CN107272329B - 掩膜版清洁装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种掩膜版清洁装置，包括吸附筒体，所述吸附筒体的第一端设置有吸嘴，所述吸附筒体通过气管与吸气装置流体连通，其中，所述吸附筒体中设置有旋转电机和刀片，所述刀片连接在所述旋转电机的旋转轴上，所述刀片位于所述吸附筒体中且邻近于所述吸嘴。所述掩膜版清洁装置，针对粘连在掩膜版上的类毛线异物，首先通过吸附作用将类毛线异物的主体吸入到吸附筒体的吸嘴中，然后通过刀片旋转切割将类毛线异物从掩膜版上切断，最后将切断的异物吸附去除，由此可以有效地清除掩膜版上粘连的发丝、棉线、毛线和纤维等类毛线异物。

Description

掩膜版清洁装置
技术领域
本发明涉及OLED显示器制造技术领域，具体是一种掩膜版清洁装置。
背景技术
OLED显示器件按照驱动类型可分为PM-OLED(无源OLED)和AM-OLED(有源OLED)；下面主要解析AM-OLED的工艺；AM-OLED工艺可分为三大流程，第一段为阵列基板的工艺，第二段为OLED蒸镀封装工艺；第三段则为邦定老化的显示模块工艺。其中，OLED蒸镀封装工艺中包含多个基板与掩膜版对位的蒸镀工艺，分别蒸镀制作OLED的多个有机层及无机层。
在基板与掩膜版对位的工艺过程中，必须注意到掩膜版开孔处是否镂空，如果在掩膜版开孔处存在杂质异物，制作出的OLED会出现像素不良而导致不良。掩膜版上大多数杂质异物都可以通过清洗、laser repair清除，但是掩膜版上类毛线异物与掩膜版粘性很大，而且对laser的吸收低，是很难被清除的；
掩膜版上的类毛线杂质异物通常包括微尘粒子和发丝、棉线、毛线和纤维等类毛线异物，对于微尘粒子，通常使用吹气或吸气装置可以清洁去除，而对于类毛线异物，传统的吹气或吸气装置清楚效果不佳，容易再次附着在不同的位置。针对类毛线异物，现有技术中使用针头吸管吸附去除，但是针头吸管的吸附力较难控制，若针头的吸力太弱，则吸附能力低，达不到有效的类毛线异物的吸附效果；若针头的吸力太强，可能会使掩膜版变形。并且，类毛线异物可能并非简单的附着在掩膜版上，而是粘连在掩膜版上，二者间可能会存在较大的粘力，此时使用针头吸管强力吸除，很容易使掩膜版受力，导致掩膜版变形，对掩膜版造成破坏。
发明内容
鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种掩膜版清洁装置，该装置可以有效地清除掩膜版上粘连的发丝、棉线、毛线和纤维等类毛线异物，避免掩膜版发生变形，在清洁的过程中有效地保护掩膜版。
为了达到上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：
一种掩膜版清洁装置，包括吸附筒体，所述吸附筒体的第一端设置有吸嘴，所述吸附筒体通过气管与吸气装置流体连通，其中，所述吸附筒体中设置有旋转电机和刀片，所述刀片连接在所述旋转电机的旋转轴上，所述刀片位于所述吸附筒体中且邻近于所述吸嘴。
具体地，所述刀片与所述吸嘴所在的端面的垂直距离为0～2mm。
具体地，所述刀片的数量为多个，多个所述刀片呈圆周对称地连接在所述旋转轴上。
具体地，所述刀片的数量为2个或3个。
具体地，所述吸附筒体为圆筒状结构，所述吸附筒体的直径为5～10mm。
具体地，所述吸气装置为真空泵。
具体地，所述掩膜版清洁装置还包括固定基座和相对位于所述固定基座上方的支撑架，所述固定基座用于承载待清洁的掩膜版，所述吸附筒体通过一限位机构连接到所述支撑架上；所述限位机构用于驱动所述吸附筒体在所述固定基座的上方沿高度方向移动并限制移动行程，以使所述吸嘴与所述掩膜版之间的间距不小于预设的安全距离。
具体地，所述安全距离为1～2mm。
具体地，所述掩膜版清洁装置还包括控制模块和高度传感器，所述高度传感器连接在所述吸附筒体的第一端，所述高度传感器用于实时检测所述吸嘴与所述掩膜版之间的间距并将检测值反馈至所述控制模块；其中，若实时检测的间距小于所述安全距离，所述控制模块分别向所述吸气装置和所述旋转电机发出控制信号，控制所述吸气装置停止吸气，控制所述旋转电机停止转动。
具体地，所述高度传感器的数量为两个，两个所述高度传感器位于所述吸嘴的相对两侧。
本发明实施例提供的掩膜版清洁装置，在吸附筒体中设置有刀片，针对粘连在掩膜版上的类毛线异物，首先通过吸附作用将类毛线异物的主体吸入到吸附筒体的吸嘴中，然后通过刀片旋转切割将类毛线异物从掩膜版上切断，最后将切断的异物吸附去除，由此可以有效地清除掩膜版上粘连的发丝、棉线、毛线和纤维等类毛线异物，在清洁的过程中，可以避免掩膜版发生变形，有效地保护掩膜版。
附图说明
图1是本发明实施例提供的掩膜版清洁装置的结构示意图；
图2是如图1中A部分的放大示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。这些优选实施方式的示例在附图中进行了例示。附图中所示和根据附图描述的本发明的实施方式仅仅是示例性的，并且本发明并不限于这些实施方式。
在此，还需要说明的是，为了避免因不必要的细节而模糊了本发明，在附图中仅仅示出了与根据本发明的方案密切相关的结构和/或处理步骤，而省略了与本发明关系不大的其他细节。
本实施例提供了一种掩膜版清洁装置，如图1和图2所示，所述掩膜版清洁装置包括固定基座1、相对位于所述固定基座1上方的支撑架2、吸附筒体3。所述固定基座1用于承载待清洁的掩膜版4，所述吸附筒体3连接到所述支撑架2上，所述支撑架2将所述吸附筒体3支撑在所述固定基座1的上方。
其中，所述吸附筒体3的朝向所述掩膜版4的第一端设置有吸嘴31，所述吸附筒体3通过气管51与吸气装置5流体连通。当所述掩膜版4上附着有杂质异物时，将所述吸附筒体3吸嘴31对准杂质异物，然后控制吸气装置5吸气，此时若杂质异物是简单的附着(非粘连)在掩膜版4上，则杂质异物被吸入到所述吸附筒体3中，到达清洁所述掩膜版4的效果。在本实施例中，所述吸气装置5为真空泵。
进一步地，所述吸附筒体3中设置有旋转电机6和刀片7，所述刀片7连接在所述旋转电机6的旋转轴61上，所述刀片7位于所述吸附筒体3中且邻近于所述吸嘴31。针对粘连在掩膜版4上的类毛线异物，例如，发丝、棉线、毛线和纤维等类毛线异物，首先通过吸气装置5的吸附作用将类毛线异物的主体吸入到吸附筒体3的吸嘴31中，然后通过刀片7旋转切割将类毛线异物从掩膜版4上切断，最后再由吸气装置5的吸附作用将切断的异物吸附去除。
针对粘连在掩膜版4上的类毛线异物，如上实施例提供的掩膜版清洁装置，不是通过吸气装置5提供强力吸附脱离，而是选择使用较小的吸附力使得类毛线异物自由部分(非粘连部分)伸入到吸附筒体3的吸嘴31中，然后在通过刀片7将伸入到吸嘴31中的类毛线异物切割脱离掩膜版4。由此，可以有效地清除掩膜版4上粘连的类毛线异物，并且在清洁的过程中，避免使用强力吸附脱离导致掩膜版4发生变形，有效地保护掩膜版4。
在本实施例中，所述吸附筒体3为圆筒状结构，由此更加方便地装配旋转电机6和刀片7。具体地，所述吸附筒体3的直径可以设置在5～10mm的范围内，所述刀片7的尺寸可以根据所述吸附筒体3的直径大小相应具体选择。
其中，所述刀片7的数量可以为多个，多个所述刀片7呈圆周对称地连接在所述旋转轴61上。具体地，在本实施例中，所述刀片7的数量为2个，在另外的优选实施例中，所述刀片7的数量也可以设置为3个。
其中，为了避免所述刀片7接触到所述掩膜版4而刮伤所述掩膜版4，所述刀片7不可从所述吸嘴31伸出，所述刀片7可以是与所述吸嘴31所在的端面平齐或者是收容在所述吸嘴31之内，但是又要避免所述刀片7与所述吸嘴31所在的端面距离过大。如图2所示，优选的是，所述刀片7与所述吸嘴31所在的端面的垂直距离h可以设置为0～2mm，当H＝0时，即所述刀片7与所述吸嘴31所在的端面平齐。
在本实施例中，参阅图1和图2，所述吸附筒体3通过一限位机构8连接到所述支撑架2上。所述限位机构8用于驱动所述吸附筒体3在所述固定基座1的上方沿高度方向移动并限制其移动行程，以使所述吸嘴31与所述掩膜版4之间的间距L不小于预设的安全距离。其中，所述安全距离可以设置为1～2mm。
进一步地，参阅图1和图2，本实施例中的掩膜版清洁装置还包括控制模块9和高度传感器10，所述高度传感器10连接在所述吸附筒体3的第一端，所述高度传感器10用于实时检测所述吸嘴31与所述掩膜版4之间的间距L并将检测值反馈至所述控制模块9。其中，所述控制模块9还与所述吸气装置5和所述旋转电机6建立信号连接，若从所述高度传感器10反馈的实时检测的间距L小于所述安全距离，则所述控制模块10分别向所述吸气装置5和所述旋转电机6发出控制信号，控制所述吸气装置5停止吸气，控制所述旋转电机6停止转动。由此防止在所述吸嘴31与所述掩膜版4之间的间距L小于安全距离时，吸气动作和旋转切割动作对掩膜版4造成破坏。在通过所述限位机构8调整使得间距L恢复到安全距离之后，再重新控制所述吸气装置5和所述旋转电机6启动相应的动作。
具体地，本实施例中，如图1所示，所述高度传感器10的数量为两个，两个所述高度传感器10位于所述吸嘴31的相对两侧。
如上实施例提供的掩膜版清洁装置，在吸附筒体中设置有刀片，针对粘连在掩膜版上的类毛线异物，首先通过吸附作用将类毛线异物的主体吸入到吸附筒体的吸嘴中，然后通过刀片旋转切割将类毛线异物从掩膜版上切断，最后将切断的异物吸附去除，由此可以有效地清除掩膜版上粘连的发丝、棉线、毛线和纤维等类毛线异物，在清洁的过程中，可以避免掩膜版发生变形，有效地保护掩膜版。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种掩膜版清洁装置，包括吸附筒体，所述吸附筒体的第一端设置有吸嘴，所述吸附筒体通过气管与吸气装置流体连通，其特征在于，所述吸附筒体中设置有旋转电机和刀片，所述刀片连接在所述旋转电机的旋转轴上，所述刀片位于所述吸附筒体中且邻近于所述吸嘴；
所述掩膜版清洁装置还包括固定基座和相对位于所述固定基座上方的支撑架，所述固定基座用于承载待清洁的掩膜版，所述吸附筒体通过一限位机构连接到所述支撑架上；所述限位机构用于驱动所述吸附筒体在所述固定基座的上方沿高度方向移动并限制移动行程，以使所述吸嘴与所述掩膜版之间的间距不小于预设的安全距离。
2.根据权利要求1所述的掩膜版清洁装置，其特征在于，所述刀片与所述吸嘴所在的端面的垂直距离为0～2mm。
3.根据权利要求1所述的掩膜版清洁装置，其特征在于，所述刀片的数量为多个，多个所述刀片呈圆周对称地连接在所述旋转轴上。
4.根据权利要求3所述的掩膜版清洁装置，其特征在于，所述刀片的数量为3个。
5.根据权利要求1所述的掩膜版清洁装置，其特征在于，所述吸附筒体为圆筒状结构，所述吸附筒体的直径为5～10mm。
6.根据权利要求1所述的掩膜版清洁装置，其特征在于，所述吸气装置为真空泵。
7.根据权利要求6所述的掩膜版清洁装置，其特征在于，所述安全距离为1～2mm。
8.根据权利要求6所述的掩膜版清洁装置，其特征在于，所述掩膜版清洁装置还包括控制模块和高度传感器，所述高度传感器连接在所述吸附筒体的第一端，所述高度传感器用于实时检测所述吸嘴与所述掩膜版之间的间距并将检测值反馈至所述控制模块；其中，若实时检测的间距小于所述安全距离，所述控制模块分别向所述吸气装置和所述旋转电机发出控制信号，控制所述吸气装置停止吸气，控制所述旋转电机停止转动。
9.根据权利要求8所述的掩膜版清洁装置，其特征在于，所述高度传感器的数量为两个，两个所述高度传感器位于所述吸嘴的相对两侧。
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