CN107101941A - 一种太赫兹近场显微成像检测仪 - Google Patents

一种太赫兹近场显微成像检测仪 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种太赫兹显微成像检测仪，包括平板以及长方体抛物面镜，所述的平板上依次设置有位于入射光路上的入射抛物面镜组、反射平面镜组和透射抛物面镜组以及位于反射光路上的聚波平面镜组、出射平面镜组和出射抛物面镜，所述的入射抛物面镜组上设置有抛物面镜，所述的透射抛物面镜组上设置有透射抛物面镜，所述的长方体抛物面镜前方设置有金属纳米探针；本发明采用双直线导轨移动椭圆形平面镜，实现两种测量方式迅速切换，太赫兹波均可汇聚到针尖和样品之间，从而实现两种测量方式的组合，以此保证了太赫兹反射式近场显微成像、太赫兹透射式近场显微成像的测量精度，解决了不同样品情况下不同测量方式的组合问题。

Description

一种太赫兹近场显微成像检测仪
技术领域
本发明涉属于精密仪器技术领域, 是一种太赫兹波经过椭圆平面镜组移动切换形成反射和透射两种组合测量方式的装置。
背景技术
受衍射极限的限制，传统太赫兹成像的分辨率仅在亚毫米量级，难以满足半导体材料、生物细胞检测等领域对太赫兹成像分辨率的更高要求。为了突破衍射极限，获得更高的分辨率，必须采用太赫兹近场显微成像技术。
最早报道的太赫兹近场显微成像方案基于物理孔径方法，由贝尔实验室于1998年提出，发展至今，最佳分辨率达到3μm。针对截止效应及孔径透过率低等缺陷，美国伦斯勒理工学院于2000年首创动态孔径法，获得3μm分辨率。2003年，该学院将金属纳米针尖作为散射探针，实现了纳米级成像分辨率。荷兰代尔夫特理工大学利用电光取样法进行近场显微成像，在0.1–2.5THz范围内实现10μm的分辨率。德国Protemics公司使用微型光电导探针直接探测，获得了3μm分辨率。2010年，美国莱斯大学利用平板波导结构进行太赫兹近场显微成像，并得到的分辨率。但是限于制作工艺的问题，这两种近场显微成像方案至今没有突破到纳米级。2008年，韩国浦项工科大学在太赫兹时域光谱***基础上，利用原子力显微镜探针实现对生物细胞的纳米级成像。同年，德国生物化学马克斯普朗克研究所和纳米科学中心R.Hillenbran和H.-G. von Ribbeck等人分别利用迈克尔干涉仪***和太赫兹时域光谱***与原子力显微镜探针结合，在太赫兹波段实现了纳米级成像。
一些太赫兹近场显微成像检测仪中分开使用不同的测量机构实现不同的测量方式，其缺点是成本高、使用不方便、测量效率低。也有一些太赫兹近场显微成像检测仪使用三维调整架和试验平台的方式实现三种测量，这种方式的优点是便于在实验室条件下组装，测量精度很高。这种机构目前来说大多是实验室环境下所采用，且因调整环节较多，在实际测量时，这种机构测量效率较低。
发明内容
本发明的目的之一在于，克服上述现有技术的缺点，提供一种能通过组合来较快实现入射平面镜组移动切换形成反射和透射两种组合测量方式的检测仪，采用直线导轨和滑块导向方式确保测量的精确性，从而确保在同一平台上两种测量方式的快速性和准确性。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种太赫兹显微成像检测仪，包括平板以及长方体抛物面镜，所述的平板上依次设置有位于入射光路上的入射抛物面镜组、反射平面镜组和透射抛物面镜组以及位于反射光路上的聚波平面镜组、出射平面镜组和出射抛物面镜，所述的入射抛物面镜组上设置有抛物面镜，所述的反射平面镜组上设置有反射平面镜，所述的透射抛物面镜组上设置有透射抛物面镜，所述的长方体抛物面镜前方设置有金属纳米探针，所述的聚波平面镜组上设置有所述的聚波平面镜，所述的出射平面镜组上设置有所述的出射平面镜，所述的平板上安装有位于透射抛物面镜组前方的直线导轨，所述的直线导轨上安装有入射平面镜组，所述的入射平面镜组上设置有入射平面镜。
所述的一种太赫兹显微成像检测仪，其平板包括下层平板以及通过左支撑架和右支撑架固定在下层平板上的上层平板，所述的长方体抛物面镜、反射平面镜组、聚波平面镜组和出射平面镜组安装在上层平板上，所述的出射抛物面镜、透射抛物面镜组、金属纳米探针、入射抛物面镜组和直线导轨安装在下层平板上。
所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其反射平面镜组包括反射平面镜固定板以及通过T型弹簧片安装在反射平面镜固定板上的反射平面镜支撑板，所述的反射平面镜支撑板上安装有若干紧定螺钉，所述的紧定螺钉与反射平面镜固定板之间固定有钢球。
所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其聚波平面镜组包括聚波平面镜支撑板以及通过T型弹簧片安装在聚波平面镜支撑板上的聚波平面镜固定板，所述的聚波平面镜支撑板上安装有若干紧定螺钉，所述的紧定螺钉与聚波平面镜固定板之间固定有钢球。
所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其出射平面镜组包括出射平面镜支撑板以及通过T型弹簧片安装在出射平面镜支撑板上的出射平面镜固定板，所述的出射平面镜支撑板上安装有若干紧定螺钉，所述的紧定螺钉与出射平面镜固定板之间固定有钢球。
所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其透射抛物面镜组包括透射抛物面镜支撑板以及通过T型弹簧片安装在透射抛物面镜支撑板上的透射抛物面镜固定板，所述的透射抛物面镜支撑板上安装有若干紧定螺钉，所述的紧定螺钉与透射抛物面镜固定板之间固定有钢球。
所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其入射平面镜组包括入射平面镜支撑板以及通过T型弹簧片安装在入射平面镜支撑板上的入射平面镜固定板，所述的入射平面镜支撑板上安装有若干紧定螺钉，所述的紧定螺钉与入射平面镜固定板之间固定有钢球。
所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其直线导轨包括固定板、通过螺钉固定在固定板左右两侧的导向块以及设置在导向块之间的滑块。
所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其入射抛物面镜组包括入射抛物面镜固定板以及安装在入射抛物面镜固定板正反两面的抛物面镜和入射抛物面镜支撑板，所述的入射抛物面镜支撑板和入射抛物面镜固定板之间连接有T型弹簧片，所述的入射抛物面镜支撑板上安装有若干紧定螺钉，所述的紧定螺钉与入射抛物面镜固定板之间固定有钢球。
本发明的有益效果是：本发明可实现太赫兹反射式近场显微成像和太赫兹透射式近场显微成像的两种测量方式的组合，采用双层平板保证了整体机构的刚性和测量光路的稳定性；采用双导轨移动椭圆形平面镜，实现两种测量方式迅速切换，太赫兹波均可汇聚到针尖和样品之间，从而实现两种测量方式的组合，以此保证了太赫兹反射式近场显微成像、太赫兹透射式近场显微成像的测量精度，解决了不同样品情况下不同测量方式的组合问题。
附图说明
图1是本发明的反射式测量示意图；
图2是本发明的透射式测量示意图；
图3是本发明反射平面镜组的三维示意图；
图4是本发明聚波平面镜组的三维示意图；
图5是本发明出射平面镜组的三维示意图；
图6是本发明透射抛物面镜组的三维示意图；
图7是本发明入射平面镜组的三维示意图；
图8是本发明直线导轨的三维示意图；
图9是本发明入射抛物面镜组的三维示意图。
各附图标记为：1—上层平板，2—长方体抛物面镜，3—反射平面镜组，3.1—反射平面镜支撑板，3.2—紧定螺钉，3.3—螺钉，3.4—钢球，3.5—反射平面镜固定板，3.6—反射平面镜，3.7—螺钉，3.8—T型弹簧片，4—聚波平面镜组，4.1—紧定螺钉，4.2—聚波平面镜支撑板，4.3—螺钉，4.4—T型弹簧片，4.5—螺钉，4.6—聚波平面镜固定板，4.7—钢球，4.8—聚波平面镜，5—出射平面镜组，5.1—螺钉，5.2—螺钉，5.3—T型弹簧片，5.4—紧定螺钉，5.5—出射平面镜支撑板，5.6—出射平面镜，5.7—钢球，5.8—出射平面镜固定板，6—螺钉，7—右支撑架，8—出射抛物面镜，9—下层平板，10—透射抛物面镜组，10.1—透射抛物面镜，10.2—沉头螺钉，10.3—透射抛物面镜固定板，10.4—钢球，10.5—螺钉，10.6—T型弹簧片，10.7—螺钉，10.8—透射抛物面镜支撑板，10.9—紧定螺钉，11—金属纳米探针，12—样品，13—入射平面镜组，13.1—钢球，13.2—入射平面镜，13.3—入射平面镜固定板，13.4—螺钉，13.5—入射平面镜支撑板，13.6—紧定螺钉，13.7—螺钉，13.8—T型弹簧片，14—直线导轨，14.1—滑块，14.2—导向块，14.3—螺钉，14.4—固定板， 15—螺钉，16—螺钉，17—左支撑架，18—入射抛物面镜组，18.1—紧定螺钉，18.2—入射抛物面镜支撑板，18.3—螺钉，18.4—沉头螺钉，18.5—钢球，18.6—抛物面镜，18.7—入射抛物面镜固定板，18.8—螺钉，18.9—T型弹簧片。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
参照图1、图2所示，本发明公开了一种反射式和透射式组合的太赫兹近场显微成像检测仪，解决了以往无焦光学***参与整个光学***成像，却无法测试的难题，它包括一种太赫兹显微成像检测仪，包括平板以及长方体抛物面镜2，所述的平板上依次设置有位于入射光路上的入射抛物面镜组18、反射平面镜组3和透射抛物面镜组10以及位于反射光路上的聚波平面镜组4、出射平面镜组5和出射抛物面镜8，所述的入射抛物面镜组18上设置有抛物面镜18.6，所述的反射平面镜组3上设置有反射平面镜3.6，所述的透射抛物面镜组10上设置有透射抛物面镜10.1，所述的长方体抛物面镜2前方设置有金属纳米探针11和样品12，所述的聚波平面镜组4上设置有所述的聚波平面镜4.8，所述的出射平面镜组5上设置有所述的出射平面镜5.6，所述的平板上通过螺钉15和螺钉16安装有位于透射抛物面镜组10前方的直线导轨14，所述的直线导轨14上安装有入射平面镜组13，所述的入射平面镜组13上设置有入射平面镜13.2。
其中平板包括下层平板9以及通过左支撑架17和右支撑架7固定在下层平板9上的上层平板1，所述的左支撑架17、右支撑架7与下层平板9、上层平板1通过螺钉6紧固连接，所述的长方体抛物面镜2、反射平面镜组3、聚波平面镜组4和出射平面镜组5安装在上层平板1上，所述的出射抛物面镜8、透射抛物面镜组10、金属纳米探针11、入射抛物面镜组18和直线导轨14安装在下层平板9上。
使用时通过直线导轨14将入射平面镜组13移动到近端切入太赫兹波光路，太赫兹波依次经过入射抛物面镜组18、入射平面镜组13、反射平面镜组3和长方体抛物面镜2，聚焦到金属纳米探针11和样品12之间，随后经过长方体抛物面镜2、聚波平面镜组4、出射平面镜组5和出射抛物面镜8反射出来，即可完成太赫兹反射式近场显微成像测量。
通过将入射平面镜组13移动到远端切出太赫兹波光路，太赫兹波依次经过入射抛物面镜组18和透射抛物面镜组10，聚焦到金属纳米探针11和样品12之间，随后经过长方体抛物面镜2、聚波平面镜组4、出射平面镜组5和出射抛物面镜8反射出来，太赫兹透射式近场显微成像测量。
反射平面镜组3固定在上层平板上1，当入射平面镜组13移动到近端切入太赫兹波光路时，太赫兹波被入射抛物面镜组18反射到入射平面镜组13，然后入射平面镜组13将太赫兹波向上反射到反射平面镜组3，进一步反射平面镜组3将太赫兹波反射到长方体抛物面镜2的抛物面上，太赫兹波被长方体抛物面镜2的抛物面反射聚焦到金属纳米探针11和样品12之间，此时形成了反射式光路；当入射平面镜组13移动到远端切出太赫兹波光路时，太赫兹波被入射抛物面镜组18反射到透射抛物面镜组10，太赫兹波无需经过反射平面镜组3，而是直接由透射抛物面镜组10反射穿透样品12聚焦到金属纳米探针11和样品12之间，此时形成了透射式光路。
本发明所述的入射平面镜组13固定在直线导轨14的滑块14.1上，通过滑块14.1移动入射平面镜组13切入或切出太赫兹波光路，本实例中对滑块采用了直线导轨移动结合挡板固定方式，即保证切入和移出太赫兹波光路时光路的可靠性和准确性。
如图3所示，所述的反射平面镜组3包括反射平面镜固定板3.5以及通过T型弹簧片3.8安装在反射平面镜固定板3.5上的反射平面镜支撑板3.1，所述的反射平面镜3.6通过粘胶与反射平面镜固定板3.5固定，T型弹簧片3.8一方面通过两个螺钉3.3与反射平面镜固定板3.5连接，另一方面通过两个螺钉3.7与反射平面镜支撑板3.1连接，使反射平面镜固定板3.5与反射平面镜支撑板3.1之间形成弹性连接，所述的反射平面镜支撑板3.1上安装有若干紧定螺钉3.2，所述的紧定螺钉3.2与反射平面镜固定板3.5之间固定有钢球3.4，三个紧定螺钉3.2通过螺纹安装在反射平面镜支撑板3.1的三个角，三个钢球3.4通过粘胶固定在反射平面镜固定板3.5上，三个紧定螺钉3.2与对应的三个钢球3.4相抵靠，用扳手拧动三个紧定螺钉3.2到不同的深度并顶起钢球3.4，实现反射平面镜3.6的俯仰角度调节。
如图4所示，所述的聚波平面镜组4包括聚波平面镜支撑板4.2以及通过T型弹簧片4.4安装在聚波平面镜支撑板4.2上的聚波平面镜固定板4.6，所述的聚波平面镜4.8通过粘胶与聚波平面镜固定板4.6固定，T型弹簧片4.4一方面通过两个螺钉4.5与聚波平面镜固定板4.6连接，另一方面通过两个螺钉4.3与聚波平面镜支撑板4.2连接，使聚波平面镜固定板4.6与聚波平面镜支撑板4.2之间形成弹性连接，所述的聚波平面镜支撑板4.2上安装有若干紧定螺钉4.1，所述的紧定螺钉4.1与聚波平面镜固定板4.6之间固定有钢球4.7，三个紧定螺钉4.1通过螺纹安装在聚波平面镜支撑板4.2的三个角，三个钢球4.7通过粘胶固定在聚波平面镜固定板4.6上，三个紧定螺钉4.1与对应的三个钢球4.7相抵靠，用扳手拧动三个紧定螺钉4.1到不同的深度并顶起钢球4.7，实现聚波平面镜4.8的俯仰角度调节。
如图5所示，所述的出射平面镜组5包括出射平面镜支撑板5.5以及通过T型弹簧片5.3安装在出射平面镜支撑板5.5上的出射平面镜固定板5.8，所述的出射平面镜5.6通过粘胶与出射平面镜固定板5.8固定，T型弹簧片5.3一方面通过两个螺钉5.1与出射平面镜固定板5.8连接，另一方面通过两个螺钉5.2与出射平面镜支撑板5.5连接，使出射平面镜固定板5.8与出射平面镜支撑板5.5之间形成弹性连接，所述的出射平面镜支撑板5.5上安装有若干紧定螺钉5.4，所述的紧定螺钉5.4与出射平面镜固定板5.8之间固定有钢球5.7，三个紧定螺钉5.4通过螺纹安装在出射平面镜支撑板5.5的三个角，三个钢球5.7通过粘胶固定在出射平面镜固定板5.8上，三个紧定螺钉5.4与对应的三个钢球5.7相抵靠，用扳手拧动三个紧定螺钉5.4到不同的深度并顶起钢球5.7，实现出射平面镜5.6的俯仰角度调节。
如图6所示，所述的透射抛物面镜组10包括透射抛物面镜支撑板10.8以及通过T型弹簧片10.6安装在透射抛物面镜支撑板10.8上的透射抛物面镜固定板10.3，所述的透射抛物面镜10.1通过沉头螺钉10.2与透射抛物面镜固定板10.3固定，T型弹簧片10.6一方面通过两个螺钉10.5与透射抛物面镜固定板10.3连接，另一方面通过两个螺钉10.7与透射抛物面镜支撑板10.8连接，使透射抛物面镜固定板10.3与透射抛物面镜支撑板10.8之间形成弹性连接，所述的透射抛物面镜支撑板10.8上安装有若干紧定螺钉10.9，所述的紧定螺钉10.9与透射抛物面镜固定板10.3之间固定有钢球10.4，三个紧定螺钉10.9通过螺纹安装在透射抛物面镜支撑板10.8的三个角，三个钢球10.4通过粘胶固定在入射平面镜固定板13.3上，三个紧定螺钉10.9与对应的三个钢球10.4相抵靠，用扳手拧动三个紧定螺钉10.9到不同的深度并顶起钢球10.4，实现透射抛物面镜10.1的俯仰角度调节。
如图7所示，所述的入射平面镜组13包括入射平面镜支撑板13.5以及通过T型弹簧片13.8安装在入射平面镜支撑板13.5上的入射平面镜固定板13.3，所述的入射平面镜13.2通过粘胶与入射平面镜固定板13.3固定，T型弹簧片13.8一方面通过两个螺钉13.4与入射平面镜固定板13.3连接，另一方面通过两个螺钉13.7与入射平面镜支撑板13.5连接，使入射平面镜固定板13.3与入射平面镜支撑板13.5之间形成弹性连接，所述的入射平面镜支撑板13.5上安装有若干紧定螺钉13.6，所述的紧定螺钉13.6与入射平面镜固定板13.3之间固定有钢球13.1，三个紧定螺钉13.6通过螺纹安装在入射平面镜支撑板13.5的三个角，三个钢球13.1通过粘胶固定在入射平面镜固定板13.3上，三个紧定螺钉13.6与对应的三个钢球13.1相抵靠，用扳手拧动三个紧定螺钉13.6到不同的深度并顶起钢球13.1，实现入射平面镜13.2的俯仰角度调节。
如图8所示，所述的直线导轨14包括固定板14.4、通过螺钉14.3固定在固定板14.4左右两侧的导向块14.2以及设置在导向块14.2之间的滑块14.1，滑块14.1在固定板14.4上可沿着两个导向块14.2形成的导向槽滑动。
如图9所示，所述的入射抛物面镜组18包括入射抛物面镜固定板18.7以及安装在入射抛物面镜固定板18.7正反两面的抛物面镜18.6和入射抛物面镜支撑板18.2，所述的抛物面镜18.6通过沉头螺钉18.4与入射抛物面镜固定板18.7固定，所述的入射抛物面镜支撑板18.2和入射抛物面镜固定板18.7之间连接有T型弹簧片18.9，所述的T型弹簧片18.9一方面通过两个螺钉18.8与入射抛物面镜固定板18.7连接，另一方面通过两个螺钉18.3与入射抛物面镜支撑板18.2连接，使入射抛物面镜固定板18.7与入射抛物面镜支撑板18.2之间形成弹性连接，所述的入射抛物面镜支撑板18.2上安装有若干紧定螺钉18.1，所述的紧定螺钉18.1与入射抛物面镜固定板18.7之间固定有钢球18.5，三个紧定螺钉18.1通过螺纹安装在入射抛物面镜支撑板18.2的三个角，三个钢球18.5通过粘胶固定在入射抛物面镜固定板18.7上，三个紧定螺钉18.1与对应的三个钢球18.5相抵靠，用扳手拧动三个紧定螺钉18.1到不同的深度并顶起钢球18.5，可实现抛物面镜18.6的俯仰角度调节。
本发明将入射抛物面镜组18、入射平面镜组13、反射平面镜组3、长方体抛物面镜2、聚波平面镜组4、出射平面镜组5、透射抛物面镜组10和出射抛物面镜8通过螺钉安装在整体结构的上下两层平板上，确保整体的刚性，并辅助直线导轨和滑块作为导向元件，在保证光轴一致性的同时也通过T型弹簧片结合紧定螺钉调整各平面镜和各抛物面镜的俯仰角度，保证了测量精度；在同一结构上可同时实现两种测量方式，提高整机测量的快捷性；同时采用两层平板的一体化导轨基座，也有利于组件的加工精度，降低装调难度，提高了装调的精度。
本发明权利要求保护范围不限于上述实施例。

Claims (9)

1.一种太赫兹显微成像检测仪，其特征在于：包括平板以及长方体抛物面镜（2），所述的平板上依次设置有位于入射光路上的入射抛物面镜组（18）、反射平面镜组（3）和透射抛物面镜组（10）以及位于反射光路上的聚波平面镜组（4）、出射平面镜组（5）和出射抛物面镜（8），所述的入射抛物面镜组（18）上设置有抛物面镜（18.6），所述的反射平面镜组（3）上设置有反射平面镜（3.6），所述的透射抛物面镜组（10）上设置有透射抛物面镜（10.1），所述的长方体抛物面镜（2）前方设置有金属纳米探针（11），所述的聚波平面镜组（4）上设置有所述的聚波平面镜（4.8），所述的出射平面镜组（5）上设置有所述的出射平面镜（5.6），所述的平板上安装有位于透射抛物面镜组（10）前方的直线导轨（14），所述的直线导轨（14）上安装有入射平面镜组（13），所述的入射平面镜组（13）上设置有入射平面镜（13.2）。
2.根据权利要求1所述的一种太赫兹显微成像检测仪，其特征在于，所述的平板包括下层平板（9）以及通过左支撑架（17）和右支撑架（7）固定在下层平板（9）上的上层平板（1），所述的长方体抛物面镜（2）、反射平面镜组（3）、聚波平面镜组（4）和出射平面镜组（5）安装在上层平板（1）上，所述的出射抛物面镜（8）、透射抛物面镜组（10）、金属纳米探针（11）、入射抛物面镜组（18）和直线导轨（14）安装在下层平板（9）上。
3.根据权利要求1或2所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其特征在于，所述的反射平面镜组（3）包括反射平面镜固定板（3.5）以及通过T型弹簧片（3.8）安装在反射平面镜固定板（3.5）上的反射平面镜支撑板（3.1），所述的反射平面镜支撑板（3.1）上安装有若干紧定螺钉（3.2），所述的紧定螺钉（3.2）与反射平面镜固定板（3.5）之间固定有钢球（3.4）。
4.根据权利要求1或2所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其特征在于，所述的聚波平面镜组（4）包括聚波平面镜支撑板（4.2）以及通过T型弹簧片（4.4）安装在聚波平面镜支撑板（4.2）上的聚波平面镜固定板（4.6），所述的聚波平面镜支撑板（4.2）上安装有若干紧定螺钉（4.1），所述的紧定螺钉（4.1）与聚波平面镜固定板（4.6）之间固定有钢球（4.7）。
5.根据权利要求1或2所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其特征在于，所述的出射平面镜组（5）包括出射平面镜支撑板（5.5）以及通过T型弹簧片（5.3）安装在出射平面镜支撑板（5.5）上的出射平面镜固定板（5.8），所述的出射平面镜支撑板（5.5）上安装有若干紧定螺钉（5.4），所述的紧定螺钉（5.4）与出射平面镜固定板（5.8）之间固定有钢球（5.7）。
6.根据权利要求1或2所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其特征在于，所述的透射抛物面镜组（10）包括透射抛物面镜支撑板（10.8）以及通过T型弹簧片（10.6）安装在透射抛物面镜支撑板（10.8）上的透射抛物面镜固定板（10.3），所述的透射抛物面镜支撑板（10.8）上安装有若干紧定螺钉（10.9），所述的紧定螺钉（10.9）与透射抛物面镜固定板（10.3）之间固定有钢球（10.4）。
7.根据权利要求1或2所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其特征在于，所述的入射平面镜组（13）包括入射平面镜支撑板（13.5）以及通过T型弹簧片（13.8）安装在入射平面镜支撑板（13.5）上的入射平面镜固定板（13.3），所述的入射平面镜支撑板（13.5）上安装有若干紧定螺钉（13.6），所述的紧定螺钉（13.6）与入射平面镜固定板（13.3）之间固定有钢球（13.1）。
8.根据权利要求1或2所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其特征在于，所述的直线导轨（14）包括固定板（14.4）、通过螺钉（14.3）固定在固定板（14.4）左右两侧的导向块（14.2）以及设置在导向块（14.2）之间的滑块（14.1）。
9.根据权利要求1或2所述的一种太赫兹近场显微成像检测仪，其特征在于，所述的入射抛物面镜组（18）包括入射抛物面镜固定板（18.7）以及安装在入射抛物面镜固定板（18.7）正反两面的抛物面镜（18.6）和入射抛物面镜支撑板（18.2），所述的入射抛物面镜支撑板（18.2）和入射抛物面镜固定板（18.7）之间连接有T型弹簧片（18.9），所述的入射抛物面镜支撑板（18.2）上安装有若干紧定螺钉（18.1），所述的紧定螺钉（18.1）与入射抛物面镜固定板（18.7）之间固定有钢球（18.5）。
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