CN106992056B - 线圈部件 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够使沿层叠方向配置的一个平面螺旋布线与另一个平面螺旋布线的连接可靠性提高的线圈部件。提供的线圈部件具备第一平面螺旋布线、和位于第一平面螺旋布线的层叠方向的上方并且经由连接导通孔与第一平面螺旋布线相互连接的第二平面螺旋布线，第二平面螺旋布线从层叠方向观察时向与第一平面螺旋布线的缠绕方向不同的方向缠绕，第一平面螺旋布线以及第二平面螺旋布线分别在最内周侧，具有从层叠方向观察时相互重合的最内周重复部分，并且，第一平面螺旋布线的最内周重复部分的至少两端部与第二平面螺旋布线的最内周重复部分的至少两端部经由连接导通孔相互连接。

Description

线圈部件

技术领域

本发明涉及线圈部件。具体而言，本发明涉及层叠型线圈部件。

背景技术

以往的层叠型线圈部件采用沿层叠方向经由连接导通孔相互连接向一个方向缠绕的一个平面螺旋布线、和向与一个方向相反的方向缠绕的另一个平面螺旋布线的方式。专利文献1公开了该一个平面螺旋布线的内周端与该另一个平面螺旋布线的内周端经由一个连接导通孔相互连接的层叠型线圈部件。

专利文献1：日本特开2013－225718号公报

然而，如图9所示在一个平面螺旋布线101的内周端与另一个平面螺旋布线102的内周端沿层叠方向经由一个连接导通孔103相互连接的情况下，有连接可靠性不充分的可能性。

发明内容

因此，本发明的一方式的目的在于能够使沿层叠方向配置的一个平面螺旋布线与另一个平面螺旋布线的连接可靠性提高的线圈部件。

为了解决上述课题，在本发明的一方式中，提供线圈部件，

其具备第一平面螺旋布线、和位于该第一平面螺旋布线的层叠方向的上方并且经由连接导通孔与该第一平面螺旋布线相互连接的第二平面螺旋布线，

上述第二平面螺旋布线从上述层叠方向观察时向与上述第一平面螺旋布线的缠绕方向不同的方向缠绕，

上述第一平面螺旋布线以及上述第二平面螺旋布线分别在最内周侧，具有从上述层叠方向观察时相互重合的最内周重复部分，并且，

上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分的至少两端部与上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分的至少两端部经由上述连接导通孔相互连接。

在上述方式的线圈部件中，从层叠方向观察时相互重合的第一平面螺旋布线的最内周重复部分的至少两端部与第二平面螺旋布线的最内周重复部分的至少两端部经由连接导通孔相互连接。由此，各螺旋布线的最内周重复部分经由两个连接导通孔相互连接，所以与内周端彼此经由一个连接导通孔相互连接的情况相比连接点增加。因此，能够不实际改变这些平面螺旋布线的缠绕圈数、最外周直径以及层数等，而使第一平面螺旋布线与第二平面螺旋布线的连接可靠性提高。

在一实施方式中，第一平面螺旋布线以及第二平面螺旋布线各自的最内周重复部分的一个端部定位在从第一平面螺旋布线以及第二平面螺旋布线各自的最内周重复部分的另一个端部缠绕半圈的部分。

换句话说，与以往的一个平面螺旋布线的内周端与另一个平面螺旋布线的内周端沿层叠方向经由一个连接导通孔相互连接的方式相比，各平面螺旋布线的最内周侧进一步缠绕四分之一圈。由此，能够充分地确保布线间隔，并且能够增大各平面螺旋布线的最内周重复部分的区域。因此，能够确保以多个连接导通孔连接各最内周重复部分彼此的区域。因此，能够使第一平面螺旋布线与第二平面螺旋布线的连接可靠性提高。

在一实施方式中，第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部间与第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部间还经由一个以上的连接导通孔相互连接。由此，除了第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部以及第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部以外，在第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部间与第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部间也经由连接导通孔相互连接。因此，能够进一步增加第一平面螺旋布线与第二平面螺旋布线的连接点。因此，能够使第一平面螺旋布线与第二平面螺旋布线的连接可靠性进一步提高。

在一实施方式中，第一平面螺旋布线的最内周重复部分的整个区域与第二平面螺旋布线的最内周重复部分的整个区域经由连接导通孔相互连接。

换句话说，第一平面螺旋布线的最内周重复部分与第二平面螺旋布线的最内周重复部分之间被连接导通孔填满。因此，能够增加连接第一平面螺旋布线与第二平面螺旋布线的区域。因此，能够使第一平面螺旋布线与第二平面螺旋布线的连接可靠性进一步提高。

在一实施方式中，线圈部件还具备在第一平面螺旋布线的缠绕中心部以及第二平面螺旋布线的缠绕中心部延伸的磁芯部。在由导磁率较高的材料构成该磁芯部的情况下，能够进一步增大线圈部件的电感。

在一实施方式中，第一平面螺旋布线的最内周重复部分的宽度尺寸比第一平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小，并且第二平面螺旋布线的最内周重复部分的宽度尺寸比第二平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小。由此，能够扩大第一平面螺旋布线以及第二平面螺旋布线的各缠绕中心部的区域。因此，能够扩大在第一平面螺旋布线以及第二平面螺旋布线的各缠绕中心部延伸的磁芯部。因此，能够进一步增大线圈部件的电感。

在一实施方式中，第一平面螺旋布线的最内周重复部分的宽度尺寸比第一平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小，并且第一平面螺旋布线的最内周重复部分的外缘与第一平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的外缘无凹凸地连续。另外，第二平面螺旋布线的最内周重复部分的宽度尺寸比第二平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小，并且第二平面螺旋布线的最内周重复部分的外缘与第二平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的外缘无凹凸地连续。

由此，能够分别使第一平面螺旋布线以及第二平面螺旋布线的最内周重复部分的内缘与第一平面螺旋布线以及第二平面螺旋布线的最内周重复部分以外的内缘非连续。换句话说，能够分别在第一平面螺旋布线以及第二平面螺旋布线的最内周重复部分的内边缘侧形成朝向外侧方向膨胀的区域。因此，线圈部件在还具备在第一平面螺旋布线的缠绕中心部以及第二平面螺旋布线的缠绕中心部延伸的磁芯部的情况下，能够将磁芯部的直径增大沿上述区域的膨胀的量。其结果，能够进一步增大线圈部件的电感。

根据上述方式的线圈部件，能够使第一平面螺旋布线与第二平面螺旋布线的连接可靠性提高。

附图说明

图1是示意地表示一实施方式所涉及的线圈部件的示意剖视图。

图2是示意地表示在图1所示的线段A－A’从层叠方向观察相互重合的第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部与第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部经由连接导通孔相互连接的方式的示意俯视图。

图3A是示意地表示连接导通孔配置在第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部的方式的示意俯视图。

图3B是示意地表示连接导通孔配置在第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部的方式的示意俯视图。

图4A是示意地表示连接导通孔在第一平面螺旋布线的最内周重复部分配置多个的方式的示意俯视图。

图4B是示意地表示连接导通孔在第二平面螺旋布线的最内周重复部分配置多个的方式的示意俯视图。

图5A是示意地表示连接导通孔配置在第一平面螺旋布线的最内周重复部分的整个区域的方式的示意俯视图。

图5B是示意地表示连接导通孔配置在第二平面螺旋布线的最内周重复部分的整个区域的方式的示意俯视图。

图6A是示意地表示第一平面螺旋布线的最内周重复部分的宽度尺寸比第一平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小的方式的示意俯视图。

图6B是示意地表示第二平面螺旋布线的最内周重复部分的宽度尺寸比第二平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小的方式的示意俯视图。

图7A是示意地表示连接导通孔配置在第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部的其它的方式的示意俯视图。

图7B是示意地表示连接导通孔配置在第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部的其它的方式的示意俯视图。

图8A是示意地表示在绝缘层形成第一平面螺旋布线的状态的示意剖视图。

图8B是示意地表示在绝缘层形成第二平面螺旋布线的状态的示意剖视图。

图8C是示意地表示进一步形成覆盖第二平面螺旋布线的绝缘层的状态的示意剖视图。

图8D是示意地表示形成用于设置磁芯部的贯导通孔的状态的示意剖视图。

图8E是示意地表示在绝缘层形成端子的状态的示意剖视图。

图8F是示意地表示形成磁芯部以及磁性体层的状态的示意剖视图。

图8G是示意地表示最终得到的线圈部件的示意剖视图。

图9是示意地表示以往的线圈部件的示意俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对作为本发明的一方式的多个实施方式所涉及的线圈部件进行说明。

此外，在本说明书中“层叠方向”是指层堆积的方向。“第一平面螺旋布线”以及“第二平面螺旋布线”是指缠绕为螺旋状的布线。在本说明书中“平面螺旋布线向不同的方向缠绕”例如是指从外侧朝向内侧方向(或者从内侧朝向外侧方向)，一个平面螺旋布线顺时针地缠绕，另一个平面螺旋布线逆时针地缠绕的状态。此外，不仅是布线在线宽度方向完全重合的情况，即使是布线在线宽度方向的一部分重合的情况下，该重复位置也能够成为最内周重复部分。

[第一实施方式]

首先，参照图1～图3B对作为本发明的一方式的第一实施方式所涉及的线圈部件1进行说明。

图1是示意地表示第一实施方式所涉及的线圈部件的示意剖视图。图2是示意地表示在图1所示的线段A－A’从层叠方向观察相互重合的第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部与第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部经由连接导通孔相互连接的方式的示意俯视图。图3A是示意地表示连接导通孔配置在第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部的方式的示意俯视图。图3B是示意地表示连接导通孔配置在第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部的方式的示意俯视图。

第一实施方式的线圈部件1例如能够利用于智能手机、汽车的导航等电子设备。第一实施方式所涉及的线圈部件1如图1所示具备配置在绝缘层12内的第一平面螺旋布线2和第二平面螺旋布线3。另外，如图1以及图2所示，磁芯部13以在第一平面螺旋布线2的缠绕中心部以及第二平面螺旋布线3的缠绕中心部延伸的方式配置。另外，如图1所示，该磁芯部13以其两端部分别与磁性体层14连接的方式配置。第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3以第二平面螺旋布线3沿层叠方向位于第一平面螺旋布线2的上方，并且第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的缠绕中心部重合的方式配置。另外，如图3A、图3B所示，第一、第二平面螺旋布线2、3具有从各螺旋形状的外周端直线状地引出的引出部2a、3a。另外，如图1所示，线圈部件1作为外部连接用的端子，具备一对外部端子39。外部端子39的一个经由连接导通孔，和与第一平面螺旋布线2的引出部2a电连接的引出部3b电连接，外部端子39的另一个经由连接导通孔，与第二平面螺旋布线3的引出部3a电连接。此外，第二平面螺旋布线3与引出部3b虽然配置在同一层，但在该层不连接。

第二平面螺旋布线3(参照图3B)沿层叠方向经由连接导通孔与第一平面螺旋布线2(参照图3A)相互连接。该第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3分别缠绕超过n圈(n：自然数)且小于n+1圈。即，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的内周端分别定位在超过n圈(n：自然数)且小于n+1圈的位置。具体而言，在线圈部件1，第一平面螺旋布线2如图3A所示从外侧朝向内侧方向在逆时针方向缠绕1.5圈。另外，在线圈部件1，第二平面螺旋布线3如图3B所示从外侧朝向内侧方向在顺时针方向缠绕1.5圈。另外，以在从第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的最内周侧的端部7、10开始相当于半圈的部分5、6，第一平面螺旋布线2与磁芯部13的间隔、和第二平面螺旋布线3与磁芯部13的间隔大致相等的方式进行定位。并且，第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3分别遍布整个周地具有彼此相等的宽度尺寸。

在这种情况下，如图2所示，第一平面螺旋布线2的部分5和第二平面螺旋布线3的部分6在最内周侧，成为从层叠方向观察相互实际上重合的最内周重复部分。换句话说，在线圈部件1中，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3分别具有最内周重复部分5、6。

如以上那样，在第一实施方式中，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3各自的最内周重复部分5、6的一个端部定位在从第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3各自的最内周重复部分5、6的另一个端部缠绕半圈的部分。换句话说，与图9所示的以往的一个平面螺旋布线101的内周端与另一个平面螺旋布线102的内周端沿层叠方向经由一个连接导通孔103相互连接的方式相比，在线圈部件1中，第一、第二平面螺旋布线2、3的最内周侧进一步缠绕四分之一圈。此时，能够充分地确保与外侧一圈的平面螺旋布线2、3的布线间隔，并且能够增大各平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6的区域。

另外，在第一实施方式中，如图2所示形成最内周重复部分5、6的一个端部的、第一平面螺旋布线2的第一端部7和第二平面螺旋布线3的第一端部8经由第一连接导通孔4相互连接。另外，形成最内周重复部分5、6的另一个端部的、第一平面螺旋布线2的第二端部9和第二平面螺旋布线3的第二端部10经由第二连接导通孔11相互连接。换句话说，第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的两端部7、9与第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的两端部8、10经由两个连接导通孔4、11相互连接。由此，与如图9那样经由一个连接导通孔103相互连接内周端彼此的情况相比连接点增加。因此，与以往的经由一个连接导通孔103相互连接相互层叠配置的平面螺旋布线101、102的内周端彼此的情况相比，能够使第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的连接可靠性提高。

另外，在线圈部件1中经由两个连接导通孔4、11相互连接各平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6，所以与以往的沿层叠方向经由一个连接导通孔103相互连接平面螺旋布线101、102的内周端彼此的情况相比，使第一、第二螺旋布线2、3的最内周侧沿各缠绕方向延长。由此，从层叠方向观察在最内周重复部分5、6，平面螺旋布线2、3成为双层。并且，第一、第二平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6的宽度尺寸与第一、第二螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6以外的部分的宽度尺寸相等。由此，实际上第一、第二平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6的剖面积增大。因此，能够减小第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的最内周重复部分5、6的直流电阻值(Rdc)。因此，进而能够减小由第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3构成的线圈的直流电阻值。另外，在第一实施方式中，与图9比较，能够不改变线圈的缠绕圈数，而形成最内周重复部分5、6。因此，即使不改变缠绕圈数，也能够使连接可靠性提高，另外减小由第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3构成的线圈的直流电阻值。并且，在第一实施方式中，如图2所示，与图9的构成比较，各平面螺旋布线2、3的最外周部分的位置以及层数并不改变，能够不实际改变最外周径以及层数等，而使连接可靠性提高，另外减小由第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3构成的线圈的直流电阻值。换句话说，能够以实际相同的外形起到这些效果。此外，如上述那样第二平面螺旋布线3从层叠方向观察时向与第一平面螺旋布线2的缠绕方向(从外侧朝向内侧方向向逆时针方向)不同的方向(从外侧朝向内侧方向向顺时针方向)缠绕。由此，第一、在第二平面螺旋布线2、3流通电流的情况下产生的磁通成为相同的方向，能够得到比第一平面螺旋布线2或者第二平面螺旋布线3的单独结构大的电感(L)。

另外，也叙述线圈部件1所使用的材料。首先，作为线圈部件1的构成要素的第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的材料虽然并不特别限定，但从能够实现低电阻并且窄螺距的观点来看由Cu(铜)、Ag(银)、Au(金)等金属构成较好。另外，作为线圈部件1的构成要素的绝缘层12的材料虽然并不特别限定，但由环氧类树脂、双马来酰亚胺、液晶聚合物、聚酰亚胺等有机绝缘材构成，或者，由该有机绝缘材与二氧化硅填料等无机填充料以及/或者有机系填充料的组合构成较好。例如，作为线圈部件1的构成要素的绝缘层12的材料由环氧类树脂和二氧化硅填料的组合构成较好。另外，作为线圈部件1的构成要素的磁芯部13以及磁性体层14的材料虽然并不特别限定，但由包含由Fe、Si、Cr等构成的金属磁性材料而成的环氧类树脂构成较好。此外，磁芯部13以及磁性体层14从使电感值以及直流重叠特性提高的观点来看优选包含由Fe、Si、Cr等构成的金属磁性材料在90重量％以上。并且，磁芯部13以及磁性体层14的材料从使填充性提高的观点来看优选使粒度分布不同的两种以上的金属磁性材料混合。

接下来，参照图8A～图8G对线圈部件1的制造方法的一个例子进行说明。

首先，在能够剥离以及除去的虚设基板31(带金属箔基板)的两侧使用真空层压机、冲压装置等对绝缘性薄片进行热粘合、热固化，如图8A所示在虚设基板31的两侧形成绝缘层32。接下来，在该绝缘层32通过无电解电镀、溅射、蒸镀等形成供电膜。接下来，在该供电膜涂覆感光性抗蚀剂，并通过光刻等进行图案化，之后通过电解电镀形成金属布线。金属布线形成后，通过药液剥离除去感光性抗蚀剂，接下来通过蚀刻除去供电膜，从而如图8A所示，在绝缘层32上形成第一平面螺旋布线2。

接下来，以覆盖第一平面螺旋布线2的方式在绝缘层32使用真空层压机、冲压装置等对绝缘性薄片进行热粘合、热固化，如图8B所示进一步形成绝缘层33。接下来，在绝缘层33利用激光加工等形成沿层叠方向分别到达第一平面螺旋布线2的最内周侧的端部7、相当于从该端部缠绕了半圈的位置的部分9以及第一平面螺旋布线2的引出部2a的外侧端部上的贯通孔。接下来，在该贯通孔内以及绝缘层33上通过无电解电镀、溅射、蒸镀等形成供电膜。接下来，在该供电膜涂覆感光性抗蚀剂，并通过光刻等进行图案化，之后通过电解电镀形成金属布线。金属布线形成后，通过药液剥离除去感光性抗蚀剂，接下来通过蚀刻除去供电膜，从而如图8B所示在绝缘层33内以及绝缘层上形成第一连接导通孔4、第二连接导通孔11、经由连接导通孔4、11与第一平面螺旋布线2连接的第二平面螺旋布线3以及引出部3b。

接下来，以覆盖第二平面螺旋布线3的方式在绝缘层33设置绝缘性薄片，并使用真空层压机、冲压装置等对该绝缘性薄片进行热粘合、热固化，如图8C所示进一步形成绝缘层35。

接下来，如图8D所示，从虚设基板31分离具备第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的结构体。接下来，如图8D所示，通过激光加工等在具备第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的结构体形成用于设置磁芯部13的贯通孔36。

接下来，通过激光加工等在绝缘层35形成沿层叠方向分别到达引出部3b以及第二平面螺旋布线3的引出部3a的外侧端部上的贯通孔。接下来，在该贯通孔内以及绝缘层35上通过无电解电镀、溅射、蒸镀等形成供电膜。接下来，在该供电膜涂覆感光性抗蚀剂，并通过光刻等进行图案化，之后通过半加法形成端子前驱体。端子前驱体形成后，通过药液剥离除去感光性抗蚀剂，接下来通过蚀刻除去供电膜，从而如图8E所示在绝缘层35形成经由连接导通孔37分别与引出部3b以及第二平面螺旋布线3的引出部3a电连接的端子38。

接下来，在包含贯通孔36内以及端子38的绝缘层35上设置包含金属磁性材料而成的环氧类树脂部，并使用真空层压机、冲压装置等对该树脂部进行热粘合、热固化，如图8F所示分别形成磁芯部13以及磁性体层14。

接下来，以端子38露出的方式实施磨削、研磨等处理，接下来，实施切割、划线等处理。此时，端子38作为外部端子39形成。通过以上，如图8G所示最终得到线圈部件1。

[第二实施方式]

首先，参照图4A以及图4B对作为本发明的一方式的第二实施方式所涉及的线圈部件进行说明。

图4A是示意地表示连接导通孔在第一平面螺旋布线的最内周重复部分配置多个的方式的示意俯视图。图4B是示意地表示连接导通孔在第二平面螺旋布线的最内周重复部分配置多个的方式的示意俯视图。

在第二实施方式中，与上述第一实施方式相同，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3分别缠绕超过n圈(n：自然数)且小于n+1圈。即，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的内周端分别定位在超过n圈(n：自然数)且小于n+1圈的位置。具体而言，在第二实施方式中，与第一实施方式相同第一平面螺旋布线2如图4A所示从外侧朝向内侧方向逆时针缠绕1.5圈。另外，第二平面螺旋布线3如图4B所示从外侧朝向内侧方向顺时针缠绕1.5圈。图4B所示的第二平面螺旋布线3沿层叠方向位于图4A所示的第一平面螺旋布线2的上方，并且以第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的缠绕中心部重合的方式配置。另外，以在从第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的最内周侧的端部7、10开始相当于半圈的部分5、6，第一平面螺旋布线2与磁芯部13的间隔、和第二平面螺旋布线3与磁芯部13的间隔大致相等的方式进行定位。并且，第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3分别遍及整个周地具有彼此相等的宽度尺寸。在这种情况下，图4A所示的第一平面螺旋布线2的部分5与图4B所示的第二平面螺旋布线3的部分6在最内周侧，成为从层叠方向观察相互实际上重合的最内周重复部分。换句话说，在第二实施方式的线圈部件中，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3也分别具有最内周重复部分5、6。

在第二实施方式中，与第一实施方式相同，形成最内周重复部分5、6的一个端部的、第一平面螺旋布线2的第一端部7和第二平面螺旋布线3的第一端部8经由第一连接导通孔4相互连接。另外，形成最内周重复部分5、6的另一个端部的、第一平面螺旋布线2的第二端部9和第二平面螺旋布线3的第二端部10经由第二连接导通孔11相互连接。除此之外，在第二实施方式中，第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的第一端部7与第二端部9之间、和第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的第一端部8与第二端部10之间还经由一个以上的连接导通孔相互连接。例如，如图4A以及图4B所示，可以在第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的第一端部7与第二端部9之间、和第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的第一端部8与第二端部10之间还经由第三连接导通孔15以及第四连接导通孔16相互连接。换句话说，各平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6可以经由四个连接导通孔相互连接。由此，与使用两个连接导通孔的第一实施方式相比能够进一步使连接点增加。因此，能够使第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的连接可靠性进一步提高。此外，对于第三连接导通孔15以及第四连接导通孔16，在设置第一连接导通孔4以及第二连接导通孔11时，在与第三连接导通孔15以及第四连接导通孔16对应的位置形成贯导通孔之后一并设置即可。

[第三实施方式]

接下来，参照图5A以及图5B对作为本发明的一方式的第三实施方式所涉及的线圈部件进行说明。

图5A是表示连接导通孔配置在第一平面螺旋布线的最内周重复部分的整个区域的方式的示意俯视图。图5B是表示连接导通孔配置在第二平面螺旋布线的最内周重复部分的整个区域的方式的示意俯视图。

在第三实施方式中，与上述第一实施方式相同，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3分别缠绕超过n圈(n：自然数)且小于n+1圈。即，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的内周端分别定位在超过n圈(n：自然数)且小于n+1圈的位置。具体而言，在第三实施方式中，与第一实施方式相同第一平面螺旋布线2如图5A所示从外侧朝向内侧方向逆时针缠绕1.5圈。另外，第二平面螺旋布线3如图5B所示从外侧朝向内侧方向顺时针缠绕1.5圈。图5B所示的第二平面螺旋布线3沿层叠方向位于图5A所示的第一平面螺旋布线2的上方，并且以第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的缠绕中心部重合的方式配置。另外，以在从第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的最内周侧的端部开始相当于半圈的部分5、6，第一平面螺旋布线2与磁芯部13的间隔、和第二平面螺旋布线3与磁芯部13的间隔大致相等的方式进行定位。并且，第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3分别遍布整个周地具有彼此相等的宽度尺寸。在该配置方式中，图5A所示的第一平面螺旋布线2的部分5与图5B所示的第二平面螺旋布线3的部分6在最内周侧，成为从层叠方向观察相互重合的最内周重复部分。换句话说，在第三实施方式的线圈部件中，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3也分别具有最内周重复部分5、6。

另一方面，在第三实施方式中，与第一实施方式不同，图5A所示的第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的整个区域与图5B所示的第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的整个区域经由连接导通孔30相互连续地连接。此外，连接导通孔30由与第一连接导通孔4以及第二连接导通孔11相同的材料构成，将第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3电连接。换句话说，第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5与第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6之间被连接导通孔30填满。换句话说，第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的整个区域与连接导通孔30不是“点”连接而是“面”连接，并且，第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的整个区域与连接导通孔30不是“点”连接而是“面”连接。因此，能够增加连接第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的区域。因此，能够使第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的连接可靠性进一步提高。此外，连接导通孔30例如，形成在螺旋布线2的最内周重复部分5上延伸的形状的贯通孔之后进行设置即可。具体而言，代替上述的第一实施方式的制造方法中的到达第一平面螺旋布线2的最内周侧的端部以及相当于从该端部缠绕半圈的位置的部分的贯通孔的形成，而在绝缘层33利用激光加工等形成到达第一平面螺旋布线2的该两端部间的大致整个面上的贯通孔。接下来，在该贯通孔内填充连接导通孔30的材料。与此同时，在形成金属布线之后，通过药液剥离除去感光性抗蚀剂并蚀刻除去供电膜，最终以第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的整个区域与第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的整个区域经由连接导通孔30相互连续地连接的方式，在绝缘层上形成第二平面螺旋布线3。

接下来，参照图6A以及图6B对作为本发明的一方式的第四实施方式所涉及的线圈部件进行说明。

[第四实施方式]

图6A是示意地表示第一平面螺旋布线的最内周重复部分的宽度尺寸比第一平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小的方式的示意俯视图。图6B是示意地表示第二平面螺旋布线的最内周重复部分的宽度尺寸比第二平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小的方式的示意俯视图。

在第四实施方式中，与上述第一实施方式相同，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3分别缠绕超过n圈(n：自然数)且小于n+1圈。即，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的内周端分别定位在超过n圈(n：自然数)且小于n+1圈的位置。具体而言，在第四实施方式中，与第一实施方式相同第一平面螺旋布线2如图5A所示从外侧朝向内侧方向逆时针缠绕1.5圈。另外，第二平面螺旋布线3如图5B所示从外侧朝向内侧方向顺时针缠绕1.5圈。图5B所示的第二平面螺旋布线3以沿层叠方向位于第一平面螺旋布线2的上方的方式配置，并且以第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的缠绕中心部重合的方式配置。另外，以在从第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的最内周侧的端部7、10开始相当于半圈的部分5、6，第一平面螺旋布线2与磁芯部13的间隔、和第二平面螺旋布线3与磁芯部13的间隔大致相等的方式进行定位。并且，第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3在上述半周部分上彼此具有相等的宽度尺寸。在这种情况下，图6A所示的部分5和图6B所示的部分6在最内周侧，成为从层叠方向观察相互实际上重合的最内周重复部分。换句话说，在第四实施方式中，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3也分别具有最内周重复部分5、6。

另一方面，在第四实施方式中，与上述第一实施方式不同，如图6A所示第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的宽度尺寸比第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5以外的部分的宽度尺寸小。具体而言，如图6A所示，第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的宽度尺寸比第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5以外的部分的宽度尺寸小，并且第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的外缘17与第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5以外的部分的外缘18无凹凸地连续。该情况下，能够使第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的内缘19与第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5以外的内缘20非连续。换句话说，能够在第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的内缘20侧的绝缘层12形成朝向外侧方向膨胀的区域21。此外，本说明书所说的“外缘”、“内缘”分别指从层叠方向观察各平面螺旋布线时的外周侧的边缘、内周侧的边缘。

同样地，如图6B所示第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的宽度尺寸比第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6以外的部分的宽度尺寸小。具体而言，如图6B所示，第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的宽度尺寸比第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6以外的部分的宽度尺寸小，并且第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的外缘22与第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6以外的部分的外缘23无凹凸地连续。该情况下，能够使第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的内缘24与第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6以外的内缘25非连续。换句话说，能够在第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的内缘24侧的绝缘层12形成朝向外侧方向膨胀的区域26。因此，在沿层叠方向在第一平面螺旋布线2的上方配置第二平面螺旋布线3的情况下，能够使在第一平面螺旋布线2的缠绕中心部27以及第二平面螺旋布线3的缠绕中心部28延伸的磁芯部29的范围增大沿区域21、26的膨胀的量。因此，能够进一步增大线圈部件的电感(L)。此外，优选第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的宽度尺寸与第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的宽度尺寸的合计在各平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6以外的部分的宽度尺寸以上。该情况下，与图9相比能够抑制直流电阻值的减少。另外，优选第一平面螺旋布线2的最内周重复部分5的宽度尺寸与第二平面螺旋布线3的最内周重复部分6的宽度尺寸相等。该情况下，不会由于任意一个最内周重复部分5、6的宽度尺寸而限定磁芯部29的范围。

最后，参照图7A以及图7B对作为本发明的一方式的第五实施方式所涉及的线圈部件进行说明。

[第五实施方式]

图7A是示意地表示连接导通孔配置在第一平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部的其它的方式的示意俯视图。图7B是示意地表示连接导通孔配置在第二平面螺旋布线的最内周重复部分的两端部的其它的方式的示意俯视图。

在第五实施方式中，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3分别缠绕n圈。具体而言，在第五实施方式中第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3分别缠绕一圈。如图7A所示，第一平面螺旋布线2从外侧朝向内侧方向逆时针缠绕一圈。另外，如图7B所示，第二平面螺旋布线3从外侧朝向内侧方向顺时针缠绕一圈。此外，与第一～第三实施方式相同，磁芯部13以在第一平面螺旋布线2的缠绕中心部以及第二平面螺旋布线3的缠绕中心部延伸的方式配置。第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3以第二平面螺旋布线3沿层叠方向位于第一平面螺旋布线2的上方，并且第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3的缠绕中心部重合的方式配置。另外，相当于从第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的最内周侧的端部9、8开始半圈的部分5、6以第一平面螺旋布线2与磁芯部13的间隔、和第二平面螺旋布线3与磁芯部13的间隔大致相等的方式进行定位。并且，第一平面螺旋布线2与第二平面螺旋布线3分别遍布整个周地具有彼此相等的宽度尺寸。

在该配置方式中，图7A所示的第一平面螺旋布线2的部分5与图7B所示的第二平面螺旋布线3的部分6在最内周侧，成为从层叠方向观察相互实际上重合的最内周重复部分。换句话说，在第五实施方式中，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3也分别具有最内周重复部分5、6。

换句话说，在第五实施方式中，第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3各自的最内周重复部分5、6的一个端部定位在从第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的最内周重复部分5、6的另一个端部分别缠绕半圈的部分。换句话说，与以往的一个平面螺旋布线101的内周端与另一个平面螺旋布线102的内周端沿层叠方向经由一个连接导通孔103相互连接的方式相比，第一、第二平面螺旋布线2、3的最内周侧进一步缠绕四分之一圈。因此，能够充分地确保布线间隔，并且能够增大各平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6的区域。

在该方式中，在第五实施方式中，如图7A以及图7B所示形成最内周重复部分5、6的一个端部的、第一平面螺旋布线2的第一端部7与第二平面螺旋布线3的第一端部8经由第一连接导通孔4相互连接。另外，形成最内周重复部分5、6的另一个端部的、第一平面螺旋布线2的第二端部9与第二平面螺旋布线3的第二端部10经由第二连接导通孔11相互连接。换句话说，各平面螺旋布线的最内周重复部分5、6经由两个连接导通孔相互连接。由此，能够使第一平面螺旋布线2和第二平面螺旋布线3的连接可靠性提高。另外，在第五实施方式中，与图9那样以往的沿层叠方向各平面螺旋布线101、102的内周端彼此经由一个连接导通孔103相互连接的方式相比，使第一、第二平面螺旋布线2、3的最内周侧沿各缠绕方向延长。由此，从层叠方向观察在最内周重复部分5、6平面螺旋布线2、3成为两层。并且，第一、第二平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6的宽度尺寸与第一、第二螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6以外的部分的宽度尺寸相等。由此，实际上第一、第二平面螺旋布线2、3的最内周重复部分5、6的剖面积增大。因此，能够减小第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3的最内周重复部分5、6的直流电阻值。因此，进而能够减小由第一平面螺旋布线2以及第二平面螺旋布线3构成的线圈的直流电阻值。

以上，对本发明的一方式所涉及的线圈部件及其制造方法进行了说明，但本发明并不限定于此，应该理解通过本领域技术人员能够不脱离权利要求书所规定的发明的范围进行各种变更。例如，可以根据需要适当地组合上述所示的实施方式。此时组合可以组合各实施方式的一部分彼此。

符号说明

1…线圈部件，2…第一平面螺旋布线，2a…第一平面螺旋布线的引出部，3…第二平面螺旋布线，3a…第二平面螺旋布线的引出部，3b…引出部，4…第一连接导通孔，5…第一平面螺旋布线的最内周重复部分，6…第二平面螺旋布线的最内周重复部分，7…最内周重复部分上的第一平面螺旋布线的第一端部(相当于第一平面螺旋布线的内周端)，8…最内周重复部分上的第二平面螺旋布线的第一端部，9…最内周重复部分上的第一平面螺旋布线的第二端部，10…最内周重复部分上的第二平面螺旋布线的第二端部(相当于第二平面螺旋布线的内周端)，11…第二连接导通孔，12…绝缘层，13…磁芯部，14…磁性体层，15…第三连接导通孔，16…第四连接导通孔，17…第一平面螺旋布线的最内周重复部分的外缘，18…第一平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的外缘，19…第一平面螺旋布线的最内周重复部分的内缘，20…第一平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的内缘，21…区域，22…第二平面螺旋布线的最内周重复部分的外缘，23…第二平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的外缘，24…第二平面螺旋布线的最内周重复部分的内缘，25…第二平面螺旋布线的最内周重复部分以外的部分的内缘，26…区域，27…缠绕中心部，28…缠绕中心部，29…磁芯部，30…连接导通孔，31…虚设基板，32…绝缘层，33…绝缘层，35…绝缘层，36…贯通孔，37…连接导通孔，38…端子，39…外部端子，101…一个螺旋布线，102…另一个螺旋布线，103…连接导通孔。

Claims (8)

1.一种线圈部件，其特征在于，

具备第一平面螺旋布线、和位于该第一平面螺旋布线的层叠方向的上方并且经由连接导通孔与该第一平面螺旋布线相互电连接的第二平面螺旋布线，

上述第二平面螺旋布线从上述层叠方向观察时向与上述第一平面螺旋布线的缠绕方向不同的方向缠绕，

上述第一平面螺旋布线以及上述第二平面螺旋布线分别在最内周侧，具有从上述层叠方向观察时相互重合的最内周重复部分，并且，

上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分的至少两端部与上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分的至少两端部经由上述连接导通孔相互电连接，

上述第一平面螺旋布线以及上述第二平面螺旋布线各自的上述最内周重复部分的一个端部定位在从上述第一平面螺旋布线以及上述第二平面螺旋布线各自的上述最内周重复部分的另一个端部缠绕半圈的部分。

2.根据权利要求1所述的线圈部件，其特征在于，

上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分的两端部间与上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分的两端部间还经由一个以上的连接导通孔相互连接。

3.根据权利要求1所述的线圈部件，其特征在于，

上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分的整个区域与上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分的整个区域经由连接导通孔相互连接。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的线圈部件，其特征在于，

还具备在上述第一平面螺旋布线的缠绕中心部以及上述第二平面螺旋布线的缠绕中心部延伸的磁芯部。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的线圈部件，其特征在于，

上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分的宽度尺寸比上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小，并且上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分的宽度尺寸比上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小。

6.根据权利要求4所述的线圈部件，其特征在于，

上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分的宽度尺寸比上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小，并且上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分的宽度尺寸比上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分以外的部分的宽度尺寸小。

7.根据权利要求5所述的线圈部件，其特征在于，

上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分的外缘与上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分以外的部分的外缘无凹凸地连续，并且上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分的外缘与上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分以外的部分的外缘无凹凸地连续。

8.根据权利要求6所述的线圈部件，其特征在于，

上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分的外缘与上述第一平面螺旋布线的上述最内周重复部分以外的部分的外缘无凹凸地连续，并且上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分的外缘与上述第二平面螺旋布线的上述最内周重复部分以外的部分的外缘无凹凸地连续。

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