CN107390938B - 触摸屏及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种触摸屏及其制造方法。触摸屏包括基板、第一电极、第一***走线、绝缘层、第二电极及第二***走线，触摸屏还划分为触控区域、第一***区域、及第二***区域，第一电极包括位于触控区域的第一主体部及位于第一***区域的第一接触垫，第一***走线设置于基板上，第一***走线包括连接第一接触垫的第一连接垫、第二连接垫及第一走线部，第二***走线设置于所述基板上且位于第二***区域，第二***走线包括第三连接垫、第四连接垫及第二走线部，绝缘层对应触控区域及第一***区域且设置于基板、第一电极、第一连接垫及至少部分第一走线部上，第二电极设置于绝缘层上且与第一电极绝缘交叠，第二电极还与第三连接垫连接。

Description

触摸屏及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种触摸屏及其制造方法。

背景技术

目前，触摸屏已广泛地应用于各种电子产品的显示装置中，以便于使用者利用触控方式操控该电子产品的作动。触摸屏为了使其触控区域的电极不易被视认，通常采用氧化铟锡(Indium Tin Oxides，ITO)来形成透明触控电极，触摸屏一般包括沿第一方向延伸的第一电极及沿第二方向延伸且与所述第一电极绝缘交叠的第二电极。

在一种单层导电层(Single ITO,也称SITO)架构的触摸屏中，所述第一电极与所述第二电极设置在同层，但在相交处通过绝缘层绝缘，其中所述第二电极的位于所述第一电极两侧的两个部分可以通过绝缘层通孔连接或者通过金属桥搭接，然而，无论是绝缘层通孔连接还是金属桥搭接，都需要经过两侧对位曝光(如形成绝缘层的一次对位曝光与金属桥的一次对位曝光)制程，导致两次曝光的累积公差较大，从而容易造成所述第二电极的两个部分的连接不良，降低所述触摸屏的良率。进一步地，触摸屏的基板在绝缘层热固化制程可能造成基材收缩，进而后续绝缘层通孔或金属桥的曝光制程中容易出现黄光对位困难，更易造成搭接精度不良、良率降低等问题。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种可改善上述连接不良及良率问题的触摸屏及其制造方法。

一种触摸屏，其包括基板、第一电极、第一***走线、绝缘层、第二电极及第二***走线，所述触摸屏还划分为触控区域、位于所述触控区域第一侧的第一***区域、位于所述触控区域第二侧且与所述第一***区域相邻的第二***区域，所述第二***区域包括绑定区域，所述第一电极设置于基板上且沿第一方向延伸，所述第一电极包括位于所述触控区域的第一主体部及连接所述第一主体部一端且位于所述第一***区域的第一接触垫，所述第一***走线设置于所述基板上，所述第一***走线包括连接所述第一接触垫的第一连接垫、位于所述绑定区域的第二连接垫及连接于所述第一连接垫与所述第二连接垫之间的第一走线部，所述第二***走线设置于所述基板上且位于所述第二***区域，所述第二***走线包括第三连接垫、位于所述绑定区域的第四连接垫及连接于所述第三连接垫与所述第四连接垫之间的第二走线部，所述绝缘层对应所述触控区域及所述第一***区域且设置于所述第一电极、所述第一连接垫及至少部分所述第一走线部上，所述第二电极设置于所述绝缘层上且沿不同于所述第一方向的第二方向延伸以与所述第一电极绝缘交叠，所述第二电极包括位于所述触控区域的第二主体部及连接所述第二主体部一端且位于所述第二***区域的第二接触垫，所述第二电极的第二接触垫与所述第二***走线的第三连接垫连接。

在一种实施方式中，所述绝缘层与所述第二***区域沿垂直所述触摸屏的方向的投影不重叠。

在一种实施方式中，所述第二***区域还包括设置于所述第二连接垫的接触区域，所述绝缘层包括对应所述绑定区域的第一开口及对应所述接触区域的第二开口，所述绝缘层还设置于所述第二***区域的所述基板、所述第一走线部、及所述第二走线部上。

在一种实施方式中，所述第一***区域的数量为两个，所述两个第一***区域位于所述触控区域的相对两侧，所述绝缘层对应所述两个第一***区域且设置于所述两个第一***区域的所述第一连接垫及至少部分所述第一走线部上。

在一种实施方式中，所述第一走线部、所述第二走线部均包括透明导电层及与所述透明导电层层叠设置的金属层。

在一种实施方式中，所述透明导电层与所述第一电极材料相同且在同一道掩膜制程中形成。

在一种实施方式中，所述绝缘层的厚度小于等于10um。

在一种实施方式中，所述绝缘层包括邻近所述基板的底面及连接所述底面的侧面，所述底面与所述侧面之间的倾斜角度小于90度。

在一种实施方式中，所述第一主体部包括多个沿所述第一方向排列的第一电极部及连接于相邻两个第一电极部之间的第一连接桥，所述第二主体部包括多个沿所述第二方向排列的第二电极部及连接于相邻两个第二电极部之间的第二连接桥，所述第一电极部与所述第二电极部在垂直于所述触摸屏的方向不重叠，所述第一连接桥与所述第二连接桥在垂直于所述触摸屏的方向绝缘相交。

在一种实施方式中，设所述第一电极与所述第二电极的制程曝光对位精度为K，K小于等于100um，设所述第一电极部与相邻的两个所述第二电极部之间的间距分别为a与b，且0≦∣a-b∣≦2K。

一种上述触摸屏的制造方法，其包括如下步骤：

提供所述基板；

在所述基板上形成所述第一电极与所述透明导电层、及在所述透明导电层及所述第一电极的所述第一接触垫上形成所述金属层；

在所述第一电极及所述金属层上形成所述绝缘层，且所述绝缘层与所述第三连接垫沿垂直所述触摸屏的方向至少有部分不重叠；及

在所述绝缘层上及所述第三连接垫上形成所述第二电极，所述第二电极的第二接触垫与所述第三连接垫搭接。

相较于现有技术，本发明的触摸屏及制造方法中，所述第一电极及所述第二电极设置于不同层，且所述绝缘层对应所述触控区域及所述第一***区域且设置于所述第一电极、所述第一连接垫及至少部分所述第一走线部上，所述第二电极设置于所述绝缘层及所述第三连接垫上，使得所述绝缘层在触控区域无需设置导通孔且所述第二电极也无需设置额外的金属桥，进而不易在出现因导通孔及金属桥产生的搭接不良、良率降低等问题。

附图说明

图1是本发明第一实施方式的触摸屏的平面结构示意图。

图2是图1沿线II-II的剖面示意图。

图3是图1沿线III-III的剖面示意图。

图4是本发明第二实施方式的触摸屏的平面结构示意图。

图5是图4沿线V-V的剖面示意图。

图6是图1沿线VI-VI的剖面示意图。

图7是本发明触摸屏的制造方法的流程图。

主要元件符号说明

触摸屏 10、20

基板 11、21

第一电极 12、22

第一***走线 13、23

第二***走线 14、24

绝缘层 15、25

第二电极 16、26

触控区域 10a、20a

第一***区域 10b、20b

第二***区域 10c、20c

绑定区域 10d、20d

接触区域 10e、20e

第一主体部 121、221

第一接触垫 122、222

第一电极部 123、223

第一连接桥 124、224

第一连接垫 131、231

第二连接垫 132、232

第一走线部 133、233

第三连接垫 141、241

第四连接垫 142、242

第二走线部 143、243

透明导电层 134、234

金属层 135、235

底面 151、251

侧面 152、252

第二主体部 161、261

第二接触垫 162、262

第二电极部 163、263

第二连接桥 164、264

第一方向 X

第二方向 Y

第一开口 253

第二开口 254

步骤 S1-S4

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

请参阅图1、图2及图3，图1是本发明第一实施方式的触摸屏10的平面结构示意图，图2是图1沿线II-II的剖面示意图，图3是图1沿线III-III的剖面示意图。所述触摸屏10包括基板11、第一电极12、第一***走线13、第二***走线14、绝缘层15、及第二电极16。

所述触摸屏10还划分为触控区域10a、位于所述触控区域10a第一侧的第一***区域10b、位于所述触控区域10a第二侧且与所述第一***区域10b相邻的第二***区域10c。本实施方式中，所述第一***区域10b的数量为两个，所述两个第一***区域10b位于所述触控区域10a的相对两侧，所述第二***区域10c连接所述触摸区域10a与所述第一***区域10b的同一侧。具体地，所述第二***区域10b包括绑定区域10d及接触区域10e，所述绑定区域10d用于电连接外部电路(如经由软性电路板连接外部电路)，所述接触区域10e用于使所述第二电极16与所述第二***走线14搭接。

所述基板11可以为透明基板，其材料可以玻璃、蓝宝石、透明树脂(如PET材料)、透明陶瓷中的一种，但不限于上述材料。

所述第一电极12设置于基板11上且沿第一方向X延伸，所述第一电极12包括位于所述触控区域10a的第一主体部121及连接所述第一主体部121一端且位于所述第一***区域10b的第一接触垫122。所述第一主体部121包括多个沿所述第一方向X排列的第一电极部123及连接于相邻两个第一电极部123之间的第一连接桥124。所述第一电极部123的形状可以为菱形、圆形等但不限于上述形状。所述第一连接桥124可以为直条形，其宽度小于所述第一电极部123的宽度。所述第一电极12的材料可以为透明导电材料，如氧化铟锡(IndiumTin Oxides，ITO)。可以理解，所述第一电极12的数量可以为多个，所述多个第一电极12间隔设置且均沿所述第一方向X延伸，任意相邻两个的第一电极12的间距可以均相等。

所述第一***走线13设置于所述基板11上，用于连接对应的一第一电极12。所述第一***走线13的数量可以与所述第一电极12的数量一致，从而每一第一电极12均连接一对应的一第一***走线13。具体地，所述第一***走线13包括连接所述第一接触垫122且位于所述第一***区域10b的第一连接垫131、位于所述绑定区域10d的第二连接垫132及连接于所述第一连接垫131与所述第二连接垫132之间的第一走线部133。可以理解，所述第一走线部133的部分位于所述第一***区域10b，另一部分位于所述第二***区域10c。

所述第二***走线14设置于所述基板11上且位于所述第二***区域10c，用于连接对应的一第二电极16。所述第二***走线14的数量可以与所述第二电极16的数量一致，从而每一第二电极16均连接一对应的一第二***走线14。具体地，所述第二***走线14包括位于所述接触区域10e的第三连接垫141、位于所述绑定区域10d的第四连接垫142及连接于所述第三连接垫141与所述第四连接垫142之间的第二走线部143。

所述第一走线部133、所述第二走线部143均包括透明导电层134及与所述透明导电层134层叠设置的金属层135。所述透明导电层134与所述第一电极12材料相同(如均为氧化铟锡材料)且可以在同一道掩膜制程中形成。具体地，所述透明导电层134可以位于所述基板11及所述金属层14之间。所述金属层135的材料可以为不透光的金属材料，如包括银、铜、铝等阻抗较低的金属材料。

所述绝缘层15对应所述触控区域10a及所述第一***区域10b且设置于所述第一电极12、所述第一连接垫131、至少部分所述第一走线部133及所述基板11上，具体地，所述绝缘层15可以完全覆盖所述触控区域10a及所述第一***区域10b且将所述第一电极12、所述第一***区域10b的第一连接垫131及部分所述第一走线部133覆盖。本实施方式中，所述绝缘层15与所述第二***区域10c沿垂直所述触摸屏10的方向的投影不重叠，如可以刚好相接或具有预定间隔，从而所述第二***走线14可以均暴露于所述绝缘层15外。

所述触摸屏10可以包括位于所述触控区域10a相对两侧的两个第一***区域10b，所述绝缘层15完全覆盖所述触控区域10a及所述两个第一***区域10b的所述第一电极12、所述第一***区域10b的第一连接垫131及部分所述第一走线部133上。进一步地，所述绝缘层15的尺寸可以基本与所述基板11的尺寸相等，或者稍微小于所述基板11的尺寸。所述绝缘层15可以包括邻近所述基板11的底面151及连接所述底面151的侧面152，所述底面151与所述侧面152之间的倾斜角度小于90度。所述绝缘层15的厚度小于等于10um。所述绝缘层15的材料为透明绝缘材料，如光学胶(OC)、或热塑型弹性材料等(TPF)等。

所述第二电极16设置于所述绝缘层15及所述基板11上且沿不同于所述第一方向X的第二方向Y延伸以与所述第一电极12绝缘交叠，所述第二电极16包括第二主体部161及第二接触垫162，所述第二主体部161对应所述触控区域10a且位于所述绝缘层15上，所述第二接触垫162连接所述第二主体部161的一端且位于所述第二***区域10b的基板上，所述第二接触垫162连接所述第二主体部161的一端经由所述绝缘层15的侧面152连接所述绝缘层15上的所述第二主体部161。所述第二接触垫162还延伸至所述接触区域10e与所述第三连接垫141连接，从而所述第二电极16连接至所述第二***走线14，本实施方式中，所述第二电极16的第二接触垫162与所述第二***走线14的第三连接垫141搭接从而电连接。其中，所述第一方向X与所述第二方向Y可以垂直。

所述第二主体部161包括多个沿所述第二方向Y排列的第二电极部163及连接于相邻两个第二电极部163之间的第二连接桥164，所述第一电极部123与所述第二电极部163在垂直于所述触摸屏10的方向不重叠，所述第一连接桥124与所述第二连接桥164在垂直于所述触摸屏10的方向绝缘相交。所述第二电极部163的形状可以为菱形、圆形等但不限于上述形状。所述第二连接桥164可以为直条形，其宽度小于所述第二电极部163的宽度。所述第二电极16的材料可以为透明导电材料，如氧化铟锡(Indium Tin Oxides，ITO)。可以理解，所述第二电极16的数量可以为多个，所述多个第二电极16间隔设置且均沿所述第二方向Y延伸且与所述多个第一电极12在所述第一连接桥124与所述第二连接桥164处绝缘相交，任意相邻两个的第二电极16的间距可以均相等。

进一步地，本实施方式中，设所述第一电极12与所述第二电极16的制程曝光对位精度为K，K小于等于100um，设所述第一电极部123与相邻的两个所述第二电极部163之间的间距分别为a与b，其中0≦∣a-b∣≦2K。

请参阅图4、图5及图6，图4是本发明第二实施方式的触摸屏20的平面结构示意图，图5是图4沿线V-V的剖面示意图，图6是图1沿线VI-VI的剖面示意图。所述触摸屏20包括基板21、第一电极22、第一***走线23、绝缘层25、第二电极26及第二***走线24。

所述触摸屏20还划分为触控区域20a、位于所述触控区域20a第一侧的第一***区域20b、位于所述触控区域20a第二侧且与所述第一***区域20b相邻的第二***区域20c。本实施方式中，所述第一***区域20b的数量为两个，所述两个第一***区域20b位于所述触控区域20a的相对两侧，所述第二***区域20c连接所述触摸区域20a与所述第一***区域20b的同一侧。具体地，所述第二***区域20a包括绑定区域20d及接触区域20e，所述绑定区域20d用于电连接外部电路(如经由软性电路板连接外部电路)，所述接触区域20e用于将所述第二电极16与所述第二***走线14搭接。

所述基板21可以为透明基板，其材料可以玻璃、蓝宝石、透明树脂(如PET材料)、透明陶瓷中的一种，但不限于上述材料。

所述第一电极22设置于基板21上且沿第一方向X延伸，所述第一电极22包括位于所述触控区域20a的第一主体部221及连接所述第一主体部221一端且位于所述第一***区域20b的第一接触垫222。所述第一主体部221包括多个沿所述第一方向X排列的第一电极部223及连接于相邻两个第一电极部223之间的第一连接桥224。所述第一电极部223的形状可以为菱形、圆形等但不限于上述形状。所述第一连接桥224可以为直条形，其宽度小于所述第一电极部223的宽度。所述第一电极22的材料可以为透明导电材料，如氧化铟锡(IndiumTin Oxides，ITO)。可以理解，所述第一电极22的数量可以为多个，所述多个第一电极22间隔设置且均沿所述第一方向X延伸，任意相邻两个的第一电极22的间距可以均相等。

所述第一***走线23设置于所述基板21上，用于连接对应的一第一电极22。所述第一***走线23的数量可以与所述第一电极22的数量一致，从而每一第一电极22均连接一对应的一第一***走线23。具体地，所述第一***走线23包括连接所述第一接触垫222且位于所述第一***区域20b的第一连接垫、位于所述绑定区域20d的第二连接垫232及连接于所述第一连接垫231与所述第二连接垫232之间的第一走线部233。可以理解，所述第一走线部233的部分位于所述第一***区域20b，另一部分位于所述第二***区域20c。

所述第二***走线24设置于所述基板21上且位于所述第二***区域20c，用于连接对应的一第二电极26。所述第二***走线24的数量可以与所述第二电极26的数量一致，从而每一第二电极26均连接一对应的一第二***走线24。具体地，所述第二***走线24包括位于所述接触区域20e的第三连接垫241、位于所述绑定区域20d的第四连接垫242及连接于所述第三连接垫241与所述第四连接垫242之间的第二走线部243。

所述第一走线部233、所述第二走线部243、所述第一连接垫231、及所述第二连接垫232均包括透明导电层234及与所述透明导电层234层叠设置的金属层235。所述透明导电层234与所述第一电极21材料相同(如均为氧化铟锡材料)且可以在同一道掩膜制程中形成。具体地，所述透明导电层234可以位于所述基板21及所述金属层235之间。所述金属层235的材料可以为不透光的金属材料，如包括银、铜、铝等阻抗较低的金属材料。

所述绝缘层25对应所述触控区域20a、所述第一***区域20b及所述第二***区域20c，且所述绝缘层25设置于所述第一电极22、所述第一连接垫231、所述第一走线部233、所述第二走线部243及所述基板11上，所述绝缘层25包括对应所述绑定区域20d的第一开口253及对应所述接触区域20e的第二开口254。所述第一开口253用于将位于所述绑定区域20d的第二连接垫232与第四连接垫242暴露，以连接软性电路板的元件。所述第二开口254用于将位于所述接触区域20e的所述第三连接垫241暴露，以使得所述第三连接垫241连接所述第二电极26。

进一步地，本实施方式中，所述触摸屏20可以包括位于所述触控区域20a相对两侧的两个第一***区域20b，所述绝缘层25完全覆盖所述触控区域20a及所述两个第一***区域20b的所述第一电极22、所述第一***区域20b的第一连接垫231及部分所述第一走线部233上。进一步地，所述绝缘层25的尺寸可以基本与所述基板21的尺寸相等，或者稍微小于所述基板的尺寸。所述绝缘层25可以包括邻近所述基板21的底面251及连接所述底面251的侧面252，所述底面251与所述侧面252之间的倾斜角度小于90度。所述绝缘层25的厚度小于等于10um。所述绝缘层25的材料为透明绝缘材料，如光学胶(OC)、或热塑型弹性材料(TPF)等。

所述第二电极26设置于所述绝缘层25上且沿不同于所述第一方向X的第二方向Y延伸以与所述第一电极22绝缘交叠，所述第二电极26包括第二主体部261及第二接触垫262，所述第二主体部261对应所述触控区域20a且位于所述绝缘层25上，所述第二接触垫262连接所述第二主体部261一端且位于所述第二***区域20c的所述基板21上，所述第二接触垫262连接所述第二主体部261的一端经由所述绝缘层25的侧面252连接所述绝缘层25上的所述第二主体部261。所述第二接触垫262还延伸至所述接触区域20e与所述第三连接垫241连接，从而所述第二电极26连接至所述第二***走线24，本实施方式中，所述第二电极26的第二接触垫262与所述第二***走线24的第三连接垫241于所述第一开口253处搭接从而电连接。其中，所述第一方向X与所述第二方向Y可以垂直。

所述第二主体部261包括多个沿所述第二方向Y排列的第二电极部263及连接于相邻两个第二电极部263之间的第二连接桥264，所述第一电极部223与所述第二电极部263在垂直于所述触摸屏20的方向不重叠，所述第一连接桥224与所述第二连接桥264在垂直于所述触摸屏20的方向绝缘相交。所述第二电极部263的形状可以为菱形、圆形等但不限于上述形状。所述第二连接桥264可以为直条形，其宽度小于所述第二电极部263的宽度。所述第二电极26的材料可以为透明导电材料，如氧化铟锡(Indium Tin Oxides，ITO)。可以理解，所述第二电极26的数量可以为多个，所述多个第二电极26间隔设置且均沿所述第二方向Y延伸且与所述多个第一电极22在所述第一连接桥224与所述第二连接桥264处绝缘相交，任意相邻两个的第二电极26的间距可以均相等。

进一步地，本实施方式中，设所述第一电极22与所述第二电极26的制程曝光对位精度为K，K小于等于100um，设所述第一电极部223与相邻的两个所述第二电极部263之间的间距分别为a与b，其中0≦∣a-b∣≦2K。

请参阅图7，图7是本发明触摸屏的制造方法的流程图。具体地，所述制造方法可以用于形成上述第一实施方式及第二实施方式中的触摸屏10、20，其包括如下步骤S1-S5。

步骤S1，提供基板。

所述基板可以为第一实施方式与第二实施方式中任意一实施方式中的基板11或21，此处不再赘述其结构。

步骤S2，在所述基板上形成第一电极与透明导电层、及在所述透明导电层及所述第一电极的第一接触垫上形成第一***走线与第二***走线。

所述第一电极、透明导电层及金属层可以为第一实施方式与第二实施方式中任意一实施方式中的第一电极12、22及透明导电层134、234及金属层135、235，此处不再赘述其结构。具体地，所述步骤S2可以包括以下步骤：

在所述基板11、21上形成第一透明导电材料层；

在所述第一透明导电材料层上形成金属材料层；

在所述金属材料层上形成第一光阻层；

采用预定掩膜图案对所述第一光阻层进行曝光、显影以蚀刻所述第一透明导电材料层与金属材料层从而形成所述第一电极11、21、所述透明导电层134、234及位于所述第一电极11、21、所述透明导电层134、234上的金属层135、235；

去除所述第一光阻层；

在所述金属层135、235及所述基板11、21上形成第二光阻层；

采用预定掩膜图案对所述第二光阻层进行曝光、显影以蚀刻位于所述第一电极11、21上的金属层135、235从而形成所述第一***走线13、23与所述第二***走线14、24；及

去除所述第二光阻层。

步骤S3，在所述第一电极、所述第一***走线、所述第二***走线及所述基板上形成绝缘层，且所述绝缘层与所述第二***走线的第三连接垫沿垂直所述触摸屏的方向至少有部分不重叠。

所述步骤S3可以包括以下步骤：在所述第一电极12、所述金属层135、235及所述基板11、21上形成干膜光阻，对所述干膜光阻进行整面曝光、显影、烘烤形成所述绝缘层15、25。

具体地，在第一种实施方式中，所述绝缘层15对应所述触控区域10a及所述第一***区域10b且设置于所述第一电极12、所述第一连接垫131、至少部分所述第一走线部133及所述基板11上，具体地，所述绝缘层15可以完全覆盖所述触控区域10a及所述第一***区域10b且将所述第一电极12、所述第一***区域10b的第一连接垫131及部分所述第一走线部133覆盖。本实施方式中，所述绝缘层15与所述第二***区域10c沿垂直所述触摸屏10的方向的投影不重叠，如可以刚好相接或具有预定间隔，从而所述第二***走线14可以均暴露于所述绝缘层15外。可以理解，关于所述绝缘层15的具体结构特征已在第一实施方式中描述，此处不再赘述。

在第二种实施方式中，所述绝缘层25对应所述触控区域20a、所述第一***区域20b及所述第二***区域20c，且所述绝缘层25设置于所述第一电极22、所述第一连接垫231、所述第一走线部233、所述第二走线部243及所述基板11上，所述绝缘层25包括对应所述绑定区域20d的第一开口253及对应所述接触区域20e的第二开口254。所述第一开口253用于将位于所述绑定区域20d的第二连接垫232与第四连接垫242暴露，以连接软性电路板的元件。所述第二开口254用于将位于所述接触区域20e的所述第三连接垫241暴露，以使得所述第三连接垫241连接所述第二电极26。所述第二实施方式中，可以理解，关于所述绝缘层25的具体结构特征已在第二实施方式中描述，此处不再赘述。

步骤S4，在所述绝缘层上及所述第三连接垫上形成第二电极，所述第二电极的第二接触垫与所述第三连接垫搭接。

所述步骤S4可以包括以下步骤：

在所述绝缘层15、25及所述第三连接垫241上形成第二透明导电材料层；

在所述第二透明导电材料层上形成第三光阻层；

采用预定掩膜图案对所述第三光阻层进行曝光、显影以蚀刻所述第二透明导电材料层从而形成所述第二电极16、26；及

去除所述第三光阻层。

可以理解，关于所述第二电极16、26的具体结构特征已在第一及第二实施方式中描述，此处不再赘述。

相较于现有技术，本发明的触摸屏10、20及制造方法中，所述第一电极12、22及所述第二电极16、26设置于不同层，且所述绝缘层15、25对应所述触控区域10a、20a及所述第一***区域10b、20b且设置于所述第一电极12、22、所述第一连接垫131、231及至少部分所述第一走线部133、233上，所述第二电极16、26设置于所述绝缘层15、25及所述第三连接垫141、241上，使得所述绝缘层15、25在触控区域10a、20a无需设置导通孔且所述第二电极16、26也无需设置额外的金属桥，进而不易在出现因导通孔及金属桥产生的搭接不良、良率降低等问题。

当然，本发明并不局限于上述公开的实施例，本发明还可以是对上述实施例进行各种变更。本技术领域人员可以理解，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施例所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。

Claims (11)

1.一种触摸屏，其包括基板、第一电极、第一***走线、绝缘层、第二电极及第二***走线，所述触摸屏还划分为触控区域、位于所述触控区域第一侧的第一***区域、位于所述触控区域第二侧且与所述第一***区域相邻的第二***区域，所述第二***区域包括绑定区域，所述第一电极设置于基板上且沿第一方向延伸，所述第一电极包括位于所述触控区域的第一主体部及连接所述第一主体部一端且位于所述第一***区域的第一接触垫，所述第一***走线设置于所述基板上，所述第一***走线包括连接所述第一接触垫的第一连接垫、位于所述绑定区域的第二连接垫及连接于所述第一连接垫与所述第二连接垫之间的第一走线部，所述第二***走线设置于所述基板上且位于所述第二***区域，所述第二***走线包括第三连接垫、位于所述绑定区域的第四连接垫及连接于所述第三连接垫与所述第四连接垫之间的第二走线部，其特征在于：所述绝缘层对应所述触控区域及所述第一***区域且设置于所述第一电极、所述第一连接垫及至少部分所述第一走线部上，所述第二电极设置于所述绝缘层上且沿不同于所述第一方向的第二方向延伸以与所述第一电极绝缘交叠，所述第二电极包括位于所述触控区域的第二主体部及连接所述第二主体部一端且位于所述第二***区域的第二接触垫，所述第二电极的第二接触垫与所述第二***走线的第三连接垫连接，所述第二***区域还包括设置于所述第三连接垫的接触区域，所述绝缘层包括对应所述接触区域的第二开口，所述第二接触垫延伸至所述接触区域与所述第三连接垫连接。

2.如权利要求1所述的触摸屏，其特征在于：所述绝缘层与所述第二***区域沿垂直所述触摸屏的方向的投影不重叠。

3.如权利要求1所述的触摸屏，其特征在于：所述绝缘层包括对应所述绑定区域的第一开口，所述绝缘层还设置于所述第二***区域的所述基板、所述第一走线部、及所述第二走线部上。

4.如权利要求1所述的触摸屏，其特征在于：所述第一***区域的数量为两个，所述两个第一***区域位于所述触控区域的相对两侧，所述绝缘层对应所述两个第一***区域且设置于所述两个第一***区域的所述第一连接垫及至少部分所述第一走线部上。

5.如权利要求1所述的触摸屏，其特征在于：所述第一走线部、所述第二走线部均包括透明导电层及与所述透明导电层层叠设置的金属层。

6.如权利要求5所述的触摸屏，其特征在于：所述透明导电层与所述第一电极材料相同且在同一道掩膜制程中形成。

7.如权利要求1所述的触摸屏，其特征在于：所述绝缘层的厚度小于等于10um。

8.如权利要求1所述的触摸屏，其特征在于：所述绝缘层包括邻近所述基板的底面及连接所述底面的侧面，所述底面与所述侧面之间的倾斜角度小于90度。

9.如权利要求1所述的触摸屏，其特征在于：所述第一主体部包括多个沿所述第一方向排列的第一电极部及连接于相邻两个第一电极部之间的第一连接桥，所述第二主体部包括多个沿所述第二方向排列的第二电极部及连接于相邻两个第二电极部之间的第二连接桥，所述第一电极部与所述第二电极部在垂直于所述触摸屏的方向不重叠，所述第一连接桥与所述第二连接桥在垂直于所述触摸屏的方向绝缘相交。

10.如权利要求9所述的触摸屏，其特征在于：设所述第一电极与所述第二电极的制程曝光对位精度为K，K小于等于100um，设所述第一电极部与相邻的两个所述第二电极部之间的间距分别为a与b，且0≦∣a-b∣≦2K。

11.一种如权利要求5所述的触摸屏的制造方法，其包括如下步骤：

提供所述基板；

在所述基板上形成所述第一电极与所述透明导电层、及在所述透明导电层及所述第一电极的所述第一接触垫上形成所述金属层；

在所述第一电极及所述金属层上形成所述绝缘层，且所述绝缘层与所述第三连接垫沿垂直所述触摸屏的方向至少有部分不重叠；及

在所述绝缘层上及所述第三连接垫上形成所述第二电极，所述第二电极的第二接触垫与所述第三连接垫在所述接触区域搭接。

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