根据权利要求1所述的一种精密定位工作台，其特征在于:所述导轨的横截面为矩形、梯形或半圆形。
3.根据权利要求1所述的一种精密定位工作台,其特征在于:所述滑动座具有螺孔,所述螺孔的内表面设有与所述丝杆的外螺纹相匹配的内螺纹。
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