CN107148152A - 印刷基板用曝光装置 - Google Patents

Abstract

不会利用将基板吸附于基台的真空吸附力或将基板暴露于真空中、就而能够将基板的周边部向基台按压，使得对于厚度不同的基板也能够容易地对应。在基板(S)通过真空吸附机构(3)而被吸附到基台(1)时，设置在不遮挡曝光的形状的框体(61)上的一对周状封固部件(62)与基台(1)抵接，所形成的密闭空间通过框体用排气孔(13)被排气，从而框体(61)被朝向基台(1)按压。其结果，以基板(S)的周边部被按压于基台(1)、基板(S)的变形被矫正的状态，通过曝光***(2)将基板(S)曝光。

Description

印刷基板用曝光装置

技术领域

本申请的发明涉及印刷基板制造用的曝光装置，特别涉及具备一边纠正基板的变形一边进行曝光的功能的曝光装置。

背景技术

印刷基板搭载于便携电话或个人计算机等电子设备中。这些电子设备为了进行小型轻量化，要求提高形成在基板上的图案的集成度，电路要素和图案的微细化得到进展。

在进行图案向印刷基板的形成的光刻法中，存在对于涂敷在基板上的抗蚀剂而形成电路图案等规定的图案的曝光工序，使用了曝光装置。曝光装置为了在基板的规定的位置进行电路图案等规定的图案的转印，需要将基板相对于进行曝光的光学***配置在正确的位置。因此，采用在相对于光学***设置的基台(table)上的规定的位置处载置基板、并在曝光中以保持该位置的方式将基板真空吸附到基台上的机构。

专利文献

专利文献1

日本特开2009－109553号公报

专利文献2

日本特开2011－81156号公报

专利文献3

日本专利4589198号公报

发明内容

在采用了上述那样的将基板真空吸附到基台上的机构的印刷基板用曝光装置中，要求即使对于发生了翘曲或应变这样的变形的基板也正确地进行曝光。基板的翘曲或应变这样的变形因几个要因而发生。其一，可以举出为了电子设备的小型轻量化而采用非常薄的基板。由聚酰亚胺、聚酯等形成的较薄的柔性基板存在容易受到前工序中的热处理的影响、若从横向观察则弯曲或像波浪那样弯曲的情况。并且，即使是像环氧玻璃那样的刚性基板的情况，在基板为多层构造的情况下，也由于原料间的热膨胀系数的不同等而随着重复用于层叠的处理容易在基板的周边部发生翘曲或应变。

在使用曝光装置的用户的角度，期望的是，即使是如此产生变形的基板，也想要将电路图案等规定的图案曝光。

在对上述那样的变形后的基板的曝光中成为问题的是，真空吸附的错误。这是在使变形后的基板载置于基台而进行真空吸附的情况下，在变形的部位出现真空泄露，因此变得不能充分地吸附的错误。若产生吸附错误，则有在曝光中基板发生错位的情况，所以通常，装置的动作停止，曝光处理被中断。

由此，提出了几个在真空吸附时将基板按压在基台上的技术。其中，专利文献1公开了在基板被真空吸附时成为以包围基板的方式配置衬垫的状态、并利用衬垫成为密闭空间而使密闭空间内抽真空的构造。在该构造中，将基板按压在基台上的机构在曝光时被卸除，因此翘曲的弹性较强的基板有在曝光时发生真空吸附错误的情况。并且，由于基板被直接曝露在真空中，所以在基板的表面设有保护膜的情况下，也考虑其剥离或在保护膜的内侧产生气泡。

并且，专利文献2中公开了以将被真空吸附的基板的周边部覆盖的状态配置基板固定片(聚酯片)，通过基板的真空吸附时的吸引力来使该片弹性变形的技术。该构造需要按照基板的形状来设计夹紧机构，为了使其与多种基板尺寸相对应，需要在曝光基台上单独设计夹紧机构，使得成本提高。并且，基板的尺寸不同的情况下需要进行片的更换，但专利文献2的片被机械地夹紧，因此更换不容易。

进而，可以认为由于基板被暴露在真空中，因此产生与上述相同的问题。

并且，专利文献3中公开了通过具有弹性部件的边框状的固定夹具来按压基板的周边部的技术。在构造中，固定夹具的按压用的吸引是与将基板吸附在基台上的吸引完全相同的***。因此，在用于将基板吸附于基台的真空产生了较大的泄露的情况下，有固定夹具将基板的周边按压在基台上的力变弱而不能将基板吸附在基台上的情况。特别是，在刚性较高的基板上产生变形的情况下难以矫正变形。

本申请的发明是为了解决上述的各课题而做出的，其目的在于，在印刷基板用曝光装置中，不会利用将基板真空吸附于基台的力或将基板的周边部暴露于真空中而能够在曝光中将周边部向基台按压，并且对于厚度不同的基板也能够容易地对应。

为了解决上述课题，本申请的技术方案1记载的发明是一种印刷基板用曝光装置，具备：

载置基板的基台；和

对载置在基台上的基板照射形成规定的图案的曝光光的曝光***，

该印刷基板用曝光装置具有如下构成：

设有将基板真空吸附到基台上的真空吸附机构、和将载置在基台上的基板的周边部向基台按压的按压机构，

按压机构具备不遮挡对基板形成规定的图案的曝光光的形状的框体、和通过将框体以在其与基台之间夹入有基板的周边部的状态朝向基台按压从而将基板的周边部向基台按压的驱动部，

框体具有在偏离基板的位置形成密闭空间的构造，并且在对基板进行用于形成规定的图案的曝光光的照射时，驱动部将该密闭空间抽真空，从而将基板的周边部向基台按压，

上述印刷基板用曝光装置设有控制曝光***以及按压机构的控制部，

控制部在向基板进行形成规定的图案的曝光光的照射的期间，也进行使按压机构的驱动部动作的控制。

并且，为了解决上述课题，技术方案2记载的发明在上述技术方案1的构成中具有如下构成：在朝向上述基台按压的上述框体的面对上述基台侧的面上，设有具有弹性的周状封固部件，周状封固部件为在偏离上述基板的位置处抵接于上述基台而形成上述密闭空间的形状。

并且，为了解决上述课题，技术方案3记载的发明在上述技术方案1的构成中具有如下构成：上述基台的面对被按压的上述框体的面上，设有具有弹性的周状封固部件，周状封固部件为在偏离上述基板的位置处抵接于上述框体而形成上述密闭空间的形状。

并且，为了解决上述课题，技术方案4记载的发明在上述技术方案2或3的构成中具有如下构成：上述周状封固部件是管状。

并且，为了解决上述课题，技术方案5记载的发明在上述技术方案1～4中任一项的构成中具有如下构成：设定有待机位置，该待机位置为上述基板向上述基台的送入以及上述基板从上述基台的送出时上述框体所处的位置，

设有使上述框体在动作位置与待机位置之间反复移动的框体移动机构，上述动作位置是将上述框体以夹入了上述基板的周边部的状态向基台按压的位置。

并且，为了解决上述课题，技术方案6记载的发明在上述技术方案5的构成中具有如下构成：上述基板的输送机构被兼用于上述框体移动机构。

并且，为了解决上述课题，技术方案7记载的发明在上述技术方案5或6的构成中具有如下构成：上述框体移动机构是一边将上述框体真空吸附并保持一边使上述框体移动的机构。

并且，为了解决上述课题，技术方案8记载的发明在上述技术方案6或7的构成中具有如下构成：上述基板的输送机构具备将上述基板吸附并保持的基板用吸附垫，

上述框体具有供该基板用吸附垫插通的切口。

如以下所说明的那样，根据本申请的技术方案1记载的发明，曝光时，基板被真空吸附到基台，并且基板的周边部通过框体被按压到基台。此时，框体上通过所形成的密闭空间的真空压力而被施加朝向基台的力。该真空压力能够通过独立于用于将基板向基台吸附的***的***来供给，因此即使在基板与基台之间产生泄露，也能够向框体施加较强的按压力。由此，即使是在刚性较高的基板上产生变形的情况，也能够在曝光中将基板可靠地保持在基台上。并且，密闭空间形成在偏离基板的位置，从而这里的真空压力不会直接作用于基板。

并且，根据技术方案2或3记载的发明，除了上述效果以外，通过具有弹性的周状封固部件形成闭空间，从而按压力柔和地作用。

并且，根据技术方案4记载的发明，除了上述效果以外，由于周状封固部件是管状，所以按压时的压力的调整变得容易，并且对于厚度不同的基板也能够容易地按压。

并且，根据技术方案5记载的发明，除了上述效果以外，由于设有框体移动机构，所以在基板向基台的载置和基板从基台的卸除时能够使框体退避，不需要使基台大规模地移动，从而在这点上机构上得到简化。

并且，根据技术方案6记载的发明，除了上述效果以外，通过基板的输送机构兼用作框体移动机构，从而在这点上装置的构造和动作得到简化。

并且，根据技术方案7记载的发明，除了上述效果以外，由于输送带一边将框体吸附保持一边使其移动，所以有容易在基板的曝光时由输送带将框体剥离并退避、并且框体的更换变得容易的效果。

并且，根据技术方案8记载的发明，除了上述效果以外，框体具有供基板用吸附垫插通的切口，所以有不使构造复杂化而能够以充分的吸附力进行基板的保持的效果。

附图说明

图1是实施方式的印刷基板用曝光装置的正面剖面概略图。

图2是图1的曝光装置的主要部分的俯视概略图。

图3是框体的立体概略图。

图4是关于实施方式的印刷基板用曝光装置的动作而示出的正面剖面概略图。

图5是关于实施方式的印刷基板用曝光装置的动作而示出的正面剖面概略图。

图6是关于实施方式的印刷基板用曝光装置的动作而示出的正面剖面概略图。

图7是关于按照基板的尺寸准备的各框体的一例而示出的立体概略图。

标号说明

1 基台

100 升降机构

11 吸附孔

12 基板用排气通路

13 框体用排气孔

14 框体用排气通路

2 曝光***

3 真空吸附机构

41 第一输送机

42 第二输送机

51 第一输送带

512 基板用吸附垫

514 框体用吸附垫

52 第二输送带

522 基板用吸附垫

6 按压机构

61 框体

611 切口

62 周状封固部件

63 框体用排气管

65 压力调整阀

具体实施方式

接着，说明用于实施本申请发明的形态(以下为实施方式)。

图1是实施方式的印刷基板用曝光装置的正面剖面概略图，图2是图1所示的印刷基板用曝光装置的主要部分的俯视概略图。实施方式的印刷基板用曝光装置具备载置基板S的基台1、和向载置于基台1上的基板S照射用于形成电路等图案的曝光光的曝光***2。图2为载置有基板S的状态下的基台1的俯视概略图。

如图2所示，基台1是俯视方形的台状的部件。基台1的水平的上表面为基板S的载置面，在载置面上以均等间隔设有多个吸附孔11。此外，设有通过经由各吸附孔11抽真空从而将基板S吸附于基台1的真空吸附机构3。基台1与排气管(以下为基板用排气管)31连接，基板用排气管31通过设置于基台1内的基板用排气通路12而与各吸附孔11连通。基板用排气管31上设有开闭阀32和压力调整阀33。

在基台1的两侧设有输送机41、42。输送机41、42用于基板相对于基台1S的送入、送出，可以将任意一侧作为送入用、送出用。以下，为了方便说明，将右侧的输送机41设为第一输送机，将左侧的输送机42设为第二输送机。

作为与各输送机41、42协作动作的部件，在基台1的两侧设有输送带51、52。关于输送带51、52，也能够将任意一个设为送入侧，将任意一个设为送出侧。以下，为了方便说明，将右侧的输送带51设为第一输送带，将左侧的输送带52设为第二输送带。

各输送带51、52具备框511、521和安装于框511、521的基板用吸附垫512、522。各框511、521设置有输送驱动机构513、523。输送驱动机构513、523的细节省略图示，但为能够使框511、521沿输送方向(图1的纸面上左右方向)直线移动而位于规定位置并且沿上下方向移动的机构。装置具备未图示的控制部，各输送驱动机构513、523通过未图示的控制部控制。

基板用吸附垫512、522沿着基板S的周缘设有多个。各基板用吸附垫512、522连接着未图示的基板用吸引源。基板用吸引源的接通断开也同样通过未图示的控制部控制。

曝光***2配置在基台1的上方。实施方式的曝光装置不特别选择曝光的方式，能够采用投影曝光、接触或接近式曝光、进而DI(直接成像)曝光的任意一种方式。例如投影曝光的情况下，曝光***2由光源、被照射来自光源的光的掩模、以及将掩模的像进行基台1上的投影的投影透镜等构成。DI曝光的情况下，采用设有多个具备激光光源、和对来自激光光源的光进行空间调制而形成图案的DMD(Digital Mirror Device)那样的空间调制元件的曝光单元的构成。

这种实施方式的印刷基板用曝光装置为了可靠地进行真空吸附机构对基板S的吸附，具备将载置在基台1上的基板S的周边部按压在基台1上的按压机构6。按压机构6具备框体61、和以在中间夹入有基板S的周边部的状态将框体61朝向基台1按压从而将基板S的周边部按压在基台1上的驱动部。并且，设有使框体61在动作位置与规定的待机位置之间反复移动的框体移动机构，所述动作位置为使框体61以夹入有基板S的周边部的状态按压于基台1的位置。本实施方式中，基板S的送入送出用的第一输送带51和其输送驱动机构513被兼用作框体移动机构。

参照图3来更具体地说明框体61。图3是框体61的立体概略图。如图3所示，框体61是方形的边框状。框体61的内缘的尺寸比基板S的轮廓稍小。在内缘的相面对的边上设有多个大致半圆状的切口611。该切口611是用于避免与基板用吸附垫512的干扰的形状。

如图1所示，第一输送带51上设有多个框体用吸附垫514。各框体用吸附垫514设置于在更靠外缘的位置吸附框体61的位置。各框体用吸附垫514连接着未图示的框体用吸附源。

框体61具有在远离载置于基台1的基板S的位置处形成密闭空间的构造。具体说明的话，在框体61的下表面(面向基台1侧的面)设有具有弹性的周状封固部件62。周状封固部件62在偏离基板S的位置设置在与基台1抵接的位置。

周状封固部件62在本实施方式中为管状的部件，作为材质为硅橡胶那样的树脂制。如图2所示，周状封固部件62为大致方形，尺寸较小者较大者设置在同心上。各周状封固部件62的形状为与框体61的内缘的形状大致相似的形状，为与基板S的轮廓大致相似的形状。

这种大小一对的周状封固部件62相互间的空间为密闭空间，使其为真空压力。即，框体61如后所述以夹入有基板S的状态相对于基台1被按压。如图1所示，基台1中的临近框体61的部位处，形成有框体用排气孔13。框体61的驱动部为从该框体用排气孔13进行真空吸引的机构。框体用排气孔13通过与基板用的吸附孔11独立的***的框体用排气通路14进行排气，由一对周状封固部件62、框体61、和基台1形成的密闭空间被排气成真空。所谓密闭空间意思是，除去吸引用的开口之外封闭的空间。另外，与框体用排气通路14连接的框体用排气管63最终与基板用排气管31一起连接于未图示的真空泵，但这之前为独立的排气管，在框体用排气管63上也设有开闭阀64以及压力调整阀65。

并且，基台1上设有升降机构100。升降机构100除了在基板S的交接时被驱动以外，也出于调节基板S对于曝光***2的距离的目的而使用。升降机构100由含有伺服电机的直动机构构成，通过控制部控制。

接着，参照图4～图7来说明这种实施方式的印刷基板用曝光装置的动作。图4～图6是表示实施方式的印刷基板用曝光装置的动作的正面剖面概略图。

以下的说明中，作为一例，使第一输送机41以及第一输送带51为送入用、使第二输送机42以及第二输送带52为送出用。并且，作为一例，使第一输送带51兼用于框体61的移动。

如图4(1)所示，第一输送带51以保持着框体61的状态待机在第一输送机41之上的规定的待机位置。并且，第二输送带52待机在第二输送机42之上的规定的待机位置。

首先，第一输送带51进行基板S的送入动作。即，如图4(2)所示，第一输送带51下降。此时的下降距离为使各基板用吸附垫512抵接于基板S的位置。若下降结束，则第一输送带51的基板用吸引源动作，第一输送机41上的基板S被吸附保持在第一输送带51上。该状态下，如图4(3)所示，输送驱动机构513使第一输送带51上升。第一输送带51以保持着基板S以及框体61的状态停止在规定的上升位置。

此外，如图4(4)所示，输送驱动机构513使第一输送带51水平移动，使其位于基台1的上方的规定位置。然后，升降机构100动作，基台1上升规定距离。如图5(1)所示，该距离是使基板S抵接于基台1的上表面(载置面)、使框体61的各周状封固部件62也抵接于基台1的距离。

之后，控制部向第一输送带51中的基板用吸附源512以及框体用吸附源发送控制信号，使各个动作停止。在此基础上，控制部向真空吸附机构3中的基板用排气管31上的开闭阀32、框体用排气管63上的开闭阀64发送控制信号，使它们分别成为打开状态。其结果，通过从基板用吸附孔11抽真空，基板S被真空吸附。并且，由一对周状封固部件62形成的密闭空间由于来自框体用排气孔13的抽真空而成为真空压力。其结果，框体61被以在其与基台1中间夹入有基板S的周边部的状态朝向基台1被按压。即，框体61成为内侧的边缘被向下方弯曲的剖面形状，该被弯曲的部分的前端抵接于基板S的周边部，成为将该周边部按压于基台1的状态。此外，此时作为弹性体的周状封固部件62成为稍微被压变形那样的状态。

在基于上述各吸附垫的吸附的解除、基板S的真空吸附以及框体61的吸引的同时，控制部向升降机构100发送控制信号而使升降机构100下降规定距离。其结果，基台1如图5(2)所示那样返回到最初的高度。该高度是成为所设定的曝光距离的高度。另外，输送驱动机构513将第一输送带51返回到最初的待机位置。该状态下，如图5(3)所示，曝光***2动作，对于基台1上的基板S照射规定的图案的光而进行曝光。

若规定时间的曝光结束，则如图5(4)所示，控制部向输送驱动机构513发送控制信号，使处于待机位置的第一输送带51移动到基台1的上方的规定位置后，使其下降规定距离，成为第一输送带51的框体用吸附垫514抵接于框体61的状态。

第一输送带51在下降到该位置后，控制部使第一输送带51的框体用吸附源动作。基板用吸附源不动作，基板S不被向第一输送带51吸附。与框体用吸附源的动作同时地，控制部关闭框体用排气管63上的开闭阀64，打开未图示的大气开放阀。其结果，由一对周状封固部件62产生的密闭空间内的压力返回到大气压，由框体61产生的对基板S的周边部的按压被解除。另外，基板用排气管31的开闭阀32保持打开，基板S的真空吸附不被解除。

该状态下，控制部向输送驱动机构513发送控制信号，使第一输送带51上升，之后，使其水平移动，如图6(1)所示返回到最初的待机位置。第一输送带51在待机位置处确保吸附保持着框体61的状态。

之后，控制部向输送驱动机构523发送控制信号，在使第二输送带52移动到基台1的上方的规定位置后使其下降规定距离，如图6(2)所示，成为第二输送带52的基板用吸附垫522抵接于基板S的状态。该状态下，控制部使第二输送带52的基板用吸附源动作而吸附基板S。此外，控制部将基板用排气管31的开闭阀32关闭而将吸附孔11对大气解放，将基台1上的基板S的真空吸附解除。由此，基板S的真空吸附被从基台1切换为第二输送带52。此时，也有经由基板用排气管31向吸附孔11瞬间提供正压而促进从真空压力向大气压恢复的情况。此外，输送驱动机构523使第二输送带52上升后，使其水平移动，如图6(3)所示，返回到最初的待机位置。之后，输送驱动机构523使第二输送带52下降规定距离，如图6(4)所示成为基板S载置于第二输送机42的状态。此外，控制部在使第二输送带52的基板用吸附源的动作停止后，使第二输送带52上升而返回到待机位置。

由此，成为对一枚基板S的一系列的处理结束的状态。第二输送机42进行将处理完成的基板S向接下来的工序输送的动作，并且接下来的基板S被送入第一输送机41。此外，对于接下来的基板S反复进行相同的动作。另外，根据上述说明可知，框体61一边在第一输送带51的待机位置与基台1上的将基板S的周边部按压于基台1的位置之间进行往返移动，一边被反复利用于基板S的曝光处理。

根据上述说明可知，通过实施方式的印刷基板用曝光装置，在曝光时，基板S被真空吸附于基台1，并且基板S的周边部通过框体61被按压于基台1。此时，框体61通过由一对周状封固部件62形成的密闭空间的真空压力而被施加朝向基台1的力。由此，按压力的调整是容易的。即，通过设置在框体用排气管63上的压力调整阀65而设为适当的压力是容易的。根据场合，也能够通过控制部来自动控制压力。

并且，如图1等所示，用于框体61的朝向基台1的按压的真空压力的空间是与基板S所处的空间隔绝的空间，基板S不会被直接暴露于这里的真空压力。从而，基板S的保护膜的剥离和气泡发生这样的问题在本实施方式中不会发生。

并且，由于通过具有弹性的周状封固部件62形成密闭空间，因此按压力对于基板S的作用的方式变得柔软。即使是由不是弹性部件的材料形成密闭空间而进行真空排气的构造，也能够产生按压框体61的程度的压力，但实施方式的构造能够柔和地施加按压力。

并且，本实施方式中，一对周状封固部件62成为管状。这点有使按压时的压力的调整变得容易的意义，并且有对于厚度不同的基板S也能够容易地进行按压的意义。作为周状封固部件62，可以是线状或绳状的弹性体而不是管状(内部已填塞者)。例如，也能够使用橡胶绳状者或海绵状者。但是，如上所述，周状封固部件62具有通过真空排气而被压缩的同时确保封固状态、并且使弹性起作用以对抗由真空压力产生的框体61向基板S的按压压力而调节按压压力的功能。若基板S的厚度变厚，则使用周状封固部件62的剖面积较大(剖面的高度较高)者，但相反若想要对较薄的基板S进行按压，则为了使枠体61抵接于基板S的周边部，需要相当的压缩，有框体61不能抵接于基板S的周边部、或即使能够抵接也导致由弹性产生的回弹力过剩的问题。因此，产生需要按照基板S的厚度来更换周状封固部件62的需要。另一方面，若是管状的部件，则即使设为与较厚的基板S相应的口径，也能使从较厚的基板S到较薄的基板S作用比较均匀的回弹力而被压缩。因此，对于厚度不同的基板S也能够不需更换地进行使用。

另外，周状封固部件62也可以是不为一对的情况。例如，使用一个剖面为凹状而以周状连续的形状的部件，也能同样进行。

并且，由于设有框体移动机构，因此能够在基板S向基台1的载置或基板S从基台1的移走时使框体61退避。在框体61的位置为固定的情况下，需要有使基台1在暂时向下方移动后沿横向移动这样的大规模的基台1的移动机构，但实施方式的构成中不需要这样的机构，因此机构上得到简化。

另外，根据上述说明可知，吸附保持基板S并进行输送动作的手部(hand)同时也具备将框体61吸附保持的功能，通过基板S的输送机构而兼用作框体移动机构。这点也有将装置的构造和动作简化的意义。在本申请发明的实施时，也可以用与吸附保持基板S的手部独立的手部来吸附保持框体61并通过移动机构移动该独立的手部。但是，若这样做则构造和动作变得复杂，有装置成本上升或动作时间变长的问题。若是兼用作基板用的手部来进行框体61的吸附保持的构成，则没有这样的问题。

并且，输送带一边吸附保持框体61一边使框体61移动这点有在基板S曝光时容易使输送带将框体61分开而进行退避的意义。本申请发明的实施时，也可以是框体61相对于输送带不装卸而是固定的。但是该情况下，由于这样的输送带和其移动机构位于基板S的曝光中的基台1的附近，因此需要设为不遮挡曝光，构造上变得复杂。另一方面，在输送带吸附保持框体61的构造中，输送带将吸附解除而能够退避到任意的位置，因此构造上变得简略。

在上述的实施方式的印刷基板用曝光装置中，框体61按照要处理的基板S的尺寸而适当更换。以下，参照图7来说明这点。图7是关于按照基板S的尺寸准备的各框体61的一例而示出的立体概略图。

如图7所示，本实施方式中，按照基板S的各尺寸准备了不同的框体61，但各框体61的外侧的轮廓是相同的尺寸形状。此外，开口的尺寸形状不同。即，开口为比要处理的基板S稍小尺寸形状。此外，各框体61中，在开口的相面对的缘处同样设有设有多个切口611。切口611是用于避免与基板用吸附垫512、522的干扰的切口611。

对尺寸不同的基板S进行处理的情况下，使保持着此前使用的框体61的第一输送带51下降规定距离，在将框体61置于第一输送机41之上后，使框体用吸附源断开。此外，在使第一输送机41向上方退避后卸除框体61，将尺寸不同的基板用的框体61载置在第一输送机41之上。此外，使第一输送带51下降，使框体用吸附垫514抵接于框体61后使框体用吸附源动作并吸附。在此基础上，使第一输送带51上升，并在待机位置待机。

另外，上述框体61更换时，适当地进行框体61的吸附保持位置的对位。例如，可以考虑将表示各框体用吸附垫514的吸附位置的标记事先设置在框体61的上表面上、将该标记作为记号来进行对位的方法。

并且，上述这样处理不同尺寸的基板S的情况下，各基板用吸附垫512、522在不同的位置将基板S吸附保持，从而使各基板用吸附垫512、522更换或变更位置。例如，可以考虑各基板用吸附垫512、522被安装在保持件上、按照保持件来更换的构造。能够采用以保持件与固定在保持件上的各基板用吸附垫512、522为单元、将该单元相对于各输送带进行更换的构造。

另外，基板用的输送带被兼用于框体61的移动这点有上述那样简化构造的意义，但此时，图3和图7所示的切口611也有不使构造复杂化而能够以充分的吸附力进行基板S的保持的意义。即，框体61按住基板S的周边部，从而开口的缘位于比基板S的周边部靠内侧的位置。此时，在将基板用吸附垫512、522兼用于框体61的移动的构成中，无论如何会产生在输送带吸附保持框体61的状态下由基板用吸附垫512、522吸附保持基板S的动作，基板用吸附垫512、522不得不成为经过框体61的开口而延伸并吸附基板S的构造。该情况下，由于不能在基板S的电路形成部分进行吸附保持、而是对周边的余量(margin)部分进行吸附保持，因此若没有切口611则不得不成为设置多个非常小的吸附垫来吸附保持基板S的构造。但是，该构造是非实用的，吸附力也不能充分确保。若存在切口611，则能够使用某种程度的大小的吸附垫来进行基板S的吸附，另一方面。能够以某种程度的面积确保框体61对基板S有按压作用的部分。

另外，上述实施方式中，基板用吸附垫512、522在基板S的周缘中的、相面对的一对边的周缘上，设置在吸附基板S的位置，但也有在四个边的周缘上设置在吸附基板S的位置的情况。这在可靠地进行基板S的吸附保持这点上是优选的。在一对边的周缘上吸附保持基板S的情况下，用于保持各基板用吸附垫512、522的框511、521为板状，但在四个边的周缘上保持基板S的情况下，框511、521为方形的框状。

在上述实施方式中，第一输送带51、第一输送机41是送入用，第二输送带52、第二输送机42是送出用，但该关系也可以是相反的，也能够将各个用于送入送出的双方。即，使得第一输送带51进行基板S的送入动作而执行曝光的过程中，第二输送带52保持其他的基板S而待机，在最初的基板S的曝光结束后，第一输送带51将基板S送出后，第二输送带52将其他的基板S送入。也可以这样交替地使各输送带进行基板S的送入送出。该情况下，框体61对于各个输送带进行设置，各输送带一边吸附保持框体61一边进行基板S的送入送出动作。

并且，本申请发明的实施时，输送带即使仅一个也足够。也可以是，吸附保持着框体61的一个输送带从第一输送机41将基板S拾起而载置于基台1，在曝光结束后将基板S与框体61一起从基台1拾起而向第二输送机42送出的构成。该情况下，也能够采用仅在单侧有输送机的构成。

另外，基台1是具备升降机构100且在基板S的载置时使基台1进行升降的构成，但也可以通过手部的升降来将其进行，基台1也可以不具备升降机构100。并且，除了基台1具备升降机构100以外，若各输送机具备升降机构，则输送驱动机构513、523不需要具有使各输送带51、52升降的功能。

上述实施方式中，周状封固部件62被安装在框体61上，但也可以安装在基台1侧。即，即使在基台1的上表面中的、面对着为了按压而逐渐临近的框体61的部位设置周状封固部件，也能够同样形成密闭空间，能够同样动作。

并且，真空吸附机构3的基板用排气管31最终与框体用排气管63变到一起，但也可以是完全独立***的(独立的)排气通路、并且是通过各自的泵来排气的构造。另外，对框体61所形成的密闭空间内进行排气的框体用排气孔13在上述实施方式中形成在基台1上，但也可以形成在框体61上。但是，该构造中，框体61引绕排气用的柔性管，因此繁杂且构造上变得复杂。在基台1上有框体用排气孔13的情况下，不存在这样的问题。

框体61需要使一部分抵接于基板S的周边部来将基板S按压于基台1，但形成密闭空间的部分可以不是面对基台1的部分。即，在基台1的周边有框状的其他的部件，周状封固部件62可以与该其他的部件抵接而形成密闭空间。

Claims (9)

1.一种印刷基板用曝光装置，具备：

载置基板的基台；和

对载置在基台上的基板照射形成规定的图案的曝光光的曝光***，

其特征在于，

设有：将基板真空吸附到基台上的真空吸附机构；和将载置在基台上的基板的周边部向基台按压的按压机构，

按压机构具备：不遮挡对基板形成规定的图案的曝光光的形状的框体；和通过将框体以在其与基台之间夹入有基板的周边部的状态朝向基台按压从而将基板的周边部向基台按压的驱动部，

框体具有在偏离基板的位置形成密闭空间的构造，并且在对基板进行形成规定的图案的曝光光的照射时，驱动部将该密闭空间抽真空，从而将基板的周边部向基台按压，

上述印刷基板用曝光装置设有控制曝光***以及按压机构的控制部，

控制部在向基板进行形成规定的图案的曝光光的照射的期间，也进行使按压机构的驱动部动作的控制。

2.如权利要求1记载的印刷基板用曝光装置，其特征在于，

在朝向上述基台按压的上述框体的面对上述基台侧的面上，设有具有弹性的周状封固部件，周状封固部件为在偏离上述基板的位置处抵接于上述基台而形成上述密闭空间的形状。

3.如权利要求1记载的印刷基板用曝光装置，其特征在于，

上述基台的面对被按压的上述框体的面上，设有具有弹性的周状封固部件，周状封固部件为在偏离上述基板的位置处抵接于上述框体而形成上述密闭空间的形状。

4.如权利要求2记载的印刷基板用曝光装置，其特征在于，

上述周状封固部件是管状。

5.如权利要求3记载的印刷基板用曝光装置，其特征在于，

上述周状封固部件是管状。

6.如权利要求1～5中任一项记载的印刷基板用曝光装置，其特征在于，

设定有待机位置，该待机位置为上述基板向上述基台的送入以及上述基板从上述基台的送出时上述框体所处的位置，

设有使上述框体在动作位置与待机位置之间反复移动的框体移动机构，上述动作位置是将上述框体以夹入了上述基板的周边部的状态向基台按压的位置。

7.如权利要求6记载的印刷基板用曝光装置，其特征在于，

上述基板的输送机构被兼用于上述框体移动机构。

8.如权利要求6记载的印刷基板用曝光装置，其特征在于，

上述框体移动机构是一边将上述框体真空吸附并保持一边使上述框体移动的机构。

9.如权利要求7记载的印刷基板用曝光装置，其特征在于，

上述基板的输送机构具备将上述基板吸附并保持的基板用吸附垫，

上述框体具有供该基板用吸附垫插通的切口。